证券代码：688012 证券简称：中微公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司

投资者关系活动记录表

投资者关系 活动类别 ?特定对象调研 分析师会议 ?媒体采访 ?业绩说明会 ?新闻发布会 ?路演活动 ?现场参观 ?其他（请文字说明其他活动内容）

时间 2026年08月

地点 线上电话会议

上市公司 接待人员 董事长、总经理：尹志尧 董事、副总经理：陶珩 副总经理、财务负责人：陈伟文 副总经理、董事会秘书：刘方

投资者关系活动主要内容介绍 公司近况介绍： 中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。如今，公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备，以及化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工精度已经达到了原子级水平。公司于2026年上半年完成对众硅公司控股权的收购，完成了对化学机械抛光（CMP）设备的覆盖，实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。截至2026年6月底，公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。 在过去十四年保持年均收入增速大于35%的基础上，2026年上半年公司收入继续保持高速增长，同比增长34.89%，达到约66.91亿元。人均年销售额达到了450万元，和国际领先的设备公司持平，但中微公司的人均成本不到国际设备公司的一半，劳动生产率远高于国际领先的设备公司。 2026年上半年公司扣非后归母净利润较去年同期增长108.36%，达到约11.23亿元。研发投入约20.41亿元，较去年同期增长约36.86%，研发支出占公司营业收入比例约为30.51%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平，公司目前同时推进六大类、超20款新设备的研发。 中微公司开发高端先进设备一贯坚持“技术的创新、产品的差异化和知识产权保护”，这使我们开发的新设备有极强的竞争力和迅速扩大市场份额的能力。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。公司持续加大研发创新力度，自主开发的各类新产品对标国际先进同类设备技术水准，多款机型经客户端验证，关键性能指标达到国际先进水平，部分指标优于海外标配设备。目前公司的五十多种设备产品已经覆盖了超过30%前道集成电路设备产品，未来五年，公司将通过自主开发与外延并购，覆盖60%以上的集成电路高端设备市场和70%以上的先进封装设备市场，成为全球领先的高端设备平台型公司。 问答环节主要内容： 请问公司如何看待全球及中国晶圆制造设备（WFE）市场的规模及增长趋势？ 答： 人工智能产业的高速增长推动算力、存储芯片需求快速增长，晶圆厂持续加大资本开支，推动全球WFE市场规模持续走高。根据国际半导体产业协会（SEMI）的预测，2026年全球WFE市场规模将增长23.1%至1,439亿美元。预计2027年再增长21.8%至1,753亿美元，2028年继续增长14.1%，突破2,000亿美元大关。中国市场从2020年成为全球第一大设备市场后，中国大陆地区约占全球WFE市场规模的35%~40%。中微公司始终坚持三维立体发展战略，采取产品多样化的布局策略，不断开发新的高端设备以对冲潜在的周期风险，实现高速稳定的可持续发展。 全球半导体设备、包括上游零部件需求加速，供给逐步趋紧，请问公司产品的交期是否发生变化，未来如何保证产品按时交付？ 答：截至目前，中微公司保持了100%的按时交付。随着客户订单进入大规模交付期，我们将与供应链紧密配合，持续提升公司交付能力。中微公司与海外零部件供应商有着长期、良好、稳定的合作关系，是海外供应商的优先客户，我们会根据订单情况提前做好海外核心零部件的战略备库。公司与国产供应商进行广泛合作，持续推进国产方案的导入，多元化供应链结构，保证供应链的安全性、及时性和稳定性。公司与客户也在不断提升生产及验证效率，缩短设备生产、终测、量产调试时间。 海外设备公司目前交期也很紧张，随着公司产品竞争力的不断提升，公司的海外业务是否有新的进展？ 答：中微公司自成立以来一贯的发展目标是成为全球第一梯队的半导体设备公司，一直致力于研发和生产有国际竞争力的高端半导体设备。公司具备较好的海外客户基础，目前在海外最先进逻辑客户已经累计交付约800个反应台。公司强调完全自主知识产权，产品的国际竞争力在不断提升，实现更小的占地面积，更高的输出量。公司在持续对接更多海外意向客户，持续拓展海外市场。 请问公司未来产能及资本开支的规划如何？ 答：中微公司目前有金桥、临港一期以及南昌三大生产基地。上海临港滴水湖畔的总部大楼暨研发中心已于2026年8月1日举办落成典礼。