附件一

新增注册资本实收情况明细表

截至2026年6月17日止

中微半导体设备(上海)股份有限公司货币单位：人民币元

本期认缴注册资本注册资本实收情况股东名称

占注册资本货币其中：股本金额合计

总额比例(人民币)金额占注册资本总额比例

境内上市人民币普通股 A 股持有人 5156765.00 0.53% 5156765.00 5156765.00 5156765.00 0.53%

3附件二

注册资本和股本变更前后对照表截至2026年6月17日止

中微半导体设备(上海)股份有限公司货币单位：人民币元注册资本总额股本变更前变更后变更前变更后

股东名称其中：货币出资占注册本次增加额占注册占注册资金额出资比例金额出资比例金额资本总额金额资本总金额本总额比比例额比例例有限售条件的境内上

市人民币普通股(A 股) 10488545.00 1.10% 15645310.00 1.63% 10488545.00 1.10% 5156765.00 15645310.00 1.63% 15645310.00 1.63%持有人无限售条件的境内上

市人民币普通股(A 股) 942197038.00 98.90% 942197038.00 98.37% 942197038.00 98.90% - 942197038.00 98.37% 942197038.00 98.37%持有人

合计952685583.00100.00%957842348.00100.00%952685583.00100.00%5156765.00957842348.00100.00%957842348.00100.00%

4附件三

验资事项说明

一、基本情况

中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“贵公司”)前身中微半导体设备(上海)有限公司经上海市

人民政府以商外资沪独资字[2004]1574号文件批准设立，并于2018年12月21日完成由中微半导体设备(上海)有限公司变更为中微半导体设备(上海)股份有限公司相关的变更登记手续。本次注册资本和股本变更前，贵公司的注册资本和股本为人民币952685583.00元，代表每股人民币1元的股份952685583股。

贵公司的上述股本已经大华会计师事务所(特殊普通合伙)验证，并已于2026年6月17日出具大华验字[2026]0011000155号验资报告。

二、本次变更审批情况于2026年3月30日，贵公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过《关于公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金方案的议案》。于2026年4月23日，贵公司2025年年度股东大会批准了董事会的上述提议。中国证券监督管理委员会于2026年5月11日出具证监许可[2026]1147号《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》，同意了贵公司发行股份募集配套资金不超过1500000000.00元。

三、审验结果

经我们审验，截至 2026 年 6 月 17 日止，贵公司完成了人民币普通股 A 股 5156765 股的发行，每股发行价格为人民币290.88元，股款以人民币缴足，计人民币1499999803.20元。

根据贵公司与主承销商中信证券股份有限公司签定的承销协议，贵公司共计支付承销费用人民币费

9539998.75元，上述股款扣除贵公司承销费用人民币9539998.75元后，贵公司共收到募集资金计人民

币1490459804.45元，该募集资金已全部存入贵公司已开立的人民币账户内，具体如下:银行账号金额

国家开发银行上海分行31000109000000100378383388942.26

中国建设银行股份有限公司上海浦东分行31050161364000011938760045114.86

平安银行上海分行营业部15001217560061347025747.33

合计1490459804.45

5附件三

验资事项说明(续)

三、审验结果(续)

除上述承销费用外，贵公司发生了其他发行费用合计人民币578563.45元，包括验资及咨询费计人民币206000.00元以及印花税等费用计人民币372563.45元。上述募集资金总额在扣除贵公司承销费用以及其他发行费用后，净募集资金总额人民币1489881241.00元，其中股本人民币5156765.00元，资本公积人民币1484724476.00元。

截至2026年6月17日止，连同原经验证的股本人民币952685583.00元，贵公司增资后的股本为人民币957842348.00元，代表每股人民币1元的股份957842348股。

四、其他事项本次发行股份尚需在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理本次交易新增股份登记手续。

6