2月6日有投资者向至纯科技(603690)提问：请问高阶湿法设备订单的验证进度如何了？预计何时可达批量生产并交付？

2月27日公司回答表示：您好，公司高阶湿法设备在先进制程领域的验证工作正持续推进中。公司湿法设备在28纳米节点已实现全覆盖，全工艺机台均有订单；在更先进制程节点，公司已取得部分工艺订单，尤其在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等国际厂商垄断的机台领域，交付和验证进度均处于国内领先地位。关于批量生产及交付时间，需结合客户产线验证进度及扩产计划综合确定。公司将持续配合客户需求，积极推进设备验证与交付工作。