股票代码： 688012.SH 股票简称：中微公司 上市地点： 上海证券交易所
中微半导体设备（上海）股份有限公司
发行股份及支付现金购买资产
并募集配套资金报告书（草案）
交易类型交易对方名称杭州众芯硅工贸有限公司、上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）、杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）、杭州临发行股份及支付现金
安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）、杭州芯匠企业管理合伙企购买资产业（有限合伙）、杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）等41名交易对方募集配套资金不超过35名符合条件的特定对象独立财务顾问
二零二六年三月中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）上市公司声明
本公司及全体董事、高级管理人员保证本报告书及其摘要内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
本公司第一大股东上海创投、董事、高级管理人员承诺：如本次交易所披露或提供
的信息涉嫌虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被中国证监会立案调查的，在形成调查结论以前，本人/本企业不转让本人/本企业在上市公司拥有权益的股份，并于收到立案稽查通知的两个交易日内将暂停转让的书面申请和股票账户提交上市公司董事会，由董事会代本人/本企业向上海证券交易所和证券登记结算机构申请锁定；未在两个交易日内提交锁定申请的，授权董事会核实后直接向上海证券交易所和证券登记结算机构报送本人/本企业的身份信息和账户信息并申请锁定；董事会未
向上海证券交易所和证券登记结算机构报送本人/本企业的身份信息和账户信息的，授权上海证券交易所和证券登记结算机构直接锁定相关股份。如调查结论发现存在违法违规情节，本人/本企业承诺锁定股份自愿用于相关投资者赔偿安排。
中国证监会、上海证券交易所对本次交易所作的任何决定或意见均不代表其对本公司股票的价值或投资者收益的实质性判断或保证。
请全体股东及其他公众投资者认真阅读有关本次交易的全部信息披露文件，做出谨慎的投资决策。本公司将根据本次交易进展情况，及时披露相关信息，提请股东及其他投资者注意。
本次交易完成后，本公司经营与收益的变化，由本公司自行负责；因本次交易引致的投资风险，由投资者自行负责。
投资者在评价本次交易事项时，除本报告书及其摘要内容以及与本报告书同时披露的相关文件外，还应认真考虑本报告书及其摘要披露的各项风险因素。投资者若对本报告书及其摘要存在任何疑问，应咨询自己的股票经纪人、律师、专业会计师或其他专业顾问。
1中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
交易对方声明
本次交易的交易对方已出具承诺函，保证在本次交易过程中将依照相关法律、法规及规范性文件的有关规定，及时向上市公司披露有关本次交易的资料和信息，并保证所提供的有关资料和信息真实、准确、完整，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对所提供信息的真实性、准确性和完整性承担法律责任。如因在本次交易中提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或投资者造成损失的，交易对方将依法承担相应的法律责任。
如本次交易因涉嫌所披露或提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被中国证监会立案调查的，在形成调查结论以前，交易对方不转让在上市公司拥有权益的股份，并于收到立案稽查通知的两个交易日内将暂停转让的书面申请和股票账户提交上市公司董事会，由董事会代交易对方向上海证券交易所和证券登记结算机构申请锁定；未在两个交易日内提交锁定申请的，授权董事会核实后直接向上海证券交易所和证券登记结算机构报送交易对方的身份信息和账户信息并申请锁定；董事会未向上海证券交易所和证券登记结算机构报送交易对方的身份信息和账户信息的，授权上海证券交易所和证券登记结算机构直接锁定相关股份。如调查结论发现存在违法违规情节，交易对方承诺锁定股份自愿用于相关投资者赔偿安排。
2中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
证券服务机构及人员声明
本次交易的独立财务顾问中信证券股份有限公司、法律顾问上海市锦天城律师事务
所、审计机构普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）和资产评估机构浙江中联资
产评估有限公司（以下合称“中介机构”）同意中微半导体设备（上海）股份有限公司在《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要中引用各中介机构出具的相关内容和结论性意见，并已对所引述内容进行了审阅，确认该报告书及其摘要不致因引用的上述内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
3中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
目录
上市公司声明................................................1
交易对方声明................................................2
证券服务机构及人员声明...........................................3
目录....................................................4
释义...................................................10
重大事项提示...............................................16
一、本次交易方案概述...........................................16
二、本次交易对上市公司的影响.......................................21
三、本次交易已履行及尚需履行的程序....................................24
四、上市公司持股5%以上股东、董事、高级管理人员自本次交易预案披露之日起
至实施完毕期间的股份减持计划.......................................25
五、上市公司持股5%以上股东对本次交易的原则性意见............................26
六、本次交易对中小投资者权益保护的安排..................................26
七、独立财务顾问的保荐资格........................................30
八、其他需要提醒投资者重点关注的事项...................................31
重大风险提示...............................................32
一、与本次交易相关的风险.........................................32
二、与标的公司经营相关的风险.......................................34
三、其他风险...............................................36
第一节本次交易概况............................................37
一、本次交易的背景、目的及协同效应....................................37
二、本次交易方案概述...........................................44
三、本次交易的具体方案..........................................47
四、本次交易的性质............................................54
五、本次交易对上市公司的影响.......................................55
六、本次交易实施需履行的批准程序.....................................55
七、本次交易相关方所做出的重要承诺....................................55
4中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第二节上市公司基本情况..........................................76
一、公司基本信息.............................................76
二、公司设立及上市后股本变动情况.....................................76
三、公司最近三十六个月控制权变动情况...................................88
四、公司最近三年重大资产重组情况.....................................88
五、公司控股股东及实际控制人概况.....................................88
六、公司最近三年主营业务发展情况和主要财务指标..............................89
七、公司因本次交易导致的股权控制结构的预期变化情况............................91
八、公司合规经营情况...........................................91
第三节交易对方基本情况..........................................92
一、发行股份及支付现金购买资产交易对方..................................92
二、其他事项说明............................................380
三、募集配套资金的发行对象.......................................383
第四节交易标的基本情况.........................................384
一、基本情况..............................................384
二、历史沿革..............................................384
三、最近三十六个月内增资、股权转让或改制相关的评估或估值情况分析.......407
四、标的公司股权结构及控制关系.....................................410
五、标的公司下属公司情况........................................413
六、标的公司主要资产权属、对外担保以及主要负债情况...........................415
七、标的公司主营业务情况........................................420
八、标的公司主要生产经营资质......................................446
九、标的公司报告期主要财务指标.....................................446
十、立项、环保、行业准入、用地、规划、建设施工等有关报批事项...............448
十一、最近三年申请首次公开发行股票上市的情况及作为上市公司重大资产重组交
易标的的情况..............................................448
十二、出资瑕疵或影响其他合法存续的情况.................................448
十三、许可他人使用资产，或者被许可使用他人资产的情况..........................448
十四、本次交易不涉及债务转移情况....................................448
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十五、本次交易已取得标的公司其他股东的同意，符合公司章程规定的股权转让前
置条件.................................................449
十六、会计政策、会计估计及相关会计处理.................................449
第五节标的资产评估作价基本情况.....................................452
一、标的资产评估基本情况........................................452
二、本次评估的重要假设.........................................454
三、资产基础法评估情况.........................................456
四、市场法评估情况...........................................477
五、评估或估值基准日至交易报告书签署日的重要变化事项及其对评估或估值结果
的影响.................................................490
六、董事会对本次交易标的评估合理性及定价公允性分析...........................491
七、独立董事对本次交易评估事项的意见..................................495
第六节本次交易发行股份的情况......................................497
一、发行股份及支付现金购买资产.....................................497
二、发行股份募集配套资金的具体方案...................................502
第七节本次交易合同的主要内容......................................507
一、发行股份及支付现金购买资产协议及补充协议..............................507
二、业绩承诺及补偿协议.........................................519
第八节本次交易的合规性分析.......................................524
一、本次交易符合《重组管理办法》第十一条的规定.............................524
二、本次交易不构成《重组管理办法》第十三条规定的重组上市的情形...........527
三、本次交易符合《重组管理办法》第四十三条的规定............................527
四、本次交易符合《重组管理办法》第四十四条的规定............................528
五、本次交易符合《重组管理办法》第四十五条及其适用意见、《监管规则适用指引——上市类第1号》的规定.......................................529
六、本次交易符合《重组管理办法》第四十六条的规定............................531
七、本次交易符合《重组管理办法》第四十七条的规定............................531
八、本次交易符合《科创板上市公司持续监管办法（试行）》第二十条、《科创板上市规则》第11.2条和《重组审核规则》第八条的规定..........................531九、本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重
6中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）组的监管要求》.............................................532十、相关主体不存在《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组的情形...................533
十一、本次交易符合《注册管理办法》的相关规定..............................533十二、本次交易符合《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条、第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意见第18号》的要求......................................535
十三、中介机构关于本次交易符合《重组管理办法》规定发表的明确意见.......536
第九节管理层讨论与分析.........................................537
一、本次交易前上市公司的财务状况和经营成果...............................537
二、标的公司行业特点及经营情况的讨论与分析...............................542
三、标的公司的财务状况分析.......................................561
四、标的公司的盈利能力及未来趋势分析..................................581
五、标的公司的现金流量分析.......................................597
六、上市公司对拟购买资产的整合管控安排.................................600
七、本次交易对上市公司持续经营能力影响.................................601
八、本次交易对上市公司未来发展前景影响的分析..............................604
九、本次交易对上市公司当期每股收益等财务指标和非财务指标影响的分析...605
第十节财务会计信息...........................................608
一、标的公司财务报表..........................................608
二、上市公司备考财务报表........................................611
第十一节同业竞争和关联交易.......................................616
一、同业竞争..............................................616
二、关联交易..............................................617
第十二节风险因素............................................627
一、与本次交易相关的风险........................................627
二、与标的公司经营相关的风险......................................629
三、其他风险..............................................631
第十三节其他重要事项..........................................633
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一、拟购买资产的股东及其关联方、资产所有人及其关联方是否存在对拟购买资产
的非经营性资金占用...........................................633
二、本次交易完成后，上市公司是否存在资金、资产被实际控制人或其他关联人占
用的情形；上市公司是否存在为实际控制人或其他关联人提供担保的情形...............633三、上市公司负债结构是否合理，是否存在因本次交易大量增加负债（包括或有负债）的情况...............................................633
四、上市公司最近十二个月内重大资产交易.................................633
五、本次交易对上市公司治理机制影响的说明................................634
六、本次交易后上市公司的现金分红政策及相应的安排、董事会对上述情况的说明....................................................635
七、本次交易涉及的相关主体买卖上市公司股票的自查情况..........................635
八、上市公司本次交易披露前股票价格波动情况的说明............................635
九、本次交易对中小投资者权益保护的安排.................................636
第十四节对本次交易的结论性意见.....................................637
一、独立董事意见............................................637
二、独立财务顾问对本次交易的结论性意见.................................639
三、律师结论性意见...........................................641
第十五节本次交易有关中介机构情况....................................643
一、独立财务顾问............................................643
二、法律顾问..............................................643
三、审计机构..............................................643
四、资产评估机构............................................644
第十六节董事、高级管理人员及有关中介机构声明..............................645
一、上市公司全体董事声明........................................645
二、上市公司全体高级管理人员声明....................................646
三、独立财务顾问声明..........................................647
四、法律顾问声明............................................648
五、审计机构声明............................................649
六、评估机构声明............................................650
第十七节备查文件及备查地点.......................................651
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一、备查文件目录............................................651
二、备查文件地点............................................651
附件..................................................652
附件一、知识产权............................................652
附件二、交易对方穿透至最终持有人情况..................................675
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释义
在本报告书中，除非上下文另有所指，下列简称具有如下含义：
一、一般名词释义《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购预案、交易预案指买资产并募集配套资金预案》
草案、本草案、报告书、本《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购报告书、交易报告书、本交指买资产并募集配套资金报告书（草案）》易报告书
中微公司、公司、上市公司指中微半导体设备（上海）股份有限公司
中微临港指中微半导体（上海）有限公司
中微有限指中微半导体设备（上海）有限公司，上市公司的前身中微亚洲 指 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Asia
杭州众硅、标的公司指杭州众硅电子科技有限公司
标的资产、拟购买资产指杭州众硅64.69%股权上海创投指上海创业投资有限公司
巽鑫投资指巽鑫（上海）投资有限公司
杭州众芯硅、台州金石投资、宁容海川、扬州朗智、国孚领航、
杭州富浙、浙江富浙、临安众芯硅、深圳达晨、临安众硅、杭州
达晨、杭州芯匠、安徽丰禾、宁波蓝郡、小满投资、宁波领芯、
蔡刚波、长兴青鸟、王敏文、张久海、青岛东证、石溪投资、江交易对方指
苏毅达、朗玛六十三号、杭州众诚芯、江苏中小基金、朱力昂、
杭州北峰、温润贰号、中信投资、江苏疌泉、朗玛五十九号、毅
达鼎祺、朗玛六十号、嘉兴邦拓、毅达太湖、宁波毅达、达晨财
智、朱琳、杰正投资、温润安享
各方、交易各方指上市公司、交易对方、标的公司
交易双方指上市公司、交易对方
杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭业绩承诺人指
州众诚芯、朱琳上市公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅本次交易指
64.69%股权，并向特定投资者发行股份募集配套资金
上市公司拟向杭州众芯硅工贸有限公司、上海宁容海川电子科技
合伙企业（有限合伙）、杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有发行股份及支付现金购买限合伙）、杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）、杭州指
资产芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）、杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）等41名交易对方发行股份及支付现金，购买其持有的杭州众硅64.69%股权募集配套资金指上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金
10中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）《发行股份及支付现金购上市公司与交易对方签署的《中微半导体设备（上海）股份有限买资产协议》、《购买资产指公司发行股份及支付现金购买资产协议》协议》、本协议《发行股份及支付现金购上市公司与交易对方签署的《中微半导体设备（上海）股份有限买资产协议之补充协议》、指公司发行股份及支付现金购买资产协议之补充协议》
《补充协议》、本补充协议《发行股份及支付现金购买资产之业绩承诺和补偿上市公司与补偿义务人签署的《中微半导体设备（上海）股份有指协议》、《业绩承诺和补偿限公司发行股份及支付现金购买资产之业绩承诺和补偿协议》协议》
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的编号为普华
《审计报告》、审计报告指
永道中天特审字(2026)第0065号的审计报告
《备考审阅报告》、备考审普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的编号为普华指
阅报告永道中天阅字（2026）第0001号的备考审阅报告
《评估报告》、评估报告、浙江中联资产评估有限公司出具的编号为浙联评报字[2026]第64指资产评估报告号的评估报告《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有法律意见书指限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之法律意见书》《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购独立财务顾问报告指买资产并募集配套资金之独立财务顾问报告》杭州众芯硅指杭州众芯硅工贸有限公司
宁容海川指上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）
杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙），曾用名为宁波临安众芯硅、宁波众硅指
众硅企业管理合伙企业（有限合伙）（2021-01至2021-12）
临安众硅指杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）
杭州芯匠指杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）
杭州众诚芯指杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）
台州金石投资指浙江台州金石精密制造股权投资基金合伙企业（有限合伙）
扬州朗智指扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）
国孚领航指上海国孚领航投资合伙企业（有限合伙）
杭州富浙指杭州富浙资通股权投资合伙企业（有限合伙）
浙江富浙指浙江富浙富创股权投资合伙企业（有限合伙）
深圳达晨指深圳市达晨创程私募股权投资基金企业（有限合伙）
杭州达晨指杭州达晨创程股权投资基金合伙企业（有限合伙）
安徽丰禾指安徽省丰禾股权投资基金一期合伙企业（有限合伙）
宁波蓝郡指宁波蓝郡风鋆创业投资合伙企业（有限合伙）
小满投资指井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）
宁波领芯指宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
11中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
长兴青鸟指长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）
青岛东证指青岛东证中新仁合私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
石溪投资指余姚石溪舜创创业投资合伙企业（有限合伙）
江苏毅达指江苏高投毅达中小贰号创业投资合伙企业（有限合伙）
朗玛六十三号指朗玛六十三号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
江苏中小基金指江苏中小企业发展基金（有限合伙）
杭州北峰指杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）
温润贰号指广东温润振信贰号股权投资合伙企业（有限合伙）中信投资指中信证券投资有限公司
江苏疌泉指江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）
朗玛五十九号指朗玛五十九号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
毅达鼎祺指无锡高投毅达鼎祺人才创业投资合伙企业（有限合伙）
朗玛六十号指朗玛六十号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
嘉兴邦拓指嘉兴邦拓股权投资合伙企业（有限合伙）
毅达太湖指无锡高投毅达太湖人才成长创业投资合伙企业（有限合伙）
宁波毅达指宁波毅达工投股权投资基金合伙企业（有限合伙）达晨财智指深圳市达晨财智创业投资管理有限公司杰正投资指杰正投资集团有限公司
温润安享指温润安享科盈（海南）股权投资基金合伙企业（有限合伙）临安创投指杭州临安创新发展投资有限公司
淮堃创投指淮安淮堃创业投资合伙企业（有限合伙）
炬华联昕指嘉兴炬华联昕创业投资合伙企业（有限合伙）
好奇号指杭州好奇号股权投资合伙企业（有限合伙）
寓鑫创投指杭州寓鑫创业投资合伙企业（有限合伙）
嘉兴芯通指嘉兴芯通投资合伙企业（有限合伙）宁波和丰指宁波和丰创业投资有限公司
浙江容腾指浙江容腾创业投资合伙企业（有限合伙）
苏州国发指苏州国发新兴二期创业投资合伙企业（有限合伙）
朗玛四十二号指朗玛四十二号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
衢州瑞唐指衢州瑞唐企业管理合伙企业（有限合伙）
海澳芯科指青岛海澳芯科私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
南京星堃指南京星堃股权投资合伙企业（有限合伙）
星成联芯指杭州星成联芯创业投资合伙企业（有限合伙）
温润叁号指温润叁号（海南）股权投资基金管理合伙企业（有限合伙）
12中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
杭州赋芯指杭州赋芯企业管理合伙企业（有限合伙）
上海众硅指众硅电子科技（上海）有限公司
青岛众恩芯指众恩芯科技（青岛）有限公司
福建众进芯指众进芯科技（福建）有限公司
众硅科技（香港）有限公司、SIZONE TECHNOLOGY （HK）香港众硅指
LIMITED
杭州众瞻指众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）
杭州众臻指众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）定价基准日指上市公司第三届董事会第八次会议决议公告日国家发改委指中华人民共和国国家发展和改革委员会
中国证监会、证监会指中国证券监督管理委员会
上交所、交易所、证券交易指上海证券交易所所
中登公司、登记结算公司指中国证券登记结算有限责任公司上海分公司
《公司法》指《中华人民共和国公司法》
《证券法》指《中华人民共和国证券法》
《重组管理办法》指《上市公司重大资产重组管理办法》
《发行注册管理办法》、《注指《上市公司证券发行注册管理办法》册管理办法》
《股票上市规则》指《上海证券交易所科创板股票上市规则（2025年4月修订）》《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票《监管指引第7号》指异常交易监管（2025年修正）》《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第26号——上《格式准则26号》指市公司重大资产重组（2025年修正）》
《重大资产重组审核规则》指《上海证券交易所上市公司重大资产重组审核规则》
GP 指 普通合伙人
LP 指 有限合伙人
元、万元、亿元指如无特别说明，指人民币元、人民币万元、人民币亿元基准日指本次交易标的公司审计、评估基准日，即2025年12月31日报告期指2024年度、2025年度
中信证券、独立财务顾问指中信证券股份有限公司
锦天城律师、法律顾问指上海市锦天城律师事务所
普华永道、审计机构、审阅
指普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）机构
中联评估、资产评估机构指浙江中联资产评估有限公司
二、专业名词或术语释义
13中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料
是一种通过一定工艺把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、
电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导集成电路、芯片、IC 指
体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型电子器件或部件
又称Wafer、圆片、晶片，用以制造集成电路的圆形硅晶体半晶圆指导体材料
WFE 指 Wafer Fabrication Equipment，晶圆制造设备Atomic layer deposition，原子层沉积，是一种可以将物质以单原ALD 指子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法
Chemical Mechanical Polishing/ Planarization，化学机械抛光，也CMP 指 叫化学机械平坦化，是集成电路制造中获得全局平坦化的一种手段
ECMP 指 Electrochemical Mechanical Polishing，电化学机械抛光在一块加热至适当温度的衬底基片（主要有蓝宝石、SiC、Si等）
LED外延片 指上所生长出的特定单晶薄膜
LPCVD 指 Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压化学气相沉积MEMS 指 Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统Metal-organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气MOCVD 指相沉积，MOCVD设备是 LED外延片生产过程中的关键设备Capacitively Coupled Plasma，是通过匹配器和隔直电容把射频电CCP 指 压加到两块平行平板电极上进行放电而生成的，两个电极和等离子体构成一个等效电容器
Inductively Coupled Plasma，一种通过随时间变化的磁场电磁感应ICP 指产生电流作为能量来源的等离子体源
EPI 指 Epitaxy，在衬底上生长出的半导体薄膜High Bandwidth Memory，高带宽内存，是一种基于 3D堆栈工艺HBM 指的高性能动态随机存取存储器
Through Silicon Via，硅通孔技术，是通过硅通道垂直穿过组成堆TSV 指栈的不同芯片或不同层实现不同功能芯片集成的先进封装技术
Three-Dimensional Integrated Circuit，是一种先进的半导体封装技
3D IC 指 术，通过垂直堆叠多个芯片（或晶粒）来实现更高密度和更高性
能的系统集成
Total Thickness Variation，总厚度变化。在 CMP工艺中，它用于TTV 指 衡量晶圆或硅片在厚度方向上的均匀性，定义为晶圆表面厚度最大值与最小值之间的差值
APC 指 Advanced Process Control，先进过程控制用化学或物理方法有选择地在硅片表面去除不需要的材料的过
刻蚀指程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤
前道、后道指半导体设备制造分为前道和后道工艺，前道主要是光刻、刻蚀、
14中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
清洗、离子注入、化学机械平坦等；后道主要有打线、Bonder、
FCB、BGA植球、检查、测试等
最新的封装技术，例如 2.5D及 3D芯片技术、晶圆级封装、倒装先进封装指芯片封装和硅通孔技术等
阿斯麦、ASML 指 荷兰 ASML Holding N.V.科磊公司、KLA 指 美国 KLA Corporation
泛林集团、LAM Research 指 美国 Lam Research Corp.应用材料、AMAT、美国应
指 美国 Applied Materials Inc.用材料
瓦里安半导体、VSEA 指 美国 Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.屹唐半导体指北京屹唐半导体科技股份有限公司
东京电子、TEL 指 Tokyo Electron Laboratories Inc.TSMC 指 台湾积体电路制造股份有限公司
Gartner 指 高德纳咨询公司
Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体SEMI 指产业协会
注1：本报告书的部分合计数与各加数直接相加之和在尾数上可能因四舍五入存在差异；
注2：本报告书所引用的财务数据和财务指标，如无特殊说明，指合并报表口径的财务数据和根据该类财务数据计算的财务指标。
15中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
重大事项提示
本部分所述词语或简称与本报告书“释义”所述词语或简称具有相同含义。本公司提醒投资者认真阅读本报告书全文，并特别注意下列事项：
一、本次交易方案概述
（一）本次交易方案概览交易形式发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金
上市公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众交易方案
芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅
简介64.69%股权，并募集配套资金交易价格（不含募集配套资金157604.91万元
金额）
名称杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权
主营业务 标的公司主要从事 CMP设备的研发、生产与销售
根据国家统计局发布的《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，所属行业 标的公司属于专用设备制造业（行业代码： C35）下的半导体器
交易标的 件专用设备制造（行业代码：C3562）
符合板块定位?是□否□不适用
其他属于上市公司的同行业或上下游?是□否
与上市公司主营业务具有协同效应?是□否
构成关联交易□是?否
构成《重组管理办法》第十二条规定
交易性质□是?否的重大资产重组
构成重组上市□是?否
本次交易有无业绩补偿承诺?是□否
本次交易有无减值补偿承诺□是?否
本次交易中，针对杭州众硅64.69%股权不同的交易对方涉及的差异化定价具体情其他需要特别况如下：
说明的事项截至评估基准日，杭州众硅100%股权评估值为250140.00万元，经交易各方协商标的公司64.69%股权的交易作价确定为157604.91万元，对应标的公司股东全部
16中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
权益整体交易价格为243649.27万元。本次交易的差异化定价综合考虑不同交易对方初始投资成本等因素，由交易各方自主协商确定，差异化定价系交易对方之间基于市场化原则进行商业化谈判的结果，上市公司支付对价总额对应的标的公司100.00%股权作价不超过标的公司100.00%股权评估值，不会损害上市公司及中小股东的利益。
（二）标的资产评估情况
单位：万元
交易标的增值率/溢价本次拟交易基准日评估方法评估结果交易价格其他说明名称率的权益比例
2025年12月
杭州众硅31市场法250140.00232.28%64.69%157604.91-日
（三）本次交易的支付方式
本次交易以发行股份及支付现金的方式支付交易对价，具体如下：
单位：万元序标的公司支付方式向该交易对方交易对方号出资金额出资比例现金对价股份对价支付总对价
1杭州众芯硅785.356.79%-13584.9413584.94
2宁容海川226.671.96%1283.822637.063920.89
3临安众芯硅123.341.07%579.681553.862133.54
4临安众硅96.330.83%321.651344.731666.38
5杭州芯匠70.330.61%393.14823.481216.63
6杭州众诚芯33.330.29%174.03402.57576.60
7朱琳10.000.09%32.60140.38172.98
8台州金石投资801.976.94%-18721.9718721.97
9扬州朗智566.924.90%-11405.0911405.09
10国孚领航566.924.90%-11404.4811404.48
11杭州富浙442.363.83%-10991.7810991.78
12浙江富浙442.363.83%-10991.7810991.78
13深圳达晨368.553.19%-9014.279014.27
14杭州达晨221.131.91%-5408.565408.56
15安徽丰禾210.601.82%-5183.015183.01
16宁波蓝郡176.951.53%-4397.594397.59
17小满投资165.391.43%180.002680.892860.89
17中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序标的公司支付方式向该交易对方交易对方号出资金额出资比例现金对价股份对价支付总对价
18宁波领芯165.151.43%486.002370.802856.80
19蔡刚波150.431.30%1512.271512.273024.53
20长兴青鸟150.001.30%-2594.702594.70
21王敏文135.991.18%-2352.402352.40
22张久海135.311.17%-2340.662340.66
23青岛东证126.361.09%-3108.823108.82
24石溪投资106.140.92%-2073.212073.21
25江苏毅达105.300.91%-2591.512591.51
26朗玛六十三号104.000.90%-2223.342223.34
27江苏中小基金97.650.84%-1689.201689.20
28朱力昂90.490.78%225.771540.821766.59
29杭州北峰88.470.77%69.582129.222198.79
30温润贰号87.370.76%-2170.012170.01
31中信投资84.240.73%-2077.152077.15
32江苏疌泉82.690.72%-1430.441430.44
33朗玛五十九号78.000.67%-1667.511667.51
34毅达鼎祺78.000.67%-1672.111672.11
35朗玛六十号78.000.67%-1667.511667.51
36嘉兴邦拓52.000.45%-1114.741114.74
37毅达太湖48.830.42%-844.60844.60
38宁波毅达48.830.42%-844.60844.60
39达晨财智42.120.36%-1030.201030.20
40杰正投资33.910.29%-586.63586.63
41温润安享1.110.01%-27.4727.47
合计7478.9164.69%5258.53152346.38157604.91
本次交易的差异化定价综合考虑不同交易对方初始投资成本、支付方式选择、是否
参与业绩对赌等因素，由交易各方自主协商确定，差异化定价系交易对方之间基于市场化原则进行商业化谈判的结果，上市公司支付对价总额对应的标的公司100.00%股权作价不超过标的公司100.00%股权评估值，不会损害上市公司及中小股东的利益。
（四）发行情况
18中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
股票种类 境内人民币普通股（A股） 每股面值 1.00元
上市公司第三届董事会第八次会216.77元/股，不低于定价基准定价基准日议决议公告日，即2025年12月发行价格日前20个交易日的上市公司股
31日票交易均价的80%
发行数量7028000股□是?否（在定价基准日至发行完成期间，若上市公司发生派息、送股、配股、是否设置发行价格
增发或资本公积转增股本等除权、除息事项的，则上述发行数量将根据中国证调整方案监会及上交所的相关规定进行相应调整）
1、业绩承诺方的股份锁定期安排
杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱
琳7名业绩承诺方承诺：
“（1）本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。
（2）同时，鉴于本人/本企业作为业绩承诺人拟与中微公司签订《业绩承诺和补偿协议》，本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份在满足上述锁定期承诺的前提下，还应根据《业绩承诺和补偿协议》的约定，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁，具体解锁方式以本企业签订的《业绩承诺和补偿协议》约定为准。”
2、持有标的资产超过48个月的私募投资基金的股份锁定期安排
私募投资基金小满投资、江苏中小基金、江苏疌泉、毅达太湖、宁波毅达5名
交易对方承诺：
“鉴于本企业系于中国证券投资基金业协会备案的私募投资基金，且本企业对锁定期安排用于认购中微公司股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间已满48个月，且不存在《上市公司重大资产重组管理办法》第四十七条第一款第（一）项、第（二）项情形，本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起6个月内不得上市交易或转让。”
3、持有标的资产可能未满12个月的交易对方的股份锁定期安排
扬州朗智、国孚领航、蔡刚波3名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。若本企业因本次交易取得中微公司股份时，对本企业用于认购股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间不足12个月，则本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起36个月内不得上市交易或转让。”
4、其他交易对方的股份锁定期安排
其他26名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。”
（五）发行股份募集配套资金的具体情况
1、募集配套资金概况
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募集配套资
150000.00万元
金金额发行对象不超过35名特定对象拟使用募集资金金额使用金额占全部募集配套项目名称（万元）资金金额的比例
高端半导体设备产业化项目38338.8925.56%
募集配套资高端半导体设备研发中心项目34702.5723.14%金用途
支付现金对价及中介机构费用6958.534.64%
补充流动资金70000.0046.67%
合计150000.00100.00%
2、募集配套资金的具体情况
境内人民币普通
股票种类每股面值1.00元
股（A股）不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价的80%。最终发行价格将在本次交易经上交所审核通过并经中国证监会同意注册后，由上市公司董本次募集配套资
定价基准日发行价格事会根据股东会的授权，按照相关法律、法规的规金的发行期首日定，依据发行对象申报报价情况，与本次交易的独立财务顾问（主承销商）根据市场询价的情况协商确定。
不超过150000.00万元，本次募集配套资金总额不超过本次交易中以发行股份方式购买资产的交易价格的100%，配套募集资金发行股份数量不超过本次发行股份及支付现金购买资产后上市公司总股本的30%。
本次募集配套资金发行股份数量=本次募集配套资金总额÷本次募集配套资金的股份发行价格。若发行数量计算结果不足一股，则尾数舍去取整。
发行数量最终发行股份数量及价格将由公司董事会在取得上交所审核通过并经中国证监会同意注册的募集配套资金方案基础上根据实际情况确定。
在定价基准日至发行日期间，若上市公司发生派息、送股、转增股本、配股等除权、除息事项，则本次募集配套资金的股份发行数量将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
□是?否（在定价基准日至发行日期间，上市公司如有派息、送股、转增股本、配是否设置发行
股等除权、除息事项，本次发行价格将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相价格调整方案应调整）向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金的发行对象所认购的上市公司的
锁定期安排股份，自发行结束之日起6个月内不得转让。本次发行结束后，发行对象通过本次发行取得的上市公司股份由于上市公司送红股、转增股本等原因增加的，亦应遵守
20中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）上述约定。前述锁定期与适用法律或证券监管机构（包括但不限于中国证监会和上交所）的最新监管意见不相符的，将根据适用法律或相关证券监管机构的最新监管意见进行相应调整。在上述锁定期限届满后，其转让和交易依照届时有效的法律和上交所的规则办理。
二、本次交易对上市公司的影响
（一）本次交易对上市公司主营业务的影响
本次交易前，上市公司主营业务为高端半导体设备的研发、生产和销售，向下游集成电路、LED外延片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备、薄
膜设备和MOCVD 设备、提供配件及服务，在等离子体刻蚀与薄膜沉积等干法设备领域已具备国际领先的技术实力。上市公司核心产品覆盖高能/低能等离子体刻蚀（CCP、ICP）、MOCVD、LPCVD、ALD及 EPI等关键工艺设备。等离子体刻蚀设备和薄膜设备作为光刻机之外的核心微观加工设备，其制程步骤复杂度与工艺开发难度均在业内处于突出地位，上市公司刻蚀设备已在全球一线晶圆厂量产应用，覆盖 65nm至 5nm及更先进制程，以及存储器件制造中的大部分应用。近两年，上市公司已开发出多款薄膜沉积产品并推向市场，薄膜设备累计出货量已突破300个反应台，产品覆盖度快速提升。
在 LED与功率器件用MOCVD市场，上市公司保持领先份额，并在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD 设备开发及客户验证上取得了良好进展，且正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备。
标的公司主营业务为化学机械平坦化抛光（CMP）设备的研发、生产及销售，属于湿法工艺核心设备，并为客户提供 CMP 设备的整体解决方案，是国内少数掌握 12英寸高端 CMP设备核心技术并实现量产的企业。
通过本次交易，上市公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺能力的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。
这一整合不仅填补了上市公司在湿法设备领域的空白，更显著提升了公司在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力。面对先进晶圆厂和先进存储厂对工艺协同性、产线稳定性与整体效率日益严苛的要求，上市公司可为客户提供高度协同的成套设备解决方案，大幅缩短工艺调试和验证周期，从而增强客户黏性，加速上市公司在主流产线的规模化渗透。
21中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
通过本次交易，双方将形成显著的战略协同，同时标志着上市公司向“集团化”和“平台化”迈出关键的一步，符合公司通过内生发展与外延并购相结合，持续拓展集成电路覆盖领域，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案的战略规划。
本次交易完成后，上市公司与标的公司双方将协同发展，增强上市公司的产品覆盖度和持续经营能力，并提升市场竞争力和行业影响力。
（二）本次交易对上市公司主要财务指标的影响
根据普华永道会计师出具的备考审阅报告，不考虑本次交易中募集配套资金的影响，本次交易完成后上市公司主要财务指标变动如下：
单位：万元
2025年末
项目
交易前交易后（备考）变动比例
总资产2984601.903186713.816.77%
归属于母公司股东的所有者权益2269461.682412633.346.31%
营业收入1238463.831262875.711.97%
归属于母公司所有者净利润211147.30198797.56-5.85%
资产负债率23.85%23.34%-2.11%
基本每股收益（元/股）3.403.15-7.35%
本次交易前后，上市公司总资产、归属于母公司股东的所有者权益、营业收入指标有所上升、资产负债率有所下降。本次交易后，上市公司归属于母公司所有者的净利润、基本每股收益等盈利能力指标有小幅下降，主要系标的公司当前收入规模相对较小而研发投入较大，2025年仍处于亏损状态。
通过本次交易，双方将形成显著的战略协同，同时标志着上市公司向“集团化”和“平台化”迈出关键的一步，上市公司将逐步构建全球一流半导体设备平台、强化核心技术组合，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案。本次交易完成后双方将实现全面的资源对接和优势互补，从长期来看，随着标的公司的业务发展与业绩释放，标的公司将持续提升其盈利水平，上市公司也将进一步提高在半导体设备领域的竞争力及行业影响力，增强持续经营能力和盈利能力，本次交易预计能够使得上市公司盈利能力逐步上升，增厚上市公司的每股收益。本次交易中，上市公司与业绩承诺方签署了《业绩承诺和补偿协议》，具体内容详见本报告书“重大事项提示”之“六、本次交易对中小投
22中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）资者权益保护的安排”之“（七）业绩承诺与补偿安排”。根据上述业绩补偿约定，本次交易完成后，上市公司未来经营业绩将有所提升。此外，为应对每股收益摊薄的风险，提升上市公司未来的持续经营能力，为上市公司股东创造更多的盈利和稳定的回报，上市公司采取了填补摊薄即期回报的相关措施。
（三）本次交易对上市公司股权结构的影响
本次交易前后，上市公司均无实际控制人，本次交易不会导致上市公司实际控制权变更。
本次交易中，上市公司拟向交易对方发行7028000股股份，上市公司总股本将增加至633173307股。根据截至2025年12月31日上市公司前十大股东的名称、持股数量及持股比例情况测算本次交易前后上市公司股权结构如下：
交易后交易前
股东名称（不考虑募集配套资金）
持股数量（股）股比持股数量（股）股比
上海创业投资有限公司9348353314.93%9348353314.76%巽鑫（上海）投资有限公司6847391610.94%6847391610.81%
香港中央结算有限公司552193218.82%552193218.72%
华芯投资管理有限责任公司－
国家集成电路产业投资基金二230761153.69%230761153.64%期股份有限公司
招商银行股份有限公司－华夏
上证科创板50成份交易型开放145546872.32%145546872.30%式指数证券投资基金
中国工商银行股份有限公司－
易方达上证科创板50成份交易132001002.11%132001002.08%型开放式指数证券投资基金
中信证券股份有限公司－嘉实
上证科创板芯片交易型开放式96938921.55%96938921.53%指数证券投资基金
中国工商银行－上证50交易型80376041.28%80376041.27%开放式指数证券投资基金
中国工商银行股份有限公司－
华泰柏瑞沪深300交易型开放73051861.17%73051861.15%式指数证券投资基金
中国建设银行股份有限公司－
华夏国证半导体芯片交易型开61298950.98%61298950.97%放式指数证券投资基金
杭州众芯硅--6266980.10%
宁容海川--1216520.02%
23中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
交易后交易前
股东名称（不考虑募集配套资金）
持股数量（股）股比持股数量（股）股比
临安众芯硅--716820.01%
临安众硅--620340.01%
杭州芯匠--379880.01%
杭州众诚芯--185710.00%
朱琳--64760.00%
其他交易对方--60828990.96%
其他股东32697105852.22%32697105851.64%
总股本626145307100.00%633173307100.00%
三、本次交易已履行及尚需履行的程序
（一）本次交易已履行的程序
截至本报告书签署日，本次交易已经履行的决策和审批程序如下：
1、本次交易方案已取得上市公司持股5%以上股东的原则性意见；
2、本次交易方案已经交易对方有权内部决策机构审议通过；
3、本次交易方案已经标的公司股东会审议批准；
4、本次交易预案及相关议案已经上市公司第三届董事会第八次会议审议通过；
5、本次交易正式方案已经上市公司第三届董事会第十次会议审议通过。
（二）本次交易尚需履行的程序
截至本报告书签署日，本次交易尚需履行的程序事项，包括但不限于：
1、上市公司股东会审议批准本次交易；
2、本次交易经上交所审核通过，并经中国证监会同意注册；
3、各方根据相关法律法规规定履行其他必要的审批/备案程序（如适用）。
本次交易以取得上述全部批准或核准为前提，未取得前述批准或核准前不得实施。
本次交易能否取得上述备案、批准、审核通过或同意注册，以及最终取得备案、批准、
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审核通过或同意注册的时间均存在不确定性，提请广大投资者注意投资风险。
四、上市公司持股5%以上股东、董事、高级管理人员自本次交易预案披露之日起至实施完毕期间的股份减持计划
上市公司持股5%以上股东上海创投已出具承诺，具体如下：
“截至本承诺函签署之日，本公司减持计划已于2026年1月21日实施完毕，具体减持情况以中微公司信息披露为准。除了已披露减持计划外，本公司暂无其他新增减持计划。本公司承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本公司进行减持的，本公司将严格按照法律法规及中国证券监督管理委员会、上海证券交易所之相关规定操作，并将严格执行相关法律法规关于股份减持的规定及要求。本公司在本承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。”上市公司持股5%以上股东巽鑫投资已出具承诺，具体如下：
“截至本承诺函签署之日，本公司存在减持计划，具体减持计划以中微公司信息披露为准。除了已披露减持计划外，本公司暂无其他新增减持计划。本公司承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本公司进行减持的，本公司将严格按照法律法规及中国证券监督管理委员会、上海证券交易所之相关规定操作，并将严格执行相关法律法规关于股份减持的规定及要求。本公司在本承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。
如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。”上市公司董事长、总经理尹志尧已出具承诺，具体如下：
“中微公司曾于2026年1月9日披露了本人的减持计划，该减持计划已于2026年2月12日公告终止。除上述减持事项外，截至本承诺函出具之日，本人暂无其他股份减持计划。本人承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本人根据自身实际需要或市场变化拟进行减持的，本人将严格按照法律法规及中国证券监督管理委员会、上海证券交易所之相关规定及要求执行，并依法及时履行所需的信息披露义务。
25中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本人确认上述承诺系真实、自愿作出，本人对声明与承诺内容不存在任何重大误解，并愿意为上述内容的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如上述内容存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的情形，或者本人违反上述内容的，本人将依法承担相应的法律责任。”上市公司其他董事、高级管理人员已出具承诺，具体如下：
“截至本承诺函出具之日，本人暂无减持中微公司股份的计划。本人承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本人根据自身实际需要或市场变化拟进行减持的，本人将严格执行相关法律法规及中国证券监督管理委员会、上海证券交易所关于股份减持的规定及要求，并依法及时履行所需的信息披露义务。本人确认上述承诺系真实、自愿作出，本人对声明与承诺内容不存在任何重大误解，并愿意为上述内容的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如上述内容存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的情形，或者本人违反上述内容的，本人将依法承担相应的法律责任。”五、上市公司持股5%以上股东对本次交易的原则性意见
上市公司持股5%以上股东已出具《关于本次交易的原则性同意意见》，原则性同意本次交易。
六、本次交易对中小投资者权益保护的安排
（一）确保本次交易的定价公平、公允
本次交易中，公司将聘请符合《证券法》规定的会计师事务所、资产评估机构对标的资产进行审计、评估，确保本次交易的定价公允、公平、合理，定价过程合法合规。
同时，公司所聘请的独立财务顾问、法律顾问等中介机构，对本次交易方案及全过程进行监督并出具专业意见，确保本次交易定价公允、公平、合理，不损害其他股东的利益。
（二）严格履行上市公司信息披露义务
在本次交易过程中，公司已切实按照《证券法》《重组管理办法》《上市公司信息披露管理办法》《格式准则26号》等规则要求履行了信息披露义务。上市公司将继续按照相关法规的要求，及时、准确地披露本次交易的进展情况，使投资者及时、公平地
26中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
知悉本次交易相关信息。
（三）严格执行相关审议程序
本次交易涉及的董事会、股东会等决策程序，公司将遵循公开、公平、公正的原则，严格执行法律法规以及公司制度中规定的程序进行决策审批。
（四）网络投票安排和中小股东单独计票
根据有关规定，本次交易将为参加股东会的股东提供便利。上市公司将通过交易所交易系统和互联网投票系统向全体股东提供网络形式的投票平台，股东可以通过交易系统或互联网投票系统参加网络投票，以切实保护股东的合法权益。
针对审议本次交易的股东会投票情况，上市公司将单独统计并披露除公司董事、高级管理人员、单独或者合计持有上市公司5%以上股份的股东以外的其他股东的投票情况。
（五）本次交易摊薄即期回报情况及其相关填补措施
根据普华永道出具的上市公司备考审阅报告以及上市公司合并财务报表，本次交易完成前后，上市公司每股收益的变化情况如下：
2025年12月31日/2025年度
项目交易前备考数
基本每股收益（元/股）3.403.15本次交易存在导致上市公司即期回报被摊薄的情形。为了充分保护公司公众股东的利益，公司制定了防止本次交易摊薄即期回报的相关填补措施，具体如下：
1、有效整合标的公司，全面释放协同效应
标的公司主营业务为高端化学机械抛光（CMP）设备的研发、生产及销售，并为客户提供 CMP设备的整体解决方案。本次交易完成后，上市公司将加快对标的公司的整合，全方面赋能帮助标的公司尽快实现预期效益；通过“平台化”运作，提升公司在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力。为客户提供高度协同的成套设备解决方案，大幅缩短工艺调试和验证周期，从而增强客户黏性，加速上市公司在主流产线
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的规模化渗透，从而提升上市公司的盈利能力和综合竞争优势，推动上市公司业绩的稳步增长。
2、不断完善公司治理，控制公司经营风险
本次交易前，上市公司已按照《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》等法律法规，建立了较为完善、健全的公司法人治理结构和内部控制制度管理体系，形成了设置合理、运行有效、权责分明、运作良好的公司治理与经营框架，保证了上市公司各项经营活动的正常有序进行。本次交易完成后，上市公司将进一步完善公司治理结构，持续加强经营管理和内部控制，增强价值创造、风险管控能力，健全和完善稳健经营、稳步发展的企业运行体系，全面有效地控制公司经营和管控风险，提升公司的经营效率和持续经营能力。
3、进一步完善利润分配政策，强化投资者回报机制
本次交易完成后，上市公司在继续遵循《公司章程》关于利润分配的相关政策的基础上，将根据中国证监会的相关规定，结合公司经营情况与发展规划，持续完善利润分配政策，优化投资回报机制，在保证上市公司可持续发展的前提下给予股东合理的投资回报，更好地维护上市公司股东及投资者利益。
4、严格执行业绩承诺及补偿安排
为充分维护公司及中小股东的利益，本次交易中，上市公司与交易对方中的杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳约定了业绩承
诺及对应的补偿安排。本次交易的业绩承诺及对应的补偿安排，有助于降低对本次交易后上市公司每股收益的摊薄影响，公司将严格执行业绩承诺及补偿安排。
5、相关方已出具填补回报措施的承诺
为保障公司填补被摊薄即期回报措施能够得到切实履行，上市公司持股5%以上股东上海创投和全体董事、高级管理人员已出具《关于本次重组摊薄即期回报及填补回报措施的承诺函》，具体内容详见本报告书“第一节本次交易概况”之“七、本次交易相关方所做出的重要承诺”。
（六）股份锁定安排
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根据上市公司与交易对方签署的《补充协议》《业绩承诺和补偿协议》和交易对方
出具的股份锁定承诺函，本次交易中，交易对方对其通过本次交易取得的上市公司股份作出了相应的锁定安排，具体锁定安排情况详见本报告书“第一节本次交易概况”之“三、本次交易的具体方案”之“（一）发行股份及支付现金购买资产的具体方案”之
“5、锁定期安排”。
（七）业绩承诺与补偿安排
1、业绩承诺
根据业绩承诺方与上市公司已签署的《业绩承诺和补偿协议》，本次交易中业绩承诺方杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳承
诺：标的公司在2026年度、2027年度和2028年度实现的合并报表范围营业收入分别
不低于28000.00万元、43000.00万元和58000.00万元，以每年度经上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所出具的《专项审核报告》为准。
2、业绩补偿安排
（1）未达承诺业绩的补偿
业绩承诺人承诺，根据每年的《专项审核报告》所确认的结果，如业绩承诺期每个会计年度结束后，截至当期期末，标的公司累计实现收入数小于截至当期期末累计承诺收入数的，业绩承诺人应按下列方式对上市公司进行补偿：当期应补偿金额=（截至当期期末累计承诺收入数－截至当期期末累计实现收入数）÷业绩承诺期内各年的承诺收
入数总和×业绩承诺人取得的全部交易对价－累计已补偿金额（如有）上述业绩承诺人取得的全部交易对价包括以股份和现金形式获得的交易对价。
根据上述公式计算得到的当期应补偿金额小于0的，则当期不进行业绩补偿。
业绩承诺人因某年度未达到承诺业绩而履行了补偿义务后，若后续会计年度标的公司达到或超过承诺业绩，上市公司不因此退还业绩承诺人已补偿的股份或现金。
（2）股份补偿及现金补偿
业绩承诺人优先以其在本次交易中获得的上市公司股份进行补偿，不足部分以现金
29中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）补偿。当期应补偿股份数量=当期应补偿金额÷本次发行股份购买资产的发行价格。
若根据上述公式计算的应补偿股份数量非为整数，则应向下取整；因向下取整导致实际补偿金额不足当期应补偿金额的，由业绩承诺人以现金补偿。
若上市公司在业绩承诺期内实施送股、资本公积金转增股本、配股等事项，则补偿股份数量相应调整：按前述公式计算的应补偿股份数量×（1+送股或转增比例）。
若上市公司在业绩承诺期内实施现金分红，业绩承诺人对应补偿股份数量在补偿前所获得的现金分红部分，应返还给上市公司。返还金额的计算公式为：应返还金额=每股已分配现金股利（以税后金额为准）×当期应补偿股份数量。
上市公司应以总价款人民币1元的价格对业绩承诺人合计应补偿股份予以回购并注销。
如作出股份补偿时因本次交易而获得的股份不足以按照上述约定进行补偿的，业绩承诺人另需用现金再进行补偿，计算公式如下：当期现金补偿金额=当期应补偿金额-业绩承诺人当期已补偿股份数量×本次发行价格
（3）各方确认，各方应分别依照相关法律的规定缴纳各自因履行本协议项下义务所应缴纳的税金。
（八）其他保护投资者权益的措施
本次交易的交易对方承诺，及时提供和披露有关本次交易的资料和信息，并保证所提供的资料和信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，将依法承担赔偿责任。
在本次交易期间，上市公司将依照相关法律法规、中国证监会和上交所的有关规定，及时披露有关本次交易的信息并提交有关申报文件，并保证信息披露和申请文件的真实性、准确性和完整性，并承诺如因信息披露和申请文件存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给投资者造成损失的，并承诺承担个别和连带的法律责任。上市公司提醒投资者到上交所指定网站（www.sse.com.cn）浏览本报告书全文。
七、独立财务顾问的保荐资格
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上市公司聘请中信证券担任本次交易的独立财务顾问。中信证券经中国证监会批准依法设立，具有财务顾问业务资格及保荐承销资格。
八、其他需要提醒投资者重点关注的事项
本报告书的全文及中介机构出具的相关意见已在上海证券交易所网站披露，投资者应据此作出投资决策。
本报告书披露后，上市公司将继续按照相关法规的要求，及时、准确地披露公司本次交易的进展情况，敬请广大投资者注意投资风险。
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重大风险提示
投资者在评价公司本次交易时，还应特别认真地考虑下述各项风险因素：
一、与本次交易相关的风险
（一）本次交易的审批风险
本次交易尚需满足多项条件及取得相关主管部门批准后方可实施，本次交易尚需履行的决策和审批程序包括：
1、上市公司股东会审议批准本次交易；
2、本次交易经上交所审核通过，并经中国证监会同意注册；
3、各方根据相关法律法规规定履行其他必要的审批/备案程序（如适用）。
本次交易以取得上述全部批准或核准为前提，未取得前述批准或核准前不得实施。
本次交易能否取得上述备案、批准、审核通过或同意注册，以及最终取得备案、批准、审核通过或同意注册的时间均存在不确定性，提请广大投资者注意投资风险。
（二）本次交易被暂停、中止或取消的风险
尽管在本次交易的筹划及实施过程中，交易双方采取了严格的保密措施，尽可能缩小内幕信息知情人员的范围，减少内幕消息的传播，但是不排除上市公司股价异常波动或异常交易可能涉嫌内幕交易而被暂停、终止或取消的风险。
鉴于本次交易的复杂性，自本次交易协议签署至最终实施完毕存在一定的时间跨度，如交易相关方的生产经营、财务状况或市场环境发生不利变化，交易各方在后续的商业谈判中产生重大分歧，或者发生其他重大突发事件或不可抗力因素等，均可能对本次交易的时间进度产生重大影响，也存在导致本次交易被暂停、中止或取消的风险。
在本次交易的推进过程中，市场环境可能会发生变化，监管机构的审核要求也可能对交易方案产生影响，交易各方可能需根据市场环境变化及监管机构的审核要求完善交易方案。如交易各方无法就完善交易方案的措施达成一致意见，则本次交易存在暂停、中止或终止的风险。
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（三）收购整合的风险
本次交易完成后，标的公司将纳入上市公司管理及合并范围，上市公司的业务规模、人员等将进一步扩大，上市公司也将面临经营管理方面的挑战，包括组织设置、内部控制、团队管理、供应链及销售渠道整合、企业文化共享等方面。本次交易完成后，上市公司能否通过整合保持标的公司原有竞争优势并充分发挥并购整合的协同效应具有不确定性，提请投资者关注相关风险。
（四）标的公司评估增值较高的风险
本次评估采用资产基础法和市场法两种方法对杭州众硅100%股权进行评估，并选用市场法评估结果作为最终的评估结论。根据市场法评估结果，截至2025年12月31日，杭州众硅100%股权的评估值为250140.00万元，较合并报表归属于母公司所有者权益增值174859.61万元，增值率232.28%。
虽然评估机构在评估过程中严格按照评估的相关规定，履行了勤勉、尽职的义务，但如未来出现预期之外的较大变化，可能导致资产评估值与实际情况不符的风险，提请投资者注意相关评估风险。
（五）商誉减值的风险
由于本次交易系非同一控制下的企业合并，根据《企业会计准则》规定，本次交易完成后，上市公司将确认一定金额的商誉。根据《备考审阅报告》，本次交易完成后，上市公司将新增95922.71万元商誉，占2025年末上市公司备考财务报表总资产的比例为3.01%，占2025年末上市公司备考财务报表归母净资产的比例为3.98%。本次交易形成的商誉不作摊销处理，但需在未来每年年度终了进行减值测试。如本次拟收购标的资产未来经营状况恶化，则存在商誉减值的风险，从而对上市公司当期损益造成不利影响。本次交易完成后，上市公司将与杭州众硅进行资源整合，力争通过发挥协同效应，保持并提高杭州众硅的竞争力，以便尽可能地降低商誉减值风险。
（六）本次交易摊薄上市公司即期回报的风险
本次交易完成后，上市公司总股本增加，标的公司将纳入上市公司合并报表。由于
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标的公司报告期内处于亏损状态，因此上市公司存在即期回报指标被摊薄的风险。为应对本次交易导致上市公司每股收益摊薄的风险，上市公司根据自身经营特点制定了填补回报的措施，但该等填补回报的措施不等于对上市公司未来盈利作出的保证，特此提醒投资者关注本次交易摊薄即期回报的风险。
二、与标的公司经营相关的风险
（一）市场竞争加剧的风险
标的公司主要从事 CMP设备的研发、生产与销售。标的公司所在的半导体设备行业受国家政策鼓励影响发展迅速，一方面，行业内企业数量增加，另一方面，行业内企业不断结合自身优势拓展市场，标的公司面临的市场竞争逐渐加剧。
尽管标的公司在技术水平等方面具有竞争优势，但若未来标的公司无法正确把握市场动态及行业发展态势，无法结合市场需求进行相应产品的创新、开发，或竞争对手开发出更具有市场竞争力的产品、提供更好的价格和服务，则标的公司的业务和经营业绩将受到一定影响，因此标的公司面临市场竞争加剧的风险。
（二）研发人才紧缺及流失的风险
半导体设备行业属于人才密集型领域，优秀的研发人员及工程技术人员是标的公司的核心竞争力及未来发展保障。同时，半导体设备生产各环节的工艺配合和误差控制要求极高，需要相关人才具备很强的综合能力和经验积累。
标的公司创始团队来自浙江大学、南京大学等国内外知名高校，曾任职于应用材料、瓦里安半导体、屹唐半导体等知名企业。同时，标的公司组建了一支兼具国际视野与本土深耕能力的团队，团队核心成员行业经验丰富。近年来，随着市场的快速增长，半导体设备企业数量快速增加，优秀人才竞争态势愈发激烈。若标的公司不能提供良好的发展路径、有吸引力的薪酬待遇及相应的激励考核机制，出现研发人才流失，且无法在短期内招聘到经验丰富的人才填补缺口，可能对标的公司业务发展、研发进程和持续竞争力产生不利影响。
（三）产品和技术迭代升级的风险
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标的公司所处的半导体设备行业，技术及产品迭代速度较快，为满足客户工艺需求，持续技术创新是标的公司在市场中保持竞争优势的重要手段。若标的公司未能及时准确把握技术和市场的变化趋势和发展方向，不断推出适应市场需求的新技术、新产品，或者未来出现芯片制造颠覆性新技术，而标的公司产品技术升级不能满足客户对更先进制程生产的需求，标的公司的产品销售和经营业绩将受到不利影响。
（四）核心技术泄露的风险
标的公司自成立以来始终专注于 CMP设备的研发、生产及销售，组建了专业的研发技术团队，并经过自主研发，形成多项核心技术，在产品生产各环节发挥了关键的作用。标的公司通过申请专利、规范研发过程管理等措施对自主知识产权进行保护，防止核心技术泄露，但上述措施并不能完全保证核心技术不会泄露，也不能完全排除未来因员工违反相关协议、员工离职等因素导致的技术秘密泄露风险。
（五）标的公司持续亏损的风险
标的公司自2018年成立以来，不断推出新产品、市场认可程度逐步提升，正处于从研发到大规模量产的关键阶段。半导体设备行业具有技术密集、研发投入大、市场导入周期相对较长等特征，标的公司产品虽已批量发往客户端验证，但尚未完全进入大规模量产期，确认收入金额有限。根据《审计报告》，报告期内，标的公司2024年度和
2025年度归属于母公司所有者的净利润分别为-15346.30万元、-9249.99万元。标的公
司为保证产品和技术的先进性和稳定性，在研发、人才、市场推广等方面仍需持续保持高水平的投入，未来若标的公司产品不符合市场需求、行业竞争加剧等，导致销售收入或盈利水平不达预期，标的公司存在持续亏损的风险。
（六）知识产权争议风险
半导体设备行业是典型的技术密集型行业，涉及的知识产权领域广泛、数量众多。
为了保持技术优势和竞争力，防止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式设置较高的进入壁垒。标的公司自成立以来高度重视自主知识产权的研发，已取得了大量研发成果并申请众多专利技术，采取了相应的知识产权保护措施，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷的风险，亦不能排除公司的知识产权
35中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）被侵权的风险。在未来的生产经营活动中，若公司知识产权遭遇侵权或被侵权问题，或因知识产权问题受到恶意诉讼，此类知识产权争端将对标的公司的正常经营活动产生不利影响。
三、其他风险
（一）股票市场波动的风险股票市场投资收益与投资风险并存。上市公司股票价格的波动不仅受其盈利水平和发展前景的影响，而且受国家宏观经济政策调整、金融政策的调控、股票市场的投机行为、投资者的心理预期等诸多因素的影响。本次交易需要有关部门审批且需要一定的时间周期方能完成，在此期间上市公司股票价格可能出现波动，从而给投资者带来一定的风险。股票的价格波动是股票市场的正常现象。为此，提醒投资者应当具有风险意识，以便做出正确的投资决策。同时，上市公司一方面将以股东利益最大化作为最终目标，提高资产利用效率和盈利水平；另一方面将严格按照《公司法》《证券法》等法律、法
规的要求规范运作。本次交易完成后，上市公司将严格按照《股票上市规则》的规定，及时、充分、准确地进行信息披露，以利于投资者做出正确的投资决策。
（二）其他风险
上市公司不排除因政治、经济、自然灾害等其他不可控因素给上市公司及本次交易
带来不利影响的可能性，提请广大投资者注意相关风险。
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第一节本次交易概况
一、本次交易的背景、目的及协同效应
（一）本次交易的背景
1、国家产业政策及资本市场政策大力支持半导体产业创新发展
半导体行业是现代经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业，是电子信息产业的基础支撑，其产品广泛地应用于电子通信、计算机、网络技术、物联网等产业，是绝大多数电子设备的核心组成部分。半导体与信息安全的发展进程息息相关，世界各国政府都将其视为国家的骨干产业，半导体产业的发展水平逐渐成为了国家综合实力的象征。
国家高度重视集成电路产业的高质量发展，在产业政策层面，出台了《国家集成电路产业发展推进纲要》《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》
《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》等
多项支持政策，大力优化集成电路产业发展环境。
2、应对复杂外部环境，提升产业链自主可控能力
集成电路产业是衡量一个国家或地区现代化程度以及综合国力的重要标志之一，是面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求的重要产业之一。但我国集成电路产业的总体发展水平较美欧日韩等国家仍有一定差距，且在关键领域和环节存在对外依存度高等问题。全球半导体产业链的结构性调整为行业带来多维发展机遇。地缘政治加剧了全球半导体供应链的不稳定性，在供应链安全诉求驱动下，本土化进程向上游半导体设备与材料领域加速延伸，创造出广阔的市场空间，中国大陆半导体设备市场规模在全球的占比逐年提升。根据 SEMI 统计，2025 年度中国大陆市场采购规模在全球晶圆制造设备市场占比达到38%。
当前，我国半导体产业发展面临复杂的外部环境。在部分国家采取贸易与技术限制措施的背景下，国内先进存储芯片制造、晶圆代工等领域的扩产计划及技术升级节奏受到一定程度影响。在此形势下，培育具备成套工艺设备解决方案供给能力的本土半导体设备龙头供应商，对增强供应链的自主可控能力，保障下游制造厂商的产能建设与产品技术迭代具有重要意义。经过多年积累，我国半导体设备领域已形成覆盖主要环节的产
37中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）业体系，但企业规模体量、技术储备及市场拓展能力差异显著，产业资源相对分散，部分细分领域存在企业数量众多、产品单一、协同效应不足的情况，一定程度上制约了行业整体技术攻坚效率和国际竞争力的进一步提升。
因此，通过行业整合与重组，促进资源向龙头企业集中，构建布局更完整、技术协同性更强的大型半导体设备平台，减少低水平重复竞争，已成为提升半导体设备产业整体效能、应对未来挑战的关键路径。
3、响应国家政策导向，通过并购重组促进上市公司高质量发展
2024年3月，中国证监会发布《关于加强上市公司监管的意见（试行）》，支持
上市公司通过并购重组提升投资价值，鼓励上市公司实施并购重组、注入优质资产。
2024年6月，中国证监会发布《关于深化科创板改革服务科技创新和新质生产力发展的八条措施》，支持科创板上市公司开展产业链上下游的并购整合，提升产业协同效应。
2024年9月，中国证监会发布《关于深化上市公司并购重组市场改革的意见》，
明确支持“两创”板块公司围绕科技创新并购产业链上下游资产，引导更多资源要素向新质生产力方向聚集。
2025年5月，中国证监会修订《上市公司重大资产重组管理办法》，对并购重组
监管政策进行优化调整，以进一步激发市场活力。新规通过市场化并购机制推动资源高效配置，旨在提升上市公司经营效益与核心竞争能力，促进产业结构优化升级。
本次交易是上市公司响应国家政策、提升上市公司高质量发展的重要举措。通过收购行业内优质资产进行产业整合，通过技术和产品协作，上市公司将进一步提升产品与服务的技术创新能力，丰富公司的产品线，并对客户资源进行整合，为目标客户提供更全面、更优质的综合服务。
4、结合世界头部企业经验及国内企业竞争格局，产业并购整合是行业发展的必然
趋势
并购一直是半导体设备产业发展的主旋律。国际半导体设备巨头泛林集团、应用材料等均通过并购整合实现业务拓展和规模提升，由单一设备公司转型为平台型设备公司，
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取得全球市场竞争实力。
目前国内半导体设备企业数量较多，但产品结构单一且以成熟制程为主。国内大多数半导体装备领域的上市公司专注于少数产品领域，产品结构相对单一，产业规模相对较小，且大多数仍以成熟制程产品为主，在规模和技术上，相比国际巨头存在差距。
通过并购整合、打造平台型公司，国内半导体设备企业可以联合攻关，突破技术瓶颈，共同做大规模，提升规模效应和运营效率，增强国内集成电路装备产业竞争力，为产业实现跨越式发展奠定核心基础。
（二）本次交易的目的
1、本次并购是上市公司构建全球一流半导体设备平台、强化核心技术组合的战略举措，有效整合后旨在为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案目前，全球半导体设备市场主要由阿斯麦、应用材料、泛林集团、科磊公司、东京电子等国际巨头主导，其凭借显著的规模效应和综合平台化能力构筑了核心竞争壁垒。
相比之下，国内厂商起步较晚，资源相对分散，全球市场占有率较低，尤其在先进制程领域，国内半导体设备厂商仍有广阔的发展空间。
上市公司在成立初期就制定了长期的发展路径和规划，即三维立体生长的规划：集成电路设备、泛半导体设备和非半导体设备领域。在集成电路设备的发展路径是：从等离子体刻蚀机起家，到薄膜设备、再到湿法设备和量检测设备。这是国际领军的半导体设备公司发展的共同逻辑和路径。上市公司在过去的20年着力开发了一个完整系列的
20种等离子体刻蚀设备，全面覆盖三百多种刻蚀应用，满足国内95%以上的刻蚀应用需求；在薄膜设备领域，上市公司已经及正在开发四十多种导体/介质薄膜等多类型半导体薄膜设备，近两年新开发的沉积各种导体薄膜的 LPCVD设备和 ALD设备，已有多款设备产品顺利进入市场并获得批量订单，上市公司新开发的 EPI设备已顺利交付成熟制程客户进行量产验证，并已经进入先进制程工艺验证和客户验证阶段；近年来，上市公司也在逐步布局光学量检测设备和电子束量检测设备，本次交易是上市公司进入高端湿法设备领域的关键一步。
