公司发布2025 年半年度业绩预告，预计2025 年半年度营业收入约49.61 亿元，同比增长约43.88%，预计2025 年半年度归母净利润为6.8 亿元到7.3 亿元，同比增加31.61%到41.28%。

先进逻辑和先进存储产线的刻蚀设备出货量快速增长，带来公司营收快速增长。

公司2025 年上半年刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81 亿元；LPCVD 薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99 亿元。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。

公司2025 年上半年归母净利润增速低于营收增速的原因主要是研发投入大幅增加。2025 年上半年公司研发投入约14.92 亿元，同比增加5.21 亿元（增长约53.70%），2025 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2025 年上半年研发费用11.16 亿元，较2024 年上半年增长约5.49 亿元（增长约96.65%）公司快速拓展新品类，积极构建平台型公司。公司新产品开发已经取得了显著成效，其中LPCVD 薄膜设备累计出货量已突破150 个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目的研发进程均比较顺利，有望尽快进入客户验证阶段。公司EPI 设备已进入客户端量产验证阶段。公司在Micro-LED 和高端显示领域的MOCVD 设备开发及客户验证上取得了良好进展，并正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备。

盈利预测、估值与评级：由于下游成熟制程芯片需求较弱，国内成熟逻辑产线建设进度低于先前预期，我们下调公司2025-2026 年归母净利润预测分别为21.07亿元（下调22%）、31.98 亿元（下调8%），新增2027 年归母净利润预测为41.93 亿元，对应的PE 值为60x、40x 和30x。公司是国内半导体刻蚀设备的领军企业，将持续受益于国产化带来的业绩增量，我们维持公司“买入”评级。

风险提示：技术与产品研发风险；贸易环境影响。