中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年第一季度报告

证券代码：688012证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025年第一季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

*中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在过去14年保持营业收入年均增

长大于35%的基础上，2025年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长35.40%，达到21.73亿元。

*公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，公司开发的薄膜设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的 PECVD 设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司 EPI设备顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM 器件（包括MEMS和传感器、CIS、功率以及射频器件的超越摩尔器件）客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。

*根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%，研发投入占公司营业收入比例约为31.60%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平

（10%~15%）。

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公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息

的真实、准确、完整。

第一季度财务报表是否经审计

□是√否

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币本报告期比上项目本报告期上年同期年同期增减变

动幅度(%)

营业收入2173278385.621605024097.6835.40

归属于上市公司股东的净利润313082457.72249135780.5725.67归属于上市公司股东的扣除非

298301989.05262948771.0713.44

经常性损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额376808177.47-586440411.60不适用

基本每股收益（元/股）0.500.4025.00

稀释每股收益（元/股）0.500.4025.00

增加0.19个百

加权平均净资产收益率（%）1.571.38分点

研发投入合计686819262.82360477130.3190.53

研发投入占营业收入的比例增加9.14个百

31.6022.46

（%）分点本报告期末比本报告期末上年度末上年度末增减

变动幅度(%)

总资产27118584850.1126217544719.073.44归属于上市公司股东的所有者

权益20144123516.9119736912284.362.06

公司本期营业收入为21.73亿元，同比增长35.40%。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续

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获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的 PECVD 设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司 EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。

公司本期归属于上市公司股东的净利润为3.13亿元，较上年同期增加0.64亿元，同比增长约

25.67%，本期增加的主要原因：（1）由于本期营业收入增长35.40%，毛利较去年增加约2.20亿

元。（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，公司持续加大研发力度，以尽快补齐

国产高端半导体设备短板，实现赶超，为持续增长打好基础。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%。本期研发费用较上年同期增加2.50亿元，同比增长约116.80%。（3）本期公司持有的以公允价值计量的股权投资本期盈利约0.04亿元，与上年同期的亏损0.41亿元相比，增加约0.45亿元。（4）本期公司计入其他收益的政府补助较上年同期增加约0.43亿元。

本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.98亿元，较上年同期增加0.35亿元，同比增长13.44%，主要系公司毛利增加2.20亿元，本期研发费用增长2.50亿元，以及研发加计扣除增长导致所得税费用同比减少约0.22亿元。

(二)非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位:元币种:人民币非经常性损益项目本期金额说明

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定

7525485.45

的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产

4206622.52

生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益

委托他人投资或管理资产的损益2394660.33

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除上述各项之外的其他营业外收入和支出3285752.84

减：所得税影响额-2636152.21

少数股东权益影响额（税后）-2186.05

合计14774182.88

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用

(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用□不适用

项目名称变动比例（%）主要原因

公司本期营业收入为21.73亿元，同比增长35.40%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付

运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器营业收入35.40件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场。公司 EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件客户的工艺验证。

由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，公司持续加大研发力度，以尽快补齐国产高端半导体设备短板，实现赶超，研发投入合计90.53