在湿法领域，有四种主要设备，涂胶显影设备（Track）、化学机械抛光设备（CMP）、镀铜设备（ECP）和清洗设备（Cleaner），而杭州众硅是国内 CMP技术和设备方面领
39中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）先的设备公司之一。本次交易完成后，标的公司的发展将围绕“更精密、更智能、更集成”的核心逻辑，与上市公司共同打造世界一流的 CMP设备。首先，标的公司将充分利用上市公司已有的客户服务经验、供应链管理系统、运营体系、销售渠道和人力资源，高效率提高杭州众硅现有机台的稳定性和重复性，降低产品成熟的迭代时间，快速扩大存储大客户市场占有率，使其产品以高产出、低成本的特质，成为 CMP领域有技术差异化、能满足客户要求的关键核心产品。
同时，利用上市公司20多年不断完善的精密设备开发平台和高端设备制造的理念，对标国际最先进 CMP设备，开发在先进制程中可以完全取代进口设备的具有国际竞争力的下一代产品。特别是利用上市公司现有的智能化、数据模拟和 AI仿真能力，与关键客户深度合作，定向实现更精准、更集成和更智能的控制过程，在精准智能控制水平上达到国际领先水平。在先进封装领域，针对低应力处理、多材料兼容、卓越平整性、超洁净集成的要求，依据上市公司产品开发的“十大”原则，定向攻破关键部件，如抛光头、清洗系统等，并与供应链紧密合作，共同开发对应的研磨垫、研磨液等，成为后摩尔时代先进封装领域的引领者。
上市公司在刻蚀与薄膜沉积等干法设备领域已具备国际领先的技术实力，并在量检测领域实现完整布局；杭州众硅是国内少数掌握 12 英寸高端 CMP设备核心技术并实现量产的企业。通过本次并购，上市公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法+量检测”整体解决方案的关键跨越。这一整合不仅填补了上市公司在湿法设备领域的空白，更显著提升了公司在先进制程中提供系统级设备解决方案的能力。面对先进晶圆厂对工艺协同性、产线稳定性与整体效率日益严苛的要求，可为客户提供高度协同的成套设备解决方案，大幅缩短工艺调试和验证周期，从而增强客户黏性，加速国产设备在主流产线的规模化渗透。
2、通过本次并购双方将形成显著的战略协同，同时标志着上市公司向“集团化”
和“平台化”迈出关键的一步
面对当前复杂的国际形势，为满足国内客户对 7nm以下先进逻辑芯片和多层堆叠存储芯片整体工艺解决方案的客观需求，上市公司经过充分讨论，明确了未来五到十年，通过自主研发与外延并购相结合的方式，进一步实现产品的横向扩展，致力于为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案。
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预计到2035年前，上市公司对集成电路关键领域设备的覆盖度将从目前的30%提高至60%以上，成为一家世界级的先进半导体设备平台型集团公司。本次交易不仅是上市公司从干法设备拓展到湿法设备的关键一步，也标志着上市公司正式开启“平台化”和“集团化”发展战略。未来3-5年，上市公司还将围绕薄膜沉积、量检测等核心工艺加工设备和工艺检测设备进行整合。本次交易，不仅在技术上具有稀缺性和互补性，同时核心技术团队在研发理念上，也与上市公司二十多年坚持的“创新、差异化和自主研发”企业文化高度契合。上市公司的目标是能够面向客户提供组合工艺方案，增强上市公司作为核心设备供应商的产品覆盖、技术支撑和协同服务能力。
3、标的公司能够借助上市公司平台实现高质量发展
本次交易完成后，标的公司将纳入上市公司体系，成为其控股子公司。依托上市公司，标的公司可以在资本市场建立起高效、便捷的直接融资渠道，降低融资成本，进入发展快车道。上市公司将充分利用自身平台优势和规范化管理经验，统筹协调采购、生产、销售计划与产业链管理，提高生产效率，降低整体运营成本，充分发挥协同效应，提高标的公司盈利能力。同时，上市公司良好的社会形象和商业信用也将有助于提升标的公司的市场认可度，吸引优质人才，进一步拓展客户资源，提升标的公司的综合竞争力，实现高质量发展。上市公司未来也可能采取股权激励计划等多样化的激励手段对标的公司核心管理团队及研发、采购、生产、销售人员进行有效激励。
4、加速协同整合，提升上市公司持续经营能力和抗风险能力
受全球宏观经济波动、行业景气度等因素影响，半导体行业存在一定的周期性，且制造工艺日益复杂，设备间的协同性要求也不断提高。在本次交易完成后，通过整合双方的实验设备、测试平台、工艺数据库、客户反馈信息等，上市公司能够形成更广的产品线、更大的客户基础，提升研发效率，缩短新产品从概念到量产的周期，并为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案，也能更好地抵御单一产品或下游客户需求波动带来的风险，增强整体经营的稳定性，适应先进制程的发展需求。本次交易系上市公司现有业务的扩张和补充，将巩固并提升上市公司持续经营能力和抗风险能力。
（三）本次交易标的公司的科创属性，与上市公司主营业务的协同效应
1、标的公司所处行业与上市公司处于同行业，符合科创板定位
41中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
标的公司是国内少数有能力批量供应 12 英寸 CMP 设备的国产设备厂商，已切入国内知名先进存储厂商和逻辑芯片制造厂商，产品性能和技术指标已接近国际先进水平。
上市公司与标的公司同属于半导体设备领域企业。按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，上市公司与标的公司所处行业同属于“专用设备制造业”中的“半导体器件专用设备制造”（代码：C3562），为国家发改委颁布的《产业结构调整指导目录（2024年本）》规定的鼓励类产业。根据《战略性新兴产业分类（2018）》，上市公司与标的公司所处行业亦均为“新一代信息技术产业”。标的公司属于《上海证券交易所科创板企业发行上市申报及推荐暂行规定》第五条中的“（一）新一代信息技术领域”之“半导体和集成电路”，符合科创板定位。
2、标的公司和上市公司具有协同效应
上市公司与标的公司主营业务均为半导体设备的研发、生产及销售，但在细分产品类别、技术路径、具体应用场景和客户群体等方面存在一定的差异，上市公司在刻蚀与薄膜沉积等干法设备领域已具备国际领先的技术实力，而标的公司则是国内少数掌握
12英寸高端 CMP设备核心技术并实现量产的企业。上市公司与标的公司在产品品类、技术和研发、市场和客户资源、产品销售和供应链融合等方面具有较强的协同效应，本次交易整合后，将增强上市公司的持续经营能力，并提升市场竞争力和行业影响力，双方发展将围绕“更精密、更智能、更集成”的核心逻辑，共同打造国际领先的半导体设备。
（1）本次交易有利于上市公司提高对客户的整体方案解决能力
芯片制造的工艺协同日益重要，单一设备的国产化难以满足先进晶圆厂对工艺协同性、产线稳定性与整体效率的系统性要求。本次交易完成后，上市公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺能力的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越，助力上市公司优化产品组合，提升整体解决方案的市场竞争力，从而降低客户导入和维护成本，缩短客户工艺调试、验证周期，增强客户黏性，加速国产设备在产线的渗透并加速业务拓展。
（2）本次交易有利于上市公司整合技术和研发资源
本次交易完成后，上市公司与标的公司可以共享各自的技术积累，缩短新产品的开
42中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）发周期，拓宽产品的覆盖范围，快速响应市场变化。同时，标的公司可借助上市公司
20多年不断完善的精密设备开发平台和高端制造的理念，特别是利用上市公司现有的
智能化、数据模拟和 AI仿真能力，实现更精准、更集成和更智能的控制过程，在精准智能控制水平上对标国际先进设备。在先进封装领域，针对低应力处理、多材料兼容、卓越平整性、超洁净集成的要求，双方可以依据上市公司产品开发的“十大”原则，定向攻破关键部件，如抛光头、清洗系统等，并与供应链紧密合作，共同开发对应的研磨垫，研磨液等。双方研发团队合并后，可以利用各自在半导体设备行业深耕多年所积累深厚的技术经验，激发新的创新思路，同时降低研发重复投入。
（3）本次交易有利于提升运营效率
本次交易完成后，上市公司的业务规模得以扩大，产品线更加丰富，收入规模进一步提升，上市公司通过整合采购需求，可以提升对上游供应商的议价能力，降低关键零部件的采购成本。同时，上市公司具有成熟完善的内控体系、运营及经营管理经验，可以对标的公司进行规范化整合，通过推行上市公司高标准治理、健全的财务制度与风险控制机制，共享供应商资源、基础设施、实验室及开发测试平台等方式，可以降低整体研发成本和运营管理成本，实现供应链协同及生产效率的提升。此外，标的公司能够借助上市公司的资本市场平台进行融资，降低资金成本，抓住行业发展的有利时机，进一步提升在 CMP设备领域的竞争力。
（4）本次交易有利于精准布局前沿技术、引领行业发展及提升验证效率
本次交易完成后，上市公司与标的公司可以通过共建研发测试生产平台，打破国产半导体设备研发与验证的效率瓶颈。此前国产设备企业较为分散，需在客户端投入大量时间和精力完成初期的验证工作，制约了研发迭代与市场化进程。通过本次交易，将原本需在客户端开展的工艺验证、稳定性测试等环节前置至公司内部完成，提前解决设备潜在问题，大幅缩短验证周期。这种“需求前置”的协同模式，依托上市公司在客户端的深厚积淀，双方共建的研发测试生产平台可精准对接市场需求，整合研发力量提前布局前沿工艺，让研发方向更贴合实际应用场景甚至领先于现有技术水平，大幅缩短研发周期与产品迭代时间，减少国产设备企业与国际半导体设备巨头在研发积累上的差距。
通过资源整合与平台赋能，推动国产设备研发从“被动适配”转向“主动引领”，为半导体产业链协同发展提供高效范式。
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二、本次交易方案概述
本次交易由发行股份及支付现金购买资产和募集配套资金两部分组成。其中，募集配套资金以发行股份及支付现金购买资产的成功实施为前提，发行股份及支付现金购买资产不以募集配套资金的成功实施为前提，最终募集配套资金成功与否不影响本次发行股份及支付现金购买资产的实施。
（一）发行股份及支付现金购买资产
上市公司拟通过发行股份及支付现金的方式向杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、
临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方购买杭州众硅64.69%股权。本次交易完成后，杭州众硅将成为上市公司控股子公司。
中联评估以2025年12月31日为评估基准日，采用市场法、资产基础法对杭州众硅进行了评估，根据中联评估出具的《资产评估报告》（中联评报字[2026]第64号），截至评估基准日，杭州众硅100%股权的评估值为250140.00万元。基于上述评估结果，经公司与交易对方协商，确定标的公司股东全部权益整体交易价格为243649.27万元，对应本次交易标的资产即杭州众硅64.69%股权的最终交易价格为157604.91万元。
根据交易双方协商结果，本次交易中，上市公司结合交易谈判情况、交易对方初始取得成本等因素，对交易对方所持标的公司股权采取差异化定价。上市公司向杭州众芯硅等41名交易对方发行股份及支付现金的安排明细如下：
单位：万元序标的公司支付方式向该交易对方交易对方号出资金额出资比例现金对价股份对价支付总对价
1杭州众芯硅785.356.79%-13584.9413584.94
2宁容海川226.671.96%1283.822637.063920.89
3临安众芯硅123.341.07%579.681553.862133.54
4临安众硅96.330.83%321.651344.731666.38
5杭州芯匠70.330.61%393.14823.481216.63
6杭州众诚芯33.330.29%174.03402.57576.60
7朱琳10.000.09%32.60140.38172.98
8台州金石投资801.976.94%-18721.9718721.97
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序标的公司支付方式向该交易对方交易对方号出资金额出资比例现金对价股份对价支付总对价
9扬州朗智566.924.90%-11405.0911405.09
10国孚领航566.924.90%-11404.4811404.48
11杭州富浙442.363.83%-10991.7810991.78
12浙江富浙442.363.83%-10991.7810991.78
13深圳达晨368.553.19%-9014.279014.27
14杭州达晨221.131.91%-5408.565408.56
15安徽丰禾210.601.82%-5183.015183.01
16宁波蓝郡176.951.53%-4397.594397.59
17小满投资165.391.43%180.002680.892860.89
18宁波领芯165.151.43%486.002370.802856.80
19蔡刚波150.431.30%1512.271512.273024.53
20长兴青鸟150.001.30%-2594.702594.70
21王敏文135.991.18%-2352.402352.40
22张久海135.311.17%-2340.662340.66
23青岛东证126.361.09%-3108.823108.82
24石溪投资106.140.92%-2073.212073.21
25江苏毅达105.300.91%-2591.512591.51
26朗玛六十三号104.000.90%-2223.342223.34
27江苏中小基金97.650.84%-1689.201689.20
28朱力昂90.490.78%225.771540.821766.59
29杭州北峰88.470.77%69.582129.222198.79
30温润贰号87.370.76%-2170.012170.01
31中信投资84.240.73%-2077.152077.15
32江苏疌泉82.690.72%-1430.441430.44
33朗玛五十九号78.000.67%-1667.511667.51
34毅达鼎祺78.000.67%-1672.111672.11
35朗玛六十号78.000.67%-1667.511667.51
36嘉兴邦拓52.000.45%-1114.741114.74
37毅达太湖48.830.42%-844.60844.60
38宁波毅达48.830.42%-844.60844.60
39达晨财智42.120.36%-1030.201030.20
40杰正投资33.910.29%-586.63586.63
45中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序标的公司支付方式向该交易对方交易对方号出资金额出资比例现金对价股份对价支付总对价
41温润安享1.110.01%-27.4727.47
合计7478.9164.69%5258.53152346.38157604.91
本次交易的差异化定价综合考虑不同交易对方初始投资成本、支付方式选择、是否
参与业绩对赌等因素，由交易各方自主协商确定，差异化定价系交易对方之间基于市场化原则进行商业化谈判的结果，上市公司支付对价总额对应的标的公司100.00%股权作价不超过标的公司100.00%股权评估值，不会损害上市公司及中小股东的利益。
本次交易设置差异化定价的原因如下：
1、部分外部投资人投资入股时曾约定有对赌回购条款
本次交易34名外部投资人中，除宁波领芯、长兴青鸟外，其他32名外部投资人投资入股标的公司时均与标的公司及其实际控制人约定了回购权的相关约定。截至本报告书出具日，外部投资人与标的公司约定的回购条件尚未触发，且标的公司已与外部投资人签署《关于杭州众硅电子科技有限公司之股东特殊权利条款终止协议》，确认股东特殊权利条款（包括但不限于回购权、反稀释权等），自该协议生效之日起不可撤销终止，并自始无效，公司作为义务人承担义务的相关条款不可恢复。
2、本次交易的投资估值低于部分外部股东的投资估值
根据中联评估出具的《资产评估报告》，截至评估基准日，杭州众硅100%股权的评估值为250140.00万元。标的公司部分股东对应的整体估值高于本次评估值，若本次收购按照评估值250140.00万元乘以各股东所持标的公司的股权比例进行计算，则标的公司部分股东面临投资亏损的情形，进而导致股东不愿意低价转让所持有的标的公司股权，本次交易无法继续推进的情形。
（二）募集配套资金
本次交易中，上市公司拟向不超过35名特定对象发行股票募集配套资金，募集资金金额不超过150000.00万元。本次募集资金总额不超过本次交易拟购买资产交易价格的100%。最终发行数量将在本次交易经上交所审核通过并经中国证监会予以注册后，按照《发行注册管理办法》等的相关规定，根据询价结果最终确定。
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本次配套融资以本次购买资产的成功实施为前提，但本次购买资产不以本次配套融资的成功实施为前提，本次配套融资最终成功与否不影响本次购买资产的实施。
本次募集配套资金拟用于标的公司募投项目建设、支付现金对价及中介机构费用、
补充流动资金，其中用于补充流动资金的比例不超过本次交易对价的25%或募集配套资金总额的50%。具体用途如下：
单位：万元序号项目名称拟投入募集资金金额占募集配套资金比例
1高端半导体设备产业化项目38338.8925.56%
2高端半导体设备研发中心项目34702.5723.14%
3支付现金对价及中介机构费用6958.534.64%
4补充流动资金70000.0046.67%
合计150000.00100.00%
在本次配套募集资金到位之前，上市公司若根据实际情况自筹资金先行支出，在配套募集资金到位后，将使用配套募集资金置换已支出的自筹资金。
三、本次交易的具体方案
（一）发行股份及支付现金购买资产的具体方案
1、发行股份的种类、面值及上市地点
本次交易中购买资产所涉及发行的股份种类为人民币普通股（A股），每股面值为人民币1.00元，上市地点为上交所。
2、发行对象与认购方式
本次发行股份及支付现金购买资产的发行对象为杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯
硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方。发行对象将以其持有标的公司股权认购本次发行的股份。
3、定价基准日及发行价格
本次发行股份及支付现金购买资产的定价基准日为上市公司第三届董事会第八次会议决议公告日。
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根据《重组管理办法》相关规定，上市公司发行股份的价格不得低于市场参考价的
80%；市场参考价为定价基准日前20个交易日、60个交易日或者120个交易日的公司
股票交易均价之一。定价基准日前若干个交易日公司股票交易均价＝决议公告日前若干个交易日公司股票交易总额/决议公告日前若干个交易日公司股票交易总量。
本次发行股份及支付现金购买资产的定价基准日前20个交易日、60个交易日和120
个交易日的公司股票交易均价如下：
交易均价计算类型交易均价（元/股）交易均价的80%（元/股）
定价基准日前20个交易日270.95216.77
定价基准日前60个交易日283.25226.60
定价基准日前120个交易日250.73200.59
注：“交易均价的80%”保留两位小数并向上取整。
经交易各方友好协商，本次发行价格为216.77元/股，不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价的80%。
在定价基准日至发行日期间，上市公司如有派息、送股、资本公积转增股本、配股等除权、除息事项，本次发行价格将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
4、发行股份数量
本次发行股份购买资产的股份发行股份数量为7028000股，计算方式为：向各交易对方发行股份数量=以发行股份形式向各交易对方支付的交易对价/本次发行价格，发行股份总数量=向各交易对方发行股份的数量之和。按前述公式计算的向交易对方发行的股份数量不为整数时，则向下取整精确至个股，不足一股的部分由交易对方自愿放弃。
具体如下：
序号交易对方股份对价金额（万元）发股数量（股）
1杭州众芯硅13584.94626698
2宁容海川2637.06121652
3临安众芯硅1553.8671682
4临安众硅1344.7362034
5杭州芯匠823.4837988
6杭州众诚芯402.5718571
7朱琳140.386476
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序号交易对方股份对价金额（万元）发股数量（股）
8台州金石投资18721.97863679
9扬州朗智11405.09526138
10国孚领航11404.48526109
11杭州富浙10991.78507071
12浙江富浙10991.78507071
13深圳达晨9014.27415845
14杭州达晨5408.56249507
15安徽丰禾5183.01239101
16宁波蓝郡4397.59202868
17小满投资2680.89123674
18宁波领芯2370.80109369
19蔡刚波1512.2769763
20长兴青鸟2594.70119698
21王敏文2352.40108520
22张久海2340.66107979
23青岛东证3108.82143415
24石溪投资2073.2195640
25江苏毅达2591.51119550
26朗玛六十三号2223.34102566
27江苏中小基金1689.2077925
28朱力昂1540.8271080
29杭州北峰2129.2298224
30温润贰号2170.01100106
31中信投资2077.1595822
32江苏疌泉1430.4465989
33朗玛五十九号1667.5176925
34毅达鼎祺1672.1177137
35朗玛六十号1667.5176925
36嘉兴邦拓1114.7451425
37毅达太湖844.6038962
38宁波毅达844.6038962
39达晨财智1030.2047525
40杰正投资586.6327062
49中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号交易对方股份对价金额（万元）发股数量（股）
41温润安享27.471267
合计152346.387028000
在定价基准日至发行完成期间，若上市公司发生派息、送股、配股、增发或资本公积转增股本等除权、除息事项的，则上述发行数量将根据中国证监会及上交所的相关规定进行相应调整。
5、锁定期安排
（1）业绩承诺方的股份锁定期安排
杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳7
名业绩承诺方承诺：
“1）本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。
2）同时，鉴于本人/本企业作为业绩承诺人拟与中微公司签订《业绩承诺和补偿协议》，本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份在满足上述锁定期承诺的前提下，还应根据《业绩承诺和补偿协议》的约定，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁，具体解锁方式以本企业签订的《业绩承诺和补偿协议》约定为准。”各业绩承诺人通过本次交易取得的上市公司股份，在满足法定及本次交易文件约定的锁定期的前提下，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁。
具体解锁股份数量的计算公式如下：各业绩承诺人当年可解禁的股份数=截至当期
期末累计承诺收入数÷业绩承诺期内累计承诺的收入×业绩承诺人通过本次交易获得
上市公司的股份数量－累计已经解锁股份数－累计业绩承诺补偿股份数（含当期）。
（2）持有标的资产超过48个月的私募投资基金的股份锁定期安排
私募投资基金小满投资、江苏中小基金、江苏疌泉、毅达太湖、宁波毅达5名交易
对方承诺：
“鉴于本企业系于中国证券投资基金业协会备案的私募投资基金，且本企业对用于认购中微公司股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间已满48个月，且不存在《上市
50中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）公司重大资产重组管理办法》第四十七条第一款第（一）项、第（二）项情形，本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起6个月内不得上市交易或转让。”
（3）持有标的资产可能未满12个月的交易对方的股份锁定期安排
扬州朗智、国孚领航、蔡刚波3名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。若本企业因本次交易取得中微公司股份时，对本企业用于认购股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间不足
12个月，则本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起36个月内不得上市交易或转让。”
（4）其他交易对方的股份锁定期安排
其他26名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。”
6、过渡期损益安排
标的公司在过渡期因任何原因产生的盈利和亏损均由交割日后标的公司股东按届时所持标的公司的股权比例享有和承担。
7、业绩承诺与补偿安排
（1）业绩承诺
根据业绩承诺方与上市公司已签署的《业绩承诺和补偿协议》，本次交易中业绩承诺方杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳承
诺：标的公司在2026年度、2027年度和2028年度实现的合并报表范围营业收入分别
不低于28000.00万元、43000.00万元和58000.00万元，以每年度经上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所出具的《专项审核报告》为准。
（2）业绩补偿安排
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1）未达承诺业绩的补偿
业绩承诺人承诺，根据每年的《专项审核报告》所确认的结果，如业绩承诺期每个会计年度结束后，截至当期期末，标的公司累计实现收入数小于截至当期期末累计承诺收入数的，业绩承诺人应按下列方式对上市公司进行补偿：当期应补偿金额=（截至当期期末累计承诺收入数－截至当期期末累计实现收入数）÷业绩承诺期内各年的承诺收
入数总和×业绩承诺人取得的全部交易对价－累计已补偿金额（如有）上述业绩承诺人取得的全部交易对价包括以股份和现金形式获得的交易对价。
根据上述公式计算得到的当期应补偿金额小于0的，则当期不进行业绩补偿。
业绩承诺人因某年度未达到承诺业绩而履行了补偿义务后，若后续会计年度标的公司达到或超过承诺业绩，上市公司不因此退还业绩承诺人已补偿的股份或现金。
2）股份补偿及现金补偿
业绩承诺人优先以其在本次交易中获得的上市公司股份进行补偿，不足部分以现金补偿。当期应补偿股份数量=当期应补偿金额÷本次发行股份购买资产的发行价格。
若根据上述公式计算的应补偿股份数量非为整数，则应向下取整；因向下取整导致实际补偿金额不足当期应补偿金额的，由业绩承诺人以现金补偿。
若上市公司在业绩承诺期内实施送股、资本公积金转增股本、配股等事项，则补偿股份数量相应调整：按前述公式计算的应补偿股份数量×（1+送股或转增比例）。
若上市公司在业绩承诺期内实施现金分红，业绩承诺人对应补偿股份数量在补偿前所获得的现金分红部分，应返还给上市公司。返还金额的计算公式为：应返还金额=每股已分配现金股利（以税后金额为准）×当期应补偿股份数量。
上市公司应以总价款人民币1元的价格对业绩承诺人合计应补偿股份予以回购并注销。
如作出股份补偿时因本次交易而获得的股份不足以按照上述约定进行补偿的，业绩承诺人另需用现金再进行补偿，计算公式如下：当期现金补偿金额=当期应补偿金额-业绩承诺人当期已补偿股份数量×本次发行价格
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3）各方确认，各方应分别依照相关法律的规定缴纳各自因履行本协议项下义务所应缴纳的税金。
（二）募集配套资金的具体方案
1、发行股份的种类、面值及上市地点
本次募集配套资金拟发行股份的种类为人民币 A股普通股，每股面值为 1.00元，上市地点为上交所。
2、定价基准日及发行价格
本次募集配套资金发行股份的定价基准日为向特定对象发行股份的发行期首日，发行价格不低于定价基准日前20个交易日上市公司股票均价的80%。
最终发行价格将在本次交易经上交所审核通过并经中国证监会同意注册后，由上市公司董事会根据股东会的授权，按照相关法律、行政法规及规范性文件的规定，依据发行对象申报报价情况，与本次交易的独立财务顾问（主承销商）协商确定。
在定价基准日至发行日期间，若上市公司发生派息、送股、转增股本、配股等除权、除息事项，则本次募集配套资金的股份发行价格将根据中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
3、发行对象、金额及数量
上市公司拟向不超过35名符合条件的特定对象发行股份募集配套资金，募集配套资金总额不超过150000.00万元，不超过本次拟以发行股份方式购买资产的交易价格的
100%，发行股份数量不超过本次发行股份及支付现金购买资产后上市公司总股本的
30%。
本次募集配套资金发行股份数量=本次募集配套资金总额÷本次募集配套资金的股份发行价格。若发行数量计算结果不足一股，则尾数舍去取整。最终发行股份数量及价格将由公司董事会在取得上交所审核通过并经中国证监会同意注册的募集配套资金方案基础上根据实际情况确定。
在定价基准日至发行日期间，若上市公司发生派息、送股、转增股本、配股等除权、
53中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
除息事项，则本次募集配套资金的股份发行数量将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
4、募集配套资金用途
本次募集配套资金拟用于标的公司募投项目建设、支付现金对价及中介机构费用、补充流动资金。其中，用于补充流动资金的比例不超过拟购买资产交易价格的25%或不超过募集配套资金总额的50%。本次募集资金具体用途如下：
单位：万元序号项目名称拟投入募集资金金额占募集配套资金比例
1高端半导体设备产业化项目38338.8925.56%
2高端半导体设备研发中心项目34702.5723.14%
3支付现金对价及中介机构费用6958.534.64%
4补充流动资金70000.0046.67%
合计150000.00100.00%
在本次配套募集资金到位之前，上市公司若根据实际情况自筹资金先行支出，在配套募集资金到位后，将使用配套募集资金置换已支出的自筹资金。
5、锁定期安排
本次募集配套资金的发行对象所认购的上市公司的股份自发行结束之日起6个月内不得转让。本次发行结束后，发行对象通过本次发行取得的上市公司股份因上市公司送股、转增股本或配股等原因增加的，亦应遵守上述约定。前述锁定期与适用法律或证券监管机构的最新监管意见不相符的，将根据适用法律或相关证券监管机构的最新监管意见进行相应调整。在上述锁定期限届满后，其相关股份转让和交易依照届时有效的法律和上交所的规则办理。
四、本次交易的性质
（一）本次交易不构成重大资产重组
本次交易中上市公司拟购买杭州众硅64.69%股权。根据上市公司、杭州众硅经审计的2025年度财务数据以及本次交易作价情况，相关财务比例计算如下：
单位：万元
54中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
资产总额与交易额资产净额与交易额项目营业收入孰高孰高
收购杭州众硅10.21%股权23534.8823534.88-
本次交易157604.91157604.9124411.88
累计金额181139.79181139.7924411.88项目资产总额资产净额营业收入上市公司交易前一年（20252984601.902272884.051238463.83年）财务数据
占比6.07%7.97%1.97%
注：累计计算本次交易前十二个月内，曾发生购买同一资产的情况。
根据上述计算结果，本次交易资产总额、资产净额、营业收入指标均未超过50%，按照《重组管理办法》第12条的规定，本次交易不构成重大资产重组。
（二）本次交易不构成关联交易本次交易的交易对方在本次交易前与上市公司之间不存在关联关系。本次交易完成后，无单一交易对方或同一控制下交易对方合计持有上市公司股份超过5%。因此，根据《股票上市规则》相关规定，本次交易不构成关联交易。
（三）本次交易不构成重组上市
本次交易前36个月内，上市公司实际控制人未发生变更。本次交易前后，上市公司均不存在控股股东和实际控制人，本次交易不会导致上市公司控制权变更。根据《重组管理办法》的相关规定，本次交易不构成重组上市。
五、本次交易对上市公司的影响
本次交易对上市公司的影响详见本报告书“重大事项提示”之“二、本次交易对上市公司的影响”。
六、本次交易实施需履行的批准程序
本次交易已履行和尚需履行的审批程序情况详见本报告书“重大事项提示”之“三、本次交易已履行及尚需履行的程序”。
七、本次交易相关方所做出的重要承诺
55中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（一）上市公司及其持股5%以上股东、全体董事及高级管理人员作出的重要承诺
1、上市公司
承诺类型承诺内容
1.本公司向参与本次交易的各证券服务机构所提供的资料均为真实、原始的
书面资料或副本资料，该等资料副本或复印件与其原始资料或原件一致，是准确和完整的，所有文件的印章、签名均是真实的，相关文件的签署人业经合法授权并有效签署文件，并无任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏；
如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给投资者造成损失的，本公司将依法承担个别及连带的法律责任。2.本公司保证为本次交易所提供的信息、所出具的说明及确认均为真实、准确和完整的，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其虚假记载、误导性陈述或者重关于所提供资料真大遗漏承担个别及连带的法律责任。根据本次交易的进程，本公司将依照法实性、准确性和完整律、法规、规章、中国证监会和上交所的有关规定，及时提供相关信息和文性的承诺函件，并保证继续提供的信息和文件仍然符合真实、准确、完整、有效的要求。
3.本公司保证已履行了法定的披露和报告义务，不存在应当披露而未披露的
合同、协议、安排或其他事项。4.本公司保证本次交易的各证券服务机构在申请文件中引用的由本公司所出具的文件及引用文件的相关内容已经本公司审阅，确认本次交易的申请文件不致因引用上述内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏的情形。5.根据本次交易的进程，本公司将依照法律、法规、规章、中国证券监督管理委员会和上海证券交易所的有关规定，及时提供相关信息和文件，并保证继续提供的信息和文件仍然符合真实、准确、完整、有效的要求。本公司若违反上述承诺，将依法承担法律责任。
1、截至本承诺函签署日，本公司及本公司控制的企业不存在依据《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二
条或《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》第
三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即本公司及本公司关于不存在不得参控制的企业不存在因涉嫌与本次交易相关的内幕交易被立案调查或者立案侦
与任何上市公司重查的情形，最近36个月内不存在因与本次交易相关的内幕交易被中国证券监大资产重组情形的督管理委员会作出行政处罚或者司法机关依法追究刑事责任的情形。2、截至承诺函本承诺函签署日，本公司及本公司控制的企业不存在违规泄露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交易的情形。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
1、本公司及本公司控制的企业不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉
嫌违法违规正被中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）立案关于无违法违规行
调查的情形；最近三年内，本公司及本公司控制的企业不存在受到行政处罚为及诚信情况的承（与证券市场明显无关的除外）、刑事处罚的情形，也不存在因违反证券法诺函
律、行政法规、规章受到中国证监会的行政处罚的情形；不存在严重损害投
资者合法权益和社会公共利益的重大违法行为。2、最近三年内，本公司诚信
56中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺类型承诺内容
情况良好，不存在重大失信情况，不存在未按期偿还大额债务、未履行承诺等情况；最近十二个月内，不存在严重损害投资者的合法权益和社会公共利益及受到证券交易所公开谴责或其他重大失信行为等情况。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
1、上市公司高度重视保密问题，自各方进行初步磋商时，立即采取了必要的保密措施。上市公司采取了必要且充分的保密措施，严格控制参与本次交易人员范围，尽可能地缩小知悉本次交易相关敏感信息的人员范围。2、本次交易的证券服务中介机构与上市公司签订了保密协议，上市公司与交易对方在签订的交易协议中约定了相应的保密条款，明确了各方的保密责任与义务并限定了本次交易相关敏感信息的知悉范围。3、上市公司严格按照《上市公司重大资产重组管理办法》《上市公司信息披露管理办法》等法律、法规及规
关于本次交易采取范性文件的要求，遵循《公司章程》及内部管理制度的规定，就本次交易采的保密措施及保密取了充分必要的保护措施，制定了严格有效的保密制度。4、上市公司严格按制度的说明照《上市公司监管指引第5号——上市公司内幕信息知情人登记管理制度》
等相关规定，登记内幕信息知情人信息，并依据本次交易的实际进展，制作内幕信息知情人登记表及重大事项进程备忘录。5、上市公司多次提示相关内幕信息知情人履行保密义务和责任，在内幕信息依法披露前，不得公开或泄露该信息，不得利用内幕信息买卖或建议他人买卖上市公司股票。综上，上市公司已根据相关法律、法规及规范性法律文件的规定，制定了严格有效的保密制度，采取了必要且充分的保密措施，限定相关敏感信息的知悉范围，及时签订了保密协议，严格地履行了本次交易信息在依法披露前的保密义务。
本公司不存在《上市公司证券发行注册管理办法》第十一条规定的不得向特
定对象发行股票的以下情形：1、擅自改变前次募集资金用途未作纠正，或者未经股东会认可。2、最近一年财务报表的编制和披露在重大方面不符合企业会计准则或者相关信息披露规则的规定；最近一年财务会计报告被出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；最近一年财务会计报告被出具保留意见
的审计报告，且保留意见所涉及事项对上市公司的重大不利影响尚未消除。
关于符合向特定对本次发行涉及重大资产重组的除外。3、现任董事、高级管理人员最近三年受象发行股票条件的到中国证监会行政处罚，或者最近一年受到证券交易所公开谴责。4、上市公承诺司或者其现任董事、高级管理人员因涉嫌犯罪正在被司法机关立案侦查或者
涉嫌违法违规正在被中国证监会立案调查。5、控股股东、实际控制人最近三年存在严重损害上市公司利益或者投资者合法权益的重大违法行为。6、最近三年存在严重损害投资者合法权益或者社会公共利益的重大违法行为。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
（一）遵守发行上市审核有关沟通、接待接触、回避等相关规定，不私下与
审核人员、监管人员以及上海证券交易所上市审核委员会（以下简称上市委）关于保证不影响和
委员、并购重组审核委员会（以下简称重组委）委员、科技创新咨询委员会干扰审核的承诺函（以下简称咨询委）委员进行可能影响公正执行公务的接触；认为可能存在
利益冲突的关系或者情形时，及时按相关规定和流程提出回避申请。
57中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺类型承诺内容
（二）不组织、指使或者参与以下列方式向审核人员、监管人员、上海证券
交易所上市委委员、重组委委员、咨询委委员或者其他利益关系人输送不正
当利益：
1、以各种名义赠送或者提供资金、礼品、房产、汽车、有价证券、股权等财物，或者为上述行为提供代持等便利；
2、提供旅游、宴请、娱乐健身、工作安排等利益，或者提供就业、就医、入
学、承担差旅费等便利；
3、安排显著偏离公允价格的结构化、高收益、保本理财产品等交易；
4、直接或者间接提供内幕信息、未公开信息、商业秘密和客户信息，明示或
者暗示从事相关交易活动；
5、其他输送不正当利益的情形。
（三）不组织、指使或者参与打探审核未公开信息，不请托说情、干扰审核工作。
（四）遵守法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关保密的规定，不泄
露审核过程中知悉的内幕信息、未公开信息、商业秘密和国家秘密，不利用上述信息直接或者间接为本人或者他人谋取不正当利益。
如违反上述承诺，承诺人自愿接受上海证券交易所依据其业务规则采取的终止审核、一定期限内不接受申请文件、公开认定不适合担任相关职务等措施。
承诺人相关行为违反法律法规的，将承担相应法律责任。
2、上市公司董事及高级管理人员
承诺人承诺类型承诺内容
1.本人已向上市公司（包括其聘请的中介机构，下同）提供的与本次
交易相关的资料均为真实、准确、完整的原始书面资料或副本资料及信息，副本资料或者复印件与其原始资料或原件一致；所有文件的签字与印章皆为真实的，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对所提供信息的真实性、准确性和完整性承担法律责任；如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，本人将依法承担个别及连带的法律责任。2.本人保证为本次交易所提供的信息、所出具的说明及确认均为真实、关于所提供
准确和完整的，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并全体上市公资料真实性、
对其虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏承担个别及连带的法律责司董事及高准确性和完任。根据本次交易的进程，本人将依照法律、法规、规章、中国证监级管理人员整性的承诺
会和上交所的有关规定，及时提供相关信息和文件，并保证继续提供函
的信息和文件仍然符合真实、准确、完整、有效的要求。3.本人保证已履行了法定的披露和报告义务，不存在应当披露而未披露的合同、协议、安排或其他事项。4.本人保证本次交易的各证券服务机构在申请文件中引用的由本人所出具的文件及引用文件的相关内容已经本人审阅，确认本次交易的申请文件不致因引用上述内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏的情形。5.如本次交易因涉嫌所提供或者披露的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被中国证券监督管理委员会立案调查的，在案件调查结论
58中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
明确之前，本人将暂停转让本人在上市公司直接或间接拥有权益的股份（如持有，下同），并于收到立案稽查通知的两个交易日内将暂停转让的书面申请和股票账户提交上市公司董事会，由董事会代本人向证券交易所和证券登记结算机构申请锁定；未在两个交易日内提交锁
定申请的，授权董事会核实后直接向证券交易所和证券登记结算机构报送本人的身份信息和账户信息并申请锁定；董事会未向证券交易所
和证券登记结算机构报送本人的身份信息和账户信息的，授权证券交易所和证券登记结算机构直接锁定相关股份。如调查结论发现存在违法违规情节，本人承诺锁定股份自愿用于相关投资者赔偿安排。本人若违反上述承诺，将依法承担法律责任。
1、截至本承诺函签署日，本人不存在依据《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条规定或《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重关于不存在组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即本不得参与任人不存在因涉嫌与本次交易相关的内幕交易被立案调查或者立案侦
何上市公司查的情形，最近36个月内不存在因与本次交易相关的内幕交易被中重大资产重国证券监督管理委员会作出行政处罚或者司法机关依法追究刑事责
组情形的承任的情形。2、截至本承诺函签署日，本人不存在违规泄露本次交易诺函的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交易的情形。本人在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人违反上述承诺，本人将依法承担相应的法律责任。
1、本人不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉嫌违法违规正
被中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）立案调查的情形；最近三年内，本人不存在受到行政处罚（与证券市场明显无关的除外）、刑事处罚的情形，也不存在因违反证券法律、行政法规、关于无违法规章受到中国证监会的行政处罚的情形；不存在严重损害投资者合法
违规行为的权益和社会公共利益的重大违法行为。2、最近三年内，本人诚信情声明与承诺况良好，不存在重大失信情况，不存在未按期偿还大额债务、未履行函承诺等情况；最近十二个月内，不存在严重损害投资者的合法权益和社会公共利益及受到证券交易所公开谴责或其他重大失信行为等情况。本人在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人违反上述承诺，本人将依法承担相应的法律责任。
1、本人承诺不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，
也不采用其他方式损害上市公司利益；2、本人承诺对本人的职务消
关于本次重费行为进行约束；3、本人承诺不动用上市公司资产从事与其履行职
组摊薄即期责无关的投资、消费活动；4、本人承诺全力促使由董事会或薪酬委回报及填补员会制定的薪酬制度与上市公司填补即期回报措施的执行情况相挂
回报措施的钩；5、若上市公司未来实施股权激励，本人承诺全力促使拟公布的承诺函上市公司股权激励的行权条件与上市公司填补即期回报措施的执行
情况相挂钩；6、自本承诺函出具之日至上市公司本次交易实施完毕前，若中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）等证券
59中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容监管机构作出关于填补即期回报措施及其承诺的其他新的监管规定的，且上述承诺相关内容不能满足中国证监会等证券监管机构的该等规定时，本人承诺届时将按照适用于本人的证券监管机构的最新规定出具相应补充承诺。本人承诺切实履行上市公司制定的有关填补即期回报措施以及本人对此作出的任何有关填补即期回报措施的承诺。
（一）遵守发行上市审核有关沟通、接待接触、回避等相关规定，不私下与审核人员、监管人员以及上海证券交易所上市审核委员会（以下简称上市委）委员、并购重组审核委员会（以下简称重组委）委员、
科技创新咨询委员会（以下简称咨询委）委员进行可能影响公正执行
公务的接触；认为可能存在利益冲突的关系或者情形时，及时按相关规定和流程提出回避申请。
（二）不组织、指使或者参与以下列方式向审核人员、监管人员、上
海证券交易所上市委委员、重组委委员、咨询委委员或者其他利益关
系人输送不正当利益：
1、以各种名义赠送或者提供资金、礼品、房产、汽车、有价证券、股权等财物，或者为上述行为提供代持等便利；
关于保证不2、提供旅游、宴请、娱乐健身、工作安排等利益，或者提供就业、影响和干扰就医、入学、承担差旅费等便利；
审核的承诺3、安排显著偏离公允价格的结构化、高收益、保本理财产品等交易；
函4、直接或者间接提供内幕信息、未公开信息、商业秘密和客户信息，明示或者暗示从事相关交易活动；
5、其他输送不正当利益的情形。
（三）不组织、指使或者参与打探审核未公开信息，不请托说情、干扰审核工作。
（四）遵守法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关保密的规定，不泄露审核过程中知悉的内幕信息、未公开信息、商业秘密和国家秘密，不利用上述信息直接或者间接为本人或者他人谋取不正当利益。
如违反上述承诺，承诺人自愿接受上海证券交易所依据其业务规则采取的终止审核、一定期限内不接受申请文件、公开认定不适合担任相关职务等措施。承诺人相关行为违反法律法规的，将承担相应法律责任。
中微公司曾于2026年1月9日披露了本人的减持计划，该减持计划已于2026年2月12日公告终止。除上述减持事项外，截至本承诺函出具之日，本人暂无其他股份减持计划。本人承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本人根据自身实际需要或市场变化拟进行减持的，本人将严格按照法律法规及中国证券监督管理委员关于减持计会、上海证券交易所之相关规定及要求执行，并依法及时履行所需的尹志尧划的承诺函信息披露义务。
本人确认上述承诺系真实、自愿作出，本人对声明与承诺内容不存在任何重大误解，并愿意为上述内容的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如上述内容存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的情形，或者本人违反上述内容的，本人将依法承担相应的法律责任。
60中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
截至本承诺函出具之日，本人暂无减持中微公司股份的计划。本人承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本人根据自身实际需要或市场变化拟进行减持的，本人将严格执行相关法律法规及上市公司董中国证券监督管理委员会、上海证券交易所关于股份减持的规定及要
事及高级管关于减持计求，并依法及时履行所需的信息披露义务。
理人员（除尹划的承诺函本人确认上述承诺系真实、自愿作出，本人对声明与承诺内容不存在志尧以外）任何重大误解，并愿意为上述内容的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如上述内容存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的情形，或者本人违反上述内容的，本人将依法承担相应的法律责任。
3、上市公司持股5%以上股东
承诺人承诺类型承诺内容
1.本公司向参与本次交易的各证券服务机构所提供的资料均为真实、原始的书面资料或副本资料，该等资料副本或复印件与其原始资料或原件一致，是准确和完整的，所有文件的印章、签名均是真实的，相关文件的签署人业经合法授权并有效签署文件，并无任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏；如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈
述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，本公司将依法承担个别及连带的法律责任。2.本公司保证为本次交易所出具的说明及确认均为真实、准确和完整的，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏承担个别及连带的法律责任。3.本公司保证已履行了法定的披露和报告义务，不存在应当披露而未披露的合同、协议、安排或其他事项。4.根据本次交易的进程，本公司将依照法律、法规、规章、中国证券监督管理关于所提供委员会和上海证券交易所的有关规定，及时提供相关信息和文件，并资料真实性、保证继续提供的信息和文件仍然符合真实、准确、完整、有效的要求。
上海创投准确性和完5.如本次交易因本公司涉嫌所提供或披露的信息存在虚假记载、误导
整性的承诺性陈述或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被中国证券监督管理函委员会立案调查的，在案件调查结论明确以前，本公司不转让在上市公司拥有权益的股份，并于收到立案稽查通知的两个交易日内将暂停转让的书面申请和股票账户提交上市公司董事会，由董事会代本公司向证券交易所和登记结算公司申请锁定；如本公司未在两个交易日内
提交锁定申请，授权董事会核实后直接向证券交易所和登记结算公司报送本公司的身份信息和账户信息并申请锁定；董事会未向证券交易
所和登记结算公司报送本公司的身份信息和账户信息的，授权证券交易所和登记结算公司直接锁定相关股份。如调查结论发现存在违法违规情节，本公司承诺锁定股份自愿用于相关投资者赔偿安排。6.本公司保证在参与本次交易期间将依照相关法律、法规、规章、中国证监
会和上海证券交易所的有关规定，及时向上市公司披露有关本次交易的信息，并保证该等信息的真实性、准确性和完整性。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，
61中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
本公司以及本公司董事、监事、高级管理人员、本公司控股股东（如有）、本公司实际控制人（如有）及前述主体控制的机构（如有），关于不存在均不存在因涉嫌本次重大资产重组相关的内幕交易被立案调查或者
不得参与任立案侦查的情形，均不存在受到中国证监会的行政处罚或者被司法机何上市公司关依法追究刑事责任的情形，均不存在《上市公司监管指引第7号—上海创投重大资产重—上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条规定的不组情形的承得参与任何上市公司重大资产重组情形。本公司在承诺函中所述情况诺函均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
1、本公司及本公司控制的企业不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉嫌违法违规正被中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）立案调查的情形；最近三年内，本公司及本公司控制的企业不存在受到行政处罚（与证券市场明显无关的除外）、刑事处罚的情形，也不存在因违反证券法律、行政法规、规章受到中国证监会的关于无违法行政处罚的情形；不存在严重损害投资者合法权益和社会公共利益的违规行为及
上海创投重大违法行为。2、最近三年内，本公司诚信情况良好，不存在重大诚信情况的
失信情况，不存在未按期偿还大额债务、未履行承诺等情况；最近十承诺函
二个月内，不存在严重损害投资者的合法权益和社会公共利益及受到证券交易所公开谴责或其他重大失信行为等情况。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
（一）遵守发行上市审核有关沟通、接待接触、回避等相关规定，不私下与审核人员、监管人员以及上海证券交易所上市审核委员会（以下简称上市委）委员、并购重组审核委员会（以下简称重组委）委员、
科技创新咨询委员会（以下简称咨询委）委员进行可能影响公正执行
公务的接触；认为可能存在利益冲突的关系或者情形时，及时按相关规定和流程提出回避申请。
（二）不组织、指使或者参与以下列方式向审核人员、监管人员、上
关于保证不海证券交易所上市委委员、重组委委员、咨询委委员或者其他利益关
上海创投、巽影响和干扰系人输送不正当利益：
鑫投资审核的承诺1、以各种名义赠送或者提供资金、礼品、房产、汽车、有价证券、
函股权等财物，或者为上述行为提供代持等便利；
2、提供旅游、宴请、娱乐健身、工作安排等利益，或者提供就业、就医、入学、承担差旅费等便利；
3、安排显著偏离公允价格的结构化、高收益、保本理财产品等交易；
4、直接或者间接提供内幕信息、未公开信息、商业秘密和客户信息，
明示或者暗示从事相关交易活动；
5、其他输送不正当利益的情形。
（三）不组织、指使或者参与打探审核未公开信息，不请托说情、干
62中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容扰审核工作。
（四）遵守法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关保密的规定，不泄露审核过程中知悉的内幕信息、未公开信息、商业秘密和国家秘密，不利用上述信息直接或者间接为本人或者他人谋取不正当利益。
如违反上述承诺，承诺人自愿接受上海证券交易所依据其业务规则采取的终止审核、一定期限内不接受申请文件、公开认定不适合担任相关职务等措施。承诺人相关行为违反法律法规的，将承担相应法律责任。
截至本承诺函签署之日，本公司减持计划已于2026年1月21日实施完毕，具体减持情况以中微公司信息披露为准。除了已披露减持计划外，本公司暂无其他新增减持计划。本公司承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本公司进行减持的，本公司将严格按关于减持计
上海创投照法律法规及中国证券监督管理委员会、上海证券交易所之相关规定划的承诺函操作，并将严格执行相关法律法规关于股份减持的规定及要求。
本公司在本承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
截至本承诺函签署之日，本公司存在减持计划，具体减持计划以中微公司信息披露为准。除了已披露减持计划外，本公司暂无其他新增减持计划。本公司承诺自本承诺函出具之日起至本次交易实施完毕期间，如本公司进行减持的，本公司将严格按照法律法规及中国证券监关于减持计
巽鑫投资督管理委员会、上海证券交易所之相关规定操作，并将严格执行相关划的承诺函法律法规关于股份减持的规定及要求。
本公司在本承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
一、关于不存在泄露本次交易内幕信息或进行内幕交易的承诺1.本公司不存在依据《上市公司监管指引第7号--上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条或《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组（2025年修订）》第三十条
规定的不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即本公司不存在因涉嫌与本次交易相关的内幕交易被立案调查或者立案侦查的情形，最关于不泄露近36个月内不存在因与重大资产重组相关的内幕交易被中国证券监内幕信息及督管理委员会作出行政处罚或者司法机关依法追究刑事责任的情形。
上海创投、巽本次交易采
2.本公司不存在违规泄露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内
鑫投资取的保密措幕信息进行内幕交易的情形。
施及保密制
二、关于本次交易采取的保密措施及保密制度的承诺度的承诺
1.本公司采取了必要且充分的保密措施，严格控制参与本次交易人员范围，尽可能地缩小知悉本次交易相关敏感信息的人员范围。2.本公司已多次、充分告知提示内幕信息知情人员履行保密义务和责任，在内幕信息依法披露之前，不得公开或者泄露信息，不得利用内幕信息买卖或者建议他人买卖上市公司证券。3.本公司严格按照上市公司内幕信息知情人登记备案制度的相关要求向上市公司提供内幕信息知
63中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容情人相关信息。
本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本公司违反上述承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
一、截至本承诺函出具之日，本公司及本公司控制的其他企业的主营
业务与上市公司之间不存在构成重大不利影响的同业竞争。二、在作
为中微公司的第一大股东期间，本公司将采取积极措施避免从事与上市公司主营业务构成同业竞争的业务，并努力促使本公司控制的其他企业（上市公司及其下属控股子公司除外）避免从事与上市公司主营
业务构成重大不利影响的同业竞争的业务。三、在作为中微公司的第
关于避免同一大股东期间，如本公司及本公司控制的其他企业获得从事新业务的上海创投业竞争的承机会，且该等业务与上市公司主营业务构成同业竞争时，本公司将在诺函条件允许的前提下，尽最大努力促使该业务机会按照合理和公平的条款和条件让与上市公司。四、在持有上市公司股份期间，本公司承诺
不利用大股东地位损害上市公司及上市公司其他股东的利益。五、本
承诺函自签署日起生效，至以下情形发生时终止（以较早为准）：（1）本公司不再作为上市公司的主要股东；（2）上市公司股票终止在上海证券交易所上市。若本公司未能履行上述承诺并给上市公司或投资者造成损失的，本公司愿意依法承担相应的法律责任。
1.本次交易完成后，在不对上市公司及其他股东的合法利益构成不利
影响的前提下，本公司将根据相关法律、法规和规范性文件的规定，保证自身并将促使本公司控制的企业规范并尽量减少与上市公司及
其下属子公司之间的关联交易。2.对于本公司及本公司控制的企业与关于减少及
上市公司之间无法避免或者确有合理原因而发生的关联交易，本公司规范与上市上海创投将基于公平公正公开等关联交易基本原则与上市公司依法签订规范公司关联交
的交易协议，并按照有关法律、法规、规范性文件和上市公司章程及易的承诺函
相关内控制度的规定，履行或配合上市公司履行审议批准程序和回避表决及信息披露义务，保证不利用关联交易损害上市公司及其他股东的利益。若本公司未能履行上述承诺并给上市公司或投资者造成损失的，本公司愿意依法承担相应的法律责任。
1、本次交易前，上市公司已按照《公司法》《证券法》和中国证券
监督管理委员会的有关要求，建立了完善的法人治理结构和独立运营的公司管理体制，本公司保证上市公司在业务、资产、机构、人员和财务等方面与本公司及本公司控制的其他企业之间保持独立，上市公司在业务、资产、机构、人员和财务等方面具备独立性。2、本次交关于保证上易完成后，本公司及本公司控制的其他企业不会利用上市公司主要股上海创投市公司独立东身份影响上市公司独立性和合法利益，切实保障上市公司在人员、性的承诺函资产、业务、机构和财务等方面的独立性，并严格遵守中国证券监督管理委员会关于上市公司独立性的相关规定，不违规利用上市公司为本公司或本公司控制的企业提供担保，不违规占用上市公司资金、资产，保持并维护上市公司的独立性，维护上市公司其他股东的合法权益。3、本次交易不会对上市公司法人治理结构带来不利影响。本次交易完成后，本公司将积极协助上市公司进一步加强和完善上市公司
64中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容的治理结构。若本公司未能履行上述承诺并给上市公司或投资者造成损失的，本公司愿意依法承担相应的法律责任。
1.本公司不越权干预上市公司经营管理活动，不侵占上市公司利益；
2.本公司切实履行上市公司制定的有关填补回报措施以及本承诺，若
违反本承诺或拒不履行本承诺给上市公司或者投资者造成损失的本
关于本次重公司同意根据法律、法规及证券监管机构的有关规定承担相应法律责
组摊薄即期任；3.自本承诺出具日至上市公司本次重组实施完毕前，若中国证监上海创投回报及填补会或证券交易所作出关于填补回报措施及其承诺的其他新的监管规
回报措施的定的，且上述承诺不能满足中国证监会或证券交易所该等规定时本公承诺函司承诺届时将按照中国证监会或证券交易所的最新规定出具补充承诺。本公司在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。
如本公司违反上述承诺本公司将依法承担相应的法律责任。
（二）交易对方作出的重要承诺承诺人承诺类型承诺内容
1、本人/本企业保证本人/本企业向上市公司及参与本次交易的各中介
机构所提供的资料和信息均为真实、准确、完整的原始资料或副本资料，该等资料副本或复印件与其原始资料或原件一致，是准确和完整的，所有文件的签名、印章均是真实的，并无任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，本人/本企业将依法承担赔偿责任。2、根据本次交易的进程，需要本人/本企业继续提供相关资料和信息时，本人/本企业将依照相关法律、法规、规章、中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）和上海证券交易
所的有关规定，及时提供和披露有关本次交易的资料和信息，并保证关于所提所提供的资料和信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈供资料真述或者重大遗漏。3、本人/本企业保证本次交易的信息披露和申请文实性、准件中本人/本企业提供的文件不存在虚假记载、误导性陈述或者重大全体交易对方确性和完遗漏。如本次交易所披露或提供的信息因涉嫌虚假记载、误导性陈述整性的承或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被中国证监会立案调查的，诺函在案件调查结论明确之前，本人/本企业不转让本人/本企业在上市公司拥有权益的股份，并于收到立案稽查通知的两个交易日内将暂停转让的书面申请和股票账户提交上市公司董事会，由董事会代本人/本企业向证券交易所和证券登记结算机构申请锁定；未在两个交易日内
提交锁定申请的，授权董事会核实后直接向证券交易所和证券登记结算机构报送本人/本企业的账户信息并申请锁定；董事会未向证券交
易所和证券登记结算机构报送本人/本企业账户信息的，授权证券交易所和证券登记结算机构直接锁定相关股份。如调查结论发现存在违法违规情节，本人/本企业承诺锁定股份自愿用于相关投资者赔偿安排。本人/本企业确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完
65中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
1.本企业是依法设立且合法有效存续的有限合伙企业或股份有限公
杭州众芯硅、台
司或有限责任公司。本企业不存在根据法律、法规或根据合伙协议或州金石投资、宁
其他组织性文件的约定需要终止或解散的情形，具备作为本次交易的容海川、扬州朗交易对方的资格。2.截至本承诺函签署日，本企业已依照《杭州众硅智、国孚领航、电子科技有限公司章程》的规定履行了出资义务，出资价款均系自有杭州富浙、浙江资金，出资价款真实且已足额到位，不存在任何虚假出资、延迟出资、富浙、临安众芯
抽逃出资等违反作为股东所应承担的义务及责任的行为，不存在可能硅、深圳达晨、
影响标的公司合法存续的情况。本企业作为标的公司的股东，合法持临安众硅、杭州
有标的公司股权。3.本企业对所持标的公司的股权拥有合法的、完整达晨、杭州芯匠、
的所有权或处分权。该等股权权属清晰，不存在任何形式的委托持股、安徽丰禾、宁波
信托安排、收益权安排、期权安排、股权代持或者其他任何代表其他
蓝郡、小满投资、
方的利益的情形，且该等股权未设定任何抵押、质押等他项权利，不宁波领芯、长兴
关于所持存在禁止转让、限制转让的其他权益安排，亦不存在被司法部门实施青鸟、青岛东证、
标的公司扣押、查封、冻结等使其权利受到限制的任何约束或者妨碍权属转移
石溪投资、江苏
股权权属的其他情况。4.本企业对所持标的公司的股权资产权属清晰，不存在毅达、朗玛六十
的承诺函任何形式的权属纠纷或潜在纠纷的情形，该等股权的过户或者转移不三号、杭州众诚
存在内部决策障碍或实质性法律障碍。同时，本企业保证此种状况持芯、江苏中小基
续至该股权登记至上市公司名下。5.在本次发行股份及支付现金购买金、杭州北峰、
资产实施完毕之前，本企业保证不就本企业所持标的公司的股权设置温润贰号、中信
抵押、质押等任何第三人权利。6.本企业保证本企业签署的所有协议投资、江苏疌泉、
或合同不存在阻碍本企业转让所持标的公司股权的限制性条款。7.朗玛五十九号、
本企业确认，本企业签署的标的公司章程、内部管理制度文件及与公毅达鼎祺、朗玛
司相关的合同或协议中，以及本企业签署的标的公司股东之间签订的六十号、嘉兴邦
合同、协议或其他文件中，不存在阻碍本企业转让所持标的公司股权拓、毅达太湖、的限制性条款。本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假宁波毅达、达晨
记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担财智、温润安享、法律责任。如本企业违反上述承诺，本企业将依法承担相应的法律责杰正投资任。
1.本人是具有完全民事行为能力的自然人，具备作为本次交易的交易对方的资格。2.截至本承诺函签署日，本人已依照《杭州众硅电子科技有限公司章程》的规定履行了出资义务，出资价款均系自有资金，出资价款真实且已足额到位，不存在任何虚假出资、延迟出资、抽逃出资等违反作为股东所应承担的义务及责任的行为，不存在可能影响关于所持
蔡刚波、王敏文、标的公司合法存续的情况。本人作为标的公司的股东，合法持有标的标的公司
张久海、朱力昂、公司股权。3.本人对所持标的公司的股权拥有合法的、完整的所有权股权权属朱琳或处分权。该等股权权属清晰，不存在任何形式的委托持股、信托安的承诺函
排、收益权安排、期权安排、股权代持或者其他任何代表其他方的利
益的情形，且该等股权未设定任何抵押、质押等他项权利，不存在禁止转让、限制转让的其他权益安排，亦不存在被司法部门实施扣押、查封、冻结等使其权利受到限制的任何约束或者妨碍权属转移的其他情况。4.本人对所持标的公司的股权资产权属清晰，不存在任何形式
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承诺人承诺类型承诺内容
的权属纠纷或潜在纠纷的情形，该等股权的过户或者转移不存在内部决策障碍或实质性法律障碍。同时，本人保证此种状况持续至该股权登记至上市公司名下。5.在本次发行股份及支付现金购买资产实施完毕之前，本人保证不就本人所持标的公司的股权设置抵押、质押等任
何第三人权利。6.本人保证本人签署的所有协议或合同不存在阻碍本
人转让所持标的公司股权的限制性条款。7.本人确认，本人签署的标的公司章程、内部管理制度文件及与公司相关的合同及其签署的合同
或协议中，以及本人签署的标的公司股东之间签订的合同、协议或其他文件中，不存在阻碍本人转让所持标的公司股权的限制性条款。本人在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人违反上述承诺，本人将依法承担相应的法律责任。
杭州众芯硅、台
州金石投资、宁
容海川、扬州朗
智、国孚领航、
杭州富浙、浙江
富浙、临安众芯本企业以及本企业的董事（如有）、监事（如有）、高级管理人员（如硅、深圳达晨、有）及其他主要管理人员（如有）、能够控制本企业的合伙人或股东
临安众硅、杭州（如有）、本企业的实际控制人（如有）及前述主体控制的机构（如达晨、杭州芯匠、有），均不存在《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重安徽丰禾、宁波组相关股票异常交易监管》第十二条规定及《上海证券交易所上市公蓝郡、小满投资、关于不存司自律监管指引第6号——重大资产重组》第三十条规定的不得参与
宁波领芯、长兴在不得参任何上市公司重大资产重组情形，即不存在因涉嫌与本次交易相关的青鸟、青岛东证、与任何上内幕交易被立案调查或者立案侦查的情形，最近36个月内不存在因石溪投资、江苏市公司重与本次交易相关的内幕交易被中国证券监督管理委员会作出行政处
毅达、朗玛六十大资产重罚或者司法机关依法追究刑事责任的情形。本企业以及本企业的董事三号、杭州众诚组情形的（如有）、监事（如有）、高级管理人员（如有）及其他主要管理人
芯、江苏中小基承诺函员（如有）、能够控制本企业的合伙人或股东（如有）、本企业的实
金、杭州北峰、际控制人（如有）及前述主体控制的机构（如有），均不存在违规泄温润贰号、中信露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交易的
投资、江苏疌泉、情形，并保证采取必要措施对本次交易事宜所涉及的资料和信息严格朗玛五十九号、保密。如因本企业违反上述承诺而给上市公司或投资者造成损失的，毅达鼎祺、朗玛本企业将依法承担相应法律责任。
六十号、嘉兴邦
拓、毅达太湖、
宁波毅达、达晨
财智、温润安享、杰正投资关于不存本人以及本人控制的主体（如有），均不存在《上市公司监管指引第蔡刚波、王敏文、在不得参7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条规
张久海、朱力昂、与任何上定及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重朱琳市公司重组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即不
67中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容大资产重存在因涉嫌与本次交易相关的内幕交易被立案调查或者立案侦查的
组情形的情形，最近36个月内不存在因与本次交易相关的内幕交易被中国证承诺函券监督管理委员会作出行政处罚或者司法机关依法追究刑事责任的情形。本人以及本人控制的主体（如有），均不存在违规泄露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交易的情形，并保证采取必要措施对本次交易事宜所涉及的资料和信息严格保密。如因本人违反上述承诺而给上市公司或投资者造成损失的，本人将依法承担相应法律责任。
1、鉴于本企业系于中国证券投资基金业协会备案的私募投资基金，
且本企业对用于认购中微公司股份的众硅公司股权持续拥有权益的
时间已满48个月，且不存在《上市公司重大资产重组管理办法》第四十七条第一款第（一）项、第（二）项情形，本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企
业名下之日起6个月内不得上市交易或转让。2、本次交易完成后，本企业因本次交易取得的中微公司股份因发生派息、送股、转增股本
小满投资、江苏关于认购或配股等原因而增加的，该等增加的股份亦应遵守上述锁定期安排。
中小基金、江苏股份锁定3、若本企业因本次交易取得的中微公司股份的锁定期承诺与届时有
疌泉、毅达太湖、期的承诺效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本企业宁波毅达函将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。4、本企业因本次交易取得的中微公司股份在前述锁定期届满后进行转让的，将遵守相关法律法规的规定。5、本企业授权中微公司办理本企业因本次交易取得的中微公司股份的锁定手续。本企业违反股份锁定承诺的，将依法承担法律责任。
本企业确认上述承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业将依法承担相应的法律责任。
台州金石投资、
1、本企业/人承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券
杭州富浙、浙江登记结算机构登记至本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转
富浙、深圳达晨、让。2、本次交易完成后，本企业/人因本次交易取得的中微公司股份杭州达晨、安徽
因发生派息、送股、转增股本或配股等原因而增加的，该等增加的股丰禾、宁波蓝郡、
份亦应遵守上述锁定期安排。3、若本企业/人因本次交易取得的中微宁波领芯、长兴公司股份的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构
青鸟、青岛东证、
关于认购的最新监管意见不相符的，本企业/人将根据相关法律法规及证券监石溪投资、江苏
股份锁定管机构的监管意见进行相应调整。4、本企业/人因本次交易取得的中毅达、朗玛六十
期的承诺微公司股份在前述锁定期届满后进行转让的，将遵守相关法律法规的三号、朱力昂、函规定。5、本企业/人授权中微公司办理本企业/人因本次交易取得的中杭州北峰、温润
微公司股份的锁定手续。本企业/人违反股份锁定承诺的，将依法承贰号、中信投资、担法律责任。
朗玛五十九号、
本企业/人确认上述承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重毅达鼎祺、朗玛大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应六十号、嘉兴邦的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业/人将依法承担相应的拓、达晨财智、法律责任。
温润安享、杰正
68中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
投资、王敏文、张久海
1、本企业/人承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券
登记结算机构登记至本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。若本企业/人因本次交易取得中微公司股份时，对本企业/人用于认购股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间不足12个月，则本企业/人承诺因本次交易取得的中微公司股份于证券登记结算机构登记
至本企业/人名下之日起36个月内不得上市交易或转让。2、本次交易完成后，本企业/人因本次交易取得的中微公司股份因发生派息、送股、转增股本或配股等原因而增加的，该等增加的股份亦应遵守上关于认购述锁定期安排。3、若本企业/人因本次交易取得的中微公司股份的锁扬州朗智、国孚股份锁定定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意
领航、蔡刚波期的承诺
见不相符的，本企业/人将根据相关法律法规及证券监管机构的监管函
意见进行相应调整。4、本企业/人因本次交易取得的中微公司股份在前述锁定期届满后进行转让的，将遵守相关法律法规的规定。5、本企业/人授权中微公司办理本企业/人因本次交易取得的中微公司股份的锁定手续。本企业/人违反股份锁定承诺的，将依法承担法律责任。
本企业/人确认上述承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业/人将依法承担相应的法律责任。
1、本企业/人承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券
登记结算机构登记至本企业/人名下之日起12个月内不得上市交易或转让。2、同时，鉴于本企业/人作为业绩承诺人拟与中微公司签订《业绩承诺和补偿协议》，本企业/人承诺因本次交易取得的中微公司股份在满足上述锁定期承诺的前提下，还应根据《业绩承诺和补偿协议》的约定，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁，具体解锁方式以本企业/人签订的《业绩承诺和补偿协议》约定为准。3、本次交易完成后，本企业/人因本次交易取得的中微公司股份因发生派息、送股、杭州众芯硅、宁
关于认购转增股本或配股等原因而增加的，该等增加的股份亦应遵守上述锁定容海川、临安众
股份锁定期及限售安排。4、若本企业/人因本次交易取得的中微公司股份的锁芯硅、临安众硅、期的承诺定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意
杭州芯匠、杭州
函见不相符的，本企业/人将根据相关法律法规及证券监管机构的监管众诚芯、朱琳
意见进行相应调整。5、本企业/人因本次交易取得的中微公司股份在前述锁定期届满后进行转让的，将遵守相关法律法规的规定。6、本企业/人授权中微公司办理本企业/人因本次交易取得的中微公司股份的锁定手续。本企业/人违反股份锁定承诺的，将依法承担法律责任。
本企业/人确认上述承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业/人将依法承担相应的法律责任。
杭州众芯硅、台关于无违1、本企业为在中华人民共和国境内依法设立并合法存续的企业，并州金石投资、宁法违规行已取得其设立及经营业务所需的一切批准、同意、授权和许可，所有
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承诺人承诺类型承诺内容
容海川、扬州朗为的承诺该等批准、同意、授权和许可均为有效，并不存在任何原因或事由可智、国孚领航、函能导致上述批准、同意、授权和许可失效，本企业不存在因营业期限杭州富浙、浙江届满解散、治理机构决议解散、因合并或分立而解散、宣告破产、被
富浙、临安众芯当地政府部门责令关闭的情形。本企业具备《中华人民共和国公司法》硅、深圳达晨、《上市公司重大资产重组管理办法》等相关法律法规、规范性文件规
临安众硅、杭州定的参与本次交易的主体资格。2、本企业及本企业的董事、监事、达晨、杭州芯匠、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内未受到任何刑
安徽丰禾、宁波事处罚或与证券市场有关的任何行政处罚，不涉及与经济纠纷有关的蓝郡、小满投资、重大民事诉讼或者仲裁。3、本企业及本企业的董事、监事、高级管宁波领芯、长兴理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内诚信状况良好，不存青鸟、青岛东证、在未按期偿还大额债务、未履行承诺、被中国证券监督管理委员会（以石溪投资、江苏下简称“中国证监会”）采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处
毅达、朗玛六十分的情况。4、本企业及本企业的董事、监事、高级管理人员及其他三号、杭州众诚主要管理人员（如有）不存在被中国证监会采取证券市场禁入措施尚
芯、江苏中小基在禁入期的情况，最近三十六个月内不存在受到中国证监会行政处罚金、杭州北峰、的情形，最近十二个月内不存在受到证券交易所公开谴责的情形，不温润贰号、中信存在因涉嫌犯罪被司法机关立案侦查或者涉嫌违法违规被中国证监
投资、江苏疌泉、会立案调查的情形。本企业确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，朗玛五十九号、对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准毅达鼎祺、朗玛确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业六十号、嘉兴邦将依法承担相应的法律责任。
拓、毅达太湖、
宁波毅达、达晨
财智、温润安享
1、本企业为在中华人民共和国境内依法设立并合法存续的企业，目
前正处于破产重整程序，已依据《中华人民共和国企业破产法》及相关法律法规取得破产重整管理人及司法机关的所需的一切批准、同
意、授权和许可参与本次交易，，所有该等批准、同意、授权和许可均为有效，并不存在任何原因或事由可能导致上述批准、同意、授权和许可失效，本企业不存在因营业期限届满解散、治理机构决议解散、因合并或分立而解散、宣告破产、被当地政府部门责令关闭的情形。
本企业具备《中华人民共和国公司法》《上市公司重大资产重组管理关于无违办法》等相关法律法规、规范性文件规定的参与本次交易的主体资格。
法违规行
杰正投资2、本企业及本企业的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人为的承诺员（如有）最近五年内未受到任何刑事处罚或与证券市场有关的任何函行政处罚。
3、本企业及本企业的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内，不存在未履行承诺、被中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处分的情况。
4、本企业及本企业的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）不存在被中国证监会采取证券市场禁入措施尚在禁入期的情况，最近三十六个月内不存在受到中国证监会行政处罚的情形，最
70中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
近十二个月内不存在受到证券交易所公开谴责的情形，不存在因涉嫌犯罪被司法机关立案侦查或者涉嫌违法违规被中国证监会立案调查的情形。
本企业确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本企业将依法承担相应的法律责任。
1.本人具备完全民事行为能力，具备《中华人民共和国公司法》《上市公司重大资产重组管理办法》等相关法律法规、规范性文件规定的
参与本次交易的主体资格。2.本人最近五年内未受到任何刑事处罚或与证券市场有关的任何行政处罚，不涉及与经济纠纷有关的重大民事诉讼或者仲裁。3.本人最近五年内诚信状况良好，不存在未按期偿还大额债务、未履行承诺、被中国证券监督管理委员会（以下简称“中关于无违蔡刚波、王敏文、国证监会”）采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处分的情况。
法违规行
张久海、朱力昂、4.本人不存在被中国证监会采取证券市场禁入措施尚在禁入期的情为的承诺朱琳况，最近三十六个月内不存在受到中国证监会行政处罚的情形，最近函
十二个月内不存在受到证券交易所公开谴责的情形，不存在因涉嫌犯罪被司法机关立案侦查或者涉嫌违法违规被中国证监会立案调查的情形。本人确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本人将依法承担相应的法律责任。
1.本人/本企业采取了必要且充分的保密措施，严格控制参与本次交易
人员范围，尽可能地缩小知悉本次交易相关敏感信息的人员范围。2.关于本次本人/本企业已多次、充分告知提示内幕信息知情人员履行保密义务
交易采取和责任，在内幕信息依法披露之前，不得公开或者泄露信息，不得利的保密措用内幕信息买卖或者建议他人买卖上市公司证券。3.本人/本企业严格全体交易对方施及保密按照上市公司内幕信息知情人登记备案制度的相关要求向上市公司
制度的承提供内幕信息知情人相关信息。本人/本企业在承诺函中所述情况均诺函客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
截至本承诺函出具之日，本人/本企业不是中微公司的关联人（关联关于交易人的范围根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》确定），本人对方与上
/本企业与中微公司不存在任何关联关系，本人/本企业不存在向中微市公司之
全体交易对方公司推荐或提名董事或者高级管理人员的情况。本人/本企业在承诺间不存在
函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，关联关系
并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反的承诺函
上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
杭州众芯硅、宁关于减少1、在本次交易完成后，本人/本企业及本人/本企业关联主体将尽量避容海川、临安众及规范与免和减少与上市公司或其子公司发生关联交易，不会谋求与上市公司芯硅、临安众硅、上市公司或其子公司在业务合作等方面优于市场第三方的权利。2、在本次交杭州芯匠、杭州关联交易易完成后，若本人/本企业及本人/本企业关联主体与上市公司或其子
71中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺人承诺类型承诺内容
众诚芯、朱琳的承诺函公司发生无法避免或有合理理由存在的关联交易，本人/本企业及本人/本企业关联主体将与上市公司或其子公司按照公平、公允和等价
有偿的原则进行，与上市公司或其子公司依法签订协议，按市场公认的合理价格确定交易价格，并按法律法规以及规范性文件的有关规定履行交易审批程序及信息披露义务。3、本人/本企业保证不利用关联交易非法转移上市公司或其子公司的资金、利润，亦不以借款、代偿债务、代垫款项或者其他任何方式占用上市公司或其子公司的资金，亦不要求上市公司或其子公司为本人/本企业或本人/本企业的关联主
体进行违规担保，保证不损害上市公司及上市公司股东的合法权益。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。
如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
1、本人/本企业及本人/本企业控制的主体不存在直接或间接从事与上
市公司或其子公司实际从事的业务构成或可能构成同业竞争的任何业务活动。2、在本次交易完成后，在本人/本企业及本人/本企业一致行动人直接或间接持有上市公司股份期间，本人/本企业及本人/本企杭州众芯硅、宁业控制的主体不会直接或间接地以任何方式参与或进行与上市公司
容海川、临安众关于避免或其子公司实际从事的业务存在直接或间接竞争的任何业务活动；凡
芯硅、临安众硅、同业竞争本人/本企业及本人/本企业控制的主体将来可能获得任何与上市公司
杭州芯匠、杭州的承诺函或其子公司存在直接或间接竞争的业务机会，本人/本企业及本人/本众诚芯、朱琳企业控制的主体将及时采取措施将前述构成直接或间接竞争的业务
机会控制或降低至不对上市公司构成重大不利影响的范围内。本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
