证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2025-035

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司2023年限制性股票激励计划

第二个归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

*限制性股票拟归属数量：121.0379万股

* 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A股普通股股票

一、本次股权激励计划批准及实施情况

（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

1、本次股权激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：授予的限制性股票数量总量为550万股，约占公司2023年限制性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额

61624.448万股的0.89%。本次授予为一次性授予，无预留权益。

（3）授予价格：49.5元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激

励对象可以每股 49.5元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。

（4）激励人数：本激励计划授予的激励对象总人数为1361人，包括在公

司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。

（5）本激励计划授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

归属权益数量占授归属安排归属时间予权益总量的比例自授予之日起12个月后的首个交易日授予的限制性股票

至授予之日起24个月内的最后一个交25%

第一个归属期易日止

授予的限制性股票自授予之日起24个月后的首个交易日25%

1第二个归属期至授予之日起36个月内的最后一个交

易日止自授予之日起36个月后的首个交易日授予的限制性股票

至授予之日起48个月内的最后一个交25%

第三个归属期易日止自授予之日起48个月后的首个交易日授予的限制性股票

至授予之日起60个月内的最后一个交25%

第四个归属期易日止

（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

*激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

*公司层面业绩考核要求

本激励计划授予的限制性股票考核年度为2023-2026四个会计年度，每个会计年度考核一次。以公司2022年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

该考核年度使用的公司层面归属期对应考核年度业绩考核目标营业收入归属比例

X≧对标企业算术平均

100%

增长率对标企业算术平均增长

第一个归属期 2023 2023年营业收入 率*0.8≦X＜对标企业 80%算术平均增长率

X＜对标企业算术平均

0

增长率*0.8

X≧对标企业算术平均

100%

增长率

2023年、2024年两

第二个归属期2024对标企业算术平均增长年营业收入累计值

率*0.8≦X＜对标企业 80%算术平均增长率

2X＜对标企业算术平均

0

增长率*0.8

X≧对标企业算术平均

100%

增长率

2023年、2024年和对标企业算术平均增长

第三个归属期 2025 2025年三年营业收 率*0.8≦X＜对标企业 80%入累计值算术平均增长率

X＜对标企业算术平均

0

增长率*0.8

X≧对标企业算术平均

100%

增长率

2023年、2024年、对标企业算术平均增长

第四个归属期 2026 2025年和 2026年四 率*0.8≦X＜对标企业 80%年营业收入累计值算术平均增长率

X＜对标企业算术平均

0

增长率*0.8

注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

2.对标企业指 Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比2022年度的累

计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；

4.如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董

事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前

一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。

*激励对象个人层面绩效考核要求

激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

考核评级 MBO≧1 0.9≦MBO<1 0.8≦MBO<0.9 0.7≦MBO<0.8 MBO<0.7

3个人层面

100%90%80%70%0

归属比例

激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司

层面归属比例×个人层面归属比例。

激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

2、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

（1）2023年3月30日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议

通过了《关于公司<2023年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司<2023年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于核实公司<2023年限制性股票激励计划激励对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

（2）2023年 3月 31日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披

露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-017），根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就2022年年度股东大会审议的公司2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（3）2023年4月4日至2023年4月13日，公司对本激励计划拟激励对象

的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2023年4月14日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2023 年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

（4）2023年4月20日，公司召开2022年年度股东大会，审议并通过了《关于公司<2023年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<20234年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

（5）2023年 4月 21日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2023年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

（6）2023年6月12日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

（7）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年及2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

（8）2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年及2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

（9）2025年5月28日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会第四次会议，审议通过了《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

（二）限制性股票授予情况

授予日期授予价格（调整后）授予数量授予人数

2023年6月12日49.5元/股550万股1361人

（三）激励计划各期限制性股票归属情况

截至本公告出具日，公司2023年限制性股票激励计划归属情况如下：

归属价格归属数量归属价格及数量的调整归属期归属人数归属日期（调整后）（万股）情况

12772024年6月19日49.5元/股121.86822023年年度权益分派实

第一个归属期

32024年10月23日49.5元/股0.1099施完毕，授予价格由49.8

5元/股调整为49.5元/股

二、限制性股票归属条件说明

（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况2025年5月28日，公司召开第三届董事会第四次会议审议通过了《关于公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。根据公司

2022年年度股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2023年限制性股票激

励计划授予股份第二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为

121.0379万股，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

（二）2023年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件说明

1、本激励计划授予的限制性股票已进入第二个归属期

根据《2023年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，本次授予的限制性股票第二个归属期为“自授予之日起24个月后的首个交易日至授予之日起36个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划的授予日为2023年6月12日，因此本次授予的限制性股票第二个归属期为2025年6月12日至2026年6月11日。

2、符合归属条件的说明根据公司2022年年度股东大会的授权、公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》和《2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，本激励计划授予的限制性股票第二个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

