真空技术国家队“小巨人”，研发平台夯实壁垒，营收快速增长

公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司被评为2020 年度、2023 年度国家“专精特新”小巨人企业，国家知识产权优势企业等多项荣誉称号，截至2025 年12 月31 日，公司已经获得授权的发明专利103 项、实用新型专利20 项，并取得软件著作权登记37 项。2022-2025年度，公司营业收入整体呈快速增长趋势，2025 年公司营收为12.91 亿元。受持有股份公允价值变动损益影响，2022-2025 年公司的净利润变动较大，剔除这部分影响后，公司扣非归母净利润分别为6,186.11 万元、7,298.08 万元、8,787.75 万元和10,297.96 万元。

集成电路 + 光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增

公司研制的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS 预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779 亿美元，较2024 年大幅增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023 年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据中国光伏行业协会统计数据显示，2020-2024 年，全球光伏年新增装机容量年均复合增长率达42.10%，我国光伏年新增装机容量年均复合增长率达54.91%。根据公司测算，2024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57 万台，市场规模约125.74 亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21 万台，市场规模约52.11 亿元；2024 年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2 万台，按单台均价7 万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。

国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，可比公司PE（2024）均值91.39X

公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A 等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK 海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。可比公司PE（2024）均值为91.39X，PE（TTM）均值为126.39X。

募投项目预计将扩大干式真空泵产能，同时进一步增强研发能力，丰富公司产品体系，增强产品优势，前景较好。

风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险。