中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告

证券代码：688012证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026年第一季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息

的真实、准确、完整。

第一季度财务报表是否经审计

□是√否

*公司2026年第一季度（1-3月）营业收入为29.15亿元，同比增长34.13%。

*2026年第一季度（1-3月）归属于上市公司股东的净利润为9.30亿元，较去年同期增长

197.20%。

*2026年第一季度公司研发支出9.08亿元，较去年同期增长约32.15%，研发支出占公司营业收入比例约为31.14%。

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币

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本报告期比上年同期增项目本报告期上年同期减变动幅度

(%)

营业收入2914986518.732173278385.6234.13%

利润总额976844420.45294315412.33231.90%

归属于上市公司股东的净利润930487319.17313082457.72197.20%归属于上市公司股东的扣除非

477558746.17298301989.0560.09%

经常性损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额-158726143.08376808177.47-142.12%

基本每股收益（元/股）1.480.50196.00%

稀释每股收益（元/股）1.470.50194.00%

增加2.43个

加权平均净资产收益率（%）4.001.57百分点

研发投入合计907604326.73686819262.8232.15%

研发投入占营业收入的比例减少0.46个

31.1431.60

（%）百分点本报告期末比上年度末本报告期末上年度末增减变动幅

度(%)

总资产31270377655.7729846018981.434.77%归属于上市公司股东的所有者

24309292593.5922694616797.167.11%

权益

公司累计已有超过 8300个反应台在国内外 180余条客户芯片及 LED生产线全面量产。公司在过去14年保持了营业收入年均增长大于35%、在2025年比2024增长36.62%的基础上，2026

年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长34.13%，达到29.15亿元。归母净利润较去年

同期增长197.20%，达到9.30亿元。2026年第一季度公司研发支出9.08亿元，较去年同期增长约

32.15%，研发支出占公司营业收入比例约为31.14%，以远高于科创板上市公司的平均研发投入水平，推进六大类、超20款新设备的研发。

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。在先进存储器件制造工艺中，公司完全自主开发的针对超高深宽比刻蚀工艺的刻蚀机已有300多台反应器实现了稳定可靠的大规模量产。CCP 方面，用于关键刻蚀工艺的介质刻蚀产品持续保持高速增长，下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备已运付客户端进行验证，公司已全面覆盖存储器刻蚀应

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用中各类超高深宽比需求；ICP方面，适用于新一代逻辑和存储芯片制造用的第二代 ICP刻蚀设备 Primo AngnovaTM在 3D DRAM的应用中，取得了 140:1的高深宽刻蚀结果和形貌控制能力，并付运到国内领先存储客户端认证。全新的化学气相刻蚀设备 Primo DomingoTM实现大于 700:1 的业界领先 SiGe/Si 的高选择比，在 GAA 和 3DDRAM 关键工艺的实验室验证中，展现优异的刻蚀性能，全面满足客户的各项工艺指标要求。

公司以行业领先的研发速度，在短时间内成功开发出十多种薄膜设备包括 LPCVD、ALD、EPI、PVDCuBS和 PECVD 等产品在先进存储和先进逻辑市场新增付运量保持快速增长，2025 年薄膜设备营收同比大幅增长约224.23%，成为公司业绩增长的重要新引擎。公司为先进逻辑和先进存储器件金属栅应用开发的 ALD 系列产品，设备性能达到国际领先水平的同时，表现出更优异的生产效率。同时，可用于先进半导体器件制造的核心金属薄膜沉积产品正在开发，项目顺利推进中。公司所开发的多款核心介质沉积设备都在有序推进，与客户的各项验证工作也有良好的进展。公司的减压 EPI设备已在成熟制程客户端验证成功，也已付运先进制程客户端，部分先进工艺已进入量产验证阶段；常压外延设备现已完成开发，进入晶圆验证阶段。

公司持续保持国际氮化镓基MOCVD 设备市场领先地位，积极布局用于 SiC 和 GaN 基功率器件应用的市场，并在Micro-LED 和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得了良好进展。

四款MOCVD新产品包括用于 SiC和 GaN功率器件的MOCVD，用于Micro LED的 GaNMOCVD和用于红黄光 LED的 GaAs MOCVD设备已进入客户端验证阶段，并且部分得到批量订货。

