上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025年度董事会工作报告

2025年度公司董事会严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国

证券法》《上海证券交易所股票上市规则》等法律法规和《公司章程》、各议事规

则等规定和要求，认真履行股东会赋予的职责，规范运作、科学决策，推动公司各项业务顺利有序开展，使公司保持良好的发展态势，有效地保障了公司和全体股东的利益。

现将公司董事会2025年度工作情况汇报如下：

（一）聚焦主业，聚力前行

报告期内，公司持续聚焦集成电路核心主业，致力于为晶圆制造客户提供从建设投产到稳定运营全生命周期的产品与服务组合。公司业务组合在数个头部客户处已实现战略合作落地，能够为同一用户提供从系统到设备、从材料到服务的整体解决方案，业务组合为用户 COC（Cost of Consumption）和 COO（Cost ofOwnership）的降低作出了实质贡献。

在制程设备板块，公司旗下至微科技持续保持国内湿法清洗设备领域的领先地位。报告期内，湿法设备在28纳米节点全部工艺机台的开发均已完成，且全系列机台均已获得客户订单；在更先进制程节点，公司亦取得了部分高阶工艺设备订单，尤其在高温硫酸（SPM）、FINETCH、单片磷酸等此前由国际厂商垄断的机台领域，交付进度与验证进展处于国内领先水平。公司2022年推出的高温硫酸 SPM设备，作为国产首台进入大规模量产线的 12英寸硫酸清洗设备，截至报告期单机累计产量超过 100万片次。此外，公司新开发的 S300-D湿法设备平台专为先进制程需求设计，覆盖 SPM、背面蚀刻、预清洗、斜边处理等关键工艺，其每小时处理晶圆数量（WPH）较上一代平台提升 30%，在腔体结构优化与流场控制精度方面实现进一步提升。

在高纯工艺系统及支持设备板块，公司继续保持国内龙头地位。报告期内，公司成为国内高纯工艺系统集成领域的龙头企业，据公司统计，截止2025年，中国大陆主流12寸晶圆厂49个项目的中标结果中，公司特气设备及系统市占率

1 / 7已达 46.9%，化学品设备及系统市占率达 29%。公司自主品牌 SAFETRON系列

支持设备业务量已接近系统集成业务总量的40%，各类高纯特气设备和高纯化学品设备累计出货超过4.9万台，有效改变了此前由境外厂商垄断的市场格局。公司在系统集成业务中能够实现 ppt（万亿分之一）级的不纯物控制，核心技术能力达到行业先进水平，个别功能指标在用户应用场景中已超越国际品牌同类产品。

在电子材料及专业服务板块，公司加速在电子大宗气体领域的布局。报告期内，由公司投资设计并建设运营的国内首座完全国产化、满足12英寸晶圆28纳米制程要求的半导体级大宗气体供应工厂持续稳定运行，成功打破半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现该制程节点国内自主大宗气站零的突破。公

司第二座大宗气站于报告期内投入运营并已开始为客户提供供气服务，随着客户

产能爬升，将为公司贡献稳定可观的运营收入。TGM、TCM驻厂服务有序开展，为晶圆厂提供一整套的气体、化学品综合服务；部分腔体部件清洗已经通过用户

端验证并稳步上量。2025年度，公司来自电子材料领域的收入达2.69亿元，较上年同期实现显著增长。

（二）筑牢内控根基，提升治理效能

公司始终将合规经营与稳健发展置于首位。报告期内，公司持续推进治理机制建设，根据《中华人民共和国公司法》《上市公司章程指引》和证监会《关于新配套制度规则实施相关过渡期安排》，结合公司的实际情况及需求，公司不再设置监事会，监事会的职权由董事会审计委员会行使，并废止了《监事会议事规则》，同步修订了公司多项制度。公司密切关注国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》、中国证监会《上市公司治理准则》等相关法律法规，全面强化内部控制体系建设，持续提升公司治理水平，积极响应监管部门“提高上市公司质量”的要求，推动公司高质量发展。报告期内，公司主动开展了公司内部自查，对可能存在的风险环节与薄弱点进行了专项排查。对于发现的问题，我们不回避、不隐瞒，报告期内，通过主动自查、自觉纠偏进行了会计差错更正，并从制度、流程、执行与监督等多个层面推动优化完善。公司坚决落实持续改进的机制，进一步筑牢公司合规运作的根基，提升风险防范能力，切实保护投资者合法权益，为公司长期健康、高质量的发展奠定更加坚实的基础。

