半导体加工核心！刻蚀设备国产替代空间充裕

来源：九方智投 2023-12-11 18:47

今日内容：

Ⅰ

半导体加工核心环节之一！刻蚀设备国产替代空间充裕？

刻蚀工艺是半导体加工的核心环节之一，通过物理或化学的方法，把光刻胶上图形转移到薄膜，去除光刻胶后，即完成图形从光罩到晶圆的转移，从而在薄膜上得到所需图形。

目前，刻蚀工艺方法多样，多种技术路线并行。干法刻蚀在市场规模中占比90%左右，湿法刻蚀因其成本、速度的优势，多用于特殊材料层的去除和残留物的清洗，以及制造光学器件和MEMS等领域。两者各有用途、长期并存。随着先进芯片制造工艺的提升，对刻蚀设备的性能和数量的要求也在不断提升。

据华经产业研究院统计，刻蚀设备市场规模在各类半导体设备中增速最高，2011-2021年年复合增长率达16.39%，2022年国内刻蚀设备市场规模375.28亿元，预计2023年有望达到500亿元。

需求端，在全球晶圆代工增速放缓背景下，中国大陆晶圆厂实现逆势扩张。据全球半导体观察不完全统计，大陆预计至2024年底将建立32座大型晶圆厂，包括正在建设中的晶圆厂22座，以及未来中芯国际、晶合集成、合肥长鑫、士兰微等厂商计划建设10座，其中在建或计划中12英寸晶圆厂共计24座，占扩产比例的75%。

具体产能方面，大陆目前12英寸晶圆月产能160.7万片，规划月产能423.3万片，现有产能占比37.96%，8英寸月产能99.1万片，规划月产能155万片，现有产能占比63.94%。长期来看，12英寸产线产能扩张空间可观。大陆晶圆代工巨头中芯国际、华虹公司均于三季度宣布产能扩建计划，体现国内晶圆厂在当前国际环境下逆势扩张的强劲信心。晶圆代工行业扩产计划的不断推进也为刻蚀设备的需求增长保证了充足空间。

市场竞争格局来看，当下刻蚀市场主要由海外巨头寡头垄断，我国刻蚀设备国产化率约为20%，国产替代空间广阔。目前，国内的等离子刻蚀设备已打破海外垄断，部分设备达到国际先进水平，具备一定的国际竞争力，中微公司已有产品进入台积电5nm生产线。面对海外寡头厂商的技术、经验、资源积累，国内厂商已在奋力追赶。

产业链而言，刻蚀机产业链的上游为各类零件及系统的生产供应商，主要分为预真空室、刻蚀腔体、供气系统、真空系统四大部分,目前国内已有多家厂商涉足该领域。产业链下游则为半导体器件生产厂商，包括晶圆制造商以及垂直整合模式下的制造商。在先进芯片制造工艺不断提升背景下，机构对国内刻蚀设备产业未来的发展前景充满信心。

上市公司投资机会方面，中微公司是国内半导体刻蚀、MOCVD设备龙头，客户覆盖海内外知名厂商，其产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造等领域。公司CCP刻蚀设备已应用于台积电5nm生产线。在3DNAND芯片制造环节，公司的等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产。

另外，北方华创是国内领先的半导体加工一体化方案供应商。在刻蚀设备领域，公司产品覆盖硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀。公司尤其在国产ICP刻蚀技术方面具备领先地位；应用于集成电路领域的硅刻蚀机已突破14nm技术，进入主流芯片代工厂。

Ⅱ

原料自给+产能+成本构筑优势，一体化产业链的煤化工领军者！

宝丰能源：公司地处国家级宁东能源化工基地核心区,是宁东能源化工基地的重要组成部分,也是最早入驻宁东能源化工基地的骨干企业之一,通过集成国际国内一流的技术及装备,形成了“煤、焦、气、化、油、电”多联产循环经济产业链,实现了煤炭资源由燃料向化工原料的转变及清洁、高效利用,是典型的煤基多联产循环经济示范企业。

标签：双线布局、循环产业链、产能优势、成本优势

看点一：双线布局公司专业从事煤化工领域，传统煤化工和新型煤化工双线布局，以煤炭采选为基础，按照煤、焦、气、化、油、电多联产的技术路线，实现了煤炭资源的分质、分级、充分利用，形成了烯烃产品、焦化产品和精细化工产品三大业务板块，构建了完整的煤化工循环经济产业链。

研报菌划重点：公司是国内煤制烯烃龙头，从煤炭原料出发，从早期的煤焦化业务起家，逐步以甲醇为生产节点向煤气化等领域进行延伸，建立了“一头两线多产”的综合业务平台。

看点二：循环产业链

经过多个阶段布局发展，公司在构建焦化、气化双产业链的基础上，快速实现体量规模的扩充，借助区域、项目、产业链、成本等方面逐步构建出公司的核心优势，依托宁夏区域丰富的煤炭资源，着力打造形成了以煤炭采选为基础，以现代煤化工及精细化工为核心的高端煤基新材料循环经济产业集群。

研报菌划重点：公司未来依托现有的产能和盈利空间，进一步延伸布局高附加值的产品以及丰富现有产品的差异化发展方向，进一步提高竞争优势。

看点三：产能优势

公司把握机遇，扩充产能，建立一体化大型煤化工企业，经过10多年的布局，生产能力持续提升，通过焦化两期项目，烯烃两期项目逐步形成了720万吨煤炭开采、400万吨焦碳、400万吨甲醇、120万吨聚烯烃、87万吨精细化工产能，已经成为国内规模领先的煤化工企业。

研报菌划重点：紧抓行业景气度周期扩大产能，建立一体化先进体系，有利于公司业绩的持续厚增，妥妥的加分项。

看点四：成本优势

公司内蒙古项目具备区位优势，运输成本低，相比其他煤制烯烃龙头成本优势，项目选址于鄂尔多斯市乌审旗苏格里经济开发区图克工业项目区，位于我国煤炭重要产区，且相较宁东能源化工基地更接近华东、华北等下游销售区域，兼具原材料和产品销售的运输成本优势，能够降低公司综合成本，增强公司盈利能力。

研报菌划重点：公司注重技术创新，不断降低原料单耗及能耗，在石油和化工行业重点能耗产品2020年度能效领跑者标杆企业名单中，位列煤制烯烃行业第一名，能耗水平行业最低。

看点五：原料自给

公司部分原料自给抵御行业压力焦化企业提升稳定盈利的关键在于上游原料，布局进一步完善，新增300万吨焦炭产能投产，焦煤自给率略有下行，后期伴随产能扩充和新项目投产，自给率将有小幅上行，实现部分焦煤自供，近距离运输，就近采购，大幅降低原料成本，在现有焦炭产能不变的情况下，将有望提升焦煤权益自供率至6成左右的水平，而未来伴随精煤洗出率的进一步提升，自给率还将有进一步提振。