为持续增长打好基础。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%。

二、股东信息

(一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股报告期末表决权恢复的优先股股东

报告期末普通股股东总数45640/总数（如有）

前10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

持有有包含转融质押、标记或冻结股东性持股比限售条通借出股情况股东名称持股数量

质例(%)件股份份的限售股份状数量股份数量数量态上海创业投资有限公国有法9348353

15.0200无0

司人3巽鑫（上海）投资有国有法8099682

13.0100无0

限公司人2香港中央结算有限公4666544

其他7.5000无0司5

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华芯投资管理有限责

任公司－国家集成电国有法2444031

3.9300无0

路产业投资基金二期人6股份有限公司招商银行股份有限公

司－华夏上证科创板2336999

其他3.7600无0

50成份交易型开放式2

指数证券投资基金中国工商银行股份有

限公司－易方达上证

1650594

科创板50成份交易型其他2.6500无0

8

开放式指数证券投资基金中信证券股份有限公

司－嘉实上证科创板

其他93849001.5100无0芯片交易型开放式指数证券投资基金国有法

国新投资有限公司92952111.4900无0人

中国工商银行－上证

50交易型开放式指数其他79700051.2800无0

证券投资基金中国工商银行股份有

限公司－诺安成长混其他78672311.2600无0合型证券投资基金

前10名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）股份种类及数量股东名称持有无限售条件流通股的数量股份种类数量上海创业投资有限公司93483533人民币普通股93483533巽鑫（上海）投资有限公司80996822人民币普通股80996822香港中央结算有限公司46665445人民币普通股46665445

华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二24440316人民币普通股24440316期股份有限公司

招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放23369992人民币普通股23369992式指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易16505948人民币普通股16505948型开放式指数证券投资基金

中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式9384900人民币普通股9384900指数证券投资基金

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国新投资有限公司9295211人民币普通股9295211

中国工商银行－上证50交易型

7970005人民币普通股7970005

开放式指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公司－

7867231人民币普通股7867231

诺安成长混合型证券投资基金

上述股东关联关系或一致行动巽鑫（上海）投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司－国家的说明集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关系。除此之外，未知上述其他股东是否存在关联关系或一致行动关系。

前10名股东及前10名无限售

股东参与融资融券及转融通业/

务情况说明（如有）

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用

三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用√不适用

四、季度财务报表

(一)审计意见类型

□适用√不适用

(二)财务报表合并资产负债表

2025年3月31日

编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2025年3月31日2024年12月31日

流动资产：

货币资金7834710284.087761617180.32结算备付金拆出资金

交易性金融资产631085342.45834024383.58衍生金融资产

应收票据7876305.0592614452.08

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应收账款1590778150.741352336466.74应收款项融资

预付款项74958103.7454423424.47应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款11191191.1011387415.47

其中：应收利息应收股利买入返售金融资产

存货7447743919.187038518704.32

合同资产28567663.1828173421.93持有待售资产

一年内到期的非流动资产14832000.0014832000.00

其他流动资产804271490.68712979301.33

流动资产合计18446014450.2017900906750.24

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资

长期应收款9523706.4610138889.35

长期股权投资857899147.54869593490.46其他权益工具投资

其他非流动金融资产1808036575.621768867710.22

投资性房地产5690068.575793441.93

固定资产2798132560.392716202457.70

在建工程708350128.67652149990.74生产性生物资产油气资产

使用权资产17226820.0115855988.76

无形资产657848075.15692961834.76

开发支出1411293468.711247588985.02商誉

长期待摊费用5688757.026153912.32

递延所得税资产251672475.23180152570.61

其他非流动资产141208616.54151178696.96

非流动资产合计8672570399.918316637968.83

资产总计27118584850.1126217544719.07

流动负债：

短期借款向中央银行借款拆入资金

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交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款1965645401.521679974308.81预收款项

合同负债3066920850.422586467855.67卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬181431872.99390999571.63

应交税费162083935.02208864005.92

其他应付款568903681.78580117043.20

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债36384348.8835625808.69

其他流动负债154867246.61151798662.61

流动负债合计6136237337.225633847256.53

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款721800000.00721800000.00应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债9409021.3910994026.49长期应付款长期应付职工薪酬

预计负债15490020.4615777688.36

递延收益93964148.0195736672.93

递延所得税负债38613.0138613.01

其他非流动负债3643989.563808569.79

非流动负债合计844345792.43848155570.58

负债合计6980583129.656482002827.11

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）622363735.00622363735.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积14187894657.1714102277241.39

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减：库存股-300777168.85-300777168.85

其他综合收益10949352.762437993.70专项储备

盈余公积311181867.50311181867.50一般风险准备

未分配利润5312511073.334999428615.62归属于母公司所有者权益（或股20144123516.9119736912284.36东权益）合计

少数股东权益-6121796.45-1370392.40

所有者权益（或股东权益）合20138001720.4619735541891.96计负债和所有者权益（或股东27118584850.1126217544719.07权益）总计

