证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2026-021

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于预计2026年年度日常关联交易的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

*是否需要提交股东会审议：是

*日常关联交易对上市公司的影响：本次关联交易属公司日常关联交易，是正常生产经营业务，以市场价格为定价依据，遵循平等自愿原则，交易风险可控，不存在损害公司及股东利益的情况，不会对关联人形成较大的依赖。

一、日常关联交易基本情况

（一）日常关联交易履行的审议程序

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年3月30日召开第三届董事会第十次会议，审议通过《关于预计2026年年度日常关联交易的议案》，关联董事尹志尧、袁训回避了表决，此议案获出席会议的非关联董事一致表决通过。

2026年3月30日，公司召开独立董事2026年第一次专门会议，审议通过

《关于预计2026年年度日常关联交易的议案》，此议案获全体独立董事一致表决通过。

本次关联交易事项涉及金额已达到3000万元以上，且占上市公司最近一期经审计总资产或市值1%以上，需提交公司股东会审议，关联股东应在股东会上对相关议案回避表决。

（二）本次日常关联交易预计金额和类别

单位：人民币万元关联交关联人本次预占同本年上年占同本次预计金额易类别计金额类业年初实际类业与上年实际发务比至发生务比生金额差异较例2026金额例大的原因年2月

28日

与关联人累计已发生的交易金额

向关联上海集成电路装100000.81%34722750.18%客户采购计划人销售备材料产业创新调整

商品、中心有限公司

提供劳客户1100000.81%15015650.13%客户采购计划务和出调整

租房屋客户2和客户3900007.27%2041534874.32%客户采购计划调整

小计1100008.89%2538573274.63%—

向关联睿励科学仪器30000.34%24014860.17%

人采购(上海)有限公司

商品、

设备、

上海智微私募基3000.03%-2000.02%本期新增接受劳金管理有限公司务和承及其控制的主体租房屋

供应商150050.56%23518570.21%公司业务计划调整

小计83050.93%47535430.40%—

注1：上表中本次预计金额占同类业务比例计算公式的分母为2025年同类业务金额。

注2：上表中客户2和客户3受同一主体控制。

（三）前次日常关联交易的预计和执行情况单位：人民币万元关联交易预计金额与实际发生关联人前次预计金额前次实际发生金额类别金额差异较大的原因广州增芯科技有140005508客户采购计划调整限公司上海集成电路装40002275备材料产业创新向关联人中心有限公司销售商品深圳市志橙半导700498及提供劳体材料股份有限务公司客户140001565客户采购计划调整客户2和客户35100053487

小计7370063333—深圳市志橙半导20001896向关联人体材料股份有限采购商公司品、设备、睿励科学仪器（上20001486公司业务计划调整接受劳务海）有限公司

和承租房拓荆科技股份有100-屋限公司供应商18621857

小计49625239—

二、关联人基本情况和关联关系

（一）关联人的基本情况

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司成立于2020年4月10日，法定代表人赵宇航，注册资本1150000万元人民币，注册地址位于上海市嘉定区娄陆公路497号。其经营范围为一般项目：集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备租赁；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）睿励科学仪器（上海）有限公司成立于2005年6月27日，法定代表人尹志尧，注册资本84071.5708万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢。其经营范围为研制、生产半导体设备，销售自产产品，提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

上海智微私募基金管理有限公司成立于2025年2月14日，法定代表人刘晓宇，注册资本1000万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区临港新片区申港大道1号。其经营范围为一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）客户1、供应商1、客户2、客户3：根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》的相关规定，本次交易对方客户1、供应商1、客户2、客户3与公司构成关联关系，为公司关联法人，上述交易构成关联交易。鉴于上述关联交易涉及内容属于公司商业秘密，披露交易信息可能对上市公司经营产生不利影响，损害公司、公司股东及交易对方的利益。公司根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规及公司《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》的有关规定，履行了信息豁免披露内部登记及审批程序，为维护上市公司及投资者利益，公司对本次关联交易的关联方基本情况和关联关系进行了豁免披露。

（二）与上市公司的关联关系序号关联方名称关联关系上海集成电路装备材料产业创新中心有原监事黄晨担任董事的公司限公司

上海智微私募基金管理有限公司及其控公司参股公司，原副总经理、董事会秘书制的主体刘晓宇控制的公司

公司参股公司，董事长尹志尧担任董事长、

3睿励科学仪器（上海）有限公司

原监事黄晨担任董事的公司

4客户1

涉及公司商业秘密，豁免披露

5供应商1

6客户2和客户3董事袁训担任董事的公司

（三）履约能力分析

上述关联方依法存续经营，双方交易能正常结算，前期合同往来执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或协议并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

三、日常关联交易主要内容（一）关联交易主要内容

公司的关联交易主要为向关联方销售商品及提供劳务，主要包括销售刻蚀设备、MOCVD设备、LPCVD设备及相应的备品备件、提供劳务、接受专业咨询服务等，关联销售价格主要根据客户在规格型号、产品标准、技术参数等方面的要求，依据市场公允价格确定，不同客户的产品在性能、结构等方面不同，销售价格会存在一定的差异。

（二）关联交易协议签署情况

为维护双方利益，公司与上述关联方将根据业务开展情况签订对应合同或协议。

四、日常关联交易目的和对上市公司的影响

公司与关联方交易均遵循公平、公正、公开的原则，依据市场价格定价、交易；上述关联交易均是公司的正常业务，有利于公司经营业务的发展，不存在损害公司和全体股东利益的行为；公司及关联人在业务、人员、资产、机构、财务

等方面保持独立，上述关联交易不会对公司的独立性构成影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年3月31日