证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-088

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司对外投资暨关联交易的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

* 投资标的名称：青禾晶元半导体科技（集团）股份有限公司（以下简称“青禾晶元”）

* 本次对外投资概述：公司的全资子公司中微半导体（上海）有限公司（以下简称“中微临港”）拟以不超过人民币 35000000 元向青禾晶元进行增资，认购青禾晶元新增注册资本人民币 9042 元，占青禾晶元本轮融资后注册资本的比例为 0.5000%；本轮投资方中微临港，连同其他十七方投资方拟合计向青禾晶元增资 2.5 亿元，青禾晶元的注册资本由 174.3799 万元增资至 180.8385 万元。连同前期增资所取得的股权，本轮增资后中微临港合计持有青禾晶元注册资本比例为 7.0718%。投资金额为公司综合考虑反稀释，战略协同等因素，与青禾晶元及其他各方沟通协商结果。

* 鉴于在本轮投资前，中微临港及本公司关联方上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“智微攀峰”）、嘉兴智微厚德创业投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“智微厚德”）已经投资青禾晶元，同时公司董事长尹志尧担任青禾晶元现任董事，根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 5号——交易与关联交易》的有关规定，本次投资构成关联交易，但未构成重大资产重组。

* 本次交易实施不存在重大法律障碍。

* 本次交易事项已经独立董事 2026 年第四次专门会议审议通过，并经

公司第三届董事会第十六次会议审议通过，关联董事尹志尧已回避表决。本事项无需提交公司股东会审议。

* 目标公司在技术研发、业务发展等方面存在一定的不确定性，在经营过程中可能面临技术和市场等方面风险，公司可能存在无法实现预期投资收益的风险。

一、对外投资暨关联交易的概述

本次投资标的青禾晶元定位为先进半导体键合集成技术与方案提供商，核心业务以“高端键合装备制造+整线服务”为根基，产品主要包括晶圆键合设备、芯片键合设备和表面处理设备。技术广泛应用于先进封装、半导体器件制造、晶圆级异质材料集成及MEMS传感器等前沿领域，致力于构建全产业链解决方案。

为把握全球先进封装技术快速发展的产业机遇，完善公司在半导体设备领域的战略布局，公司的全资子公司中微临港拟以不超过人民币 35000000元向青禾晶元进行增资，认购青禾晶元新增注册资本人民币 9042元，占青禾晶元本轮融资后注册资本的比例为 0.5000%；本轮投资方中微临港，连同其他十七方投资方拟合计向青禾晶元增资 2.5 亿元，青禾晶元的注册资本由 174.3799 万元增资至

180.8385万元。连同前期增资所取得的股权，本轮增资后中微临港合计持有青禾

晶元注册资本比例为 7.0718%。

本次对外投资协议尚未签署，最终青禾晶元股东构成、出资金额、出资方式及出资比例等协议内容以各方实际签署的正式协议为准。

鉴于在本轮投资前，中微临港及本公司关联方智微攀峰、智微厚德已经投资青禾晶元，同时公司董事长尹志尧担任青禾晶元现任董事，根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 5号——交易与关联交易》的有关规定，本次投资构成关联交易。

本次投资未达到《上市公司重大资产重组管理办法》规定的重大资产重组标准，不构成重大资产重组。

二、关联人基本情况

（一）智微攀峰

组织全称 上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙）

统一社会信用代码 91310000MAEU7RLK97

执行事务合伙人 上海智微私募基金管理有限公司（以下简称“智微资本”）

成立日期 2025-08-15

注册资本 150000万元中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云汉路 979 号 2主要经营场所楼

一般项目：创业投资（限投资未上市企业）。（除依法须经经营范围批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）智微资本普通合伙人；中微临港为有限合伙人，出资占比

49%；上海临港国泰君安科技前沿产业私募基金合伙企业

合伙人情况 （有限合伙）、上海国孚领航投资合伙企业（有限合伙）、

上海科技创业投资有限公司等 10 名合伙人合计出资占比

50%

与标的公司的关系 于 2026年 9月向标的公司投资并成为其股东中微临港系智微攀峰的有限合伙人，出资占比 49%；智微资本系智微攀峰的执行事务合伙人、基金管理人，中微临关联关系 港持有智微资本 45%的股权，且智微资本实际控制人、法定代表人、董事兼经理刘晓宇先生，系公司第二届董事会副总经理、董事会秘书。

