事件

公司2025 年第一季度实现营业收入22 亿元，同比增加35%，环比减少39%；归母净利润3 亿元，同比增加26%，环比减少55%；扣非净利3 亿元，同比增加13%，环比减少48%。

公司在2024 年实现营业收入91 亿元，同比增加45%；归母净利润16亿元，同比减少10%；扣非净利14 亿元，同比增加17%。

刻蚀设备增长迅速，LPCVD 实现收入突破

2024 年，公司刻蚀设备收入73 亿元，同比增长55%；MOCVD 设备收入4 亿元，同比下降18%；LPCVD 设备收入2 亿元，实现首台销售。

公司开发的12 寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5nm 及以下器件中若干关键步骤的加工。在3D NAND 芯片制造环节，公司的等离子体刻蚀设备已应用于128 层及以上的量产。

多年研发投入助力产品升级，一季度合同负债大幅增长2024 年，公司研发投入25 亿元，同比增长94%，研发费率16%，多年来保持在15%上下的水平。公司正在推进超过二十款新设备的开发，同时，新品研发速度明显加快，新设备开发时间从过去的3-5 年，缩短至2 年或更短。高研发投入取得成效，产品突破不断带来新订单增长。

一季度，公司合同负债31 亿元，同比大增162%，验证在手订单充沛。

投资建议

我们预计 2025-2027 年公司归母净利润分别为24.76、34.13、42.94亿元，对应的 EPS 分别为3.96、5.46、6.87 元，对应最新收盘价 PE分别为45x、33x、26x。维持公司“买入”评级。

风险提示

研发进度不及预期、产业竞争加剧、贸易摩擦加剧。