本次交易完成后，本人/本企业及本人/本企业控制的主体不会利用上市公司股东的身份影响上市公司独立性和合法利益，在业务、资产、机构、人员和财务方面与上市公司完全分开，并严格遵守证券监管部杭州众芯硅、宁
关于保障门关于上市公司独立性的相关规定，不违规利用上市公司为本人/本容海川、临安众
上市公司企业或本人/本企业控制的主体提供担保，不违规占用上市公司资金、芯硅、临安众硅、
独立性的资产，保持并维护上市公司的独立性，维护上市公司其他股东的合法杭州芯匠、杭州承诺函权益。本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记众诚芯、朱琳
载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
（三）标的公司及董事、监事、高级管理人员作出的重要承诺
1、标的公司
承诺类型承诺内容
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承诺类型承诺内容
1、本公司保证本公司及本公司控制的企业向上市公司及参与本次交易的各中
介机构所提供的资料和信息均为真实、准确、完整的原始资料或副本资料，该等资料副本或复印件与其原始资料或原件一致，是准确和完整的，所有文件的签名、印章均是真实的，并无任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，本公司将依法承担赔偿责任。2、根据本次交易的进程，关于所提供资料真
需要本公司及本公司控制的企业继续提供相关资料和信息时，本公司及本公实性、准确性和完整
司控制的企业将依照相关法律、法规、规章、中国证券监督管理委员会和上性的承诺函
海证券交易所的有关规定，及时提供和披露有关本次交易的资料和信息，并保证所提供的资料和信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。本公司确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
本公司以及本公司控制的机构（如有），均不存在《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条规定及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》第三十条规
定的不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即不存在因涉嫌与本次交易关于不存在不得参
相关的内幕交易被立案调查或者立案侦查的情形，最近36个月内不存在因与与任何上市公司重本次交易相关的内幕交易被中国证券监督管理委员会作出行政处罚或者司法大资产重组情形的
机关依法追究刑事责任的情形。本公司以及本公司控制的机构（如有），均承诺函不存在违规泄露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交
易的情形，并保证采取必要措施对本次交易事宜所涉及的资料和信息严格保密。如因本公司违反上述承诺而给上市公司或投资者造成损失的，本公司将依法承担相应法律责任。
1、本公司为依法设立并合法存续的有限责任公司，并已取得其设立及经营业
务所需的一切批准、同意、授权和许可，所有该等批准、同意、授权和许可均为有效，并不存在任何原因或事由可能导致上述批准、同意、授权和许可失效，本公司不存在因营业期限届满解散、公司治理机构决议解散、因合并或分立而解散、宣告破产、被当地政府部门责令关闭的情形，具备《中华人民共和国公司法》《上市公司重大资产重组管理办法》等相关法律法规、规
范性文件规定的参与本次交易的主体资格。2、本公司及本公司的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内不存在因涉嫌犯罪正关于无违法违规行被司法机关立案侦查或因涉嫌违法违规被中国证券监督管理委员会（以下简为的承诺函称“中国证监会”）立案调查的情形。3、本公司及本公司的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内未受到任何刑事处罚或
与证券市场有关的任何行政处罚，本公司及本公司的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）不涉及与经济纠纷有关的重大民事诉讼或者仲裁。4、本公司及本公司的董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内诚信状况良好，不存在未按期偿还大额债务、未履行的承诺、被中国证监会采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处分的情况。
本公司确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
73中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺类型承诺内容
如违反上述声明和承诺，本公司将依法承担相应的法律责任。
1、本公司保证针对本次交易已采取了有效的保密措施，履行了保密义务。2、本公司保证不泄露本次交易内幕信息，在内幕信息依法披露之前，不公开或本次交易采取的保者泄露信息，不利用内幕信息买卖或者建议他人买卖上市公司股票。3、本公密措施及保密制度司严格按照上市公司内幕信息知情人登记管理制度相关要求进行内幕信息知
的承诺函情人登记。本公司确认上述说明系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述说明，本公司将依法承担相应的法律责任。
2、标的公司董事、监事及高级管理人员
承诺类型承诺内容
1、本人保证本人向上市公司及参与本次交易的各中介机构所提供的资料和信
息均为真实、准确、完整的原始资料或副本资料，该等资料副本或复印件与其原始资料或原件一致，是准确和完整的，所有文件的签名、印章均是真实的，并无任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。如因提供的信息存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，给上市公司或者投资者造成损失的，本关于所提供资料真
人将依法承担赔偿责任。2、根据本次交易的进程，需要本人继续提供相关资实性、准确性和完整
料和信息时，本人将依照相关法律、法规、规章、中国证券监督管理委员会性的承诺函
和上海证券交易所的有关规定，及时提供和披露有关本次交易的资料和信息，并保证所提供的资料和信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。本人确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本人将依法承担相应的法律责任。
本人以及本人控制的主体（如有），均不存在《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条规定及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》第三十条规定的
不得参与任何上市公司重大资产重组情形，即不存在因涉嫌与本次交易相关关于不存在不得参
的内幕交易被立案调查或者立案侦查的情形，最近36个月内不存在因与本次与任何上市公司重交易相关的内幕交易被中国证券监督管理委员会作出行政处罚或者司法机关大资产重组情形的
依法追究刑事责任的情形。本人以及本人控制的主体（如有），均不存在违承诺函规泄露本次交易的相关内幕信息及违规利用该内幕信息进行内幕交易的情形，并保证采取必要措施对本次交易事宜所涉及的资料和信息严格保密。如因本人违反上述承诺而给上市公司或投资者造成损失的，本人将依法承担相应法律责任。
1、本人最近五年内不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或因涉嫌违法违
规被中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）立案调查的情形。
2、本人最近五年内未受到任何刑事处罚或与证券市场有关的任何行政处罚，
关于无违法违规行不涉及与经济纠纷有关的重大民事诉讼或者仲裁。3、本人最近五年内诚信状为的承诺函况良好，不存在未按期偿还大额债务、未履行的承诺、被中国证监会采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处分的情况。本人确认上述声明和承诺系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述声明和承诺，本
74中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
承诺类型承诺内容人将依法承担相应的法律责任。
1、本人保证针对本次交易已采取了有效的保密措施，履行了保密义务。2、本人保证不泄露本次交易内幕信息，在内幕信息依法披露之前，不公开或者本次交易采取的保泄露信息，不利用内幕信息买卖或者建议他人买卖上市公司股票。3、本人严密措施及保密制度格按照上市公司内幕信息知情人登记管理制度相关要求进行内幕信息知情人的承诺函登记。本人确认上述说明系真实、自愿作出，对内容亦不存在任何重大误解，并愿意为上述承诺事项的真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。如违反上述说明，本人将依法承担相应的法律责任。
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第二节上市公司基本情况
一、公司基本信息
中文名称中微半导体设备（上海）股份有限公司
英文名称 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China
成立日期2004-05-31
上市日期2019-07-22股票上市地上海证券交易所
股票代码 688012.SH股票简称中微公司总股本626145307股法定代表人尹志尧
注册地址上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
办公地址上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
联系电话86-21-61001199
联系传真86-21-61002205统一社会信用代码913101157626272806研发，组装集成电路设备，泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询，技术服务。（不经营范围涉及国营贸易管理商品，涉及配额，许可证管理商品的，按照国家有关规定办理申请；依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）二、公司设立及上市后股本变动情况
（一）有限责任公司设立情况2004年5月18日，上海市张江高科技园区领导小组办公室向中微有限出具《关于中微半导体设备（上海）有限公司设立的批复》（沪张江园区办项字（2004）264号），同意中微亚洲投资设立中微有限，注册资本2000.00万美元，其中注册资本以美元现汇出资1300.00万美元，占注册资本的65.00%；以相关专利技术作价700.00万美元，占注册资本的35.00%。
2004年5月19日，上海市人民政府核发《中华人民共和国外商投资企业批准证书》（商外资沪张独资字[2004]1574号）。
76中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）2004年5月31日，中微有限取得上海市工商行政局浦东新区分局核发的《企业法人营业执照》。中微有限设立时的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万美元）股权比例出资方式
1中微亚洲2000.00100.00%货币及无形资产
合计2000.00100.00%--
注：根据上海申洲会计师事务所有限公司于2004年7月23日、2004年8月28日、2004年10月
20日、2005年2月25日、2005年8月19日和2006年1月18日出具的沪申洲（2004）验字第534
号、沪申洲（2004）验字第586号、沪申洲（2004）验字第670号、沪申洲（2005）验字第105号、
沪申洲（2005）验字第478号、沪申洲（2006）验字第028号验资报告，截至2005年12月8日止，中微亚洲已向中微有限足额缴纳设立时的全部出资，其中700.00万美元为无形资产出资。2005年10月28日，上海科华资产评估有限公司出具《有关“等离子刻蚀和化学薄膜沉积半导体制成设备技术”无形资产评估报告书》（沪科华评报字（2005）第088号），确认以2005年6月30日作为评估基准日的该项无形资产的公允价值为7830.00万元，折合946.00万美元。2018年9月10日，上海立信资产评估有限公司出具《Advanced Micro-fabrication Equipment Inc. Asia拥有的“等离子刻蚀和化学薄膜沉积半导体制成设备技术”市场价值追溯资产评估报告》（信资评报字[2018]第20095号），确认以2005年6月30日作为评估基准日的该项无形资产的市场价值为7600.00万元。追溯评估确定的无形资产公允价值高于中微有限设立时的专利技术作价金额。
（二）股份有限公司设立情况
2018年12月18日，中微有限召开董事会会议，同意以2018年7月31日为基准日，将中微有限整体变更为外商投资股份有限公司。2018年12月20日，中微有限股东上海创投、巽鑫投资等签订《关于中微半导体设备（上海）有限公司整体变更设立外商投资股份有限公司的发起人协议书》，中微有限以2018年7月31日为基准日经普华永道审计的账面净资产1818997862.62元按1:0.2474的比例折合成股本450000000股，剩余部分转作资本公积，整体变更后股份公司的注册资本为450000000.00元，股份面值为每股1元。
2018年12月21日，上海金桥出口加工区（南区）管理委员会对本次整体变更予以备案。
2018年12月21日，中微公司取得上海市工商行政管理局换发的《营业执照》。
本次变更完成后，中微公司的股权结构如下：
序号股东姓名/名称持股数量（股）持股比例出资方式
1上海创投9638353321.42%净资产折股
77中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称持股数量（股）持股比例出资方式
2巽鑫（上海）投资有限公司9333788720.74%净资产折股
3置都（上海）投资中心（有限合伙）263839865.86%净资产折股
4中微亚洲240899785.35%净资产折股
5嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）225659915.01%净资产折股
6国开创新资本投资有限责任公司196911834.38%净资产折股
7 Primrose Capital Limited 19598224 4.36% 净资产折股
8嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）131840042.93%净资产折股义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限
9127962402.84%净资产折股
合伙）上海自贸试验区智芯投资中心（有限合
10118348302.63%净资产折股
伙）
11 Grenade Pte. Ltd. 11442746 2.54% 净资产折股
12 Bootes Pte. Ltd. 11119580 2.47% 净资产折股
13嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）91124742.02%净资产折股嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合
1490315682.01%净资产折股
伙）
15协鑫创展控股有限公司78764731.75%净资产折股国投（上海）科技成果转化创业投资基
1677552971.72%净资产折股
金企业（有限合伙）
17上海浦东新兴产业投资有限公司66863101.49%净资产折股嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合
1863415791.41%净资产折股
伙）
19尹志尧62002661.38%净资产折股
20 Qualcomm Incorporated 5516335 1.23% 净资产折股
21嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）40876810.91%净资产折股
上海自贸试验区三期股权投资基金合
2238776480.86%净资产折股
伙企业（有限合伙）合肥茂流投资中心合伙企业（有限合
2338776480.86%净资产折股
伙）
24 Futago Pte. Ltd. 3767092 0.84% 净资产折股
25 STEVE SZE-YEE MAK（麦仕义） 2341106 0.52% 净资产折股
26 ZHIYOU DU（杜志游） 2331436 0.52% 净资产折股
27 STEVEN TIANXIAO LEE（李天笑） 2076657 0.46% 净资产折股
78中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称持股数量（股）持股比例出资方式上海励微投资管理合伙企业（有限合
2819596670.44%净资产折股
伙）
29 TUQIANG NI（倪图强） 1274358 0.28% 净资产折股
30 WEIWEN CHEN（陈伟文） 1162842 0.26% 净资产折股
31 JAMES WEI YANG（杨伟） 1116033 0.25% 净资产折股
32 VIGON MEKSAVAN（吴乾英） 932574 0.21% 净资产折股上海芃徽投资管理合伙企业（有限合
332467740.05%净资产折股
伙）
合计450000000100.00%--
注：2019年3月7日，普华永道出具验资报告（普华永道中天验字（2019）第0099号，确认截至
2018年12月21日，中微公司之股东以基准日2018年7月31日经审计的净资产为基础，按1:0.2474
的比例折合成股本450000000.00元。
（三）首次公开发行股票并上市情况2019年3月15日，中微公司召开2019年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票并上市方案的议案》《关于授权董事会全权办理首次公开发行人民币普通股（A股）股票并上市有关事宜的议案》《关于公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票募集资金投资项目可行性研究报告的议案》等与公司首次公开发行上市有关的议案。
2019年7月1日，中国证监会向中微公司出具《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕1168号），同意中微公司首次公开发行股票的注册申请。
2019年7月19日，经上交所[2019]43号《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司人民币普通股股票科创板上市交易的公告》同意，公司 A股股本为 53486.2237万股，其中4842.6573万股于2019年7月22日起上市交易。证券简称为“中微公司”，证券代码为“688012”。
2019年8月30日，中微公司完成公司首次公开发行上市有关的工商登记手续，并
换领变更后的《营业执照》。
（四）公司首次公开发行并上市后的历次股本变动情况
79中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
1、2021年6月，公司第一次股本变更
公司首次公开发行后，公司总股本53486.2237万股，其中有限售条件流通股为
48643.5664万股，无限售条件流通股为4842.6573万股。
2020年8月27日，公司召开第一届董事会第十四次会议，审议通过了《关于公司符合向特定对象发行 A股股票条件的议案》《关于公司 2020年度向特定对象发行 A股股票方案的议案》等议案。
2020年9月16日，公司召开2020年第三次临时股东大会，审议通过了《关于公司符合向特定对象发行 A股股票条件的议案》《关于公司 2020年度向特定对象发行 A股股票方案的议案》等与该次向特定对象发行股票有关的议案，并同意授权公司董事会及其授权人士全权办理该次发行相关事宜。
2021年1月29日，公司收到上海证券交易所科创板上市审核中心出具的《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票审核意见的通知》，上海证券交易所发行上市审核机构对公司向特定对象发行 A 股股票的申请文件进行了审核，认为公司向特定对象发行股票申请符合发行条件、上市条件和信息披露要求。
2021年3月9日，公司收到中国证监会出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号），同意公司向特定对象发行 A股股票的注册申请。
2021年 6月 30日，公司 2020年度向特定对象发行 A股股票的股份登记手续完成，
公司股本由53486.2237万股增至61509.1572万股。
2、2021年12月，公司第二次股本变更
2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2021年8月13日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司限制性股票激励计划首次行权验资报告》（大华验字[2021]000538号）对公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期满足归属条件的激
80中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2021年8月11日止，公司已收到540名限制性股票激励对象认购 115.2908 万股人民币普通股（A股）所缴付的资金合计人民币
172961160.50元，均以货币出资。
2021年8月17日，公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期
的股份登记手续完成。公司股本由61509.1572万股增至61624.4480万股。
2021年12月20日，公司就上述两次股本变动完成工商变更登记。
3、2023年4月，公司第三次股本变更
2023年3月31日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2023年4月3日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次行权验资报告》（大华验字[2023]000163号）对公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激
励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2023年3月30日止，公司已收到本次982名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币40504719.80元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2023年4月10日，公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由61624.4480万股增至61705.3267万股。
4、2023年4月，公司第四次股本变更
2023年4月13日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分及预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2023年4月15日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划首次行权及预留授予部分第二个归属期验资报告》（大华验字[2023]000198号）对公司2020年限制性股票激励计划首次行权及预留授予部分第二个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审
81中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）验，截至2023年4月12日止，公司已收到本次373名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币96158022.94元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2023年4月25日，公司2020年限制性股票激励计划第二个归属期的股份登记手续完成。公司股本由61705.3267万股增至61769.4085万股。
5、2023年5月，公司第五次股本变更
2023年3月31日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
2023年4月13日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分及预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2023年4月18日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次行权验资报告》（大华验字[2023]000208号）对公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激
励对象出资情况进行了审验。截至2023年4月13日止，公司已收到本次4名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币1022146.40元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2023年4月21日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划首次行权及预留授予部分第二个归属期验资报告》（大华验字[2023]000221号）对公司2020年限制性股票激励计划首次行权及预留授予部分第二个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2023年4月20日止，公司已收到本次310名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币72881456.03元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2023年5月5日，公司2020年限制性股票激励计划第二个归属期及2022年限制
性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由61769.4085万股增至
61819.8523万股。
82中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
6、2023年11月，公司第六次股本变更
2023年11月7日，公司召开第二届董事会第十八次会议、第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第三个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2023年11月7日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划首次授予及预留授予部分第三个归属期验资报告》（大华验字[2023]000655号）对公司2020年限制性股票激励计划首次行权及预留授予部分第三个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2023年11月6日止，已收到本次567名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币161976650.94元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2023年11月15日，公司2020年限制性股票激励计划第三个归属期的股份登记手续完成。公司股本由61819.8523万股增至61927.9423万股。
2024年5月11日，公司就上述四次股本变动完成工商变更登记。
7、2024年4月，公司第七次股本变更
2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2024年3月29日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期验资报告》（大华验字[2024]0011000130号）对公司2022年限制性股票激励计划第二个归属
期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2024年3月27日止，公司已收到本次935名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币39622241.45元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2024年4月2日，公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期的股份登记手续完成。公司股本由61927.9423万股增至62007.3253万股。
8、2024年6月，公司第八次股本变更
83中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
立信会计师事务所（特殊普通合伙）于2024年6月12日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司验资报告》（信会师报字[2024]第 ZK10355号）对公司 2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制性股票激励计划第一个归属期满足归
属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2024年6月5日止，公司收到
1名股权激励对象认购2022年限制性股票13565.00股，每股49.50元，实际收到限制
性股票激励对象缴纳的认购款人民币679992.62元。经审验，截至2024年6月5日止，公司收到1277名股权激励对象认购2023年限制性股票1218682.00股，每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币60394158.60元。
2024年6月19日，公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制
性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62007.3253万股增至
62130.5500万股。
9、2024年10月，公司第九次股本变更
2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。
2024年8月22日，公司召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的
84中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件的议案》。
立信会计师事务所（特殊普通合伙）于2024年10月16日出具了《验资报告》（信会师报字[2024]第 ZK10396 号）对公司 2020 年限制性股票激励计划第四个归属期及
2023年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2024年10月14日止，公司收到3名股权激励对象认购2023年限制性股票1099股，每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币
54400.50元。经审验，截至2024年10月14日止，公司收到418名股权激励对象认购
2020年限制性股票898440股，每股149.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的
认购款人民币134337446.89元。
2024年10月23日，公司2020年限制性股票激励计划第四个归属期及2023年限
制性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62130.5500万股增至62220.5039万股。
10、2024年11月，公司第十次股本变更
2024年8月22日，公司召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件的议案》。
2024年10月29日，公司召开第二届董事会第二十六次会议、第二届监事会第二
十三次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第四个归属期符合归属条件的议案》。
立信会计师事务所（特殊普通合伙）于2024年11月8日出具了《验资报告》（信会师报字[2024]第 ZK10401号）对公司 2020 年限制性股票激励计划第四个归属期满足
归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2024年11月5日止，公司收到3名股权激励对象认购2020年限制性股票激励计划首次授予部分限制性股票0.4608万股，每股149.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币688896.00元。经审验，截至2024年11月5日止，公司收到124名股权激励对象认购2020年限制性股票激励计划预留授予部分限制性股票15.4088万股，每股149.50元，实际收到限
85中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
制性股票激励对象缴纳的认购款人民币23037728.12元。
2024年11月14日，公司2020年限制性股票激励计划第四个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62220.5039万股增至62236.3735万股。
2025年1月26日，公司就上述四次股本变动完成工商变更登记。
11、2025年4月，公司第十一次股本变更
2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2025年4月17日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期验资报告》（大华验字[2025]0011000038号）对公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期满足归属条
件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2025年4月11日止，公司已收到本次873名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币37508680.99元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
2025年4月23日，公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62236.3735万股增至62311.8763万股。
12、2025年5月，公司第十二次股本变更
2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2025年4月27日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年限制性股票激励计划第一个归属期验资报告》（大华验字[2025]0011000041号）对公司2024年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条
件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2025年4月22日止，公司已收到本次1640名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币142432913.90元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
86中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2025年5月7日，公司2024年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62311.8763万股增至62499.6218万股。
13、2025年6月，公司第十三次股本变更
2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。
2025年5月28日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会第四次会议，
审议通过了《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2025年6月12日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司验资报告》（大华验字[2025]0011000071号）对公司2022年限
制性股票激励计划第三个归属期、2023年限制性股票激励计划第二个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2025年6月5日止，公司已收到1名限制性股票激励对象认购2022年限制性股票3314股，每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币
164043.00元，限制性股票激励对象以货币资金出资。经审验，截至2025年6月5日止，公司已收到1202名限制性股票激励对象认购2023年限制性股票1140801股，每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币56520423.04元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。经审验，截至2025年6月5日止，公司已收到
1名限制性股票激励对象认购2024年限制性股票4974股，每股75.80元，实际收到限
制性股票激励对象缴纳的认购款人民币377029.20元，限制性股票激励对象以货币资金出资。
2025年6月18日，2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2023年限制性股
票激励计划第二个归属期、公司2024年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续完成。公司股本由62499.6218万股增至62614.5307万股。
2025年11月24日，公司就上述三次股本变动完成工商变更登记。
（五）截至2025年12月31日上市公司前十名股东持股情况表
87中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号持有人名称持有数量（股）持有比例（%）
1上海创业投资有限公司9348353314.93
2巽鑫（上海）投资有限公司6847391610.94
3香港中央结算有限公司552193218.82
华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业
4230761153.69
投资基金二期股份有限公司
招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份
5145546872.32
交易型开放式指数证券投资基金
中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板
6132001002.11
50成份交易型开放式指数证券投资基金
中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交
796938921.55
易型开放式指数证券投资基金
中国工商银行－上证50交易型开放式指数证券投
880376041.28
资基金
中国工商银行股份有限公司－华泰柏瑞沪深300交
973051861.17
易型开放式指数证券投资基金
中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯
1061298950.98
片交易型开放式指数证券投资基金
合计29917424947.78
注1：2025年12月1日，上市公司披露《大股东大宗交易减持股份计划公告》，上海创投计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，在符合法律法规规定的减持前提下，通过大宗交易方式减持公司股票不超过总股本的1%，即6261453股。2026年1月23日，上市公司披露《关于持股5%以上股东权益变动触及1%刻度暨减持股份结果公告》，上海创投通过大宗交易已累计减持中微公司股份6261453股，减持股份数量已达到中微公司股份总数的1%，本次减持计划实施完毕。
注2：2026年1月9日，上市公司披露《大股东减持股份计划公告》，巽鑫投资计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，在符合法律法规规定的减持前提下，通过集中竞价或大宗交易方式减持公司股票不超过总股本的2%。
三、公司最近三十六个月控制权变动情况
截至本报告书签署日，公司股权结构较为分散，无控股股东、实际控制人。单一股东控制股权比例均未超过30%，无任一股东依其可实际支配的表决权足以对公司股东会的决议产生重大影响，任一股东均无法通过其提名的董事单独决定公司董事会的决策结果或控制公司董事会。上市公司最近三十六个月内控制权未发生变动。
四、公司最近三年重大资产重组情况
截至本报告书签署日，上市公司最近三年未发生重大资产重组。
五、公司控股股东及实际控制人概况
88中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，公司股权结构较为分散，无控股股东、实际控制人。单一股东控制股权比例均未超过30%，无任一股东依其可实际支配的表决权足以对公司股东会的决议产生重大影响，任一股东均无法通过其提名的董事单独决定公司董事会的决策结果或控制公司董事会。上市公司最近三十六个月内控制权未发生变动。
六、公司最近三年主营业务发展情况和主要财务指标
（一）主营业务发展情况
公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司瞄准世界科技前沿，基于在半导体设备制造产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域。
中微公司的主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备作为光刻机之外的核心微观加工设备，其制程步骤复杂度与工艺开发难度均在业内处于突出地位。微观器件的不断缩小推动了器件结构和加工制程的革命性变化。存储器件内部架构从 2D 到 3D 的转换，使等离子体刻蚀和薄膜工艺成为关键的核心步骤，对这两类设备的需求量大大增加。光刻机由于波长的限制，先进的微观结构要靠等离子体刻蚀和薄膜的组合“二重模板”和“四重模板”工艺技术来加工，刻蚀机和薄膜设备的重要性不断提高，这给主要提供等离子体刻蚀设备和薄膜设备的中微公司带来了高速成长机会。此外，量检测设备市场增长速度很快，已成为占半导体前道设备总市场约13%的第四大设备门类。量检测设备市场主要分为光学量检测设备和电子束量检测设备，其中公司发起设立的超微半导体设备（上海）有限公司，重点开发电子束量检测设备等，公司将通过各种方式扩大对多门类量检测设备的市场参与和覆盖。
公司的等离子体刻蚀设备及薄膜沉积设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。公司站在先进制程工艺发展最前沿，始终强调技术创新、产品差异化和知识产权保护的基本原则，并保持高强度的研发投入。目前在研项目涵盖六类设备，总共有超过二十款新设备在开发中。新产品开发已经取得了显著成效，近两年新开发的 LPCVD薄膜设备和 ALD薄膜设备，已有多款新型设备顺利进入市场并获得重要客户的重复性订单。其中，薄膜设备累计出货量已突破
89中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
300个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目的研发进程均比较顺利，有望尽快
进入客户验证阶段。公司 EPI 设备已进入客户端量产验证阶段。公司在Micro-LED 和高端显示领域的MOCVD 设备开发及客户验证上取得了良好进展，并正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备。
公司继续瞄准世界科技前沿，持续践行三维立体发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会，推进公司实现高速、稳定、安全发展。公司坚持以市场和客户需求为导向，积极应对复杂形势，继续加大研发投入和业务开拓力度，推动以研发创新为驱动的高质量增长策略，抓住重点客户扩产投资机会，推进订制化精细化生产经营，公司在刻蚀设备、薄膜设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得了较大的突破和进展，产品不断获得海内外客户的认可，为公司持续健康发展提供了有力支撑。
（二）最近三年主要财务指标
1、合并资产负债表主要数据
单位：万元项目2025年末2024年末2023年末
资产总额2984601.902621754.472152554.66
负债总额711717.85648200.28370244.14
所有者权益2272884.051973554.191782310.52
归属于上市公司股东的权益合计2269461.681973691.231782612.29
注：数据来自上市公司经审计的财务报表，下同。
2、合并利润表主要数据
单位：万元项目2025年度2024年度2023年度
营业总收入1238463.83906516.51626351.36
营业利润219051.09170351.78198031.86
利润总额218984.94170893.47201038.16
净利润206421.73161431.44178397.72
归属于上市公司股东的净利润211147.30161567.57178590.80
3、合并现金流量表主要数据
90中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度2024年度2023年度
经营活动产生的现金流量净额229535.29145840.18-97692.64
投资活动产生的现金流量净额-210467.9364638.79182732.89
筹资活动产生的现金流量净额18173.56-150.0422259.57
现金及现金等价物净增加额34152.77211691.42108549.47
4、主要财务指标
2025年度/2024年度/2023年度/
项目
2025年末2024年末2023年末
基本每股收益（元）3.402.612.89
稀释每股收益（元）3.362.602.88
加权平均净资产收益率（%）9.978.6610.72
资产负债率（%）23.8524.7217.20
毛利率（%）39.1741.0643.81
七、公司因本次交易导致的股权控制结构的预期变化情况
本次交易前后，公司控股股东、实际控制人均不会发生变化。
八、公司合规经营情况
截至本报告书签署日，上市公司及其现任董事、高级管理人员不存在最近三十六个月内因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉嫌违法违规正被中国证监会立案调查的情形，最近三年不存在受到行政处罚或者刑事处罚的情形，不存在损害投资者合法权益和社会公共利益的重大违法行为。
91中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第三节交易对方基本情况
一、发行股份及支付现金购买资产交易对方
上市公司本次发行股份及支付现金购买资产的交易对方具体情况如下：
序认缴出资额股东名称出资比例号（万元）
1杭州众芯硅工贸有限公司2356.0420.38%
2上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）680.005.88%
3杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）370.023.20%
4杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）289.002.50%
5杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）211.001.82%
6杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）100.000.86%
7朱琳30.000.26%
8浙江台州金石精密制造股权投资基金合伙企业（有限合伙）801.976.94%
9扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）566.924.90%
10上海国孚领航投资合伙企业（有限合伙）566.924.90%
11杭州富浙资通股权投资合伙企业（有限合伙）442.363.83%
12浙江富浙富创股权投资合伙企业（有限合伙）442.363.83%
13深圳市达晨创程私募股权投资基金企业（有限合伙）368.553.19%
14杭州达晨创程股权投资基金合伙企业（有限合伙）221.131.91%
15安徽省丰禾股权投资基金一期合伙企业（有限合伙）210.601.82%
16宁波蓝郡风鋆创业投资合伙企业（有限合伙）176.951.53%
17井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）165.391.43%
18宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）165.151.43%
19蔡刚波150.431.30%
20长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）150.001.30%
21王敏文135.991.18%
22张久海135.311.17%
23青岛东证中新仁合私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）126.361.09%
24余姚石溪舜创创业投资合伙企业（有限合伙）106.140.92%
25江苏高投毅达中小贰号创业投资合伙企业（有限合伙）105.300.91%
26朗玛六十三号（深圳）创业投资中心（有限合伙）104.000.90%
27江苏中小企业发展基金（有限合伙）97.650.84%
92中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序认缴出资额股东名称出资比例号（万元）
28朱力昂90.490.78%
29杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）88.470.77%
30广东温润振信贰号股权投资合伙企业（有限合伙）87.370.76%
31中信证券投资有限公司84.240.73%
32江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）82.690.72%
33朗玛五十九号（深圳）创业投资中心（有限合伙）78.000.67%
34无锡高投毅达鼎祺人才创业投资合伙企业（有限合伙）78.000.67%
35朗玛六十号（深圳）创业投资中心（有限合伙）78.000.67%
36嘉兴邦拓股权投资合伙企业（有限合伙）52.000.45%
37无锡高投毅达太湖人才成长创业投资合伙企业（有限合伙）48.830.42%
38宁波毅达工投股权投资基金合伙企业（有限合伙）48.830.42%
39深圳市达晨财智创业投资管理有限公司42.120.36%
40杰正投资集团有限公司33.910.29%
41温润安享科盈（海南）股权投资基金合伙企业（有限合伙）1.110.01%
合计10169.6187.96%
（一）杭州众芯硅
1、基本信息
企业名称杭州众芯硅工贸有限公司
统一社会信用代码 91330185MA2B2UDKX3
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1410
主要办公地点 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1410
法定代表人 GU HAIYANG注册资本100万元
企业类型有限责任公司（外国自然人独资）成立日期2018年5月17日
一般项目：五金产品批发；五金产品零售；电子元器件批发；电气设备销售；
塑料制品销售；企业管理；咨询策划服务；农副产品销售；工艺美术品及收经营范围
藏品零售（象牙及其制品除外）；日用品批发；日用品销售；货物进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
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2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2018年5月，杭州众芯硅设立
2018年 5月，GU HAIYANG出资设立杭州众芯硅，设立时 GU HAIYANG作为全
资股东认缴出资额为100.00万元。
设立时，杭州众芯硅的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 100.00 100.00%
合计100.00100.00%
杭州众芯硅自设立以来，未发生股权转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州众芯硅的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 100.00 100.00%
合计100.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州众芯硅的产权控制关系结构图如下：
截至本报告书签署日，杭州众芯硅不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、控股股东及实际控制人基本情况
杭州众芯硅的控股股东、实际控制人为 GU HAIYANG，直接持有杭州众芯硅
100.00%的股权。GU HAIYANG基本情况如下：
姓名 GU HAIYANG曾用名顾海洋
94中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
性别男国籍美国
身份证号56163****（美国护照号）
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留权取得中国永久居留权
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12018-05至今杭州众硅总经理
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州众芯硅的对外投资情况如下：
序号企业名称注册资本（万元）直接持股比例主营业务
1杭州众瞻452.000.00%员工持股平台
2临安众芯硅370.020.82%员工持股平台
3临安众硅289.0011.49%员工持股平台
6、主营业务发展状况
杭州众芯硅为 GU HAIYANG的持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州众芯硅最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计2840.261741.26
负债总计1626.72198.82
所有者权益1213.541542.44
营业收入--
营业利润527.29479.88
净利润-328.89356.71
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
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（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产446.02
非流动资产2394.23
资产总计2840.26
流动负债1626.72
非流动负债-
负债总计1626.72
净资产1213.54
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润527.29
利润总额-327.27
净利润-328.89
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-866.73
投资活动产生的现金流量净额-1048.94
筹资活动产生的现金流量净额1536.95
现金及现金等价物净增加额-378.72
（二）宁容海川
1、基本信息
企业名称上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91310000MABUR11F30
注册地址 中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路 888号 C楼
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主要办公地点 中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路 888号 C楼
执行事务合伙人 MICHAEL XIAOXUAN YANG出资额680万元企业类型外商投资有限合伙企业成立日期2022年8月24日
一般项目：企业管理咨询；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技经营范围术转让、技术推广。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年8月，合伙企业设立
2022 年 8月，MICHAEL XIAOXUAN YANG 和 GU HAIYANG共同出资设立宁容海川，设立时全体合伙人认缴出资总额为680.00万元。
设立时，宁容海川的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 MICHAELXIAOXUAN YANG 普通合伙人 678.09 99.72%
2 GU HAIYANG 有限合伙人 1.91 0.28%
合计680.00100.00%
宁容海川自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，宁容海川的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 MICHAELXIAOXUAN YANG 普通合伙人 678.09 99.72%
2 GU HAIYANG 有限合伙人 1.91 0.28%
合计680.00100.00%
截至本报告书签署日，宁容海川的执行事务合伙人为 MICHAEL XIAOXUANYANG，宁容海川的产权结构图如下：
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截至本报告书签署日，宁容海川不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，宁容海川的执行事务合伙人为 MICHAEL XIAOXUANYANG，MICHAEL XIAOXUAN YANG基本情况如下：
姓名 MICHAEL XIAOXUAN YANG曾用名杨晓晅性别男国籍美国
身份证号 A0429****（美国护照号）
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留权取得中国永久居留权
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12022-08至今杭州众硅董事长
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，宁容海川无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
宁容海川为MICHAEL XIAOXUAN YANG的持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
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7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
宁容海川最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计680.00680.02
负债总计0.120.10
所有者权益679.88679.92
营业收入--
营业利润-0.03-0.03
净利润-0.03-0.03
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产0.00
非流动资产680.00
资产总计680.00
流动负债0.12
非流动负债-
负债总计0.12
净资产679.88
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.03
利润总额-0.03
净利润-0.03
99中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.01
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-0.01
8、私募基金备案情况
宁容海川为MICHAEL XIAOXUAN YANG的持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据宁容海川的合伙协议和其出具的证明文件，宁容海川存续期为无固定期限，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，宁容海川无其他对外投资，宁容海川以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，宁容海川参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
宁容海川上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
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3.若本人/本企业所持上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）的股份/股权/
合伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（三）临安众芯硅
1、基本信息
企业名称杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330201MA2J4E6491
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1507室
主要办公地点 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1507室执行事务合伙人杭州众芯硅工贸有限公司
出资额370.0203万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年1月12日
一般项目：企业管理；财务咨询；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；
社会经济咨询服务；市场营销策划；企业形象策划；咨询策划服务；会议及经营范围
展览服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年1月，合伙企业设立
2021年1月，杭州众芯硅与朱琳共同出资设立临安众芯硅，并一致同意委托杭州
众芯硅担任执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为10.00万元。
设立时，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人9.9099.00%
101中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
2朱琳有限合伙人0.101.00%
合计10.00100.00%
（2）2021年5月，第一次增资
2021年4月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意增加合伙企业出资数额，由原10.00万元增加至370.02万元，共计增加出资数额360.02万元。其中杭州众芯硅以货币方式增加出资数额356.42万元，朱琳以货币方式增加出资数额3.60万元。
2021年4月，临安众芯硅全体合伙人签署更新后的合伙协议。
2021年5月，临安众芯硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人366.3299.00%
2朱琳有限合伙人3.701.00%
合计370.02100.00%
（3）2021年9月，第一次合伙份额转让
2021年8月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意杭州众芯硅将其
持有合伙企业50.00万元的出资额以145.00万元的价格转让给朱琳；一致同意杭州众芯
硅将其持有合伙企业20.00万元的出资额以58.00万元的价格转让给古枫；一致同意杭
州众芯硅将其持有合伙企业12.00万元的出资额以34.80万元的价格转让给王东辉；一
致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业12.00万元的出资额以34.80万元的价格转让给刘雪姣；一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业20.00万元的出资额以58.00万元的价格
转让给 LEE EDWARD LI CANG；一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业 12.00万元的
出资额以34.80万元的价格转让给刘琛；一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业8.00
万元的出资额以23.20万元的价格转让给昝金利；一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企
业8.00万元的出资额以23.20万元的价格转让给吴玲丽；一致同意杭州众芯硅将其持有
合伙企业 12.00万元的出资额以 34.80万元的价格转让给 GU JINGRAN；一致同意杭州
众芯硅将其持有合伙企业8.00万元的出资额以23.20万元的价格转让给吴雨；一致同意
102中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
杭州众芯硅将其持有合伙企业8.00万元的出资额以23.20万元的价格转让给徐辉；一致
同意杭州众芯硅将其持有合伙企业8.00万元的出资额以23.20万元的价格转让给杨渊思；
一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业10.00万元的出资额以29.00万元的价格转让给
任保荣；一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业6.00万元的出资额以17.40万元的价格转让给马行成。
2021年8月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、马行成、任保荣、杨渊
思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、刘琛、LEE EDWARD LI CANG、
刘雪姣、王东辉、古枫签署更新后的合伙协议。
2021年9月，临安众芯硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人172.3246.58%
2朱琳有限合伙人53.7014.52%
3古枫有限合伙人20.005.41%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
5刘雪姣有限合伙人12.003.24%
6王东辉有限合伙人12.003.24%
7刘琛有限合伙人12.003.24%
8 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
9任保荣有限合伙人10.002.70%
10吴玲丽有限合伙人8.002.16%
11昝金利有限合伙人8.002.16%
12吴雨有限合伙人8.002.16%
13徐辉有限合伙人8.002.16%
14杨渊思有限合伙人8.002.16%
15马行成有限合伙人6.001.62%
合计370.02100.00%
（4）2021年12月，第二次合伙份额转让
2021年12月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意白圣荣成为本合
伙企业的有限合伙人；本合伙企业出资额不变，一致同意杭州众芯硅将其持有合伙企业
103中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
8.00万元的出资额以23.20万元的价格转让给白圣荣；一致同意杭州众芯硅将其持有合
伙企业6.00万元的出资额以17.40万元的价格转让给马行成；一致同意杭州众芯硅将其
持有合伙企业2.00万元的出资额以5.80万元的价格转让给任保荣。
2021年12月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、马行成、任保荣、杨渊
思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、刘琛、LEE EDWARD LI CANG、
刘雪姣、王东辉、古枫、白圣荣签署更新后的合伙协议。
2021年12月，临安众芯硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人156.3242.25%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3古枫有限合伙人20.005.41%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
5刘雪姣有限合伙人12.003.24%
6王东辉有限合伙人12.003.24%
7刘琛有限合伙人12.003.24%
8 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
9马行成有限合伙人12.003.24%
10任保荣有限合伙人12.003.24%
11吴雨有限合伙人8.002.16%
12徐辉有限合伙人8.002.16%
13吴玲丽有限合伙人8.002.16%
14昝金利有限合伙人8.002.16%
15杨渊思有限合伙人8.002.16%
16白圣荣有限合伙人8.002.16%
合计370.02100.00%
（5）2022年3月，第三次合伙份额转让
2022年3月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意将刘琛占有本合
伙企业的份额转让给杭州众芯硅；本合伙企业出资额不变。
2022年3月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、马行成、任保荣、杨渊
104中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、
王东辉、古枫、白圣荣签署更新后的合伙协议。
2022年3月，临安众芯硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人168.3245.49%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3古枫有限合伙人20.005.41%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
5刘雪姣有限合伙人12.003.24%
6王东辉有限合伙人12.003.24%
7 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
8马行成有限合伙人12.003.24%
9任保荣有限合伙人12.003.24%
10吴雨有限合伙人8.002.16%
11徐辉有限合伙人8.002.16%
12吴玲丽有限合伙人8.002.16%
13昝金利有限合伙人8.002.16%
14杨渊思有限合伙人8.002.16%
15白圣荣有限合伙人8.002.16%
合计370.02100.00%
（6）2022年11月，第四次合伙份额转让
2022年11月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意刘李成为本合伙
企业的有限合伙人；本合伙企业出资额不变，杭州众芯硅出资额减少至148.32万元。
2022年11月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、马行成、任保荣、杨渊
思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、
王东辉、古枫、白圣荣、刘李签署更新后的合伙协议。
2022年11月，临安众芯硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
105中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人148.3240.08%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3古枫有限合伙人20.005.41%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
5刘李有限合伙人20.005.41%
6刘雪姣有限合伙人12.003.24%
7王东辉有限合伙人12.003.24%
8 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
9马行成有限合伙人12.003.24%
10任保荣有限合伙人12.003.24%
11吴雨有限合伙人8.002.16%
12徐辉有限合伙人8.002.16%
13吴玲丽有限合伙人8.002.16%
14昝金利有限合伙人8.002.16%
15杨渊思有限合伙人8.002.16%
16白圣荣有限合伙人8.002.16%
合计370.02100.00%
（7）2023年4月，第五次合伙份额转让
2023年4月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意将马行成占有本
合伙企业的份额转让给杭州众芯硅；一致同意马行成退伙；本合伙企业出资额不变。
2023年4月，临安众芯硅的全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、任保荣、杨渊思、徐
辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、王东
辉、古枫、白圣荣、刘李签署更新后的合伙协议。
2023年4月，临安众芯硅完成了变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人160.3243.33%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3古枫有限合伙人20.005.41%
106中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
5刘李有限合伙人20.005.41%
6刘雪姣有限合伙人12.003.24%
7王东辉有限合伙人12.003.24%
8 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
9任保荣有限合伙人12.003.24%
10吴雨有限合伙人8.002.16%
11徐辉有限合伙人8.002.16%
12吴玲丽有限合伙人8.002.16%
13昝金利有限合伙人8.002.16%
14杨渊思有限合伙人8.002.16%
15白圣荣有限合伙人8.002.16%
合计370.02100.00%
（8）2023年11月，第六次合伙份额转让
2023 年 11月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意 YOONG NIAN
CHERN、马行成、邓耀敏、徐枭宇、熊加毫、郑志鹏、周远鹏、魏佳健、朱政挺、丁
夏楠、申志强、陈伟、刘煌、崔海阳、杜鹿鸣、杨怡昕、蔡宁远、董学克、周杲翔、马
浩然、张耀、郭亚飞、陆安明、杨晨、郎学文成为本合伙企业的有限合伙人；本合伙企业出资额不变。
2023年11月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、任保荣、杨渊思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、王东辉、
古枫、白圣荣、刘李、YOONG NIAN CHERN、马行成、邓耀敏、徐枭宇、熊加毫、郑
志鹏、周远鹏、魏佳健、朱政挺、丁夏楠、申志强、陈伟、刘煌、崔海阳、杜鹿鸣、杨
怡昕、蔡宁远、董学克、周杲翔、马浩然、张耀、郭亚飞、陆安明、杨晨、郎学文签署更新后的合伙协议。
2023年11月，临安众芯硅完成了工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
107中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人38.3210.36%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
4古枫有限合伙人20.005.41%
5刘李有限合伙人20.005.41%
6 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
7刘雪姣有限合伙人12.003.24%
8王东辉有限合伙人12.003.24%
9任保荣有限合伙人12.003.24%
10 YOONG NIANCHERN 有限合伙人 12.00 3.24%
11马行成有限合伙人12.003.24%
12杨渊思有限合伙人8.002.16%
13徐辉有限合伙人8.002.16%
14吴雨有限合伙人8.002.16%
15吴玲丽有限合伙人8.002.16%
16昝金利有限合伙人8.002.16%
17白圣荣有限合伙人8.002.16%
18邓耀敏有限合伙人8.002.16%
19徐枭宇有限合伙人8.002.16%
20熊加毫有限合伙人8.002.16%
21郑志鹏有限合伙人8.002.16%
22周远鹏有限合伙人8.002.16%
23魏佳健有限合伙人4.001.08%
24朱政挺有限合伙人4.001.08%
25丁夏楠有限合伙人4.001.08%
26申志强有限合伙人4.001.08%
27陈伟有限合伙人4.001.08%
28刘煌有限合伙人4.001.08%
29马浩然有限合伙人4.001.08%
30张耀有限合伙人4.001.08%
31郭亚飞有限合伙人4.001.08%
32陆安明有限合伙人4.001.08%
108中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
33杨晨有限合伙人4.001.08%
34崔海阳有限合伙人2.000.54%
35杜鹿鸣有限合伙人2.000.54%
36杨怡昕有限合伙人2.000.54%
37蔡宁远有限合伙人2.000.54%
38董学克有限合伙人2.000.54%
39周杲翔有限合伙人2.000.54%
40郎学文有限合伙人2.000.54%
合计370.02100.00%
（9）2024年6月，第七次合伙份额转让
2024年6月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意朱政挺退伙；本
合伙企业出资额不变，杭州众芯硅的出资额增加至42.32万元。
2024年6月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、任保荣、杨渊思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、王东辉、
古枫、白圣荣、刘李、YOONG NIAN CHERN、马行成、邓耀敏、徐枭宇、熊加毫、郑
志鹏、周远鹏、魏佳健、丁夏楠、申志强、陈伟、刘煌、崔海阳、杜鹿鸣、杨怡昕、蔡
宁远、董学克、周杲翔、马浩然、张耀、郭亚飞、陆安明、杨晨、郎学文签署更新后的合伙协议。
2024年6月，临安众芯硅完成了工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人42.3211.44%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
4古枫有限合伙人20.005.41%
5刘李有限合伙人20.005.41%
6 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
7刘雪姣有限合伙人12.003.24%
8王东辉有限合伙人12.003.24%
109中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
9任保荣有限合伙人12.003.24%
10 YOONG NIANCHERN 有限合伙人 12.00 3.24%
11马行成有限合伙人12.003.24%
12杨渊思有限合伙人8.002.16%
13徐辉有限合伙人8.002.16%
14吴雨有限合伙人8.002.16%
15吴玲丽有限合伙人8.002.16%
16昝金利有限合伙人8.002.16%
17白圣荣有限合伙人8.002.16%
18邓耀敏有限合伙人8.002.16%
19徐枭宇有限合伙人8.002.16%
20熊加毫有限合伙人8.002.16%
21郑志鹏有限合伙人8.002.16%
22周远鹏有限合伙人8.002.16%
23魏佳健有限合伙人4.001.08%
24丁夏楠有限合伙人4.001.08%
25申志强有限合伙人4.001.08%
26陈伟有限合伙人4.001.08%
27刘煌有限合伙人4.001.08%
28马浩然有限合伙人4.001.08%
29张耀有限合伙人4.001.08%
30郭亚飞有限合伙人4.001.08%
31陆安明有限合伙人4.001.08%
32杨晨有限合伙人4.001.08%
33崔海阳有限合伙人2.000.54%
34杜鹿鸣有限合伙人2.000.54%
35杨怡昕有限合伙人2.000.54%
36蔡宁远有限合伙人2.000.54%
37董学克有限合伙人2.000.54%
38周杲翔有限合伙人2.000.54%
39郎学文有限合伙人2.000.54%
合计370.02100.00%
110中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（10）2024年12月，第八次合伙份额转让
2024年11月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意张耀退伙；本合
伙企业出资额不变，杭州众芯硅的出资额增加至46.32万元。
2024年11月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、任保荣、杨渊思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、王东辉、
古枫、白圣荣、刘李、YOONG NIAN CHERN、马行成、邓耀敏、徐枭宇、熊加毫、郑
志鹏、周远鹏、魏佳健、丁夏楠、申志强、陈伟、刘煌、崔海阳、杜鹿鸣、杨怡昕、蔡
宁远、董学克、周杲翔、马浩然、郭亚飞、陆安明、杨晨、郎学文签署更新后的合伙协议。
2024年12月，临安众芯硅完成了工商变更登记。
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人46.3212.52%
2朱琳有限合伙人53.7014.51%
3 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 20.00 5.41%
4古枫有限合伙人20.005.41%
5刘李有限合伙人20.005.41%
6 GU JINGRAN 有限合伙人 12.00 3.24%
7刘雪姣有限合伙人12.003.24%
8王东辉有限合伙人12.003.24%
9任保荣有限合伙人12.003.24%
10 YOONG NIANCHERN 有限合伙人 12.00 3.24%
11马行成有限合伙人12.003.24%
12杨渊思有限合伙人8.002.16%
13徐辉有限合伙人8.002.16%
14吴雨有限合伙人8.002.16%
15吴玲丽有限合伙人8.002.16%
16昝金利有限合伙人8.002.16%
17白圣荣有限合伙人8.002.16%
18邓耀敏有限合伙人8.002.16%
111中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
19徐枭宇有限合伙人8.002.16%
20熊加毫有限合伙人8.002.16%
21郑志鹏有限合伙人8.002.16%
22周远鹏有限合伙人8.002.16%
23魏佳健有限合伙人4.001.08%
24丁夏楠有限合伙人4.001.08%
25申志强有限合伙人4.001.08%
26陈伟有限合伙人4.001.08%
27刘煌有限合伙人4.001.08%
28马浩然有限合伙人4.001.08%
29郭亚飞有限合伙人4.001.08%
30陆安明有限合伙人4.001.08%
31杨晨有限合伙人4.001.08%
32崔海阳有限合伙人2.000.54%
33杜鹿鸣有限合伙人2.000.54%
34杨怡昕有限合伙人2.000.54%
35蔡宁远有限合伙人2.000.54%
36董学克有限合伙人2.000.54%
37周杲翔有限合伙人2.000.54%
38郎学文有限合伙人2.000.54%
合计370.02100.00%
（11）2025年12月，第九次合伙份额转让
2025年11月，临安众芯硅全体合伙人作出变更决定书，一致同意古枫、邓耀敏、杨晨退伙；一致同意力健中成为本合伙企业的有限合伙人；本合伙企业出资额不变。
2025年11月，临安众芯硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、任保荣、杨渊思、徐辉、吴雨、GU JINGRAN、吴玲丽、昝金利、LEE EDWARD LI CANG、刘雪姣、王东辉、
白圣荣、刘李、YOONG NIAN CHERN、马行成、徐枭宇、熊加毫、郑志鹏、周远鹏、
魏佳健、丁夏楠、申志强、陈伟、刘煌、崔海阳、杜鹿鸣、杨怡昕、蔡宁远、董学克、
周杲翔、马浩然、郭亚飞、陆安明、郎学文、力健中签署更新后的合伙协议。
2025年12月，临安众芯硅完成工商变更登记。
112中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次变更完成后，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人3.020.82%
2朱琳有限合伙人73.7019.92%
3刘李有限合伙人34.009.19%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 22.00 5.95%
5任保荣有限合伙人21.505.81%
6力健中有限合伙人17.804.81%
7 GU JINGRAN 有限合伙人 13.80 3.73%
8 YOONG NIANCHERN 有限合伙人 13.50 3.65%
9马行成有限合伙人13.503.65%
10刘雪姣有限合伙人12.003.24%
11王东辉有限合伙人12.003.24%
12郑志鹏有限合伙人9.002.43%
13杨渊思有限合伙人9.002.43%
14周远鹏有限合伙人8.802.38%
15白圣荣有限合伙人8.802.38%
16徐辉有限合伙人8.802.38%
17熊加毫有限合伙人8.802.38%
18徐枭宇有限合伙人8.802.38%
19吴雨有限合伙人8.202.22%
20昝金利有限合伙人8.202.22%
21吴玲丽有限合伙人8.002.16%
22魏佳健有限合伙人4.801.30%
23陆安明有限合伙人4.001.08%
24丁夏楠有限合伙人4.001.08%
25郭亚飞有限合伙人4.001.08%
26马浩然有限合伙人4.001.08%
27申志强有限合伙人4.001.08%
28刘煌有限合伙人4.001.08%
29陈伟有限合伙人4.001.08%
30郎学文有限合伙人2.000.54%
31崔海阳有限合伙人2.000.54%
113中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
32周杲翔有限合伙人2.000.54%
33杜鹿鸣有限合伙人2.000.54%