是否为本次与上市公司共同否参与增资的共同投资方

（二）智微厚德

组织全称 嘉兴智微厚德创业投资合伙企业（有限合伙）

统一社会信用代码 91330402MAEWB33B9T

执行事务合伙人 上海智微私募基金管理有限公司

成立日期 2025-09-01

注册资本 18000万元

浙江省嘉兴市东栅街道南江路 1856号基金小镇 1号楼 217主要经营场所

室-18

一般项目：创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批经营范围 准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）上海智微私募基金管理有限公司为普通合伙人；刘晓宇、合伙人情况

徐静等 37名为有限合伙人

与标的公司的关系 于 2026年 9月向标的公司投资并成为其股东

智微资本系智微厚德的执行事务合伙人、基金管理人，中关联关系

微临港持有智微资本 45%的股权，且智微资本实际控制人、法定代表人、董事兼经理刘晓宇先生，系公司第二届董事会副总经理、董事会秘书是否为本次与上市公司共同否参与增资的共同投资方

三、投资标的基本情况

（一）投资标的的名称和类别

本次交易标的为青禾晶元 0.5000%的股权，系公司通过货币出资认购股权取得，交易类型属于《上海证券交易所科创板股票上市规则》中的“对外投资”。

（二）标的企业的基本情况

公司名称：青禾晶元半导体科技（集团）股份有限公司

法定代表人：母凤文

成立时间：2020年 7月 8日

注册资本：174.3799万元

统一社会信用代码：91110113MA01TETA0G

注册地址：天津滨海高新区塘沽海洋科技园新北路 4668号创新创业园 38号

厂房四层 402室

经营范围：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用材料制造；货物进出口；技术进出口；进出口代理；会议及展览服务（出国办展须经相关部门审批）；自然科学研究和试验发展；工程和技术研究

和试验发展；医学研究和试验发展；通用设备制造（不含特种设备制造）；专用

设备制造（不含许可类专业设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

（三）标的企业最近一年又一期合并财务数据

单位：万元

2025年 12 月 31日 2026年 7月 31日

科目（未经审计） （未经审计）

资产总额 84342.08 150133.11

负债总额 29725.75 47384.72

所有者权益总额 54616.33 102748.39

资产负债率 35.24% 31.56%

2025年 12 月 31日 2026年 7月 31日

科目（未经审计） （未经审计）

营业收入 9373.32 15580.20

净利润 -18180.96 -11337.41

（四）增资前后的股权结构

本次增资前的股权结构：

持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

1 母凤文 32.5018 18.63850%

2 方天琦 4.0627 2.32980%

3 天津青禾创芯科技合伙企业（有限合伙） 9.3754 5.37643%

4 天津晶禾创芯科技合伙企业（有限合伙） 8.4068 4.82098%

5 北京英诺创易佳科技创业投资中心（有限合伙） 13.4876 7.73461%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）苏州同创同运同享科技创业投资合伙企业（有限合

