中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单

（截至授予日）

一、限制性股票激励计划的分配情况表

获授限制性股占授予限制性占本激励计划公告姓名国籍职务

票数量(万股)股票总数比例日股本总额比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员

尹志董事长、总经理、

中国10.00001.2195%0.0160%尧核心技术人员

董事、副总经理、

丛海新加坡8.60001.0488%0.0137%核心技术人员

董事、副总经理、

陶珩中国6.00000.7317%0.0096%核心技术人员

陈伟副总经理、财务负

中国香港5.10000.6220%0.0081%文责人

何奕中国副总经理3.90000.4756%0.0062%姜银

中国副总经理4.00000.4878%0.0064%鑫

靳巨美国副总经理5.40000.6585%0.0086%

副总经理、董事会

刘方中国3.34000.4073%0.0053%秘书

姜勇中国核心技术人员1.09800.1339%0.0018%陈煌

中国台湾核心技术人员1.19500.1457%0.0019%琳刘志

新加坡核心技术人员1.27100.1550%0.0020%强何伟

中国核心技术人员1.29300.1577%0.0021%业

张凯中国核心技术人员5.00000.6098%0.0080%

小计56.19706.8533%0.0896%

二、其他激励对象董事会认为需要激励的其他人员（3036

643.803078.5126%1.0269%

人）首次授予部分合计（3049人）700.000085.3659%1.1166%

预留部分120.000014.6341%0.1914%

合计820.0000100.0000%1.3080%

注：1.上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均

未超过公司总股本的1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的20%。

2.本计划激励对象不包括独立董事、单独或合计持有上市公司5%以上股份的股东、上

市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

3.预留部分的激励对象由本激励计划经股东会审议通过后12个月内确定，经董事会提

出、董事会薪酬与考核委员会发表明确意见、律师发表专业意见并出具法律意见书后，公司在指定网站按要求及时准确披露激励对象相关信息。

4.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。

二、董事会认为需要激励的其他人员情况占本激励计激励对象获授限制性股票占授予限制性激励对象人数划公告日股

职务数量（万股）股票总数比例本总额比例

中层管理人员282216.460726.40%0.35%

技术骨干1203200.731624.48%0.32%

业务骨干770112.403713.71%0.18%

专业人员699110.09513.43%0.18%

优秀基层员工824.1120.50%0.01%

小计3036643.803078.5126%1.0269%

注：上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年4月23日