34董学克有限合伙人2.000.54%
35蔡宁远有限合伙人2.000.54%
36杨怡昕有限合伙人2.000.54%
合计370.02100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，临安众芯硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人3.020.82%
2朱琳有限合伙人73.7019.92%
3刘李有限合伙人34.009.19%
4 LEE EDWARD LICANG 有限合伙人 22.00 5.95%
5任保荣有限合伙人21.505.81%
6力健中有限合伙人17.804.81%
7 GU JINGRAN 有限合伙人 13.80 3.73%
8 YOONG NIANCHERN 有限合伙人 13.50 3.65%
9马行成有限合伙人13.503.65%
10刘雪姣有限合伙人12.003.24%
11王东辉有限合伙人12.003.24%
12郑志鹏有限合伙人9.002.43%
13杨渊思有限合伙人9.002.43%
14周远鹏有限合伙人8.802.38%
15白圣荣有限合伙人8.802.38%
16徐辉有限合伙人8.802.38%
17熊加毫有限合伙人8.802.38%
18徐枭宇有限合伙人8.802.38%
19吴雨有限合伙人8.202.22%
20昝金利有限合伙人8.202.22%
21吴玲丽有限合伙人8.002.16%
22魏佳健有限合伙人4.801.30%
114中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
23陆安明有限合伙人4.001.08%
24丁夏楠有限合伙人4.001.08%
25郭亚飞有限合伙人4.001.08%
26马浩然有限合伙人4.001.08%
27申志强有限合伙人4.001.08%
28刘煌有限合伙人4.001.08%
29陈伟有限合伙人4.001.08%
30郎学文有限合伙人2.000.54%
31崔海阳有限合伙人2.000.54%
32周杲翔有限合伙人2.000.54%
33杜鹿鸣有限合伙人2.000.54%
34董学克有限合伙人2.000.54%
35蔡宁远有限合伙人2.000.54%
36杨怡昕有限合伙人2.000.54%
合计370.02100.00%
截至本报告书签署日，临安众芯硅的执行事务合伙人为杭州众芯硅，临安众芯硅的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，临安众芯硅不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
115中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4、执行事务合伙人基本情况
（1）基本情况
截至本报告书签署日，临安众芯硅的执行事务合伙人为杭州众芯硅，杭州众芯硅基本情况详见本报告书“第三节交易对方基本情况”之“一、发行股份及支付现金购买资产交易对方”之“（一）杭州众芯硅”。
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，临安众芯硅无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
临安众芯硅为标的公司员工持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
临安众芯硅最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计370.04370.02
负债总计0.740.69
所有者权益369.30369.33
营业收入--
营业利润-0.03-0.03
净利润-0.03-0.03
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产0.02
非流动资产370.02
资产总计370.04
116中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
流动负债0.74
非流动负债-
负债总计0.74
净资产369.30
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.03
利润总额-0.03
净利润-0.03
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额0.02
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额0.02
8、私募基金备案情况
临安众芯硅属于员工持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据临安众芯硅的合伙协议和其出具的证明文件，临安众芯硅存续期无固定期限，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，临安众芯硅无其他对外投资，临安众芯硅以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，临安众芯硅参
117中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
临安众芯硅上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位企业承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份
锁定期的，本人/本企业同意杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权
/合伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本企业将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/
合伙份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（四）临安众硅
1、基本信息
企业名称杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330185MA7CNCLN04
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1504室
主要办公地点 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1504室执行事务合伙人杭州众芯硅出资额289万元企业类型有限合伙企业
118中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
成立日期2021年11月2日一般项目：企业信用管理咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服经营范围务）；企业管理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年11月，合伙企业设立
2021年 11月，朱琳、GU JINGRAN、LEE EDWARD LI CANG共同出资设立临安众硅，企业类型为外商投资合伙企业（有限合伙企业），全体合伙人认缴出资总额为
101.50万元。经全体合伙人协商一致，同意委托朱琳为合伙企业的执行事务合伙人。
设立时，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱琳普通合伙人8.708.57%
2 GU JINGRAN 有限合伙人 34.80 34.29%
3 LEE EDWARDLI CANG 有限合伙人 58.00 57.14%
合计101.50100.00%
（2）2021年12月，第一次合伙份额转让及增资
2021年 12月，临安众硅的全体合伙人作出决定书，一致同意 GU JINGRAN、LEE
EDWARD LI CANG退伙，杭州众芯硅入伙；一致同意临安众硅的出资额由 101.50万元增加至500.00万元，朱琳出资额增加至30.00万元，杭州众芯硅出资额为470.00万元并变更杭州众芯硅为新的执行事务合伙人。
2021年12月，临安众硅的全体合伙人杭州众芯硅、朱琳签署更新后的合伙协议。
2021年12月，临安众硅完成工商变更登记。企业类型由外商投资合伙企业（有限合伙企业）变更为有限合伙企业。
本次变更完成后，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人470.0094.00%
2朱琳有限合伙人30.006.00%
合计500.00100.00%
119中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（3）2022年5月，第一次减资
2022年5月，临安众硅的全体合伙人作出决定书，一致同意临安众硅出资额由
500.00万元减少至289.00万元，朱琳出资额减少至28.90万元，杭州众芯硅出资额减少
至260.10万元。
2022年5月，临安众硅全体合伙人签署更新后的合伙协议。
2022年5月，临安众硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人260.1090.00%
2朱琳有限合伙人28.9010.00%
合计289.00100.00%
（4）2023年1月，第二次合伙份额转让
2023年1月，临安众硅全体合伙人作出决定书，一致同意杨振华成为临安众硅的
有限合伙人；合伙企业出资额不变，杭州众芯硅出资额减少至182.10万元，杨振华出资额为78.00万元。
2023年1月，临安众硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、杨振华签署更新后的合伙协议。
2023年1月，临安众硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州众芯硅普通合伙人182.1063.01%
2朱琳有限合伙人28.9010.00%
3杨振华有限合伙人78.0026.99%
合计289.00100.00%
（5）2025年12月，第三次合伙份额转让
2025年 12月，临安众硅全体合伙人作出决定书，一致同意 GU JINGRAN、严加建、众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）、众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限
120中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙）、林冠良成为本合伙企业的有限合伙人；本合伙企业的出资额不变，杭州众芯硅出资额减少至33.20万元，杨振华出资额增加至80.80万元，朱琳出资额增加至30.90万元，GU JINGRAN 出资额为 4.00 万元，严加建出资额为 10.00 万元，众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）出资额为90.40万元，众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）出资额为38.50万元，林冠良出资额为1.20万元。
2025年 12月，临安众硅全体合伙人杭州众芯硅、朱琳、杨振华、GU JINGRAN、严加建、众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）、众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）、林冠良签署更新后的合伙协议。
2025年12月，临安众硅完成工商变更登记。
本次变更完成后，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1杭州众芯硅普通合伙人33.2011.49%
2杭州众瞻有限合伙人90.4031.28%
3杨振华有限合伙人80.8027.96%
4杭州众臻有限合伙人38.5013.32%
5朱琳有限合伙人30.9010.69%
6严加建有限合伙人10.003.46%
7 GU JINGRAN 有限合伙人 4.00 1.38%
8林冠良有限合伙人1.200.42%
合计289.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，临安众硅的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1杭州众芯硅普通合伙人33.2011.49%
2杭州众瞻有限合伙人90.4031.28%
3杨振华有限合伙人80.8027.96%
4杭州众臻有限合伙人38.5013.32%
5朱琳有限合伙人30.9010.69%
6严加建有限合伙人10.003.46%
121中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
7 GU JINGRAN 有限合伙人 4.00 1.38%
8林冠良有限合伙人1.200.42%
合计289.00100.00%
截至本报告书签署日，临安众硅的执行事务合伙人为杭州众芯硅，临安众硅的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，杭州众芯硅不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，临安众硅的执行事务合伙人为杭州众芯硅，杭州众芯硅基本情况详见本报告书“第三节交易对方基本情况”之“一、发行股份及支付现金购买资产交易对方”之“（一）杭州众芯硅”。
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，临安众硅无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
临安众硅为标的公司员工持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
122中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
临安众硅最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计289.07289.10
负债总计0.190.19
所有者权益288.88288.91
营业收入--
营业利润-0.03-0.03
净利润-0.03-0.03
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产0.07
非流动资产289.00
资产总计289.07
流动负债0.19
非流动负债-
负债总计0.19
净资产288.88
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.03
利润总额-0.03
净利润-0.03
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
123中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
经营活动产生的现金流量净额-0.03
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-0.03
8、私募基金备案情况
临安众硅属于员工持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据临安众硅的合伙协议和其出具的证明文件，临安众硅存续期至2051年11月1日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，临安众硅无其他对外投资，临安众硅以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，临安众硅参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
临安众硅上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合
伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
124中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4.本人/本企业所持杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合
伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持众瞻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
125中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）“1.众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合
伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持众臻（杭州）管理咨询合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（五）杭州芯匠
1、基本信息
企业名称杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330185MA7MQE5D8K
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1509室
主要办公地点 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1509室执行事务合伙人朱琳出资额211万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年4月20日一般项目：企业管理；企业管理咨询（除依法须经批准的项目外，凭营业执经营范围照依法自主开展经营活动）
126中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年4月，合伙企业设立
2022年4月，朱琳、孙丽平共同出资设立杭州芯匠，企业类型为有限合伙企业，
全体合伙人认缴出资总额为211.00万元。经全体合伙人协商一致，同意委托朱琳为合伙企业的执行事务合伙人。
设立时，杭州芯匠的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱琳普通合伙人1.000.47%
2孙丽平有限合伙人210.0099.53%
合计211.00100.00%
（2）2022年12月，第一次合伙份额转让
2022年11月，杭州芯匠全体合伙人作出决定书，一致同意将孙丽平的份额转让给冯祎；一致同意孙丽平退伙。
2022年11月，杭州芯匠全体合伙人朱琳、冯祎签署更新后的合伙协议。
2022年12月，杭州芯匠完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州芯匠的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱琳普通合伙人1.000.47%
2冯祎有限合伙人210.0099.53%
合计211.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州芯匠的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱琳普通合伙人1.000.47%
2冯祎有限合伙人210.0099.53%
合计211.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州芯匠的执行事务合伙人为朱琳，杭州芯匠的产权结构图
127中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
如下：
朱琳（GP） 冯祎（LP）
0.47%99.53%
杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）
截至本报告书签署日，杭州芯匠不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，杭州芯匠的执行事务合伙人为朱琳，合伙人基本情况如下：
姓名朱琳曾用名无性别女国籍中国
身份证号4403011960********
住所及通讯地址广东省深圳市****是否取得其他国家或地区的居留权否
最近三年的职业和职务情况如下：
是否与任职单位存序号起止时间任职单位职务在产权关系
12018-05至今杭州众硅副总经理是
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州芯匠无其他对外投资情况。
6、主营业务发展状况
杭州芯匠为冯祎、朱琳个人投资的持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
128中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州芯匠最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计211.09211.09
负债总计0.220.22
所有者权益210.88210.88
营业收入--
营业利润-0.00-0.04
净利润-0.00-0.04
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产0.09
非流动资产211.00
资产总计211.09
流动负债0.22
非流动负债-
负债总计0.22
净资产210.88
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.00
利润总额-0.00
净利润-0.00
129中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.00
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-0.00
8、私募基金备案情况
杭州芯匠为个人投资者的持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据杭州芯匠的合伙协议和其出具的证明文件，杭州芯匠存续期为长期，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，杭州芯匠无其他对外投资，杭州芯匠以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，杭州芯匠参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
杭州芯匠上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，
本人/本企业同意杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份
130中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额
在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（六）杭州众诚芯
1、基本信息
企业名称杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330185MA2GM9U43G
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1510室
主要办公地点 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 A座 1510室
执行事务合伙人 GU HAIYANG出资额100万元企业类型有限合伙企业成立日期2019年5月13日服务：企业管理咨询、商务信息咨询、计算机信息技术咨询。（依法须经批经营范围准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2019年5月，合伙企业设立
2019 年 5 月，GU HAIYANG 和 ZHU SHAN 共同出资设立杭州众诚芯，设立时全
体合伙人认缴出资总额为1.00万元。
设立时，杭州众诚芯的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 普通合伙人 0.99 99.00%
2 ZHU SHAN 有限合伙人 0.01 1.00%
131中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
合计1.00100.00%
（2）2021年12月，第一次增资
2021年12月，杭州众诚芯全体合伙人作出变更决定书，一致同意合伙企业认缴出
资额由 1.00万元变更为 100.00 万元；普通合伙人 GU HAIYANG 认缴出资额由 0.99万
元变更为 99.00万元、出资比例 99.00%不变，有限合伙人 ZHU SHAN认缴出资额由 0.01万元变更为1.00万元、出资比例1.00%不变。
2021年12月，杭州众诚芯完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州众诚芯的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 普通合伙人 99.00 99.00%
2 ZHU SHAN 有限合伙人 1.00 1.00%
合计100.00100.00%
（3）2025年12月，第一次合伙份额转让
2025年 12月，杭州众诚芯全体合伙人作出变更决定书，一致同意普通合伙人 GU
HAIYANG 将其在合伙企业的财产份额 60.00%转让给新增的有限合伙人朱琳。有限合伙人 GU HAIYANG将其在合伙企业的财产份额 38.00%转让给新增的有限合伙人刘李。
2025年12月，杭州众诚芯完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州众诚芯的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 普通合伙人 1.00 1.00%
2朱琳有限合伙人60.0060.00%
3刘李有限合伙人38.0038.00%
4 ZHU SHAN 有限合伙人 1.00 1.00%
合计100.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州众诚芯的合伙人及出资情况如下：
132中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1 GU HAIYANG 普通合伙人 1.00 1.00%
2朱琳有限合伙人60.0060.00%
3刘李有限合伙人38.0038.00%
4 ZHU SHAN 有限合伙人 1.00 1.00%
合计100.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州众诚芯的执行事务合伙人为 GU HAIYANG，杭州众诚芯的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，杭州众诚芯不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，杭州众诚芯的执行事务合伙人为 GU HAIYANG，GUHAIYANG基本情况如下：
姓名 GU HAIYANG曾用名顾海洋性别男国籍美国
身份证号56163****（美国护照号）
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留权取得中国永久居留权
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12018-05至今杭州众硅总经理
133中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州众诚芯无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
杭州众诚芯为标的公司员工持股平台，无其他业务，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州众诚芯最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计100.03100.01
负债总计0.160.11
所有者权益99.8799.90
营业收入--
营业利润-0.03-0.03
净利润-0.03-0.03
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产0.03
非流动资产100.00
资产总计100.03
流动负债0.16
非流动负债-
负债总计0.16
净资产99.87
2）简要合并利润表
134中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.03
利润总额-0.03
净利润-0.03
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额0.02
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额0.02
8、私募基金备案情况
杭州众诚芯为员工持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据杭州众诚芯的合伙协议和其出具的证明文件，杭州众诚芯存续期至2049年5月12日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，杭州众诚芯无其他对外投资，杭州众诚芯以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，杭州众诚芯参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
杭州众诚芯上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期
135中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）的承诺函》。在前述杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份
额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（七）朱琳
1、基本情况
姓名朱琳曾用名无性别女国籍中国
身份证号4403011960********
住所及通讯地址广东省深圳市****是否取得其他国家或地区的居留权否
2、最近三年的职业和职务
是否与任职单位序号起止时间任职单位职务存在产权关系
12018-05至今杭州众硅副总经理、财务负责人是
136中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、控制的企业和关联企业的基本情况
截至本报告书签署日，朱琳控制的企业和关联企业情况如下：
注册资本序号企业名称经营范围关联关系（万元）
一般项目：企业管理；企业管理咨1朱琳担任执行事务杭州芯匠211.00询（除依法须经批准的项目外，凭合伙人的企业营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：企业管理咨询；财务咨杭州然进盛企询；认证咨询；信息咨询服务（不2业管理咨询合15.00朱琳担任执行事务含许可类信息咨询服务）（除依法伙企业（有限合合伙人的企业须经批准的项目外，凭营业执照依伙）法自主开展经营活动）
（八）台州金石投资
1、基本信息
企业名称浙江台州金石精密制造股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91331002MADP6KP939
注册地址浙江省台州市椒江区白云街道开投金融大厦1幢1001室-46号
主要办公地点浙江省台州市椒江区白云街道开投金融大厦1幢1001室-46号执行事务合伙人中信金石投资有限公司出资额500000万元企业类型有限合伙企业成立日期2024年7月10日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2024年7月，合伙企业设立
2024年7月，浙江吉利产投控股有限公司、浙江省产业基金有限公司、温岭市财
金股权投资有限公司（曾用名：温岭市金融控股有限公司（2016-05至2025-09））、
中信金石投资有限公司（曾用名：金石投资有限公司（2007-10至2025-03））、台州市临港产业带母基金有限公司、浙江省创新资本投资有限公司（曾用名：浙江金控投资有限公司（2017-10至2025-09））、金石润泽（淄博）投资咨询合伙企业（有限合伙）、浙江省创新投资私募基金管理有限公司（曾用名：浙江金投鼎新私募基金管理有限公司
137中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（2023-01至2025-09））共同出资设立台州金石投资，设立时全体合伙人认缴出资总
额为500000.00万元，并一致同意委托中信金石投资有限公司担任执行事务合伙人。
设立时，台州金石投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1中信金石投资有限公司普通合伙人53900.0010.78%
2浙江省创新投资私募基金管理有限普通合伙人100.000.02%
公司
3浙江吉利产投控股有限公司有限合伙人150000.0030.00%
4.浙江省产业基金有限公司有限合伙人137500.0027.50%
5温岭市财金股权投资有限公司有限合伙人90000.0018.00%
6台州市临港产业带母基金有限公司有限合伙人47500.009.50%
7浙江省创新资本投资有限公司有限合伙人19500.003.90%
8金石润泽（淄博）投资咨询合伙企业有限合伙人1500.000.30%（有限合伙）
合计500000.00100.00%
台州金石投资自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，台州金石投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1中信金石投资有限公司普通合伙人53900.0010.78%
2浙江省创新投资私募基金管理有限普通合伙人100.000.02%
公司
3浙江吉利产投控股有限公司有限合伙人150000.0030.00%
4.浙江省产业基金有限公司有限合伙人137500.0027.50%
5温岭市财金股权投资有限公司有限合伙人90000.0018.00%
6台州市临港产业带母基金有限公司有限合伙人47500.009.50%
7浙江省创新资本投资有限公司有限合伙人19500.003.90%
8金石润泽（淄博）投资咨询合伙企有限合伙人1500.000.30%业（有限合伙）
合计500000.00100.00%
截至本报告书签署日，台州金石投资的执行事务合伙人为中信金石投资有限公司，台州金石投资的产权结构图如下：
138中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，台州金石投资不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，台州金石投资的执行事务合伙人为中信金石投资有限公司，中信金石投资有限公司的基本情况如下：
企业名称中信金石投资有限公司
统一社会信用代码 91110000710935134P注册地址北京市朝阳区新源南路6号1号楼16层1601室主要办公地点北京市朝阳区新源南路6号1号楼16层1601室法定代表人常军胜注册资本210000万元
企业类型有限责任公司（法人独资）成立日期2007年10月11日实业投资；投资咨询、管理。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营经营范围活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；
不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，台州金石投资的对外投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
研发、设计和销售应用于人工智能训练
1沐曦集成电路（上海）40010.000.43%和推理、通用计算与图形渲染领域的全
股份有限公司 栈 GPU产品，并围绕 GPU 芯片提供配套的软件栈与计算平台
139中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
从事工业数字化、智能化领域的工业物
2广域铭岛数字科技有78419.1211.11%联网业务，构建全国首个打通汽车产业
限公司全场景、实现多链条融合发展的国家级“双跨"工业互联网平台军用飞机、民航飞机、航空发动机机体
结构件制造，是中航沈飞的第一大民营
3浙江西子航空工业集25877.772.94%复材结构件供应商，是国内最大的民营
团有限公司
商用航空结构件集成商，C919机体结构件制造、装配的民营总体单位
4 浙江光昊光电科技有 1442.81 4.07% 研发、生产和销售高性能 OLED材料及
限公司其他有机半导体材料
人形机器人、机器人关节的研发、生产5柏奥尼克机器人（宁541.673.85%和销售，具备从底层架构（电机、驱动波）有限公司器、减速器等）到机器人关节，再到机器人本体的全栈自研能力
聚焦端侧大模型及行业垂类大模型，提
6北京面壁智能科技有71.300.42%供涵盖基座模型与多模态模型的端侧
限责任公司大模型产品
6、主营业务发展状况
台州金石投资主营业务为股权投资，自2024年设立以来主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
台州金石投资最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计134771.1350181.84
负债总计6546.96204.58
所有者权益128224.1849977.26
营业收入35870.3692.34
营业利润28256.91-112.74
净利润28256.91-112.74
注：2024年、2025年财务数据均已经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
140中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年12月31日
资产总计134771.13
负债总计6546.96
净资产128224.18
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入35870.36
营业成本7613.45
营业利润28256.91
利润总额28256.91
净利润28256.91
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-26540.45
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额49990.00
现金及现金等价物净增加额23449.55
8、私募基金备案情况
台州金石投资已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SANE86。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据台州金石投资的合伙协议和其出具的证明文件，台州金石投资的存续期至
2032年8月4日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
台州金石投资非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
141中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（九）扬州朗智
1、基本信息
企业名称扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91321011MAEQ32M16J
扬州市蜀冈—瘦西湖风景名胜区城北街道瘦西湖路195号花都汇商务中心6注册地址号楼342室
主要办公地点 上海市浦东新区世纪大道 1788 号 T1第 28 层执行事务合伙人上海自贸区股权投资基金管理有限公司出资额17701万元企业类型有限合伙企业成立日期2025年7月29日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2025年7月，合伙企业设立
2025年7月，中国信达资产管理股份有限公司与上海自贸区股权投资基金管理有
限公司共同出资设立扬州朗智，并一致同意委托上海自贸区股权投资基金管理有限公司担任执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为17701.00万元。
设立时，扬州朗智的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海自贸区股权投资基金管理有普通合伙人1.000.01%
限公司
2中国信达资产管理股份有限公司有限合伙人17700.0099.99%
合计17701.00100.00%
扬州朗智自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，扬州朗智的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海自贸区股权投资基金管理有普通合伙人1.000.01%
限公司
142中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
2中国信达资产管理股份有限公司有限合伙人17700.0099.99%
合计17701.00100.00%
截至本报告书签署日，扬州朗智的执行事务合伙人为上海自贸区股权投资基金管理有限公司，扬州朗智的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，扬州朗智不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
（1）基本情况
截至本报告书签署日，扬州朗智的执行事务合伙人为上海自贸区股权投资基金管理有限公司，上海自贸区股权投资基金管理有限公司基本情况如下：
企业名称上海自贸区股权投资基金管理有限公司
统一社会信用代码 9131000033279744XF
注册地址 中国（上海）自由贸易试验区世纪大道 1788 号 T1第 28 层 1-2 单元
主要办公地点 中国（上海）自由贸易试验区世纪大道 1788 号 T1第 28 层 1-2 单元法定代表人吴剑平
注册资本10000.0005万元
143中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股）成立日期2015年2月28日
股权投资管理，创业投资管理，实业投资，投资咨询。【依法须经批准的项经营范围目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
（2）历史沿革
1）2015年2月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司成立2015年2月，上海陆家嘴金融发展有限公司、上海外高桥资产管理有限公司（曾用名：上海外高桥（集团）有限公司（1992-12至2015-08））、信达资本管理有限公司、中国东方资产管理股份有限公司（曾用名：中国东方资产管理公司（1999-10至2016-09））及会元投资管理（上海）有限公司共同发起设立上海自贸区股权投资基金
管理有限公司，设立时注册资本为1000.00万元。
设立时，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海陆家嘴金融发展有限公司200.0020.00%
2上海外高桥资产管理有限公司200.0020.00%
3信达资本管理有限公司200.0020.00%
4中国东方资产管理公司200.0020.00%
5会元投资管理（上海）有限公司200.0020.00%
合计1000.00100.00%
2）2017年9月，第一次增资
2017年6月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东召开股东会会议，
一致同意公司将未分配利润1400.00万元转增注册资本，本次增资后公司注册资本由
1000.00万元增加至2400.00万元，各股东股权比例不变。
2017年6月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东签署更新后的公司章程。
2017年9月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及出资情况如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
144中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海陆家嘴金融发展有限公司480.0020.00%
2上海外高桥资产管理有限公司480.0020.00%
3信达资本管理有限公司480.0020.00%
4中国东方资产管理股份有限公司480.0020.00%
5会元投资管理（上海）有限公司480.0020.00%
合计2400.00100.00%
3）2018年10月，第二次增资
2018年10月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东召开股东会会议，
一致同意公司注册资本由2400.00万元增加至3360.00万元；一致同意增加上海国际
集团有限公司、上海国际机场股份有限公司为股东，其中上海国际集团有限公司、上海国际机场股份有限公司分别认缴新增注册资本480.00万元。
2018年10月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东上海陆家嘴金融发
展有限公司、上海外高桥资产管理有限公司、信达资本管理有限公司、中国东方资产管
理股份有限公司、会元投资管理（上海）有限公司、上海国际集团有限公司、上海国际机场股份有限公司签署更新后的公司章程。
2018年10月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及出资情况如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海陆家嘴金融发展有限公司480.0014.29%
2上海外高桥资产管理有限公司480.0014.29%
3信达资本管理有限公司480.0014.29%
4中国东方资产管理股份有限公司480.0014.29%
5会元投资管理（上海）有限公司480.0014.29%
6上海国际集团有限公司480.0014.29%
7上海国际机场股份有限公司480.0014.29%
合计3360.00100.00%
4）2020年2月，第一次股权转让
145中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2019年4月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东召开股东会会议，
一致同意上海外高桥资产管理有限公司通过上海联合产权交易所将其所持有的上海自
贸区股权投资基金管理有限公司14.29%股权协议转让至上海外高桥集团股份有限公司。
2019年12月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东上海陆家嘴金融发
展有限公司、上海外高桥集团股份有限公司、信达资本管理有限公司、中国东方资产管
理股份有限公司、会元投资管理（上海）有限公司、上海国际集团有限公司、上海国际机场股份有限公司签署更新后的公司章程。
2020年2月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及出资情况如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海陆家嘴金融发展有限公司480.0014.29%
2上海外高桥集团股份有限公司480.0014.29%
3信达资本管理有限公司480.0014.29%
4中国东方资产管理股份有限公司480.0014.29%
5会元投资管理（上海）有限公司480.0014.29%
6上海国际集团有限公司480.0014.29%
7上海国际机场股份有限公司480.0014.29%
合计3360.00100.00%
5）2023年10月，第二次股权转让
2023年8月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东召开股东会会议，
一致同意上海陆家嘴金融发展有限公司将所持有上海自贸区股权投资基金管理有限公
司14.29%股权转让至上海联和投资有限公司。
2023年8月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东上海联和投资有限
公司、上海外高桥集团股份有限公司、信达资本管理有限公司、中国东方资产管理股份
有限公司、会元投资管理（上海）有限公司、上海国际集团有限公司、上海国际机场股份有限公司签署更新后的公司章程。
2023年10月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司完成工商变更登记。
146中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次变更完成后，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及出资情况如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海联和投资有限公司480.0014.29%
2上海外高桥集团股份有限公司480.0014.29%
3信达资本管理有限公司480.0014.29%
4中国东方资产管理股份有限公司480.0014.29%
5会元投资管理（上海）有限公司480.0014.29%
6上海国际集团有限公司480.0014.29%
7上海国际机场股份有限公司480.0014.29%
合计3360.00100.00%
6）2025年4月，第三次增资
2025年2月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东召开股东会会议，
一致同意公司将未分配利润6640.00万元转增注册资本，本次增资后公司注册资本由
3360.00万元增加至10000.00万元，各股东股权比例不变。
2025年2月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司全体股东签署更新后的公司章程。
2025年4月，上海自贸区股权投资基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及出资情况如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海联和投资有限公司1428.5714.29%
2上海外高桥集团股份有限公司1428.5714.29%
3信达资本管理有限公司1428.5714.29%
4中国东方资产管理股份有限公司1428.5714.29%
5会元投资管理（上海）有限公司1428.5714.29%
6上海国际集团有限公司1428.5714.29%
7上海国际机场股份有限公司1428.5714.29%
合计10000.00100.00%
（3）产权结构关系
截至本报告书签署日，上海自贸区股权投资基金管理有限公司的股东及股权结构如
147中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1上海联和投资有限公司1428.5714.29%
2上海外高桥集团股份有限公司1428.5714.29%
3信达资本管理有限公司1428.5714.29%
4中国东方资产管理股份有限公司1428.5714.29%
5会元投资管理（上海）有限公司1428.5714.29%
6上海国际集团有限公司1428.5714.29%
7上海国际机场股份有限公司1428.5714.29%
合计10000.00100.00%
截至本报告书签署日，上海自贸区股权投资基金管理有限公司无控股股东。上海自贸区股权投资基金管理有限公司的产权结构图如下：
（4）实际控制人基本情况上海自贸区股权投资基金管理有限公司无实际控制人。
（5）最近三年主营业务发展情况
上海自贸区股权投资基金管理有限公司主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
（6）最近两年的主要财务数据及最近一年简要财务报表
1）最近两年的主要财务数据
148中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
上海自贸区股权投资基金管理有限公司最近两年的主要财务数据如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计28948.7229027.85
负债总计3462.854057.16
所有者权益25485.8724970.68
营业收入4637.436874.35
营业利润2103.183263.49
净利润1620.122542.61
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
2）最近一年简要合并财务报表
上海自贸区股权投资基金管理有限公司最近一年简要财务报表数据如下：
*简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
资产总计28948.72
负债总计3462.85
净资产25485.87
*简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入4637.43
营业利润2103.18
净利润1620.12
（7）主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除扬州朗智外，上海自贸区股权投资基金管理有限公司合计对外投资38家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
1海南沪贸产业投资有限公司1000.00100.00%创业投资
2上海临港新片区科创产业股权投资基金管理1000.00100.00%股权投资管理
有限公司
149中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）3成都高新自贸区股权投资基金合伙企业（有限42000.002.38%股权投资合伙）
4扬州未来一期股权投资合伙企业（有限合伙）50000.001.00%股权投资
上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业
5171420.000.29%股权投资（有限合伙）
6扬州淮芯股权投资合伙企业（有限合伙）1010.000.10%股权投资
7嘉兴馨通股权投资合伙企业（有限合伙）1021.000.10%股权投资
8扬州芯链一号股权投资合伙企业（有限合伙）2081.000.05%股权投资
9嘉兴建自陆号股权投资合伙企业（有限合伙）2507.500.04%股权投资
10上海荣码企业管理咨询中心（有限合伙）3046.000.03%股权投资
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，扬州朗智无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
扬州朗智主营业务为股权投资，自2025年设立以来主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
扬州朗智最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计11834.09-
负债总计1.50-
所有者权益11832.59-
营业收入--
营业利润-38.68-
净利润-38.68-
注：2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
150中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
流动资产528.12
非流动资产11305.97
资产总计11834.09
流动负债1.50
非流动负债-
负债总计1.50
净资产11832.59
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-38.68
利润总额-38.68
净利润-38.68
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-37.18
投资活动产生的现金流量净额-11305.97
筹资活动产生的现金流量净额11871.27
现金及现金等价物净增加额528.12
8、私募基金备案情况
扬州朗智已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SBCU89。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据扬州朗智的合伙协议和其出具的证明文件，扬州朗智存续期至2030年8月17日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，扬州朗智无其他对外投资，扬州朗智以持有
151中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，扬州朗智参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
扬州朗智上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份
额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本企业将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额
在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（十）国孚领航
1、基本信息
企业名称上海国孚领航投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91310000MACU0BHX49
注册地址中国（上海）自由贸易试验区临港新片区水芸路432号5073室主要办公地点上海市黄浦区外马路688号4层执行事务合伙人上海孚腾私募基金管理有限公司出资额1000600万元
152中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
企业类型有限合伙企业成立日期2023年8月10日
一般项目：以自有资金从事投资活动；自有资金投资的资产管理服务；投资经营范围管理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2023年8月，合伙企业设立
2023年8月，上海孚腾私募基金管理有限公司、上海国有资本投资母基金有限公
司及上海观瑞孚淼企业管理服务合伙企业（有限合伙）共同出资设立国孚领航，并一致同意委托上海孚腾私募基金管理有限公司担任执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为1000600.00万元。
设立时，国孚领航的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海孚腾私募基金管理有限公司普通合伙人100.000.01%
2上海国有资本投资母基金有限公司有限合伙人1000000.0099.94%
3上海观瑞孚淼企业管理服务合伙企有限合伙人500.000.05%业（有限合伙）
合计1000600.00100.00%
国孚领航自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，国孚领航的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1上海孚腾私募基金管理普通合伙人100.000.01%
有限公司
2上海国有资本投资母基有限合伙人1000000.0099.94%
金有限公司上海观瑞孚淼企业管理3服务合伙企业（有限合有限合伙人500.000.05%伙）
合计1000600.00100.00%
截至本报告书签署日，国孚领航的执行事务合伙人为上海孚腾私募基金管理有限公司，国孚领航的产权结构图如下：
153中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，国孚领航不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，国孚领航的执行事务合伙人为上海孚腾私募基金管理有限公司，上海孚腾私募基金管理有限公司基本情况如下：
企业名称上海孚腾私募基金管理有限公司
统一社会信用代码 91310000MA7F8HN50U
注册地址中国（上海）自由贸易试验区临港新片区芦硕路56弄6号楼一区309室主要办公地点上海市黄浦区外马路688号4层法定代表人费飞注册资本10000万元企业类型其他有限责任公司成立日期2022年1月19日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券经营范围投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，国孚领航合计对外投资57家，主要投资情
154中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
况如下：
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例
1上海博远泓诚私募投资基金合伙企业（有限合伙）29748.0067.23%投资
2上海孚腾沪明私募基金合伙企业（有限合伙）41064.0050.00%投资
3上海临转院种子创业投资合伙企业（有限合伙）18200.0049.45%投资
4上海魔豆创业投资合伙企业（有限合伙）70100.0042.80%投资
5上海临科智慧创业投资合伙企业（有限合伙）24300.0041.15%投资
6上海元创未来私募基金合伙企业（有限合伙）51210.0039.05%投资
7上海具身智创创业投资合伙企业（有限合伙）66110.0037.82%投资
8上海涵泽创业投资合伙企业（有限合伙）35710.0033.60%投资
9上海君华孚创电子材料产业发展私募投资基金合伙66900.0029.75%投资企业（有限合伙）
10上海孚展创业投资合伙企业（有限合伙）275000.0029.09%投资
6、主营业务发展状况
国孚领航主营业务为股权投资，自2023年设立以来主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
国孚领航最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计468452.34214215.24
负债总计3800.183103.21
所有者权益464652.15211112.03
营业收入1299.211369.81
营业利润830.46669.97
净利润830.46669.97
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
155中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日
流动资产52.81
非流动资产468399.53
资产总计468452.34
流动负债179.81
非流动负债3620.37
负债总计3800.18
净资产464652.15
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入1299.21
营业成本468.75
营业利润830.46
利润总额830.46
净利润830.46
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-1093.20
投资活动产生的现金流量净额-261129.36
筹资活动产生的现金流量净额261589.42
现金及现金等价物净增加额-633.13
8、私募基金备案情况
国孚领航不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募
投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据国孚领航的合伙协议和其出具的证明文件，国孚领航存续期至2034年12月
13日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
156中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、穿透锁定情况
国孚领航非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十一）杭州富浙
1、基本信息
企业名称杭州富浙资通股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330102MAC7D9TF87
注册地址浙江省杭州市上城区元帅庙后88-2号620室-9
主要办公地点 浙江省杭州市西湖区西溪路 527 号浙商创投中心 B座 8楼执行事务合伙人浙江富浙私募基金管理有限公司出资额201801万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年12月28日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年12月，合伙企业设立2022年12月，浙江富浙私募基金管理有限公司（曾用名：浙江富浙股权投资基金管理有限公司（2018-06至2024-05））、浙江省产投集团有限公司（曾用名：浙江富浙资本管理有限公司（2017-08至2024-03））及杭州富浙道正股权投资合伙企业（有限合伙）共同出资设立杭州富浙，并一致同意委托浙江富浙私募基金管理有限公司担任执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为51801.00万元。
设立时，杭州富浙的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1浙江富浙私募基金管理有限公司普通合伙人1.000.00%
2浙江省产投集团有限公司有限合伙人50000.0096.52%3杭州富浙道正股权投资合伙企业（有有限合伙人1800.003.47%限合伙）
合计51801.00100.00%
（2）2023年7月，第一次增资
157中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年7月，杭州富浙全体合伙人作出变更决定书，一致同意增资，合伙企业出
资总额由51801.00万元增加至201801.00万元，原有限合伙人浙江省产投集团有限公司出资额由50000.00万元增加至200000.00万元。
2023年7月，杭州富浙全体合伙人签署更新后的合伙协议。
2023年7月，杭州富浙完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州富浙的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1浙江富浙私募基金管理有限公司普通合伙人1.000.00%
2浙江省产投集团有限公司有限合伙人200000.0099.11%3杭州富浙道正股权投资合伙企业（有有限合伙人1800.000.89%限合伙）
合计201801.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州富浙的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1浙江富浙私募基金管理有限公司普通合伙人1.000.00%
2浙江省产投集团有限公司有限合伙人200000.0099.11%
3杭州富浙道正股权投资合伙企业有限合伙人1800.000.89%（有限合伙）
合计201801.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州富浙的执行事务合伙人为浙江富浙私募基金管理有限公司，杭州富浙的产权结构图如下：
158中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，杭州富浙不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，杭州富浙的执行事务合伙人为浙江富浙私募基金管理有限公司，浙江富浙私募基金管理有限公司基本情况如下：
企业名称浙江富浙私募基金管理有限公司
统一社会信用代码 91330106MA2CCHK51A
注册地址浙江省杭州市上城区元帅庙后88-2号620室
主要办公地点 浙江省杭州市西湖区西溪路 527 号钱江浙商创投中心 B座 8楼法定代表人叶秀永注册资本10000万元企业类型其他有限责任公司成立日期2018年6月15日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券经营范围投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州富浙合计对外投资11家，主要投资情况如下：
序号企业名称注册资本（万元）直接持股比例主营业务
159中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
1杭州富浙联芯企业管理合伙5010.10100.00%股权投资企业（有限合伙）
2庆元富浙安元股权投资合伙30001.0065.00%化学制品零售企业（有限合伙）
路威凯腾机遇壹号（广州）3股权投资基金合伙企业（有12701.0064.56%股权投资限合伙）
4谜思缇可机遇美妆（广州）20200.0048.51%股权投资
有限公司
5杭州博日科技股份有限公司6331.7118.95%生物试剂
6宁波科元精化有限公司80436.127.40%化工
7浙江丽水中欣晶圆半导体材350000.005.71%集成电路材料
料有限公司
8安徽长飞先进半导体股份有31162.152.23%集成电路制造
限公司
9杭州高特电子设备股份有限36000.000.86%电池检测设备
公司
10 摩尔线程智能科技（北京） 47002.82 0.29% GPU及相关产品的
股份有限公司研发、设计和销售
6、主营业务发展状况
杭州富浙主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州富浙最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计250065.08201265.63
负债总计2.457.25
所有者权益250062.63201258.38
营业收入--
营业利润51965.248198.16
净利润51965.248198.16
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
160中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产102.70
非流动资产249962.38
资产总计250065.08
流动负债2.45
非流动负债-
负债总计2.45
净资产250062.63
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润51965.24
利润总额51965.24
净利润51965.24
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-86.78
投资活动产生的现金流量净额-7734.44
筹资活动产生的现金流量净额-3160.99
现金及现金等价物净增加额-10982.21
8、私募基金备案情况
杭州富浙已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SZG329。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据杭州富浙的合伙协议和其出具的证明文件，杭州富浙存续期至2030年12月
30日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
161中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、穿透锁定情况
杭州富浙非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十二）浙江富浙
1、基本信息
企业名称浙江富浙富创股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91331102MAC7CXE85P注册地址浙江省丽水市莲都区北苑路190号1202室
主要办公地点 浙江省杭州市西湖区西溪路 527 号钱江浙商创投中心 B座 8楼执行事务合伙人浙江富浙私募基金管理有限公司出资额304500万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年12月28日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年12月，合伙企业设立2022年12月，浙江富浙私募基金管理有限公司（曾用名：浙江富浙股权投资基金管理有限公司（2018-06至2024-05）、浙江省产投集团有限公司（曾用名：浙江富浙资本管理有限公司（2017-08至2024-03））、建信领航战略性新兴产业发展基金（有限合伙）、丽水市高质量绿色发展产业基金有限公司、松阳县国有资本投资运营集
团有限公司（曾用名：松阳县国有资本投资经营集团有限公司（2018-05至2018-06）、
松阳县国有资产投资经营有限公司（日期不明至2018-05））、丽水市绿色产业发展基
金有限公司、丽水市富处股权投资合伙企业（有限合伙）、浙江浙盐控股有限公司及杭
州富浙善能企业管理合伙企业（有限合伙）全体合伙人共同出资设立浙江富浙，并一致同意委托浙江富浙私募基金管理有限公司担任执行事务合伙人。设立时，合伙企业认缴出资总额为304500.00万元。
设立时，浙江富浙的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
162中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1浙江富浙私募基金管理有限公司普通合伙人1000.000.33%
2浙江省产投集团有限公司有限合伙人120000.0039.41%
3建信领航战略性新兴产业发展基有限合伙人52500.0017.24%金（有限合伙）
4丽水市高质量绿色发展产业基金有限合伙人50000.0016.42%
有限公司
5松阳县国有资本投资运营集团有有限合伙人30000.009.85%
限公司
6丽水市绿色产业发展基金有限公有限合伙人30000.009.85%
司7丽水市富处股权投资合伙企业（有有限合伙人10000.003.28%限合伙）
8浙江浙盐控股有限公司有限合伙人10000.003.28%
9杭州富浙善能企业管理合伙企业有限合伙人1000.000.33%（有限合伙）
合计304500.00100.00%
浙江富浙自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，浙江富浙的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1浙江富浙私募基金管理有限公司普通合伙人1000.000.33%
2浙江省产投集团有限公司有限合伙人120000.0039.41%
3建信领航战略性新兴产业发展基金有限合伙人52500.0017.24%（有限合伙）
4丽水市高质量绿色发展产业基金有有限合伙人50000.0016.42%
限公司
5松阳县国有资本投资运营集团有限有限合伙人30000.009.85%
公司
6丽水市绿色产业发展基金有限公司有限合伙人30000.009.85%7丽水市富处股权投资合伙企业（有限有限合伙人10000.003.28%合伙）
8浙江浙盐控股有限公司有限合伙人10000.003.28%9杭州富浙善能企业管理合伙企业（有有限合伙人1000.000.33%限合伙）
合计304500.00100.00%
截至本报告书签署日，浙江富浙的执行事务合伙人为浙江富浙私募基金管理有限公司，浙江富浙的产权结构图如下：
163中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，浙江富浙不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，浙江富浙的执行事务合伙人为浙江富浙私募基金管理有限公司，浙江富浙私募基金管理有限公司基本情况如下：
企业名称浙江富浙私募基金管理有限公司
统一社会信用代码 91330106MA2CCHK51A
注册地址浙江省杭州市上城区元帅庙后88-2号620室
主要办公地点 浙江省杭州市西湖区西溪路 527 号钱江浙商创投中心 B座 8楼法定代表人叶秀永注册资本10000万元企业类型其他有限责任公司成立日期2018年6月15日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券经营范围投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，浙江富浙合计对外投资19家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
1 浙江创豪半导体有限 77500.00 12.90% 面向光电、AI 算力领域的 FCBGA 和
164中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
公司 FCCSP 封装基板
江苏华纳环保科技有机舱罩、导流罩、拉挤板、环保设备、48332.7210.79%限公司风电运维以及充电桩
7杭州华得森生物技术
精准化医疗领域的循环肿瘤细胞检测
3048.138.22%
有限公司分析仪器和诊断试剂产品
药学研究、临床研究、中药研究、第三
5 浙江和泽医药科技股 5475.00 7.58% 方检测、注册申报、S-CDMO/CMO 服
份有限公司务
芯与物（上海）技术 全球导航卫星系统（GNSS）应用的定6 4558.70 7.06%有限公司位芯片及解决方案
浙江拓感科技有限公 高性能二类超晶格（T2SL）制冷型红外8 2406.56 5.00%司探测芯片及红外探测器
9宁波隔空智能科技有885.104.95%微波雷达芯片的设计
限公司
安徽长飞先进半导体 SIC MOSFET、SBD 以及 GaN on SiC3 31162.15 2.98%股份有限公司射频器件
2浙江丽水中欣晶圆半350000.002.86%大尺寸半导体硅外延片
导体材料有限公司
10苏州翰尔西医疗器械154.292.70%医用注射笔
开发有限公司
6、主营业务发展状况
浙江富浙主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
浙江富浙最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计247904.91199729.57
负债总计383.3071.52
所有者权益247521.61199658.04
营业收入--
营业利润4744.7913212.53
净利润4744.7913212.53
165中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产48821.06
非流动资产199083.85
资产总计247904.91
流动负债383.30
非流动负债-
负债总计383.30
净资产247521.61
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润4744.79
利润总额4744.79
净利润4744.79
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-2964.20
投资活动产生的现金流量净额-17223.18
筹资活动产生的现金流量净额43118.77
现金及现金等价物净增加额22931.40
8、私募基金备案情况
浙江富浙已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SZS419。
166中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
9、存续期与锁定期匹配情况
根据浙江富浙的合伙协议和其出具的证明文件，浙江富浙存续期至2030年4月19日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
浙江富浙非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十三）深圳达晨
1、基本信息
企业名称深圳市达晨创程私募股权投资基金企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91440300MA5H8Q76XF
注册地址深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层
主要办公地点深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层执行事务合伙人深圳市达晨财智创业投资管理有限公司出资额504100万元企业类型有限合伙成立日期2022年3月22日以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中国证券投资经营范围基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年3月，合伙企业设立
2022年3月，深圳市达晨财智创业投资管理有限公司与深圳市财智创赢私募股权
投资企业（有限合伙）等3名有限合伙人共同发起设立深圳达晨，设立时总出资额为
200000.00万元，由深圳市达晨财智创业投资管理有限公司担任执行事务合伙人。
设立时，深圳达晨的合伙人及出资结构如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有限普通合伙人10000.005.00%
公司
2深圳市财智创赢私募股权投资企业有限合伙人100000.0050.00%（有限合伙）
3湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人50000.0025.00%
167中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
4深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人40000.0020.00%
合计200000.00100.00%
（2）2022年5月，第一次合伙份额转让及第一次减资
2022年4月，深圳达晨全体合伙人作出变更决定书，同意深圳市财智创赢私募股
权投资企业（有限合伙）将其持有的深圳达晨全部合伙份额转让给深圳市达晨创元股权
投资企业（有限合伙）；同意有限合伙人深圳市达晨创业投资有限公司、湖南电广传媒股份有限公司减少出资额；同意新增有限合伙人云南金产股权投资基金合伙企业（有限合伙）；同意总出资额由200000.00万元减少至140000.00万元。
2022年4月，深圳市财智创赢私募股权投资企业（有限合伙）与深圳市达晨创元
股权投资企业（有限合伙）签署《财产份额转让协议书》，约定由深圳市财智创赢私募股权投资企业（有限合伙）将其持有的深圳达晨71.43%的合伙份额转让给深圳市达晨
创元股权投资企业（有限合伙）。
2022年5月，深圳达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，深圳达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有普通合伙人10000.007.14%
限公司2深圳市达晨创元股权投资企业（有有限合伙人100000.0071.43%限合伙）
3湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.0010.71%
4深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人10000.007.14%
5云南金产股权投资基金合伙企业有限合伙人5000.003.57%（有限合伙）
合计140000.00100.00%
（3）2023年4月，第二次合伙份额转让及第一次增资
2023年3月，深圳达晨全体合伙人作出变更决定书，同意深圳市达晨创元股权投
资企业（有限合伙）退伙；同意深圳市达晨财智创业投资管理有限公司减少出资额；同
意湖南广播影视集团有限公司、深圳开源证券投资有限公司等10名有限合伙人入伙；
同意合伙企业认缴出资总额由140000.00万元变更为215200.00万元。
168中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年4月，深圳达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，深圳达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有普通合伙人6000.002.79%
限公司
2常德市达晨创程私募股权投资企有限合伙人32100.0014.92%业（有限合伙）3江西省现代产业引导基金（有限合有限合伙人30000.0013.94%伙）
4湖南省湘江产业投资基金合伙企有限合伙人30000.0013.94%业（有限合伙）
5招商财富资产管理有限公司有限合伙人27600.0012.83%
6江西省国有资本运营控股集团有有限合伙人20000.009.29%
限公司
7湖南广播影视集团有限公司有限合伙人15000.006.97%
8湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.006.97%
9深圳开源证券投资有限公司有限合伙人10000.004.65%
10深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人10000.004.65%
11重庆唯品会投资有限公司有限合伙人5000.002.32%
12云南金产股权投资基金合伙企业有限合伙人5000.002.32%（有限合伙）
13武汉洪创投资管理有限公司有限合伙人5000.002.32%
14湖南盛力投资有限责任公司有限合伙人4500.002.09%
合计215200.00100.00%
（4）2024年4月，第三次合伙份额转让及第二次增资
2023年12月，深圳达晨全体合伙人作出变更决定书，同意无锡惠开正源创业投资
合伙企业（有限合伙）等8名有限合伙人入伙；同意有限合伙人湖南盛力投资有限责任
公司增加出资额；同意合伙企业认缴出资总额由215200.00万元增加至378700.00万元。
2024年4月，深圳达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，深圳达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有限普通合伙人6000.001.58%
公司
2太保长航股权投资基金（武汉）合有限合伙人51000.0013.47%
伙企业（有限合伙）
169中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
3常德市达晨创程私募股权投资企业有限合伙人32100.008.48%（有限合伙）
4湖南省湘江产业投资基金合伙企业有限合伙人30000.007.92%（有限合伙）
5成都高新策源投资集团有限公司有限合伙人30000.007.92%6江西省现代产业引导基金（有限合有限合伙人30000.007.92%伙）
7招商财富资产管理有限公司有限合伙人27600.007.29%
8东莞市产投发展母基金合伙企业有限合伙人20000.005.28%（有限合伙）
9渝深（重庆）科技创新私募股权投有限合伙人20000.005.28%
资基金合伙企业（有限合伙）
10江西省国有资本运营控股集团有限有限合伙人20000.005.28%
公司
11湖南广播影视集团有限公司有限合伙人15000.003.96%
12湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.003.96%
13湖南盛力投资有限责任公司有限合伙人15000.003.96%
14江西中文传媒蓝海国际投资有限公有限合伙人15000.003.96%
司
15深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人10000.002.64%
16深圳开源证券投资有限公司有限合伙人10000.002.64%17东营前程创业投资合伙企业（有限有限合伙人7000.001.85%合伙）
18无锡惠开正源创业投资合伙企业有限合伙人5000.001.32%（有限合伙）
19重庆唯品会投资有限公司有限合伙人5000.001.32%
20武汉洪创投资管理有限公司有限合伙人5000.001.32%
21烟台市财金新动能投资有限公司有限合伙人5000.001.32%
22云南金产股权投资基金合伙企业有限合伙人5000.001.32%（有限合伙）
合计378700.00100.00%
（5）2025年8月，第四次合伙份额转让及第三次增资
2025年4月，深圳达晨全体合伙人作出变更决定书，同意长沙天心经开创业投资
基金合伙企业（有限合伙）等共10名有限合伙人入伙；同意合伙企业认缴出资总额由
