中微公司发布2025 三季报，25Q3 公司收入31 亿元，同比+50.6%/环比+11.3%；归母净利润5.05 亿元，同比+27.5%/环比+28.6%。公司研发进度显著加快，90:1CCP 设备即将进入市场，薄膜沉积设备快速放量。维持“增持”投资评级。

2025 前三季度刻蚀和沉积设备收入快速增长，公司显著加大研发投入力度。

2025 前三季度公司实现收入80.63 亿元，同比+46.4%，其中刻蚀设备收入61.01 亿元，同比+38.26%，LPCVD 和ALD 等薄膜设备收入4.03 亿元，同比+1332.69%；归母净利润12.11 亿元，同比+32.66%；扣非净利润8.87 亿元，同比+9.05%；公司显著加大研发投入力度，2025 前三季度研发支出25.23亿元，同比+63.44%，研发支出占收入比例达31.29%。

25Q3 单季收入同比高增长，利润环比改善明显。25Q3 公司收入31 亿元，同比+50.6%/环比+11.3%；毛利率37.9%，同比-5.8pcts/环比-0.6pct；归母净利润5.05 亿元，同比+27.5%/环比+28.6%；扣非净利润3.48 亿元，同比+5.4%/环比+44.7%；扣非净利率11.2%，同比-4.8pcts/环比+2.6pcts。

先进逻辑和存储产线用高端刻蚀设备付运量显著提升，超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。CCP 方面，下一代90:1 超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场；ICP 方面，用于下一代逻辑和存储客户用ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展；先进逻辑和存储产线用LPCVD、ALD 等薄膜设备已经进入市场；硅和锗硅外延EPI 设备顺利付运客户端进行量产验证。

投资建议。25Q3 收入同比高增长，利润同比稳健增长，利润稳健增长，公司研发进度显著加快，90:1 CCP 设备即将进入市场，薄膜沉积设备快速放量。我们预计公司2025/2026/2027 年收入为119.3/151.2/185.0 亿元，预计归母净利润为20.5/29.5/38.9 亿元，对应PE 为90.5/63.0/47.8 倍，维持“增持”投资评级。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，晶圆厂产能利用率下滑的风险，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。