6 6.5793 3.77297%

伙）天津合勤科技智能制造创业投资合伙企业（有限合

7 3.9829 2.28404%

伙）

8 常州云常股权投资中心（有限合伙） 2.2592 1.29556%

9 湖南云启湘江创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9682 0.55522%

10 天津韦豪泰达海河股权投资合伙企业（有限合伙） 3.2925 1.88812%

11 共青城云鹏投资管理合伙企业（有限合伙） 1.1665 0.66894%

12 天津韦豪海河一期股权投资合伙企业（有限合伙） 4.3919 2.51858%

13 苏州芯动能科技创业投资合伙企业（有限合伙） 2.4856 1.42539%

14 苏州云晖投资管理合伙企业（有限合伙） 0.6668 0.38238%

15 扬州正为一号股权投资合伙企业（有限合伙） 1.2132 0.69572%

16 宁波益慧企业管理合伙企业（有限合伙） 0.3334 0.19119%

17 上海鋆芯管理咨询合伙企业（有限合伙） 0.8556 0.49065%

18 北京集成电路尖端芯片股权投资中心（有限合伙） 2.1854 1.25324%

19 新余智科碳中和股权投资合伙企业（有限合伙） 0.8195 0.46995%

20 新余智科芯片股权投资中心（有限合伙） 1.0927 0.62662%

21 嘉兴宸玥股权投资合伙企业（有限合伙） 1.6390 0.93990%

22 阳光电源股份有限公司 1.0927 0.62662%

23 苏州沃赋睿鑫创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9834 0.56394%

24 嘉兴沃赋汇臻企业管理合伙企业（有限合伙） 0.1093 0.06268%

25 海南瑞莱创业投资基金合伙企业（有限合伙） 0.5464 0.31334%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

26 上海正为私募基金管理中心（有限合伙） 0.2732 0.15667%

27 天津天创青鑫企业管理合伙企业（有限合伙） 1.1266 0.64606%

28 南京俱成秋实贰号创业投资合伙企业（有限合伙） 1.6390 0.93990%

29 深创投制造业转型升级新材料基金（有限合伙） 9.7030 5.56429%

30 天津海河红土投资基金合伙企业（有限合伙） 0.9703 0.55643%

31 深圳市创新资本投资有限公司 1.8386 1.05436%深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限

32 5.1473 2.95177%

合伙）

33 扬州正为禾元创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9703 0.55643%

34 无锡芯朋微电子股份有限公司 0.4852 0.27824%天津天创海河永钛智能科技产业基金合伙企业（有

35 0.4512 0.25875%限合伙）

中金佳泰叁期（深圳）私募股权投资基金合伙企业

36 2.2802 1.30760%（有限合伙）

37 连云港聚瑞创业投资合伙企业（有限合伙） 1.3681 0.78455%

38 清科乐达（厦门）股权投资合伙企业（有限合伙） 1.3681 0.78455%

39 厦门清科乐源创业投资基金合伙企业（有限合伙） 0.9121 0.52305%

清科乾沣趣丸（厦门）股权投资合伙企业（有限合

40 0.4561 0.26156%

伙）天津海泰海河新动能产业基金合伙企业（有限合

41 3.4463 1.97632%

伙）

42 北京英诺鼎鑫创业投资中心（有限合伙） 5.0686 2.90664%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

43 北京清科和嘉二期投资管理合伙企业（有限合伙） 1.3018 0.74653%上海芯链聚集成电路产业私募基金合伙企业（有限

44 9.1203 5.23013%

合伙）

45 中微半导体（上海）有限公司 11.8844 6.81524%

46 苏州芯禾凝瑞创业投资合伙企业（有限合伙） 0.2280 0.13075%北京安鹏科创汽车产业投资基金合伙企业（有限合

47 2.0521 1.17680%

伙）

48 张丽霞 0.7645 0.43841%

49 长存产业投资基金（武汉）合伙企业（有限合伙） 3.7689 2.16132%

50 上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙） 2.9088 1.66808%

51 嘉兴智微厚德创业投资合伙企业（有限合伙） 0.3491 0.20020%

合计 174.3799 100.0000%

本次增资后的股权结构：

持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

1 母凤文 32.5018 17.97284%

2 方天琦 4.0627 2.24659%

3 天津青禾创芯科技合伙企业（有限合伙） 9.3754 5.18441%

4 天津晶禾创芯科技合伙企业（有限合伙） 8.4068 4.64879%

5 北京英诺创易佳科技创业投资中心（有限合伙） 13.4876 7.45837%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）苏州同创同运同享科技创业投资合伙企业（有限合

