证券代码：603690证券简称：至纯科技公告编号：2026-020

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于2026年度“提质增效重回报”行动方案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗

漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为贯彻国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，推动公司高质量发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）制定了2026年度“提质增效重回报”行动方案。具体方案如下：

一、聚焦主业提质增效，加快发展新质生产力

公司业务目前80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，经过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2025年，公司单片式湿法清洗设备 S300经认定获得“专利密集型产品认定证书”；公司12英寸集成电路单片式高温硫酸清洗设备质量攻关项目经评定，获上海市重点产品质量攻关成果二等奖；公司12英寸集成电路单片式清洗设备成功入选2025年度长三角区域创新产品应用示范案例；合肥至微半导体荣获合肥

市“无废工厂”称号；经上海市经济和信息化委员会评选，公司入选“2024年上海市制造业单项冠军企业”；经上海市集成电路行业协会评定，公司位列上海市集成电路设备业（本土）销售前五名；公司还荣获上海市产业技术创新促进会

颁发的“上海硬核科技企业 TOP100（知识产权榜 TOP50）”、上海市知识产权局

1/6颁发的“高价值专利培育中心”荣誉称号。

公司作为高新技术企业并担任上海产业技术创新促进会理事单位，始终秉持创新发展的战略核心，一直以来积极主动地在经营战略、工艺、技术、产品、组织等方面不断进行创新。目前，公司及子公司已有九家企业获得“高新技术企业”认定，其中八家同时也是省市级“专精特新”企业，两家同时也是国家级专精特新“小巨人”企业。

2026年，公司将在延续“关注核心工艺，服务关键制程”战略定位的基础上，

进一步将资源聚焦于集成电路核心主业，以更加审慎而坚定的经营策略应对复杂多变的外部环境。公司管理层判断，国际地缘动荡仍将是影响全球半导体产业链平稳运行的不可回避因素，国内集成电路产业在先进制程领域将继续面临来自外部的技术限制与供应壁垒。与此同时，人工智能算力需求的爆发式增长正深刻重塑半导体产业的底层逻辑——算力提升对先进制程产能的迫切需求已成为产业各

方的战略共识，这为具备技术储备和国产替代能力的本土设备与材料企业创造了关键的历史性窗口。

在上述背景下，公司2026年度的经营目标为：新增订单区间45至55亿元，其中制程设备订单目标区间为8至12亿元。年度重点任务聚焦三大方向：一是推动高阶清洗设备的批量放量，实现从客户验证向规模化交付的关键跃迁；二是全面加强应收账款回收与经营性现金流管理，改善财务结构的健康度；三是推进存量资产提效，提升资源配置效率与投入产出比。2025年度公司新增订单仅25.34亿元，也是在供应链扰动和用户进度放缓背景下的近几年最低水位。公司有信心在2026年重新回到增长通道。2026年一季度订单19.77亿是一个良好的开端。

围绕上述目标和任务，公司2026年度将重点推进以下七项经营管理举措：

第一，强化以客户为中心的导向，以客户需求牵引产品研发制造，优化产品

的交付和服务体系，加强各制程设备业务覆盖的深度与广度，推进先进制程工艺验证并在重点客户处实现放量。当前，湿法清洗设备的中高阶市场仍由日本供应商占据主导地位，而地缘政治风险加剧了供应链的潜在风险。公司将以全面替代日系各工艺湿法设备为战略目标，集中力量突破高阶机型在量产稳定性、工艺一致性和产能效率方面的最后瓶颈。2026年，公司将加强销售、研发、生产、交付、

2 / 6服务等职能的高效协同，紧紧围绕客户需求，优先保障高温硫酸（SPM）、FIN ETCH、单片磷酸等已获验证机台的批量交付，同时加速推进下一代高阶平台的客户导入进程，在重点客户处实现从"验证通过"到"批量订单"的关键跨越，并以此为标杆开拓更广泛的客户群体。

