国泰海通证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金

及部分募投项目延期的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中

微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2019年度首次公开发行股票并在科创板上市和2020年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法

律法规和规范性文件的要求，对其2020年度向特定对象发行股票的部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期进行了核查，核查情况如下：

一、2020年度向特定对象发行股票募集资金基本情况发行名称2020年向特定对象公开发行股票

募集资金总额820665.87万元

募集资金净额811816.24万元募集资金到账时间2021年6月22日经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕645号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）80229335股，每股发行价格为人民币 102.29元，募集资金总额为人民币820665.87万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币811816.24万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2021〕第0638号《验资报告》。

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、2020年度向特定对象发行股票募集资金投资项目的基本情况1根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020年度向特定对象发行 A股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：

募集资金承诺投资总额调整后投资总额项目名称（万元）（万元）

中微产业化基地建设项目317000.00317000.00

中微临港总部和研发中心项目375000.00375000.00

科技储备资金308000.00119816.24

合计1000000.00811816.24

截至2026年6月30日，2020年向特定对象公开发行股票募集资金使用情况如下：

单位：万元发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日本次报告期2026年1月1日至2026年6月30日项目金额

一、募集资金总额820665.87

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用8849.63

二、募集资金净额811816.24

减：

以前年度已使用金额680793.15

本年度使用金额27932.71

暂时补流金额-

现金管理金额148336.90

银行手续费支出及汇兑损益1.64

加：

募集资金利息收入45736.82

其他422.28

三、报告期期末募集资金余额910.94

截至2026年6月30日，2020年向特定对象公开发行股票募集资金存放情况如下：

2单位：万元

发行名称2020年向特定对象公开发行股票募集资金到账时间2021年6月22日报告期账户状账户名称开户银行银行账号末余额态中微半导体设备（上招商银行上海分行12191089031070780.13使用中

海）股份有限公司中微半导体设备（上中信银行上海浦东

8110201013601303837143.58使用中

海）股份有限公司分行中微半导体设备（上上海浦东发展银行

97160078801900002862633.82使用中

海）股份有限公司张江科技支行中微半导体设备（上中国建设银行上海

3105016137360000613353.40使用中

海）股份有限公司金桥支行

三、本次募投项目结项及募集资金节余情况

（一）募集资金结项及节余情况结项名称中微产业化基地建设项目结项时间2026年8月募集资金承诺使用金额317000.00万元

募集资金实际使用金额282791.26万元

节余募集资金金额34208.74万元

节余募集资金使用用途及相应金额□补充流动资金34208.74万元

（二）募集资金节余的主要原因

本次募集资金节余的主要原因如下：

1、募投项目建设实施期间，经公司研究和分析，优化施工工艺，有效实现

资源的合理配置；

2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，在保证项目质量

的前提下，坚持合理、节约、有效、谨慎的原则，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出；

3、因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募集资金的使用效率，增加了公司收益。

3（三）节余募集资金使用计划

结合公司实际经营情况，为提高资金使用效率，公司拟将该项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金（实际金额以资金转出当日计算的该项目募集资金剩余金额为准），用于日常生产经营活动。

四、本次募投项目延期具体情况及原因、对公司的影响

（一）本次部分募投项目延期的具体情况及原因

“中微临港总部和研发中心项目”原计划实施周期5年，项目计划分以下阶段实施完成，包括：前期准备、基地建设、设备购置与安装、员工招聘以及试运营。自募集资金到位以来，公司一直积极推进募投项目的实施，并根据实际情况，审慎规划资金的使用。截至本公告披露日，“中微临港总部和研发中心项目”主体建筑工程已顺利完工，部分功能楼层已完成内部装潢并可投入前期使用。为匹配后续业务扩容节奏以及研发人员分批入驻的统筹安排，剩余楼层将采取分批次装修、分阶段投用的精细化推进模式。为保障项目建成后整体运营效能与研发承载能力达到最优标准，经公司审慎评估与统筹规划，拟将该募投项目整体达到全面预定可使用状态的时间顺延至2027年12月。

（二）是否存在影响募集资金使用计划正常推进的情形

公司严格遵守《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，谨慎管理和使用募集资金，截至本公告披露日，公司不存在影响募集资金使用计划正常进行的情形。

（三）保障延期后按期完成的措施

公司将严格遵守募集资金使用相关规定，规范募集资金管理与使用，并持续关注影响项目推进的各项因素，充分结合行业发展情况，科学合理决策，确保募集资金依法合规、高效使用。公司将加强对募集资金使用全过程的监督与管理，推动募投项目按期完成。

（四）本次部分募投项目延期对公司的影响

本次部分募投项目延期是公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，项

4目的延期不会对募投项目的实施造成实质性的影响。本次对部分募投项目延期不

存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金管理的相关规定，不会对公司的正常经营产生不利影响，符合公司发展规划。公司后续将进一步加快推进募投项目建设进度，促使募投项目尽快达到预定可使用状态。

五、适用的审议程序及保荐人意见

（一）董事会审议情况公司于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议审议通过了《关于公司部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的议案》，同意将2020年向特定对象公开发行股票募投项目“中微产业化基地建设项目”结项，并将项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金用于日常生产经营活动；同意将募投项目“中微临港总部和研发中心项目”预定可使用状态的日期延期至2027年12月。本次事项无需提交股东会审议。

（二）保荐人核查意见经核查，保荐人认为：公司本次2020年向特定对象公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的事项已经

公司董事会审议通过，履行了必要的法律程序，符合中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的相关规定。

综上，保荐人对公司2020年向特定对象公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的事项无异议。

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