378700.00万元增加至504100.00万元。
2025年8月，深圳达晨完成工商变更登记。
170中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次变更完成后，深圳达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有限普通合伙人6000.001.19%
公司
2太保长航股权投资基金（武汉）合有限合伙人51000.0010.12%
伙企业（有限合伙）
3友邦人寿保险有限公司有限合伙人50000.009.92%
4常德市达晨创程私募股权投资企业有限合伙人33600.006.67%（有限合伙）
5成都高新策源投资集团有限公司有限合伙人30000.005.95%6江西省现代产业引导基金（有限合有限合伙人30000.005.95%伙）
7湖南省湘江产业投资基金合伙企业有限合伙人30000.005.95%（有限合伙）
8招商财富资产管理有限公司有限合伙人27600.005.48%
9中美联泰大都会人寿保险有限公司有限合伙人25000.004.96%
10渝深（重庆）科技创新私募股权投有限合伙人20000.003.97%
资基金合伙企业（有限合伙）
11东莞市产投发展母基金合伙企业有限合伙人20000.003.97%（有限合伙）
12江西省国有资本运营控股集团有限有限合伙人20000.003.97%
公司
13湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.002.98%
14湖南盛力投资有限责任公司有限合伙人15000.002.98%
15江西中文传媒蓝海国际投资有限公有限合伙人15000.002.98%
司
16湖南广播影视集团有限公司有限合伙人15000.002.98%
17上海建工集团投资有限公司有限合伙人10000.001.98%
18上海浦东引领区海通私募投资基金有限合伙人10000.001.98%
合伙企业（有限合伙）
19深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人10000.001.98%
20深圳开源证券投资有限公司有限合伙人10000.001.98%21东营前程创业投资合伙企业（有限有限合伙人7000.001.39%合伙）
22河北高速天呈投资管理有限公司有限合伙人6000.001.19%
23烟台市财金新动能投资有限公司有限合伙人5000.000.99%
24恒安标准人寿保险有限公司有限合伙人5000.000.99%
25云南金产股权投资基金合伙企业有限合伙人5000.000.99%（有限合伙）
26武汉洪创投资管理有限公司有限合伙人5000.000.99%
27重庆唯品会投资有限公司有限合伙人5000.000.99%
171中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
28无锡惠开正源创业投资合伙企业有限合伙人5000.000.99%（有限合伙）
29浙江浙商八婺专精股权投资基金合有限合伙人5000.000.99%
伙企业（有限合伙）
30武汉洪山新动能产业投资母基金管有限合伙人5000.000.99%
理合伙企业（有限合伙）
31长沙天心经开创业投资基金合伙企有限合伙人5000.000.99%业（有限合伙）
32深圳市福田资本运营集团有限公司有限合伙人2900.000.58%
合计504100.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，深圳达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有限普通合伙人6000.001.19%
公司
2太保长航股权投资基金（武汉）合有限合伙人51000.0010.12%
伙企业（有限合伙）
3友邦人寿保险有限公司有限合伙人50000.009.92%
4常德市达晨创程私募股权投资企业有限合伙人33600.006.67%（有限合伙）
5成都高新策源投资集团有限公司有限合伙人30000.005.95%6江西省现代产业引导基金（有限合有限合伙人30000.005.95%伙）
7湖南省湘江产业投资基金合伙企业有限合伙人30000.005.95%（有限合伙）
8招商财富资产管理有限公司有限合伙人27600.005.48%
9中美联泰大都会人寿保险有限公司有限合伙人25000.004.96%
10渝深（重庆）科技创新私募股权投有限合伙人20000.003.97%
资基金合伙企业（有限合伙）
11东莞市产投发展母基金合伙企业有限合伙人20000.003.97%（有限合伙）
12江西省国有资本运营控股集团有限有限合伙人20000.003.97%
公司
13湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.002.98%
14湖南盛力投资有限责任公司有限合伙人15000.002.98%
15江西中文传媒蓝海国际投资有限公有限合伙人15000.002.98%
司
16湖南广播影视集团有限公司有限合伙人15000.002.98%
17上海建工集团投资有限公司有限合伙人10000.001.98%
172中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
18上海浦东引领区海通私募投资基金有限合伙人10000.001.98%
合伙企业（有限合伙）
19深圳市达晨创业投资有限公司有限合伙人10000.001.98%
20深圳开源证券投资有限公司有限合伙人10000.001.98%21东营前程创业投资合伙企业（有限有限合伙人7000.001.39%合伙）
22河北高速天呈投资管理有限公司有限合伙人6000.001.19%
23烟台市财金新动能投资有限公司有限合伙人5000.000.99%
24恒安标准人寿保险有限公司有限合伙人5000.000.99%
25云南金产股权投资基金合伙企业有限合伙人5000.000.99%（有限合伙）
26武汉洪创投资管理有限公司有限合伙人5000.000.99%
27重庆唯品会投资有限公司有限合伙人5000.000.99%
28无锡惠开正源创业投资合伙企业有限合伙人5000.000.99%（有限合伙）
29浙江浙商八婺专精股权投资基金合有限合伙人5000.000.99%
伙企业（有限合伙）
30武汉洪山新动能产业投资母基金管有限合伙人5000.000.99%
理合伙企业（有限合伙）
31长沙天心经开创业投资基金合伙企有限合伙人5000.000.99%业（有限合伙）
32深圳市福田资本运营集团有限公司有限合伙人2900.000.58%
合计504100.00100.00%
截至本报告书签署日，深圳达晨的执行事务合伙人为深圳市达晨财智创业投资管理有限公司，深圳达晨的产权结构图如下：
173中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，深圳达晨不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，深圳达晨的执行事务合伙人为深圳市达晨财智创业投资管理有限公司，深圳市达晨财智创业投资管理有限公司基本情况如下：
企业名称深圳市达晨财智创业投资管理有限公司
统一社会信用代码 91440300682017028L
注册地址深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层
主要办公地点深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层法定代表人刘昼
注册资本18668.5714万元企业类型有限责任公司成立日期2008年12月15日受托管理创业投资企业创业资本；创业投资咨询；为创业企业提供创业管理
服务（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许经营范围可后方可经营）；股权投资；财务咨询、企业管理咨询、受托资产管理（不含证券、保险、基金、金融业务、人才中介服务及其它限制项目）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，深圳达晨合计对外投资74家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
1北京智程企业管理中心9800.00100.00%股权投资（有限合伙）
听象科技（深圳）有限公
2114.1611.37%聚焦于人工智能听力解决
司方案领域
镭神泰克科技（苏州）有限
31542.5810.31%半导体领域高端激光装备
公司的研发、生产与销售杭州得润宝油科技股份有
43721.429.23%特种工业润滑剂的研发、生
限公司产、销售
提供 LFS文件私有云系统
5深圳市连用科技有限公司1597.398.94%系列软件产品和行业智慧
应用解决方案广州阿凡提电子科技有限公
61832.517.50%汽车行业的数字销售
司
汇耀品尚能源科技（嘉兴）
7870.976.53%聚焦柔性光伏支架的研发、有限公司设计、制造与智慧运维
174中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例新一代零碳清洁发电技术
8上海慕帆动力科技有限公司1458.796.41%
及产品的开发近红外光谱分析技术的研
9无锡迅杰光远科技有限公司1060.776.29%
发、应用及解决方案提供江苏优众微纳半导体科技有
1014214.656.10%半导体制程的微纳器件设
限公司计、研发及生产
6、主营业务发展状况
深圳达晨主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变更。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
深圳达晨最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计407574.96298882.51
负债总计-1303.361612.50
所有者权益408878.32297270.01
营业收入--
营业利润-10481.6911684.44
净利润-10481.6911684.44
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产407574.96
非流动资产-
资产总计407574.96
流动负债-1303.36
非流动负债-
负债总计-1303.36
175中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
净资产408878.32
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-10481.69
利润总额-10481.69
净利润-10481.69
8、私募基金备案情况
深圳达晨已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SVQ442。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据深圳达晨的合伙协议和其出具的证明文件，深圳达晨存续期至2030年3月24日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
深圳达晨非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十四）杭州达晨
1、基本信息
企业名称杭州达晨创程股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330110MA7JU3RG1X
注册地址 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路 1155 号创业广场 B座 1410 室主要办公地点上海市浦东新区浦东南路1088号中融大厦1301室执行事务合伙人深圳市达晨财智创业投资管理有限公司出资额300480万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年3月11日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
176中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年3月，合伙企业设立
2022年3月，窦勇、深圳市达晨财智创业投资管理有限公司共同出资设立杭州达晨，企业类型为有限合伙企业，全体合伙人认缴出资总额为5000.00万元。经全体合伙人协商一致，同意委托深圳市达晨财智创业投资管理有限公司为合伙企业的执行事务合伙人。
设立时，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管普通合伙人4900.0098.00%
理有限公司
2窦勇有限合伙人100.002.00%
合计5000.00100.00%
（2）2022年5月，第一次合伙份额转让及第一次增资
2022年5月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意湖南电广传媒股份有限
公司、深圳市达晨创元股权投资企业（有限合伙）成为杭州达晨的有限合伙人；一致同
意窦勇退伙；一致同意合伙企业的出资额由5000.00万元增加至100000.00万元，并同步修改合伙协议。
2022年5月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管理普通合伙人3000.003.00%
有限公司
2深圳市达晨创元股权投资企业有限合伙人82000.0082.00%（有限合伙）
3湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.0015.00%
合计100000.00100.00%
（3）2022年12月，第二次合伙份额转让及第二次增资
2022年12月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意招商财富资产管理有限
公司、芜湖歌斐颂雅股权投资中心（有限合伙）、芜湖歌斐颂星股权投资中心（有限合
177中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
伙）、杭州产业投资有限公司成为杭州达晨的有限合伙人；一致同意合伙企业的出资额
由100000.00万元增加至161090.00万元，并同步修改合伙协议。
2022年12月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有普通合伙人3000.001.86%
限公司2深圳市达晨创元股权投资企业（有有限合伙人89000.0055.25%限合伙）
3杭州产业投资有限公司有限合伙人16000.009.93%4芜湖歌斐颂雅股权投资中心（有限有限合伙人15440.009.58%合伙）
5湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.009.31%
6招商财富资产管理有限公司有限合伙人15000.009.31%7芜湖歌斐颂星股权投资中心（有限有限合伙人7650.004.75%合伙）
合计161090.00100.00%
（4）2023年5月，第三次合伙份额转让
2023年4月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意本合伙企业的出资额不变；一致同意浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限公司、烟台隆畅投资合伙企业（有限合伙）、浙江省产业基金有限公司成为本合伙企业的有限合伙人；一致同意杭州产业投资有限公司退伙，并同步修改合伙协议。
2023年5月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管普通合伙人3000.001.86%
理有限公司
2深圳市达晨创元股权投资企有限合伙人69030.0042.85%业（有限合伙）
3芜湖歌斐颂雅股权投资中心有限合伙人21355.0013.26%（有限合伙）
4招商财富资产管理有限公司有限合伙人20050.0012.45%
5湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.009.31%
178中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
6浙江省产业基金有限公司有限合伙人15000.009.31%
7芜湖歌斐颂星股权投资中心有限合伙人9655.005.99%（有限合伙）8烟台隆畅投资合伙企业（有限有限合伙人5000.003.10%合伙）
9浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限有限合伙人3000.001.86%
公司
合计161090.00100.00%
（5）2023年11月，第四次合伙份额转让及第三次增资
2023年10月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意长三角（嘉兴）战略新
兴产业投资合伙企业（有限合伙）、芜湖歌斐颂琦股权投资中心（有限合伙）、江西省
文信一号文化产业发展投资基金（有限合伙）、江西省文信二号文化产业发展投资基金（有限合伙）、宁波梅山保税港区图生霖智股权投资中心（有限合伙）、宁波梅山保税
港区灿运淳诺股权投资中心（有限合伙）、东营前程创业投资合伙企业（有限合伙）、
福建省金投金顺股权投资基金合伙企业（有限合伙）、杭州临安财金资本控股集团有限
公司（曾用名：杭州临安金融控股集团有限公司（2025-01至2025-12））、杭州临安
金融控股有限公司（2017-10至2025-01））、杭州市临安区新锦产业发展集团有限公
司、长沙马栏山投资开发建设有限公司成为本合伙企业的有限合伙人；一致同意深圳市
达晨创元股权投资企业（有限合伙）退伙；一致同意合伙企业的出资额由161090.00
万元增加至171480.00万元，并同步修改合伙协议。
2023年11月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理有普通合伙人3000.001.75%
限公司2芜湖歌斐颂雅股权投资中心（有有限合伙人21355.0012.45%限合伙）
3招商财富资产管理有限公司有限合伙人20050.0011.69%
4杭州市临安区新锦产业发展集团有限合伙人20000.0011.66%
有限公司
5浙江省产业基金有限公司有限合伙人15000.008.75%
6湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.008.75%
179中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）7芜湖歌斐颂星股权投资中心（有有限合伙人10880.006.34%限合伙）
8长沙马栏山投资开发建设有限公有限合伙人10000.005.83%
司
9杭州临安财金资本控股集团有限有限合伙人10000.005.83%
公司10芜湖歌斐颂琦股权投资中心（有有限合伙人8295.004.84%限合伙）
11长三角（嘉兴）战略新兴产业投有限合伙人7000.004.08%
资合伙企业（有限合伙）
12江西省文信一号文化产业发展投有限合伙人5000.002.92%
资基金（有限合伙）
13江西省文信二号文化产业发展投有限合伙人5000.002.92%
资基金（有限合伙）14烟台隆畅投资合伙企业（有限合有限合伙人5000.002.92%伙）
15福建省金投金顺股权投资基金合有限合伙人5000.002.92%
伙企业（有限合伙）16东营前程创业投资合伙企业（有有限合伙人3000.001.75%限合伙）
17浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限公司有限合伙人3000.001.75%
18宁波梅山保税港区图生霖智股权有限合伙人2900.001.69%
投资中心（有限合伙）
19宁波梅山保税港区灿运淳诺股权有限合伙人2000.001.17%
投资中心（有限合伙）
合计171480.00100.00%
（6）2023年12月，第五次合伙份额转让及第四次增资
2023年12月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意上海浦东创新投资发展（集团）有限公司、鄂尔多斯市创新投资集团有限公司、杭州产业投资有限公司成为本
合伙企业的有限合伙人；一致同意合伙企业总出资额由171480.00万元增加至
221480.00万元，并修改合伙协议。
2023年12月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1深圳市达晨财智创业投资管理普通合伙人3000.001.35%
有限公司
2杭州产业投资有限公司有限合伙人30000.0013.55%
3芜湖歌斐颂雅股权投资中心有限合伙人21355.009.64%
180中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）（有限合伙）
4招商财富资产管理有限公司有限合伙人20050.009.05%
5杭州市临安区新锦产业发展集有限合伙人20000.009.03%
团有限公司
6湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.006.77%
7鄂尔多斯市创新投资集团有限有限合伙人15000.006.77%
公司
8浙江省产业基金有限公司有限合伙人15000.006.77%
9芜湖歌斐颂星股权投资中心有限合伙人10880.004.91%（有限合伙）
10杭州临安财金资本控股集团有有限合伙人10000.004.52%
限公司
11长沙马栏山投资开发建设有限有限合伙人10000.004.52%
公司
12芜湖歌斐颂琦股权投资中心有限合伙人8295.003.75%（有限合伙）
13长三角（嘉兴）战略新兴产业有限合伙人7000.003.16%
投资合伙企业（有限合伙）
14江西省文信一号文化产业发展有限合伙人5000.002.26%
投资基金（有限合伙）
15江西省文信二号文化产业发展有限合伙人5000.002.26%
投资基金（有限合伙）16烟台隆畅投资合伙企业（有限有限合伙人5000.002.26%合伙）
17福建省金投金顺股权投资基金有限合伙人5000.002.26%
合伙企业（有限合伙）
18上海浦东创新投资发展（集团）有限合伙人5000.002.26%
有限公司
19东营前程创业投资合伙企业有限合伙人3000.001.35%（有限合伙）
20浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限公有限合伙人3000.001.35%
司
21宁波梅山保税港区图生霖智股有限合伙人2900.001.31%
权投资中心（有限合伙）
22宁波梅山保税港区灿运淳诺股有限合伙人2000.000.90%
权投资中心（有限合伙）
合计221480.00100.00%
（7）2025年6月，第六次合伙份额转让及第五次增资
2025年6月，杭州达晨全体合伙人作出决定书，一致同意广西投资引导基金有限
责任公司、兰溪市聚力产业基金投资集团有限公司、财信吉祥人寿保险股份有限公司、
南通沿海智鑫产业投资发展合伙企业（有限合伙）、贵州黔晟投资有限公司、衢州绿石
181中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
新材料股权投资合伙企业（有限合伙）、杭州钱塘和达大健康创业投资基金合伙企业（有限合伙）成为有限合伙人；一致同意杭州达晨总出资额由221480.00万元增加至
300480.00万元，并修改合伙协议。
2025年6月，杭州达晨完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管普通合伙人3000.001.00%
理有限公司
2杭州产业投资有限公司有限合伙人30000.009.98%
3广西投资引导基金有限责任有限合伙人29000.009.65%
公司
4芜湖歌斐颂雅股权投资中心有限合伙人21355.007.11%（有限合伙）
5招商财富资产管理有限公司有限合伙人20050.006.67%
6杭州市临安区新锦产业发展有限合伙人20000.006.66%
集团有限公司
7湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.004.99%
8浙江省产业基金有限公司有限合伙人15000.004.99%
9鄂尔多斯市创新投资集团有有限合伙人15000.004.99%
限公司
10芜湖歌斐颂星股权投资中心有限合伙人10880.003.62%（有限合伙）
11杭州临安财金资本控股集团有限合伙人10000.003.33%
有限公司
12长沙马栏山投资开发建设有有限合伙人10000.003.33%
限公司
13兰溪市聚力产业基金投资集有限合伙人10000.003.33%
团有限公司
14财信吉祥人寿保险股份有限有限合伙人10000.003.33%
公司
15衢州绿石新材料股权投资合有限合伙人10000.003.33%
伙企业（有限合伙）
16杭州钱塘和达大健康创业投有限合伙人10000.003.33%
资基金合伙企业（有限合伙）
17芜湖歌斐颂琦股权投资中心有限合伙人8295.002.76%（有限合伙）
18长三角（嘉兴）战略新兴产业有限合伙人7000.002.33%
投资合伙企业（有限合伙）19烟台隆畅投资合伙企业（有限有限合伙人5000.001.66%合伙）
20江西省文信一号文化产业发有限合伙人5000.001.66%
展投资基金（有限合伙）
182中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
21江西省文信二号文化产业发有限合伙人5000.001.66%
展投资基金（有限合伙）
22福建省金投金顺股权投资基有限合伙人5000.001.66%
金合伙企业（有限合伙）23上海浦东创新投资发展（集有限合伙人5000.001.66%团）有限公司
24南通沿海智鑫产业投资发展有限合伙人5000.001.66%
合伙企业（有限合伙）
25贵州黔晟投资有限公司有限合伙人5000.001.66%
26浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限有限合伙人3000.001.00%
公司
27东营前程创业投资合伙企业有限合伙人3000.001.00%（有限合伙）
28宁波梅山保税港区图生霖智有限合伙人2900.000.97%
股权投资中心（有限合伙）
29宁波梅山保税港区灿运淳诺有限合伙人2000.000.67%
股权投资中心（有限合伙）
合计300480.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州达晨的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1深圳市达晨财智创业投资管普通合伙人3000.001.00%
理有限公司
2杭州产业投资有限公司有限合伙人30000.009.98%
3广西投资引导基金有限责任有限合伙人29000.009.65%
公司
4芜湖歌斐颂雅股权投资中心有限合伙人21355.007.11%（有限合伙）
5招商财富资产管理有限公司有限合伙人20050.006.67%
6杭州市临安区新锦产业发展有限合伙人20000.006.66%
集团有限公司
7湖南电广传媒股份有限公司有限合伙人15000.004.99%
8浙江省产业基金有限公司有限合伙人15000.004.99%
9鄂尔多斯市创新投资集团有有限合伙人15000.004.99%
限公司
10芜湖歌斐颂星股权投资中心有限合伙人10880.003.62%（有限合伙）
11杭州临安财金资本控股集团有限合伙人10000.003.33%
有限公司
12长沙马栏山投资开发建设有有限合伙人10000.003.33%
限公司
183中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
13兰溪市聚力产业基金投资集有限合伙人10000.003.33%
团有限公司
14财信吉祥人寿保险股份有限有限合伙人10000.003.33%
公司
15衢州绿石新材料股权投资合有限合伙人10000.003.33%
伙企业（有限合伙）
16杭州钱塘和达大健康创业投有限合伙人10000.003.33%
资基金合伙企业（有限合伙）
17芜湖歌斐颂琦股权投资中心有限合伙人8295.002.76%（有限合伙）
18长三角（嘉兴）战略新兴产业有限合伙人7000.002.33%
投资合伙企业（有限合伙）19烟台隆畅投资合伙企业（有限有限合伙人5000.001.66%合伙）
20江西省文信一号文化产业发有限合伙人5000.001.66%
展投资基金（有限合伙）
21江西省文信二号文化产业发有限合伙人5000.001.66%
展投资基金（有限合伙）
22福建省金投金顺股权投资基有限合伙人5000.001.66%
金合伙企业（有限合伙）23上海浦东创新投资发展（集有限合伙人5000.001.66%团）有限公司
24南通沿海智鑫产业投资发展有限合伙人5000.001.66%
合伙企业（有限合伙）
25贵州黔晟投资有限公司有限合伙人5000.001.66%
26浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限有限合伙人3000.001.00%
公司
27东营前程创业投资合伙企业有限合伙人3000.001.00%（有限合伙）
28宁波梅山保税港区图生霖智有限合伙人2900.000.97%
股权投资中心（有限合伙）
29宁波梅山保税港区灿运淳诺有限合伙人2000.000.67%
股权投资中心（有限合伙）
合计300480.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州达晨的执行事务合伙人为深圳市达晨财智创业投资管理有限公司，杭州达晨的产权结构图如下：
184中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，杭州达晨不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，杭州达晨的执行事务合伙人为深圳市达晨财智创业投资管理有限公司，执行事务合伙人基本情况如下：
企业名称深圳市达晨财智创业投资管理有限公司
统一社会信用代码 91440300682017028L
注册地址深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层
主要办公地点深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层法定代表人刘昼
注册资本18668.5714万元企业类型有限责任公司成立日期2008年12月15日受托管理创业投资企业创业资本；创业投资咨询；为创业企业提供创业管理
服务（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外限制的项目须取得许经营范围可后方可经营）；股权投资；财务咨询、企业管理咨询、受托资产管理（不含证券、保险、基金、金融业务、人才中介服务及其它限制项目）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州达晨合计对外投资72家，主要投资情况如下：
序号企业名称注册资本（万元）直接持股比例主营业务
185中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
听象科技（深圳）有
1119.486.52%助听器
限公司
主营产品芯片打标、芯片切割、镭神泰克科技（苏
21542.586.19%封装钻孔的超快激光设备，应
州）有限公司用于芯片封装领域
特种润滑油脂，应用于钢铁、杭州得润宝科技股汽车、轴承和机器人等行业，
33721.425.54%
份有限公司在高端轴承、机器人减速器领域的国产替代中占据领先地位深圳市连用科技有
41597.395.36%非结构话数据处理软件
限公司广州阿凡提电子科
51832.514.50%汽车行业的数字销售
技有限公司汇耀品尚能源科技
6柔性光伏支架的研发、生产和870.973.92%（嘉兴）有限公司销售涡轮机械产品设计研发外包服上海慕帆动力科技
71458.793.85%务和纯氢燃气轮机相关产品研
有限公司
制以及氢燃机 EPC项目无锡迅杰光远科技
81060.773.77%基于近红外全栈式光谱技术的
有限公司应用产品及方案提供商江苏优众微纳半导
914214.653.66%基于自主核心纳米压印技术进
体科技有限公司行微纳器件的设计生产上海林怀网络科技
10201.113.65%互联网驾培服务及相关技术
有限公司
6、主营业务发展状况
杭州达晨主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变更。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州达晨最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计305963.46188143.79
负债总计3538.30967.50
所有者权益302425.16187176.29
营业收入--
营业利润-6766.139978.66
净利润-6766.139978.66
186中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产305963.46
非流动资产-
资产总计305963.46
流动负债3538.30
非流动负债-
负债总计3538.30
净资产302425.16
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-6766.13
利润总额-6766.13
净利润-6766.13
8、私募基金备案情况
杭州达晨已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为SVS108。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据杭州达晨的合伙协议和其出具的证明文件，杭州达晨存续期至2030年3月24日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
杭州达晨非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
187中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（十五）安徽丰禾
1、基本信息
企业名称安徽省丰禾股权投资基金一期合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91340121MA8PLEAQ3M
注册地址安徽省合肥市长丰县双墩镇阜阳北路科瑞北郡15幢1-7层主要办公地点安徽省合肥市包河区马鞍山路76号能源大厦8楼执行事务合伙人安徽省丰禾私募基金管理有限公司出资额50000万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年10月24日一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年10月，合伙企业设立
2022年10月，安徽省丰禾私募基金管理有限公司、安徽省皖能资本投资有限公司、合肥北城产业投资引导基金有限公司出资设立安徽丰禾，并一致同意委托安徽省丰禾私募基金管理有限公司担任执行事务合伙人。设立时合伙人认缴出资总额为25000.00万元。
设立时，安徽丰禾合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1安徽省丰禾私募基金管理有限公司普通合伙人125.000.50%
2安徽省皖能资本投资有限公司有限合伙人22375.0089.50%
3合肥北城产业投资引导基金有限公司有限合伙人2500.0010.00%
合计25000.00100.00%
188中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（2）2024年11月，第一次增资
2024年11月，安徽丰禾全体合伙人作出决议，一致同意合伙企业增加注册资本
25000.00万元至50000.00万元。其中安徽省丰禾私募基金管理有限公司认缴新增注册
资本125.00万元，安徽省皖能资本投资有限公司认缴新增注册资本22375.00万元，合肥北城产业投资引导基金有限公司认缴新增注册资本2500.00万元。
2024年11月，安徽丰禾全体合伙人签署更新后的合伙协议。
2024年11月，安徽丰禾完成工商变更登记。
本次变更完成后，安徽丰禾的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1安徽省丰禾私募基金管理有限公司普通合伙人250.000.50%
2安徽省皖能资本投资有限公司有限合伙人44750.0089.50%
3合肥北城产业投资引导基金有限公司有限合伙人5000.0010.00%
合计50000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，安徽丰禾的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1安徽省丰禾私募基金管理有限公司普通合伙人250.000.50%
2安徽省皖能资本投资有限公司有限合伙人44750.0089.50%
3合肥北城产业投资引导基金有限公司有限合伙人5000.0010.00%
合计50000.00100.00%
截至本报告书签署日，安徽丰禾的执行事务合伙人为安徽省丰禾私募基金管理有限公司，安徽丰禾的产权结构图如下：
189中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，安徽丰禾不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，安徽丰禾的执行事务合伙人为安徽省丰禾私募基金管理有限公司，安徽省丰禾私募基金管理有限公司基本情况如下：
企业名称安徽省丰禾私募基金管理有限公司
统一社会信用代码 91340100MA8NW1UU6J中国（安徽）自由贸易试验区合肥片区高新区望江西路900号中安创谷科技注册地址
园一期 A3A4 栋 6层 659室主要办公地点安徽省合肥市包河区马鞍山路76号能源大厦8楼法定代表人舒根荣注册资本10000万元
企业类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）成立日期2022年3月25日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）；以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会完成登记经营范围备案后方可从事经营活动）；财务咨询；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；创业投资（限投资未上市企业）（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
190中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，安徽丰禾的对外投资情况如下：
直接持股
序号企业名称注册资本（万元）主营业务比例
1合肥产投天成股权投资10021.0040.00%股权投资
合伙企业（有限合伙）
2合肥中隐新材料有限公2888.605.12%隐身涂层材料研发和销售业
司务
3合光光掩模科技（安徽）190995.681.57%主要从事半导体用光掩模研
有限公司发、生产及销售业务
新能源汽车充换电、微网储
4深圳市永联科技股份有13738.731.02%能、高压直流电源等系统方案
限公司设计
5西安奇点能源股份有限12563.590.69%分布式工商业储能系统的研
公司发生产和销售服务主要从事新能源车直流快充
6深圳英飞源技术有限公23184.780.60%桩充电模块、充电系统（整桩）
司解决方案、储能系统解决方案等业务
6、主营业务发展状况
安徽丰禾主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
安徽丰禾最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计39204.3625133.80
负债总计--
所有者权益39204.3625133.80
营业收入--
营业利润1570.56345.70
净利润1570.56345.70
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
191中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产39204.36
非流动资产-
资产总计39204.36
流动负债-
非流动负债-
负债总计-
净资产39204.36
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润1570.56
利润总额1570.56
净利润1570.56
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-677.55
投资活动产生的现金流量净额-2073.89
筹资活动产生的现金流量净额12500.00
现金及现金等价物净增加额9748.56
8、私募基金备案情况
安徽丰禾已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SXU404。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据安徽丰禾的合伙协议和其出具的证明文件，安徽丰禾存续期至2029年10月
23日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
192中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、穿透锁定情况
安徽丰禾非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十六）宁波蓝郡
1、基本信息
企业名称宁波蓝郡风鋆创业投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330206MA2H8N6D7J
注册地址 浙江省宁波市北仑区梅山七星路 88 号 1幢 401室 A区 H1697主要办公地点浙江省宁波市鄞县大道东钱湖211创意空间12号2楼执行事务合伙人宁波蓝郡投资管理有限公司出资额32000万元企业类型有限合伙企业成立日期2020年10月14日
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管部门批准不经营范围得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2020年10月，合伙企业设立
2020年10月，宁波蓝郡投资管理有限公司、曹文雁、曹敏芳、蔡定国、何红明、庄浩业共同出资设立宁波蓝郡，企业类型为有限合伙企业，全体合伙人认缴出资总额为
32000.00万元。经全体合伙人协商一致，同意委托宁波蓝郡投资管理有限公司为合伙
企业的执行事务合伙人。
设立时，宁波蓝郡的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1宁波蓝郡投资管理有限公司普通合伙人400.001.25%
2曹文雁有限合伙人9600.0030.00%
3蔡定国有限合伙人8000.0025.00%
4曹敏芳有限合伙人5000.0015.63%
5何红明有限合伙人5000.0015.63%
6庄浩业有限合伙人4000.0012.50%
193中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
合计32000.00100.00%
宁波蓝郡自设立以来，未发生财产份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，宁波蓝郡的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1宁波蓝郡投资管理有限公司普通合伙人400.001.25%
2曹文雁有限合伙人9600.0030.00%
3蔡定国有限合伙人8000.0025.00%
4曹敏芳有限合伙人5000.0015.63%
5何红明有限合伙人5000.0015.63%
6庄浩业有限合伙人4000.0012.50%
合计32000.00100.00%
截至本报告书签署日，宁波蓝郡的执行事务合伙人为宁波蓝郡投资管理有限公司，宁波蓝郡的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，宁波蓝郡不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，宁波蓝郡的执行事务合伙人为宁波蓝郡投资管理有限公司，
194中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
宁波蓝郡投资管理有限公司基本情况如下：
企业名称宁波蓝郡投资管理有限公司
统一社会信用代码 91330206MA28YMTG99
注册地址 浙江省宁波市北仑区梅山七星路 88 号 1幢 401室 A区 H1535主要办公地点浙江省宁波市鄞县大道东钱湖211创意空间12号2楼法定代表人蔡刚波注册资本1000万元
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股）成立日期2017年3月24日投资管理、企业管理咨询。（未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、经营范围融资担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，宁波蓝郡的对外投资情况如下：
注册资本直接持序号企业名称主营业务（万元）股比例
一般项目：信息技术咨询服务；软件开发；
集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及
产品销售；技术服务、技术开发、技术咨询、
1上海矽昌通信技6307.571.81%技术交流、技术转让、技术推广；电子产品
术有限公司销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）金属材料和金属表面热处理的相关技术研
发、技术转让、技术服务，金属材料、机械零部件加工、销售、检测服务，自营和代理2马鞍山恒精新能1474.261.56%各类货物或技术进出口业务（国家法律法规源科技有限公司限定或禁止企业经营的除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、
技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；
信息系统运行维护服务；光学仪器制造；光
3杭州然升电子科333.336.40%学仪器销售；仪器仪表制造；仪器仪表销售；
技有限公司电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
195中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
6、主营业务发展状况
宁波蓝郡主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变更。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
宁波蓝郡最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计9581.219498.50
负债总计-177.03
所有者权益9581.219321.47
营业收入--
营业利润0.04832.47
净利润0.07904.27
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产224.00
非流动资产9357.21
资产总计9581.21
流动负债-
非流动负债-
负债总计-
净资产9581.21
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本0.84
196中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
营业利润0.04
利润总额0.07
净利润0.07
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-178.37
投资活动产生的现金流量净额-1418.37
筹资活动产生的现金流量净额259.67
现金及现金等价物净增加额-1337.07
8、私募基金备案情况
宁波蓝郡已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为SNF192。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据宁波蓝郡的合伙协议和其出具的证明文件，宁波蓝郡存续期至2030年10月
13日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
宁波蓝郡非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（十七）小满投资
1、基本信息
企业名称井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91360881MA39TR4N6Y
注册地址 江西省吉安市井冈山市井财小镇内 B-0052（集群注册）
主要办公地点 江西省吉安市井冈山市井财小镇内 B-0052（集群注册）
执行事务合伙人井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）出资额2200万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年1月19日
197中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）一般项目：股权投资，创业投资。（除许可业务外，可自主依法经营法律法经营范围规非禁止或限制的项目）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年1月，合伙企业设立
2021年1月，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）与张亮共同出资设立井小满投资，并一致同意委托井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）担任执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为1000.00万元，其中井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）认缴100.00万，张亮认缴900.00万。
设立时，小满投资的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1井冈山兴橙投资合伙企业普通合伙人100.0010.00%（有限合伙）
2张亮有限合伙人900.0090.00%
合计1000.00100.00%
（2）2021年9月，第一次增资及第一次合伙份额转让
2021年8月，小满投资全体合伙人作出变更决定书，一致同意合伙企业认缴出资
额由1000.00万元变更为2200.00万元；一致同意新增有限合伙人共青城捷高创业投资
合伙企业（有限合伙）（曾用名：共青城捷高投资合伙企业（有限合伙）（2019-11至2022-08）、共青城捷高投资管理合伙企业（有限合伙）（2018-03至2019-11））、张
强、李哲、陈欲晓、田加、钟易珍；一致同意有限合伙人张亮退伙。
2021年8月，小满投资全体合伙人井冈山兴橙合伙企业（有限合伙）、共青城捷
高创业投资合伙企业（有限合伙）、张强、李哲、陈欲晓、田加、钟易珍签署更新后的合伙协议。
2021年9月，小满投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，小满投资的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1井冈山兴橙投资合伙企普通合伙人100.004.55%业（有限合伙）
2共青城捷高创业投资合有限合伙人500.0022.73%
伙企业（有限合伙）
198中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
3张强有限合伙人500.0022.73%
4李哲有限合伙人500.0022.73%
5田加有限合伙人300.0013.64%
6陈欲晓有限合伙人200.009.09%
7钟易珍有限合伙人100.004.55%
合计2200.00100.00%
（3）2026年3月，第二次合伙份额转让
2026年3月，小满投资全体合伙人作出变更决定书，一致同意共青城捷高创业投
资合伙企业（有限合伙）将其持有的500.00万元出资额向黄铭颖转让。
2026年3月，小满投资全体合伙人签署更新后的合伙协议。
截至本报告签署日，小满投资暂未就本次变更完成工商变更登记。
本次变更完成后，小满投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）1井冈山兴橙投资合伙企业（有普通合伙人100.004.55%限合伙）
2黄铭颖有限合伙人500.0022.73%
3张强有限合伙人500.0022.73%
4李哲有限合伙人500.0022.73%
5田加有限合伙人300.0013.64%
6陈欲晓有限合伙人200.009.09%
7钟易珍有限合伙人100.004.55%
合计2200.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，小满投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）1井冈山兴橙投资合伙企业（有普通合伙人100.004.55%限合伙）
2黄铭颖有限合伙人500.0022.73%
3张强有限合伙人500.0022.73%
199中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
4李哲有限合伙人500.0022.73%
5田加有限合伙人300.0013.64%
6陈欲晓有限合伙人200.009.09%
7钟易珍有限合伙人100.004.55%
合计2200.00100.00%截至本报告书签署日，小满投资的执行事务合伙人为井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙），小满投资的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，小满投资不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
（1）基本情况截至本报告书签署日，小满投资的执行事务合伙人为井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
企业名称井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91360881MA39AM689C
注册地址 江西省吉安市井冈山市新经济产业园内 D-0010（集群注册）
主要办公地点 江西省吉安市井冈山市新经济产业园内 D-0010（集群注册）执行事务合伙人陈晓飞出资额3600万元
200中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
企业类型有限合伙企业成立日期2020年9月15日
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批准的项目外，凭经营范围营业执照依法自主开展经营活动）
（2）历史沿革
1）2020年9月，企业设立2020年9月，陈晓飞、张亮、何新文共同出资设立井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙），注册资本1200.00万元。
设立时，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人名称合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1陈晓飞普通合伙人510.0042.50%
2张亮有限合伙人490.0040.83%
2何新文有限合伙人200.0016.67%
合计1200.00100.00%
2）2022年8月，第一次增资
2022年8月，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）全体合伙人召开合伙人会议，
作出变更决定书，一致同意合伙企业认缴出资额由1200.00万元变更为3600.00万元。
其中，陈晓飞增加出资额至1530.00万元；张亮增加出资额至1470.00万元；何新文增加出资额至600.00万元。
2022年8月，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）全体合伙人签署更新后的合伙协议。
2022年8月，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）完成工商变更登记。
本次变更完成后，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人名称合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1陈晓飞普通合伙人1530.0042.50%
2张亮有限合伙人1470.0040.83%
2何新文有限合伙人600.0016.67%
合计3600.00100.00%
（3）产权结构关系
201中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人名称合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1陈晓飞普通合伙人1530.0042.50%
2张亮有限合伙人1470.0040.83%
2何新文有限合伙人600.0016.67%
合计3600.00100.00%
截至本报告书签署日，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的执行事务合伙人为陈晓飞，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
（4）执行事务合伙人基本情况
井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的执行事务合伙人为陈晓飞，其基本情况如下：
姓名陈晓飞曾用名无性别男国籍中国
身份证号4201061976********
住所及通讯地址上海市浦东新区****是否取得其他国家或地区的居留权否
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
202中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号起止时间任职单位职务
12014-12至今上海兴橙投资管理有限公司董事长
（5）最近三年主营业务发展情况
井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）的主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
（6）最近两年的主要财务数据及最近一年简要财务报表
1）最近两年的主要财务数据
井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）最近两年的主要财务数据如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计-3870.40
负债总计2747.78262.62
所有者权益-3607.79
营业收入--
营业利润2560.18155.55
净利润2568.03164.56
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
2）最近一年简要合并财务报表
井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）最近一年简要财务报表数据如下：
*简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产3697.94
非流动资产2659.12
资产总计6357.06
流动负债2747.78
非流动负债-
负债总计2747.78
净资产3609.28
203中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
*简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润2560.18
利润总额2568.03
净利润2568.03
（7）主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除小满投资外，井冈山兴橙投资合伙企业（有限合伙）合计对外投资30家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例一般项目：项目投资，实业投资。（除
1井冈山芯城投资合伙企1201.0099.92%许可业务外，可自主依法经营法律法规业（有限合伙）非禁止或限制的项目）一般项目：股权投资、创业投资（除许
2井冈山齐襄股权投资合1201.0099.92%可业务外，可自主依法经营法律法规非
伙企业（有限合伙）禁止或限制的项目）一般项目：创业投资（限投资未上市企3株洲楚橙创业投资合伙1000.0060.00%业）；以自有资金从事投资活动。（除企业（有限合伙）依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般项目：股权投资，创业投资（除许
4井冈山江橙股权投资合1000.0010.00%可业务外，可自主依法经营法律法规非
伙企业（有限合伙）禁止或限制的项目）
一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后井冈山锦橙创业投资基51000.0010.00%方可从事经营活动），创业投资（限投金合伙企业（有限合伙）资未上市企业）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般项目：股权投资，创业投资。（除
6井冈山谷丰股权投资合1000.0010.00%许可业务外，可自主依法经营法律法规
伙企业（有限合伙）非禁止或限制的项目）一般项目：股权投资，创业投资。（除
7井冈山乐橙股权投资合2000.005.00%许可业务外，可自主依法经营法律法规
伙企业（有限合伙）非禁止或限制的项目）一般项目：股权投资，创业投资。（除
8井冈山立夏股权投资合2100.004.76%许可业务外，可自主依法经营法律法规
伙企业（有限合伙）非禁止或限制的项目）
204中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例一般项目：股权投资，创业投资（除许
9井冈山春分股权投资合2200.004.55%可业务外，可自主依法经营法律法规非
伙企业（有限合伙）禁止或限制的项目）一般项目：股权投资，创业投资。（除
10井冈山美橙股权投资合3200.003.13%许可业务外，可自主依法经营法律法规
伙企业（有限合伙）非禁止或限制的项目）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，小满投资无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
小满投资主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
小满投资最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计3996.114026.42
负债总计1.301.30
所有者权益3994.814025.12
营业收入--
营业利润-30.31-0.78
净利润-30.31-0.78
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产69.55
非流动资产3926.56
资产总计3996.11
流动负债1.30
205中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
非流动负债-
负债总计1.30
净资产3994.81
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-30.31
利润总额-30.31
净利润-30.31
8、私募基金备案情况
小满投资已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SSQ294。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据小满投资的合伙协议和其出具的证明文件，小满投资存续期至2029年9月1日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，小满投资无其他对外投资，小满投资以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，小满投资参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
小满投资上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）的合伙份额，本人/本企业承诺不会进行转让或者委托他人管理。
206中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2.如井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）的合伙份额的锁
定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本企业将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）的合伙份额在履行
前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（十八）宁波领芯
1、基本信息
企业名称宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330201MA2J45M119注册地址浙江省宁波象保合作区智汇佳苑11幢1022室主要办公地点浙江省宁波象保合作区智汇佳苑11幢1022室执行事务合伙人朱力昂出资额2000万元企业类型有限合伙企业成立日期2020年12月28日一般项目：企业管理咨询（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主经营范围开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2020年12月，合伙企业设立
2020年12月，贾臻予、于建平、江永忠、朱力昂、李林、陈融、任海斌、张劲、沈慧芬、王桢智、王赢、陈俊明共同出资设立宁波领芯，并一致同意委托朱力昂为执行事务合伙人。设立时全体合伙人认缴出资总额为2000.00万元。
207中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）设立时，宁波领芯的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱力昂普通合伙人200.0010.00%
2贾臻予有限合伙人350.0017.50%
3于建平有限合伙人300.0015.00%
4江永忠有限合伙人250.0012.50%
5李林有限合伙人150.007.50%
6陈融有限合伙人150.007.50%
7张劲有限合伙人100.005.00%
8任海斌有限合伙人100.005.00%
9陈俊明有限合伙人100.005.00%
10王桢智有限合伙人100.005.00%
11王赢有限合伙人100.005.00%
12沈慧芬有限合伙人100.005.00%
合计2000.00100.00%
宁波领芯自设立以来，未发生合伙份额转让或增资、减资的情况。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，宁波领芯的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朱力昂普通合伙人200.0010.00%
2贾臻予有限合伙人350.0017.50%
3于建平有限合伙人300.0015.00%
4江永忠有限合伙人250.0012.50%
5李林有限合伙人150.007.50%
6陈融有限合伙人150.007.50%
7张劲有限合伙人100.005.00%
8任海斌有限合伙人100.005.00%
9陈俊明有限合伙人100.005.00%
10王桢智有限合伙人100.005.00%
11王赢有限合伙人100.005.00%
12沈慧芬有限合伙人100.005.00%
合计2000.00100.00%
208中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，宁波领芯的实际控制人为朱力昂，宁波领芯的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，宁波领芯不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，宁波领芯的执行事务合伙人为朱力昂，合伙人基本情况如下：
姓名朱力昂曾用名无性别男国籍中国
身份证号3301061971********
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留权否
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12021-01至2025-10杭州优栎科技有限公司总经理
22020-12至今宁波领芯执行事务合伙人
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，宁波领芯无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
宁波领芯主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
209中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
宁波领芯最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计1251.372000.01
负债总计9.220.09
所有者权益1242.151999.92
营业收入--
营业利润1243.23-
净利润1243.23-
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产7.00
非流动资产1244.37
资产总计1251.37
流动负债9.22
非流动负债-
负债总计9.22
净资产1242.15
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润1243.23
利润总额1243.23
净利润1243.23
210中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
8、私募基金备案情况
宁波领芯不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募
投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理私募投资基金备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据宁波领芯的合伙协议和其出具的证明文件，宁波领芯存续期至2030年12月
27日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，宁波领芯无其他对外投资，宁波领芯以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，宁波领芯参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
宁波领芯上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人所持宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）的合伙份额，本人承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人同意宁波领芯将自动续期至锁定期届满。
3.若本人所持宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）的合伙份额的锁定期
承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本企业将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人所持宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）的合伙份额在履行前述
限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人违反上述承诺，本人将依法承担
211中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）相应的法律责任。”
（十九）蔡刚波
1、基本情况
姓名蔡刚波曾用名无性别男国籍中国
身份证号3205041970********
住所及通讯地址浙江省宁波市****是否取得其他国家或地区的居留权否
2、最近三年的职业和职务
是否与任职单位序号起止时间任职单位职务存在产权关系苏州蓝郡创业投资中心
12011-06至2025-10执行事务合伙人是（有限合伙）苏州蓝郡投资管理中心
22011-06至2026-01执行事务合伙人是（有限合伙）宁波蓝郡投资管理有限
32017-03至今执行董事、总经理是
公司
3、控制的企业和关联企业的基本情况
截至本报告书签署日，蔡刚波控制的企业和关联企业情况如下：
注册资本序号企业名称经营范围关联关系（万元）
一般项目：农业园艺服务；生物有机肥料研发；树木种植经营；
农业专业及辅助性活动；技术服
务、技术开发、技术咨询、技术
蔡刚波持股100.00%
1宁波水澜浚农业100.00交流、技术转让、技术推广；信且担任执行董事、总有限公司息咨询服务（不含许可类信息咨经理的企业询服务）；肥料销售；城市绿化管理；园林绿化工程施工（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）投资管理、企业管理咨询。（未蔡刚波持股90.00%
2宁波蓝郡投资管1000.00经金融等监管部门批准不得从事且担任执行董事、总
理有限公司吸收存款、融资担保、代客理财、经理的企业
向社会公众集（融）资等金融业
212中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本序号企业名称经营范围关联关系（万元）
务）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
动）一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管蔡刚波控制的宁波蓝
宁波蓝郡博煜创部门批准不得从事吸收存款、融3业投资中心（有20000.00郡投资管理有限公司资担保、代客理财、向社会公众担任执行事务合伙人限合伙）集（融）资等金融业务）（除依的企业
法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管蔡刚波控制的宁波蓝
宁波蓝郡风鋆创部门批准不得从事吸收存款、融郡投资管理有限公司
4业投资合伙企业32000.00资担保、代客理财、向社会公众
担任执行事务合伙人（有限合伙）集（融）资等金融业务）（除依的企业
法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管蔡刚波控制的宁波蓝
宁波蓝郡至达创部门批准不得从事吸收存款、融5郡投资管理有限公司业投资中心（有42000.00资担保、代客理财、向社会公众担任执行事务合伙人限合伙）集（融）资等金融业务）（除依的企业
法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）创业投资。（未经金融等监管部蔡刚波控制的宁波蓝宁波蓝郡立方创
617135.52门批准不得从事吸收存款、融资郡投资管理有限公司业投资合伙企业
担保、代客理财、向社会公众集担任执行事务合伙人（有限合伙）（融）资等金融业务）的企业
一般项目：股权投资；信息咨询
杭州禧筠晓风股服务（不含许可类信息咨询服务）蔡刚波作为有限合伙7权投资基金合伙2081.00（除依法须经批准的项目外，凭人持有24.99%财产企业（有限合伙）营业执照依法自主开展经营活份额的企业
动）
一般项目：企业管理；企业管理杭州均航企业管蔡刚波作为有限合伙85000.00咨询；社会经济咨询服务（除依理合伙企业（有人持有40%财产份额法须经批准的项目外，凭营业执限合伙）的企业照依法自主开展经营活动）
（二十）长兴青鸟
1、基本信息
企业名称长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330522MA2JK2088A
浙江省湖州市长兴县开发区明珠路 1278号长兴世贸大厦 A座 14层 1412-55注册地址室
213中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
主要办公地点浙江省杭州市西湖区求是路8号公元大厦北楼801室执行事务合伙人湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司出资额1350万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年6月2日
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；股权投资（除依法须经批准的经营范围项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年6月，合伙企业设立
2021年6月，杭州稼石投资管理有限公司、湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司
（曾用名：浙江长兴青鸟投资管理有限公司（2017-03至2021-08））、沈红、徐斌、
戚建忠、徐初友共同出资设立长兴青鸟，设立时全体合伙人认缴出资总额为1350.00万元。
设立时，长兴青鸟的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1杭州稼石投资管理有限公司普通合伙人80.005.93%
2湖州长兴青鸟麦科股权投资有有限合伙人850.0062.96%
限公司
3沈红有限合伙人120.008.89%
4徐斌有限合伙人100.007.41%
5戚建忠有限合伙人100.007.41%
6徐初友有限合伙人100.007.41%
合计1350.00100.00%
（2）2021年8月，第一次合伙份额转让
2021年8月，长兴青鸟全体合伙人作出变更决定书，一致同意普通合伙人杭州稼
石投资管理有限公司退出，并将其在合伙企业的财产份额5.93%和执行事务合伙人身份转让给浙江长兴青鸟投资管理有限公司。
2021年8月，杭州稼石投资管理有限公司与湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司
签订《转让协议》，约定将杭州稼石投资管理有限公司持有的5.93%股权，对应出资额
80万元部分转让给湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司。
214中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2021年8月，长兴青鸟完成工商变更登记。
本次变更完成后，长兴青鸟的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1湖州长兴青鸟麦科普通合伙人930.0068.89%
股权投资有限公司
2沈红有限合伙人120.008.89%
3徐斌有限合伙人100.007.41%
4戚建忠有限合伙人100.007.41%
5徐初友有限合伙人100.007.41%
合计1350.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，长兴青鸟的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1湖州长兴青鸟麦科普通合伙人930.0068.89%
股权投资有限公司
2沈红有限合伙人120.008.89%
3徐斌有限合伙人100.007.41%
4戚建忠有限合伙人100.007.41%
5徐初友有限合伙人100.007.41%
合计1350.00100.00%
截至本报告书签署日，长兴青鸟的执行事务合伙人为湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司，长兴青鸟的产权结构图如下：
215中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，长兴青鸟不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，长兴青鸟的执行事务合伙人为湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司基本情况如下：
（1）基本情况企业名称湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司
统一社会信用代码 91330522MA29J3XY91
浙江省湖州市长兴经济开发区明珠路 1278号长兴世贸大厦 A楼 15层 1569注册地址室主要办公地点浙江省杭州市西湖区求是路8号公元大厦北楼801室法定代表人徐剑艺注册资本1000万元
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）成立日期2017年3月7日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
（2）历史沿革
1）2017年3月，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司设立
2017年3月，青鸟控股集团有限公司出资设立湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司，设立时青鸟控股集团有限公司作为全资股东认缴出资额为1000.00万元。设立时，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1青鸟控股集团有限公司1000.00100.00%
合计1000.00100.00%
2）2021年8月，第一次股权转让
2021年8月，青鸟控股集团有限公司作出股东决定，同意将其持有的湖州长兴青
鸟麦科股权投资有限公司的100%股权向长兴青澜股权投资有限公司转让。
2021年8月，青鸟控股集团有限公司与长兴青澜股权投资有限公司签署《股权转
216中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）让协议》，约定将青鸟控股集团有限公司持有的100%股权，对应出资额1000万元部分转让给长兴青澜股权投资有限公司。
2021年8月，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1长兴青澜股权投资有限公司1000.00100.00%
合计1000.00100.00%
（3）产权结构关系
截至本报告书签署日，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1长兴青澜股权投资有限公司1000.00100.00%
合计1000.00100.00%
截至本报告书签署日，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的控股股东为长兴青澜股权投资有限公司。湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的产权结构图如下：
（4）控股股东基本情况
湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的控股股东为长兴青澜股权投资有限公司，其基本情况如下：
企业名称长兴青澜股权投资有限公司
统一社会信用代码 91330522MA2JKH548Y
浙江省湖州市长兴县开发区明珠路 1278号长兴世贸大厦 A座 15层 1506-64注册地址室主要办公地点杭州市西湖区求是路8号公元大厦北楼801室
217中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
法定代表人徐剑艺注册资本1000万元
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股）成立日期2021年8月3日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
（5）最近三年主营业务发展情况
湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
（6）最近两年的主要财务数据及最近一年简要财务报表
1）最近两年的主要财务数据
湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司最近两年的主要财务数据如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计12719.4712679.62
负债总计11689.9311650.00
所有者权益1029.541029.62
营业收入--
营业利润-0.08-0.07
净利润-0.08-0.07
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
2）最近一年简要合并财务报表
湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司最近一年简要财务报表数据如下：
*简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产49.47
非流动资产12670.00
资产总计12719.47
流动负债11689.93
218中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
非流动负债-
负债总计11689.93
净资产1029.54
*简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.08
利润总额-0.08
净利润-0.08
（7）主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除长兴青鸟外，湖州长兴青鸟麦科股权投资有限公司的对外投资情况如下：
序注册资本直接持企业名称主营业务号（万元）股比例
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；教育咨询服务（不含涉许可审批的教育培训活动）；会议及展览服务；
办公服务；市场营销策划；品牌管理；广告设计、代理；平面设计；办公设备租赁服务；信息系统集成服务；信息技术咨询服务；企业管理咨询；企业杭州青鸟飞翔1教育科技有限10000.00100.00%管理；人力资源服务（不含职业中介活动、劳务派遣服务）；单位后勤管理服务；劳务服务（不含劳公司务派遣）；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；教育教学检测和评价活动；市场调查（不含涉外调查）；招生辅助服务；体育赛事策划；财务咨询；税务服务；礼仪服务；项目策划与公关服务；
居民日常生活服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
长兴青鸟伟创
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）（除依
2创业投资合伙1010.0099.00%法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经
企业（有限合营活动）。
伙）长兴青鸟嘉芯一般项目：股权投资；创业投资（限投资未上市企3股权投资合伙1050.0070.48%业）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法企业（有限合自主开展经营活动）。
伙）杭州聚链投资投资咨询、投资管理（未经金融等监管部门批准，
4管理合伙企业1501.0033.31%不得从事向公众融资存款，融资担保，代客户理财（有限合伙）等服务）（依法须经批准的项目，经相关部门批准
219中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，长兴青鸟无其他对外投资。
6、主营业务发展状况
长兴青鸟主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
长兴青鸟最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计1349.631349.73
负债总计--
所有者权益1349.631349.73
营业收入--
营业利润-0.10-0.09
净利润-0.10-0.09