广州华南总部研发及生产基地计划2027年上半年投产；成都研发及生产基地暨西南总部预计2027年上半年投产。目前，公司厂房建筑面积达到60万平方米。临港二期的生产和研发基地拟于2026年下半年开工建设。未来五年，公司的厂房建筑面积将增至90万平方米。公司的生产能力将持续匹配发展的需求，为公司的大发展夯实基础。 请问公司如何看待中国先进制程的发展，针对国内半导体行业的创新，比如多重曝光、立体堆叠等技术，公司有哪些产品的布局？ 答：除了先进制程采用多重曝光技术不断进步，存储器件也从2D到3D化快速推进。多重曝光以及未来芯片器件的3D化，将大幅增加刻蚀、薄膜沉积、量检测以及部分湿法设备的工艺步骤。中微公司专注于高端微观加工设备的自主研发和创新，更高深宽比、高选择比的刻蚀机将为公司带来新的增长动能。随着芯片越做越小，EPI设备的需求也将显著提升，公司的减压外延设备已在成熟制程客户端验证成功，也已付运多家先进制程客户端验证，进展顺利。此外，我们也在持续推进包括方波技术、ALE技术和ALD技术在ICP等离子体刻蚀设备上的应用研发，以满足三维逻辑、DRAM和NAND等器件对更先进ICP刻蚀设备的持续需求。中微公司在先进封装类设备展开布局，随着国内先进封装市场的大发展，对TSV硅通孔、CuBS PVD集成设备、镀铜设备、量检测设备、混合键合等设备均有拉动。2026年上半年，公司在先进封装领域的新签订单同比实现大幅增长。 请问公司下一代超高深宽比产品、薄膜类产品在先进存储客户的进展如何？ 答：中微公司所开发的拥有完全自主知识产权的60:1高深宽比刻蚀设备已经成为客户首选，实现大批量的量产，产品的uptime超过90%，设备性能和稳定性得到客户高度认可。下一代90:1超高深宽比刻蚀设备在性能、生产效率和稳定性方面全面升级，目前已在客户端验证。应客户要求，中微公司正在开发PECVD、PVD、ALD等多款薄膜设备，其中钨系列薄膜沉积产品已经取得了大批量的订单，实现规模化量产。新的PECVD设备在沉积速度、均匀性、输出量等关键指标已经达到国际领先水平；ALD钼也已经进入生产线验证，目前进展顺利。中微公司有能力为客户的关键工艺提供集成的、整体工艺解决方案。 请问公司薄膜沉积产品在先进逻辑与存储客户端的验证进展如何？未来如何看待薄膜沉积产品在总收入的占比？ 答：中微公司自2010年开始MOCVD设备研发，并且在氮化镓基MOCVD设备领域取得了全球领先的地位。目前，公司已开发出包括全系列的金属栅极、钨系列薄膜沉积产品、PECVD及EPI等多种薄膜类产品。其中，CVD 钨、极高深宽比钨和ALD 钨设备一经推出，就在国内存储大厂实现批量销售，薄膜沉积业务保持高速增长的趋势。公司新开发的等离子体增强原子层沉积（PEALD）设备将覆盖介质薄膜材料，该设备已交付国内先进逻辑芯片客户验证，验证进度良好。此外，公司仅用18个月就成功开发出OLED 8.6代线大平板PECVD设，并顺利进入大生产线认证。中微公司的薄膜类设备在手订单饱满，将保持高速的增长，成为公司业绩增长的重要驱动。 请问公司在MOCVD、先进封装以及量检测产品的最近进展如何？答：公司的MOCVD产品全面覆盖下游应用，包含蓝光照明、深紫外LED、Mini-LED、Micro-LED、SiC、GaN功率器件等外延设备。截至2025年，公司持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位。在2025年全球半导体设备厂商的评比中，凭借产品优异的性能与领先的性价比，中微公司的薄膜设备多次被评为第一名。此外，公司正在推进应用于红黄光LED的MOCVD设备开发，实验室已实现了优良的LED波长均匀性能，样机已送至国内领先客户开展生产验证，目前样机验证进展顺利。 公司的TSV刻蚀设备持续获得批量订单，2026年上半年先进封装类刻蚀设备保持高增长。先进封装所用的TSV CuBS PVD 集成设备开发顺利，报告期内获得了优良的工艺结果，正与多家领先客户开展商务洽谈。同时，公司已启动UBM PVD集成设备研发，进一步完善先进封装平台化产品布局。未来五年公司将通过自主开发与外延并购，覆盖70%以上的先进封装设备市场。 公司已经全面布局光学量检测及电子束量检测设备。中微公司现已开发出CD-SEM的alpha机台，目前在实验室已经实现良好的测试结果。公司已规划开发HV-SEM、DR-SEM（缺陷复检）等机台，未来中微公司将通过自主研发、投资并购实现对光学量检测和电子束量检测设备的全面覆盖。 请问如何展望未来公司人员规模的增长？ 答：截至2026年6月30日，公司的人员规模达到3,680人。其中研发人员规模达到1,908人，研发人员占总人数比例达到51.85%，研发人员中，硕士、博士研究生占比达到59.59%。中微公司的发展注重人员效率，2025年公司的人均年销售额达到了450万元，同时中微公司的人均成本相比设备公司更低，劳动生产率高于海外设备公司。未来，公司将继续聚焦员工效率，保持稳健的人员扩张计划，根据产品、市场情况灵活调整人员策略。