公司本期营业收入为29.15亿元，同比增长约34.13%。

本期归属于上市公司股东的净利润为9.30亿元，较上年同期增长约6.17亿元，同比增长约

197.20%，主要原因为：（1）本期营业收入增长34.13%下，毛利较上年增长约2.60亿元；（2）

本期公司研发支出较上年同期增长2.21亿元（增长32.15%），研发支出占公司营业收入比例约为

31.14%，远高于科创板均值；（3）公司本期出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生

税后净收益约3.97亿元。

2026年第一季度（1-3月）归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约4.78亿元，

较上年同期增加1.79亿元（增长60.09%），主要由于营业收入增长下毛利增加2.60亿元，销售费用增加0.28亿以及研发费用较上年同期增加0.34亿元。

(二)非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位:元币种:人民币非经常性损益项目本期金额说明

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非流动性资产处置损益，包括已计提资产减主要系公司本期出售了值准备的冲销部分466622241.93部分持有的拓荆科技股份有限公司股票

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照

6392084.84

确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负

54373039.04

债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费

委托他人投资或管理资产的损益4467165.90对外委托贷款取得的损益

因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各项资产损失单独进行减值测试的应收款项减值准备转回

企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益非货币性资产交换损益债务重组损益企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性费用，如安置职工的支出等因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益产生的一次性影响

因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份支付费用

对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，应付职工薪酬的公允价值变动产生的损益采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益交易价格显失公允的交易产生的收益与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损益受托经营取得的托管费收入

除上述各项之外的其他营业外收入和支出494709.62其他符合非经常性损益定义的损益项目

减：所得税影响额-79420345.32

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少数股东权益影响额（税后）-323.01

合计452928573.00

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用

(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用□不适用变动比例项目名称主要原因

（%）

公司本期营业收入为29.15亿元，同比增长约34.13%。

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高

端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。

营业收入34.13

公司为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD ALD

等多款导体和介质薄膜设备已经顺利进入市场，薄膜设备的覆盖率不断增加，新增付运量保持快速增长，并在客户端持续应用在迭代产品上。

公司本期利润总额为9.77亿元，同比增长约231.90%；

利润总额231.90归属于上市公司股东的净利润为9.30亿元，同比增长约197.20%。主要系：（1）营业收入在增长34.13%的同时，毛利较上年增长约2.60亿元；（2）公司本期出归属于上市公司股东的

197.20售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后

净利润

净收益约3.97亿元。

经营活动产生的现金流公司业务持续增长下，本期购买商品、接受劳务支付的-142.12量净额现金以及支付给职工以及为职工支付的现金增加。

本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润

归属于上市公司股东的约4.78亿元，较上年同期增加1.79亿元，同比增长约扣除非经常性损益的净60.0960.09%，主要由于营业收入增长下毛利增加2.60亿利润元，销售费用增加0.28亿以及研发费用较上年同期增加0.34亿元。

基本每股收益（元/股）196.00主要由于本报告期归属于上市公司股东的净利润的增长

稀释每股收益（元/股）194.00导致基本每股收益上升。

本期公司研发投入约9.08亿元，较上年同期增长2.21研发投入合计32.15亿元，同比增长约32.15%。

二、股东信息

(一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

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单位：股报告期末表决权恢复的优先股股东

报告期末普通股股东总数51122/总数（如有）

前10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

包含转质押、标记或冻持有有融通借结情况股东持股比限售条出股份股东名称持股数量

性质例(%)件股份的限售股份状数量股份数数量态量国有

上海创业投资有限公司8722208013.9300无0法人

香港中央结算有限公司其他6590624310.5300无0巽鑫（上海）投资有限国有

6400228610.2200无0

公司法人华芯投资管理有限责任

公司－国家集成电路产国有

218238253.4900无0

业投资基金二期股份有法人限公司招商银行股份有限公司

－华夏上证科创板50

其他135639922.1700无0成份交易型开放式指数证券投资基金广发证券股份有限公司

－国泰中证半导体材料

其他93651141.500无0设备主题交易型开放式指数证券投资基金中信证券股份有限公司

－嘉实上证科创板芯片

其他91940901.4700无0交易型开放式指数证券投资基金中国工商银行股份有限

公司－易方达上证科创

其他74857881.200无0板50成份交易型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限

公司－华夏国证半导体

其他54906590.8800无0芯片交易型开放式指数证券投资基金招商银行股份有限公司

－银河创新成长混合型其他40133720.6400无0证券投资基金

前10名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

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股份种类及数量股东名称持有无限售条件流通股的数量股份种类数量人民币普上海创业投资有限公司8722208087222080通股人民币普香港中央结算有限公司6590624365906243通股人民币普巽鑫（上海）投资有限公司6400228664002286通股