6 6.5793 3.63822%

伙）天津合勤科技智能制造创业投资合伙企业（有限合

7 3.9829 2.20246%

伙）

8 常州云常股权投资中心（有限合伙） 2.2592 1.24929%

9 湖南云启湘江创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9682 0.53540%

10 天津韦豪泰达海河股权投资合伙企业（有限合伙） 3.2925 1.82069%

11 共青城云鹏投资管理合伙企业（有限合伙） 1.1665 0.64505%

12 天津韦豪海河一期股权投资合伙企业（有限合伙） 4.3919 2.42863%

13 苏州芯动能科技创业投资合伙企业（有限合伙） 2.4856 1.37449%

14 苏州云晖投资管理合伙企业（有限合伙） 0.6668 0.36873%

15 扬州正为一号股权投资合伙企业（有限合伙） 1.2132 0.67088%

16 宁波益慧企业管理合伙企业（有限合伙） 0.3334 0.18436%

17 上海鋆芯管理咨询合伙企业（有限合伙） 0.8556 0.47313%

18 北京集成电路尖端芯片股权投资中心（有限合伙） 2.1854 1.20848%

19 新余智科碳中和股权投资合伙企业（有限合伙） 0.8195 0.45317%

20 新余智科芯片股权投资中心（有限合伙） 1.0927 0.60424%

21 嘉兴宸玥股权投资合伙企业（有限合伙） 1.6390 0.90633%

22 阳光电源股份有限公司 1.0927 0.60424%

23 苏州沃赋睿鑫创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9834 0.54380%

24 嘉兴沃赋汇臻企业管理合伙企业（有限合伙） 0.1093 0.06044%

25 海南瑞莱创业投资基金合伙企业（有限合伙） 0.5464 0.30215%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

26 上海正为私募基金管理中心（有限合伙） 0.2732 0.15107%

27 天津天创青鑫企业管理合伙企业（有限合伙） 1.1266 0.62299%

28 南京俱成秋实贰号创业投资合伙企业（有限合伙） 1.6390 0.90633%

29 深创投制造业转型升级新材料基金（有限合伙） 9.7030 5.36556%

30 天津海河红土投资基金合伙企业（有限合伙） 0.9703 0.53656%

31 深圳市创新资本投资有限公司 1.8386 1.01671%深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限

32 5.1473 2.84635%

合伙）

33 扬州正为禾元创业投资合伙企业（有限合伙） 0.9703 0.53656%

34 无锡芯朋微电子股份有限公司 0.4852 0.26831%天津天创海河永钛智能科技产业基金合伙企业（有

35 0.4512 0.24950%限合伙）

中金佳泰叁期（深圳）私募股权投资基金合伙企业

36 2.2802 1.26090%（有限合伙）

37 连云港聚瑞创业投资合伙企业（有限合伙） 1.3681 0.75653%

38 清科乐达（厦门）股权投资合伙企业（有限合伙） 1.3681 0.75653%

39 厦门清科乐源创业投资基金合伙企业（有限合伙） 0.9457 0.52294%

清科乾沣趣丸（厦门）股权投资合伙企业（有限合

40 0.4561 0.25221%

伙）天津海泰海河新动能产业基金合伙企业（有限合

41 3.4463 1.90573%

伙）

42 北京英诺鼎鑫创业投资中心（有限合伙） 5.0686 2.80283%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