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产29.63
非流动资产1320.00
资产总计1349.63
流动负债-
非流动负债-
负债总计-
净资产1349.63
2）简要合并利润表
220中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.10
利润总额-0.10
净利润-0.10
8、私募基金备案情况
长兴青鸟为个人投资者的持股平台，不属于以非公开方式向合格投资者募集资金并以投资为目的设立的私募投资基金，亦不涉及从事私募投资基金管理活动的情形，无需办理备案手续。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据长兴青鸟的合伙协议和其出具的证明文件，长兴青鸟的存续期为长期，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
截至本报告书签署日，除杭州众硅外，长兴青鸟无其他对外投资，长兴青鸟以持有标的资产为目的，但非专为本次交易设立的主体。基于审慎性考虑，长兴青鸟参照专为本次交易设立的主体对其上层权益持有人所持有的标的资产间接权益进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体。具体情况如下：
长兴青鸟上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
“1.长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》。在前述长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/
221中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙
份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
（二十一）王敏文
1、基本情况
姓名王敏文曾用名无性别男国籍中国
身份证号3101101963********
住所及通讯地址上海浦东新区****是否取得其他国家或地区的居留否权
2、最近三年的职业和职务
是否与任职单位序号起止时间任职单位职务存在产权关系
12014-12浙江仙鹤控股集团有限公至今董事长，经理是
司
22010-05杭州立昂微电子股份有限至今董事长是
公司
32022-122024-01金瑞泓科技（衢州）有限公至执行董事是
司
42018-07至2024-03上海雪拉同投资有限公司董事长是
52022-05金瑞泓微电子（嘉兴）有限至今董事长是
公司
3、控制的企业和关联企业的基本情况
截至本报告书签署日，除标的公司及其子公司外，王敏文控制的企业和关联企业情
222中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
况如下：
注册资本序号企业名称主营业务关联关系（万元）
王敏文持股17.55%且担
1杭州立昂微电子股份有限公67137.34半导体材料和芯任董事长、王敏文近亲
司片属担任非独立董事的企业
2浙江仙鹤控股集团有限公司30000.00王敏文持股32.00%且担投资
任董事长、经理的企业
3宁波瑞扬泓创业投资合伙企30470.00王敏文持股51.40%的企管理咨询业（有限合伙）业
4上海道铭投资控股有限公司30000.00王敏文持股32.00%且担投资
任董事长、经理的企业
5衢州泓仟企业管理合伙企业23864.00王敏文持股25.65%的企管理咨询（有限合伙）业
6衢州泓亿企业管理合伙企业16136.00王敏文持股56.34%的企管理咨询（有限合伙）业
7宁波泓祥和创业投资合伙企8660.78王敏文持股71.78%的企创业投资业（有限合伙）业
8上海如鲲新材料股份有限公5994.26王敏文持股0.49%的企电池材料
司业
王敏文持股5.00%且担
9浙江金象科技有限公司5000.00压力容器任董事、王敏文近亲属
持股5.00%的企业
10西安星源博锐新能源技术有661.00王敏文持股4.54%的企充电桩模块
限公司业
11王敏文持股2.49%的企杭州加速科技有限公司621.67半导体测试机
业
12北京英诺亿恒先进材料科技229.59王敏文持股4.03%的企石墨材料
有限公司业
王敏文持股90.00%且担
13上海金立方企业发展有限公50.00投资任执行董事、王敏文近
司
亲属持股10.00%的企业
14宁波瑞芯泓创业投资合伙企25100.00王敏文持股79.68%的企投资业（有限合伙）业
15浙江金瑞泓科技股份有限公24236.00硅材料王敏文担任董事的企业
司
16宁波泓万企业管理合伙企业2432.00王敏文持股55.16%的企员工平台（有限合伙）业
17上海金力方创业投资管理合500.00王敏文持股25.00%的企投资
伙企业（有限合伙）业18诸暨峰勇科技合伙企业（有260.00王敏文持股40.00%的企投资限合伙）业
19金瑞泓微电子（衢州）有限552166.00王敏文担任董事长的企半导体硅材料
公司业
20金瑞泓微电子（嘉兴）有限180000.00半导体硅材料王敏文担任董事的企业
公司
21仙鹤股份有限公司70597.56特种纸王敏文担任董事的企业
223中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本序号企业名称主营业务关联关系（万元）
22海宁立昂东芯微电子有限公66600.00王敏文担任董事长的企化合物半导体
司业
王敏文担任董事长，王
23杭州道铭微电子有限公司30000.00半导体模块敏文近亲属担任董事的
企业
243260.00万浙江夏王纸业有限公司特种纸王敏文担任董事的企业
美元
25杭州立昂东芯微电子有限公21645.44王敏文担任董事长的企化合物半导体
司业
26广西夏王新材料有限公司13000.00特种纸王敏文担任董事的企业
27衢州金瑞泓半导体科技有限5000.00王敏文担任执行董事、半导体硅材料
公司经理的企业
28杭州立昂半导体技术有限公500.00技术服务王敏文担任董事的企业
司
29552166.00王敏文担任执行董事的上海道铭贸易有限公司贸易
企业
（二十二）张久海
1、基本情况
姓名张久海曾用名无性别男国籍中国
身份证号3422211974********
住所及通讯地址上海浦东新区****是否取得其他国家或地区的居留否权
2、最近三年的职业和职务
是否与任职单位存在序号起止时间任职单位职务产权关系
12013-12上海道铭投资控股有至今投资总监否
限公司
3、控制的企业和关联企业的基本情况
截至本报告书签署日，除标的公司及其子公司外，张久海控制的企业和关联企业情况如下：
注册资本（万序号企业名称经营范围关联关系
元）
224中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）注册资本（万序号企业名称经营范围关联关系
元）
1张久海持股1.82%且杭州道铭微电子有限公司30000.00半导体器件
担任董事的企业
2上海哥瑞利软件股份有限6067.61张久海持股0.53%的半导体软件
公司企业
3荣耀电子材料（重庆）有3441.79张久海持股1.63%的半导体载具
限公司企业
4上海涤芯企业管理合伙企969.34张久海持股19.60%管理咨询业（有限合伙）的企业
5浙江博来纳润电子材料有4289.01张久海担任董事的企抛光液
限公司业
6嵊州市西格玛科技有限公2153.38张久海担任董事的企石墨制品
司业
7浙江材孜科技有限公司1004.53张久海担任董事的企碳化硅晶体
业
8西安星源博锐新能源技术661.50张久海担任董事的企充电桩模块
有限公司业
9杭州加速科技有限公司621.67张久海担任董事的企半导体测试设备
业
（二十三）青岛东证
1、基本信息
企业名称青岛东证中新仁合私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91370220MAC3RKG21X中国（山东）自由贸易试验区青岛片区太白山路172号中德生态园双创中心注册地址6149室主要办公地点上海市黄浦区小东门街道中山南路318号东方国际金融广场2号楼28层
执行事务合伙人上海东方证券资本投资有限公司、中新互联互通投资基金管理有限公司出资额25300万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年11月11日一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年11月，合伙企业设立
2022年11月，上海东方证券资本投资有限公司、中新互联互通投资基金管理有限公司、重庆数字经济投资有限公司、青岛青发汇金投资集团有限公司（曾用名：青岛青
225中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
发汇金投资发展有限公司（2021-07至2023-04））、重庆市国地资产经营管理有限公
司、重庆渝富投资有限公司、祝波善、王蒙、周汉宇、陈怀瑜共同出资设立青岛东证，设立时全体合伙人认缴出资总额为25300.00万元。
设立时，青岛东证的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1上海东方证券资本投资有限公司普通合伙人5000.0019.76%
2中新互联互通投资基金管理有限公司普通合伙人100.000.40%
3重庆数字经济投资有限公司有限合伙人7000.0027.67%
4青岛青发汇金投资集团有限公司有限合伙人5000.0019.76%
5重庆市国地资产经营管理有限公司有限合伙人3000.0011.86%
6重庆渝富投资有限公司有限合伙人2000.007.91%
7祝波善有限合伙人1000.003.95%
8王蒙有限合伙人1000.003.95%
9周汉宇有限合伙人1000.003.95%
10陈怀瑜有限合伙人200.000.79%
合计25300.00100.00%
（2）2024年9月，第一次合伙份额转让
2024年7月，青岛东证全体合伙人作出变更决定书，一致同意重庆市国地资产经
营管理有限公司将3000.00万元的出资额转让给重庆数字经济投资有限公司；重庆渝富
投资有限公司将2000.00万元的出资额转让给重庆数字经济投资有限公司。
2024年8月，重庆市国地资产经营管理有限公司与重庆数字经济投资有限公司签
署《财产份额转让协议》，约定重庆市国地资产经营管理有限公司将青岛东证3000.00万元的出资额转让给重庆数字经济投资有限公司；重庆渝富投资有限公司与重庆数字经
济投资有限公司签署《财产份额转让协议》，约定重庆渝富投资有限公司将青岛东证
2000.00万元的出资额转让给重庆数字经济投资有限公司。
2024年9月，青岛东证完成工商变更登记。
本次变更完成后，青岛东证的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
226中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1上海东方证券资本投资有限公司普通合伙人5000.0019.76%
2中新互联互通投资基金管理有限公司普通合伙人100.000.40%
3重庆数字经济投资有限公司有限合伙人12000.0047.43%
4青岛青发汇金投资集团有限公司有限合伙人5000.0019.76%
5祝波善有限合伙人1000.003.95%
6王蒙有限合伙人1000.003.95%
7周汉宇有限合伙人1000.003.95%
8陈怀瑜有限合伙人200.000.79%
合计25300.00100.00%
（3）2025年6月，第二次合伙份额转让
2025年6月，青岛东证全体合伙人作出变更决定书，一致同意重庆数字经济投资
有限公司将12000.00万元的出资额转让给重庆渝富控股集团有限公司。
2025年6月，重庆数字经济投资有限公司与重庆渝富控股集团有限公司签署《财产份额转让协议》，约定重庆数字经济投资有限公司将青岛东证12000.00万元的出资额转让给重庆渝富控股集团有限公司。
2025年6月，青岛东证完成工商变更登记。
本次变更完成后，青岛东证的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1上海东方证券资本投资有限公司普通合伙人5000.0019.76%
2中新互联互通投资基金管理有限公司普通合伙人100.000.40%
3重庆渝富控股集团有限公司有限合伙人12000.0047.43%
4青岛青发汇金投资集团有限公司有限合伙人5000.0019.76%
5祝波善有限合伙人1000.003.95%
6王蒙有限合伙人1000.003.95%
7周汉宇有限合伙人1000.003.95%
8陈怀瑜有限合伙人200.000.79%
合计25300.00100.00%
227中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，青岛东证的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1上海东方证券资本投资有限公司普通合伙人5000.0019.76%
2中新互联互通投资基金管理有限公司普通合伙人100.000.40%
3重庆渝富控股集团有限公司有限合伙人12000.0047.44%
4青岛青发汇金投资集团有限公司有限合伙人5000.0019.76%
5祝波善有限合伙人1000.003.95%
6王蒙有限合伙人1000.003.95%
7周汉宇有限合伙人1000.003.95%
8陈怀瑜有限合伙人200.000.79%
合计25300.00100.00%
截至本报告书签署日，青岛东证的执行事务合伙人为上海东方证券资本投资有限公司、中新互联互通投资基金管理有限公司，青岛东证的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，青岛东证不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，青岛东证的执行事务合伙人为上海东方证券资本投资有限公司和中新互联互通投资基金管理有限公司，其基本情况分别如下：
（1）上海东方证券资本投资有限公司
228中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
企业名称上海东方证券资本投资有限公司统一社会信用代码913100005515008378
注册地址上海市黄浦区中山南路318号2号楼28楼、36楼
主要办公地点上海市黄浦区中山南路318号2号楼28楼、36楼法定代表人张建辉注册资本300000万元
企业类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）成立日期2010年2月8日
设立直投基金，对企业进行股权投资，或投资于与股权投资相关的其他投资经营范围基金；为客户提供与股权投资相关的财务顾问服务；经中国证监会认可开展的其它业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
（2）中新互联互通投资基金管理有限公司企业名称中新互联互通投资基金管理有限公司
统一社会信用代码 91500000MA5U6P7X93
注册地址重庆市江北区聚贤街25号2幢第29-1号
主要办公地点 重庆市江北区聚贤街 25号金融城 3号 T1栋 30 楼法定代表人欧勇注册资本10000万元
企业类型有限责任公司（外商投资企业与内资合资）成立日期2016年7月1日许可项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（依法须经批准的项经营范围目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，青岛东证的对外投资情况如下：
序注册资本直接持企业名称主营业务号（万元）股比例
传动系统、精密减速器、机器人系统、非标自动化设备、机电一体化设备的技术开发及销售。（以上均不含法律、行政法规、国务院决定规定需审批和禁止的项目）非居住房地产租赁。（除依法须经批
1深圳市杉川谐波传18269.021.56%准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
动科技有限公司^传动系统、精密减速器、机器人系统、非标自动化设备、机电一体化设备的生产。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
229中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
6、主营业务发展状况
青岛东证主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
青岛东证最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计7953.1410488.46
负债总计51.191.51
所有者权益7901.9510486.95
营业收入-63.4273.48
营业利润-208.13-136.76
净利润-208.13-136.76
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产7953.14
非流动资产-
资产总计7953.14
流动负债-
非流动负债51.19
负债总计51.19
净资产7901.95
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-63.42
营业成本144.71
230中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
营业利润-208.13
利润总额-208.13
净利润-208.13
8、私募基金备案情况
青岛东证已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SXV819。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据青岛东证的合伙协议和其出具的证明文件，青岛东证的存续期至2028年12月28日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
青岛东证非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（二十四）石溪投资
1、基本信息
企业名称余姚石溪舜创创业投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330281MAC85PYG9E
注册地址浙江省余姚市中意宁波生态园兴滨路5号（邻里中心）3-2-432（自主申报）
主要办公地点 北京市东城区北三环东路 36号 1号楼 17 层 A1709房间
执行事务合伙人石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）出资额40000万元企业类型有限合伙企业成立日期2023年2月23日
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管部门批准不经营范围得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2023年2月，合伙企业设立
2023年2月，石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）、余姚舜兴创业投资
合伙企业（有限合伙）、宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）、宁波市创业投
231中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
资引导基金管理有限公司、高文铭、宁波燕创宸德创业投资合伙企业（有限合伙）共同
出资设立石溪投资，设立时全体合伙人认缴出资总额为40000.00万元。
设立时，石溪投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）普通合伙人500.001.25%
2余姚舜兴创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人18000.0045.00%
3宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人9500.0023.75%
4宁波市创业投资引导基金管理有限公司有限合伙人8000.0020.00%
5高文铭有限合伙人3000.007.50%
6宁波燕创宸德创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人1000.002.50%
合计40000.00100.00%
（2）2026年1月，第一次合伙份额转让
2026年1月，石溪投资全体合伙人作出变更决定书，一致同意有限合伙人宁波燕
创宸德创业投资合伙企业（有限合伙）退出，并将其持有的石溪投资的2.50%股权转让给宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）。
2026年1月，石溪投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，石溪投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）普通合伙人500.001.25%
2余姚舜兴创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人18000.0045.00%
3宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人10500.0026.25%
4宁波市创业投资引导基金管理有限公司有限合伙人8000.0020.00%
5高文铭有限合伙人3000.007.50%
合计40000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，石溪投资的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）普通合伙人500.001.25%
232中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
2余姚舜兴创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人18000.0045.00%
3宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人10500.0026.25%
4宁波市创业投资引导基金管理有限公司有限合伙人8000.0020.00%
5高文铭有限合伙人3000.007.50%
合计40000.00100.00%
截至本报告书签署日，石溪投资的执行事务合伙人为石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙），石溪投资的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，石溪投资不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，石溪投资的执行事务合伙人为石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙），石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）基本情况如下：
企业名称石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91350200MA8UY35UX1中国（福建）自由贸易试验区厦门片区象屿路 93号厦门国际航运中心 C栋
注册地址 4层 431单元 H
233中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
主要办公地点 北京市东城区北三环东路 36号 1号楼 17 层 A1709房间执行事务合伙人北京石溪清流私募基金管理有限公司注册资本510万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年5月13日一般项目：以自有资金从事投资活动。（除依法须经批准的项目外，凭营业经营范围执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，石溪投资合计对外投资12家，主要对外投资情况如下：
序注册资本直接持企业名称主营业务号（万元）股比例
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技
术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；集成电路制造；
宁波云极芯半集成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成
1导体科技有限2092.3915.93%
电路芯片设计及服务；集成电路设计；五金产品公司研发；五金产品批发；五金产品零售；电力电子元器件制造；电力电子元器件销售；货物进出口；
技术进出口；进出口代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技
术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；集成电路制造；
宁波翼程科技集成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成
26997.986.67%
有限公司电路芯片设计及服务；集成电路设计；五金产品研发；五金产品批发；五金产品零售；电力电子元器件制造；电力电子元器件销售；货物进出口；
技术进出口；进出口代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）微电子产品、集成电路芯片、电子设备的研发、
设计、制造、销售、技术咨询、技术转让、技术服务；计算机软硬件的研发、销售；电子产品的
基合半导体（宁批发、零售；佣金代理（拍卖除外）；自营和代
31343.713.17%
波）有限公司理货物和技术的进出口，但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外。（（不涉及外商投资准入特别管理措施范围））（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
234中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持企业名称主营业务号（万元）股比例
一般项目：半导体器件专用设备制造；技术服务、
技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子元器件制造；电子专用材料研发；
电子专用设备制造；机械设备研发；集成电路设杭州星原驰半计；电子专用材料制造；半导体器件专用设备销
4343.852.51%
导体有限公司售；半导体照明器件销售；集成电路芯片及产品销售；电子专用设备销售；机械零件、零部件销售；进出口代理；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：机械设备研发；集成电路制造；集成电路销售；集成电路设计；半导体器件专用设备销售；半导体器件专用设备制造；电子专用设备江苏先进全成
53172.00万制造；电子专用设备销售；货物进出口；技术进
1.82%
科技有限公司美元出口；进出口代理；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技
术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用匠岭科技（上设备销售；电子元器件与机电组件设备销售；软
64493.851.78%
海）有限公司件销售；软件开发；电子产品销售；货物进出口；
技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
信息技术、计算机硬件、电子元器件的研发，自有研发成果转让，并提供相关的技术咨询、技术服务；计算机软件的设计、制作，销售自产产品；
光梓信息科技
计算机系统集成的设计、安装、调试、维护；电
7（上海）有限公1445.421.19%
子产品开发；集成电路、芯片设计；计算机硬件、司
电子元器件的批发、佣金代理（拍卖除外）和进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
一般项目：半导体分立器件制造；半导体分立器
件销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术
交流、技术转让、技术推广；信息系统集成服务；
电子元器件零售；集成电路芯片设计及服务；集北京弘图半导成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销
89391.311.07%
体有限公司售；光电子器件制造；光电子器件销售；集成电路设计；集成电路销售；集成电路制造；其他电子器件制造；软件开发；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产
235中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持企业名称主营业务号（万元）股比例业政策禁止和限制类项目的经营活动。）一般项目：研发、制造、销售、维修：机电设备
和设备配件；研发、制造、加工、销售：电子产品（不含电子出版物）和电子元件；机械与设备重庆臻宝科技911646.771.02%租赁；货物及技术进出口业务（不含国家禁止或股份有限公司限制进出口项目）；仓储服务（不含化危品），金属材料销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
光电子、微电子类材料、器件、组件及应用整机
产品研制开发、生产和销售及系统工程的技术咨成都莱普科技询、技术服务；货物进出口、技术进出口（法律、
104818.001.02%
股份有限公司行政法规禁止的除外；法律、行政法规限制的取得许可后方可经营）。（以上项目国家法律法规禁止的和有专项规定的除外）
6、主营业务发展状况
石溪投资主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
石溪投资最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计38495.7339251.64
负债总计-1.70
所有者权益38495.7339249.94
营业收入--
营业利润-754.20-540.95
净利润-754.20-540.95
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
236中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
流动资产38495.73
非流动资产-
资产总计38495.73
流动负债-
非流动负债-
负债总计-
净资产38495.73
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-754.20
利润总额-754.20
净利润-754.20
8、私募基金备案情况
石溪投资已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SZM584。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据石溪投资的合伙协议和其出具的证明文件，石溪投资的存续期至2029年12月29日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
石溪投资非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（二十五）江苏毅达
1、基本信息
企业名称江苏高投毅达中小贰号创业投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320114MA273RNX30注册地址南京市雨花台区雨花街道明城大道42号301室
237中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
执行事务合伙人南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙）出资额400000万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年9月18日
一般项目：股权投资；创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批准的经营范围项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年9月，合伙企业设立
2021年9月，南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙）和国家中小企业
发展基金有限公司、江苏高科技投资集团有限公司等共同出资设立江苏毅达，设立时全体合伙人认缴出资总额为400000.00万元。
2021年9月，江苏毅达全体合伙人共同签署了合伙协议。
2021年9月，江苏毅达完成工商设立登记。
设立时，江苏毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1南京毅达汇中创业投资管理合伙普通合伙人4000.001.00%企业（有限合伙）
2国家中小企业发展基金有限公司有限合伙人105000.0026.25%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人101500.0025.38%
4南京市雨花台区创新投资基金合有限合伙人60000.0015.00%
伙企业（有限合伙）
5南京毅达中小壹号创业投资合伙有限合伙人48400.0012.10%企业（有限合伙）
6南京毅达贰号中小创业投资合伙有限合伙人35100.008.78%企业（有限合伙）
7江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人17500.004.38%
8江苏凤凰出版传媒集团有限公司有限合伙人10000.002.50%
9南京毅达汇员中小企业创业投资有限合伙人8000.002.00%
合伙企业（有限合伙）
10西藏爱达汇承私募基金管理有限有限合伙人5500.001.38%
公司
11江苏省广播电视集团有限公司有限合伙人5000.001.25%
合计400000.00100.00%
238中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
自设立后截至本报告书签署日，江苏毅达的合伙人和出资额未发生变更。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，江苏毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1南京毅达汇中创业投资管理合伙普通合伙人4000.001.00%企业（有限合伙）
2国家中小企业发展基金有限公司有限合伙人105000.0026.25%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人101500.0025.38%
4南京市雨花台区创新投资基金合有限合伙人60000.0015.00%
伙企业（有限合伙）
5南京毅达中小壹号创业投资合伙有限合伙人48400.0012.10%企业（有限合伙）
6南京毅达贰号中小创业投资合伙有限合伙人35100.008.78%企业（有限合伙）
7江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人17500.004.38%
8江苏凤凰出版传媒集团有限公司有限合伙人10000.002.50%
9南京毅达汇员中小企业创业投资有限合伙人8000.002.00%
合伙企业（有限合伙）
10西藏爱达汇承私募基金管理有限有限合伙人5500.001.38%
公司
11江苏省广播电视集团有限公司有限合伙人5000.001.25%
合计400000.00100.00%
截至本报告书签署日，江苏毅达的执行事务合伙人为南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙），江苏毅达的产权结构图如下：
239中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，江苏毅达不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，江苏毅达的执行事务合伙人为南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
企业名称南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320114MA26NN6G3J注册地址南京市雨花台区雨花街道明城大道42号306室主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦执行事务合伙人西藏爱达汇承私募基金管理有限公司出资额10000万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年7月30日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）；企业管理咨询；自有经营范围
货币投资的资产管理服务；股权投资；创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
240中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，江苏毅达合计对外投资144家，主要投资情况如下：
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例
1 南京毅达汇龙创业投资 12600.00 23.41% 项目 SPV，定向投资于苏州中科瑞龙
合伙企业（有限合伙）科技有限公司2 南京毅达汇科创业投资 22010.00 22.72% 项目 SPV，定向投资于英诺赛科（苏合伙企业（有限合伙）州）科技股份有限公司南京科讯次元信息科技
31166.6714.29%国家安全领域的网络攻防类产品的研
有限公司发及销售
寰信驿联（上海）科技
41385.6412.82%高功率光纤放大器
有限公司
超声波焊接、振动摩擦焊接、激光塑
德召尼克（常州）焊接
5631.1712.27%料焊接技术研发，相关焊接设备的设
科技有限公司
计、制造与销售
苏州佰控传感技术有限泛半导体领域压力传感器、超声波流
61549.8012.20%
公司量计等仪器仪表的研发、生产与销售
为半导体、光通讯、新型功能材料等南通伟腾半导体科技有
71352.1610.79%行业精密切割工序提供配套产品和服
限公司务上海精珅新材料有限公
8自主研发、制造、销售高端制程功能6289.0610.43%
司膜
星际光遥（北京）科技
9696.4310.26%专注于空间遥感载荷研制
有限公司
10611.1110.00%专注于超高精度测控温产品设计、研上海捷热科技有限公司
发、生产及销售
6、主营业务发展状况
江苏毅达主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
江苏毅达最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计424571.10423677.49
负债总计0.40-
所有者权益424570.70423677.49
241中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
营业收入1407.1217406.56
营业利润893.2111204.88
净利润893.2111204.88
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产62644.42
非流动资产361926.68
资产总计424571.10
流动负债0.40
非流动负债-
负债总计0.40
净资产424570.70
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入1407.12
营业成本6907.94
营业利润893.21
利润总额893.21
净利润893.21
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-154958.58
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-154958.58
242中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
8、私募基金备案情况
江苏毅达已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SSW693。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据江苏毅达的合伙协议并查询国家企业信用信息公示系统，江苏毅达存续期至
2029年9月17日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
江苏毅达非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（二十六）朗玛六十三号
1、基本信息
企业名称朗玛六十三号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
统一社会信用代码 91440300MA5H6G9569
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋注册地址102
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋主要办公地点102执行事务合伙人朗玛峰创业投资有限公司出资额5115万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年1月7日
创业投资（限投资未上市企业）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照经营范围依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年1月，合伙企业设立
2022年1月，朗玛峰创业投资有限公司和孙晓伶共同出资设立朗玛六十三号，设
立时全体合伙人认缴出资总额为500.00万元。
2022年1月，朗玛六十三号全体合伙人共同签署了合伙协议。
2022年1月，朗玛六十三号完成工商设立登记。
243中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）设立时，朗玛六十三号的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人400.0080.00%
2孙晓伶有限合伙人100.0020.00%
合计500.00100.00%
（2）2022年6月，第一次增资及第一次合伙份额转让
2022年6月，朗玛六十三号全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）朗玛六十
三号认缴出资额由500.00万元变更为5115.00万元，朗玛峰创业投资有限公司对朗玛六十三号的认缴出资额增加至5015.00万元；（2）朗玛峰创业投资有限公司将4915.00
万元认缴出资额、孙晓伶将100.00万元认缴出资额分别转让给柳晴、陈小萍、仇雯等
49名自然人。
2022年6月，朗玛峰创业投资有限公司、孙晓伶与柳晴、陈小萍、仇雯等49名自
然人就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2022年6月，朗玛六十三号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2022年6月，朗玛六十三号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十三号的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朗玛峰创业投普通合伙人100.001.96%
资有限公司
2柳晴有限合伙人125.002.44%
3仇雯有限合伙人120.002.35%
4陈小萍有限合伙人120.002.35%
5潘咏梅有限合伙人115.002.25%
6林娟有限合伙人114.002.23%
7马庆年有限合伙人110.002.15%
8吴晓婷有限合伙人108.002.11%
9贺乃新有限合伙人103.002.01%
10丁洁平有限合伙人100.001.96%
11佟涵词有限合伙人100.001.96%
12刘晓春有限合伙人100.001.96%
244中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
13刘沙沙有限合伙人100.001.96%
14匡燕平有限合伙人100.001.96%
15叶秦有限合伙人100.001.96%
16吴伟庆有限合伙人100.001.96%
17常春有限合伙人100.001.96%
18张利军有限合伙人100.001.96%
19张天慧有限合伙人100.001.96%
20张晓辉有限合伙人100.001.96%
21张黎明有限合伙人100.001.96%
22徐丽欣有限合伙人100.001.96%
23李军有限合伙人100.001.96%
24李文魁有限合伙人100.001.96%
25李爱侠有限合伙人100.001.96%
26李翠娥有限合伙人100.001.96%
27李雨辰有限合伙人100.001.96%
28杨爱民有限合伙人100.001.96%
29梁天明有限合伙人100.001.96%
30汪沁有限合伙人100.001.96%
31牟冬有限合伙人100.001.96%
32王全礼有限合伙人100.001.96%
33王宏刚有限合伙人100.001.96%
34王明华有限合伙人100.001.96%
35王春燕有限合伙人100.001.96%
36田连香有限合伙人100.001.96%
37石桂兰有限合伙人100.001.96%
38纪福清有限合伙人100.001.96%
39纪芳有限合伙人100.001.96%
40罗恒有限合伙人100.001.96%
41罗耀平有限合伙人100.001.96%
42董俊红有限合伙人100.001.96%
43薛宝军有限合伙人100.001.96%
44解靖有限合伙人100.001.96%
45赖子连有限合伙人100.001.96%
245中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
46赵小海有限合伙人100.001.96%
47郑丽有限合伙人100.001.96%
48郝荣梅有限合伙人100.001.96%
49陈真有限合伙人100.001.96%
50高彩虹有限合伙人100.001.96%
合计5115.00100.00%
（3）2024年12月，第二次合伙份额转让
2024年12月，朗玛六十三号全体合伙人作出变更决定，一致同意林娟将114.00万
元认缴出资额转让给李娇娥。
2024年12月，林娟与李娇娥就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2024年12月，朗玛六十三号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2024年12月，朗玛六十三号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十三号的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朗玛峰创业投普通合伙人100.001.96%
资有限公司
2柳晴有限合伙人125.002.44%
3仇雯有限合伙人120.002.35%
4陈小萍有限合伙人120.002.35%
5潘咏梅有限合伙人115.002.25%
6李娇娥有限合伙人114.002.23%
7马庆年有限合伙人110.002.15%
8吴晓婷有限合伙人108.002.11%
9贺乃新有限合伙人103.002.01%
10丁洁平有限合伙人100.001.96%
11佟涵词有限合伙人100.001.96%
12刘晓春有限合伙人100.001.96%
13刘沙沙有限合伙人100.001.96%
14匡燕平有限合伙人100.001.96%
15叶秦有限合伙人100.001.96%
246中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
16吴伟庆有限合伙人100.001.96%
17常春有限合伙人100.001.96%
18张利军有限合伙人100.001.96%
19张天慧有限合伙人100.001.96%
20张晓辉有限合伙人100.001.96%
21张黎明有限合伙人100.001.96%
22徐丽欣有限合伙人100.001.96%
23李军有限合伙人100.001.96%
24李文魁有限合伙人100.001.96%
25李爱侠有限合伙人100.001.96%
26李翠娥有限合伙人100.001.96%
27李雨辰有限合伙人100.001.96%
28杨爱民有限合伙人100.001.96%
29梁天明有限合伙人100.001.96%
30汪沁有限合伙人100.001.96%
31牟冬有限合伙人100.001.96%
32王全礼有限合伙人100.001.96%
33王宏刚有限合伙人100.001.96%
34王明华有限合伙人100.001.96%
35王春燕有限合伙人100.001.96%
36田连香有限合伙人100.001.96%
37石桂兰有限合伙人100.001.96%
38纪福清有限合伙人100.001.96%
39纪芳有限合伙人100.001.96%
40罗恒有限合伙人100.001.96%
41罗耀平有限合伙人100.001.96%
42董俊红有限合伙人100.001.96%
43薛宝军有限合伙人100.001.96%
44解靖有限合伙人100.001.96%
45赖子连有限合伙人100.001.96%
46赵小海有限合伙人100.001.96%
47郑丽有限合伙人100.001.96%
48郝荣梅有限合伙人100.001.96%
247中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
49陈真有限合伙人100.001.96%
50高彩虹有限合伙人100.001.96%
合计5115.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，朗玛六十三号的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1朗玛峰创业投普通合伙人100.001.96%
资有限公司
2柳晴有限合伙人125.002.44%
3仇雯有限合伙人120.002.35%
4陈小萍有限合伙人120.002.35%
5潘咏梅有限合伙人115.002.25%
6李娇娥有限合伙人114.002.23%
7马庆年有限合伙人110.002.15%
8吴晓婷有限合伙人108.002.11%
9贺乃新有限合伙人103.002.01%
10丁洁平有限合伙人100.001.96%
11佟涵词有限合伙人100.001.96%
12刘晓春有限合伙人100.001.96%
13刘沙沙有限合伙人100.001.96%
14匡燕平有限合伙人100.001.96%
15叶秦有限合伙人100.001.96%
16吴伟庆有限合伙人100.001.96%
17常春有限合伙人100.001.96%
18张利军有限合伙人100.001.96%
19张天慧有限合伙人100.001.96%
20张晓辉有限合伙人100.001.96%
21张黎明有限合伙人100.001.96%
22徐丽欣有限合伙人100.001.96%
23李军有限合伙人100.001.96%
24李文魁有限合伙人100.001.96%
25李爱侠有限合伙人100.001.96%
248中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
26李翠娥有限合伙人100.001.96%
27李雨辰有限合伙人100.001.96%
28杨爱民有限合伙人100.001.96%
29梁天明有限合伙人100.001.96%
30汪沁有限合伙人100.001.96%
31牟冬有限合伙人100.001.96%
32王全礼有限合伙人100.001.96%
33王宏刚有限合伙人100.001.96%
34王明华有限合伙人100.001.96%
35王春燕有限合伙人100.001.96%
36田连香有限合伙人100.001.96%
37石桂兰有限合伙人100.001.96%
38纪福清有限合伙人100.001.96%
39纪芳有限合伙人100.001.96%
40罗恒有限合伙人100.001.96%
41罗耀平有限合伙人100.001.96%
42董俊红有限合伙人100.001.96%
43薛宝军有限合伙人100.001.96%
44解靖有限合伙人100.001.96%
45赖子连有限合伙人100.001.96%
46赵小海有限合伙人100.001.96%
47郑丽有限合伙人100.001.96%
48郝荣梅有限合伙人100.001.96%
49陈真有限合伙人100.001.96%
50高彩虹有限合伙人100.001.96%
合计5115.00100.00%
截至本报告书签署日，朗玛六十三号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，朗玛六十三号的产权结构图如下：
249中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，朗玛六十三号不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，朗玛六十三号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称朗玛峰创业投资有限公司
统一社会信用代码 91440300MA5DC1MJ13
注册地址 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋
主要办公地点 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋法定代表人肖建聪注册资本5000万元企业类型有限责任公司成立日期2016年5月5日一般经营项目是：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，朗玛六十三号的对外投资情况如下：
序注册资本（万直接持股企业名称主营业务
号元）比例
1益佳达医疗科技（上海）246.963.08%泌尿外科创新医疗器械
有限公司
2江苏华章智能科技有限1325.532.33%智能仓储和工业物流的软硬件
公司
3益佳达医疗科技（南京）273.422.78%一般项目：技术服务、技术开发、技
有限公司术咨询、技术交流、技术转让、技术
250中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）序注册资本（万直接持股企业名称主营业务
号元）比例推广；第一类医疗器械销售；第一类医疗器械生产；第二类医疗器械销售
（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
6、主营业务发展状况
朗玛六十三号主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
朗玛六十三号最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计4847.354847.51
负债总计0.840.83
所有者权益4846.514846.68
营业收入--
营业利润-0.17-102.81
净利润-0.17-102.81
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产47.35
非流动资产4800.00
资产总计4847.35
流动负债0.84
非流动负债-
负债总计0.84
净资产4846.51
2）简要合并利润表
251中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.17
利润总额-0.17
净利润-0.17
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.16
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-0.16
8、私募基金备案情况
朗玛六十三号已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SVF451。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据朗玛六十三号的合伙协议，朗玛六十三号经营期限为长期，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
朗玛六十三号非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（二十七）江苏中小基金
1、基本信息
企业名称江苏中小企业发展基金（有限合伙）
统一社会信用代码 91320000MA1MYEW57N注册地址南京市浦口区慧成街3号主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
252中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
执行事务合伙人江苏毅达股权投资基金管理有限公司出资额450000万元企业类型有限合伙企业成立日期2016年11月4日以对中小企业开展创业投资业务为主，进行股权投资及相关业务。（依法须经营范围经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2016年11月，合伙企业设立
江苏中小基金设立时，普通合伙人为江苏毅达股权投资基金管理有限公司，认缴出资额为4500.00万元；有限合伙人分别为江苏毅达中小企业发展基金（有限合伙），认缴出资额为244000.00万元；中华人民共和国财政部，认缴出资额为110000.00万元；
江苏省政府投资基金（有限合伙），认缴出资额为67500.00万元；太平财产保险有限公司，认缴出资额为24000.00万元。
2016年10月，江苏中小基金全体合伙人共同签署了合伙协议。
2016年11月，江苏中小基金完成工商设立登记。
江苏中小基金设立时的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1江苏毅达股权投资基金管普通合伙人4500.001.00%
理有限公司
2江苏毅达中小企业发展基有限合伙人244000.0054.22%金（有限合伙）
3中华人民共和国财政部有限合伙人110000.0024.45%4江苏省政府投资基金（有限有限合伙人67500.0015.00%合伙）
5太平财产保险有限公司有限合伙人24000.005.33%
合计450000.00100.00%
（2）2020年10月，第一次合伙份额转让
江苏中小基金全体合伙人一致作出以下决定：（1）同意有限合伙人中华人民共和
国财政部出资额由110000.00万元变更为0.00元并退伙；（2）同意新有限合伙人国家
中小企业发展基金有限公司入伙，其认缴出资额为110000.00万元。
江苏中小基金全体合伙人就新有限合伙人国家中小企业发展基金有限公司入伙事
253中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
宜签署入伙协议。江苏中小基金全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2020年10月，江苏中小基金完成工商变更登记。
本次变更后，江苏中小基金的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1江苏毅达股权投资基金管理有限公司普通合伙人4500.001.00%
2江苏毅达中小企业发展基金（有限合伙）有限合伙人244000.0054.22%
3国家中小企业发展基金有限公司有限合伙人110000.0024.45%
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人67500.0015.00%
5太平财产保险有限公司有限合伙人24000.005.33%
合计450000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，江苏中小基金的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1江苏毅达股权投资基金管理有限公司普通合伙人4500.001.00%
2江苏毅达中小企业发展基金（有限合伙）有限合伙人244000.0054.22%
3国家中小企业发展基金有限公司有限合伙人110000.0024.45%
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人67500.0015.00%
5太平财产保险有限公司有限合伙人24000.005.33%
合计450000.00100.00%
截至本报告书签署日，江苏中小基金的执行事务合伙人为江苏毅达股权投资基金管理有限公司，江苏中小基金的产权结构图如下：
254中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，江苏中小基金不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，江苏中小基金的执行事务合伙人为江苏毅达股权投资基金管理有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称江苏毅达股权投资基金管理有限公司
统一社会信用代码 91320105087735164Y
注册地址 南京市建邺区江东中路 359 号（国睿大厦二号楼 4楼 B504室）主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦法定代表人应文禄注册资本10000万元企业类型有限责任公司成立日期2014年2月18日受托管理私募股权投资基金；投资管理。（依法须经批准的项目，经相关部经营范围门批准后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，江苏中小基金合计对外投资94家，主要投资情况如下：
255中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例江苏品品鲜生物科技股份有1工厂化食用菌（海鲜菇、白玉菇、5040.5518.28%限公司鹿茸菇等）的研发、生产和销售上海天地岛川停车设备制造
2机械式停车设备、物流仓储设备的8000.0017.10%
有限公司制造、销售、安装与维保311111.0014.46%军工集成电路芯片（有源相控阵雷江苏万邦微电子有限公司达控制芯片、射频前端等）的研发
4上海洛育教育科技有限公司1136.8412.50%少儿英语平板和课程销售
航空内饰件设计制造，复合材料零
5江苏美龙航空部件有限公司10120.9712.50%件设计制造，精密机械加工，高分
子新材料产品研发制造管成形产品（发动机水管、发动机浙江摩多巴克斯科技股份有
65880.6210.56%高压油管等）及管成形装备的销
限公司
售、制造和技术开发广东广麟材耀新能源材料有
7锂离子电池铝塑复合膜研发生产8093.7510.09%
限公司及销售
艾瑞森表面技术（苏州）股份
8 1367.50 10.00% 专业的表面处理及高端 PVD 涂层
有限公司技术服务
车用及民用 PVC合成革以及水性广东新金山环保材料股份有
96469.809.20%生态功能聚氨酯合成革的研发、生
限公司产和销售
电机电控技术平台产品的研发、制10苏州瑞驱电动科技有限公司1256.588.75%造和销售（如电动压缩机控制器、氢气循环泵等）
6、主营业务发展状况
江苏中小基金主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
江苏中小基金最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日-2025年度2024年12月31日-2024年度
资产总计709492.56707074.51
负债总计3.3211.78
所有者权益709489.24707062.73
营业收入41630.53-17806.50
营业利润2426.50-22423.16
净利润2426.50-22423.16
256中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产312010.80
非流动资产397481.76
资产总计709492.56
流动负债3.32
非流动负债-
负债总计3.32
净资产709489.24
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入41630.53
营业成本3132.39
营业利润2426.50
利润总额2426.50
净利润2426.50
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-3504.39
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-3504.39
8、私募基金备案情况
江苏中小基金已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SR1700。
257中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
9、存续期与锁定期匹配情况
根据江苏中小基金的合伙协议，江苏中小基金经营期限至2025年11月3日。但江苏中小基金及其执行事务合伙人、私募基金管理人江苏毅达股权投资基金管理有限公司
已出具《关于确保基金存续期覆盖锁定期的承诺函》，承诺如下：
江苏毅达股权投资基金管理有限公司已根据合伙协议约定，于2025年9月向国家中小企业发展基金有限公司发起江苏中小基金的存续期延期一年至2026年11月3日的
审批申请，并于2026年3月中旬获得其上级主管单位财政部口头通知已审批通过。目前，江苏毅达股权投资基金管理有限公司会积极跟进并推动全体合伙人完成存续期延期的决策及相关文件签署流程，确保存续期延长的合伙人会议决议能尽快做出并完成必要的登记/备案手续。
如江苏中小基金本次延期后的存续期不足以覆盖本次交易股份锁定期的，江苏毅达股权投资基金管理有限公司将依据江苏中小基金合伙协议及相关法律法规的规定尽最
大努力促成江苏中小基金合伙人决议通过继续延长合伙企业存续期期限的事项，以实现存续期能完全覆盖股份锁定期。如无法在江苏中小基金存续期届满日前完成存续期延长，则保证股份锁定期内本次交易中江苏中小基金所取得的股份不发生变动。
10、穿透锁定情况
江苏中小基金非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（二十八）朱力昂
1、基本情况
姓名朱力昂曾用名无性别男国籍中国
身份证号3301061971********
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留权否
258中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2、最近三年的职业和职务
是否与任职单位存序号起止时间任职单位职务在产权关系
12021-01至2025-10杭州优栎科技有限公司总经理是
22020-12至今宁波领芯执行事务合伙人是
3、控制的企业和关联企业的基本情况
截至本报告书签署日，朱力昂控制的企业和关联企业情况如下：
注册资本序号企业名称经营范围关联关系（万元）
服务：计算机软硬件、网络信息技
术、电子商务技术的技术开发、技
术服务、技术咨询、成果转让，计算机系统集成，承接安防监控工程、弱电工程、网络工程（涉及资质证朱力昂持股1杭州优栎科技有限50.00凭证经营），电子产品维修（限现80.00%并担任董事公司场，涉及资质证凭证经营）；批发、的企业
零售：手机及配件，数码产品及配件，计算机软硬件，办公自动化设备，办公耗材，监控设备，智能设备。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
企业管理咨询、经济信息咨询、商宁波湖山管理咨询22200.00务信息咨询。（依法须经批准的项朱力昂担任执行事合伙企业（有限合目，经相关部门批准后方可开展经务合伙人的企业伙）营活动）宁波领芯企业管理一般项目：企业管理咨询（除依法3咨询合伙企业（有限2000.00朱力昂担任执行事须经批准的项目外，凭营业执照依务合伙人的企业合伙）法自主开展经营活动）。
（二十九）杭州北峰
1、基本信息
企业名称杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330102MABX84EA23
注册地址浙江省杭州市上城区元帅庙后88-1号510室-2主要办公地点浙江省杭州市上城区玉皇山南基金小镇目术塘创意园1号楼504室执行事务合伙人杭州北峰私募基金管理有限公司出资额2110万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年8月17日
259中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年8月，合伙企业设立
2022年8月，杭州北峰私募基金管理有限公司、翁卿瑜共同出资设立杭州北峰，
设立时全体合伙人认缴出资总额为1200.00万元。设立时，杭州北峰的合伙人及出资情况如下：
序号合伙人信息合伙人类型认缴出资额（万元）出资比例
1杭州北峰私募基金管普通合伙人10.000.83%
理有限公司
2翁卿瑜有限合伙人1190.0099.17%
合计1200.00100.00%
（2）2022年12月，第一次合伙份额转让及第一次增资
2022年11月，杭州北峰全体合伙人作出变更决定书，一致同意有限合伙人翁卿瑜退伙，同意郑惠林、张如忠、林立、陆丽霞、王嫡嫡、叶太昌、李柯飞翔、许龙、浙江海博拓天信息科技有限公司成为合伙企业的合伙人，同意合伙企业出资额由1200.00万元增加至2110.00万元。
2022年12月，杭州北峰完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1杭州北峰私募基金管理有限公司普通合伙人10.000.47%
2郑惠林有限合伙人600.0028.44%
3林立有限合伙人400.0018.96%
4许龙有限合伙人300.0014.22%
5张如忠有限合伙人200.009.48%
6李柯飞翔有限合伙人200.009.48%
7王嫡嫡有限合伙人100.004.74%
8叶太昌有限合伙人100.004.74%
9陆丽霞有限合伙人100.004.74%
10浙江海博拓天信息科技有限公司有限合伙人100.004.74%
260中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
合计2110.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杭州北峰的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1杭州北峰私募基金管理有限公司普通合伙人10.000.47%
2郑惠林有限合伙人600.0028.44%
3林立有限合伙人400.0018.96%
4许龙有限合伙人300.0014.22%
5张如忠有限合伙人200.009.48%
6李柯飞翔有限合伙人200.009.48%
7王嫡嫡有限合伙人100.004.74%
8叶太昌有限合伙人100.004.74%
9陆丽霞有限合伙人100.004.74%
10浙江海博拓天信息科技有限公司有限合伙人100.004.74%
合计2110.00100.00%
截至本报告书签署日，杭州北峰的执行事务合伙人为杭州北峰私募基金管理有限公司。杭州北峰的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，杭州北峰不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
261中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，杭州北峰的执行事务合伙人为杭州北峰私募基金管理有限公司，杭州北峰私募基金管理有限公司的基本情况如下：
（1）基本情况企业名称杭州北峰私募基金管理有限公司
统一社会信用代码 91330102MA2KJW4Y3B
注册地址浙江省杭州市上城区元帅庙后88-1号510室法定代表人翁卿瑜注册资本1000万元企业类型其他有限责任公司成立日期2021年8月20日一般项目：私募股权投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成经营范围登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
（2）历史沿革
1）2021年8月，公司成立
2021年8月，翁卿瑜、翟林丰、郑赵翔共同出资设立杭州北峰私募基金管理有限公司，注册资本1000.00万元。
设立时，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1翁卿瑜800.0080.00%
2翟林丰150.0015.00%
3郑赵翔50.005.00%
合计1000.00100.00%
2）2022年8月，第一次股权转让
2022年8月，杭州北峰私募基金管理有限公司作出决议，同意翁卿瑜将本公司的
10.00%股权以0.00元转让给张如忠，同意翟林丰将公司5.00%股权以15.00万元转让给翁卿瑜，同意翟林丰将10.00%的股权以30.00万元转让给郑赵翔。
2022年8月，翁卿瑜与张如忠、翟林丰与翁卿瑜、翟林丰与郑赵翔签订股权转让
262中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）协议。
2022年8月，杭州北峰私募基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1翁卿瑜750.0075.00%
2郑赵翔150.0015.00%
3张如忠100.0010.00%
合计1000.00100.00%
3）2023年4月，第二次股权转让
2023年4月，杭州北峰私募基金管理有限公司作出决议，同意翁卿瑜将所持有的
28.00%的股权转让给林立，同意郑赵翔将所持有的10.00%股权转让给孙兰，同意郑赵
翔将所持有的5.00%的股权转让给翁卿瑜。
2023年4月，杭州北峰私募基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1翁卿瑜520.0052.00%
2林立280.0028.00%
3孙兰100.0010.00%
4张如忠100.0010.00%
合计1000.00100.00%
4）2024年7月，第三次股权转让
2024年7月，翁卿瑜与杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）签订股权转让协议，翁卿瑜将公司的31.00%股权以93.00万元转让给杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）；孙兰与杭州司南股权投资有限公司签订股权转让协议，孙兰将公司的
10.00%股权以30.00万元转让给杭州司南股权投资有限公司；张如忠与杭州司南股权投
资有限公司签订股权转让协议，张如忠将公司的10.00%股权以30.00万元转让给杭州司南股权投资有限公司；林立与杭州司南股权投资有限公司签订股权转让协议，林立将公司的20.00%股权以60.00万元转让给杭州司南股权投资有限公司。
263中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2024年7月，杭州北峰私募基金管理有限公司作出股东会决议，确认股权转让后
股东出资情况如下：翁卿瑜出资210.00万元，占注册资本21.00%，林立出资80.00万元，占注册资本8.00%，杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）出资310.00万元，占注册资本31.00%，杭州司南股权投资有限公司出资400.00万元，占注册资本40.00%。
2024年7月，杭州北峰私募基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
认缴出资额（万序号股东名称出资比例
元）
1杭州司南股权投资有限公司400.0040.00%
2杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）310.0031.00%
3翁卿瑜210.0021.00%
4林立80.008.00%
合计1000.00100.00%
5）2024年12月，第四次股权转让
2024年12月，杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）与翁卿瑜签订股权转让协议，杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）将公司的3.00%股权以30.00万元转让给翁卿瑜；杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）与林立签订股权转让协议，杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）将公司的6.00%股权以60.00万元转让给林立；杭州司南股权投资有限公司与翁卿瑜签订股权转让协议，杭州司南股权投资有限公司将公司的10.00%股权以100.00万元转让给翁卿瑜；杭州司南股权投资有限公
司与林立签订股权转让协议，杭州司南股权投资有限公司将公司的10.00%股权以100.00万元转让给林立。
2024年12月，杭州北峰私募基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
认缴出资额（万序号股东名称出资比例
元）
1翁卿瑜340.0034.00%
2林立240.0024.00%
3杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）220.0022.00%
4杭州司南股权投资有限公司200.0020.00%
264中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号股东名称出资比例
元）
合计1000.00100.00%
6）2025年3月，第五次股权转让
2025年2月，杭州北峰私募基金管理有限公司作出股东会决议确认股权转让后公
司股东出资情况如下：杭州司南股权投资有限公司出资200.00万元，占注册资本20.00%；
杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）出资200.00万元，占注册资本20.00%；
林立出资200.00万元，占注册资本20.00%；翁卿瑜出资400.00万元，占注册资本40.00%。
2025年2月，林立与杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）签订股权转让协议，林立将其在公司4.00%的股权以40.00万元转让给杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）；杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）与翁卿瑜签订股权转让协议，杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）将其在公司中6.00%的股权以60.00万元转让给翁卿瑜。
2025年3月，杭州北峰私募基金管理有限公司完成工商变更登记。
本次变更完成后，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
认缴出资额序号股东名称出资比例（万元）
1翁卿瑜400.0040.00%
2林立200.0020.00%
3杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）200.0020.00%
4杭州司南股权投资有限公司200.0020.00%
合计1000.00100.00%
（3）产权结构关系
截至本报告书签署日，杭州北峰私募基金管理有限公司的股东及股权结构如下：
认缴出资额序号股东名称出资比例（万元）
1翁卿瑜400.0040.00%
2林立200.0020.00%
3杭州北峰德创企业管理合伙企业（有限合伙）200.0020.00%
4杭州司南股权投资有限公司200.0020.00%
合计1000.00100.00%
265中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，杭州北峰私募基金管理有限公司的控股股东为翁卿瑜杭州北峰私募基金管理有限公司的产权结构图如下：
（4）控股股东基本情况
杭州北峰私募基金管理有限公司的控股股东为翁卿瑜，其基本情况如下：
姓名翁卿瑜曾用名无性别男国籍中国
身份证号3303291981********
住所及通讯地址浙江省杭州市****是否取得其他国家或地区的居留无权
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12021-09至今杭州北峰私募基金管理有限公司董事长、总经理
（5）最近三年主营业务发展情况
杭州北峰私募基金管理有限公司的主营业务为私募股权投资基金管理服务，最近三年主营业务未发生变化。
（6）最近两年的主要财务数据及最近一年简要财务报表
1）最近两年的主要财务数据
杭州北峰私募基金管理有限公司最近两年的主要财务数据如下：
266中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计614.55823.75
负债总计21.8262.85
所有者权益592.74760.90
营业收入77.4579.19
营业利润-168.94-77.62
净利润-168.17-76.78
注：上述数据未经审计，下同。
2）最近一年简要合并财务报表
杭州北峰私募基金管理有限公司最近一年简要财务报表数据如下：
*简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产499.25
非流动资产115.30
资产总计614.55
流动负债21.82
非流动负债-
负债总计21.82
净资产592.74
*简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入77.45
营业成本-
营业利润-168.94
利润总额-168.17
净利润-168.17
*简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
267中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
经营活动产生的现金流量净额-223.41
投资活动产生的现金流量净额4.80
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-218.61
（7）主要对外投资情况
除杭州北峰外，杭州北峰私募基金管理有限公司对外投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例1杭州北峰芯晟创业投资合伙企4260.000.70%一般项目：创业投资（限投资业（有限合伙）未上市企业）
一般项目：私募股权投资基金2杭州北峰凌云创业投资合伙企3200.003.13%管理服务（须在中国证券投资业（有限合伙）基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）
3平阳北峰芯曜股权投资合伙企2270.000.04%一般项目：股权投资；创业投业（有限合伙）资（限投资未上市企业）一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；私募股权投资
4嘉善北峰星材创业投资合伙企1051.000.10%基金管理、创业投资基金管理业（有限合伙）服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杭州北峰不存在对外投资。
6、主营业务发展状况
杭州北峰的主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杭州北峰最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计2009.272035.39
负债总计17.58-
所有者权益1991.682035.39
268中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
营业收入--
营业利润-43.70-39.47
净利润-43.70-39.47
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
杭州北峰最近一年简要合并财务报表情况如下：
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产9.27
非流动资产2000.00
资产总计2009.27
流动负债17.58
非流动负债-
负债总计17.58
净资产1991.68
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-43.70
利润总额-43.70
净利润-43.70
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-22.33
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-22.33
269中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
8、私募基金备案情况
杭州北峰已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SXU717。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据杭州北峰的合伙协议，杭州北峰存续期截至2027年12月15日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
杭州北峰除投资标的公司外，无其他对外投资，其以持有标的资产为目的，但非专为本次交易而设立，基于审慎性考虑，其上层权益持有人所持有的标的公司间接权益已进行穿透锁定，直至非以持有标的资产为目的的主体，杭州北峰上层权益持有人已出具《关于穿透锁定的承诺函》：
1.“杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）已出具了《关于认购股份锁定期的承诺函》在前述杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）承诺的锁定期内，就本人/本企业所持杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合伙份额，本人/本单位承诺不会进行转让或者委托他人管理。
2.如杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）存续期不足以覆盖上述股份锁定期的，本人/本企业同意杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）将自动续期至锁定期届满。
3.若本人/本企业所持杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/
合伙份额的锁定期承诺与届时有效的相关法律法规或证券监管机构的最新监管意见不相符的，本公司将根据相关法律法规及证券监管机构的监管意见进行相应调整。
4.本人/本企业所持杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）的股份/股权/合
伙份额在履行前述限售期承诺后进行转让或上市交易的，将遵守相关法律法规及上市公司内部制度的相关规定。
本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”
270中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（三十）温润贰号
1、基本信息
企业名称广东温润振信贰号股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91442000MA7E26RCX9
注册地址 中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 323U卡
主要办公地点 中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 323U卡执行事务合伙人广东温氏投资有限公司出资额35210万元人民币企业类型有限合伙企业成立日期2021年12月24日一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年12月，合伙企业设立
2021年12月，温润振信贰号（珠海）股权投资基金合伙企业（有限合伙）和广东
温氏投资有限公司共同出资设立温润贰号，设立时全体合伙人认缴出资总额为
30000.00万元。
设立时，温润贰号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1广东温氏投资有限公司普通合伙人300.001.00%
2温润振信贰号（珠海）股权投资基金合有限合伙人29700.0099.00%
伙企业（有限合伙）
合计30000.00100.00%
