7月28日有投资者向昊华科技(600378)提问：高纯电子特气国产化昊华科技突破电子级三氟化氮纯化技术，纯度达99.9999%，蚀刻速率偏差控制在2%以内，打破海外企业长达20年的垄断。请问这项技术能应用于哪些方面？
9月22日公司回答表示：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关心和支持！公司掌握电子级三氟化氮制备及纯化技术，产品应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节。
昊华科技：电子级三氟化氮用于集成电路蚀刻和清洗
九方智讯 09-22 17:50
昊华科技 --%
7月28日有投资者向昊华科技(600378)提问：高纯电子特气国产化昊华科技突破电子级三氟化氮纯化技术，纯度达99.9999%，蚀刻速率偏差控制在2%以内，打破海外企业长达20年的垄断。请问这项技术能应用于哪些方面？
9月22日公司回答表示：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关心和支持！公司掌握电子级三氟化氮制备及纯化技术，产品应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节。
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