中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第三季度报告

证券代码：688012证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2024年第三季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或

者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息

的真实、准确、完整。

第三季度财务报表是否经审计

□是√否

*公司2024年前三季度（1-9月）营业收入为55.07亿元，同比增长约36.27%。其中刻蚀设备收入44.13亿元，同比增长约53.77%。

*公司2024年前三季度（1-9月）新增订单76.4亿元，同比增长约52.0%。其中刻蚀设备新增订单 62.5亿元，同比增长约 54.7%；新产品 LPCVD新增订单 3.0亿元，开始启动放量。

*根据市场需求，公司显著加大研发力度。2024年前三季度公司研发支出15.44亿元，较去年同期增长7.56亿元（增长约95.99%），研发支出占公司营业收入比例约为28.03%。

*根据客户订单需求，公司2024年前三季度（1-9月）共生产专用设备1160腔，同比增长约310%，对应产值约94.19亿元，同比增长约287%。

一、主要财务数据

（一）主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币

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本报告期比年初至报告期上年同期增末比上年同期项目本报告期年初至报告期末减变动幅度增减变动幅度

(%)(%)

营业收入2059481848.6235.965507194599.4636.27归属于上市公司股东的

396285695.95152.63912979678.37-21.28

净利润归属于上市公司股东的

扣除非经常性损益的净330253862.4453.79813484039.1910.88利润经营活动产生的现金流

-114354317.76不适用267567582.39不适用量净额

基本每股收益（元/股）0.64151.761.48-21.51

稀释每股收益（元/股）0.63149.711.46-22.01

加权平均净资产收益率增加1.19个减少2.22个

2.114.96

（%）百分点百分点

研发投入合计573197207.8475.121543683794.1595.99

研发投入占营业收入的增加6.22个增加8.54个

27.8328.03比例（%）百分点百分点本报告期末比本报告期末上年度末上年度末增减

变动幅度(%)

总资产25271340608.3721525546561.6917.40归属于上市公司股东的

18742329791.3817826122876.825.14

所有者权益

注：“本报告期”指本季度初至本季度末3个月期间，下同。

2024年第三季度（7-9月）公司的营业收入为20.59亿元，同比增长35.96%。其中，2024年

第三季度刻蚀设备收入达到17.15亿元，较上年同期增长49.41%。

2024年第三季度（7-9月）归属于上市公司股东的净利润为3.96亿元，较上年同期增长2.39亿元（增长约152.63%），主要系：（1）第三季度营业收入增长下毛利较去年同期增长2.54亿元；

（2）2024年公司显著加大研发力度，为持续增长打好基础。2024年第三季度公司研发费用较去

年同期增长1.36亿元（增长约64.38%）；（3）由于市场波动，2024年第三季度计入非经常性损益的股权投资收益为0.81亿元，较上年同期的亏损1.02亿元增长1.83亿元。

2024年第三季度（7-9月）扣非后归属于母公司的净利润为3.30亿元，较去年同期增长1.16亿元（增长约53.79%），环比2024年第二季度（4-6月）的2.20亿元增长约1.10亿元（增长约

49.92%）。

2024年前三季度（1-9月）公司营业收入为55.07亿元，同比增长36.27%。公司的等离子体

刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。2024年前三季度刻蚀设备收入为44.13亿元，较上年同期增长约53.77%。公司紧跟MOCVD 市场发展机遇，积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场，并在 Micro-LED

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和其他显示领域的专用 MOCVD 设备开发上取得良好进展，几款已付运和即将付运的 MOCVD 新产品正在陆续进入市场。此外，本年前三季度公司新产品 LPCVD 设备实现首台销售，收入 0.28亿元。公司 EPI 设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与 MTM 器件客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。

2024年前三季度（1-9月）公司新增订单76.4亿元，同比增长约52.0%。其中刻蚀设备新增

订单 62.5 亿元，同比增长约 54.7%；LPCVD 新增订单 3.0亿元，新产品开始启动放量。

2024年前三季度（1-9月）公司共生产专用设备1160腔，同比增长约310%，对应产值约

94.19亿元，同比增长约287%，为公司后续出货及确认收入打下了较好的基础。2024年9月末发

出商品余额约35.07亿元，较年初余额的8.68亿元增长26.40亿元；2024年9月末合同负债余额约29.88亿元，较年初余额的7.72亿元增长约22.16亿元。

2024年前三季度（1-9月）归属于上市公司股东的净利润为9.13亿元，较上年同期下降约2.47亿元，同比减少约21.28%，主要原因为：（1）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，

2024年公司显著加大研发力度，以尽快补短板，实现赶超，为持续增长打好基础。2024年前三季

度公司研发支出较去年同期增长7.56亿元（增长约95.99%），研发支出占公司营业收入比例约为

28.03%，远高于科创板均值；（2）2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股份有限公司股票，产

