中微半导体设备(上海)股份有限公司

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者

重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

一募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53486224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币1551635358.24元，扣除承销及保荐费用共计人民币

87828416.48元后，实际收到募集资金计人民币1463806941.76元，再扣除发

行中介及其他发行费用人民币合计18104149.00元后，实际募集资金净额为人民币1445702792.76元(以下简称“募集资金A”)，上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道中天验字(2019)第0411号验资报告。

根据中国证券监督管理委员会于2021年3月3日签发的证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，本公司获准向特定对象发行不超过80229335股人民币普通股A股股票，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，计人民币

8206658677.15元，扣除承销及保荐费用共计人民币82066586.77元(不含增值税)后，实际收到募集资金计人民币8124592090.38元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计6429649.24元(不含增值税)后，实际募集资金净额为人民币

8118162441.14元(以下简称“募集资金B”)，上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道中天验字(2021)第0638号验资报告。

截至 2024 年 12 月 31 日，本公司本年度使用募集资金 A 金额为人民币

300777168.85元，全部用于回购本公司股份，累计已使用募集资金A金额为人

民币1324916047.09元，累计收到募集资金A利息收入扣减手续费净额为人民币

92092100.80元，募投项目节余资金转出用于永久补充流动资金为人民币

44250636.04元，募集资金A余额为人民币186732359.43元，其中用于现金管

理金额为人民币186529548.07元。

截至 2024 年 12 月 31 日，本公司本年度使用募集资金 B 金额为人民币2459864939.80元，累计已使用募集资金B金额为人民币5056781104.52元，

累计收到募集资金B利息收入扣减手续费净额为人民币413043766.20元，募集资金B余额为人民币3478647873.57元，其中用于现金管理金额为人民币

3089390551.49元。

1中微半导体设备(上海)股份有限公司

一募集资金基本情况(续)

截至2024年12月31日，本公司募集资金A专户余额为人民币202811.36元(含募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下：

单位：人民币元项目金额

募集资金A专户年初余额 25875841.09

加：年初用于现金管理金额450000000.00

募集资金A年初余额 475875841.09

加：募集资金利息收入扣减手续费净额11633687.19

减：股份回购资金转出(300777168.85)

减：年末用于现金管理的金额(186529548.07)

募集资金A专户年末余额 202811.36

截至2024年12月31日，本公司募集资金B专户余额为人民币389257322.08元(含募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下：

单位：人民币元项目金额

募集资金B专户年初余额 438517968.45

加：年初用于现金管理金额5359922990.02

募集资金B年初余额 5798440958.47

减：本年度直接投入募投项目(2459864939.80)

加：募集资金利息收入扣减手续费净额140071854.90

减：年末用于现金管理的金额(3089390551.49)

募集资金B专户年末余额 389257322.08

2中微半导体设备(上海)股份有限公司

二募集资金管理情况为规范募集资金的管理和使用，本公司根据实际情况，制定了《中微半导体设备(上海)股份有限公司募集资金管理办法》。根据该办法，本公司对募集资金实行专户存储，截至2024年12月31日，尚未使用的募集资金A存放专项账户的余额如下：

单位：人民币元募集资金专户开户行账号存款方式余额

中国建设银行上海金桥支行31050161373600004844活期202811.36中信银行上海浦东分行8110201014101024127活期已销户招商银行上海金桥支行121910890310602活期已销户

总计202811.36

截至2024年12月31日，尚未使用的募集资金B存放专项账户的余额如下：

单位：人民币元募集资金专户开户行账号存款方式余额

招商银行上海分行121910890310707活期200885412.86

中信银行上海浦东分行8110201013601303837活期119857133.39

浦发银行张江科技支行97160078801900002862活期67326066.66

中国建设银行上海金桥支行31050161373600006133活期1188709.17

总计389257322.08

本公司依照规定对募集资金A及募集资金B采取了专户存储管理，开立了募集资金专户，并于2019年7月17日与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户A的监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》，于2021年4月27日与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户B的监管银行招商银行股份有限公司上海分行、上海浦东发展银行股份有限公司