（2）2022年11月，第一次减资2022年11月，温润贰号全体合伙人作出变更决定书，一致同意温润振信贰号（珠海）股权投资基金合伙企业（有限合伙）的出资额减少850.00万元，由29700.00万元人民币减少至28850.00万元人民币，注册资本由30000.00万元变更为29150.00万元。
2022年11月，温润贰号完成工商变更登记。
271中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次变更完成后，温润贰号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1广东温氏投资有限公司普通合伙人300.001.03%
2温润振信贰号（珠海）股权投资基金有限合伙人28850.0098.97%
合伙企业（有限合伙）
合计29150.00100.00%
（3）2022年12月，第一次合伙份额转让及第一次增资
2022年11月，温润贰号全体合伙人作出变更决定书，一致同意中山火炬科创基金
管理中心（有限合伙）成为合伙企业的合伙人。同意企业出资额由人民币29150.00万元变更为35210.00万元。本次新增出资额6060.00万元，其中广东温氏投资有限公司以货币方式认缴出资人民币60.00万元；中山火炬科创基金管理中心（有限合伙）以货
币方式认缴出资6000.00万元。
2022年12月，温润贰号完成工商变更登记。
本次变更完成后，温润贰号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1广东温氏投资有限公司普通合伙人360.001.02%
2温润振信贰号（珠海）股权投资基金有限合伙人28850.0081.94%
合伙企业（有限合伙）3中山火炬科创基金管理中心（有限合有限合伙人6000.0017.04%伙）
合计35210.00100.00%
3、产权关系结构图及股东情况
截至本报告书签署日，温润贰号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1广东温氏投资有限公司普通合伙人360.001.02%
2温润振信贰号（珠海）股权投资基金有限合伙人28850.0081.94%
合伙企业（有限合伙）3中山火炬科创基金管理中心（有限合有限合伙人6000.0017.04%伙）
合计35210.00100.00%
截至本报告书签署日，温润贰号的执行事务合伙人为广东温氏投资有限公司，温润
272中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
贰号的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，温润贰号不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，温润贰号的执行事务合伙人为广东温氏投资有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称广东温氏投资有限公司
统一社会信用代码 91440400572195595Q注册地址珠海市横琴新区港澳大道2333号8栋806办公主要办公地点珠海市横琴新区港澳大道2333号8栋806办公法定代表人赵亮注册资本350000万人民币
企业类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）成立日期2011年4月21日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券经营范围投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，温润贰号的对外投资情况如下：
注册资本直接持股比序号企业名称主营业务（万元）例
深圳市乐骑一般经营项目是：国内贸易，经营进出口业1智能科技有1264.807.33%务（法律、行政法规禁止的项目除外；法律、限公司行政法规限制的项目须取得许可后方可经
273中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股比序号企业名称主营业务（万元）例营），许可经营项目是：自行车、折叠自行车、助力自行车、电动自行车、山地自行车
的生产与销售；平衡车、卡丁车架、电动
滑板车、滑板车、电动车的设计、生产、销售；智能出行设备的研发、设计、生产、销售第二类医疗器械批发零售；日用口罩（非医用）生产与销售；防护用品生产与销售
服务：智能检测设备、机器人系统、计算机
软件、工业自动化设备、智能自动化控制系
统、机电设备的技术开发、技术咨询、技术
杭州沃镭智服务、成果转让；工业自动化设备、机电设
2能科技股份15394.000.60%备的设计、制造、安装、调试、维修、保养；
有限公司货物及技术进出口业务（法律、行政法规禁止的项目除外，法律、行政法规限制的项目取得许可后方可经营）其他无需报经审批的一切合法项目
一般项目：集成电路设计；集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及产品销售；集成电路销售；电子元器件零售；人工智能基础资源与技术平台；人工智能公共服务平台技术咨询服务；人工智能应用软件开发；人工智能理论与算法软件开发；人工智能通用应珠海亿智电
3子科技有限2978.122.22%用系统；人工智能基础软件开发；人工智能
行业应用系统集成服务；软件开发；信息系公司统集成服务；网络与信息安全软件开发；智能机器人的研发；物联网技术服务；物联网技术研发；信息技术咨询服务；电子产品销售；人工智能硬件销售；软件销售；互联网数据服务；知识产权服务（专利代理服务除外）
一般项目：人工智能应用软件开发；人工智
能基础软件开发；技术服务、技术开发、技
术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；
信息系统集成服务；信息技术咨询服务；工珠海金智维程管理服务；计算机软硬件及辅助设备批
4人工智能股3876.741.46%发；计算机软硬件及辅助设备零售；通讯设
份有限公司备销售；信息系统运行维护服务；网络与信息安全软件开发；软件开发；信息安全设备销售；软件外包服务；劳务服务（不含劳务派遣）；基于云平台的业务外包服务；货物进出口；技术进出口
机器人及自动化设备的研发、制造、销售、
安装、租赁、维修；软件研发、销售、售后
苏州钧舵机服务；计算机信息系统集成；光学设备、治
5器人有限公1075.214.34%具、夹具、电子产品、通信设备、机电设备
司的研发、制造、销售；并提供相关技术转让、
技术咨询、技术服务；佣金代理；自营和代理各类商品及技术的进出口业务（依法须经
274中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股比序号企业名称主营业务（万元）例
批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）智能机器人的研发；智能机器人销售；人工智能应用软件开发；人工智能硬件销售；人工智能理论与算法软件开发；物联网设备销售；物联网技术服务；物联网技术研发；物联网设备制造；物联网应用服务；农林牧副
渔业专业机械的安装、维修；农林牧副渔业专业机械的制造；智能控制系统集成；技术
服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技拉塞特机器
61364.0332.40%术转让、技术推广；集成电路芯片及产品制人（深圳）有造；集成电路芯片设计及服务；集成电路芯限公司片及产品销售；半导体器件专用设备销售；
半导体器件专用设备制造；农林牧渔机械配件制造；农林牧渔机械配件销售（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）第二类增值电信业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
一般经营项目：电子产品及配件的研发、销
售、技术服务、技术咨询、技术转让；计算
西安华泰半机软硬件开发、销售、技术服务；货物与技7导体科技有1423.750.63%术的进出口经营（国家限制和禁止进出口的限公司货物和技术除外）（上述经营范围涉及许可经营项目的，凭许可证明文件或批准证书在有效期内经营，未经许可不得经营）导视系统设计；工业机器人、机电设备、仪
器仪表、智能控制零部件的技术开发与销售；计算机软件的设计及销售；计算机软硬
件技术、自动化技术的开发及相关技术信息咨询；国内贸易；经营电子商务；经营进出口业务；智能机器人的销售。人工智能应用软件开发；电子专用材料研发；五金产品研发；五金产品批发；电子元器件制造；电子
8深圳汉阳科306.672.29%元器件批发；电子元器件零售；电子元器件
技有限公司与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；智能家庭消费设备制造；智能家庭消费设备销售；服务消费机器人制造；
计算机软硬件及外围设备制造；计算机软硬件及辅助设备零售；电池制造；电池销售；
电池零配件销售；电机制造；电子产品销售；
企业管理；模具销售；塑料制品制造；塑料制品销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）^无
广东鲲鹏智一般项目：智能机器人的研发；智能机器人
9能机器设备3244.201.85%销售；工业机器人销售；工业机器人安装、有限公司维修；工业机器人制造；服务消费机器人制
275中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股比序号企业名称主营业务（万元）例造；服务消费机器人销售；特殊作业机器人制造；仪器仪表制造；仪器仪表销售；仪器仪表修理；光学仪器制造；光学仪器销售；
光电子器件制造；光电子器件销售；技术服
务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术
转让、技术推广；汽车零部件研发；机械设备研发；新材料技术研发；工程和技术研究和试验发展；货物进出口；国内贸易代理。
（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
6、主营业务发展状况
温润贰号主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
温润贰号最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计34056.6333466.13
负债总计1.301.30
所有者权益34055.3333464.83
营业收入--
营业利润590.50-451.47
净利润590.50-451.47
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
温润贰号2025年的财务报表情况如下：
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产12572.86
非流动资产21483.77
276中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
资产总计34056.63
流动负债1.30
非流动负债-
负债总计1.30
净资产34055.33
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润590.50
利润总额590.50
净利润590.50
8、私募基金备案情况
温润贰号已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
STS250。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据温润贰号的合伙协议并查询国家企业信用公示系统，温润贰号存续期至2028年12月23日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
温润贰号非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十一）中信投资
1、基本信息
企业名称中信证券投资有限公司
统一社会信用代码 91370212591286847J注册地址青岛市崂山区深圳路222号国际金融广场1号楼2001户主要办公地点北京市朝阳区京城大厦6层西南侧法定代表人方浩
277中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本1300000万元
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）成立日期2012年4月1日金融产品投资，证券投资，股权投资（以上范围需经中国证券投资基金业协会登记，未经金融监管部门依法批准，不得从事向公众吸收存款、融资担保、经营范围代客理财等金融服务）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2012年4月，公司设立2012年3月，中信证券股份有限公司向青岛市市场监督管理局填报《公司登记申请书》设立名称为“中信证券投资有限存续期公司”的商事主体。
设立时，中信投资的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司150000.00100.00%
合计150000.00100.00%
（2）2012年9月，第一次增资
2012年8月，中信证券股份有限公司作出关于对中信投资增资的股东决定，同意
中信投资注册资本由150000.00万元整增加到300000.00万元整，并修订公司章程。
2012年9月，中信投资完成变更登记。
该次增资完成后，中信投资的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司300000.00100.00%
合计300000.00100.00%
278中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（3）2017年8月，第二次增资
2017年8月，中信证券股份有限公司作出关于对中信投资增资的股东决定，中信
投资注册资本由300000.00万元整增加到1400000.00万元整，并修订公司章程。
2017年8月，中信投资完成变更登记。
该次增资完成后，中信投资的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司1400000.00100.00%
合计1400000.00100.00%
（4）2022年12月，第三次增资
2022年12月，中信证券股份有限公司作出中信投资股东决定，同意中信投资注册
资本由1400000.00万元增至1700000.00万元，并修订公司章程。
2022年12月，中信投资完成变更登记。
本次变更完成后，中信投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司1700000.00100.00%
合计1700000.00100.00%
（5）2025年5月，第一次减资
2025年5月，中信证券股份有限公司作出中信投资股东决定，中信投资已于2025年3月22日在国家信用信息公示系统进行减资公示，并同意中信投资减少注册资本，股东中信证券股份有限公司减少货币出资40000.00万元整，公司注册资本由
1700000.00万元减少至1300000.00万元，并通过公司新章程。
2025年5月，中信投资完成变更登记。
本次变更完成后，中信投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司1300000.00100.00%
合计1300000.00100.00%
279中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，中信投资的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1中信证券股份有限公司1300000.00100.00%
合计1300000.00100.00%
截至本报告书签署日，中信投资的产权控制关系结构图如下：
截至本报告书签署日，中信投资不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、控股股东及实际控制人基本情况
中信投资的控股股东为中信证券股份有限公司，直接持有中信投资100%的股份。
中信证券股份有限公司情况如下：
企业名称中信证券股份有限公司统一社会信用代码914403001017814402
注册地址广东省深圳市福田区中心三路8号卓越时代广场（二期）北座
主要办公地点广东省深圳市福田区中心三路8号卓越时代广场（二期）北座法定代表人张佑君
注册资本1482054.68万元企业类型上市股份有限公司成立日期1995年10月25日
证券经纪（限山东省、河南省、浙江省天台县、浙江省苍南县以外区域）；
证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；证券资产管理（全国社会保障基金境内委托投资管理、基本经营范围
养老保险基金证券投资管理、企业年金基金投资管理和职业年金基金投资管理）；融资融券；证券投资基金代销；为期货公司提供中间介绍业务；代销金融产品；股票期权做市上市证券做市交易
280中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至2025年12月31日，除标的公司外，中信投资合计对外投资250家，主要投资情况如下：
注册资本直接持序号企业名称主营业务（万元）股比例
一般项目：以私募基金从事股权投资、投天津聚芯九号股权投资管理、资产管理等活动（须在中国证券1资合伙企业（有限合15501.5052.38%投资基金业协会完成登记备案后方可从事伙）经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：股权投资；以私募基金从事创
金石汐智（嘉兴）股权业投资活动（须在中国证券投资基金业协
2投资合伙企业（有限合20000.0049.50%会完成登记备案后方可从事经营活动）（除
伙）依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：以私募基金从事股权投资、投珠海金石云金股权投资管理、资产管理等活动（须在中国证券3资合伙企业（有限合174174.1749.38%投资基金业协会完成登记备案后方可从事伙）经营活动）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
金石影锐（嘉兴）股权一般项目：股权投资（除依法须经批准的4投资合伙企业（有限合26030.0038.42%项目外，凭营业执照依法自主开展经营活伙）动）
私募股权投资基金管理、创业投资基金管
5信保（广州）私募基金10000.0033.00%理服务（须在中国证券投资基金业协会完
管理有限公司成登记备案后方可从事经营活动）
6同方莱士医药产业投200000.0030.00%企业自有资金投资、投资咨询服务、生物资（广东）有限公司医药科技投资
7嘉兴凯米股权投资合38001.0025.50%一般项目:股权投资(除依法须经批准的项
伙企业（有限合伙）目外凭营业执照依法自主开展经营活动)广州越秀创达八号实8业投资合伙企业（有限45145.0022.17%投资咨询服务;企业自有资金投资合伙）
9嘉兴春秋楚庄九鼎投44745.0021.23%股权投资及相关咨询服务
资中心（有限合伙）物业管理；机动车公共停车场服务；软件开发；住房租赁经营；资产评估；设计、
制作、代理、发布广告；技术开发、技术
咨询、技术服务；互联网信息服务；住宿；
10北京建信瑞建物业服2000.0016.00%工程设计。（市场主体依法自主选择经营务有限公司项目，开展经营活动；互联网信息服务、住宿、工程设计以及依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
281中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
6、主营业务发展状况
中信投资主营业务为金融产品投资、证券投资、股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务
（1）2024年、2025年主要财务指标
单位：万元
项目2025年度/2025年12月31日2024年度/2024年12月31日
资产总计2265120.052918684.37
负债总计249876.57302484.26
所有者权益2015243.482616200.11
营业收入208057.86111295.38
营业利润253805.86160314.20
净利润198597.10121105.11
注：2024年、2025年财务数据已经审计。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
资产总计2265120.05
负债总计249876.57
净资产2015243.48
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入208057.86
营业支出-45748.00
营业利润253805.86
利润总额261388.93
净利润198597.10
3）简要合并现金流量表
282中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额858696.22
投资活动产生的现金流量净额9553.31
筹资活动产生的现金流量净额-787100.00
现金及现金等价物净增加额80977.21
（三十二）江苏疌泉
1、基本信息
企业名称江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320214MA20PKLH4X
注册地址 无锡市新吴区清源路 18号大学科技园 530大厦 D507-2
主要办公地点 北京市海淀区知春路 7号致真大厦 A座 20层 2002 2003号执行事务合伙人无锡君海新芯投资咨询有限公司
出资额164242.43万元企业类型有限合伙企业成立日期2019年12月26日股权投资；投资管理（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经经营范围营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2019年12月，合伙企业设立
2019年12月，无锡君海新芯投资咨询有限公司、无锡高新区新动能产业发展基金（有限合伙）以及北京君联创业投资中心（有限合伙）共同出资设立无锡疌泉君海荣芯
投资合伙企业（有限合伙）（后改名为江苏疌泉），设立时全体合伙人认缴出资总额为
1000.00万元。
设立时，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人100.0010.00%
2无锡高新区新动能产业发展基金有限合伙人500.0050.00%（有限合伙）3北京君联创业投资中心（有限合有限合伙人400.0040.00%伙）
283中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
合计1000.00100.00%
（2）2020年7月，第一次增资
2020年7月，江苏疌泉全体合伙人作出变更决定书，一致同意合伙企业总认缴出
资额由1000.00万元增加至126263.00万元；同意吸收江苏省政府投资基金（有限合伙）
为新合伙人，出资额为20000.00万元；同意吸收江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投资企业（有限合伙）为新合伙人，出资额为 20000.00万元；同意吸收 SK海力士（无锡）投资有限公司为新合伙人，出资额为60000.00万元；同意无锡君海新芯投资咨询有限公司出资额由100.00万元增加至1263.00万元；同意无锡高新区新动能产业发展基金（有限合伙）出资额由500.00万元增加至20000.00万元；同意北京君联创业投资中心（有限合伙）出资额由400.00万元增加至5000.00万元。
2020年7月，江苏省政府投资基金（有限合伙）等新合伙人签订入伙协议。
2020年7月，江苏疌泉完成工商变更登记。
本次变更完成后，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1263.001.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 47.52%
3无锡高新区新动能产业发展基金有限合伙人20000.0015.84%（有限合伙）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0015.84%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业有限合伙人20000.0015.84%
投资企业（有限合伙）6北京君联创业投资中心（有限合有限合伙人5000.003.96%伙）
合计126263.00100.00%
（3）2021年5月，第二次增资
2021年4月，江苏疌泉全体合伙人作出变更决定书，一致同意合伙企业认缴出资
额由126263.00万元变更为151515.16万元；同意普通合伙人无锡君海新芯投资咨询有
限公司出资额从1263.00万元变更为1515.16万元；同意吸收南京浦口智思集成电路产
业基金合伙企业（有限合伙）为新合伙人，出资额为20000.00万元；同意吸收上海寓
284中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
馨企业管理合伙企业（有限合伙）为新合伙人，出资额为5000.00万元。
2021年5月，江苏疌泉完成工商变更登记。
本次变更完成后，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1515.161.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 39.60%
3无锡高新区新动能产业发展基金有限合伙人20000.0013.20%（有限合伙）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0013.20%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业有限合伙人20000.0013.20%
投资企业（有限合伙）
6南京浦口智思集成电路产业基金有限合伙人20000.0013.20%
合伙企业（有限合伙）7上海寓馨企业管理合伙企业（有限有限合伙人5000.003.30%合伙）8北京君联创业投资中心（有限合有限合伙人5000.003.30%伙）
合计151515.16100.00%
（4）2021年11月，第三次增资
2021年10月，江苏疌泉全体合伙人作出变更决定书，一致同意合伙企业认缴出资
额由151515.16万元变更为164242.43万元；同意普通合伙人无锡君海新芯投资咨询有
限公司出资额从1515.16万元变更为1642.43万元；同意吸收北京信银嘉盛股权投资合
伙企业（有限合伙）为新合伙人，出资额为12600.00万元。
2021年，北京信银嘉盛股权投资合伙企业（有限合伙）与江苏疌泉其他合伙人签署入伙协议。
2021年11月，江苏疌泉完成工商变更登记。
本次变更完成后，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1642.431.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 36.53%3无锡高新区新动能产业发展基金（有有限合伙人20000.0012.18%限合伙）
285中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0012.18%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投有限合伙人20000.0012.18%
资企业（有限合伙）
6南京浦口智思集成电路产业基金合有限合伙人20000.0012.18%
伙企业（有限合伙）7北京信银嘉盛股权投资合伙企业（有有限合伙人12600.007.67%限合伙）8上海寓馨企业管理合伙企业（有限合有限合伙人5000.003.04%伙）
9北京君联创业投资中心（有限合伙）有限合伙人5000.003.04%
合计164242.43100.00%
（5）2022年12月，第一次合伙份额转让
2022年11月，江苏疌泉全体合伙人作出变更决定书，一致同意北京信银嘉盛股权
投资合伙企业（有限合伙）将其所持有的全部合伙份额转让给信银理财有限责任公司。
2022年11月，北京信银嘉盛股权投资合伙企业（有限合伙）与信银理财有限责任
公司签订《合伙企业财产份额转让协议》。
2022年12月，江苏疌泉完成工商变更登记。
本次变更完成后，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1642.431.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 36.53%3无锡高新区新动能产业发展基金（有限有限合伙人20000.0012.18%合伙）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0012.18%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投资企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）
6南京浦口智思集成电路产业基金合伙企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）7信银理财有限责任公司（代信银理财超有限合伙人12600.007.67%享象股权基金封闭式2号理财产品）
8上海寓馨企业管理合伙企业（有限合伙）有限合伙人5000.003.04%
9北京君联创业投资中心（有限合伙）有限合伙人5000.003.04%
合计164242.43100.00%
286中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（5）2024年9月，第二次合伙份额转让
2024年8月，江苏疌泉全体合伙人作出变更决定书，一致同意上海寓馨企业管理
合伙企业（有限合伙）将其所持有的全部合伙份额转让给拉萨欣导创业投资有限公司。
2024年8月，上海寓馨企业管理合伙企业（有限合伙）与拉萨欣导创业投资有限
公司签订《财产份额转让协议》。
2024年9月，江苏疌泉完成工商变更登记。
本次变更完成后，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1642.431.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 36.53%3无锡高新区新动能产业发展基金（有限有限合伙人20000.0012.18%合伙）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0012.18%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投资企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）
6南京浦口智思集成电路产业基金合伙企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）7信银理财有限责任公司（代信银理财超有限合伙人12600.007.67%享象股权基金封闭式2号理财产品）
8拉萨欣导创业投资有限公司有限合伙人5000.003.04%
9北京君联创业投资中心（有限合伙）有限合伙人5000.003.04%
合计164242.43100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，江苏疌泉的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡君海新芯投资咨询有限公司普通合伙人1642.431.00%
2 SK海力士（无锡）投资有限公司 有限合伙人 60000.00 36.53%3无锡高新区新动能产业发展基金（有限合有限合伙人20000.0012.18%伙）
4江苏省政府投资基金（有限合伙）有限合伙人20000.0012.18%
5江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投资企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）
6南京浦口智思集成电路产业基金合伙企有限合伙人20000.0012.18%业（有限合伙）
287中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
7信银理财有限责任公司（代信银理财超享2有限合伙人12600.007.67%象股权基金封闭式号理财产品）
8拉萨欣导创业投资有限公司有限合伙人5000.003.04%
9北京君联创业投资中心（有限合伙）有限合伙人5000.003.04%
合计164242.43100.00%
截至本报告书签署日，江苏疌泉的执行事务合伙人为无锡君海新芯投资咨询有限公司，江苏疌泉的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，江苏疌泉不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，江苏疌泉的执行事务合伙人为无锡君海新芯投资咨询有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称无锡君海新芯投资咨询有限公司
统一社会信用代码 91320214MA1YQUWK0R
注册地址 无锡市新吴区清源路 18号大学科技园 530大厦 D507-1
主要办公地点 北京市海淀区知春路 7号致真大厦 A座 20层 2002 2003号
288中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
法定代表人陈浩注册资本2000万元
企业类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）成立日期2019年7月19日投资咨询；股权投资；企业管理咨询（依法须经批准的项目，经相关部门批经营范围准后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，江苏疌泉合计对外投资25家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
1南京绿芯集成电路有限公司366.026.86%芯片设计
2马丁科瑞电子科技（浙江）有7738.946.08%半导体设备制造
限公司
3江苏先科半导体新材料有限公102693.174.46%半导体材料制造
司
4江苏亚电科技股份有限公司8397.093.61%半导体设备制造
5苏州镭明激光科技有限公司2507.513.23%激光设备制造
6江苏芯德半导体科技股份有限95906.172.84%芯片设计
公司
7天津绿菱气体股份有限公司36971.342.56%电子化学品制造
8无锡英迪芯微电子科技股份有34425.002.31%分立器件制造
限公司
9上海赛昉半导体科技有限公司1377.48万美元2.10%芯片设计
10 PetaIO LTD 100000000 股 1.59% 芯片设计
6、主营业务发展状况
江苏疌泉主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
江苏疌泉最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计141494.10150248.07
负债总计17.0819.30
289中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
归属于合伙人的净资产合计141477.03150228.77
营业收入9759.27-3611.42
营业利润/亏损7215.59-6646.55
综合收益总额7215.59-6646.55
注：2024年财务数据已审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产21286.64
非流动资产120207.46
资产总计141494.10
流动负债17.08
非流动负债-
负债总计17.08
归属于合伙人的净资产141477.03
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入9759.27
营业支出-2543.68
营业利润7215.59
综合收益总额7215.59
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额3342.05
筹资活动使用的现金流量净额-15967.33
现金及现金等价物净(减少)/增加额-12625.28
290中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
8、私募基金备案情况
江苏疌泉已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SJP631。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据江苏疌泉的合伙协议，江苏疌泉存续期截至2028年7月9日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
江苏疌泉非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十三）朗玛五十九号
1、基本信息
企业名称朗玛五十九号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
统一社会信用代码 91440300MA5H1KK095
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋注册地址101
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋主要办公地点101执行事务合伙人朗玛峰创业投资有限公司出资额15274万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年10月20日
创业投资（限投资未上市企业）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照经营范围依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年10月，合伙企业设立
2021年10月，朗玛峰创业投资有限公司和王剑峰共同出资设立朗玛五十九号，设
立时全体合伙人认缴出资总额为500.00万元。
2021年10月，朗玛五十九号全体合伙人共同签署了合伙协议。
2021年10月，深圳市市场监督管理局核准了朗玛五十九号的设立登记事宜。
291中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）设立时，朗玛五十九号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人400.0080.00%
2王剑峰有限合伙人100.0020.00%
合计500.00100.00%
（2）2022年5月，第一次增资及第一次合伙份额转让
2022年5月，朗玛五十九号全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）朗玛五十
九号认缴出资额由500.00万元变更为15274.00万元，朗玛峰创业投资有限公司对朗玛六十三号的认缴出资额增加至15174.00万元；（2）朗玛峰创业投资有限公司将15074.00
万元认缴出资额、王剑峰将100.00万元认缴出资额分别转让给李娇娥、张冬梅等42名
自然人和深圳市正和伙伴壹号投资有限合伙企业（有限合伙）。
2022年5月，朗玛峰创业投资有限公司、王剑峰与李娇娥、张冬梅等42名自然人
和深圳市正和伙伴壹号投资有限合伙企业（有限合伙）就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2022年5月，朗玛五十九号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2022年5月，朗玛五十九号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛五十九号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.000.65%
2李娇娥有限合伙人836.005.47%
3张冬梅有限合伙人600.003.93%
4杨海瑞有限合伙人530.003.47%
5周诚有限合伙人500.003.27%
6王智锋有限合伙人430.002.82%
7刘金华有限合伙人420.002.75%
8马晓艳有限合伙人405.002.65%
9吕发钦有限合伙人400.002.62%
10阳汕莉有限合伙人400.002.62%
11魏宝耀有限合伙人400.002.62%
292中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
12唐景海有限合伙人380.002.49%
13丁双阳有限合伙人350.002.29%
14赵海容有限合伙人350.002.29%
15刘晖有限合伙人350.002.29%
16耿雪凌有限合伙人343.002.25%
17韩冰有限合伙人340.002.23%
18何钢有限合伙人310.002.03%
19马庆年有限合伙人310.002.03%
20马晨有限合伙人310.002.03%
21高鲲鹏有限合伙人310.002.03%
22深圳市正和伙伴壹号投资有限有限合伙人300.001.96%
合伙企业（有限合伙）
23陈攀屹有限合伙人300.001.96%
24于文龙有限合伙人300.001.96%
25周伊有限合伙人300.001.96%
26周影有限合伙人300.001.96%
27夏钢有限合伙人300.001.96%
28宋清虹有限合伙人300.001.96%
29庄桂兰有限合伙人300.001.96%
30张娟有限合伙人300.001.96%
31张宇有限合伙人300.001.96%
32张德军有限合伙人300.001.96%
33张秀梅有限合伙人300.001.96%
34张彦哲有限合伙人300.001.96%
35曹晖有限合伙人300.001.96%
36杨娜有限合伙人300.001.96%
37王乐宇有限合伙人300.001.96%
38王菊莲有限合伙人300.001.96%
39章茁有限合伙人300.001.96%
40纪芳有限合伙人300.001.96%
41谭建合有限合伙人300.001.96%
42陈宝增有限合伙人300.001.96%
43黄敏有限合伙人300.001.96%
293中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
44刘晖有限合伙人300.001.96%
合计15274.00100.00%
（3）2023年5月，第二次合伙份额转让
2023年5月，朗玛五十九号全体合伙人作出变更决定，一致同意陈攀屹将300.00
万元认缴出资额转让给陈和平。
2023年5月，陈攀屹与陈和平就本次份额转让签署财产份额转让协议。
2023年5月，朗玛五十九号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2023年5月，朗玛五十九号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛五十九号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.000.65%
2李娇娥有限合伙人836.005.47%
3张冬梅有限合伙人600.003.93%
4杨海瑞有限合伙人530.003.47%
5周诚有限合伙人500.003.27%
6王智锋有限合伙人430.002.82%
7刘金华有限合伙人420.002.75%
8马晓艳有限合伙人405.002.65%
9吕发钦有限合伙人400.002.62%
10阳汕莉有限合伙人400.002.62%
11魏宝耀有限合伙人400.002.62%
12唐景海有限合伙人380.002.49%
13丁双阳有限合伙人350.002.29%
14赵海容有限合伙人350.002.29%
15刘晖有限合伙人350.002.29%
16耿雪凌有限合伙人343.002.25%
17韩冰有限合伙人340.002.23%
18何钢有限合伙人310.002.03%
294中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
19马庆年有限合伙人310.002.03%
20马晨有限合伙人310.002.03%
21高鲲鹏有限合伙人310.002.03%
22深圳市正和伙伴壹号投资有限有限合伙人300.001.96%
合伙企业（有限合伙）
23陈和平有限合伙人300.001.96%
24于文龙有限合伙人300.001.96%
25周伊有限合伙人300.001.96%
26周影有限合伙人300.001.96%
27夏钢有限合伙人300.001.96%
28宋清虹有限合伙人300.001.96%
29庄桂兰有限合伙人300.001.96%
30张娟有限合伙人300.001.96%
31张宇有限合伙人300.001.96%
32张德军有限合伙人300.001.96%
33张秀梅有限合伙人300.001.96%
34张彦哲有限合伙人300.001.96%
35曹晖有限合伙人300.001.96%
36杨娜有限合伙人300.001.96%
37王乐宇有限合伙人300.001.96%
38王菊莲有限合伙人300.001.96%
39章茁有限合伙人300.001.96%
40纪芳有限合伙人300.001.96%
41谭建合有限合伙人300.001.96%
42陈宝增有限合伙人300.001.96%
43黄敏有限合伙人300.001.96%
44刘晖有限合伙人300.001.96%
合计15274.00100.00%
（4）2023年8月，第三次合伙份额转让
2023年8月，朗玛五十九号全体合伙人作出变更决定，一致同意张彦哲将300.00
万元认缴出资额转让给高鲲鹏。
295中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年8月，张彦哲与高鲲鹏就本次份额转让签署财产份额转让协议。
2023年8月，朗玛五十九号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2023年8月，朗玛五十九号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛五十九号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.000.65%
2李娇娥有限合伙人836.005.47%
3高鲲鹏有限合伙人610.003.99%
4张冬梅有限合伙人600.003.93%
5杨海瑞有限合伙人530.003.47%
6周诚有限合伙人500.003.27%
7王智锋有限合伙人430.002.82%
8刘金华有限合伙人420.002.75%
9马晓艳有限合伙人405.002.65%
10吕发钦有限合伙人400.002.62%
11阳汕莉有限合伙人400.002.62%
12魏宝耀有限合伙人400.002.62%
13唐景海有限合伙人380.002.49%
14丁双阳有限合伙人350.002.29%
15赵海容有限合伙人350.002.29%
16刘晖有限合伙人350.002.29%
17耿雪凌有限合伙人343.002.25%
18韩冰有限合伙人340.002.23%
19何钢有限合伙人310.002.03%
20马庆年有限合伙人310.002.03%
21马晨有限合伙人310.002.03%
22深圳市正和伙伴壹号投资有限有限合伙人300.001.96%
合伙企业（有限合伙）
23陈和平有限合伙人300.001.96%
24于文龙有限合伙人300.001.96%
25周伊有限合伙人300.001.96%
26周影有限合伙人300.001.96%
296中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
27夏钢有限合伙人300.001.96%
28宋清虹有限合伙人300.001.96%
29庄桂兰有限合伙人300.001.96%
30张娟有限合伙人300.001.96%
31张宇有限合伙人300.001.96%
32张德军有限合伙人300.001.96%
33张秀梅有限合伙人300.001.96%
34曹晖有限合伙人300.001.96%
35杨娜有限合伙人300.001.96%
36王乐宇有限合伙人300.001.96%
37王菊莲有限合伙人300.001.96%
38章茁有限合伙人300.001.96%
39纪芳有限合伙人300.001.96%
40谭建合有限合伙人300.001.96%
41陈宝增有限合伙人300.001.96%
42黄敏有限合伙人300.001.96%
43刘晖有限合伙人300.001.96%
合计15274.00100%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，朗玛五十九号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.000.65%
2李娇娥有限合伙人836.005.47%
3高鲲鹏有限合伙人610.003.99%
4张冬梅有限合伙人600.003.93%
5杨海瑞有限合伙人530.003.47%
6周诚有限合伙人500.003.27%
7王智锋有限合伙人430.002.82%
8刘金华有限合伙人420.002.75%
9马晓艳有限合伙人405.002.65%
10吕发钦有限合伙人400.002.62%
297中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
11阳汕莉有限合伙人400.002.62%
12魏宝耀有限合伙人400.002.62%
13唐景海有限合伙人380.002.49%
14丁双阳有限合伙人350.002.29%
15赵海容有限合伙人350.002.29%
16刘晖有限合伙人350.002.29%
17耿雪凌有限合伙人343.002.25%
18韩冰有限合伙人340.002.23%
19何钢有限合伙人310.002.03%
20马庆年有限合伙人310.002.03%
21马晨有限合伙人310.002.03%
22深圳市正和伙伴壹号投资有限有限合伙人300.001.96%
合伙企业（有限合伙）
23陈和平有限合伙人300.001.96%
24于文龙有限合伙人300.001.96%
25周伊有限合伙人300.001.96%
26周影有限合伙人300.001.96%
27夏钢有限合伙人300.001.96%
28宋清虹有限合伙人300.001.96%
29庄桂兰有限合伙人300.001.96%
30张娟有限合伙人300.001.96%
31张宇有限合伙人300.001.96%
32张德军有限合伙人300.001.96%
33张秀梅有限合伙人300.001.96%
34曹晖有限合伙人300.001.96%
35杨娜有限合伙人300.001.96%
36王乐宇有限合伙人300.001.96%
37王菊莲有限合伙人300.001.96%
38章茁有限合伙人300.001.96%
39纪芳有限合伙人300.001.96%
40谭建合有限合伙人300.001.96%
41陈宝增有限合伙人300.001.96%
42黄敏有限合伙人300.001.96%
298中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
43刘晖有限合伙人300.001.96%
合计15274.00100.00%
截至本报告书签署日，朗玛五十九号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，朗玛五十九号的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，朗玛五十九号不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，朗玛五十九号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称朗玛峰创业投资有限公司
统一社会信用代码 91440300MA5DC1MJ13
注册地址 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋
主要办公地点 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋法定代表人肖建聪注册资本5000万元企业类型有限责任公司成立日期2016年5月5日一般经营项目是：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）
299中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，朗玛五十九号的对外投资情况如下：
注册资本直接持股比序号企业名称主营业务（万元）例
1 无锡芯享信息科技有限公 1115.03 5.67% 半导体工厂 IT 全栈解决方
司案
2北京枫清科技有限公司2000.004.02%图数据库、图分析平台
3慷智集成电路（上海）有195.251.57%实时高清视频传输芯片
限公司
6、主营业务发展状况
朗玛五十九号主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
朗玛五十九号最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计14459.7814459.99
负债总计0.940.93
所有者权益14458.8414459.06
营业收入--
营业利润-0.21-307.01
净利润-0.21-307.01
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产109.78
非流动资产14350.00
资产总计14459.78
流动负债0.94
300中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日
非流动负债-
负债总计0.94
净资产14458.84
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.21
利润总额-0.21
净利润-0.21
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.20
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-0.20
8、私募基金备案情况
朗玛五十九号已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
STT107。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据朗玛五十九号的合伙协议，朗玛五十九号经营期限为长期，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
朗玛五十九号非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
301中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（三十四）毅达鼎祺
1、基本信息
企业名称无锡高投毅达鼎祺人才创业投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320211MA7N7D3DXU
注册地址无锡市滨湖区建筑西路599-5（1号楼）四楼401-72主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
执行事务合伙人无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙）出资额50000万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年5月10日
一般项目：创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批准的项目外，凭经营范围营业执照依法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年5月，合伙企业设立
2022年5月，无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙）和江苏高科技投
资集团有限公司、无锡鼎祺山水投资合伙企业（有限合伙）等共同出资设立毅达鼎祺，设立时全体合伙人认缴出资总额为50000.00万元。
2022年4月，毅达鼎祺全体合伙人共同签署了合伙协议。
2022年5月，毅达鼎祺完成工商设立登记。
设立时，毅达鼎祺的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1无锡毅达汇德股权投资管理合普通合伙人500.001.00%
伙企业（有限合伙）
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人14500.0029.00%3无锡鼎祺创芯投资合伙企业（有有限合伙人5000.0010.00%限合伙）4无锡鼎祺山水投资合伙企业（有有限合伙人5000.0010.00%限合伙）5无锡鼎祺金马投资合伙企业（有有限合伙人5000.0010.00%限合伙）
6无锡丰润投资有限公司有限合伙人5000.0010.00%
7南京毅达汇员鼎祺创业投资合有限合伙人2000.004.00%
302中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
伙企业（有限合伙）
8苏州市汇涓为川企业管理合伙有限合伙人2000.004.00%企业（有限合伙）
9无锡弘捷投资有限公司有限合伙人2000.004.00%
10袁晓峰有限合伙人1500.003.00%
11泰州市盛毅企业管理合伙企业有限合伙人1500.003.00%（有限合伙）
12张小红有限合伙人1000.002.00%
13杨丽鸿有限合伙人1000.002.00%
14葛林风有限合伙人1000.002.00%15上海朝茶夕酒投资合伙企业（有有限合伙人1000.002.00%限合伙）
16杨荣锦有限合伙人1000.002.00%
17无锡贝斯特投资有限公司有限合伙人1000.002.00%
合计50000.00100.00%
（2）2025年12月，第一次合伙份额转让
毅达鼎祺全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）原有限合伙人泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合伙）退伙；（2）有限合伙人无锡弘捷投资有限公司减少认缴
出资额600.00万元；（3）有限合伙人无锡贝斯特投资有限公司减少认缴出资额300.00万元；（4）新有限合伙人蒋红兵入伙，承担有限责任，在本企业中认缴出资1500万
元；（5）新有限合伙人西藏爱达汇承私募基金管理有限公司入伙，承担有限责任，在本企业中认缴出资900万元。
毅达鼎祺全体合伙人就蒋红兵、西藏爱达汇承私募基金管理有限公司入伙事宜签署入伙协议。
2025年10月，毅达鼎祺全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2025年12月，毅达鼎祺完成工商变更登记。
本次变更完成后，毅达鼎祺的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡毅达汇德股权投资管理合普通合伙人500.001.00%
伙企业（有限合伙）
303中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人14500.0029.00%
3无锡鼎祺创芯投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
4无锡鼎祺山水投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
5无锡鼎祺金马投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
6无锡丰润投资有限公司有限合伙人5000.0010.00%
7南京毅达汇员鼎祺创业投资合有限合伙人2000.004.00%
伙企业（有限合伙）
8苏州市汇涓为川企业管理合伙有限合伙人2000.004.00%企业（有限合伙）
9袁晓峰有限合伙人1500.003.00%
10蒋红兵有限合伙人1500.003.00%
11无锡弘捷投资有限公司有限合伙人1400.002.80%
12张小红有限合伙人1000.002.00%
13杨丽鸿有限合伙人1000.002.00%
14葛林风有限合伙人1000.002.00%
15上海朝茶夕酒投资合伙企业有限合伙人1000.002.00%（有限合伙）
16杨荣锦有限合伙人1000.002.00%
17西藏爱达汇承私募基金管理有有限合伙人900.001.80%
限公司
18无锡贝斯特投资有限公司有限合伙人700.001.40%
合计50000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，毅达鼎祺的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1无锡毅达汇德股权投资管理合普通合伙人500.001.00%
伙企业（有限合伙）
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人14500.0029.00%
3无锡鼎祺创芯投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
4无锡鼎祺山水投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
5无锡鼎祺金马投资合伙企业有限合伙人5000.0010.00%（有限合伙）
6无锡丰润投资有限公司有限合伙人5000.0010.00%
304中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
7南京毅达汇员鼎祺创业投资合有限合伙人2000.004.00%
伙企业（有限合伙）
8苏州市汇涓为川企业管理合伙有限合伙人2000.004.00%企业（有限合伙）
9袁晓峰有限合伙人1500.003.00%
10蒋红兵有限合伙人1500.003.00%
11无锡弘捷投资有限公司有限合伙人1400.002.80%
12张小红有限合伙人1000.002.00%
13杨丽鸿有限合伙人1000.002.00%
14葛林风有限合伙人1000.002.00%
15上海朝茶夕酒投资合伙企业有限合伙人1000.002.00%（有限合伙）
16杨荣锦有限合伙人1000.002.00%
17西藏爱达汇承私募基金管理有有限合伙人900.001.80%
限公司
18无锡贝斯特投资有限公司有限合伙人700.001.40%
合计50000.00100.00%
截至本报告书签署日，毅达鼎祺的执行事务合伙人为无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙），产权结构图如下：
截至本报告书签署日，毅达鼎祺不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等
305中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，毅达鼎祺的执行事务合伙人为无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
企业名称无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320211MA7F7CGM6D
注册地址无锡市滨湖区建筑西路599-5（1号楼）四楼401-63室主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
执行事务合伙人南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）出资额1000万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年12月31日一般项目：股权投资；以自有资金从事投资活动（除依法须经批准的项目外，经营范围凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，毅达鼎祺合计对外投资19家，主要投资情况如下：
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例江苏丽隽功率半导体有限公
13137.226.97%功率半导体产品的研发、设计、生
司产和销售
2成都雷尼尔科技有限公司607.417.13%全数字阵列前端系统解决方案3航空航天大功率电能域系统（综合北京电擎科技有限公司3691.964.90%电力系统）研发制造
4英嘉动力科技无锡有限公司2427.084.29%清洁能源和新能源的喷射系统产品
的正向研发、生产和销售
健康领域(包括呼吸、心率、心电图、合肥中科知奇信息科技有限
5583.333.81%睡眠质量、姿态、卒中风险等）的
公司
非接触式电磁感知 AI技术应用苏州外延世电子材料有限公
6半导体核心零部件精密清洗及特殊10072.073.23%
司涂层服务
7设计和制造高性能的运动控制产品无锡星微科技有限公司1232.883.15%
和整机装备
亿方联创（江苏）科技有限公
8 1651.11 2.66% 从事EDA通用底座及芯片设计综合
司平台的企业内蒙古和光新材料股份有限
92833.902.55%光伏用方硅芯生产
公司
306中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例从事自主可控及自主创新数字信号
10 处 理 器 芯 片 （ Digital Signal青岛本原微电子有限公司 3730.65 2.09% Processor，DSP）及解决方案的产品
研发
6、主营业务发展状况
毅达鼎祺主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
毅达鼎祺最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计47842.7338090.93
负债总计--
所有者权益47842.7338090.93
营业收入-1215.03
营业利润-898.20348.48
净利润-898.20348.48
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产9147.74
非流动资产38694.98
资产总计47842.73
流动负债-
非流动负债-
负债总计-
净资产47842.73
2）简要合并利润表
307中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本943.40
营业利润-898.20
利润总额-898.20
净利润-898.20
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-8133.32
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额10650.00
现金及现金等价物净增加额2516.68
8、私募基金备案情况
毅达鼎祺已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SVS401。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据毅达鼎祺的合伙协议，毅达鼎祺经营期限至2030年5月9日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
毅达鼎祺非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十五）朗玛六十号
1、基本信息
企业名称朗玛六十号（深圳）创业投资中心（有限合伙）
统一社会信用代码 91440300MA5H1KL807
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋注册地址101
深圳市前海深港合作区南山街道桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10 栋主要办公地点101执行事务合伙人朗玛峰创业投资有限公司
308中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
出资额5312万元企业类型有限合伙企业成立日期2021年10月20日
创业投资（限投资未上市企业）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依经营范围法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2021年10月，合伙企业设立
2021年10月，朗玛峰创业投资有限公司和王剑峰共同出资设立朗玛六十号，设立
时全体合伙人认缴出资总额为500.00万元。
2021年10月，朗玛六十号全体合伙人共同签署了合伙协议。
2021年10月，朗玛六十号完成工商设立登记。
设立时，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人400.0080.00%
2王剑峰有限合伙人100.0020.00%
合计500.00100.00%
（2）2022年4月，第一次增资及第一次合伙份额转让
2022年4月，朗玛六十号全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）朗玛六十号
认缴出资额由500.00万元变更为5312.00万元，朗玛峰创业投资有限公司对朗玛六十号的认缴出资额增加至5212.00万元；（2）朗玛峰创业投资有限公司将5112.00万元
认缴出资额、王剑锋将100.00万元认缴出资额分别转让给王秀玲、李珍兰和吕成祥等
49名自然人。
2022年4月，朗玛峰创业投资有限公司、王剑锋与王秀玲、李珍兰和吕成祥等49
名自然人就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2022年4月，朗玛六十号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2022年4月，朗玛六十号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
309中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.001.88%
2王秀玲有限合伙人200.003.77%
3李珍兰有限合伙人160.003.01%
4吕成祥有限合伙人150.002.82%
5李杰有限合伙人120.002.26%
6欧先俊有限合伙人120.002.26%
7王立群有限合伙人120.002.26%
8张旭鹏有限合伙人116.002.18%
9赵海容有限合伙人110.002.07%
10蒋荫正有限合伙人106.002.00%
11魏玉华有限合伙人106.002.00%
12张琴有限合伙人104.001.96%
13陆叶有限合伙人100.001.88%
14冯国红有限合伙人100.001.88%
15刘军成有限合伙人100.001.88%
16刘敏有限合伙人100.001.88%
17刘春梅有限合伙人100.001.88%
18刘金城有限合伙人100.001.88%
19单宗霞有限合伙人100.001.88%
20史明有限合伙人100.001.88%
21何怡有限合伙人100.001.88%
22夏岚有限合伙人100.001.88%
23周智有限合伙人100.001.88%
24安淑芬有限合伙人100.001.88%
25尹秀玲有限合伙人100.001.88%
26巢宇辉有限合伙人100.001.88%
27张京兰有限合伙人100.001.88%
28张雪兰有限合伙人100.001.88%
29忻凤云有限合伙人100.001.88%
30李军有限合伙人100.001.88%
31李凤兰有限合伙人100.001.88%
32李海红有限合伙人100.001.88%
310中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
33林强有限合伙人100.001.88%
34林英姬有限合伙人100.001.88%
35柴凤荣有限合伙人100.001.88%
36涂晓莺有限合伙人100.001.88%
37王九全有限合伙人100.001.88%
38王云岚有限合伙人100.001.88%
39田保霞有限合伙人100.001.88%
40苗云生有限合伙人100.001.88%
41解春泉有限合伙人100.001.88%
42谢雨晴有限合伙人100.001.88%
43贺乃新有限合伙人100.001.88%
44赵广洲有限合伙人100.001.88%
45赖文联有限合伙人100.001.88%
46邹素虹有限合伙人100.001.88%
47郝世琦有限合伙人100.001.88%
48靳利娜有限合伙人100.001.88%
49高彩虹有限合伙人100.001.88%
50郝月嘉有限合伙人100.001.88%
合计5312.00100.00%
（3）2023年9月，第二次合伙份额转让
2023年9月，朗玛六十号全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）赖文联将100.00
万元认缴出资额转让给唐艳；（2）何怡将100.00万元认缴出资额转让给付春华。
2023年9月，赖文联与唐艳就上述份额转让签署财产份额转让协议；何怡与付春
华就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2023年9月，朗玛六十号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2023年9月，朗玛六十号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
311中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.001.88%
2王秀玲有限合伙人200.003.77%
3李珍兰有限合伙人160.003.01%
4吕成祥有限合伙人150.002.82%
5李杰有限合伙人120.002.26%
6欧先俊有限合伙人120.002.26%
7王立群有限合伙人120.002.26%
8张旭鹏有限合伙人116.002.18%
9赵海容有限合伙人110.002.07%
10蒋荫正有限合伙人106.002.00%
11魏玉华有限合伙人106.002.00%
12张琴有限合伙人104.001.96%
13陆叶有限合伙人100.001.88%
14冯国红有限合伙人100.001.88%
15刘军成有限合伙人100.001.88%
16刘敏有限合伙人100.001.88%
17刘春梅有限合伙人100.001.88%
18刘金城有限合伙人100.001.88%
19单宗霞有限合伙人100.001.88%
20史明有限合伙人100.001.88%
21付春华有限合伙人100.001.88%
22夏岚有限合伙人100.001.88%
23周智有限合伙人100.001.88%
24安淑芬有限合伙人100.001.88%
25尹秀玲有限合伙人100.001.88%
26巢宇辉有限合伙人100.001.88%
27张京兰有限合伙人100.001.88%
28张雪兰有限合伙人100.001.88%
29忻凤云有限合伙人100.001.88%
30李军有限合伙人100.001.88%
31李凤兰有限合伙人100.001.88%
32李海红有限合伙人100.001.88%
312中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
33林强有限合伙人100.001.88%
34林英姬有限合伙人100.001.88%
35柴凤荣有限合伙人100.001.88%
36涂晓莺有限合伙人100.001.88%
37王九全有限合伙人100.001.88%
38王云岚有限合伙人100.001.88%
39田保霞有限合伙人100.001.88%
40苗云生有限合伙人100.001.88%
41解春泉有限合伙人100.001.88%
42谢雨晴有限合伙人100.001.88%
43贺乃新有限合伙人100.001.88%
44赵广洲有限合伙人100.001.88%
45唐艳有限合伙人100.001.88%
46邹素虹有限合伙人100.001.88%
47郝世琦有限合伙人100.001.88%
48靳利娜有限合伙人100.001.88%
49高彩虹有限合伙人100.001.88%
50郝月嘉有限合伙人100.001.88%
合计5312.00100.00%
（4）2024年9月，第三次合伙份额转让
2024年8月，朗玛六十号全体合伙人作出变更决定，一致同意陆叶将100.00万元
认缴出资额转让给黄锦福。
2024年8月，朗玛六十号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2024年8月，陆叶与黄锦福就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2024年9月，朗玛六十号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.001.88%
313中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
2王秀玲有限合伙人200.003.77%
3李珍兰有限合伙人160.003.01%
4吕成祥有限合伙人150.002.82%
5李杰有限合伙人120.002.26%
6欧先俊有限合伙人120.002.26%
7王立群有限合伙人120.002.26%
8张旭鹏有限合伙人116.002.18%
9赵海容有限合伙人110.002.07%
10蒋荫正有限合伙人106.002.00%
11魏玉华有限合伙人106.002.00%
12张琴有限合伙人104.001.96%
13黄锦福有限合伙人100.001.88%
14冯国红有限合伙人100.001.88%
15刘军成有限合伙人100.001.88%
16刘敏有限合伙人100.001.88%
17刘春梅有限合伙人100.001.88%
18刘金城有限合伙人100.001.88%
19单宗霞有限合伙人100.001.88%
20史明有限合伙人100.001.88%
21付春华有限合伙人100.001.88%
22夏岚有限合伙人100.001.88%
23周智有限合伙人100.001.88%
24安淑芬有限合伙人100.001.88%
25尹秀玲有限合伙人100.001.88%
26巢宇辉有限合伙人100.001.88%
27张京兰有限合伙人100.001.88%
28张雪兰有限合伙人100.001.88%
29忻凤云有限合伙人100.001.88%
30李军有限合伙人100.001.88%
31李凤兰有限合伙人100.001.88%
32李海红有限合伙人100.001.88%
33林强有限合伙人100.001.88%
314中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
34林英姬有限合伙人100.001.88%
35柴凤荣有限合伙人100.001.88%
36涂晓莺有限合伙人100.001.88%
37王九全有限合伙人100.001.88%
38王云岚有限合伙人100.001.88%
39田保霞有限合伙人100.001.88%
40苗云生有限合伙人100.001.88%
41解春泉有限合伙人100.001.88%
42谢雨晴有限合伙人100.001.88%
43贺乃新有限合伙人100.001.88%
44赵广洲有限合伙人100.001.88%
45唐艳有限合伙人100.001.88%
46邹素虹有限合伙人100.001.88%
47郝世琦有限合伙人100.001.88%
48靳利娜有限合伙人100.001.88%
49高彩虹有限合伙人100.001.88%
50郝月嘉有限合伙人100.001.88%
合计5312.00100.00%
（5）2024年12月，第四次合伙份额转让
2024年12月，朗玛六十号全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）郝月嘉将
100.00万元认缴出资额转让给孙鹏晰；（2）周智将100.00万元认缴出资额转让给赵玉华。
2024年12月，郝月嘉与孙鹏晰就上述份额转让签署财产份额转让协议；周智与赵
玉华就上述份额转让签署财产份额转让协议。
2024年12月，朗玛六十号全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2024年12月，朗玛六十号完成工商变更登记。
本次变更完成后，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
315中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.001.88%
2王秀玲有限合伙人200.003.77%
3李珍兰有限合伙人160.003.01%
4吕成祥有限合伙人150.002.82%
5李杰有限合伙人120.002.26%
6欧先俊有限合伙人120.002.26%
7王立群有限合伙人120.002.26%
8张旭鹏有限合伙人116.002.18%
9赵海容有限合伙人110.002.07%
10蒋荫正有限合伙人106.002.00%
11魏玉华有限合伙人106.002.00%
12张琴有限合伙人104.001.96%
13陆叶有限合伙人100.001.88%
14冯国红有限合伙人100.001.88%
15刘军成有限合伙人100.001.88%
16刘敏有限合伙人100.001.88%
17刘春梅有限合伙人100.001.88%
18刘金城有限合伙人100.001.88%
19单宗霞有限合伙人100.001.88%
20史明有限合伙人100.001.88%
21付春华有限合伙人100.001.88%
22夏岚有限合伙人100.001.88%
23赵玉华有限合伙人100.001.88%
24安淑芬有限合伙人100.001.88%
25尹秀玲有限合伙人100.001.88%
26巢宇辉有限合伙人100.001.88%
27张京兰有限合伙人100.001.88%
28张雪兰有限合伙人100.001.88%
29忻凤云有限合伙人100.001.88%
30李军有限合伙人100.001.88%
31李凤兰有限合伙人100.001.88%
32李海红有限合伙人100.001.88%
316中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
33林强有限合伙人100.001.88%
34林英姬有限合伙人100.001.88%
35柴凤荣有限合伙人100.001.88%
36涂晓莺有限合伙人100.001.88%
37王九全有限合伙人100.001.88%
38王云岚有限合伙人100.001.88%
39田保霞有限合伙人100.001.88%
40苗云生有限合伙人100.001.88%
41解春泉有限合伙人100.001.88%
42谢雨晴有限合伙人100.001.88%
43贺乃新有限合伙人100.001.88%
44赵广洲有限合伙人100.001.88%
45唐艳有限合伙人100.001.88%
46邹素虹有限合伙人100.001.88%
47郝世琦有限合伙人100.001.88%
48靳利娜有限合伙人100.001.88%
49高彩虹有限合伙人100.001.88%
50孙鹏晰有限合伙人100.001.88%
合计5312.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，朗玛六十号的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1朗玛峰创业投资有限公司普通合伙人100.001.88%
2王秀玲有限合伙人200.003.77%
3李珍兰有限合伙人160.003.01%
4吕成祥有限合伙人150.002.82%
5李杰有限合伙人120.002.26%
6欧先俊有限合伙人120.002.26%
7王立群有限合伙人120.002.26%
8张旭鹏有限合伙人116.002.18%
9赵海容有限合伙人110.002.07%
317中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
10蒋荫正有限合伙人106.002.00%
11魏玉华有限合伙人106.002.00%
12张琴有限合伙人104.001.96%
13陆叶有限合伙人100.001.88%
14冯国红有限合伙人100.001.88%
15刘军成有限合伙人100.001.88%
16刘敏有限合伙人100.001.88%
17刘春梅有限合伙人100.001.88%
18刘金城有限合伙人100.001.88%
19单宗霞有限合伙人100.001.88%
20史明有限合伙人100.001.88%
21付春华有限合伙人100.001.88%
22夏岚有限合伙人100.001.88%
23赵玉华有限合伙人100.001.88%
24安淑芬有限合伙人100.001.88%
25尹秀玲有限合伙人100.001.88%
26巢宇辉有限合伙人100.001.88%
27张京兰有限合伙人100.001.88%
28张雪兰有限合伙人100.001.88%
29忻凤云有限合伙人100.001.88%
30李军有限合伙人100.001.88%
31李凤兰有限合伙人100.001.88%
32李海红有限合伙人100.001.88%
33林强有限合伙人100.001.88%
34林英姬有限合伙人100.001.88%
35柴凤荣有限合伙人100.001.88%
36涂晓莺有限合伙人100.001.88%
37王九全有限合伙人100.001.88%
38王云岚有限合伙人100.001.88%
39田保霞有限合伙人100.001.88%
40苗云生有限合伙人100.001.88%
41解春泉有限合伙人100.001.88%
318中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
42谢雨晴有限合伙人100.001.88%
43贺乃新有限合伙人100.001.88%
44赵广洲有限合伙人100.001.88%
45唐艳有限合伙人100.001.88%
46邹素虹有限合伙人100.001.88%
47郝世琦有限合伙人100.001.88%
48靳利娜有限合伙人100.001.88%
49高彩虹有限合伙人100.001.88%
50孙鹏晰有限合伙人100.001.88%
合计5312.00100%
截至本报告书签署日，朗玛六十号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，朗玛六十号的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，朗玛六十号不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，朗玛六十号的执行事务合伙人为朗玛峰创业投资有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称朗玛峰创业投资有限公司
统一社会信用代码 91440300MA5DC1MJ13
319中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册地址 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋
主要办公地点 深圳市前海深港合作区桂湾五路 128 号前海深港基金小镇 A10栋法定代表人肖建聪注册资本5000万元企业类型有限责任公司成立日期2016年5月5日一般经营项目是：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中经营范围国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，朗玛六十号的对外投资情况如下：
注册资本（万直接持股序号企业名称主营业务
元）比例
1 无锡芯享信息科技有限 1115.03 1.74% 半导体工厂 IT全栈解决方案
公司
2领充新能源科技有限公11047.821.20%智能充换电、车载充电产品
司
6、主营业务发展状况
朗玛六十号主营业务为股权投资，最近三年未发生变更。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
朗玛六十号最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计5030.945031.07
负债总计0.840.83
所有者权益5030.105030.24
营业收入--
营业利润-0.14-106.48
净利润-0.14-106.48
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
320中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产58.91
非流动资产4972.03
资产总计5030.94
流动负债0.84
非流动负债-
负债总计0.84
净资产5030.10
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-0.14
利润总额-0.14
净利润-0.14
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.13
投资活动产生的现金流量净额-22.03
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额-22.16
8、私募基金备案情况
朗玛六十号已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
