证券代码：603690证券简称：至纯科技公告编号：2025-043

上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于

2024年度“提质增效重回报”行动方案评估报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗

漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为贯彻《国务院关于加强监管防范风险推动资本市场高质量发展的若干意见》（国发〔2024〕10号），落实中国证监会《上市公司监管指引第10号——市值管理》要求，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，推动公司高质量发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2024年7月18日在上海证券交易所网站披露了2024年度“提质增效重回报”行动方案（以下简称“行动方案”）。

自行动方案发布以来，公司积极开展和落实相关工作。现将行动方案的实施进展及评估情况报告如下：

一、聚焦经营主业，持续提升核心竞争力

2024年，公司业务目前80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，

在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司这些核心业务的布局，围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，通过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2024年公司新增订单总额为55.77亿元，其中5年以上长期订单总额为1.17亿元。在除去大宗气站、TGM、TCM 等电子材料及专项服务的长交期订单的影响后，2024年新签订单与2023年相比实现了17.88%的增长。2024年新增订单中来自集成电路行业的订单额占比达84.55%，其中服务于12英寸集成电路客户占

1/4比达88.46%，且主要为产业的一线用户，包括中芯国际、华虹公司、上海华力、长鑫科技、长江存储、北电集成、燕东微、士兰微、润鹏半导体、H系等。

报告期内，公司实现收入36.05亿元，较去年同期增长14.40%，息税折旧及摊销前利润（EBITDA）3.86 亿元。公司收入中泛半导体占比 95.41%，集成电路占总收入的比重为85.98%，集成电路中用户为12寸晶圆厂的占比83.77%。报告期内公司的经营性现金流得到改善。近年现金流为负主要系叠加了研发高投入、长交期规模备货、在地化供应链建设、业务十倍级别扩大、不同用户不同工艺验

机等现金流高流出。随着公司产品逐渐通过验证并形成批量销售、持续的在地化供应链建设取得成效，最大的平台级别的研发高投入趋缓，电子材料类现金流业务占比提升，未来公司经营性现金流将持续得到改善。

二、加大研发投入，强化技术储备优势

公司积累了深厚的技术储备，始终沿着国内先进制造业的发展方向，持续高水平的研发投入，追踪最新的技术趋势和客户需求进行产品开发和优化。

系统集成及支持设备方面，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，公司工艺水平已能够实现 ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势。

制程设备方面，公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本。公司12英寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆高端清洗设备市场的竞争，公司高阶湿法设备多工艺已通过验证并交付，是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，在更先进节点也取得部分工艺订单。

电子材料和零部件方面，公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，能够为用户提供至少15年的高纯大宗气体供应，目前公司已经建成两座国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂，并且为客户提供服务。

2/4截至报告期末，集团累计申请专利845件（其中发明专利350件），已授权专

利577件（其中发明专利182件），软件著作权185件，注册商标152件。公司技术实力为公司的发展提供了坚实的后盾，是公司市场竞争力进一步提升的重要保障。

三、重视投资者利益，践行投资者回报

公司高度重视投资者回报，致力于以良好的经营业绩为股东创造持续稳定的投资回报，坚持稳定、持续、科学的分红理念与投资者分享经营发展成果。自2017年上市以来，累计现金分红2.15亿元，同时公司积极实施股份回购方案，截至2024年末，已累计使用自有资金11399.40万元回购公司股份395.326万股，进一步提振市场信心，维护公司投资价值。2024年度公司拟每10股派发现金红利0.5元（含税），合计拟派发现金红利1901.50万元（含税），利润分配方案以实际权益分派公告为准。

未来，公司将继续秉持以投资者为本的理念，牢固树立回报股东意识，积极提升投资者回报能力和水平。在充分考虑公司发展阶段、经营情况、盈利水平以及资本开支等因素的基础上，充分借鉴优秀上市公司实践，努力为股东提供合理回报。

四、提升信息披露质量，加强与投资者沟通

公司始终秉持严谨、稳重的态度，严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《上海证券交易所股票上市规则》等相关法律法规和规范性文件，确保披露信息的真实、准确、完整，信息披露的及时性和公平性。公司亦致力于提升信息披露的易读性和有效性，以便投资者能够更便捷地了解公司的经营情况，从而增强公司的信息透明度。

2024年，公司紧密围绕投资者需求，结合行业特性，对信息披露内容进行优化，以确保高质量地推进信息披露相关工作。同时，公司通过股东会、投资者邮箱、上证 e互动平台、投资者热线等多种渠道，加强与投资者的双向沟通交流。

2024年公司组织召开了2023年度业绩说明会暨分红说明会、2024年半年度暨第

三季度业绩说明会，以便投资者能够更全面地了解公司所处的行业环境、竞争格局、经营业绩及战略规划等信息，从而进一步促进公司与投资者之间建立长期、

3/4稳定的信赖关系。

五、坚持规范运作，持续提升治理水平

公司按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所股票上市规则》和中国证监会颁发的有关法规的规定，并结合公司实际情况，建立了由股东会、董事会、监事会和经理层组成的权责明确、相互制衡的公司治理架构。公司董事会设立了战略委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会，并制定了各项议事规则和管理制度。

公司高度重视独立董事监督职能，于2023年底修订了《独立董事工作制度》，并于2024年正式运行独立董事专门工作会议，保障独立董事参与公司治理和监督的权利。

2024年，公司共召开1次年度股东会、3次临时股东会，股东会审议议案均

获表决通过；组织召开了12次董事会，11次监事会，对定期报告、利润分配、股权激励、股份回购等多项重大事项作出科学决策。公司董事、监事、独立董事工作勤勉尽责，公司经理层等高级管理人员严格按照董事会授权忠实履行职责，较好地维护了公司利益，有效地保证了公司治理的规范运作。

未来，公司将持续推进与评估“提质增效重回报”行动相关工作，继续努力通过稳健的经营、规范的公司治理、积极的投资者回报，切实履行上市公司的责任和义务，推动公司高质量发展，共同促进资本市场持续平稳健康发展。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日