生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益；（3）由于市场波动，公司2024年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为0.74亿元，较去年同期的亏损0.90亿元增加约

1.64亿元。

2024年前三季度（1-9月）归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约8.13亿元，

较上年同期增加0.80亿元（增长约10.88%），主要由于营业收入增长下毛利增加5.69亿元，以及研发费用较上年同期增加4.11亿元。

（二）非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位:元币种:人民币非经常性损益项目本期金额年初至报告期末金额说明

非流动性资产处置损益，包括已计提资产

78743.109964955.29

减值准备的冲销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、

-8073344.2022293781.85

按照确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保

值业务外，非金融企业持有金融资产和金

78369842.4354387065.55

融负债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益

委托他人投资或管理资产的损益6845606.7326225113.30

除上述各项之外的其他营业外收入和支出522442.164299956.46

减：所得税影响额-11704695.52-17667031.77

少数股东权益影响额（税后）-6761.19-8201.50

合计66031833.5199495639.18

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对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为的非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用

（三）主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用□不适用变动比例主要原因项目名称

（%）

2024年第三季度（7-9月）公司的营业收入为20.59亿

营业收入_本报告期35.96元，同比增长35.96%。其中，2024年第三季度刻蚀设备收入达到17.15亿元，较上年同期增长49.41%。

公司2024年前三季度营业收入同比增长36.27%达55.07

营业收入_年初至报告期

36.27亿元。公司2024前三季度刻蚀设备收入为44.13亿元，

末

较去年同期增长约53.77%。

2024年第三季度（7-9月）归属于上市公司股东的净利润为3.96亿元，较上年同期增长2.39亿元（增长约152.63%），主要系：（1）第三季度营业收入增长下毛

利较去年同期增长2.54亿元；（2）2024年公司显著加归属于上市公司股东的

152.63大研发力度，以扩大未来销售品类，为持续增长打好基

净利润_本报告期础。2024年第三季度公司研发费用较去年同期增长1.36亿元（增长约64.38%）；（3）由于市场波动，2024年

第三季度计入非经常性损益的股权投资收益为0.81亿元，较上年同期的亏损1.02亿元增长1.83亿元。

2024年第三季度（7-9月）扣非后归属于母公司的净利润为3.30亿元，较去年同期增长1.16亿元（增长约归属于上市公司股东的53.79%，主要系：（1）第三季度营业收入增长下毛利扣除非经常性损益的净53.79较去年同期增长2.54亿元；（2）2024年公司显著加大

利润_本报告期研发力度，以扩大未来销售品类，为持续增长打好基础。2024年第三季度公司研发费用较去年同期增长1.36亿元（增长约64.38%）。

基本每股收益（元/股）

151.76

_本报告期本报告期归属于上市公司股东的净利润的增长导致基本

稀释每股收益（元/股）每股收益上升。

149.71

_本报告期

研发投入合计_本报告期75.122024年公司显著加大研发力度，以尽快补短板，实现赶超。公司目前在研项目涵盖六类设备，20多个新设备的研发投入合计_年初至报

95.99开发。随着研发项目的进行，公司增大研发材料投入，

告期末以及研发人员人数增加导致研发人员薪酬增长。

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二、股东信息

（一）普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股报告期末表决权恢复报告期末普通股股东总

37230的优先股股东总数/

数（如有）

前10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

包含转融质押、标记持股持有有限股东通借出股或冻结情况股东名称持股数量比例售条件股性质份的限售

(%)份数量股份数股份数量状态量国有

上海创业投资有限公司9348353315.0500无0法人巽鑫（上海）投资有限国有

8099682213.0400无0

公司法人

香港中央结算有限公司其他339881275.4700无0招商银行股份有限公司

－华夏上证科创板50成

其他300799474.8400无0份交易型开放式指数证券投资基金华芯投资管理有限责任

公司－国家集成电路产国有

244403163.9300无0

业投资基金二期股份有法人限公司中国工商银行股份有限

公司－易方达上证科创

其他203722743.2800无0板50成份交易型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限

公司－华夏国证半导体

其他101432441.6300无0芯片交易型开放式指数证券投资基金

中国工商银行－上证50

交易型开放式指数证券其他89781291.4500无0投资基金中国工商银行股份有限

公司－诺安成长混合型其他78672311.2700无0证券投资基金

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中国工商银行股份有限

公司－华泰柏瑞沪深300

其他74248441.200无0交易型开放式指数证券投资基金

前10名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）持有无限售条件流通股的数股份种类及数量股东名称量股份种类数量上海创业投资有限公司93483533人民币普通股93483533巽鑫（上海）投资有限

