光刻机概念27日午后大幅走高，截至发稿，同益股份涨超17%，强力新材涨近15%，盘中一度涨停；波长光电、容大感光等涨超10%，冠石科技、东方嘉盛、张江高科等涨停，广信材料、清溢光电涨近8%。

消息面上，今日，广州开发区、广州市黄埔区发布促进集成电路产业发展办法，其中提出鼓励发展大硅片、光掩膜、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料，支持清洗设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、沉积设备、封装设备（划片机、减薄机、引线键合机、倒装键合机及贴片机等）、检测设备（测试机、探针台等）以及单晶生长炉、外延生长炉等设备、关键零部件及工具替代。

中航证券指出，半导体行业十年翻倍，晶圆厂积极扩产，叠加芯片性能升级，光刻强度上升，预计5nm逻辑芯片的光刻支出占比达35%，光刻工艺的重要性愈发凸显，市场规模快速增长，预计2024年有望达230亿美元，ASML在高端市场一枝独秀。2022年中国大陆光刻机进口约40亿美元，主要从日本、荷兰进口，出口管制下光刻机存在断供隐忧，自主可控势在必行。依托举国之力，汇聚各科研院之所长，目前已有阶段性成果陆续落地。光刻机产业化渐近，零部件投资先行，经测算国内零部件市场空间约150亿元。