关于本次活动是否涉及应披露重大信息的说明 本次活动不涉及未公开披露的重大信息。

附件-参会机构列表：

ACG Management

Ashler Capital

Aviva Investors Global Services Limited

Balyasny Asset Management (Hong Kong) Ltd.

BNP PARIBAS

Capital Group

Causeway Capital Management

Citadel Asia Limited

Coatue Management LLC

Comgest Far East Limited

Eastspring Investments (Hong Kong) Limited

EVALUESERVE

Freemont Capital

Government of Singapore Investment Corporation Pte Ltd

Harding Loevner

HSBC

HSBC Asset Management

HSZ Group

J.P. Morgan Securities (Asia Pacific) Limited

Jain Global (Singapore) Pte. Ltd.

Jefferies HongKong Limited

Jellola Investments Pte. Ltd.

JPMorgan Asset Management Taiwan

Lygh Capital

MACQUARIE EQUITIES LIMITED

Maple-Brown Abbott

Marshall Wace Asia Limited

Millennium Capital Management(Singapore) Pte Ltd

Mizuho

MSIM

Nippon Life Global Investors

North Rock Capital Management (HK) Ltd

PineBridge Investments Asia Limited

Point72 Hong Kong Limited

Point State Capital

Polymer Capital Singapore Pte. Ltd.

SANFORD BERNSTEIN

Tekne CapitalManagement, LLC

THE PUTNAM ADVISORY COMPANY, LLC

TT Intl Investment Mgmt Ltd

UPAMC

USS Investment Management Ltd

Vontobel Asset Management Asia Pacific Ltd.

