事件

公司2026 年上半年实现营业收入66.91 亿元，同比增加35%；归母净利润28.25 亿元，同比增加300%；扣非净利润11.23 亿元，同比增加108%。

刻蚀高端产品持续放量，薄膜新品加速突破，扣非盈利显著提升公司上半年营收同比增长35%，主要得益于先进逻辑及存储关键刻蚀设备新增付运量显著提升，先进逻辑中段关键刻蚀与先进存储超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。

薄膜设备客户拓展持续推进，CVD、HAR 及ALD 钨系列产品通过关键存储及逻辑客户验证，并获得重复量产订单；ALD 金属栅系列产品通过多个先进逻辑客户验证，金属硅化物集成系统在先进逻辑及存储客户现场验证顺利推进。

盈利方面，归母净利润高增受到股权投资公允价值变动及股票处置收益推动，剔除非经常性损益后，扣非净利润仍同比增长108%，主营盈利持续提升。

高强度研发投入支撑新品迭代，众硅收购落地加速平台化布局公司上半年研发投入20.41 亿元，同比增加37%，占营收比例达30.51%，在研项目覆盖六大类设备。

刻蚀方面，60:1 超高深宽比介质刻蚀设备量产指标稳步提升，新一代Primo XD-RIE 已完成实验室测试，Beta 机在客户端验证顺利；低温高深宽比ICP 设备Primo Nanova LUX-Cryo 实现稳定量产， PrimoAngnova 客户端认证顺利并取得多个重复订单。薄膜方面，减压EPI 部分先进工艺进入量产验证，常压EPI 完成开发并进入晶圆验证阶段；MOCVD 向Micro-LED 及SiC/GaN 功率器件延伸，相关设备取得重复订单。

同时，公司完成对众硅控股权的收购，补齐CMP 设备布局，并推进光学及电子束量检测设备开发。公司有望依托刻蚀基本盘、薄膜与EPI 新品突破，以及“干法+湿法”工艺协同，持续拓宽先进逻辑、存储及先进封装领域的产品覆盖，推动平台化成长。

投资建议

我们预计2026-2028 年公司归母净利润分别为34.09、43.43、53.16 亿元，对应的EPS 分别为3.56、4.53、5.55 元，对应2026 年9 月28 日收盘价PE 分别为91.17、71.57、58.47 倍。维持“买入”评级。

风险提示

研发进度不及预期、产业竞争加剧、贸易摩擦加剧。