上海至纯洁净系统科技股份有限公司

年度募集资金存放与实际使用情况鉴证报告

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一、年度募集资金存放与实际使用情况鉴证报告1-2

二、上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于2025年度募集资金存放与实际使用

情况的专项报告3-12

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Floors5-812and23Block AUDC Times BuildingNo.8 Xinye Road，Qianjiang New CityHangzhouTel.0571-88879999 Fax.0571-88879000年度募集资金存放与实际使用情况鉴证报告

中汇会鉴[2026]8603号

上海至纯洁净系统科技股份有限公司全体股东：

我们鉴证了后附的上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称至纯科技)

管理层编制的《关于公司2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。

一、对报告使用者和使用目的的限定

本鉴证报告仅供至纯科技年度报告披露时使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为至纯科技公司年度报告的必备文件，随同其他文件一起报送并对外披露。

二、管理层的责任至纯科技管理层的责任是提供真实、合法、完整的相关资料，按照《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作(2025年5月修订)》及相关格式指

引编制《关于公司2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》，并保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是在实施鉴证工作的基础上对至纯科技公司管理层编制的《关于公司2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》提出鉴证结论。

四、工作概述我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号—历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工中国杭州市钱江新城新业路 8 号 UDC 时代大厦 A 座 5-8 层、12 层、23 层 www.zhcpa.cn

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第1页共12页作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实

施了包括了解、检查、核对等我们认为必要的审核程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论我们认为，至纯科技公司管理层编制的《关于2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面符合《上海证券交易所上市公司自律监管指引

第1号——规范运作(2025年5月修订)》及相关格式指引的规定，公允反映了至纯科

技2025年度募集资金实际存放、管理与实际使用情况。

中汇会计师事务所(特殊普通合伙)中国注册会计师：

中国·杭州中国注册会计师：

报告日期：2026年4月28日

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第2页共12页上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于公司2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告

上海证券交易所：

根据贵所印发的《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作(2025年5月修订)》及相关格式指引的要求，现将本公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况专项说明如下：

一、募集资金基本情况2020年11月12日经中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过

78005377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47749661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1374712740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20184669.49元后，募集资金净额为人民币1354528070.70元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2020）第8380号]。截至2025年12月31日，本公司募集资金使用及结存情况如下：

募集资金基本情况表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额1374712740.19

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用19000000.00

二、募集资金净额1355712740.19

减：

以前年度已使用金额1354165513.87

第3页共12页本年度使用金额214778091.00

暂时补充流动资金金额80000000.00

现金管理金额-

银行手续费支出及汇兑损益434.80

加：

募集资金利息收入1879.00

其他-归还暂时补流金额293500000.00

三、报告期期末募集资金余额270579.52

注：以前年度已使用金额包括截至2024年末临时补充流动资金、其他发行费用、累计利息及手续费净额等。

二、募集资金管理情况

(一)募集资金的管理情况

为规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者利益，本公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则(2025年4月修订)》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作(2025年5月修订)》等有关法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》(以下简称《管理办法》)。根据《管理办法》，本公司对募集资金采用专户存储制度，在银行设立募集资金专户，并连同保荐机构国泰君安证券股份有限公司分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》（以下简称“三方监管协议”），明确了各方的权利和义务。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，本公司在使用募集资金时已经严格遵照履行，以便于募集资金的管理和使用以及对其使用情况进行监督，保证专款专用。

(二)募集资金的专户存储情况

截至2025年12月31日，本公司开立的六个募集资金专户存储情况如下：

募集资金存储情况表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日

第4页共12页账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态上海至纯洁净系统科技兴业银行上海市南

216350100100120053-已注销

股份有限公支行司江苏启微半杭州银行股份有限

导体设备有3101040160001981296-已注销公司上海分行限公司合肥至微半兴业银行股份有限

导体有限公216350100100120688-已注销公司上海市南支行司天津至汇光上海农村商业银行

电技术有限股份有限公司张江50131000832243490-已注销公司科技支行上海至纯洁净系统科技兴业银行上海卢湾

216120100100259971（注1）270579.52使用中

股份有限公支行司上海农村商业银行天津科谱技

股份有限公司张江50131000831666234-已出售（注2）术有限公司

科技支行-科谱天津注1：公司于2023年12月25日召开2023年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为216120100100259971。

注2：公司于2022年4月12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由天津波汇、科

谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天津波汇账户中。科谱半导体后续已于2022年12月完成出售。

三、本年度募集资金的实际使用情况

(一)募集资金投资项目的资金使用情况

报告期内，募集资金承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表1。

(二)募集资金投资项目先期投入及置换情况

报告期内，公司未进行募集资金投资项目先期投入及置换。

第5页共12页(三)用闲置募集资金暂时补充流动资金情况闲置募集资金临时补充流动资金明细表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日临时补充流动临时补充流动计划补充流动董事会审议通归还募集资金日归还募集资金资金金额资金起始日期资金时长过日期期金额