张江科技支行、中国建设银行股份有限公司上海浦东分行、中信银行股份有限公

司上海分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

于2022年度，鉴于本公司募集资金A的募投项目已全部实施完毕，根据2022年3月30日召开的第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议的批准，上述募集资金A募集资金专户中全部节余募集资金用于永久性补充流动资金。于2022年度，本公司在中信银行股份有限公司上海浦东分行开立的账号为

8110201014101024127的募集资金专户及在招商银行股份有限公司上海金桥支

行开立的账号为121910890310602的募集资金专户已注销，前述募集资金专户的销户手续已全部办理完毕，本公司与保荐机构、开户银行签署的《募集资金专户存储三方监管协议》随之终止。截至2024年12月31日，本公司在中国建设银行股份有限公司上海浦东分行开立的账号为31050161373600004844的募集资金专户尚未注销。

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三本年度募集资金的实际使用情况

1募集资金投资项目(以下简称“募投项目”)的资金使用情况

本年度本公司募集资金实际使用情况详见附表1募集资金使用情况对照表。

2募投项目先期投入及置换情况

2019年12月3日，本公司第一届董事会第七次会议和第一届监事会第四次会议审

议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意本公司使用9037.74万元募集资金A置换预先投入募集资金投资项目的自筹资金、使用

2021.20万元募集资金A置换以自筹资金预先支付的发行费用，合计使用

11058.94 万元募集资金A置换前述预先投入的自筹资金。上述置换符合监管要求。

2021年8月24日，本公司第一届董事会第二十二次会议和第一届监事会第十六次

会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意本公司使用33105.98万元募集资金B置换预先投入募集资金投资项目的自筹资

金、使用220.69万元募集资金B置换以自筹资金预先支付的发行费用，合计使用

33326.67万元募集资金B置换前述预先投入的自筹资金。上述置换符合监管要求。

3闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

2020年6月30日，本公司第一届董事会第十三次会议及第一届监事会第九次会议

审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用额度不超过100000万元闲置募集资金A进行现金管理，使用期限自第一届董事会

第十三次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

2021年4月27日，本公司第一届董事会第十九次会议及第一届监事会第十四次会

议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用额度不超过70000万元闲置募集资金A进行现金管理，使用期限自第一届董事会

第十九次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

2021年7月9日，本公司第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五会

议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用额度不超过800000万元闲置募集资金B进行现金管理，使用期限自第一届董事会第二十一次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

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三本年度募集资金的实际使用情况(续)

3闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况(续)

2022年7月8日，本公司第二届董事会第七次会议及第二届监事会第六次会议审议

通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过860000万元闲置募集资金A和闲置募集资金B进行现金管理，使用期限自第二届董事会第七次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

2023年4月29日，本公司第二届董事会第十四次会议及第二届监事会第十二次会

议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过720000万元闲置募集资金A和闲置募集资金B进行现金管理，使用期限

自第二届董事会第十四次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

2024年4月25日，本公司第二届董事会第二十二次会议及第二届监事会第十九次

会议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过550000万元闲置募集资金A和闲置募集资金B进行现金管理，使用期

限自第二届董事会第二十二次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

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三本年度募集资金的实际使用情况(续)

于2024年度，本公司使用闲置募集资金A进行现金管理的情况如下：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益率是否到期期限(天)收益(万元)

上海银行股份有限公司上海分行七天通知存款18652.952024.04.28-2025.04.28保本固定收益1.3500%否365169.56

中国建设银行股份有限公司结构性存款27000.002023.10.16-2024.01.31保本固定收益2.7000%是107187.93

上海银行股份有限公司上海分行七天通知存款8000.002022.07.05-2024.03.19保本固定收益2.1000%是623290.73

上海银行股份有限公司上海分行七天通知存款10000.002021.11.23-2024.03.19保本固定收益2.1000%是847494.08

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三本年度募集资金的实际使用情况(续)

于2024年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益率是否到期期限(天)收益(万元)

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款10000.002024.12.20-2025.03.20保本浮动收益2.0000%否90-

