3Q25 营收超预期，国产半导体设备龙头增速保持强劲：3Q25 营收31.0 亿元（人民币，下同；同比增50.6%），超过我们之前预期。毛利率37.9%，我们认为主要因为新产品在爬坡前期或摊薄毛利率水平，管理层之前指引长期毛利率水平或在40%左右。3Q25 研发费用率21.8%，环比降1.5 个百分点，1-3Q25 研发费用率约为31.3%。我们认为公司收入主要由研发驱动，随着产品日益高端化，研发费用处于高水平或助公司持续推出新产品。

3Q25 归母净利润5.05 亿元，符合我们之前预期。

刻蚀产品继续拓展，薄膜沉积产品持续上线：3Q25 刻蚀设备收入23.2 亿元，同比增长35.3%。管理层提到90：1 超高深宽CCP 即将进入市场，我们在之前报告中深挖超高深宽比设备在先进存储器件和逻辑电路制造中的重要作用，并认为中微产品或接近世界先进水平。我们认为公司ICP 产品营收潜力或进一步释放，并维持ICP 收入2026 年超过CCP 产品的预测。我们测算3Q25 薄膜沉积产品收入或在2.04 亿元左右（现在主要是LPCVD 和ALD 产品）。公司称其硅和锗硅外延EPI 设备已顺利运付客户端进行量产验证。2024 年末薄膜沉积在手订单4.76 亿元，1-3Q25 实现薄膜沉积收入4.03 亿元，我们上调2025 全年薄膜沉积收入到6.30 亿元（前值4.98 亿元）。我们认为包括以上产品在内的薄膜沉积设备陆续投放市场，ICP 放量和90：1 CCP 刻蚀设备进入市场或是公司业绩增长的重要驱动。

上调目标价：我们之前上调了中国内地半导体设备2025 全年市场规模至520 亿美元（同比增长5%），我们认为国产半导体设备公司业绩高增长的趋势或超之前市场预期。我们上调中微公司2025/26/27 年营收预测到124.3/160.7/192.1 亿元（前值123.0/159.3/190.1 亿元）。我们预测之后公司毛利率温和回升到40%左右，并预测归母净利润19.4/32.4/40.2 亿元（前值20.9/30.6/38.2 亿元）。我们维持公司买入评级，上调目标价到325 元（前值280 元），对应2027 年50 倍市盈率。