爱建证券有限责任公司

安信基金管理有限责任公司

巴富罗（海南）私募基金管理有限公司

百达世瑞(上海)私募基金管理有限公司

百年保险资产管理有限责任公司

宝盈基金管理有限公司

北京方圆金鼎投资管理有限公司

北京格雷资产管理中心(有限合伙)

北京汉和汉华资本管理有限公司

北京宏道投资管理有限公司

北京沃虎私募基金管理有限公司

北京橡果资产管理有限公司

北京衍航投资管理有限公司

北京泽铭投资有限公司

北京遵道资产管理有限公司

倍晟股权投资有限公司

本營國際有限公司

碧云银霞投资管理咨询（上海）有限公司

博道基金管理有限公司

博时基金管理有限公司

博裕资本有限公司

财通基金管理有限公司

财通证券资产管理有限公司

创金合信基金管理有限公司

淳厚基金管理有限公司

大和日华(上海)企业咨询有限公司

淡水泉投资

道明资产管理公司

道朴资本

第一创业证券股份有限公司

第一上海證券有限公司

东北证券股份有限公司

东方阿尔法基金管理有限公司

东方基金

东方马拉松

东方证券股份有限公司

东吴基金管理有限公司

东吴人寿保险股份有限公司

东吴证券股份有限公司

东兴证券股份有限公司

东亚前海证券有限责任公司

法国巴黎银行（中国）有限公司

法国巴黎银行资管

方瀛研究與投資（香港）有限公司

方正证券股份有限公司

冯源（宁波）私募基金管理有限公司

复星国际资产管理有限公司

富达基金管理（中国）有限公司

富达利泰管理咨询（上海）有限公司

富達基金（香港）有限公司

富敦投资管理(上海)有限公司

富兰克林邓普顿投资管理(上海)有限公司

高盛(亞洲)有限責任公司

高盛資產管理(香港)有限公司

高维私募基金管理（上海）有限公司

耕霁（上海）投资管理有限公司

光大理财

光大证券股份有限公司

广东惠正私募基金管理有限公司

广东温氏投资有限公司

广发证券股份有限公司

广发证券资产管理(广东)有限公司

广州金鹰资产管理有限公司

国都证券股份有限公司

国海证券股份有限公司

国华兴益保险资产管理有限公司

国金证券

国联民生证券股份有限公司

国联证券股份有限公司

国寿安保基金管理有限公司

国泰海通证券股份有限公司

国泰基金管理有限公司

国投安信期货有限公司

国投产业研究院/产业研究所

国投瑞银基金管理有限公司

国投泰康信托有限公司

国投证券股份有限公司

国新证券股份有限公司

国信证券股份有限公司

國泰人壽保險股份有限公司

國泰證券投資信託股份有限公司

海富通基金管理有限公司

海南晓煜投资有限公司

海通国际研究有限公司

瀚亚投资管理（上海）有限公司

杭州博衍私募基金管理合伙企业（有限合伙）

杭州军璐投资有限公司

杭州遂玖资产管理有限公司

杭州涨不停基金

杭州正鑫私募基金管理有限公司

合信资本

合众资产管理股份有限公司

和谐健康保险股份有限公司

恒洵投资

弘鼎資本有限公司

红土创新基金管理有限公司

宏利基金管理有限公司

宏利投資管理(香港)有限公司

泓德基金管理有限公司

花旗环球金融亚洲有限公司

华安财保资产管理有限责任公司

华宝基金管理有限公司

华宝信托有限责任公司

华创证券有限责任公司

华福证券有限责任公司

华龙证券股份有限公司

华能贵诚信托有限公司

华强集团有限公司

华商基金管理有限公司

华泰金融控股(香港)有限公司