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款5000.002024.12.20-2025.03.20保本浮动收益2.0000%否90-

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.12.03-2024.12.27保本浮动收益1.7800%是2411.70

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.11.04-2024.11.29保本浮动收益1.6500%是2512.74

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.11.04-2024.11.29保本浮动收益1.6500%是2512.74

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款6000.002024.11.01-2025.01.24保本浮动收益2.1000%否84-

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款14000.002024.10.25-2025.01.23保本浮动收益2.2000%否90-

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行七天通知存款30000.002024.10.17-无固定期限保本固定收益1.1500%否无固定期限-

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.10.15-2024.10.31保本浮动收益1.8500%是167.89

中国建设银行股份有限公司结构性存款10000.002024.10.09-2025.01.24保本浮动收益1.6000%否107-

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.10.08-2024.10.31保本浮动收益1.8500%是2311.66

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002024.10.01-2024.10.30保本浮动收益2.1000%是2935.34

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款5000.002024.09.20-2024.12.20保本浮动收益2.1000%是9126.25

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款10000.002024.09.19-2024.12.19保本浮动收益2.1000%是9152.50

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.09.02-2024.09.30保本浮动收益1.8500%是2816.11

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002024.09.01-2024.09.30保本浮动收益2.1000%是2916.68

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.08.02-2024.08.30保本浮动收益1.8500%是2816.11

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002024.08.01-2024.08.30保本浮动收益2.1000%是2939.41中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新

结构性存款30000.002024.07.12-2025.01.13保本浮动收益2.1000%否185-片区分行

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.07.08-2024.10.08保本浮动收益1.8500%是9255.45

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002024.07.05-2024.07.30保本浮动收益1.7400%是2513.36

中国建设银行股份有限公司结构性存款10000.002024.07.03-2024.09.30保本浮动收益2.7000%是8938.66

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002024.07.01-2024.07.31保本浮动收益2.1000%是3034.52

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行协定存款1769.252024.06.21-无固定期限保本固定收益0.9500%否无固定期限169.31

中国进出口银行上海分行协定存款281.102024.06.21-无固定期限保本固定收益1.2500%否无固定期限0.03

7中微半导体设备(上海)股份有限公司

三本年度募集资金的实际使用情况(续)

于2024年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益率是否到期期限(天)收益(万元)

国家开发银行股份有限公司上海市分行协定存款35.582024.06.21-无固定期限保本固定收益0.1500%否无固定期限0.16

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款20000.002024.06.21-2024.06.28保本浮动收益1.7200%是76.60

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款10000.002024.06.19-2024.09.19保本浮动收益2.3000%是9257.50

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款20000.002024.06.05-2024.06.20保本浮动收益2.1000%是1517.26

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002024.06.01-2024.06.28保本浮动收益2.1000%是2731.07中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区

协定存款1709.122024.04.30-无固定期限保本固定收益0.9500%否无固定期限193.90新片区分行

中国民生银行股份有限公司上海分行协定存款7049.322024.04.25-无固定期限保本固定收益1.0500%否无固定期限49.32

平安银行股份有限公司上海分行营业部协定存款25356.662024.04.24-无固定期限保本固定收益1.0500%否无固定期限188.02

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行协定存款1346.152024.04.24-无固定期限保本固定收益0.6500%否无固定期限1.00中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支

协定存款10314.982024.04.23-无固定期限保本固定收益0.9500%否无固定期限23.57行

中国进出口银行上海分行七天通知存款14704.452024.04.22-无固定期限保本固定收益1.3500%否无固定期限132.76

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行协定存款3305.202024.04.18-无固定期限保本固定收益0.6500%否无固定期限41.53

兴业银行股份有限公司上海人民广场支行协定存款8105.352024.04.17-无固定期限保本固定收益1.0500%否无固定期限54.93

国家开发银行股份有限公司上海市分行七天通知存款100065.112024.04.15-无固定期限保本固定收益2.0300%否无固定期限1322.77

中国建设银行股份有限公司结构性存款10000.002024.04.03-2024.06.24保本浮动收益2.7000%是8260.66

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款20000.002024.04.03-2024.06.03保本浮动收益2.3000%是6190.25