第二，继续加强制程设备本土供应链的建设，确保业务连续性能力和盈利能力的同步提升。在地缘政治不确定性持续的背景下，关键零部件和核心原材料的自主可控已从战略选项转变为经营必需。2026年，公司推进更多关键零部件的国产化替代验证，通过供应链在地化，公司不仅能够提升交付的确定性和响应速度，更能够从成本端改善业务的毛利率水平，增强盈利韧性。

第三，加速布局电子材料及核心零部件业务，提升运营期经常性收入的贡献占比。电子大宗气体和关键零部件供应是晶圆厂进入稳定运营期后需求最稳定、合作最长期的业务板块。2026年，公司将依托精密气体的资本优势和已建成的两座完全国产化大宗气站的运营经验，积极争取新建晶圆厂项目的气体供应合约，扩大在存量客户处的产品和服务矩阵的合作机会。同时，公司密切关注氦气等关键资源的市场供需变化，积极参与保障产业链的稳定运行。

第四，强化盈利和现金流导向，优化资源配置，加强现金回收能力，改善经

营性现金流状况。经过前期高强度的研发投入、产能建设和长交期备库，公司经营性现金流在报告期内承受了较大压力。2026年，管理层将资源配置的优先级向核心业务和现金回报明确的领域倾斜，审慎评估新增资本开支项目的投入产出周期。在回款管理方面，公司将在维持与核心客户战略合作关系的前提下，加强应收账款的全过程管理，加大回款与业绩挂钩的考核力度，缩短回款周期，提升资金周转效率，为企业的稳健运营提供更充裕的流动性保障。

第五，加强人才梯队建设，优化薪酬与激励体系。半导体设备与材料行业是

典型的人才密集型产业，核心技术人才和管理人才的获取与保留直接关系到企业的长期竞争力。2026年，公司将进一步加大国内外优秀技术人才的引进力度。同时，公司将持续优化薪酬结构和长效激励机制，完善与业绩贡献、技术突破紧密挂钩的激励体系，稳定核心团队，构筑业务能力突出、知识年龄结构合理的人才梯队。

3/6第六，积极推进管理变革，优化治理和组织体系，为公司长期发展奠定良好基础。公司已着手开展管理变革，将进一步完善决策、执行、评价、考核、激励的各项机制，通过战略聚焦、组织优化、精细运营等方面的系统性变革，提高从战略到执行的效率，增强组织的活力，发挥全体员工的积极性和创造力，践行“力出一孔、利出一孔”，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展。通过管理的不断变革，公司将努力适应不断变化的外部市场环境，为股东创造可持续的长期价值。

第七，防范产业风险，加强业务的抗风险能力。2026年，外部环境的不确定

性仍将持续存在，包括国际贸易政策变化、下游晶圆厂扩产节奏波动、技术封锁范围扩大等潜在风险因素。公司将持续完善风险识别、评估与应对机制，在地化供应链培育、客户结构多元化、在手订单结构优化、合规管理体系建设等方面前置部署，提升企业在面对突发外部冲击时的快速响应与恢复能力，确保经营活动的连续性与稳定性。

在组织治理与管理体系层面，2026年公司将持续围绕GP（I Growth增长、Profit盈利、Innovation 创新）核心目标，从公司治理、经营和管理的层面做好系统建设工作。公司将完善与优化组织架构，健全内控管理体系，以用户为中心优化业务流程和资源配置，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展。通过制度化、流程化的管理手段，公司将努力适应不断变化的外部市场环境，为股东创造可持续的长期价值。

二、坚持规范运作，持续完善公司治理

2025年，公司持续推进治理机制建设，根据《中华人民共和国公司法》《上市公司章程指引》和证监会《关于新配套制度规则实施相关过渡期安排》，结合公司的实际情况及需求，公司不再设置监事会，监事会的职权由董事会审计委员会行使，并废止了《监事会议事规则》，同步修订了《公司章程》《股东会议事规则》《董事会议事规则》《审计委员会实施细则》《独立董事工作制度》《董事及高级管理人员薪酬管理制度》等29项公司制度，新增了《舆情管理制度》《市值管理制度》《独立董事专门会议制度》《董事、高级管理人员离职管理制度》等7

