事件：

2025年8月28日 ，中微公司发布2025年半年度报告。2025H1，公司实现营收49.61 亿元（yoy+43.88%），归母净利润7.06 亿元（yoy+36.62%）。2025Q2，公司实现营收27.87 亿元（yoy+51.26%，qoq+28.25%），归母净利润3.93 亿元（yoy+46.82%，qoq+25.47%）。

点评：

营收延续高增态势，新品导入及高研发投入使盈利能力阶段性承压。公司主营业务涵盖刻蚀设备、薄膜设备及泛半导体设备，2025H1 营收高增，主要受既有产品迭代与新品外延驱动；毛利率39.86%（yoy-1.46pct）、归母净利率14.23%（yoy-0.76pct），小幅下滑系本期确认收入中含较多新导入产品，初期成本偏高，叠加大客户销售折扣所致。公司判断该影响为一次性，中长期毛利率有望维持40%以上。公司销售/管理/研发/财务费用率分别为3.85%/4.03%/22.50%/-0.64%，研发费用率同增6.04%，持续高研发投入战略。

刻蚀设备持续推出新品，ICP 订单首次反超CCP。刻蚀设备2025H1 实现营收37.81 亿元（yoy+约40%），累计装机量超4500 台，同比新增900+台，其中单/双反应台设备分别达约1200/3300 台。产品结构上，PrimoHD-RIEe（高精度高选择比单反应台）、Primo UD-RIE（超高深宽比）分别累计装机约120/200 台；同时，公司面向28nm 及以下工艺推出PrimoSD-RIE（可调节电极间距）、Primo Halona（晶边刻蚀）等产品。ICP 设备方面，公司研发团队为ICP 设备发明者，历经十年研发产品已在逻辑、DRAM、3D NAND 等领域实现规模化量产，累计装机1200 余台，且今年ICP 设备订单首次超过CCP，成长动能凸显。

薄膜设备矩阵加速落地，量测新业务开拓成长空间。薄膜设备方面，公司已在50 余种机型中规划约40 种的研发路径，预计未来3–5 年逐步落地，其中EPI 设备已运送产线，部分LPCVD（涵盖存储用三类钨沉积工艺）、ALD 设备（TiN、TiAl、TaN）已于客户产线稳定运行逾一年。25H1 公司LPCVD 设备销售同比大幅增长608.19%，充分验证产业化与客户导入能力。量测设备方面，公司通过设立超微公司切入电子束检测领域，把握先进制程及先进封装带来的新一轮产业机遇。

盈利预测与投资评级：我们预计公司2025/2026/2027 年归母净利润为22.56/31.63/43.05 亿元，对应PE 为59/42/31 倍，刻蚀优势夯实基本盘，薄膜与量测业务开辟新增量空间，维持“增持”评级。

风险提示：新品研发不及预期、下游需求不及预期、竞争格局恶化