华泰证券股份有限公司

华泰资产管理有限公司

华西证券股份有限公司

华夏基金管理有限公司

华源证券股份有限公司

晖锐私募基金管理(三亚)有限公司

汇安基金管理有限责任公司

汇丰晋信基金管理有限公司

汇丰前海证券有限责任公司

汇添富基金管理股份有限公司

惠理基金

滙豐環球投資管理(香港)有限公司

混沌投资

嘉实基金管理有限公司

建信保险资产管理有限公司

建銀國際證券有限公司

江苏羿鹏私募基金管理有限公司

交银施罗德基金管理有限公司

交銀國際控股有限公司

交銀施羅德資產管理(香港)有限公司

金鹰基金管理有限公司

静瑞资本

九泰基金管理有限公司

开源证券股份有限公司

開域資本有限公司

考斯韦（上海）信息咨询有限公司

昆仑健康保险股份有限公司

昆山玉侨合投资管理有限公司

立格资本

陆家嘴国际信托有限公司

路博迈亚洲有限公司

麦格理资本股份有限公司

美林(亚太)有限公司

民生加银基金管理有限公司

民生证券股份有限公司

明景资本有限公司

摩根大通证券(中国)有限公司

摩根士丹利管理服务（上海）有限公司

摩根士丹利基金管理(中国)有限公司

摩根士丹利证券（中国）有限公司

沐德资产管理(北京)有限公司

南方基金管理股份有限公司

南京市创新投资集团有限责任公司

南京证券股份有限公司

宁波宝隽资产管理有限公司

宁波泽添投资管理合伙企业（有限合伙）

农银汇理基金管理有限公司

农银人寿

诺安基金管理有限公司

诺德基金管理有限公司

磐石资产管理有限公司

磐泽资产管理有限公司

鹏安基金管理有限公司

鹏华基金管理有限公司

平安基金管理有限公司

平安证券股份有限公司

平安资产管理有限责任公司

浦银安盛基金管理有限公司

七叶树资产

前海人寿保险股份有限公司

青骊投资管理(上海)有限公司

青银理财有限责任公司

清池资本(香港)有限公司

泉果基金管理有限公司

群益证券投资信托股份有限公司

瑞士百達資產管理（香港）有限公司

瑞穗證券亞洲有限公司

瑞银证券有限责任公司

瑞银资产管理（香港）有限公司

睿远基金管理有限公司

三井住友德思資產管理(香港)有限公司

山西证券股份有限公司

上海百勋资产管理有限公司

上海博笃投资管理有限公司

上海诚熠私募基金管理中心（有限合伙）

上海道仁资产管理有限公司

上海道子天资产管理有限公司

上海德汇集团有限公司

上海东方证券资产管理有限公司

上海笃诚私募基金管理有限公司

上海高毅资产管理合伙企业（有限合伙）

上海觀全资座管理有限公司

上海国泰君安证券资产管理有限公司

上海合道资产管理有限公司

上海和谐汇一资产管理有限公司

上海鹤禧私募基金管理有限公司

上海健顺投资管理有限公司

上海江天私募基金管理有限公司

上海玖鹏资产管理中心(有限合伙)

上海君和立成投资管理中心（有限合伙）

上海科技创业投资(集团)有限公司

上海昆仑磐升私募基金管理有限公司

上海朗程投资管理有限公司

上海理成资产管理有限公司

上海理臻投资管理有限公司

上海瓴仁私募基金管理合伙企业（有限合伙）

上海聆泽私募基金管理有限公司

上海隆象私募基金管理有限公司

上海明河投资管理有限公司

上海摩旗投资管理有限公司

上海盘京投资管理中心（有限合伙）

上海汽车集团金控管理有限公司

上海乾瞻资产管理有限公司

上海勤辰私募基金管理合伙企业(有限合伙)