在治理结构层面，公司持续完善内部管理制度与流程规范，强化合规管理与

2/7风险预警机制，确保各项经营活动在可控范围内稳步推进。公司注重以制度化的

方式提升治理水平，通过优化决策流程、加强过程监督、完善信息披露等手段，切实保护投资者合法权益。

（三）旗下精密气体融资，引进资本聚势启新报告期内，公司控股子公司上海至纯精密气体有限公司（以下简称"至纯精密气体"）通过多轮融资引入梅塞尔中国、西海产投、正和共创、浙江国创、浦

东智能智造基金、尚颀基金等优质投资者，以资本赋能加速电子大宗气体业务的产业化进程，累计获得融资6.25亿元，注册资本由1.38亿元增至1.67亿元。

此次融资引入了全球工业气体巨头梅塞尔集团旗下的梅塞尔中国作为战略投资者，其不仅出资5000万元，还与公司达成了战略合作协议，将在电子气体核心技术、全球供应链管理等方面输出成熟经验，尤其在气源保障如氦气等方面加强了能力，与公司的本土化服务能力、技术落地优势形成互补。资本的注入将显著增强至纯精密气体的资金实力，为其承接更多大型项目、深化技术研发、加速产能扩张提供坚实保障。公司正以"资本+产业"的双轮驱动模式，加速抢占电子大宗气体这一核心赛道，为国内晶圆厂提供更高纯度、更稳定、更具性价比的气体供应服务，进一步巩固公司在半导体关键材料领域的市场地位。

一、2025年董事会工作回顾

公司第五届董事会由3名董事和2名独立董事组成。

（一）2025年度，董事会共召开6次会议，具体情况如下：

1、2025年2月27日，公司召开第五届董事会第十一次会议，审议通过了

《关于公司符合发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金条件的议案》《关于公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金构成关联交易的议案》《关于本次交易预计不构成重大资产重组且不构成重组上市的议案》等16项议案；

2、2025年4月27日，公司召开第五届董事会第十二次会议，审议通过了

《关于2024年年度报告及其摘要的议案》《关于2024年度总经理工作报告的议案》《关于2024年度董事会工作报告的议案》等23项议案；

3、2025年8月28日，公司召开第五届董事会第十三次会议，审议通过了

《2025年半年度报告及其摘要》《2025年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》《关于调整限制性股票回购价格的议案》等6项议案；

3/74、2025年10月15日，公司召开第五届董事会第十四次会议，审议通过了

《关于拟发行短期融资券的议案》《关于提请召开2025年第一次临时股东会的议案》；

5、2025年10月30日，公司召开第五届董事会第十五次会议，审议通过了

《2025年第三季度报告》《关于变更审计委员会委员的议案》《关于变更注册资本、取消监事会并修订公司章程及相关制度的议案》等7项议案；

6、2025年12月16日，公司召开第五届董事会第十六次会议，审议通过了

《关于子公司增资扩股并引入投资者暨放弃优先认购权的议案》《关于修订<公司章程>的议案》。

（二）2025年度，公司共召开3次股东会，其中年度股东大会1次，临时

股东会2次，具体情况如下：

1、2025年6月16日，公司召开2024年年度股东大会，审议通过《关于2024年年度报告及其摘要的议案》《关于2024年度董事会工作报告的议案》《关于2024年度监事会工作报告的议案》等6项议案；

