证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2026-020

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2025年度（以下简称“年度”或“本年度”）募集资金存

放与实际使用情况专项报告如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53486224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资报告。2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核

准了公司向特定对象发行80229335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80229335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，

实际募集资金净额为人民币811816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

（二）募集资金使用及结余情况募集资金基本情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账时间2019年7月16日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额155163.54

其中：超募资金金额44570.28

减：直接支付发行费用10593.26

二、募集资金净额144570.28

减：

以前年度已使用金额130061.20

本年度使用金额-

暂时补流金额-

现金管理金额18827.67

银行手续费支出及汇兑损益0.56

募投项目结项资金转出4425.06

增值税税金620.00

加：

募集资金利息收入9384.45

其他-具体说明三、报告期期末募集资金余额20.24

单位：万元币种：人民币发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额820665.87

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用8849.63

二、募集资金净额811816.24

减：

以前年度已使用金额505678.11

本年度使用金额175115.04

暂时补流金额-

现金管理金额140787.39

银行手续费支出及汇兑损益1.45

加：

募集资金利息收入44865.12

其他-具体说明422.28

三、报告期期末募集资金余额35521.65

二、募集资金管理情况

中微公司已按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定的要求制定《中微公司：募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。

募集资金存储情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账时间2019年7月16日报告期末账户状账户名称开户银行银行账号余额态中微半导体设中国建设银备（上海）股行上海金桥3105016137360000484420.24使用中份有限公司支行

中微半导体设招商银行上121910890310602-已注销备（上海）股海金桥支行份有限公司中微半导体设中信银行上备（上海）股8110201014101024127-已注销海浦东分行份有限公司

单位：万元币种：人民币发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日报告期末账户状账户名称开户银行银行账号余额态中微半导体设招商银行上备（上海）股12191089031070710029.88使用中海分行份有限公司中微半导体设中信银行上备（上海）股811020101360130383724793.61使用中海浦东分行份有限公司中微半导体设上海浦东发备（上海）股展银行张江97160078801900002862632.48使用中份有限公司科技支行中微半导体设中国建设银备（上海）股行上海金桥3105016137360000613365.68使用中份有限公司支行

三、本年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目资金使用情况本年度公司募集资金实际使用情况详见附表1募集资金使用情况对照表。

（二）募投项目先期投入及置换情况公司于2025年8月28日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及子公司作为实施主体在募投项目实施期间，根据实际情况先行使用自有资金支付募投项目所需资金，在履行内部相关审批程序后定期以募集资金等额置换。本年度公司募投项目先期投入及置换情况见下表：

募集资金置换先期投入表

单位：万元币种：人民币发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日自筹资金董事会审募集资金置换完成总投资额预先投入置换金额议通过日投资项目日期金额期中微产业

317000.009707.719707.7120252025年8化基地建年度

月28日设项目中微临港

总部和研375000.0040946.9540946.9520252025年8年度发中心项月28日目

科技储备119816.2486483.4886483.4820252025年8年度资金月28日

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产

品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。

公司于2025年4月17日召开第三届董事会第二次会议及第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过350000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自前次募集资金现金管理的授权到期之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

募集资金现金管理审核情况表

单位：万元币种：人民币计划进行现金计划进行现金董事会审议通计划起始日期计划截止日期管理的金额管理的方式过日期

350000安全性高、流2025年4月282026年4月272025年4月17

动性好、一年日日日以内的短期保本型理财产品募集资金现金管理明细表

单位：万元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账时间2019年7月16日尚未归还预计年化利息金委托方受托银行产品名称产品类型购买金额起始日期截止日期归还日期金额收益率额中微半导体设备（上上海银行股份有限结构性存款结构性存款18000.007/22/202510/20/202510/20/2025-1.55%73.23

海）股份有限公司公司上海分行中微半导体设备（上上海银行股份有限结构性存款结构性存款18000.0011/11/20252/9/2026不适用18000.001.65%不适用

海）股份有限公司公司上海分行中微半导体设备（上上海银行股份有限协定存款协定存款827.677/16/20257/15/2026不适用827.670.53%101.50

海）股份有限公司公司上海分行

单位：万元币种：人民币发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日尚未归还预计年化利息金委托方受托银行产品名称产品类型购买金额起始日期截止日期归还日期金额收益率额中微半导体设备（上国家开发银行股份七天通知存款七天通知存款34138.934/15/2024无固定期限不适用34138.931.55%1231.90海）股份有限公司有限公司上海市分行中微半导体设备（上招商银行股份有限七天通知存款七天通知存款24363.7510/17/2022无固定期限不适用24363.751.95%-海）股份有限公司公司上海分行营业部