归属条件达成情况

（一）公司未发生如下任一情形：

1、最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定

意见或者无法表示意见的审计报告；

2、最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具

否定意见或者无法表示意见的审计报告；公司未发生前述情形，符合归属条件。

3、上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形；

4、法律法规规定不得实行股权激励的；

5、中国证监会认定的其他情形。

（二）激励对象未发生如下任一情形：

1、最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；激励对象未发生前述情形，符合归属条件。

2、最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当

6人选；

3、最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派

出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

4、具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人

员情形的；

5、法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

6、中国证监会认定的其他情形。

（三）归属期任职期限要求公司2023年限制性股票激励计划仍在职的

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个激励对象符合归属任职期限要求。

月以上的任职期限。

（四）公司层面业绩考核要求

以2022年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的归属批次及公司层面归属比例。

第二个归属期考核年度为2024年，考核年度对应归属批次根据普华永道中天会计师事务所（特殊普的业绩考核目标如下：通合伙）对公司2023年年度报告出具的审

对应该考核年度计报告（普华永道中天审字（2024）第10095归属公司层面归考核使用的营业业绩考核目标号）、对公司2024年年度报告出具的审计期属比例

年度收入报告（普华永道中天审字（2025）第10015X≧对标企业 号 ）： 2023 年 度 公 司 实 现 营 业 收 入

算术平均增长100%626351.36万元，2024年度公司实现营业率收入906516.51万元，业绩基数为对标企业算术473983.10万元，2023年、2024年两年累

2023年、

第二平均增长率计营业收入增长率为223.40%，大于对标企

2024年两年

个归 2024 *0.8≦X＜对标 80% 业算术平均增长率，业绩考核达标，公司营业收入累

属期企业算术平均层面归属比例100%。

计值增长率

X＜对标企业 0算术平均增长

率*0.8

（五）个人层面绩效考核要求激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：本次激励计划仍在职的1210名激励对象绩

0.8≦ 0.7≦ 效考核评级均为 MBO≧1，其获授的限制

考核评 MBO≧ 0.9≦ MBO<0.MBO<0. MBO<0. 性股票第二个归属期对应的个人层面归属

级 1 MBO<1 7

98比例为100%。

个人层

面归属100%90%80%70%0比例

激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计

划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

7（三）部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法

公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废失效处理，详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划部分限制性股票的公告》。

（四）监事会意见

监事会认为：公司2023年限制性股票激励计划授予的限制性股票第二个归

属期的归属条件已经成就，同意符合归属条件的1210名激励对象归属121.0379万股限制性股票，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》《2023年限制性股票激励计划（草案）》等相关规定。

三、本次归属的具体情况

（一）授予日：2023年6月12日。

（二）归属数量：121.0379万股。

（三）归属人数：1210人。

（四）授予价格：人民币49.5元/股（调整后）。

（五）股票来源：公司向激励对象定向发行的公司 A股普通股股票。

（六）本次激励计划授予的限制性股份第二个归属期可归属对象名单及归属情况可归属数量占已获授予的可归属已获授予的限姓名国籍职务限制性股票数量制性股票总量数量（万股）（万股）的比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员

董事长、总经理、

尹志尧中国11.07002.767525%核心技术人员

董事、副总经理、

丛海新加坡3.28000.820025%核心技术人员

董事、副总经理、

陶珩中国4.45001.112525%核心技术人员

副总经理、财务

陈伟文中国香港4.45001.112525%负责人

姜银鑫中国副总经理2.25080.562725%

姜勇中国核心技术人员1.67460.418625%

刘志强新加坡核心技术人员2.28850.572125%

8陈煌琳中国台湾核心技术人员2.32550.581325%

何伟业中国核心技术人员1.25590.313925%

张凯中国核心技术人员1.68810.422025%

小计34.73348.683125%

二、其他激励对象

董事会认为需要激励的其他人员（1200人）449.5859112.354825%

合计484.3193121.037925%

注：上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

四、监事会对激励对象名单的核实情况

监事会核查后认为：本次拟归属的1210名激励对象符合《公司法》《证券法》

等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规和规

范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

监事会同意本次符合条件的1210名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为121.0379万股。上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

五、归属日及买卖公司股票情况的说明

公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

经公司自查，参与本激励计划的董事、高级管理人员丛海，除2024年限制性股票计划第一个归属期及2022年限制性股票第三个归属期归属外，在归属日前6个月不存在买卖公司股票的行为；参与本激励计划的董事、高级管理人员尹志尧，陈伟文在归属日前6个月存在减持计划，详见公司相关公告；其他参与本激励计划的董事、高级管理人员在其任期内不存在买卖公司股票行为。

六、限制性股票费用的核算及说明

9公司根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

七、法律意见书的结论性意见

上海市锦天城律师事务所律师认为：

1、公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期归属条件成就暨部分限制

性股票作废事项已取得必要的批准和授权；

2、公司2023年限制性股票激励计划授予的限制性股票已进入第二个归属期，

第二个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》

《管理办法》及《限制性股票激励计划》的相关规定；

3、公司本次作废处理部分限制性股票的原因及作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的规定。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年5月29日

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