业绩快速增长，持续高研发投入。公司23H1 实现营收3.9 亿元，同比增长134%，实现归母净利润1.2 亿元，同比增长318%。23H1 研发费用占收入比重近14%，持续高投入保障公司产品推进进展及技术竞争力。 2023 年至今，公司旗下凯世通及嘉芯半导体共获得集成电路设备订单近 3 亿元，两家公司累计集成电路设备订单金额近 15 亿元。

离子注入机签单持续增长，客户结构持续拓展。23H1 凯世通新增两家12 英寸芯片晶圆制造客户，新签订单金额超1.6 亿元，涵盖逻辑、存储、功率多个方向。公司产品持续升级、覆盖面持续增加，目前已实现28nm 低能离子注入工艺全覆盖，并已完成产线验证及验收。同时，公司启动了上海浦东金桥研发制造基地，可提供低能大束流、超低温低能大束流、重金属低能大束流、高能离子注入机等全系列产品的评估，缩短从技术验证到客户导入的时间。

平台化布局推进顺利，嘉芯半导体持续取得突破。 2022 年下半年至今，嘉芯半导体子公司嘉芯迦能和嘉芯闳扬多次中标多款设备，其中嘉芯闳扬成功中标 4 台快速热处理（RTP）设备、4 台氮化硅等离子刻蚀机、3 台金属等离子刻蚀机、3 台侧墙等离子刻蚀机。嘉芯迦能成功中标 8 台高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、2台掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、1 台二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、3 台钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、1 台铝铜金属溅射设备（Metal Sputter（Al/Ti/TiN））、23 台双燃烧+双水洗尾气处理设备。嘉芯半导体继续保持高增态势，2023 年至今新增订单金额超 1.3 亿元，成立后累计获取订单金额超4.7 亿元。同时公司自主研发了PVD 设备，在国内具备稀缺性。

我们预测公司23-25 年每股收益分别为0.47、0.57、0.79 元（原23-24 年预测为0.66、0.83 元，主要下调了收入预测，上调了研发、管理费用率预测），根据可比公司23 年平均41 倍PE 估值，给予19.27 元目标价，维持增持评级。

风险提示

行业景气度不及预期；市场竞争加剧；产品研发和验证不及预期。