证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2026-079

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于使用募集资金置换预先投入募投项目及

已支付发行费用的自筹资金的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈

述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

*中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）本次使用募

集资金置换预先已投入募集资金投资项目的自筹资金共计人民币6004.51万元。

本次募集资金置换事项符合募集资金到账后6个月内进行置换的规定。

一、募集资金基本情况经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147号）核准，同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份募集配套资金不超过

15亿元的注册申请。

公司本次募集配套资金发行人民币普通股（A股）5156765 股，每股发行价为人民币290.88元，募集资金总额为人民币1499999803.20元，扣除本次发行费用人民币10118562.20元，实际募集资金净额为人民币1489881241.00元。

上述资金到位情况已经由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了《验资报告》（普华永道中天验字（2026）第0016号）。公司已开立募集资金专项账户，对募集资金实行专户存储，并与账户开设银行、独立财务顾问签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目情况

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书》，公司本次向不超过三十五名特定对象发行股份募集资金总额不超过150000万元，具体投入项目情况如下：

单位：万元序号项目名称募集资金承诺投资占募集配套资金总额比例

1高端半导体设备产业化项目38338.8925.56%

2高端半导体设备研发中心项目34702.5723.14%

3支付现金对价及中介机构费用6958.534.64%

4补充流动资金70000.0046.67%

合计150000.00100.00%

三、自筹资金预先投入募投项目情况

为了保障本次募投项目“发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金”的

顺利推进，公司在募集资金到位前，根据募投项目的实际进展情况使用自筹资金进行了预先投入。截至2026年7月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币6004.51万元，本次拟使用募集资金置换预先投入金额为人民币6004.51万元，具体情况如下：

单位：万元项目名称拟投入募集资金金额自筹资金预先投入金额需置换金额

支付现金对价及6958.536004.516004.51中介机构费用上述事项已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《中微半导体设备（上海）股份有限公司截至2026年7月31日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告》（普华永道中天特审字

(2026)第0892号）鉴证。

四、本次募集资金置换的审议程序公司于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用共计6004.51万元的募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金。该事项无需通过股东会审议。

本次募集资金置换时间未超过募集资金到账后6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规以及《公司章程》等规章制度的规定。

五、专项意见说明

（一）会计师事务所鉴证意见普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司截至2026年7月31日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告（》普华永道中天特审字(2026)第0892号），认为：上述以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况及支付发行费用报告在所

有重大方面如实反映了中微公司截至2026年7月31日止，以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

（二）独立财务顾问核查意见经核查，独立财务顾问认为：公司本次使用募集资金置换预先投入的自筹资金事项已履行了必要的审议程序，会计师事务所出具了专项鉴证报告，置换时间距募集资金到账时间不超过6个月，未改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，相关决策和审议程序合法、合规。

综上所述，独立财务顾问对公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的事项无异议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月20日