43 北京清科和嘉二期投资管理合伙企业（有限合伙） 1.3499 0.74644%上海芯链聚集成电路产业私募基金合伙企业（有限

44 9.1203 5.04334%

合伙）

45 中微半导体（上海）有限公司 12.7886 7.07183%

46 苏州芯禾凝瑞创业投资合伙企业（有限合伙） 0.2280 0.12608%北京安鹏科创汽车产业投资基金合伙企业（有限合

47 2.0521 1.13477%

伙）

48 张丽霞 0.7645 0.42275%

49 长存产业投资基金（武汉）合伙企业（有限合伙） 3.7689 2.08413%

50 上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙） 2.9088 1.60851%

51 嘉兴智微厚德创业投资合伙企业（有限合伙） 0.3491 0.19305%

52 厦门晶耀青元创业投资合伙企业（有限合伙） 1.5500 0.85714%

53 温州芯联智创股权投资合伙企业（有限合伙） 0.5167 0.28571%

54 四川发展科创股权投资基金合伙企业（有限合伙） 0.2583 0.14286%北京英诺成长科创创业投资基金合伙企业（有限合

55 0.1147 0.06343%

伙）

56 苏州同创战新创业投资合伙企业（有限合伙） 0.1938 0.10714%

57 宁波韦豪镇鑫一期创业投资合伙企业（有限合伙） 0.1292 0.07143%

58 上海襄聚昉硅创业投资合伙企业（有限合伙） 1.5500 0.85714%

天津滨海高新区海河清韦创芯股权投资合伙企业

59 0.1292 0.07143%（有限合伙）

60 海南锋喆投资合伙企业（有限合伙） 0.0543 0.03000%持股数量

序号 股东名称 持股比例（万股）

61 北京显智链二期创业投资基金（有限合伙） 0.0827 0.04571%

62 扬州正为嘉豪股权投资合伙企业（有限合伙） 0.0723 0.04000%深圳市星辰领航创业投资基金合伙企业 （有限合

63 0.0465 0.02571%

伙）

64 上海沃赋启能创业投资合伙企业（有限合伙） 0.0310 0.01714%天津天创永钛海河智鑫创业投资基金合伙企业（有

65 0.0465 0.02571%限合伙）

66 厦门俱成秋实叁号创业投资合伙企业（有限合伙） 0.6975 0.38571%

合计 180.8385 100.0000%

（五）其他

截至本公告披露日，投资标的企业青禾晶元股权产权清晰，不存在限制本次增资的情况，不存在涉及诉讼、仲裁事项或查封、冻结等司法措施，不存在妨碍新增股权认购的其他情况；青禾晶元资信状况良好，不存在被列为失信被执行人及其他失信情况，其资信状况不影响中微临港本次投资行为。

四、交易标的定价情况

（一）定价情况及依据

青禾晶元已形成晶圆键合设备、芯片键合设备和表面处理设备的自主研发和

制造能力，其产品已陆续推向市场并在客户端落地验证，能够为晶圆制造、先进封装、光电子、第三代半导体领域客户提供键合技术综合解决方案，具有较大增长潜力和投资价值。本次投资综合考虑青禾晶元所处行业发展现状及竞争格局、实际经营及财务状况、未来发展潜力等因素，各方根据公开、公平、公正的原则充分沟通且协商一致，将青禾晶元本轮增资的投前估值确定为 675000.00万元。

（二）定价合理性分析

本次关联交易定价遵循了公平、公允、协商一致的原则，符合国家有关法律、法规及政策规定。关联交易定价不存在损害公司及其他非关联股东特别是中小股东利益的情况。

五、关联对外投资合同的主要内容

青禾晶元本轮增资协议主要内容如下：

条款 主要内容

协议主体 本轮投资方（甲方）：厦门晶耀青元创业投资合伙企业（有限合伙）、温州

芯联智创股权投资合伙企业（有限合伙）、四川发展科创股权投资基金合伙企业（有限合伙）、北京英诺成长科创创业投资基金合伙企业（有限合伙）、

苏州同创战新创业投资合伙企业（有限合伙）、宁波韦豪镇鑫一期创业投资

合伙企业（有限合伙）、上海襄聚昉硅创业投资合伙企业（有限合伙）、天

津滨海高新区海河清韦创芯股权投资合伙企业（有限合伙）、海南锋喆投资

合伙企业（有限合伙）、北京显智链二期创业投资基金（有限合伙）、扬州

正为嘉豪股权投资合伙企业（有限合伙）、深圳市星辰领航创业投资基金合

伙企业（有限合伙）、上海沃赋启能创业投资合伙企业（有限合伙）、天津

天创永钛海河智鑫创业投资基金合伙企业（有限合伙）、厦门俱成秋实叁号

创业投资合伙企业（有限合伙）、厦门清科乐源创业投资基金合伙企业（有限合伙）、北京清科和嘉二期投资管理合伙企业（有限合伙）、中微临港

目标公司及下属企业（乙方）：青禾晶元、青禾晶元（天津）半导体材料有限公司、青禾晶元（北京）半导体有限公司、天津中科晶禾电子科技有限责

任公司、青禾晶元（晋城）半导体材料有限公司、青禾晶元（天津）管理咨

询有限公司、安徽青禾晶元半导体有限责任公司、苏州青禾晶元半导体有限责任公司

实控人及员工持股平台（丙方）：母凤文、方天琦、天津青禾创芯科技合伙企业（有限合伙）（以下简称“青禾创芯”）、天津晶禾创芯科技合伙企业（有限合伙）

本轮投资 本次增资完成后，目标公司的注册资本由 174.3799 万元增资至 180.8385 万安排 元，即本次新增注册资本 6.4586 万元（“新增股本”），新增股本由甲方认购。在符合本协议约定的条款和出资先决条件的前提下，甲方确认并同意按照表 2所载列的金额认购目标公司的新增股本，即甲方认购目标公司新增股本而应支付共计 2.5 亿元的价款（“增资价款”）