2、2025年10月31日，公司召开2025年第一次临时股东会，审议通过《关于拟发行短期融资券的议案》；

3、2025年11月18日，公司召开2025年第二次临时股东会，审议通过《关于变更注册资本、取消监事会并修订公司章程及相关制度的议案》《关于变更会计师事务所的议案》。

（三）董事和高级管理人员的履职评价情况

公司严格按照监管要求、《公司章程》及相关工作制度，组织公司董事、高级管理人员年度绩效与履职评价，推动董事会整体运作质量提升。

公司非独立董事：公司围绕履职情况（科学决策、优化治理、推动发展、忠实履职、勤勉敬业）及合规廉洁情况等维度，对非独立董事开展综合考核评价。

公司独立董事：通过自评与互评相结合的方式，重点从忠实与勤勉义务履行、专业知识提升、职业道德遵循、信息披露监督、外部评价及整改监督等方面进行系统审视与综合评判。

公司高级管理人员：考核评价依据公平、责权利统一、长远发展、激励与约

束并重、业绩联动的原则，围绕经营发展指标、重点工作任务等内容构建考核指

4/7标体系，开展综合评定。

经考核，2025年度在公司任职的董事、高级管理人员均勤勉尽责，较好完成了各项重点工作。

（四）董事和高级管理人员报酬情况2025年度，公司董事及高级管理人员2025年度的报酬情况详见公司《2025年年度报告》。

（五）监事会改革事项公司于2025年10月30日召开第五届董事会第十五次会议审议通过《关于变更注册资本、取消监事会并修订公司章程及相关制度的议案》，同意公司取消监事会，由董事会审计委员会行使《中华人民共和国公司法》规定的监事会的职权。该事项经2025年第二次临时股东会审议通过后正式取消监事会，公司同步修订了《公司章程》《审计委员会实施细则》等相关配套制度，构建了更为精简高效的治理架构。

二、2026年工作计划

2026年，公司将在延续"关注核心工艺，服务关键制程"战略定位的基础上，

进一步将资源聚焦于集成电路核心主业，以更加审慎而坚定的经营策略应对复杂多变的外部环境。公司管理层判断，国际地缘动荡仍将是影响全球半导体产业链平稳运行的不可回避因素，国内集成电路产业在先进制程领域将继续面临来自外部的技术限制与供应壁垒。与此同时，人工智能算力需求的爆发式增长正深刻重塑半导体产业的底层逻辑——算力提升对先进制程产能的迫切需求已成为产业

各方的战略共识，这为具备技术储备和国产替代能力的本土设备与材料企业创造了关键的历史性窗口。

在上述背景下，公司2026年度的经营目标为：新增订单区间45至55亿元，其中制程设备订单目标区间为8至12亿元。年度重点任务聚焦三大方向：一是推动高阶清洗设备的批量放量，实现从客户验证向规模化交付的关键跃迁；二是全面加强应收账款回收与经营性现金流管理，改善财务结构的健康度；三是推进存量资产提效，提升资源配置效率与投入产出比。2025年度公司新增订单仅25.34亿元，也是在供应链扰动和用户进度放缓背景下的近几年最低水位。公司有信心在2026年重新回到增长通道。2026年一季度订单19.77亿是一个良好的开端。

5/7围绕上述目标和任务，公司2026年度将重点推进以下七项经营管理举措：

第一，强化以客户为中心的导向，以客户需求牵引产品研发制造，优化产品

的交付和服务体系，加强各制程设备业务覆盖的深度与广度，推进先进制程工艺验证并在重点客户处实现放量。当前，湿法清洗设备的中高阶市场仍由日本供应商占据主导地位，而地缘政治风险加剧了供应链的潜在风险。公司将以全面替代日系各工艺湿法设备为战略目标，集中力量突破高阶机型在量产稳定性、工艺一致性和产能效率方面的最后瓶颈。2026年，公司将加强销售、研发、生产、交付、服务等职能的高效协同，紧紧围绕客户需求，优先保障高温硫酸（SPM）、FIN ETCH、单片磷酸等已获验证机台的批量交付，同时加速推进下一代高阶平台的客户导入进程，在重点客户处实现从"验证通过"到"批量订单"的关键跨越，并以此为标杆开拓更广泛的客户群体。