华芯投资管理有限责任公司－人民币普国家集成电路产业投资基金二21823825通股21823825期股份有限公司

招商银行股份有限公司－华夏人民币普上证科创板50成份交易型开放13563992通股13563992式指数证券投资基金

广发证券股份有限公司－国泰人民币普中证半导体材料设备主题交易9365114通股9365114型开放式指数证券投资基金

中信证券股份有限公司－嘉实人民币普上证科创板芯片交易型开放式9194090通股9194090指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公司－人民币普易方达上证科创板50成份交易7485788通股7485788型开放式指数证券投资基金

中国建设银行股份有限公司－人民币普华夏国证半导体芯片交易型开5490659通股5490659放式指数证券投资基金

招商银行股份有限公司－银河人民币普

40133724013372

创新成长混合型证券投资基金通股巽鑫（上海）投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司－上述股东关联关系或一致行动国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关的说明系。除此之外，未知上述其他股东是否存在关联关系或一致行动关系。

前10名股东及前10名无限售

股东参与融资融券及转融通业/

务情况说明（如有）

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用

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三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用√不适用

四、季度财务报表

(一)审计意见类型

□适用√不适用

(二)财务报表合并资产负债表

2026年3月31日

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2026年3月31日2025年12月31日

流动资产：

货币资金7900825590.587951400258.31结算备付金拆出资金

交易性金融资产630952397.26791755164.40衍生金融资产

应收票据64595468.9660486128.55

应收账款2565956704.811986842828.78应收款项融资

预付款项104728573.5059653611.83应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款91070888.6089771972.40

其中：应收利息应收股利买入返售金融资产

存货7258850178.537169972235.39

其中：数据资源

合同资产9822247.6015616848.62

持有待售资产-一年内到期的非流动资产

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其他流动资产874316433.18808501134.32

流动资产合计19501118483.0218934000182.60

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资

长期应收款11775405.6312242089.36

长期股权投资1687100834.341444770418.51其他权益工具投资

其他非流动金融资产2296278493.252171888747.71

投资性房地产5276575.155379948.51

固定资产2790998988.122829204536.58

在建工程1008196725.07862874481.39生产性生物资产油气资产

使用权资产8399561.409767218.68

无形资产1226750901.231285841936.37

其中：数据资源

开发支出1902464355.151535060685.12

其中：数据资源商誉

长期待摊费用3723786.864229585.88

递延所得税资产415018533.25334948560.57

其他非流动资产413275013.30415810590.15

非流动资产合计11769259172.7510912018798.83

资产总计31270377655.7729846018981.43

流动负债：

短期借款向中央银行借款拆入资金交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款2076755528.271856267553.12预收款项

合同负债2852936676.693043841852.78卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬235765391.00453359894.63

应交税费149641699.26102022623.49

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其他应付款480579691.81527155746.28

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债18023341.0719116635.86

其他流动负债221547992.52200212588.33

流动负债合计6035250320.626201976894.49

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款730400000.00730400000.00应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债3829322.994868935.49长期应付款长期应付职工薪酬

预计负债8737158.838607982.57

递延收益154409789.81169570623.11

递延所得税负债105650.68105650.68

其他非流动负债1666832.601648385.00

非流动负债合计899148754.91915201576.85

负债合计6934399075.537117178471.34

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）626917810.00626145307.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积15508529906.6215042347134.89

减：库存股-215940213.47

其他综合收益8488794.327195805.39专项储备

盈余公积313072653.50313072653.50一般风险准备

未分配利润7852283429.156921796109.85归属于母公司所有者权益（或

24309292593.5922694616797.16股东权益）合计

少数股东权益26685986.6534223712.93

所有者权益（或股东权益）

24335978580.2422728840510.09

合计

10/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告负债和所有者权益（或股

31270377655.7729846018981.43东权益）总计

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并利润表

2026年1—3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2026年第一季度2025年第一季度

一、营业总收入2914986518.732173278385.62

其中：营业收入2914986518.732173278385.62利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本2534917897.951918444937.17

