结论与建议：

公司交出靓丽季报，1Q26 营收增长3 成，扣非后净利润增长6 成，业绩弹性进一步显现。展望未来，公司逐步成为成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法+量检测”整体解决方案的关键跨越。其成长空间进一步打开。目前公司股价对应2028 年PE46 倍，维持买进的评级。

1Q26 净利润高速增长，利润弹性显现：2026 年第一季度公司实现营收29.1 亿元,YOY 增长34.1%;实现净利润9.3 亿元,YOY 增长197.2%,扣非后净利润4.8 亿元，YOY 增长60%，与净利润的差额源于出售拓荆科技股权录得4.7 亿元的投资收益，EPS1.48 元。1Q26 公司研发支出9.1 亿元，较去年同期增长约32%，研发费用率31.1%，推进六大类、超20 款新设备的研发，在保持了较高的研发强度的同时，公司利润释放加速，反应规模效应的提升。

2026 迎来半导体史诗性扩产，公司有望受益：2026 年，中国半导体设备市场在AI 算力爆发与国产化加速的双重驱动下，将呈现出前所未有的高景气度。特别是头部晶圆厂与存储大厂（长鑫、长存）高速扩产，资本开支有望超历史记录。将有助于设备企业获得更多订单，从而实现国产设备的“点状突破”向“链式突围”迈进。公司作为国内刻蚀设备龙头，正通过内生和外延方式进入设备产业链的其他领域，逐步成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺的平台型公司，从而在中国发展先进制程的过程中受益。

盈利预测：我们预计公司2026-28 年实现净利润29 亿元、39 亿元和47.6亿元，YOY 分别增长37%、35%和22%，EPS 分别为4.62 元、6.23 元和7.59 元，目前股价对应2026-28 年PE 分别为76 倍、57 倍和46 倍，考虑半导体设备本土化需求迫切，给予买进的评级。

风险提示：半导体设备需求下降。