事件

公司2025年第三季度实现营业总收入31亿元，同比增加51%，环比增加11%；归母净利润5亿元，同比增加28%，环比增加29%；扣非净利3亿元，同比增加5%，环比增加45%。

刻蚀基本盘稳固，薄膜新品爆发增长

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，前三季度，公司刻蚀设备实现收入约61亿元，同比增长38%。薄膜设备迎来爆发期，LPCVD、ALD等新产品顺利放量，前三季度收入约4亿元，同比激增超1300%。此外，硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证，公司半导体设备布局持续完善。

研发加码驱动创新提速，平台化战略加速落地公司坚持高强度研发策略，前三季度研发支出约25亿元，同比大幅增长63%，占营收比例高达31%。公司研发效率大幅提升，新设备开发周期已大幅缩短至2年以内。目前公司在研项目涵盖6类设备、超20款新品。随着先进逻辑和存储关键工艺的高端产品付运提升，公司正加速向平台型设备公司迈进。

投资建议

我们预计 2025-2027年公司归母净利润分别为24.76、34.09、42.90亿元，对应的 EPS 分别为3.95、5.44、6.85元，对应最新收盘价 PE分别为66x、48x、38x。维持公司“买入”评级。

风险提示

研发进度不及预期、产业竞争加剧、贸易摩擦加剧。