国泰海通证券股份有限公司

关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为上海

至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，对公司2025年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间经中国证券监督管理委员会证监许可[2020]3020号文《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》，公司非公开发行人民币普通股（A 股）4774.97 万股，每股面值人民币 1 元，每股发行价格人民币 28.79 元，募集资金总额为137471.27万元，扣除承销费和保荐费1900万元（含增值税）后，募集资金实际到账金额为人民币135571.27万元。本次募集资金总额为

137471.27万元，扣除各项不含税发行费用人民币2018.47万元后，募集资金净额为人民币135452.81万元。上述募集资金到位情况经众华会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了众会字（2020）第8380号验资报告。

（二）募集资金本年度使用金额及年末余额

2025年，公司已使用募集资金21477.81万元。截至2025年12月31日，

公司募集资金使用及结存情况如下：

单位：万元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日

1本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日

项目金额

一、募集资金总额137471.27

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用1900.00

二、募集资金净额135571.27

减：

以前年度已使用金额135416.55

本年度使用金额21477.81

暂时补流金额8000.00

现金管理金额-

银行手续费支出及汇兑损益0.04

加：

募集资金利息收入0.19

其他-归还暂时补流金额29350.00

三、报告期期末募集资金余额27.06

注：以前年度已使用金额包括截至2024年末临时补充流动资金、其他发行费用、累计利息及手续费净额等。

二、募集资金管理情况

（一）募集资金的管理情况

为规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者利益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则（2025年4月修订）》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引

第1号——规范运作（2025年5月修订）》等有关法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》（以下简称《管理办法》）。根据《管理办法》，公司对募集资金采用专户存储制度，在银行设立募集资金专户，并连同保荐机构分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确了各

2方的权利和义务。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，公司在使用募集资金时已经严格遵照履行，以便于募集资金的管理和使用以及对其使用情况进行监督，保证专款专用。

（二）募集资金专户存储情况

截至2025年12月31日，募集资金具体存放情况如下：

单位：万元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日报告期末余账户名称开户银行银行账号账户状态额上海至纯洁净兴业银行上海市

系统科技股份216350100100120053-已注销南支行有限公司江苏启微半导杭州银行股份有310104016000198129

体设备有限公-已注销限公司上海分行6司兴业银行股份有合肥至微半导

限公司上海市南216350100100120688-已注销体有限公司支行上海农村商业银天津至汇光电

行股份有限公司50131000832243490-已注销技术有限公司张江科技支行上海至纯洁净兴业银行上海卢216120100100259971

系统科技股份27.06使用中

湾支行（注1）有限公司上海农村商业银天津科谱技术行股份有限公司已出售（注

50131000831666234-有限公司张江科技支行-科2）谱天津注1：公司于2023年12月25日召开2023年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为

216120100100259971。

注2：公司于2022年4月12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事

会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由

天津波汇、科谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天

3津波汇账户中。科谱半导体后续已于2022年12月完成出售。

三、本年度募集资金实际使用情况

（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况

募集资金实际使用情况详见附表1《募集资金使用情况对照表》。

（二）用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金情况本年度，公司不存在用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金的情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

2024年10月29日公司召开第五届董事会第九次会议及第五届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币29000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年10月28日，公司已将用于暂时补充流动资金的募集资金29000.00万元全部归还至公司募集资金专户。

公司于2025年10月30日分别召开第五届董事会第十五次会议及第五届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币8000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年12月31日，公司已陆续归还350万元至公司募集资金专户，尚未归还暂时补充流动资金金额为7650.00万元。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况本年度，公司不存在对闲置募集资金进行现金管理的情况。

（五）超募资金使用情况公司不存在超募资金使用的情况。

4（六）节余募集资金使用情况

公司不存在节余募集资金使用的情况。

（七）募集资金使用的其他情况公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

2023年12月7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募

投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表2。

报告期内，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投资项目已对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施

