真空装备领域国内龙头企业。中科仪成立于2001 年，公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司依托中科院技术底蕴，承接多项国家级科研专项，成功实现国产干式真空泵在集成电路领域的规模化应用，破解半导体关键部件“卡脖子”难题。公司服务国家大科学工程，是同步辐射光源、粒子对撞机等重大科技基础设施的核心真空部件供应商，技术水平对标国际头部企业。国科控股为实控人，国家集成电路基金战略持股，股权结构稳定。下设三家全资子公司，聚焦干式真空泵的研发、生产与全周期技术服务，形成完整产业布局。

营收利润稳步增长，研发投入比重增大。2025 年公司实现营业收入12.91 亿元（+19.30%），实现归母净利润8.44 亿元（+337.77%），盈利能力总体稳定。2025 年公司毛利率为26.78%，净利率为65.35%，费用管控成效显著。

公司持续加大研发投入，2024-2025 年研发费用维持在1.1 亿元以上，组建多学科复合型研发团队，搭建真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心等多个国家级创新平台，掌握干泵测试、精密加工等八大核心技术，推动半导体真空装备关键技术成果快速落地并实现国产替代突破。

半导体产业蓬勃发展，真空核心设备需求释放。全球干式真空泵市场稳步增长，国内受益于半导体、光伏等泛半导体产业扩张，国产替代进程加速推动行业规模扩容。我国集成电路产能扩张、光伏技术升级及国家重大科技基建建设，带动对真空装备的高品质、多样化需求提升。公司是国内唯一实现集成电路全工艺、先进制程干式真空泵批量应用的龙头，凭借技术、产能与本土服务优势，覆盖主流晶圆厂及顶尖科研院所，合作关系稳定。在国际巨头主导的格局下，公司依托国产替代红利持续提升份额，行业成长动力充足。

募投项目主要围绕主营业务进行的产能扩张项目。公司拟使用募集资金82548.33 万元，主要用于干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发。项目紧扣主营业务，将进一步扩大核心产品产能、丰富产品结构，提升研发创新能力，优化产能区域布局，降低物流成本，巩固市场领先地位，具备充分的必要性与可行性。

可比公司：可比公司中， 北方华创、中微公司等企业营业收入及利润规模较大，而中科仪整体规模相对较小，毛利率也略低于行业平均水平。但中科仪作为国内半导体干式真空泵细分领域龙头，公司业绩近年来呈现稳步增长态势，凭借先进制程适配能力、刻蚀工艺国产替代突破及主流晶圆厂客户资源，在半导体设备国产替代进程中有望实现进一步增长。考虑到公司在半导体干式真空泵、国家重大科技基础设施真空部件领域的领先地位，叠加半导体设备自主可控与高端科研仪器国产化的政策红利，具备长期关注价值。

风险提示：技术和产品研发风险； 市场竞争加剧的风险； 经营业绩下滑的风险。