第二，继续加强制程设备本土供应链的建设，确保业务连续性能力和盈利能力的同步提升。在地缘政治不确定性持续的背景下，关键零部件和核心原材料的自主可控已从战略选项转变为经营必需。2026年，公司推进更多关键零部件的国产化替代验证，通过供应链在地化，公司不仅能够提升交付的确定性和响应速度，更能够从成本端改善业务的毛利率水平，增强盈利韧性。

第三，加速布局电子材料及核心零部件业务，提升运营期经常性收入的贡献占比。电子大宗气体和关键零部件供应是晶圆厂进入稳定运营期后需求最稳定、合作最长期的业务板块。2026年，公司将依托精密气体的资本优势和已建成的两座完全国产化大宗气站的运营经验，积极争取新建晶圆厂项目的气体供应合约，扩大在存量客户处的产品和服务矩阵的合作机会。同时，公司密切关注氦气等关键资源的市场供需变化，积极参与保障产业链的稳定运行。

第四，强化盈利和现金流导向，优化资源配置，加强现金回收能力，改善

经营性现金流状况。经过前期高强度的研发投入、产能建设和长交期备库，公司经营性现金流在报告期内承受了较大压力。2026年，管理层将资源配置的优先级向核心业务和现金回报明确的领域倾斜，审慎评估新增资本开支项目的投入产出周期。在回款管理方面，公司将在维持与核心客户战略合作关系的前提下，加强应收账款的全过程管理，加大回款与业绩挂钩的考核力度，缩短回款周期，提升资金周转效率，为企业的稳健运营提供更充裕的流动性保障。

6/7第五，加强人才梯队建设，优化薪酬与激励体系。半导体设备与材料行业是

典型的人才密集型产业，核心技术人才和管理人才的获取与保留直接关系到企业的长期竞争力。2026年，公司将进一步加大国内外优秀技术人才的引进力度。

同时，公司将持续优化薪酬结构和长效激励机制，完善与业绩贡献、技术突破紧密挂钩的激励体系，稳定核心团队，构筑业务能力突出、知识年龄结构合理的人才梯队。

第六，积极推进管理变革，优化治理和组织体系，为公司长期发展奠定良好基础。公司已着手开展管理变革，将进一步完善决策、执行、评价、考核、激励的各项机制，通过战略聚焦、组织优化、精细运营等方面的系统性变革，提高从战略到执行的效率，增强组织的活力，发挥全体员工的积极性和创造力，践行“力出一孔、利出一孔”，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展。通过管理的不断变革，公司将努力适应不断变化的外部市场环境，为股东创造可持续的长期价值。

第七，防范产业风险，加强业务的抗风险能力。2026年，外部环境的不确

定性仍将持续存在，包括国际贸易政策变化、下游晶圆厂扩产节奏波动、技术封锁范围扩大等潜在风险因素。公司将持续完善风险识别、评估与应对机制，在地化供应链培育、客户结构多元化、在手订单结构优化、合规管理体系建设等方面

前置部署，提升企业在面对突发外部冲击时的快速响应与恢复能力，确保经营活动的连续性与稳定性。

在组织治理与管理体系层面，2026 年公司将持续围绕 GPI（Growth增长、Profit盈利、Innovation创新）核心目标，从公司治理、经营和管理的层面做好系统建设工作。公司将完善与优化组织架构，健全内控管理体系，以用户为中心优化业务流程和资源配置，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展。通过制度化、流程化的管理手段，公司将努力适应不断变化的外部市场环境，为股东创造可持续的长期价值。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2026年4月