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并利润表

2025年1—3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2025年第一季度2024年第一季度

一、营业总收入2173278385.621605024097.68

其中：营业收入2173278385.621605024097.68利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本1918444937.171280175676.05

其中：营业成本1270562411.05922716627.53利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加21335712.585747358.69

销售费用94306601.0097836153.12

管理费用88175591.8672602600.78

研发费用464353795.33214189022.44

财务费用-20289174.65-32916086.51

其中：利息费用4896202.393228546.83

利息收入31539023.0734249563.52

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加：其他收益49461752.565988719.46

投资收益（损失以“-”号填列）-12012219.16-4448280.94

其中：对联营企业和合营企业的投-18620143.67-18025819.00资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益

汇兑收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以“-”号填78404.50-46123429.73列）

信用减值损失（损失以“-”号填列）856511.39-16010053.58

资产减值损失（损失以“-”号填列）-2188238.32-9845742.89

资产处置收益（损失以“-”号填列）3438166.21-

三、营业利润（亏损以“-”号填列）294467825.63254409633.95

加：营业外收入2159691.612399955.52

减：营业外支出2312104.911358.00

四、利润总额（亏损总额以“-”号填列）294315412.33256808231.47

减：所得税费用-13930555.777953119.41

五、净利润（净亏损以“-”号填列）308245968.10248855112.06

（一）按经营持续性分类1.持续经营净利润（净亏损以“-”号填308245968.10248855112.06列）2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类1.归属于母公司股东的净利润（净亏313082457.72249135780.57损以“-”号填列）

2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）-4836489.62-280668.51

六、其他综合收益的税后净额10010526.31-2601797.25

（一）归属母公司所有者的其他综合收10010526.31-2601797.25益的税后净额

1．不能重分类进损益的其他综合收益

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2．将重分类进损益的其他综合收益10010526.31-2601797.25

（1）权益法下可转损益的其他综合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

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（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额10010526.31-2601797.25

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额316757327.16246253314.81

（一）归属于母公司所有者的综合收益321593816.78246533983.32总额

（二）归属于少数股东的综合收益总额-4836489.62-280668.51

八、每股收益：

（一）基本每股收益(元/股)0.500.40

（二）稀释每股收益(元/股)0.500.40

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并现金流量表

2025年1—3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计项目2025年第一季度2024年第一季度

一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金2775952872.431726283447.13客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额收到的税费返还

收到其他与经营活动有关的现金149212656.3517416685.08

经营活动现金流入小计2925165528.781743700132.21

购买商品、接受劳务支付的现金1698119114.141757395563.30客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

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支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金563717826.76395203021.59

支付的各项税费258714301.73161208019.68

支付其他与经营活动有关的现金27806108.6816333939.24

经营活动现金流出小计2548357351.312330140543.81

经营活动产生的现金流量净额376808177.47-586440411.60

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金1688684000.004729420207.15

取得投资收益收到的现金10177184.2788402295.31

处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额收到其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流入小计1698861184.274817822502.46

购建固定资产、无形资产和其他长297904774.09219213623.87期资产支付的现金

投资支付的现金1325000000.002018843333.00

与满足资本化条件开发支出直接相156788584.01129577240.08关项目所支付的现金质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额支付其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流出小计1779693358.102367634196.95

投资活动产生的现金流量净额-80832173.832450188305.51

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金取得借款收到的现金

收到其他与筹资活动有关的现金-39622241.45

筹资活动现金流入小计-39622241.45偿还债务支付的现金

分配股利、利润或偿付利息支付的4770472.223412500.00现金

其中：子公司支付给少数股东的股

利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金10534387.90232368987.52

筹资活动现金流出小计15304860.12235781487.52

筹资活动产生的现金流量净额-15304860.12-196159246.07

四、汇率变动对现金及现金等价物的-976600.89

12/13中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年第一季度报告

影响

五、现金及现金等价物净增加额280671143.521668565248.73

加：期初现金及现金等价物余额5655372752.403538458521.32

六、期末现金及现金等价物余额5936043895.925207023770.05

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

(三)2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用特此公告

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年4月24日