290000000.002024/10/29一年2024/10/292025/10/28290000000.00

80000000.002025/10/30一年2025/10/302025/12/163500000.00

(四)对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司不存在用闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品的情况。

(五)用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

(六)超募资金用于在建项目及新项目(包括收购资产等)或回购本公司股份并注销的情况

公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。

(七)节余募集资金使用情况公司不存在节余募集资金使用情况。

(八)募集资金使用的其他情况无

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

(一)变更募集资金投资项目情况

2023年12月7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议

通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表2。

第6页共12页五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已按《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、

准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。

公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。

附件：1．募集资金使用情况对照表

2．变更募集资金投资项目情况表

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2026年4月28日

第7页共12页附件1募集资金使用情况对照表

2025年度

编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司单位：人民币万元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账日期2020年12月23日

本年度投入募集资金总额21477.81

已累计投入募集资金总额128075.01

变更用途的募集资金总额36202.88

变更用途的募集资金总额比例26.70%已变更截至期末累计投截至期末投项目达到预是否项目可行承诺投资项项目截至期末承诺截至期末本年度

募投项募集资金承调整后投本年度入金额与承诺投入进度(%)定可使用状达到性是否发目和超募资含部分投入金额累计投入金额实现的

目性质诺投资总额资总额投入金额入金额的差额(4)＝态日期(具预计生重大变

金投向变更(如(1)(2)效益

(3)＝(2)-(1)(2)/(1)体到月份)效益化

有)半导体湿法清

2024年12

洗设备扩产项扩产否25500.0025500.0019859.84-19859.84-100.00（注5）否否月目半导体晶圆再2293.21（注扩产59000.002293.21-2293.21-100.00（注4）（注4）是

生二期项目（注4）4）单片湿法工艺是

2026年11不适

模组、核心零研发-36202.8836202.8821477.8128533.42-7669.4678.82不适用否月用部件研发及产

第8页共12页业化项目光电子材料及

2024年12

器件制造基地扩产否46000.0031000.0028080.88-28080.88—100.00590.93否否月建设项目补充流动资金不适

-—55500.0040600.0040600.00-40461.01-138.9999.66—不适用否或偿还债务用剩余募集资金

8846.65

永久补充流动-—不适用不适用--——————（注6）资金

135596.09-7808.4593.85

合计186000.00127036.8121477.81128075.01————（注7）（注8）（注8）

未达到计划进度原因(分具体募投项目)不适用

2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总体市

场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且审项目可行性发生重大变化的情况说明慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况详见本报告三（三）之说明

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况不适用用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情不适用况

“半导体湿法清洗设备扩产项目”产生节余募集资金5746.98万元，主要因公司在设备采购过程中，积极通过采购比价、供应链募集资金结余的金额及形成原因

管理等手段有效地控制成本，“设备购置及安装”项目实际投入比计划节约超过20%。具体内容详见公司2023年12月9日披露

第9页共12页于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

“光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3095.77万元，主要系1、公司在项目实施过程中严格按照募集资金使用的有关规定，从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎地使用募集资金，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，对各项资源进行合理调度和优化配置，降低项目建设成本和费用；2、由于部分项目工程及设备支付周期较长，部分验收款、质保金等款项尚未达到支付条件；3、募集资金存放期间产生了一定的利息收入。具体内容详见公司2024年12月6日披露于上海证券交易所网站的《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》（公告编号：2024-116）。

募集资金其他使用情况不适用

注1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及剩余募集资金永久补充流动资金金额。

注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。

注3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

注4：2023年12月7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。

注5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。

注6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。

注7:由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额135571.27万元的差异为利息收入所致。

注8:不考虑剩余募集资金永久补流金额8846.65万元的影响

第10页共12页附件2变更募集资金投资项目情况表

2025年度

编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司单位：人民币万元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账日期2020年12月23日变更后项目达到股东变更后项截至期末是否的项目本年度实实际累计预定可使本年度董事会会审

变更后对应的募投项实施主实施地目拟投入计划累计投资进度(%)达到可行性际投入金投入金额用状态日实现的审议通议通

目性质体点募集资金投资金额(3)=(2)/(1)预计是否发

的项目原项目额(2)期(具体到效益过时间过时

总额(1)效益生重大

年月)间变化单片湿上海至法工艺半导体纯洁净

模组、核晶圆再系统科202320232026年不适

心零部-上海市36202.8836202.8821477.8128533.4278.82不适用否年12年12生二期技股份11月用件研发月月项目有限公及产业司化项目

合计36202.8836202.8821477.8128533.42-------

变更原因、决策程序及信息披露情况说明(分具体2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总募投项目)体市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层

第11页共12页深入且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月

9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

未达到计划进度的情况和原因(分具体募投项目)不适用变更后的项目可行性发生重大变化的情况说明不适用

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