投资款支 全部先决条件均已获得满足或被甲方书面豁免之日起的五（5）个工作日内

付及交割 付款；甲方增资价款缴付之日，为该名投资方的交割日增资款的 公司方承诺，甲方支付的增资价款将主要用于公司混合键合设备、原子束设使用 备等的研发、市场拓展及客户交付，公司方均不得将增资价款用于偿还公司及下属公司的非经营性债务（包括但不限于偿还股东借款）、分红（支付股利）或回购公司的股权等其他用途。

生效条件 本协议自各方签署后生效

违约责任 10.1.除本协议另有约定外，如果各方中任何一方（以下简称“违约方”）（i）做出故意虚假、严重误导性、重大不完整的陈述或保证，或（ii）没有按规定履行本协议及其附件、附表项下的任何承诺或协定，该行为应视为违约，守约方有权要求违约方立即弥补守约方因此遭受的损失，违约方应就守约方因该违约行为遭受的所有损失，进行全面赔偿；发生多次违约，就未弥补的损失部分，守约方可以重复主张。

10.2.如果违约方违反本协议第五条、第六条或第八条约定的义务、承诺或保证的，该行为应视为重大违约，守约方有权要求违约方立即弥补守约方因此遭受的损失，违约方应就守约方因该违约行为遭受的所有损失，进行全面赔偿；若发生多次违约，就未弥补的损失部分，守约方可以重复主张。

10.3.在违约方重大违约的前提下，支付赔偿不影响守约方要求违约方继续履

行合同或解除合同的权利行使。

10.4 未行使或延迟行使法律或本协议规定的某项权利并不构成对该项权利

或其他权利的放弃；单独或部分行使法律或本协议规定的某项权利并不妨碍其进一步继续行使该权利或其他权利。

争议解决 若该等争议不能磋商解决的，任何一方均有权将该等争议应提交北京仲裁委员会按照届时有效的仲裁规则通过仲裁最终解决。除仲裁裁决另有裁定外，仲裁费用，以及包括律师费用在内的为实现请求而支付的费用应由败诉方承担。

六、关联对外投资对上市公司的影响

本次对外投资系根据公司发展战略规划而实施的，有助于公司进一步增强在半导体设备领域的产业布局并产生产业链协同效应。青禾晶元掌握晶元键合及配套工艺核心技术。本次投资前中微临港已经是青禾晶元股东，公司持续看好青禾晶元的未来发展，追加投资将进一步增强公司与青禾晶元的战略协同关系。投资金额为公司综合考虑反稀释，战略协同等因素，与青禾晶元及其他各方沟通协商结果。本次投资后，不会影响公司的业务独立性，不会对公司持续经营能力产生不利影响。本次交易资金来源为公司自有资金，不会影响公司的正常生产经营活动，不会对公司现金流及经营业绩产生重大影响，符合公司的发展战略，不存在损害上市公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。七、需要特别说明的历史关联交易情况

2026 年 7月，本次关联交易相同关联人智微攀峰、智微厚德以增资方式投

资沈阳新松半导体设备有限公司，在智微攀峰、智微厚德投资前，中微临港即为该公司股东，中微临港在该次关联交易中的交易金额为 80 万元（中微临港放弃权利）。

八、关联交易事项的审议程序

2026 年 10 月 9日，公司召开独立董事 2026 年第四次专门会议，审议通过

了《关于公司对外投资暨关联交易的议案》，全体独立董事一致同意上述议案，并同意将其提交公司董事会审议。

2026年 10月 9日，公司召开第三届董事会第十六次会议，审议通过《关于公司对外投资暨关联交易的议案》，关联董事尹志尧回避表决。此议案获出席会议的非关联董事一致表决通过。根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《公司章程》等相关规定，本事项无需提交公司股东会审议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026 年 10 月 13 日