事件：

1.公司发布2023 年年度报告，2023 年度实现营收31.51 亿元，同比增加3.33%；实现归属于母公司所有者净利润3.77 亿元，同比增加33.58%；实现扣非归母净利润1.02 亿元，同比减少64.25%。

2.从Q4 单季度业绩来看，实现营收9.52 亿元，同比减少15.27%，环比增加32.47%；实现归属于母公司所有者净利润1.81 亿元，同比增加51.29%，环比增加107.49%；实现扣非归母净利润-0.49 亿元。

3.公司发布2024 年第一季度报告，2024Q1 实现营收8.11 亿元，同比增加3.48%，环比减少14.80%；实现归属于母公司所有者净利润0.64 亿元，同比增加1.45%，环比减少64.91%；实现扣非归母净利润0.63 亿元，同比增加8.64%。

23 年营收同比略增，新增订单大幅提高：

公司2023 年实现营业收入31.51 亿元，同比增长3.33%，其中泛半导体收入为28.43 亿元，同比增长5.37%；生物及制药收入为3.02亿元，同比减少13.00%。从订单角度来看，报告期内公司新增订单总额为132.93 亿元，相较于2022 年新签订单42.19 亿元，同比增加215.1%，其中包含电子材料及专项服务5 年~15 年期长期订单金额86.61 亿元，该部分长期订单的获得是公司经营战略中子战略之“将技术和产品服务化”的初步体现和成果。从盈利能力来看，2023 年公司归母净利润同比增加33.58%，扣非归母净利润同比减少64.25%，主要系受到财务成本、折旧费用和仍在爬坡中的业务短期亏损的影响。

半导体清洗设备全面覆盖，高端产品不断突破：

公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前湿法设备在28 纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。另外，公司高端产品包括SPM 高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备取得突破，并交付给多家国内主流晶圆厂。

投资建议：

我们预计公司2024 年~2026 年收入分别为41.89 亿元、52.36 亿元、60.22 亿元，归母净利润分别为5.55 亿元、7.04 亿元、9.56 亿元。考虑半导体行业回暖，半导体量检测设备国产替代加速，公司新产品研发顺利。给予公司2024 年PE25.00X 的估值，对应目标价36 元。给予“买入-A”投资评级。

风险提示：

新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，行业与市场波动风险，国际贸易摩擦风险，产品生产成本上升风险。