中微半导体设备(上海)股份有限公司

截至2026年7月31日止

以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告

以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告的鉴证报告

普华永道中天特审字(2026)第0892号

(第一页，共二页)

中微半导体设备(上海)股份有限公司董事会:

我们接受委托，对中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称中微公司)截至 2026年7月31日止,以自筹资金预先投入于2026年7月6日《中微半导体设备(上海)股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之向特定对象发行股票募集配套资金上市公告书》所载的募集资金投资项目(以下简称“募集资金投资项目)及支付发行费用的情况报告(以下简称以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告”)执行了合理保证的鉴证业务。

中微公司管理层的责任是按照以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告第二部分所述编制基础编制以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告。这种责任包括设计、实施和维护与以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告编制相关的内部控制，保证以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告的真实、准确和完整，以及不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

我们的责任是在执行鉴证工作的基础上对以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告发表意见。我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号－历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证工作，该准则要求我们遵守职业道德规范，计划和实施鉴证工作，以对以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告是否已经按照其第二部分所述编制基础编制,且在所有重大方面如实反映了中微公司截至2026年7月31日止，以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况获取合理保证。合理保证的鉴证工作涉及实施鉴证程序，以获取充分适当的证据。选择的鉴证程序取决于我们的职业判断，包括对由于舞弊或错误导致的以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告重大错报风险的评估。在进行风险评估时，我们考虑与以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告编制相关的内部控制，以设计恰当的鉴证程序，但目的并非对内部控制的有效性发表意见。在我们的鉴证工作范围内，我们实施了解、询问、检查、重新计算以及我们认为必要的工作程序。我们相信，我们获取的证据是充分的、适当的，为发表鉴证意见提供了基础。

普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)中国上海市黄浦区湖滨路202号领展企业广场2座普华永道中心11楼邮编200021

总机:+86(21)23238888,传真:+86(21)23238800

以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告的鉴证报告(续)

普华永道中天特审字(2026)第0892号(第二页，共二页)

我们认为，上述以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况及支付发行费用报告已经按照以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况及支付发行费用情况报告第二部分所述编制基础编制，在所有重大方面如实反映了中微公司截至2026年7月31日止，以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

本鉴证报告仅供中微公司用于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金之目的，不得用作任何其他目的。

会计师事务所(特殊普通合伙)

中国·上海市

2026年8月17日

注册会计师

注册会计师

张炜彬

戴丹萍

中微半导体设备(上海)股份有限公司

以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏,并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

一、募集资金情况

根据中国证券监督管理委员会于2026年5月11日核准并出具的《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可[2026]1147号)，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准发行股份募集配套资金不超过1,500,000,000.00元。截至2026年6月16日止，本公司完成了向特定对象发行5,156,765股人民币普通股的工作，每股发行价格为人民币290.88元，股款以人民币缴足，计人民币1,499,99803.20元，扣除承销费用以及其他交易费用共计人民币10,118,562.20元后，募集资金净额共计人民币1,489,881,241.00元，上述资金于2026年6月17日到位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具普华永道中天验字(2026)第0016号验资报告。

二、编制基础

本报告根据中国证券监督管理委员会公告[2025]10号《上市公司募集资金监管规则》以及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号- -规范运作(2026年4月修订)》的要求编制。

自筹资金是指自有资金和银行借款。在编制以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告时，本公司以截至2026年7月31日止，自筹资金已经预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的实际支付金额为基础进行编制，该等支付金额不包含自筹资金中带息债务的借款费用。

三、以自筹资金预先支付部分发行费用情况

本公司本次募集资金发行费用共计人民币10,118,562.20 元。发行费用中，承销费用人民币9,539,998.75元已从募集资金总额中扣除，其他发行费用中的验资及咨询费人民币206,000.00元系本公司以自有资金支付。截至2026年7月31日止，上述由本公司自有资金支付的部分发行费用人民币206,00.00元，拟用本次募集资金一并置换。

四、以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况

根据本公司2026年7月6日《中微半导体设备(上海)股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之向特定对象发行股票募集配套资金上市公告书》，公司本次向特定对象发行股份募集配套资金不超过1,500,000,000.00元，募集资金拟用于高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价及中介机构费用以及补充流动资金四个具体项目。

中微半导体设备(上海)股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告

四、以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况(续)

截至2026年7月31日止，本公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目款项计人民币60,045,114.86元，具体运用情况如下:

金额单位：人民币千元

序号 承诺投资项目 投资总额 募集资金承诺投资总额 截至2026年7月31日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目金额

1 高端半导体设备产业化项目 383,388.94 383,388.94 -

2 高端半导体设备研发中心项目 347,025.75 347,025.75 -

3 支付现金对价及中介机构费用 69,585.31 69,585.31 60,045.11

4 补充流动资金 700,000.00 700,000.00 -

合计 1,500,000.00 1,500,000.00 60,045.11

中微半导体设备(上海)股份有限公司

法定代表人:尹志尧

主管会计工作的负责人:陈伟文

会计机构负责人:陈伟文

2026年8月17日