上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025年年度募集资金存放与实际使用情况的

专项报告

根据中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及相关格式指引等规定，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“本公司”）编制的2025年度募

集资金存放与实际使用情况的专项报告如下：

一、募集资金基本情况2020年11月12日经中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过78005377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47749661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1374712740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20184669.49元后，募集资金净额为人民币1354528070.70元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2020）第8380号]。

截至2025年12月31日，本公司募集资金使用及结存情况如下：

募集资金基本情况表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额1374712740.19

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用19000000.00

1二、募集资金净额1355712740.19

减：

以前年度已使用金额1354165513.87

本年度使用金额214778091.00

暂时补流金额80000000.00

现金管理金额-

银行手续费支出及汇兑损益434.80

加：

募集资金利息收入1879.00

其他-归还暂时补流金额293500000.00

三、报告期期末募集资金余额270579.52

注：以前年度已使用金额包括截至2024年末临时补充流动资金、其他发行费用、累计利息及手续费净额等。

二、募集资金管理情况

（一）募集资金的管理情况

为规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者利益，本公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则（2025年4月修订）》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2025年5月修订）》等有关法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》（以下简称《管理办法》）。根据《管理办法》，本公司对募集资金采用专户存储制度，在银行设立募集资金专户，并连同保荐机构国泰君安证券股份有限公司分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确了各方的权利和义务。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，本公司在使用募集资金时已经严格遵照履行，以便于募集资金的管理和使用以及对其使用情况进行监督，保证专款专用。

(二)募集资金的专户存储情况

截至2025年12月31日，本公司开立的六个募集资金专户存储情况如下：

2募集资金存储情况表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态上海至纯洁

净系统科技兴业银行上海市南216350100100120053-已注销股份有限公支行司江苏启微半杭州银行股份有限

导体设备有3101040160001981296-已注销公司上海分行限公司合肥至微半兴业银行股份有限

导体有限公216350100100120688-已注销公司上海市南支行司天津至汇光上海农村商业银行

电技术有限股份有限公司张江50131000832243490-已注销公司科技支行上海至纯洁

净系统科技兴业银行上海卢湾216120100100259971（注1）270579.52使用中股份有限公支行司上海农村商业银行天津科谱技

股份有限公司张江50131000831666234-已出售（注2）术有限公司

科技支行-科谱天津注1：公司于2023年12月25日召开2023年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为216120100100259971。

注2：公司于2022年4月12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由天津波汇、

科谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。

变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天津波汇账户中。科谱半导体后续已于2022年12月完成出售。

三、本年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

报告期内，募集资金承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表1。

（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况

3报告期内，公司未进行募集资金投资项目先期投入及置换。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况闲置募集资金临时补充流动资金明细表

单位：人民币元发行名称2020年非公开发行股票募集资金到账时间2020年12月23日临时补充流动临时补充流动计划补充流动董事会审议通归还募集资金日归还募集资金资金金额资金起始日期资金时长过日期期金额

290000000.002024/10/29一年2024/10/292025/10/28290000000.00

80000000.002025/10/30一年2025/10/302025/12/163500000.00

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司不存在用闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品的情况。

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。

（七）节余募集资金使用情况公司不存在节余募集资金使用情况。

（八）募集资金使用的其他情况无

四、变更募投项目的资金使用情况

2023年12月7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将

募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心

4零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表2。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已按《上市公司募集资金监管规则》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、准确、完整

地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。

六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见至纯科技公司管理层编制的《关于2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面符合《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作(2025年5月修订)》及相关格式指引的规定，公允反映了至纯科技2025年度募集资金实际存放、管理与实际使用情况。

七、保荐人或独立财务顾问对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见

经查阅公司募集资金管理使用制度、募集资金专户银行对账单和募集资金使

用明细账，对大额募集资金支付进行凭证抽查，依据公司年审会计师出具的募集资金存放、管理与使用情况鉴证报告，保荐机构认为，公司2025年度募集资金存放和使用情况总体符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司2025年度募集资金存放和使用情况无异议。