公司已按《上市公司募集资金监管规则》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、准确、完整

地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。

公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。

六、保荐机构的核查意见

经查阅公司募集资金管理使用制度、募集资金专户银行对账单和募集资金使

用明细账，对大额募集资金支付进行凭证抽查，依据公司年审会计师出具的募集资金存放、管理与使用情况鉴证报告，保荐机构认为，公司2025年度募集资金存放和使用情况总体符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资5金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司2025年度募集资金存放和使用情况无异议。

（以下无正文）6（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页）

保荐代表人：

肖翔云李淳国泰海通证券股份有限公司年月日

7附表1：募集资金使用情况对照表

编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

单位：万元

募集资金总额135571.27本年度投入募集资金总额21477.81

变更用途的募集资金总额36202.88

已累计投入募集资金总额128075.01

变更用途的募集资金总额比例26.70%是否已变截至期本年截至期截至期末累计投入截至期末投入项目达到项目可行

募集资金金额与承诺投入金本年度是否达承诺投资更项目调整后投末承诺度投末累计进度（%）预定可使性是否发承诺投资实现的到预计

项目（含部分资总额投入金入金投入金额的差额（4）=（2）/用状态日生重大变总额效益效益

变更）额（1）额额（2）（3）=（2）-（1）（1）期化半导体湿法清洗设（注否25500.0025500.0019859.8-19859.80100.002024年否否备扩产项445）目半导体晶2293.21（注圆再生二59000.002293.21-2293.21-100.00（注4）（注4）是（注4）4）期项目是单片湿法

-36202.8836202.8214728533.4

2026年

工艺模-7669.4678.82不适用不适用否87.81211月组、核心

8零部件研

发及产业化项目光电子材料及器件

46000.0031000.0028080.8-28080.8

2024年

否0100.00590.93否否制造基地8812月建设项目补充流动

-55500.0040600.0040600.0-40461.0资金或偿-138.9999.66-不适用不适用否

01

还债务剩余募集

资金永久8846.65

-不适用不适用--------

补充流动（注6）资金

-186000.0

135596.0

9127036.2147128075.-7808.4593.85合计07817.8101

----

（注）（注8）（注8）

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用

2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国

内晶圆再生业务的总体市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价项目可行性发生重大变化的情况说明格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券9交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-

114）。

募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况详见本报告三（三）之说明

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况不适用“半导体湿法清洗设备扩产项目”产生节余募集资金5746.98万元，主要因公司在设备采购过程中，积极通过采购比价、供应链管理等手段有效地控制成本，“设备购置及安装”项目实际投入比计划节约超过20%。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

“光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3095.77万元，主要系1、公司在项目实施过募集资金结余的金额及形成原因程中严格按照募集资金使用的有关规定，从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎地使用募集资金，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，对各项资源进行合理调度和优化配置，降低项目建设成本和费用；2、由于部分项目工程及设备支付周期较长，部分验收款、质保金等款项尚未达到支付条件；3、募集资金存放期间产生了一定的利息收入。具体内容详见公司2024年12月6日披露于上海证券交易所网站的《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》（公告编号：2024-116）。

募集资金其他使用情况不适用

注1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及剩余募集资金永久补充流动资金金额。

注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。

注3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

注4：2023年12月7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。

注5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。

注6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。

注7：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额135571.27万元的差异为利息收入所致。

注8：不考虑剩余募集资金永久补流金额8846.65万元的影响。

10附表2：变更募集资金投资项目情况表

编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

单位：万元变更后项目投资进度变更后的项目截至期末计划累本年度实际实际累计投项目达到预定可本年度实是否达到

变更后的项目对应的原项目拟投入募集（%）可行性是否发

计投资金额(1)投入金额入金额(2)使用状态日期现的效益预计效益

资金总额(3)=(2)/(1)生重大变化单片湿法工艺

模组、核心零半导体晶圆再

36202.8836202.8821477.8128533.4278.822026年11月不适用不适用否

部件研发及产生二期项目业化项目

合计-36202.8836202.8821477.8128533.42-----

2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总体

市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入变更原因、决策程序及信息披露情况说明（分具且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再体募投项目）生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

未达到计划进度的情况和原因（分具体募投项不适用目）变更后的项目可行性发生重大变化的情况说明不适用

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