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至纯科技:确认服务12寸晶圆厂,气体供应稳定

九方智讯 09-10 18:19

9月9日有投资者向至纯科技(603690)提问:你好,贵司气站供气业务,主要是给长鑫科技 长江科技 华虹科技 中芯国际等12寸晶圆厂提供气体服务吗? 目前该气体供应是否处于满产状态? 产能受限时客户订单限制还是产能限制?

9月10日公司回答表示:您好,公司大宗气站业务是紧邻客户晶圆厂设计建设大宗气站,为用户提供一对一的至少 15 年的高纯大宗气体供应,气体种类主要包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳等,需 24 小时不间断供应 ,服务于行业一线集成电路制造企业的 12 英寸 28 纳米及以下产线 。

由公司投资设计并建设运营的国内首座完全国产化、满足 12 英寸晶圆28 纳米及以下制程要求的半导体级大宗气体供应工厂自2022年初持续稳定运行至今,实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。公司第二座大宗气站已于 2024 年上半年投入运营,客户产能逐步爬坡。2026年上半年公司电子大宗气体业务营业收入达到 2.04 亿元,实现大幅增长。

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