中信证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“独立财务顾问”）作为中微半导体设备

（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）发行股份及支付现金购买资产并募

集配套资金的独立财务顾问（主承销商），根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规和规范性文件的规定，对使用闲置募集资金进行现金管理情况进行了核查，具体情况如下：

一、投资情况概述

（一）投资目的

在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务费用，增加公司收益。

（二）投资金额

公司拟使用额度不超过73042万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

（三）资金来源经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）5156765 股，每股发行价格为人民币290.88元，募集资金总额为人民币149999.98万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币148988.12万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字（2026）第0016号《验资报告》。上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、独立财务顾问签订了募集资金监管协议。

发行名称发行股份购买资产并募集配套资金募集资金到账时间2026年6月17日

募集资金总金额149999.98万元

募集资金净额148988.12万元

□不适用

超募资金总额适用达到预定可使用状

项目名称累计投入进度（%）态时间

高端半导体设备产0%不适用业化项目

募集资金使用情况高端半导体设备研0%不适用发中心项目

支付现金对价及中13.71%不适用介机构费用

补充流动资金0%不适用

是否影响募投项目实施是□否

（四）投资方式

1、现金管理品种

公司将按照资金管理相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置的募集资金购买安全性高、流动性好的保本型产品（包括但不限于协定存款、通知存款、结构性存款、定期存款、大额存单等），投资产品的期限不超过12个月。

公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担

保债券为主要投资标的的投资产品，投资产品不得质押。

2、实施方式

在公司董事会授权的投资额度范围内，董事长行使该项投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。

3、信息披露

公司将按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法规和规范性文件的要求，及时披露公司现金管理的具体情况。

4、现金管理收益的分配

公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募

投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

5、最近12个月截至目前公司募集资金现金管理情况实际投入金额实际收回本实际收益（万尚未收回本金序号现金管理类型（万元）金（万元）元）金额（万元）

1结构性存款343000.00305000.00761.4038000.00

2单位协定存款77015.63不适用126.2377015.63

3其他：七天通知52313.22-529.9152313.22

存款

合计1417.54167328.85

最近12个月内单日最高投入金额177049.78

最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净资产（%）5.85

最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净利润（%）41.85

募集资金总投资额度（万元）1091893.96

目前已使用的投资额度（万元）839741.06

尚未使用的投资额度（万元）252152.90

二、审议程序公司于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过73042万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。公司本次授权暂时闲置募集资金进行现金管理的最高额度，非实际现金管理金额。公司将严格执行募集资金使用计划，在确保不影响募集资金投资项目建设计划的前提下进行现金管理，未改变募集资金的使用计划，有利于提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。独立财务顾问出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东会审议。

三、投资风险分析及风控措施

公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的保本型投资产品。公司按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全相关投资的审批和执行程序，确保投资事宜的有效开展、规范运行，以及资金安全。拟采取的具体措施如下：

1、公司将根据经营安排和资金投入计划选择相适应的现金管理产品种类和期限等，确保不影响公司日常经营活动的正常进行。

2、在实施期间及时分析和跟进现金管理品种的投向、项目进展情况，一旦

发现或判断有不利因素，将及时采取措施，控制投资风险。

3、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

4、公司必须严格按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及《中微公司：募集资金管理制度》等有关规定办理相关现金管理业务。

四、投资对公司的影响

1、公司运用部分闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项

目的进度和确保资金安全的前提下进行的，不影响公司募集资金投资项目的开展。

2、公司通过对暂时闲置的募集资金进行现金管理，可以提高资金使用效率，增加公司收益。

五、独立财务顾问核查意见经核查，本独立财务顾问认为，公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会审议通过，履行了必要的审批程序；公司通过投资安全性高、流动性好的保本型产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。

综上所述，本独立财务顾问对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项无异议。