项制度；强化独立董事履职保障，落实独立董事相关工作要求，充分发挥独立董

4/6事作用；推动董事、高级管理人员积极履职尽责，通过积极参加培训等方式持续

学习资本市场相关法律法规，了解监管动态，不断强化自律和合规意识。

2026年，公司将继续严格遵守法律法规要求，跟踪落实中国证监会、上海

证券交易所发布的上市公司监管要求，结合公司实际，持续完善内部制度体系建设，确保公司规范运作。进一步强化董事会建设，完善治理结构，优化董事会专门委员会运作机制，强化独立董事履职保障，充分发挥独立董事的专业性、独立性。不断提升 ESG管理水平，进一步探索 ESG可持续发展实践，全面提高公司抗风险能力。

三、聚焦“关键少数”，强化履职责任

公司持续强化控股股东、实际控制人、董事及高级管理人员等“关键少数”

的履职意识与责任担当，推动规范运作理念落地生根。通过专题培训、监管政策解读、典型案例分享等方式，督促“关键少数”持续学习证券市场及行业法律法规，提升规范履职能力，确保重大决策合法合规。

未来，公司将进一步压实“关键少数”责任，完善常态化、系统化培训机制，积极组织其持续参与资本市场各类专题培训，及时传达最新监管精神。同时，引导经营层聚焦主营业务提质增效，推动战略执行与经营目标深度协同，并逐步探索与长期发展相适配的激励约束机制，促进公司长期价值稳步提升。

四、重视投资者利益，践行投资者回报

公司高度重视投资者回报，致力于以良好的经营业绩为股东创造持续稳定的投资回报，坚持稳定、持续、科学的分红理念与投资者分享经营发展成果。

自2017年上市以来，累计现金分红2.34亿元，同时公司积极实施股份回购，截至2025年末，公司已实施4轮股份回购计划，累计使用自有资金2.14亿元回购公司股份777.714万股，进一步提振市场信心，维护公司投资价值。

未来，公司将在稳健经营的前提下，综合考虑所处行业情况、发展阶段、现金流情况和未来资金需求等因素，兼顾股东的短期利益和长远利益，制定科学、合理、稳定的利润分配方案，以确保利润分配政策的连续性和稳定性，给投资者带来长期持续的回报。

五、提升信息披露质量，加强与投资者沟通

5/6公司始终秉持严谨、稳重的态度，严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《上海证券交易所股票上市规则》等相关法律法规和规

范性文件，确保披露信息的真实、准确、完整，信息披露的及时性和公平性。公司亦致力于提升信息披露的易读性和有效性，以便投资者能够更便捷地了解公司的经营情况，从而增强公司的信息透明度。

2026年，公司将继续紧密围绕投资者需求，结合行业特性，不断对信息披

露内容进行优化，以确保高质量地推进信息披露相关工作。同时，公司将继续通过股东会、投资者邮箱、上证 e互动平台、投资者热线等多种渠道，加强与投资者的双向沟通交流。此外，公司还将继续常态化地召开业绩说明会，并积极参与由上海证券交易所等组织的集体活动，以便投资者能够更全面地了解公司的战略规划、经营业绩以及所处的行业环境、竞争格局等信息，从而进一步促进公司与投资者之间建立长期、稳定的信赖关系。

本次行动方案系结合公司当前实际情况制定的初步规划，旨在向投资者传递公司提升发展质量、回报股东的决心与方向，不构成对投资者的实质性承诺。方案实施过程中可能受到宏观经济形势、行业政策调整、市场环境变化等不确定因素影响，敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2026年4月30日