证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2026-038

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于作废处理2024年限制性股票激励计划

部分限制性股票的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”或“公司”）于2026年4月23日召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》，现将有关事项说明如下：

一、公司2024年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

1、2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议

通过了《关于公司<2024年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司<2024年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于核实公司<2024年限制性股票激励计划激励对象名单>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

2、2024年 3月 28日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露

了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2024-023）。根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就2023年年度股东大会审议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

3、2024年3月28日至2024年4月10日，公司对本激励计划拟激励对象

的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员

1工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024年4月11日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2024年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

4、2024年4月17日，公司召开2023年年度股东大会，审议并通过了《关于公司<2024年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

5、2024年 4月 18日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2024年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

6、2024年4月26日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

7、2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及

2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

8、2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、

2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前

述事项进行核实并发表了核查意见。

9、2026年3月30日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关于调整公司2022年、2023年、2024年及2025年限制性股票激励计划相关事项的议案》。

10、2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了

《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于

2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬

与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

2二、本次作废处理限制性股票的原因和数量

根据公司《2024年限制性股票激励计划（草案）》及《2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法》：

1、由于76名激励对象因个人原因已离职，上述激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票24.7775万股。

2、由于 8名激励对象绩效考核评级MBO＜1，上述激励对象因个人绩效考

核评级部分达标或不达标对应的已获授但尚未归属的0.0652万股限制性股票作废失效。

本次合计作废处理的限制性股票数量为24.8427万股。

三、本次作废处理部分限制性股票对公司的影响公司本次作废处理部分限制性股票不会对公司的财务状况和经营成果产生

实质性影响，不会影响公司核心团队的稳定性，不会影响公司股权激励计划继续实施。

四、薪酬与考核委员会意见

公司本次作废处理部分限制性股票符合有关法律、法规及公司2024年限制

性股票激励计划的相关规定，不存在损害股东利益的情况，薪酬与考核委员会同意公司此次作废处理部分限制性股票。

五、法律意见书的结论性意见

综上所述，上海市锦天城律师事务所律师认为：

1、截至本法律意见书出具之日，公司就本次实施已取得必要的批准和授权，

符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律法规以及《2024年限制性股票激励计划》的规定；

2、公司2024年限制性股票激励计划授予的限制性股票已进入第二个归属

期，第一个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》的相关规定；

3、公司本次作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的原因及

作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》

《2024年考核管理办法》的规定。

3特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年4月25日

4