上海银行股份有限公司张江支行协定存款236.652024.03.19-无固定期限保本固定收益1.3500%否无固定期限7.13

上海银行张江支行结构性存款20000.002024.03.14-2024.09.11保本浮动收益2.7000%是181277.70

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款10000.002024.03.09-2024.06.07保本浮动收益2.1000%是9061.64

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款4000.002024.03.07-无固定期限保本固定收益1.3500%否无固定期限-

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款23000.002024.03.07-2024.12.13保本固定收益1.3500%是281176.33

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款20000.002024.03.06-2024.03.28保本浮动收益2.3000%是2227.73

中国建设银行股份有限公司结构性存款10000.002024.02.19-2024.03.27保本浮动收益2.7000%是3723.19

8中微半导体设备(上海)股份有限公司

三本年度募集资金的实际使用情况(续)

于2024年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益率是否到期期限(天)收益(万元)

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款30000.002024.02.02-2024.02.28保本浮动收益2.3000%是2649.15

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款10000.002024.01.24-2024.03.07保本固定收益1.3500%是4315.90

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款10000.002024.01.24-2024.03.07保本固定收益1.3500%是4315.90

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款30000.002024.01.13-2024.04.12保本浮动收益2.1500%是90159.04

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款5350.002024.01.10-2024.07.26保本浮动收益2.4500%是19870.56

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款5650.002024.01.10-2024.07.25保本浮动收益2.4500%是19774.71

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行协定存款5000.002023.12.18-2024.03.31保本固定收益1.6000%是10479.64

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行结构性存款3000.002023.12.18-2024.03.31保本浮动收益2.4000%是10447.78

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款4000.002023.12.18-2024.03.07保本固定收益1.3500%是8011.84

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行协定存款200.002023.12.18-2024.03.07保本固定收益1.1500%是800.26

平安银行股份有限公司上海张江支行协定存款10000.002023.12.14-2024.04.24保本固定收益1.8000%是13267.46

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款12200.002023.12.11-2024.04.02保本浮动收益2.4000%是113132.99

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款11600.002023.12.11-2024.04.01保本浮动收益2.4000%是11246.27

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款2500.002023.12.05-2024.03.05保本浮动收益2.4000%是9114.96

兴业银行股份有限公司上海分行结构性存款8000.002023.11.23-2024.02.23保本浮动收益2.5000%是9250.41

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款8000.002023.11.14-2024.02.19保本浮动收益2.6500%是9752.09

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款3000.002023.11.14-2024.03.07保本固定收益1.8500%是11417.33

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款30000.002023.11.10-2024.02.08保本浮动收益2.3000%是90199.73

中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行结构性存款15000.002023.10.16-2024.01.31保本浮动收益2.7000%是107104.40

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款30000.002023.10.12-2024.01.10保本浮动收益2.3000%是90170.14

平安银行股份有限公司上海张江支行协定存款15000.002023.09.22-2024.04.24保本固定收益1.8000%是215101.18

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行七天通知存款10000.002023.08.29-2024.04.19保本固定收益1.4500%是23494.25

上海银行股份有限公司川沙支行结构性存款20000.002023.08.29-2024.02.26保本浮动收益2.5000%是181247.95

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款2200.002023.08.16-2024.02.20保本浮动收益2.6900%是18831.65

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款5650.002023.06.30-2024.01.06保本浮动收益2.2000%是19081.28

9中微半导体设备(上海)股份有限公司

三本年度募集资金的实际使用情况(续)

于2024年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益率是否到期期限(天)收益(万元)

中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款5350.002023.06.30-2024.01.05保本浮动收益2.2000%是18976.97

中国民生银行股份有限公司上海华山支行七天通知存款7000.002023.05.09-2024.04.25保本固定收益1.5500%是352106.09中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区协定存款