80996822人民币普通股80996822

公司香港中央结算有限公司33988127人民币普通股33988127招商银行股份有限公司

－华夏上证科创板50成

30079947人民币普通股30079947

份交易型开放式指数证券投资基金华芯投资管理有限责任

公司－国家集成电路产

24440316人民币普通股24440316

业投资基金二期股份有限公司中国工商银行股份有限

公司－易方达上证科创

20372274人民币普通股20372274

板50成份交易型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限

公司－华夏国证半导体

10143244人民币普通股10143244

芯片交易型开放式指数证券投资基金

中国工商银行－上证50交易型开放式指数证券8978129人民币普通股8978129投资基金中国工商银行股份有限

公司－诺安成长混合型7867231人民币普通股7867231证券投资基金中国工商银行股份有限

公司－华泰柏瑞沪深300

7424844人民币普通股7424844

交易型开放式指数证券投资基金巽鑫（上海）投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司－国家上述股东关联关系或一集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关系。除此之致行动的说明外，未知上述其他股东是否存在关联关系或一致行动关系。

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前10名股东及前10名无限售股东参与融资融

/券及转融通业务情况说明（如有）

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

√适用□不适用

单位:股

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况期末转融通出

期初普通账户、期初转融通出借期末普通账户、信用借股份且尚未股东名称（全信用账户持股股份且尚未归还账户持股归还

称）数量合比例数量合比例比例数量比例数量合计计（%）计（%）（%）合计（%）招商银行股份有

限公司－华夏上证科创板50成28480

4.606479000.10300799474.8400

份交易型开放式521指数证券投资基金中国工商银行股

份有限公司－易方达上证科创板12171

1.971459000.02203722743.2800

50成份交易型671

开放式指数证券投资基金中国建设银行股

份有限公司－华夏国证半导体芯10731

1.731978000.03101432441.6300

片交易型开放式116指数证券投资基金中国工商银行股

份有限公司－华

3061

泰柏瑞沪深3000.4943000.0074248441.200

976

交易型开放式指数证券投资基金

前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用

7/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第三季度报告

三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用√不适用

四、季度财务报表

（一）审计意见类型

□适用√不适用

（二）财务报表合并资产负债表

2024年9月30日

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计项目2024年9月30日2023年12月31日

流动资产：

货币资金6798932305.037090409172.79结算备付金拆出资金

交易性金融资产732137287.681868925299.14衍生金融资产

应收票据81678751.6148360169.73

应收账款1336924278.151164908187.07应收款项融资

预付款项104550504.04112456545.17应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款6282830.1210225108.44

其中：应收利息应收股利买入返售金融资产

存货7821641093.774260340245.57

合同资产18759702.4037080232.43持有待售资产一年内到期的非流动资产

其他流动资产724471939.42494793895.75

流动资产合计17625378692.2215087498856.09

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资

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长期应收款24354526.2724219955.88

长期股权投资1103258210.001019574210.84其他权益工具投资

其他非流动金融资产1343109284.151202733385.14

投资性房地产5896815.276206935.35

固定资产2498541456.801987606137.52

在建工程704214183.90848798245.12生产性生物资产油气资产

使用权资产22061481.5325821972.74

无形资产726435273.22686936965.88

开发支出966364521.41505792998.61商誉

长期待摊费用6211268.055254354.26

递延所得税资产125134328.99102158432.22

其他非流动资产120380566.5622944112.04

非流动资产合计7645961916.156438047705.60

资产总计25271340608.3721525546561.69

流动负债：

短期借款向中央银行借款拆入资金交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款2031487065.371305110382.45预收款项

合同负债2987977492.87771596755.32卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬183287351.31287959710.00

应交税费89363092.64196154594.50

其他应付款470091101.78469394723.59

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债263325323.45509814734.32

其他流动负债113570183.2583594455.26

9/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第三季度报告

流动负债合计6139101610.673623625355.44

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款250000000.00-应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债10595504.0516789007.84长期应付款

长期应付职工薪酬-

预计负债8737468.3815466597.35

递延收益100767625.2321016994.43

递延所得税负债21376396.3823434221.39

其他非流动负债1873884.792109198.79

非流动负债合计393350878.8378816019.80

负债合计6532452489.503702441375.24

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）621305500.00619279423.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积13804316091.3713317392476.12

减：库存股-300777168.85-

其他综合收益9570954.189123147.39专项储备

盈余公积309639711.50309639711.50一般风险准备

未分配利润4298274703.183570688118.81归属于母公司所有者权益（或股东权18742329791.3817826122876.82益）合计

少数股东权益-3441672.51-3017690.37

所有者权益（或股东权益）合计18738888118.8717823105186.45负债和所有者权益（或股东权25271340608.3721525546561.69益）总计