其中：营业成本1752123631.661270562411.05利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加15441654.9421335712.58

销售费用132372145.9594306601.00

管理费用100375675.4288175591.86

研发费用524479913.98464353795.33

财务费用10124876.00-20289174.65

其中：利息费用4425647.894896202.39

利息收入21353877.7231539023.07

加：其他收益63863128.8349461752.56

投资收益（损失以“-”号填列）499544578.06-12012219.16

其中：对联营企业和合营企业的

28455170.16-18620143.67

投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益

汇兑收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以“-”

54373039.0478404.50号填列）

11/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告信用减值损失（损失以“-”号填-16391260.14856511.39

列）资产减值损失（损失以“-”号填-5110207.56-2188238.32

列）资产处置收益（损失以“-”号填

3438166.21

列）

三、营业利润（亏损以“-”号填列）976347899.01294467825.63

加：营业外收入442098.492159691.61

减：营业外支出-54422.952312104.91四、利润总额（亏损总额以“-”号填

976844420.45294315412.33

列）

减：所得税费用58404516.33-13930555.77

五、净利润（净亏损以“-”号填列）918439904.12308245968.10

（一）按经营持续性分类1.持续经营净利润（净亏损以“-”

918439904.12308245968.10号填列）2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类1.归属于母公司股东的净利润（净

930487319.17313082457.72亏损以“-”号填列）2.少数股东损益（净亏损以“-”号-12047415.05-4836489.62

填列）

六、其他综合收益的税后净额5844702.1510010526.31

（一）归属母公司所有者的其他综合

5844702.1510010526.31

收益的税后净额

1．不能重分类进损益的其他综合收

益

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2．将重分类进损益的其他综合收益5844702.1510010526.31

（1）权益法下可转损益的其他综合收

1160617.80

益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额4684084.3510010526.31

（7）其他

12/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额924284606.27316757327.16

（一）归属于母公司所有者的综合收

936332021.32321593816.78

益总额

（二）归属于少数股东的综合收益总

-12047415.05-4836489.62额

八、每股收益：

（一）基本每股收益(元/股)1.480.50

（二）稀释每股收益(元/股)1.470.50

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文合并现金流量表

2026年1—3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计项目2026年第一季度2025年第一季度

一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金2526789469.402775952872.43客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额收到的税费返还

收到其他与经营活动有关的现金178837401.93149212656.35

经营活动现金流入小计2705626871.332925165528.78

购买商品、接受劳务支付的现金1988274973.931698119114.14客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

13/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金635811401.34563717826.76

支付的各项税费169087595.74258714301.73

支付其他与经营活动有关的现金71179043.4027806108.68

经营活动现金流出小计2864353014.412548357351.31经营活动产生的现金流量净

-158726143.08376808177.47额

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金2324278387.281688684000.00

取得投资收益收到的现金483388864.2010177184.27

处置固定资产、无形资产和其他

42688.16

长期资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额

收到其他与投资活动有关的现金14832000.00

投资活动现金流入小计2822541939.641698861184.27

购建固定资产、无形资产和其他

190767155.83297904774.09

长期资产支付的现金

投资支付的现金2543468021.351325000000.00与满足资本化条件开发支出直接

342000266.68156788584.01

相关项目所支付的现金质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额支付其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流出小计3076235443.861779693358.10投资活动产生的现金流量净

-253693504.22-80832173.83额

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金491219357.25

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金取得借款收到的现金收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计491219357.25偿还债务支付的现金

分配股利、利润或偿付利息支付

4440517.414770472.22

的现金

其中：子公司支付给少数股东的

股利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金11322093.6210534387.90

筹资活动现金流出小计15762611.0315304860.12

14/15中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年第一季度报告

筹资活动产生的现金流量净

475456746.22-15304860.12

额

四、汇率变动对现金及现金等价物

-24988026.21的影响

五、现金及现金等价物净增加额38049072.71280671143.52

加：期初现金及现金等价物余额5996900464.055655372752.40

六、期末现金及现金等价物余额6034949536.765936043895.92

公司负责人：尹志尧主管会计工作负责人：陈伟文会计机构负责人：陈伟文

2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用特此公告

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年4月27日