光刻机概念17日盘中强势拉升，截至发稿，波长光电20%涨停，鸿利智汇涨超16%，茂莱光学、苏大维格涨超10%，永新光学、 奥普光电等涨停。

机构表示，国内晶圆厂建设潮及美国加大对华出口管制下，光刻机国产化迫在眉睫。2026年底，大陆12英寸晶圆厂的总月产能有望从2023年的217万片（规划产能）增长到超过414万片。人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求。芯片生产产线建设中，光刻机购置成本最高，达到设备总投资的21%—23%。国内晶圆厂建设潮和AI快速发展带动国产光刻机需求持续攀升。

山西证券指出，国产光刻机产业链在政策支持和进口替代背景下，具备成长潜力。建议关注光刻机核心零部件供应商，如茂莱光学、英诺激光、苏大维格、芯碁微装等。