上海尚颀投资管理合伙企业（有限合伙）

上海申银万国证券研究所有限公司

上海世亨私募基金管理有限公司

上海泰旸资产管理有限公司

上海彤舜科技有限公司

上海彤源投资发展有限公司

上海途灵资产管理有限公司

上海犀浦

上海喜世润投资管理有限公司

上海湘禾投资有限公司

上海瀛赐私募基金管理有限公司

上海于翼资产管理合伙企业（有限合伙）

上海渊泓投资

上海远海私募基金管理有限公司

上海錾义创业投资有限公司

上海兆顺私募基金管理有限公司

上海证券有限责任公司

申万宏源证券有限公司

申万菱信基金管理有限公司

深圳国源信达资本管理有限公司

深圳河床投资管理有限公司

深圳红年资产管理有限公司

深圳宽源私募证券基金管理有限公司

深圳前海百川基金管理有限公司

深圳前海道谊投资控股有限公司

深圳前海荣金资产管理有限公司

深圳市国晖投资有限公司

深圳市前海世传国际投资管理有限公司

深圳市睿德信投资集团有限公司

深圳市晓喆私募证券基金管理有限公司

深圳市鑫融长弘投资管理有限公司

深圳市興億投資管理有限公司

深圳市易同投资有限公司

深圳市裕晋投资有限公司

深圳市长青藤资产管理有限公司

深圳市中才中环投资管理有限公司

深圳鑫泰禾私募基金有限公司

盛博香港有限公司

施羅德投資管理(香港)有限公司

拾贝投资管理（北京）有限公司

世嘉控股集团（杭州）有限公司

苏新基金管理有限公司

苏州龙远投资管理有限公司

太平基金管理有限公司

太平洋证券股份有限公司

太平洋资产管理有限责任公司

太平资产管理有限公司

泰康基金管理有限公司

天风证券股份有限公司

天弘基金管理有限公司

天隼投资管理咨询(上海)有限公司

天治基金管理有限公司

威靈頓管理香港有限公司

伟星资产管理(上海)有限公司

无锡市创新投资集团有限公司

西安瀑布资产管理有限公司

西部利得基金管理有限公司

西部证券股份有限公司

香港上海汇丰银行有限公司

小悟空私募基金管理（海南）有限公司

新华资产管理股份有限公司

信安私募基金管理(上海)有限公司

信达澳亚基金管理有限公司

信达证券股份有限公司

星展唯高達香港有限公司

兴业证券股份有限公司

兴银基金管理有限责任公司

阳光资产管理股份有限公司

野村國際(香港)有限公司

野村證券投資信託股份有限公司

益安资本

银华基金管理股份有限公司

永赢基金管理有限公司

甬兴证券有限公司

圆信永丰基金管理有限公司

圓方資本管理有限公司

粤开证券股份有限公司

雲富投資集團有限公司

长城财富保险资产管理股份有限公司

长城基金管理有限公司

长城证券股份有限公司

长江养老保险股份有限公司

长江证券股份有限公司

长盛基金管理有限公司

招商基金管理有限公司

招商信诺资产管理有限公司

招商证券股份有限公司

招商资管

招銀國際環球市場有限公司

招銀國際證券有限公司

浙江秘银投资管理有限公司

浙江省创新投资私募基金管理有限公司

浙江圣熙资产管理有限公司

浙江鑫厚投资管理有限公司

浙商证券股份有限公司

证券投资总部

中财招商投资集团有限公司

中国船舶集团投资有限公司

中国国际金融股份有限公司

中国平安

中国平安保险(集团)股份有限公司

中国人保资产管理有限公司

中国人寿

中国人寿养老保险股份有限公司

中国人寿资产管理有限公司

中国太平洋保险

中国银河证券股份有限公司

中国长城资产管理股份有限公司

中航信托股份有限公司

中航证券有限公司

中加基金管理有限公司

中金资管

中欧基金

中青城投(广东)资本管理有限公司

中泰证券(上海)资产管理有限公司

中泰证券股份有限公司

中投國際(香港)有限公司

中信保诚基金管理有限公司

中信保诚资产管理有限责任公司

中信建投基金管理有限公司

中信里昂证券有限公司

中信证券股份有限公司

中银国际证券股份有限公司

中银基金管理有限公司

中銀國際英國保誠資產管理有限公司

中英人寿

中邮创业基金管理股份有限公司

中邮证券有限责任公司

中域资产

洲和资本有限公司

朱雀基金管理有限公司

珠海景瑞私募基金管理有限公司

资衡（上海）商业管理有限公司