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并利润表

2024年1—9月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

2024年前三季度2023年前三季度

项目

（1-9月）（1-9月）

10/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第三季度报告

一、营业总收入5507194599.464041266479.18

其中：营业收入5507194599.464041266479.18利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本4686862382.993178664486.69

其中：营业成本3181954720.242285194456.94利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加19276533.228030474.33

销售费用318633250.62241618110.73

管理费用311373120.65204797201.16

研发费用913942970.40502387972.19

财务费用-58318212.14-63363728.66

其中：利息费用11473463.3410767351.31

利息收入84675705.9787722251.47

加：其他收益77737100.5833194805.33

投资收益（损失以“-”号填列）23778931.15719949120.83

其中：对联营企业和合营企业的-13026377.75-16262602.50投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益

汇兑收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以“-”号54387065.55-290994248.48填列）信用减值损失（损失以“-”号填-14872548.54-10033843.99列）资产减值损失（损失以“-”号填-19191641.13-13293599.14列）资产处置收益（损失以“-”号填90844.29-99299.19列）

三、营业利润（亏损以“-”号填列）942261968.371301324927.85

加：营业外收入6704546.733740916.81

减：营业外支出2404590.27865247.45

四、利润总额（亏损总额以“-”号填列）946561924.831304200597.21

11/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第三季度报告

减：所得税费用34377786.74145506937.37

五、净利润（净亏损以“-”号填列）912184138.091158693659.84

（一）按经营持续性分类1.持续经营净利润（净亏损以“-”912184138.091158693659.84号填列）2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类

1.归属于母公司股东的净利润912979678.371159835796.60（净亏损以“-”号填列）2.少数股东损益（净亏损以“-”号-795540.28-1142136.76填列）

六、其他综合收益的税后净额447806.7910117982.51

（一）归属母公司所有者的其他综合447806.7910117982.51收益的税后净额

1.不能重分类进损益的其他综合收

益

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2.将重分类进损益的其他综合收益447806.7910117982.51

（1）权益法下可转损益的其他综1351687.95-1319205.14合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额-903881.1611437187.65

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额912631944.881168811642.35

（一）归属于母公司所有者的综合收913427485.161169953779.11益总额

（二）归属于少数股东的综合收益总-795540.28-1142136.76额

八、每股收益：

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（一）基本每股收益(元/股)1.481.88

（二）稀释每股收益(元/股)1.461.87

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并现金流量表

2024年1—9月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计项目2024年前三季度2023年前三季度

（1-9月）（1-9月）一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金8209467133.662983114913.25客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额

收到的税费返还-

收到其他与经营活动有关的现金210116490.3068477294.62

经营活动现金流入小计8419583623.963051592207.87

购买商品、接受劳务支付的现金6860677733.683307846894.82客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金997674217.20660794298.95

支付的各项税费215902825.45285873031.77

支付其他与经营活动有关的现金77761265.2473569905.14

经营活动现金流出小计8152016041.574328084130.68

经营活动产生的现金流量净额267567582.39-1276491922.81

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金8477404872.5813066460809.28

取得投资收益收到的现金165399378.23792686032.65

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处置固定资产、无形资产和其他长期-1566044.73资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额

收到其他与投资活动有关的现金-

投资活动现金流入小计8642804250.8113860712886.66

购建固定资产、无形资产和其他长期695257410.50653383038.55资产支付的现金

投资支付的现金6216637280.7311156142004.00

购建开发支出所支付的现金563239699.31233049216.34质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额支付其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流出小计7475134390.5412042574258.89

投资活动产生的现金流量净额1167669860.271818138627.77

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金100528960.50210365150.00

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金

取得借款收到的现金250000000.00-收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计350528960.50210365150.00

偿还债务支付的现金250000000.00

分配股利、利润或偿付利息支付的现

195949344.00134177204.60

金

其中：子公司支付给少数股东的股

利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金311311556.755815989.26

筹资活动现金流出小计757260900.75139993193.86

筹资活动产生的现金流量净额-406731940.2570371956.14

四、汇率变动对现金及现金等价物的影18961109.85

-7656730.98响

五、现金及现金等价物净增加额1020848771.43630979770.95

加：期初现金及现金等价物余额3538458521.322452963779.24

六、期末现金及现金等价物余额4559307292.753083943550.19

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

2024年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用

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其他说明：

财政部于2024年发布了《企业会计准则应用指南汇编2024年》，规定保证类质保费用应计入营业成本。公司据此将2024年前三季度产生的预计产品质量保证损失17303.21万元计入营业成本，并将2023年前三季度产生的预计产品质量保证损失9607.20万元重新列示于营业成本（原列示于销售费用）。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2024年10月29日