南昌中微半导体设招商银行股份有限协定存款协定存款70.887/22/2021无固定期限不适用70.881.20%4.61备有限公司公司南昌高新支行中微半导体设备（上中国进出口银行上七天通知存款七天通知存款14852.7612/30/20245/30/20255/30/2025-0.75%71.02海）股份有限公司海分行中微半导体设备（上中国光大银行股份七天通知存款七天通知存款4000.003/7/2024无固定期限不适用4000.001.35%-海）股份有限公司有限公司上海长宁支行中微半导体设备（上中国农业银行股份结构性存款结构性存款30000.007/12/20241/13/20251/13/2025-2.10%194.14海）股份有限公司有限公司上海自贸试验区新片区分行中微半导体设备（上中国建设银行股份结构性存款结构性存款10000.0010/9/20241/24/20251/24/2025-1.60%40.17海）股份有限公司有限公司中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款14000.0010/25/20241/23/20251/23/2025-2.20%75.95海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款6000.0011/1/20241/24/20251/24/2025-2.10%30.93海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上中国工商银行股份七天通知存款七天通知存款30000.0010/17/20245/28/20255/28/2025-1.15%213.71海）股份有限公司有限公司上海市浦东分行中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款10000.0012/20/20243/20/20253/20/2025-2.00%50.00海）股份有限公司中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款5000.0012/20/20243/20/20253/20/2025-2.00%25.00海）股份有限公司中微半导体设备（上中国工商银行股份协定存款协定存款1993.724/11/2025无固定期限不适用1993.720.35%10.86海）股份有限公司有限公司上海市浦东分行中微半导体设备（上中国进出口银行上协定存款协定存款352.7712/11/2025无固定期限不适用352.770.45%0.66海）股份有限公司海分行中微半导体设备（上国家开发银行股份协定存款协定存款1267.8712/25/2025无固定期限不适用1267.870.45%0.38海）股份有限公司有限公司上海市分行中微半导体设备（上中国农业银行股份协定存款协定存款26341.7312/12/2025无固定期限不适用26341.730.35%166.56海）股份有限公司有限公司上海自贸试验区新片区分行中微半导体设备（上中国民生银行股份协定存款协定存款-不适用不适用不适用-不适用29.89海）股份有限公司有限公司上海分行中微半导体设备（上平安银行股份有限协定存款协定存款17550.9210/12/2025无固定期限不适用17550.920.45%229.76海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上中国光大银行股份协定存款协定存款1347.114/24/2024无固定期限不适用1347.110.45%0.96海）股份有限公司有限公司上海长宁支行中微半导体设备（上中国银行股份有限协定存款协定存款10401.4510/12/2025无固定期限不适用10401.450.35%86.54海）股份有限公司公司上海市浦东开发区支行中微半导体设备（上中国光大银行股份协定存款协定存款3576.905/15/2025无固定期限不适用3576.900.45%22.32海）股份有限公司有限公司上海隆昌支行

中微半导体设备（上兴业银行股份有限协定存款协定存款143.4310/11/2025无固定期限不适用143.430.45%38.10海）股份有限公司公司上海人民广场支行中微半导体设备（上上海银行股份有限协定存款协定存款237.937/16/2025无固定期限不适用237.930.53%1.28海）股份有限公司公司张江支行中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.001/2/20251/24/20251/24/2025-1.50%10.31海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.002/1/20252/28/20252/28/2025-2.10%31.66海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.003/1/20253/31/20253/31/2025-2.20%36.16海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.004/1/20254/30/20254/30/2025-1.05%16.68海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.005/1/20255/30/20255/30/2025-1.50%29.87海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.002/5/20252/26/20252/26/2025-1.50%9.78海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.003/3/20253/31/20253/31/2025-1.65%14.27海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.004/1/20254/29/20254/29/2025-1.77%15.50海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.005/1/20255/30/20255/30/2025-1.85%12.16海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上中国农业银行股份结构性存款结构性存款30000.002/21/20255/23/20255/23/2025-1.80%21.49海）股份有限公司有限公司上海自贸试验区新片区分行中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款10000.003/20/20256/20/20256/20/2025-2.00%50.00海）股份有限公司中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款5000.003/20/20256/20/20256/20/2025-2.00%25.00海）股份有限公司中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.006/1/20256/30/20256/30/2025-1.69%26.85海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.006/3/20256/30/20256/30/2025-1.72%12.72海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款10000.006/20/20259/20/20259/20/2025-1.75%46.25海）股份有限公司中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款5000.006/20/20259/20/20259/20/2025-1.75%23.13海）股份有限公司中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.007/1/20259/29/20259/29/2025-1.75%86.30海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.007/2/20257/31/20257/31/2025-1.77%14.06海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.008/6/20258/29/20258/29/2025-1.58%9.96海）股份有限公司公司上海分行营业部