5附表1：募集资金使用情况对照表（2020年非公开发行股票）

附表2：变更募集资金投资项目情况表上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2026年4月28日

6附表1：

募集资金使用情况对照表

（2020年非公开发行股票）

单位：人民币万元

募集资金总额135571.27本年度投入募集资金总额21477.81

变更用途的募集资金总额36202.88

已累计投入募集资金总额128075.01

变更用途的募集资金总额比例26.70%是否已变更项截至期末累计投入金额与承项目达到预定项目可行性是募集资金承调整后截至期末承诺本年度投截至期末累计投截至期末投入进度本年度实是否达到预

承诺投资项目目，含部分变诺投资总额投资总额投入金额(1)入金额入金额(2)诺投入金额的差额(3)＝%(4)(2)/(1)可使用状态日否发生重大变（）＝现的效益计效益更（如有）(2)-(1)期化半导体湿法清洗

否25500.0025500.0019859.84-19859.840100.002024年（注5）否否设备扩产项目

半导体晶圆再生2293.2159000.00（注4）2293.212293.21100.00（注4）（注4）（注4）是二期项目单片湿法工艺模是

组、核心零部件

36202.8836202.8821477.8128533.42-7669.4678.822026年11月不适用不适用否

研发及产业化项目光电子材料及器

件制造基地建设否46000.0031000.0028080.88-28080.880100.002024年12月590.93否否项目补充流动资金或

—55500.0040600.0040600.00-40461.01-138.9999.66不适用不适用否偿还债务

剩余募集资金永8846.65

—不适用不适用--

久补充流动资金（注6）

135596.09-7808.4593.85

合计—186000.007127036.8121477.81128075.01———（注）（注8）（注8）

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用

2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总体市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在项目可行性发生重大变化的情况说明投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

7募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况详见本报告三（三）之说明

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况不适用用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用

“半导体湿法清洗设备扩产项目”产生节余募集资金5746.98万元，主要因公司在设备采购过程中，积极通过采购比价、供应链管理等手段有效地控制成本，“设备购置及安装”项目实际投入比计划节约超过20%。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

“光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3095.77万元，主要系1、公司在项目实施过程中严格按照募集资金使用的有关规定，从项目的募集资金结余的金额及形成原因

实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎地使用募集资金，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，对各项资源进行合理调度和优化配置，降低项目建设成本和费用；2、由于部分项目工程及设备支付周期较长，部分验收款、质保金等款项尚未达到支付条件；3、募集资金存放期间产生了一定的利息收入。具体内容详见公司2024年12月6日披露于上海证券交易所网站的《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》（公告编号：2024-116）。

募集资金其他使用情况不适用

注1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及剩余募集资金永久补充流动资金金额。

注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。

注3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

注4：2023年12月7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。

注5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。

注6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。

注7：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额135571.27万元的差异为利息收入所致。

注8：不考虑剩余募集资金永久补流金额8846.65万元的影响。

8附表2：

变更募集资金投资项目情况表

单位：人民币万元变更后项目变更后的项目

截至期末计划累本年度实际实际累计投投资进度（%）项目达到预定可本年度实是否达到

变更后的项目对应的原项目拟投入募集(1)(2)(3)=(2)/(1)可行性是否发计投资金额投入金额入金额使用状态日期现的效益预计效益资金总额生重大变化单片湿法工艺

模组、核心零部半导体晶圆再36202.8836202.8821477.8128533.4278.822026年11月不适用不适用否件研发及产业生二期项目化项目

合计—36202.8836202.8821477.8128533.42————

2021年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总体

市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且变更原因、决策程序及信息披露情况说明（分具审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二体募投项目）期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。

未达到计划进度的情况和原因（分具体募投项目）不适用变更后的项目可行性发生重大变化的情况说明不适用

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