国泰君安证券股份有限公司

关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司

部分募投项目延期并调整部分建设内容的核查意见

国泰君安证券股份有限公司（以下简称“国泰君安”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、“上市公司”或“公司”）的保荐机构，根据《公司法》、《证券法》、《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和

《上海证券交易所股票上市规则》等有关规定，对至纯科技部分募投项目延期并调整部分建设内容的相关事项进行了审慎核查，具体情况及核查意见如下：

一、募集资金基本情况2020年11月12日中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过78005377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47749661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1374712740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20184669.49元后，募集资金净额为人民币1354528070.70元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2020）第8380号]。

公司对募集资金进行专户存储，并与募集资金专户各开户银行、保荐机构签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，上述募集资金已经全部存放于募集资金专户进行管理。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至2023年9月30日，公司2020年非公开发行股份募集资金投资项目情况如下：

1单位：万元

项目投资总拟使用募集资累计投入募集资投入进序号项目名称额金总额金金额度半导体湿法清洗设备

140000.0025500.0019859.8477.88%

扩产项目半导体晶圆再生二期

260000.0038471.272293.215.96%

项目光电子材料及器件制

367000.0031000.0017435.6856.24%

造基地建设项目补充流动资金或偿还

455500.0040600.0040461.0199.66%

债务

合计222500.00135571.2780049.7459.05%

三、部分募投项目延期并调整部分建设内容的情况

（一）部分募投项目延期的情况

根据光电子材料及器件制造基地建设项目当前实际建设情况，同时考虑公司发展规划和内外部环境等多种因素，经公司研究后，为了维护全体股东和企业利益，决定将光电子材料及器件制造基地建设项目进行延期，具体情况如下：

截至2023年9月30日，本次募投项目中“光电子材料及器件制造基地建设项目”的募集资金投资进度为56.24%。上述项目在实际执行过程中受外部宏观因素影响，项目的施工作业、物料采购、基础建设等均受到了一定程度的影响，无法在计划时间内完成全部投资，公司根据本次募投项目的实施进度和实际建设情况，决定将上述项目完工日期由2024年1月延后至2024年12月。

（二）部分募投调整部分建设内容的情况光电子材料及器件制造基地建设项目原计划在天津建立光电子材料及器件

制造基地，通过购置土地、建设厂房、引入先进设备、招聘专业技术人才，打造业内领先的光电子材料及器件生产线，实现高端光电子材料及器件的国产化目标，公司现根据实际建设情况，拟调整项目部分建设内容，具体调整如下：

项目内容调整前规划使用募集资金（万元）调整后规划使用募集资金（万元）

建设投资31000.0031000.00

1、土建工程1900023500

2、设备投入50002500

3、土地购置70005000

2由于该项目的建设周期较长，在此过程中项目公司因研发和生产工艺随下游

客户的需求有所叠代和提升，建设规划也相应进行了调整，故追加了部分建设投资，因此土建工程项目投资额增加；设备投入因部分设备公司在国内市场找到合格的产品供应，因而降低了设备成本；土地购置项目因与落地园区进行了多方位的协调与沟通，降低了受让成本。

四、部分募投项目延期并调整部分建设内容的原因

（一）部分募投项目延期的原因

本次募投项目中“光电子材料及器件制造基地建设项目”，近两年受外部宏观因素影响，项目的施工作业、物料采购、基础建设等均受到了一定程度的影响，项目总体建设进度较原计划有一定程度推迟。截至2023年末，项目已按原规划完成厂房建设并投入试运营，预计2024年将进入量产阶段。

（二）部分募投调整部分建设内容的原因

“光电子材料及器件制造基地建设项目”的建设周期较长，在此过程中项目公司因研发和生产工艺随下游客户的需求有所叠代和提升，建设规划也相应进行了调整，故追加部分建设投资，土地和设备也按照实际投入情况进行了相应的调整。

五、募投项目延期并调整部分建设内容对公司的影响及风险提示公司本次部分募投项目延期并调整部分建设内容是公司根据客观实际情况

作出的审慎决定，未改变募投项目的实质内容及募集资金的用途，不会对公司生产经营造成实质性影响，亦不存在损害全体股东利益的情形。公司本次延期并调整部分建设内容本着审慎严谨的原则，有利于提高募集资金使用效率及维护全体股东的利益，且本次部分募投项目延期并调整部分建设内容履行了必要的决策程序，不存在违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用有关规定的情形。未来在项目实施过程中，仍可能存在各种不可预见的因素，导致项目实施具有不确定性，敬请广大投资者注意投资风险。

六、本次募投项目延期并调整部分建设内容的审议程序

32023年12月7日，公司召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会

第三十八次会议审议通过《关于部分募投项目延期并调整部分建设内容的议案》，同意将“光电子材料及器件制造基地建设项目”的建设完成期由2024年1月延

长至2024年12月，独立董事对此发表了同意的独立意见。

七、保荐机构的核查意见经核查，保荐机构认为：

公司部分募投项目延期并调整部分建设内容事项，已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序，符合中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》

以及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号—规范运作》等有关规定，该事项尚需提交股东大会审议。

综上，保荐机构对公司部分募投项目延期并调整部分建设内容事项无异议。

（以下无正文）

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