中微半导体设备（上中信银行上海浦东结构性存款结构性存款20000.009/30/202512/29/202512/29/2025-1.70%83.84海）股份有限公司分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.009/2/20259/30/20259/30/2025-1.64%12.58海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.0010/9/202510/31/202510/31/2025-1.50%9.04海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.0011/3/202511/28/202511/28/2025-1.53%10.48海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上光大银行隆昌支行七天通知存款七天通知存款7000.009/30/2025无固定期限不适用7000.000.75%-海）股份有限公司中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款8000.009/30/202512/30/202512/30/2025-1.50%30.00海）股份有限公司中微半导体设备（上招商银行股份有限结构性存款结构性存款10000.0012/2/202512/9/202512/9/2025-1.40%2.68海）股份有限公司公司上海分行营业部中微半导体设备（上光大银行隆昌支行结构性存款结构性存款8000.0012/31/20253/31/2026不适用8000.001.65%-海）股份有限公司（五）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

本年度公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（六）节余募集资金使用情况本年度公司不存在节余募集资金使用情况。

（七）募集资金使用的其他情况本年度公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募投项目的资金使用情况

截至2025年12月31日，公司募集资金投资项目不存在变更、对外转让或置换情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集

资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。

六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见。

经鉴证，普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）认为：上述募集资金存放与实际使用情况专项报告在所有重大方面按照中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引

第1号——规范运作》编制，并在所有重大方面如实反映了中微公司2025年度募集资金存放与实际使用情况。

七、保荐机构对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见。经核查，保荐机构认为：公司2025年度募集资金的存放与使用符合《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规和规

范性文件的规定；公司2025年度对募集资金进行了专户存储和专项使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形。

公司本年度募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对本公司2025年度募集资金存放与使用情况无异议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年3月31日附表1：

募集资金使用情况对照表

单位：万元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账日期2019年7月16日

本年度投入募集资金总额-

已累计投入募集资金总额130061.20

变更用途的募集资金总额-变更用途的募集资金总额比

-例项目已变截至期末达到项目更项

承诺投资累计投入预定可行目，本年截至期末本年是否可使性是项目和超募投项截至期末承截至期末累金额与承含部募集资金承调整后投资度投投入进度度实达到诺投入金额计投入金额诺投入金用状否发

募资金投目性质分变诺投资总额总额(1)入金(2)（%）(4)现的预计额的差额(2)/(1)态日生重向更额＝效益效益(3)＝期（具大变（如(2)-(1)体到化有）

月份）高端半导体设备扩生产建不适不适不适

无40000.0040000.0040000.00-39991.03-8.9799.98%否产升级项设用用用目

技术研发生产建无40000.0040000.0040000.00-39992.45-7.5599.98%不适不适不适否中心建设设用用用升级项目补充流动不适不适不适

补流无20000.0020000.0020000.00-20000.00-100%否资金用用用回购公司回购公不适不适不适

无30077.7230077.7230077.72-30077.72-100%否股份司股份用用用

合计130077.72130077.72130077.72-130061.20-16.52————

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（四）”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

募集资金结余的金额及形成原因本年度不存在募集资金结余的情况。

2024年2月2日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》。审议同意公司使用公司首次公开发行人民币普通股取得的超募资金及公司自有资金以集中竞价交易方式回购公司已发行的 A股股份。截至 2024募集资金其他使用情况

年5月7日，公司完成回购，已实际回购公司股份2096273股，占公司总股本的0.34%，回购最高价格162.49元/股，回购最低价格122.08元/股，回购均价143.47元/股，使用超募资金总额30077.72万元。

单位：万元币种：人民币发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账日期2021年6月22日

本年度投入募集资金总额175115.04

已累计投入募集资金总额680793.15

变更用途的募集资金总额-

变更用途的募集资金总额比例-项目已变达到项目承诺投更项截至期截至期末累预定可行

资项目募投目，末投入本年是否截至期末承截至期末累计投入金额可使性是含部募集资金承调整后投资本年度投入进度度实达到和超募项目诺投入金额计投入金额与承诺投入用状否发

分变诺投资总额总额(1)金额（%）现的预计资金投性质(2)金额的差额态日生重更(3)(2)-(1)(4)＝效益效益向＝（如(2)/(1)期（具大变体到化

有）

月份）中微产业化基生产不适不适不适

无317000.00317000.00317000.0023031.43273597.27-43402.7386.31%否地建设建设用用用项目中微临生产港总部建不适不适不适

和研发设、无375000.00375000.00375000.0065600.13287379.63-87620.3776.63%否用用用中心项研发目项目科技储研发不适不适不适

无308000.00119816.24119816.2486483.48119816.24-100%否备资金项目用用用

合计1000000.00811816.24811816.24175115.04680793.15-131023.10————

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用

募集资金投资项目先期投入及置换情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（二）”。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（四）”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

募集资金结余的金额及形成原因本年度不存在募集资金结余的情况。

募集资金其他使用情况不适用