35000.002023.02.27-2024.04.30保本固定收益2.6000%是4281351.17

新片区分行中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区协定存款

5000.002023.02.27-2024.04.30保本固定收益2.6000%是428152.44

新片区分行

国家开发银行股份有限公司上海市分行七天通知存款130065.112022.10.20-2024.03.11保本固定收益2.0300%是5082584.48

招商银行股份有限公司上海分行营业部七天通知存款24363.752022.10.17-无固定期限保本固定收益1.9500%否无固定期限-

上海银行股份有限公司川沙支行七天通知存款6000.002022.01.05-2024.04.10保本固定收益2.1000%是826362.50

招商银行股份有限公司南昌高新支行协定存款1296.412021.07.22-无固定期限保本固定收益2.1000%否无固定期限115.58

中国银行股份有限公司南昌市青云谱支行七天通知存款5000.002021.07.22-2024.03.25保本固定收益1.8500%是977222.54

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行七天通知存款21600.002021.07.19-2024.04.19保本固定收益1.8500%是10051115.55

中国进出口银行上海分行七天通知存款40000.002021.07.16-2024.03.27保本固定收益2.0000%是8611894.17

10中微半导体设备(上海)股份有限公司

附表1：募集资金使用情况对照表：

募集资金 A：

金额单位：人民币元

募集资金总额1445702792.76本年度投入募集资金总额300777168.85

变更用途的募集资金总额-

已累计投入募集资金总额1300611922.08

变更用途的募集资金总额比例-截至期末累计投入

已变更项目，截至期末投项目达到预项目可行性募集资金承诺投截至期末承诺投本年度投入金截至期末累计金额与承诺投入金本年度实现是否达到

承诺投资项目含部分变更调整后投资总额入进度(%)定可使用状是否发生重

资总额入金额(1)额投入金额(2)额的差额的效益预计效益

(如有)(4)＝(2)/(1)态日期大变化

(3)＝(2)-(1)高端半导体设备扩产升

级项目无400000000400000000400000000-399910276(89724)99.98%不适用不适用不适用否技术研发中心建设升级

项目无400000000400000000400000000-399924477(75523)99.98%不适用不适用不适用否

补充流动资金无200000000200000000200000000-200000000-100.00%不适用不适用不适用否

小计—100000000010000000001000000000-999834753(165247)—————

回购公司股份无300777169300777169300777169300777169300777169-100.00%不适用不适用不适用否

合计—1300777169130077716913007771693007771691300611922(165247)—————

未达到计划进度原因(分具体募投项目)不适用。

项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。

募集资金投资项目先期投入及置换情况本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况(3)”用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

募集资金结余的金额及形成原因本年度不存在募集资金结余的情况。

募集资金其他使用情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况(5)”。

1中微半导体设备(上海)股份有限公司

附表1：募集资金使用情况对照表(续)：

募集资金 B：

金额单位：人民币元

募集资金总额8118162441.14本年度投入募集资金总额2459864939.80

变更用途的募集资金总额-

已累计投入募集资金总额5056781104.52

变更用途的募集资金总额比例-截至期末累计投截至期末项目可行已变更项项目达到预募集资金承诺投调整后投资总截至期末承诺截至期末累计投入金额与承诺投投入进度本年度实现是否达到性是否发

承诺投资项目目，含部分本年度投入金额定可使用状资总额额投入金额(1)入金额(2)入金额的差额(%)的效益预计效益生重大变

变更(如有)态日期

(3)＝(2)-(1)(4)＝(2)/(1)化中微产业化基地建设项

目无31700000003170000000317000000010766636572505658488(664341512)79.04%不适用不适用不适用否中微临港总部和研发中

心项目无37500000003750000000375000000010498736502217794984(1532205016)59.14%不适用不适用不适用否

科技储备资金无308000000011981624411198162441333327633333327633(864834808)27.82%不适用不适用不适用否

合计—100000000008118162441811816244124598649405056781105(3061381336)—————

未达到计划进度原因(分具体募投项目)不适用。

项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。

募集资金投资项目先期投入及置换情况本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本年度募集资金的实际使用情况(3)”用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

募集资金结余的金额及形成原因本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。

募集资金其他使用情况不适用。

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