中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

关于本次交易是否存在直接或间接有偿聘请

其他第三方机构或个人的说明

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”）拟通过发

行股份及支付现金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司（以下简称“标的公司”）

64.69%的股权（以下简称“标的资产”）并募集配套资金（以下简称“本次交易”）。

按照中国证监会《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》（[2018]22号）的规定，上市公司在本次交易中聘请的中介机构情况如下：

1、上市公司聘请中信证券股份有限公司担任本次交易的独立财务顾问；

2、上市公司聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本次交易

的审计机构和备考审阅机构；

3、上市公司聘请上海市锦天城律师事务所为本次交易的法律顾问；

4、上市公司聘请浙江中联资产评估有限公司为本次交易的评估机构。

上述中介机构均为本次交易依法需聘请的证券服务机构，聘请行为合法合规，符合《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》（[2018]22号）的相关规定。

除上述聘请行为外，上市公司本次交易不存在直接或间接有偿聘请其他第三方机构或个人的行为。

特此说明。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年3月30日