STT108。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据朗玛六十号的合伙协议，朗玛六十号经营期限为长期，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
321中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、穿透锁定情况
朗玛六十号非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十六）嘉兴邦拓
1、基本信息
企业名称嘉兴邦拓股权投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330402MABXUXY58J
注册地址浙江省嘉兴市南湖区东栅街道南江路1856号基金小镇1号楼186室-5
主要办公地点 上海市浦东新区浦明路 1436号陆家嘴滨江中心MT座 22 层执行事务合伙人上海宝鼎投资管理有限公司出资额12060万元企业类型有限合伙企业成立日期2022年9月23日一般项目：股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营范围经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2022年9月，合伙企业设立
2022年9月，上海宝鼎投资管理有限公司和上海申银发展有限公司共同出资设立
嘉兴邦拓，设立时全体合伙人认缴出资总额为1000.00万元。设立时，嘉兴邦拓合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海宝鼎投资管理合伙企业普通合伙人550.0055.00%
2上海申银发展有限公司有限合伙人450.0045.00%
合计1000.00100.00%
（2）2023年2月，第一次合伙份额转让及第一次增资
2022年12月，嘉兴邦拓全体合伙人作出变更决定书，一致同意有限合伙人上海申
银发展有限公司退伙，同意修琪、何新文、李哲、周晓艳、洪梅、海春、张凤玲、陈欲晓、邹光辉、姚伟君、施荔然、杨慧、吴萍、龚忱、丁政权、李频超、施金山、初秀丽入伙，同意合伙企业的出资额由1000.00万元变更至12060.00万元。
322中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年2月，嘉兴邦拓完成工商变更登记。
本次变更完成后，嘉兴邦拓的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海宝鼎投资管理有限公司普通合伙人10.000.08%
2修琪有限合伙人4300.0035.66%
3何新文有限合伙人1000.008.29%
4李哲有限合伙人1000.008.29%
5周晓艳有限合伙人500.004.15%
6洪梅有限合伙人500.004.15%
7海春有限合伙人500.004.15%
8张凤玲有限合伙人500.004.15%
9陈欲晓有限合伙人500.004.15%
10邹光辉有限合伙人500.004.15%
11姚伟君有限合伙人500.004.15%
12施荔然有限合伙人300.002.49%
13杨慧有限合伙人300.002.49%
14吴萍有限合伙人300.002.49%
15龚忱有限合伙人300.002.49%
16丁政权有限合伙人300.002.49%
17李频超有限合伙人300.002.49%
18施金山有限合伙人300.002.49%
19初秀丽有限合伙人150.001.24%
合计12060.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，嘉兴邦拓的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1上海宝鼎投资管理有限公司普通合伙人10.000.08%
2修琪有限合伙人4300.0035.66%
3何新文有限合伙人1000.008.29%
4李哲有限合伙人1000.008.29%
5周晓艳有限合伙人500.004.15%
323中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
6洪梅有限合伙人500.004.15%
7海春有限合伙人500.004.15%
8张凤玲有限合伙人500.004.15%
9陈欲晓有限合伙人500.004.15%
10邹光辉有限合伙人500.004.15%
11姚伟君有限合伙人500.004.15%
12施荔然有限合伙人300.002.49%
13杨慧有限合伙人300.002.49%
14吴萍有限合伙人300.002.49%
15龚忱有限合伙人300.002.49%
16丁政权有限合伙人300.002.49%
17李频超有限合伙人300.002.49%
18施金山有限合伙人300.002.49%
19初秀丽有限合伙人150.001.24%
合计12060.00100.00%
截至本报告书签署日，嘉兴邦拓的执行事务合伙人为上海宝鼎投资管理有限公司，嘉兴邦拓的产权结构图如下：
324中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，嘉兴邦拓不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，嘉兴邦拓的执行事务合伙人为上海宝鼎投资管理有限公司，合伙人基本情况如下：
企业名称上海宝鼎投资管理有限公司
统一社会信用代码 9131011563129085XG
注册地址中国（上海）自由贸易试验区临港新片区芦潮港路1969号101室
主要办公地点 上海市浦东新区浦明路 1436号陆家嘴滨江中心MT座 22 层法定代表人周丹注册资本10000万元
企业类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）
325中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
成立日期1998年11月11日
经营范围投资管理，投资咨询
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，嘉兴邦拓的对外投资情况如下：
注册资本（万直接持股序号企业名称主营业务
元）比例
1杭州欧诺半导体设备有限公司7500.0026.67%半导体炉管设备
2杭州浙硅半导体设备有限公司2800.0018.04%半导体二手设备翻新
3大连科利德半导体材料股份有7500.001.14%电子特气
限公司
4新珹电子（杭州）有限公司3333.331.80%薄膜沉积设备
6、主营业务发展状况
嘉兴邦拓主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变更。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
嘉兴邦拓最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计6935.758341.92
负债总计0.580.68
所有者权益6935.178341.24
营业收入--
营业利润-1406.07-0.21
净利润-1406.07-0.21
注：2024年财务数据已审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
嘉兴邦拓最近一年简要财务报表数据如下：
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
326中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日
流动资产826.19
非流动资产6109.57
资产总计6935.75
流动负债0.58
非流动负债-
负债总计0.58
净资产6935.17
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润-1406.07
利润总额-1406.07
净利润-1406.07
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-0.36
投资活动产生的现金流量净额34.19
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额33.83
8、私募基金备案情况
嘉兴邦拓已在中国证券投资基金业协会完成私募投资基金备案手续，基金编号为：
SXW412。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据嘉兴邦拓的合伙协议，嘉兴邦拓存续期至2028年12月14日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
327中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、穿透锁定情况
嘉兴邦拓非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十七）毅达太湖
1、基本信息
企业名称无锡高投毅达太湖人才成长创业投资合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320292MA21M4R391
注册地址无锡经济开发区红星大都汇东侧8号楼（无锡人才金融港）5楼主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
执行事务合伙人南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）出资额21000万元企业类型有限合伙企业成立日期2020年6月2日一般项目：创业投资；股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依经营范围法自主开展经营活动）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2020年6月，合伙企业设立
2020年6月，南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）和江苏高科技投资集团有
限公司、无锡丰润投资有限公司等共同出资设立毅达太湖，设立时全体合伙人认缴出资总额为20000.00万元。
2020年5月，毅达太湖全体合伙人共同签署了合伙协议。
2020年6月，毅达太湖完成工商设立登记。
设立时，毅达太湖的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人200.001.00%伙）
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人5800.0029.00%
3无锡太湖股权投资基金（有限合伙）有限合伙人4000.0020.00%
4无锡丰润投资有限公司有限合伙人4000.0020.00%5上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合有限合伙人1000.005.00%
328中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
伙）
6江苏亚盛金属制品有限公司有限合伙人1000.005.00%
7孙玉珍有限合伙人1000.005.00%
8朗新科技集团股份有限公司有限合伙人1000.005.00%
9无锡市太湖家园房地产经营有限公司有限合伙人1000.005.00%
10南京网觉软件有限公司有限合伙人1000.005.00%
合计20000.00100.00%
（2）2020年11月，第一次合伙份额转让
2020年11月，毅达太湖全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）有限合伙人
孙玉珍、南京网觉软件有限公司退伙；（2）新有限合伙人南京禾源创业投资中心（有限合伙）、南京鑫业创业投资有限公司入伙，其认缴出资额均为1000.00万元。
2020年11月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新有限合伙人南京禾源创业投资中心（有限合伙）、南京鑫业创业投资有限公司的入伙协议。
2020年11月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2020年11月，毅达太湖完成工商变更登记。
本次变更完成后，毅达太湖的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）普通合伙人200.001.00%
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人5800.0029.00%
3无锡太湖股权投资基金（有限合伙）有限合伙人4000.0020.00%
4无锡丰润投资有限公司有限合伙人4000.0020.00%
5上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人1000.005.00%
6江苏亚盛金属制品有限公司有限合伙人1000.005.00%
7南京禾源创业投资中心（有限合伙）有限合伙人1000.005.00%
8朗新科技集团股份有限公司有限合伙人1000.005.00%
9无锡市太湖家园房地产经营有限公司有限合伙人1000.005.00%
10南京鑫业创业投资有限公司有限合伙人1000.005.00%
合计20000.00100.00%
329中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（3）2021年6月，第一次增资及第二次合伙份额转让
2021年6月，毅达太湖全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）有限合伙人江
苏亚盛金属制品有限公司退伙；（2）新有限合伙人南京毅达汇员人才创业投资合伙企业（有限合伙）、泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合伙）入伙，其认缴出资额均为
1000.00万元。
2021年6月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新有限合伙人南京毅达汇员人才创
业投资合伙企业（有限合伙）、泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合伙）的入伙协议。
2021年6月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2021年6月，毅达太湖完成工商变更登记。
本次变更完成后，毅达太湖的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）普通合伙人200.000.95%
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人5800.0027.62%
3无锡太湖股权投资基金（有限合伙）有限合伙人4000.0019.05%
4无锡丰润投资有限公司有限合伙人4000.0019.05%
5上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
6南京毅达汇员人才创业投资合伙企业有限合伙人1000.004.76%（有限合伙）
7南京禾源创业投资中心（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
8朗新科技集团股份有限公司有限合伙人1000.004.76%
9无锡市太湖家园房地产经营有限公司有限合伙人1000.004.76%
10南京鑫业创业投资有限公司有限合伙人1000.004.76%11泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合有限合伙人1000.004.76%伙）
合计21000.00100.00%
（4）2022年6月，第三次合伙份额转让
2022年6月，毅达太湖全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）有限合伙人无
锡太湖股权投资基金（有限合伙）认缴出资额由4000.00万元减少至2000.00万元；（2）
新有限合伙人苏州市汇涓为川企业管理合伙企业（有限合伙）入伙，其认缴出资额为
2000.00万元。
330中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2022年6月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新有限合伙人苏州市汇涓为川企业
管理合伙企业（有限合伙）的入伙协议。
2022年6月，毅达太湖全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2022年6月，毅达太湖完成工商变更登记。
本次变更完成后，毅达太湖的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）普通合伙人200.000.95%
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人5800.0027.62%
3无锡丰润投资有限公司有限合伙人4000.0019.05%
4无锡太湖股权投资基金（有限合伙）有限合伙人2000.009.52%5苏州市汇涓为川企业管理合伙企业（有有限合伙人2000.009.52%限合伙）
6上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
7南京毅达汇员人才创业投资合伙企业有限合伙人1000.004.76%（有限合伙）
8南京禾源创业投资中心（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
9朗新科技集团股份有限公司有限合伙人1000.004.76%
10无锡市太湖家园房地产经营有限公司有限合伙人1000.004.76%
11南京鑫业创业投资有限公司有限合伙人1000.004.76%12泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合有限合伙人1000.004.76%伙）
合计21000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，毅达太湖的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
1南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）普通合伙人200.000.95%
2江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人5800.0027.62%
3无锡丰润投资有限公司有限合伙人4000.0019.05%
4无锡太湖股权投资基金（有限合伙）有限合伙人2000.009.52%5苏州市汇涓为川企业管理合伙企业（有有限合伙人2000.009.52%限合伙）
6上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
7南京毅达汇员人才创业投资合伙企业有限合伙人1000.004.76%
331中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）（有限合伙）
8南京禾源创业投资中心（有限合伙）有限合伙人1000.004.76%
9朗新科技集团股份有限公司有限合伙人1000.004.76%
10无锡市太湖家园房地产经营有限公司有限合伙人1000.004.76%
11南京鑫业创业投资有限公司有限合伙人1000.004.76%12泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合有限合伙人1000.004.76%伙）
合计21000.00100.00%
截至本报告书签署日，毅达太湖的执行事务合伙人为南京毅达股权投资管理企业（有限合伙），毅达太湖的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，毅达太湖不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，毅达太湖的执行事务合伙人为南京毅达股权投资管理企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
332中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
企业名称南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320100MA1MFEH23R
注册地址 南京市建邺区江东中路 359 号国睿大厦二号楼 4楼 B504 室主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦执行事务合伙人西藏爱达汇承私募基金管理有限公司出资额10000万元企业类型有限合伙企业成立日期2016年2月23日受托管理私募股权投资基金；股权投资管理。（依法须经批准的项目，经相经营范围关部门批准后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，毅达太湖合计对外投资14家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例卓品智能科技无锡股
11094.444.79%汽车电子控制系统相关产品的研发、生
份有限公司产、销售并提供相关技术服务
聚焦申威 CPU 做主板、网络安全一体机无锡宏创盛安科技有
2 4400.67 3.94% 业务，为下游客户提供基于申威 CPU 的
限公司
防火墙、网闸、密码机等安全平台产品江苏亚电科技股份有
38397.093.12%半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于
限公司晶圆前道湿法刻蚀清洗技术江苏马盛生物科技股
49060.003.00%餐厨垃圾处理成套设备的研发、设计、生
份有限公司产与销售无锡飞谱电子信息技
5 656.91 2.82% 工业软件 EDACAE产品供应商
术有限公司基于在电磁元器件制造和技术方面的优无锡晶晟科技股份有
65273.252.50%势凭借专业的生产设备和试验设备开发
限公司和制造汽车电子零部件
专注于为半导体、光学、超精密检测等行无锡星微科技有限公
71232.881.89%业提供整机装备、运动控制系统、关键零
司部件等无锡市同步电子科技
8主要从事高密度、高性能、高可靠性多层7988.631.50%
股份有限公司印制板设计、制造、电子组装及服务
迅芯微电子（苏州）股
9集成电路及软硬件系统的设计、研发、销4730.770.95%
份有限公司售研微（江苏）半导体科
10 2979.32 0.85% ALD和外延设备（EPI）
技有限公司
333中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
6、主营业务发展状况
毅达太湖主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
毅达太湖最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计35800.8336063.78
负债总计0.90-
所有者权益35799.9436063.78
营业收入829.00-1607.41
营业利润-263.85-2003.33
净利润-263.85-2003.33
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产2009.83
非流动资产33791.00
资产总计35800.83
流动负债0.90
非流动负债-
负债总计0.90
净资产35799.94
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入829.00
营业成本387.27
营业利润-263.85
利润总额-263.85
334中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年度
净利润-263.85
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额353.27
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
现金及现金等价物净增加额353.27
8、私募基金备案情况
毅达太湖已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SLJ191。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据毅达太湖的合伙协议，毅达太湖经营期限至2027年6月1日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
毅达太湖非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十八）宁波毅达
1、基本信息
企业名称宁波毅达工投股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91330212MA2H8DX131
注册地址 浙江省宁波市鄞州区首南西路 88、76号 B幢 1层 912室主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦
执行事务合伙人南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）出资额25000万元企业类型有限合伙企业
成立日期2020-09-24
一般项目：股权投资；【未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、融资
经营范围担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务】（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
335中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2020年9月，合伙企业设立
2020年9月，南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）和江苏高科技投资集团有
限公司、江苏申林投资股份有限公司等共同出资设立宁波毅达，设立时全体合伙人认缴出资总额为25000.00万元。
2020年9月，宁波毅达全体合伙人共同签署了合伙协议。
2020年9月，宁波毅达完成了工商设立登记。
设立时，宁波毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人250.001.00%伙）
2宁波工投产业投资基金有限公司有限合伙人10000.0040.00%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人7250.0029.00%
4西藏爱达汇承私募基金管理有限公司有限合伙人2000.008.00%5扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合有限合伙人1500.006.00%伙）
6江苏申林投资股份有限公司有限合伙人1500.006.00%
7宁波德昌电机股份有限公司有限合伙人1000.004.00%
8黄裕昌有限合伙人1000.004.00%
9齐晓琳有限合伙人500.002.00%
合计25000.00100.00%
（2）2020年11月，第一次合伙份额转让
2020年10月，宁波毅达全体合伙人作出变更决定，一致同意：（1）宁波德昌电
机股份有限公司将认缴出资额1000.00万元转让给杭投股权投资（杭州）有限公司；（2）
黄裕昌将认缴出资额1000.00万元转让给张利英。
2020年10月，宁波德昌电机股份有限公司与杭投股权投资（杭州）有限公司就上
述份额转让事宜签署了出资转让协议书；黄裕昌与张利英就上述份额转让事宜签署了出资转让协议书。
2020年10月，宁波毅达全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
336中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2020年11月，宁波毅达完成工商变更登记。
本次变更完成后，宁波毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人250.001.00%伙）
2宁波工投产业投资基金有限公司有限合伙人10000.0040.00%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人7250.0029.00%
4西藏爱达汇承私募基金管理有限公司有限合伙人2000.008.00%5扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合有限合伙人1500.006.00%伙）
6江苏申林投资股份有限公司有限合伙人1500.006.00%
7杭投股权投资（杭州）有限公司有限合伙人1000.004.00%
8张利英有限合伙人1000.004.00%
9齐晓琳有限合伙人500.002.00%
合计25000.00100.00%
（3）2021年9月，第二次合伙份额转让
2021年7月，宁波毅达全体合伙人作出变更决定，一致同意西藏爱达汇承私募基
金管理有限公司将认缴出资额600.00万元转让给南京毅达工投汇员股权投资合伙企业（有限合伙）。
2021年7月，西藏爱达汇承私募基金管理有限公司与南京毅达工投汇员股权投资
合伙企业（有限合伙）就上述份额转让事宜签署了出资转让协议书。
2021年7月，宁波毅达全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2021年9月，宁波毅达完成工商变更登记。
本次变更完成后，宁波毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人250.001.00%伙）
2宁波工投产业投资基金有限公司有限合伙人10000.0040.00%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人7250.0029.00%4扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合有限合伙人1500.006.00%伙）
337中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）
5江苏申林投资股份有限公司有限合伙人1500.006.00%
6西藏爱达汇承私募基金管理有限公司有限合伙人1400.005.60%
7杭投股权投资（杭州）有限公司有限合伙人1000.004.00%
8张利英有限合伙人1000.004.00%
9南京毅达工投汇员股权投资合伙企业有限合伙人600.002.40%（有限合伙）
10齐晓琳有限合伙人500.002.00%
合计25000.00100.00%
（4）2025年1月，第三次合伙份额转让
2025年1月，宁波毅达全体合伙人作出变更决定，一致同意宁波工投产业投资基
金有限公司将认缴出资额10000.00万元转让给宁波工投睿丰投资有限公司。
2024年12月，宁波工投产业投资基金有限公司与宁波工投睿丰投资有限公司就上
述份额转让事宜签署了无偿划转协议。
2025年1月，宁波毅达全体合伙人共同签署了新的合伙协议。
2025年1月，宁波毅达完成工商变更登记。
本次变更完成后，宁波毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人250.001.00%伙）
2宁波工投睿丰投资有限公司有限合伙人10000.0040.00%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人7250.0029.00%4扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合有限合伙人1500.006.00%伙）
5江苏申林投资股份有限公司有限合伙人1500.006.00%
6西藏爱达汇承私募基金管理有限公司有限合伙人1400.005.60%
7杭投股权投资（杭州）有限公司有限合伙人1000.004.00%
8张利英有限合伙人1000.004.00%
9南京毅达工投汇员股权投资合伙企业有限合伙人600.002.40%（有限合伙）
10齐晓琳有限合伙人500.002.00%
合计25000.00100.00%
338中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，宁波毅达的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额序号合伙人信息合伙人类型出资比例（万元）1南京毅达股权投资管理企业（有限合普通合伙人250.001.00%伙）
2宁波工投睿丰投资有限公司有限合伙人10000.0040.00%
3江苏高科技投资集团有限公司有限合伙人7250.0029.00%4扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合有限合伙人1500.006.00%伙）
5江苏申林投资股份有限公司有限合伙人1500.006.00%
6西藏爱达汇承私募基金管理有限公司有限合伙人1400.005.60%
7杭投股权投资（杭州）有限公司有限合伙人1000.004.00%
8张利英有限合伙人1000.004.00%
9南京毅达工投汇员股权投资合伙企业有限合伙人600.002.40%（有限合伙）
10齐晓琳有限合伙人500.002.00%
合计25000.00100.00%
截至本报告书签署日，宁波毅达的执行事务合伙人为南京毅达股权投资管理企业（有限合伙），宁波毅达的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，宁波毅达不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等
339中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
影响独立性的协议或其他安排。
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，宁波毅达的执行事务合伙人为南京毅达股权投资管理企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
企业名称南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91320100MA1MFEH23R
注册地址 南京市建邺区江东中路 359 号国睿大厦二号楼 4楼 B504 室主要办公地点南京市鼓楼区虎踞路99号高投大厦执行事务合伙人西藏爱达汇承私募基金管理有限公司出资额10000万元企业类型有限合伙企业成立日期2016年2月23日受托管理私募股权投资基金；股权投资管理。（依法须经批准的项目，经相经营范围关部门批准后方可开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，宁波毅达的对外投资情况如下：
注册资本直接持序号企业名称主营业务（万元）股比例
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨
询、技术交流、技术转让、技术推广；配
1杭州超熔科技有限3291.745.71%电开关控制设备制造；配电开关控制设备
公司研发；配电开关控制设备销售；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
石英材料和制品、硅材料和制品、陶瓷材
料和制品、金属制品的研发、制造和销售；
自营和代理货物的进出口，但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外以及
2宁波云德半导体材3177.734.79%其他法律、法规、国务院决定等规定未禁
料有限公司止或无需经营许可的项目和未列入地方产业发展负面清单的项目。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
通信技术、通信设备、卫星通信系统（VSAT）、电子产品、电子元件及组件、
工业自动化设备、电视天线、电子软件的
3宁波迪泰科技股份5836.002.35%研发、生产、销售、安装、维修及技术咨
有限公司
询、技术转让、技术服务；计算机系统集成服务；电信业务；自营和代理各类商品
和技术的进出口业务，但国家限定公司经
340中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持序号企业名称主营业务（万元）股比例营或禁止进出口商品及技术除外。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
一般项目：新材料技术推广服务；新材料
技术研发；技术服务、技术开发、技术咨
询、技术交流、技术转让、技术推广；化
4宁波微芯新材料科526.432.21%工产品销售（不含许可类化工产品）；专
技有限公司用化学产品销售（不含危险化学品）；技术进出口；货物进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
一般项目：电子专用材料制造；电子专用材料研发；电子专用材料销售；电子元器件制造；电子元器件批发；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；
电子专用设备制造；电子专用设备销售；
机械零件、零部件加工；机械零件、零部5上海润平电子材料1564.111.93%件销售；化工产品生产（不含许可类化工有限公司产品）；化工产品销售（不含许可类化工产品）；技术服务、技术开发、技术咨询、
技术交流、技术转让、技术推广；技术进出口；货物进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
一般项目：集成电路制造；集成电路销售；
电子产品销售；技术服务、技术开发、技
术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；
货物进出口；技术进出口；软件开发；软件销售；计算机软硬件及辅助设备批发；
信息技术咨询服务；信息系统运行维护服务；半导体器件专用设备制造；半导体器
6杭州朗迅科技股份4292.161.39%件专用设备销售；电子元器件批发；电子
有限公司元器件制造；集成电路芯片及产品销售；
集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及产品制造；租赁服务（不含许可类租赁服务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。许可项目：第二类增值电信业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）。
一般项目：新材料技术研发；特种陶瓷制品制造；特种陶瓷制品销售；密封件制造；
密封件销售；密封用填料制造；密封用填
7宁波伏尔肯科技集5732.820.84%料销售；橡胶制品制造；橡胶制品销售；
团股份有限公司五金产品制造；五金产品零售；五金产品批发；五金产品研发；货物进出口；进出口代理；技术进出口；电子专用材料制造；
电子专用材料销售；光伏设备及元器件制
341中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持序号企业名称主营业务（万元）股比例造；光伏设备及元器件销售；技术服务、
技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
一般项目：技术进出口；气压动力机械及元件制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；液压动力机械及元件制造；液压动力机械及元件销售；气压动力机械及元件销售；货物进出口；进出口代理；特种设备销售；人工智能应用软件开发；人工智能硬件销售；智能机器人的研发；智能机器人销售；软件开发；普通阀门和旋塞制造（不含特种设备制造）；阀门和旋塞研发；阀门和旋塞销售；增材制造装备制造；增材制造装备销售；技术服务、技术
开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；智能仓储装备销售；有色金属铸造；黑色金属铸造；气体压缩机械制造；
气体压缩机械销售；轴承、齿轮和传动部
8星箭科技股份有限7060.390.70%件制造；轴承、齿轮和传动部件销售；电
公司机及其控制系统研发；机械电气设备销售；机械设备销售；新材料技术研发；玻璃纤维增强塑料制品制造；塑料制品销售；工程和技术研究和试验发展；工程管理服务；物料搬运装备制造；物料搬运装备销售；智能物料搬运装备销售；模具制造；模具销售；机床功能部件及附件制造；
机床功能部件及附件销售；金属结构制造；金属结构销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。许可项目：特种设备设计；特种设备制造；特种设备安装改造修理；火箭发射设备研发和制造；建设工程设计（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）。
6、主营业务发展状况
宁波毅达主营业务为股权投资，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
宁波毅达最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
342中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计29204.9129820.49
负债总计6.409.86
所有者权益29198.5129810.63
营业收入1187.17375.89
营业利润-612.1216.88
净利润-612.1216.88
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产4802.67
非流动资产24402.24
资产总计29204.91
流动负债6.40
非流动负债-
负债总计6.40
净资产29198.51
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入1187.17
营业成本357.72
营业利润-612.12
利润总额-612.12
净利润-612.12
3）简要合并现金流量表
单位：万元项目2025年度
经营活动产生的现金流量净额-4016.72
投资活动产生的现金流量净额-
筹资活动产生的现金流量净额-
343中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
现金及现金等价物净增加额-4016.72
8、私募基金备案情况
宁波毅达已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SNL632。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据宁波毅达的合伙协议，宁波毅达经营期限至2027年9月23日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
宁波毅达非为本次交易设立的主体且不以持有资产为目的，不涉及穿透锁定。
（三十九）达晨财智
1、基本信息
企业名称深圳市达晨财智创业投资管理有限公司
统一社会信用代码 91440300682017028L
注册地址深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层
主要办公地点深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道深铁置业大厦三十七层、三十八层法定代表人刘昼
注册资本18668.5714万元企业类型有限责任公司成立日期2008年12月15日受托管理创业投资企业创业资本；创业投资咨询；为创业企业提供创业管理
服务（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许经营范围可后方可经营）；股权投资；财务咨询、企业管理咨询、受托资产管理（不含证券、保险、基金、金融业务、人才中介服务及其它限制项目）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2008年12月，达晨财智设立
2008年12月，刘昼等其余19名股东出资设立达晨财智，设立时全体股东认缴出
资额为3000.00万元。设立时，达晨财智的股东及股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
344中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司1650.0055.00%
2刘昼270.009.00%
3肖冰240.008.00%
4邵红霞105.003.50%
5龙秋云105.003.50%
6胡德华90.003.00%
7袁楚贤75.002.50%
8彭益60.002.00%
9毛小平45.001.50%
10傅哲宽45.001.50%
11周竟东45.001.50%
12曾介忠30.001.00%
13熊云开30.001.00%
14尹志科30.001.00%
15罗伟雄30.001.00%
16廖朝晖30.001.00%
17唐绪兵30.001.00%
18刘沙白30.001.00%
19文啸龙30.001.00%
20张晓歌30.001.00%
合计3000.00100.00%
（2）2010年9月，第一次股权转让
2010年8月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意周竟东将其持有的公司1.50%
的股权转让给袁楚贤；张晓歌将其持有的公司1.00%的股权转让给袁楚贤；刘昼将其持
有的公司1.00%的股权转让给晏小平；刘昼将其持有的公司1%的股权转让给傅忠红；
肖冰将其持有的公司0.90%的股权转让给齐慎；肖冰将其持有的公司0.90%的股权转让
给熊人杰；肖冰将其持有的公司0.20%的股权转让给刘旭峰；邵红霞将其持有的公司
0.50%的股权转让给熊维云；邵红霞将其持有的公司0.50%的股权转让给梁国智；胡德
华将其持有的公司1.00%的股权转让给刘旭峰；其他股东放弃优先购买权。
2010年8月，周竟东与袁楚贤签署《股权转让协议书》，约定由周竟东将其持有
345中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
的公司1.50%的股权转让给袁楚贤；张晓歌与袁楚贤签署《股权转让协议书》，张晓歌将其持有的公司1.00%的股权转让给袁楚贤；刘昼与晏小平签署《股权转让协议书》，刘昼将其持有的公司1.00%的股权转让给晏小平；刘昼与傅忠红签署《股权转让协议书》，刘昼将其持有的公司1.00%的股权转让给傅忠红；肖冰与齐慎签署《股权转让协议书》，肖冰将其持有的公司0.90%的股权转让给齐慎；肖冰与熊人杰签署《股权转让协议书》，肖冰将其持有的公司0.90%的股权转让给熊人杰；肖冰与刘旭峰签署《股权转让协议书》，肖冰将其持有的公司0.20%的股权转让给刘旭峰；邵红霞与熊维云签署《股权转让协议书》，邵红霞将其持有的公司0.50%的股权转让给熊维云；邵红霞与梁国智签署《股权转让协议书》，邵红霞将其持有的公司0.50%的股权转让给梁国智；胡德华与刘旭峰签署《股权转让协议书》，胡德华将其持有的公司1.00%的股权转让给刘旭峰。
2010年9月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司1650.0055.00%
2刘昼210.007.00%
3肖冰180.006.00%
4袁楚贤150.005.00%
5龙秋云105.003.50%
6邵红霞75.002.50%
7胡德华60.002.00%
8彭益60.002.00%
9毛小平45.001.50%
10傅哲宽45.001.50%
11刘旭峰36.001.20%
12曾介忠30.001.00%
13熊云开30.001.00%
14尹志科30.001.00%
15罗伟雄30.001.00%
16廖朝晖30.001.00%
17唐绪兵30.001.00%
18刘沙白30.001.00%
346中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
19文啸龙30.001.00%
20晏小平30.001.00%
21傅忠红30.001.00%
22齐慎27.000.90%
23熊人杰27.000.90%
24梁国智15.000.50%
25熊维云15.000.50%
合计3000.00100.00%
（3）2011年10月，第一次增资
2011年9月，达晨财智召开股东会，同意将注册资本由3000.00万元增加至6600.00万元。
2011年10月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司3630.0055.00%
2刘昼462.007.00%
3肖冰396.006.00%
4袁楚贤330.005.00%
5龙秋云231.003.50%
6邵红霞165.002.50%
7胡德华132.002.00%
8彭益132.002.00%
9毛小平99.001.50%
10傅哲宽99.001.50%
11刘旭峰79.201.20%
12曾介忠66.001.00%
13熊云开66.001.00%
14尹志科66.001.00%
347中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
15罗伟雄66.001.00%
16廖朝晖66.001.00%
17唐绪兵66.001.00%
18刘沙白66.001.00%
19文啸龙66.001.00%
20晏小平66.001.00%
21傅忠红66.001.00%
22齐慎59.400.90%
23熊人杰59.400.90%
24梁国智33.000.50%
25熊维云33.000.50%
合计6600.00100.00%
（4）2012年3月，第二次股权转让
2012年2月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意袁楚贤将其持有的公司1.00%
股权转让给李岁湘，其他股东放弃优先购买权。
2012年3月，袁楚贤与李岁湘签署《股权转让协议书》，约定由袁楚贤将其持有
的公司1.00%股权转让给李岁湘。
2012年3月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司3630.0055.00%
2刘昼462.007.00%
3肖冰396.006.00%
4袁楚贤264.004.00%
5龙秋云231.003.50%
6邵红霞165.002.50%
7胡德华132.002.00%
8彭益132.002.00%
348中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
9毛小平99.001.50%
10傅哲宽99.001.50%
11刘旭峰79.201.20%
12曾介忠66.001.00%
13熊云开66.001.00%
14尹志科66.001.00%
15罗伟雄66.001.00%
16廖朝晖66.001.00%
17唐绪兵66.001.00%
18刘沙白66.001.00%
19文啸龙66.001.00%
20晏小平66.001.00%
21傅忠红66.001.00%
22李岁湘66.001.00%
23齐慎59.400.90%
24熊人杰59.400.90%
25梁国智33.000.50%
26熊维云33.000.50%
合计6600.00100.00%
（5）2012年8月，第三次股权转让
2012年7月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意袁楚贤将其持有的公司1.00%
股权转让给冯硕；晏小平将其持有的公司0.50%股权转让给刘昼；晏小平将其持有的公
司0.50%股权转让给肖冰；其他股东放弃优先购买权。
2012年7月，袁楚贤与冯硕签署《股权转让协议书》，约定由袁楚贤将其持有的
公司1.00%股权转让给冯硕；晏小平与刘昼、肖冰签署《股权转让协议书》，约定由晏小平将其持有的公司0.50%股权转让给刘昼、由晏小平将其持有的公司0.5%股权转让给肖冰。
2012年8月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
349中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司3630.0055.00%
2刘昼495.007.50%
3肖冰429.006.50%
4龙秋云231.003.50%
5邵红霞165.002.50%
6袁楚贤198.003.00%
7胡德华132.002.00%
8彭益132.002.00%
9毛小平99.001.50%
10傅哲宽99.001.50%
11刘旭峰79.201.20%
12曾介忠66.001.00%
13熊云开66.001.00%
14尹志科66.001.00%
15罗伟雄66.001.00%
16廖朝晖66.001.00%
17唐绪兵66.001.00%
18刘沙白66.001.00%
19文啸龙66.001.00%
20傅忠红66.001.00%
21冯硕66.001.00%
22李岁湘66.001.00%
23齐慎59.400.90%
24熊人杰59.400.90%
25梁国智33.000.50%
26熊维云33.000.50%
合计6600.00100.00%
（6）2013年1月，第四次股权转让
2013年1月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意李岁湘将其持有的公司1.00%
股权转让给邵红霞；其他股东放弃优先购买权。
2013年1月，李岁湘与邵红霞签署《股权转让协议书》，约定由李岁湘将其持有
350中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
的公司1.00%股权转让给邵红霞。
2013年1月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司3630.0055.00%
2刘昼495.007.50%
3肖冰429.006.50%
4龙秋云231.003.50%
5邵红霞231.003.50%
6袁楚贤198.003.00%
7胡德华132.002.00%
8彭益132.002.00%
9毛小平99.001.50%
10傅哲宽99.001.50%
11刘旭峰79.201.20%
12曾介忠66.001.00%
13熊云开66.001.00%
14尹志科66.001.00%
15罗伟雄66.001.00%
16廖朝晖66.001.00%
17唐绪兵66.001.00%
18刘沙白66.001.00%
19文啸龙66.001.00%
20傅忠红66.001.00%
21冯硕66.001.00%
22齐慎59.400.90%
23熊人杰59.400.90%
24梁国智33.000.50%
25熊维云33.000.50%
合计6600.00100.00%
（7）2013年9月，第五次股权转让
2013年8月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意傅哲宽将其持有的公司1.00%
351中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
股权转让给刘昼；傅哲宽将其持有的公司0.50%股权转让给肖冰；其他股东放弃优先购买权。
2013年8月，傅哲宽与刘昼、肖冰签署《股权转让协议书》，约定由傅哲宽将其
持有的公司1.00%股权转让给刘昼、傅哲宽将其持有的公司0.50%股权转让给肖冰。
2013年9月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司3630.0055.00%
2刘昼561.008.50%
3肖冰462.007.00%
4龙秋云231.003.50%
5邵红霞231.003.50%
6袁楚贤198.003.00%
7胡德华132.002.00%
8彭益132.002.00%
9毛小平99.001.50%
10刘旭峰79.201.20%
11曾介忠66.001.00%
12熊云开66.001.00%
13尹志科66.001.00%
14罗伟雄66.001.00%
15廖朝晖66.001.00%
16唐绪兵66.001.00%
17刘沙白66.001.00%
18文啸龙66.001.00%
19傅忠红66.001.00%
20冯硕66.001.00%
21齐慎59.400.90%
22熊人杰59.400.90%
23梁国智33.000.50%
24熊维云33.000.50%
合计6600.00100.00%
352中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（8）2014年10月，第二次增资
2014年9月，达晨财智召开股东会，同意公司注册资本由6600.00万元增加至
11880.00万元。
2014年10月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0055.00%
2刘昼1009.808.50%
3肖冰831.607.00%
4龙秋云415.803.50%
5邵红霞415.803.50%
6袁楚贤356.403.00%
7胡德华237.602.00%
8彭益237.602.00%
9毛小平178.201.50%
10刘旭峰142.561.20%
11曾介忠118.801.00%
12熊云开118.801.00%
13尹志科118.801.00%
14罗伟雄118.801.00%
15廖朝晖118.801.00%
16唐绪兵118.801.00%
17刘沙白118.801.00%
18文啸龙118.801.00%
19傅忠红118.801.00%
20冯硕118.801.00%
21齐慎106.920.90%
22熊人杰106.920.90%
23梁国智59.400.50%
24熊维云59.400.50%
合计11880.00100.00%
353中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（9）2014年11月，第六次股权转让
2014年11月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意刘昼将其持有的公司0.25%
股权转让给于志宏；其他股东放弃优先购买权。
2014年11月，刘昼与于志宏签署《股权转让协议书》，约定由刘昼将其持有的公
司0.25%股权转让给于志宏。
2014年11月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0055.00%
2刘昼980.108.25%
3肖冰831.607.00%
4邵红霞415.803.50%
5龙秋云415.803.50%
6袁楚贤356.403.00%
7胡德华237.602.00%
8彭益237.602.00%
9毛小平178.201.50%
10刘旭峰142.561.20%
11曾介忠118.801.00%
12熊云开118.801.00%
13尹志科118.801.00%
14罗伟雄118.801.00%
15廖朝晖118.801.00%
16唐绪兵118.801.00%
17刘沙白118.801.00%
18文啸龙118.801.00%
19傅忠红118.801.00%
20冯硕118.801.00%
21齐慎106.920.90%
22熊人杰106.920.90%
23梁国智59.400.50%
354中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
24熊维云59.400.50%
25于志宏29.700.25%
合计11880.00100.00%
（10）2015年12月，第七次股权转让
2015年12月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意罗伟雄将其持有的公司
1.00%股权转让给邵红霞；其他股东放弃优先购买权。
2015年12月，罗伟雄与邵红霞签署《股权转让协议书》，约定由罗伟雄将其持有
的公司1.00%股权转让给邵红霞。
2015年12月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0055.00%
2刘昼980.108.25%
3肖冰831.607.00%
4邵红霞534.604.50%
5龙秋云415.803.50%
6袁楚贤356.403.00%
7胡德华237.602.00%
8彭益237.602.00%
9毛小平178.201.50%
10刘旭峰142.561.20%
11曾介忠118.801.00%
12熊云开118.801.00%
13尹志科118.801.00%
14廖朝晖118.801.00%
15唐绪兵118.801.00%
16刘沙白118.801.00%
17文啸龙118.801.00%
18傅忠红118.801.00%
19冯硕118.801.00%
355中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
20齐慎106.920.90%
21熊人杰106.920.90%
22梁国智59.400.50%
23熊维云59.400.50%
24于志宏29.700.25%
合计11880.00100.00%
（11）2016年3月，第八次股权转让
2016年3月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意邵红霞将其持有的公司1.00%
股权转让给尹志科；邵红霞将其持有的公司1.00%股权转让给廖朝晖；袁楚贤将其持有
的公司0.50%股权转让给汤振羽；其他股东放弃优先购买权。
2016年3月，转让方邵红霞、袁楚贤与受让方尹志科、廖朝晖、汤振羽签署《股权转让协议书》，约定由邵红霞将其持有的公司1.00%股权转让给尹志科、邵红霞将其持有的公司1.00%股权转让给廖朝晖、袁楚贤将其持有的公司0.50%股权转让给汤振羽。
2016年3月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0055.00%
2刘昼980.108.25%
3肖冰831.607.00%
4龙秋云415.803.50%
5邵红霞297.002.50%
6袁楚贤297.002.50%
7胡德华237.602.00%
8彭益237.602.00%
9尹志科237.602.00%
10廖朝晖237.602.00%
11毛小平178.201.50%
12刘旭峰142.561.20%
13曾介忠118.801.00%
356中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
14熊云开118.801.00%
15唐绪兵118.801.00%
16刘沙白118.801.00%
17文啸龙118.801.00%
18傅忠红118.801.00%
19冯硕118.801.00%
20齐慎106.920.90%
21熊人杰106.920.90%
22梁国智59.400.50%
23熊维云59.400.50%
24汤振羽59.400.50%
25于志宏29.700.25%
合计11880.00100.00%
（12）2016年12月，第三次增资
2016年12月，达晨财智召开股东会，一致同意注册资本由11880.00万元增加至
18668.57万元。
2016年12月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2刘昼2706.9414.50%
3肖冰2333.5712.50%
4龙秋云653.403.50%
5邵红霞690.743.70%
6袁楚贤466.712.50%
7胡德华504.052.70%
8彭益373.372.00%
9尹志科373.372.00%
10廖朝晖373.372.00%
11毛小平280.031.50%
357中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
12刘旭峰448.052.40%
13曾介忠186.691.00%
14熊云开186.691.00%
15唐绪兵186.691.00%
16刘沙白186.691.00%
17文啸龙186.691.00%
18傅忠红373.372.00%
19冯硕186.691.00%
20齐慎392.042.10%
21熊人杰298.701.60%
22梁国智280.031.50%
23熊维云205.351.10%
24汤振羽93.340.50%
25于志宏93.340.50%
26黄琨74.670.40%
合计18668.57100.00%
（13）2017年7月，第九次股权转让
2017年6月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意刘昼将其持有的公司3.00%
股权转让给邵红霞；刘昼将其持有的公司1.50%股权转让给熊人杰；肖冰将其持有的公
司2.50%股权转让给熊人杰；其他股东放弃优先购买权。
2017年6月，转让方刘昼、肖冰与受让方邵红霞、熊人杰签署《股权转让协议书》，
约定由刘昼将其持有的公司3.00%股权转让给邵红霞；刘昼将其持有的公司1.50%股权
转让给熊人杰；肖冰将其持有的公司2.50%股权转让给熊人杰。
2017年7月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2刘昼1866.8610.00%
3肖冰1866.8610.00%
358中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
4邵红霞1250.796.70%
5熊人杰1045.445.60%
6龙秋云653.403.50%
7袁楚贤466.712.50%
8胡德华504.052.70%
9彭益373.372.00%
10尹志科373.372.00%
11廖朝晖373.372.00%
12毛小平280.031.50%
13刘旭峰448.052.40%
14曾介忠186.691.00%
15熊云开186.691.00%
16唐绪兵186.691.00%
17刘沙白186.691.00%
18文啸龙186.691.00%
19傅忠红373.372.00%
20冯硕186.691.00%
21齐慎392.042.10%
22梁国智280.031.50%
23熊维云205.351.10%
24汤振羽93.340.50%
25于志宏93.340.50%
26黄琨74.670.40%
合计18668.57100.00%
（14）2019年1月，第十次股权转让
2018年12月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意龙秋云将其持有的公司
3.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；彭益将其持有的公司2.00%股权转让给
湖南电广传媒股份有限公司；袁楚贤将其持有的公司2.50%股权转让给湖南电广传媒股
份有限公司；尹志科将其持有的公司2.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；廖
朝晖将其持有的公司2.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；毛小平将其持有的
公司1.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；熊云开将其持有的公司1.00%股权
359中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
转让给湖南电广传媒股份有限公司；曾介忠将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广
传媒股份有限公司；刘沙白将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；唐绪兵将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；文啸龙将其
持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；冯硕将其持有的公司1.00%
股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；汤振羽将其持有的公司0.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司；其他股东放弃优先购买权。
2018年12月，龙秋云、彭益、袁楚贤、尹志科、廖朝晖、毛小平、熊云开、曾介忠、刘沙白、唐绪兵、文啸龙、冯硕、汤振羽分别与湖南电广传媒股份有限公司签署《股权转让协议书》，约定由龙秋云将其持有的公司3.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、彭益将其持有的公司2.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、袁楚贤将
其持有的公司2.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、尹志科将其持有的公司
2.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、廖朝晖将其持有的公司2.00%股权转让
给湖南电广传媒股份有限公司、毛小平将其持有的公司1.50%股权转让给湖南电广传媒
股份有限公司、熊云开将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、
曾介忠将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、刘沙白将其持有
的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司、唐绪兵将其持有的公司1.00%股
权转让给湖南电广传媒股份有限公司、文啸龙将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电
广传媒股份有限公司、冯硕将其持有的公司1.00%股权转让给湖南电广传媒股份有限公
司、汤振羽将其持有的公司0.50%股权转让给湖南电广传媒股份有限公司。
2019年1月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2湖南电广传媒股份有限公司3733.7120.00%
3刘昼1866.8610.00%
4肖冰1866.8610.00%
5邵红霞1250.796.70%
6熊人杰1045.445.60%
7胡德华504.052.70%
360中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
8刘旭峰448.052.40%
9傅忠红373.372.00%
10齐慎392.042.10%
11梁国智280.031.50%
12熊维云205.351.10%
13于志宏93.340.50%
14黄琨74.670.40%
合计18668.57100.00%
（15）2019年5月，第十一次股权转让
2019年4月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意邵红霞将其持有的公司2.15%
股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）；邵红霞将其持有的公司
0.30%股权转让给齐慎；邵红霞将其持有的公司0.10%股权转让给胡德华；熊人杰将其
持有的公司3.60%股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）；于志宏
将其持有的公司0.30%股权转让给邵红霞；于志宏将其持有的公司0.20%股权转让给熊维云；其他股东放弃优先购买权。
2019年4月，转让方邵红霞、熊人杰与受让方深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）、齐慎、胡德华签署《股权转让协议书》，约定由邵红霞将其持有的公司
2.15%股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）；邵红霞将其持有的
公司0.30%股权转让给齐慎；邵红霞将其持有的公司0.10%股权转让给胡德华；熊人杰
将其持有的公司3.60%股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）；转
让方于志宏与受让方邵红霞、熊维云签署《股权转让协议书》，约定由于志宏将其持有的公司0.30%股权转让给邵红霞；于志宏将其持有的公司0.20%股权转让给熊维云。
2019年5月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2湖南电广传媒股份有限公司3733.7120.00%
3刘昼1866.8610.00%
361中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
4肖冰1866.8610.00%
深圳市财智创享咨询服务合伙
51073.445.75%企业（有限合伙）
6邵红霞830.754.45%
7胡德华522.722.80%
8齐慎448.052.40%
9刘旭峰448.052.40%
10熊人杰373.372.00%
11傅忠红373.372.00%
12梁国智280.031.50%
13熊维云242.691.30%
14黄琨74.670.40%
合计18668.57100.00%
（16）2026年1月，第十二次股权转让
2025年11月，达晨财智召开股东会，全体股东一致同意黄琨将其持有的公司0.4%
股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）；其他股东放弃优先购买权。
2025年11月，黄琨与深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）签署《股权转让协议书》，约定由黄琨将其持有的公司0.4%股权转让给深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有限合伙）。
2026年1月，达晨财智完成工商变更登记。
本次变更完成后，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2湖南电广传媒股份有限公司3733.7120.00%
3刘昼1866.8610.00%
4肖冰1866.8610.00%
深圳市财智创享咨询服务合伙企
51148.126.15%业（有限合伙）
6邵红霞830.754.45%
7胡德华522.722.80%
362中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
8齐慎448.052.40%
9刘旭峰448.052.40%
10熊人杰373.372.00%
11傅忠红373.372.00%
12梁国智280.031.50%
13熊维云242.691.30%
合计18668.57100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，达晨财智的股权结构如下：
序号股东名称/姓名认缴出资额（万元）出资比例
1深圳市达晨创业投资有限公司6534.0035.00%
2湖南电广传媒股份有限公司3733.7120.00%
3刘昼1866.8610.00%
4肖冰1866.8610.00%
深圳市财智创享咨询服务合伙企
51148.126.15%业（有限合伙）
6邵红霞830.754.45%
7胡德华522.722.80%
8齐慎448.052.40%
9刘旭峰448.052.40%
10熊人杰373.372.00%
11傅忠红373.372.00%
12梁国智280.031.50%
13熊维云242.691.30%
合计18668.57100.00%
截至本报告书签署日，达晨财智的产权控制关系结构图如下：
363中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，达晨财智不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、控股股东及实际控制人基本情况
达晨财智的控股股东为深圳市达晨创业投资有限公司，上市公司湖南电广传媒股份有限公司直接及通过深圳市达晨创业投资有限公司间接持有达晨财智55%股权。湖南电广传媒股份有限公司情况如下：
企业名称湖南电广传媒股份有限公司
统一社会信用代码 91430000712106217Q注册地址湖南省长沙市浏阳河大桥东主要办公地点湖南省长沙市开福区浏阳河大桥东金鹰文化城圣爵菲斯大酒店西苑法定代表人王艳忠
注册资本141755.6338万元
企业类型其他股份有限公司（上市）成立日期1999年1月26日
影视节目制作、发行、销售（限分支机构经营）；广播电视节目传送、广播电视视频点播业务；信息网络传播视听节目；游乐园服务；旅游开发项目策
划咨询；水族馆、名胜风景区、森林公园、主题公园、游览景区管理；玩具、
动漫及游艺用品、旅游用品及工艺美术品（不含金饰品）、日用百货、土特产品（不含食品）的销售；旅游电子商务平台开发；以自有合法资产开展旅经营范围游及关联产业投资、文化创意产业投资、创业投资及运营管理（不得从事吸收存款、集资收款、受托贷款、发行票据、发放贷款等国家金融监管及财政信用业务）；酒店管理；餐饮管理；市场营销策划；文化活动的组织策划；
会展项目策划；广告设计、制作、发布、代理；动漫游戏开发；软件开发；
信息系统集成服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
364中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，达晨财智合计对外投资91家，主要对外投资情况如下：
注册资本（万直接持股序号企业名称主营业务
元）比例北京达晨鲲鹏管理咨询合
15000.0098.00%企业管理咨询
伙企业（有限合伙）深圳市智汇晨星创业投资
220.0070.00%创业投资（限投资未上市企业）
有限公司湖南达晨文化旅游创业投以自有资产进行创业投资及投资
33000.0060.00%
资管理有限公司咨询厦门达晨海峡创业投资管
41000.0060.00%创业投资管理、企业管理咨询
理有限公司
上海国晨创业投资管理有私募股权投资基金管理、创业投资
51500.0035.00%
限公司基金管理服务股权投资；创业投资；受托管理创业投资企业等机构或个人的创业深圳市达晨创坤股权投资
646129.8016.19%投资业务；为创业企业提供管理服企业（有限合伙）务业务；参与设立创业投资企业与创业投资管理服务以自有资金从事投资活动；财务咨
江右达（深圳）私募证券
73000.0015.00%询；社会经济咨询服务；企业管理
基金管理有限公司咨询。
上海达晨恒胜创业投资中创业投资，创业投资咨询，企业管
830000.0012.94%心（有限合伙）理及咨询深圳市达晨创联私募股权9投资基金合伙企业（有限300000.0010.80%对未上市企业进行股权投资合伙）
湖南达晨晨坤股权投资基以私募基金从事股权投资、投资管
1019800.009.49%
金合伙企业（有限合伙）理、资产管理等活动
6、主营业务发展状况
达晨财智的主营业务为私募股权投资基金管理服务，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
达晨财智最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
365中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计201888.56192516.83
负债总计42773.4842361.14
所有者权益159115.08150155.69
营业收入52674.3149027.07
营业利润51070.5442512.50
净利润37959.3930432.62
注：2024年财务数据已经审计，2025年财务数据未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产63336.56
非流动资产138552.00
资产总计201888.56
流动负债21741.61
非流动负债21031.87
负债总计42773.48
净资产159115.08
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入52674.31
营业成本-
营业利润51070.54
利润总额51067.08
净利润37959.39
（四十）杰正投资
1、基本信息
企业名称杰正投资集团有限公司
统一社会信用代码 91370212661295117D
366中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册地址山东省青岛市黄岛区滨海大道路2037号内15栋办公301户主要办公地点山东省青岛市崂山区香港东路195号杰正中心20层法定代表人方海晖注册资本30000万元
企业类型有限责任公司（自然人投资或控股）成立日期2007年6月27日自有资金对外投资（未经金融监管部门批准，不得从事吸收存款、融资担保、代客理财等金融业务），自有资产的经营与管理，企业并购管理咨询服务，房屋租赁，场地租赁，停车位租赁，办公设备租赁，汽车租赁（依据交通部经营范围门核发的《道路运输经营许可证》开展经营活动），批发：钢材、木制品、金属制品、建筑材料、化工产品（不含危险品），货物及技术进出口（法律行政法规禁止类项目不得经营，法律行政法规限制类项目许可后经营）。（以上范围需经许可经营的，须凭许可证经营）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2007年6月，杰正投资设立
2007年6月，王朝、于海波共同制定公司章程，申请设立杰正投资。设立时，杰
正投资的股东及股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1王朝255.0051.00%
2于海波245.0049.00%
合计500.00100.00%
（2）2008年6月，第一次股权转让
2008年6月，杰正投资股东会作出决议，同意于海波将其持有的12.82%股权对应
出资额64.10万元部分转让给王喆，其他股东放弃优先购买权。
2008年6月，于海波与王喆签订《股权转让协议》，约定将于海波持有的12.82%股权，对应出资额64.10万元部分转让给王喆。
2008年6月，杰正投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，杰正投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1王朝255.0051.00%
2于海波180.9036.18%
367中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
3王喆64.1012.82%
合计500.00100.00%
（3）2009年4月，第二次股权转让
2009年3月，杰正投资股东会作出决议，同意于海波将其持有的36.18%股权，对
应出资额180.90万元、王喆将其持有的12.82%股权，对应出资额64.10万元，均转让给方海晖，其他股东放弃优先购买权。
2009年3月，于海波、王喆与方海晖签订《股权转让协议》，约定将于海波将其
持有的36.18%股权，对应出资额180.90万元、王喆将其持有的12.82%股权，对应出资额64.10万元，均转让给方海晖。
2009年4月，杰正投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，杰正投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1王朝255.0051.00%
2方海晖245.0049.00%
合计500.00100.00%
（4）2012年3月，第一次增资
2012年3月，公司股东会作出决议，同意将注册资本由500.00万元增至30000.00万元。
2012年3月，杰正投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，杰正投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1王朝15300.0051.00%
2方海晖14700.0049.00%
合计30000.00100.00%
368中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（5）2019年7月，第三次股权转让
2019年7月，杰正投资股东会作出决议，同意王朝将其持有的43.00%股权，对应
出资额12900.00万元，平价转让给方海晖，其他股东放弃优先购买权。
2019年7月，王朝与方海晖签订《股权转让协议》，约定王朝将其持有的43.00%股权，对应出资额12900.00万元，平价转让给方海晖。
2019年7月，杰正投资完成工商变更登记。
本次变更完成后，杰正投资股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1方海晖27600.0092.00%
2王朝2400.008.00%
合计30000.00100.00%
（6）2024年12月，破产重整
2024年9月12日，青岛市黄岛区人民法院作出（2024）鲁0211破申14号民事裁定书，裁定受理杰正投资提出的破产重整申请；2024年12月24日，青岛市黄岛区人民法院作出（2024）鲁0211破14号民事裁定书，裁定受理杰正投资等十二家关联公司实质合并重整，并指定管理人，杰正投资在重整期间继续营业。
就参与本次交易事项，杰正投资已向管理人报告并提交相关用印审批文件、交易说明等材料，管理人已按照重整管理相关要求及《中华人民共和国企业破产法》第六十九条之规定，向青岛市黄岛区人民法院报告。
杰正投资为依法设立并有效存续的有限责任公司，截至本报告签署日，杰正投资仍为有效存续的主体，具备参与本次交易的主体资格。
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，杰正投资的股权结构如下：
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
1方海晖27600.0092.00%
2王朝2400.008.00%
369中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称认缴出资额（万元）出资比例
合计30000.00100.00%
截至本报告书签署日，杰正投资的产权控制关系结构图如下：
截至本报告书签署日，杰正投资不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
4、控股股东及实际控制人基本情况
杰正投资的控股股东、实际控制人为方海晖，直接持有杰正投资92%的股份，和表决权。方海晖情况如下：
姓名方海晖曾用名无性别男国籍中国
身份证号3702041970********
住所及通讯地址山东省青岛市****是否取得其他国家或地区的居留权否
最近三年的职业和职务情况如下：
序号起止时间任职单位职务
12023-06至今杰正投资执行董事兼总经理
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，杰正投资合计对外投资24家，主要投资情况如下：
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例
370中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例
青岛杰正海物业管理，房屋租赁，场地租赁，停车位租赁，办公设备租赁，汽车租赁，会议服务（不含住宿、餐馨物业管理13600.00100.00%饮），餐饮服务（依据食品药品监管部门核发的《食服务有限公品经营许可证》开展经营活动）。（依法须经批准司的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）房地产开发经营，物业管理，房地产中介服务，土地整理，室内外装饰装修，信息咨询服务，装饰装青岛杰正泽潢材料及建筑机械的销售，房屋租赁，场地租赁，2润置业有限2000.00100.00%停车场租赁，货物及技术进出口（法律行政法规禁公司止类项目不得经营，法律行政法规限制类项目许可后经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
教育管理与信息咨询，企业管理咨询，商务信息咨青岛杰诚未询（不含商业机密），经济信息服务（不含金融、证券及期货），会务服务（不含食宿），展览展示
3来教育发展1000.00100.00%服务，企业形象策划，市场营销策划，广告的设计、有限公司制作、发布及代理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）以自有资金投资（未经金融监管部门批准，不得从事吸收存款、融资担保、代客理财等金融业务）；
山东杰正投房产信息咨询及中介服务；房屋租赁；物业管理；
4300.00100.00%
资有限公司房地产开发、销售；房地产营销策划；国内广告业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
许可项目：技术进出口；货物进出口；餐饮服务。
（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：石墨及碳素制品销售；
普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；金属制品销售；有色金属合金销售；日用木制品销售；建筑材料销售；土地使用权租赁；
化工产品销售（不含许可类化工产品）；金银制品青岛杰正海销售；非居住房地产租赁；住房租赁；汽车租赁；
5鑫商贸有限1000.0099.50%金属材料销售；软件销售；集成电路销售；信息安
公司全设备销售；会议及展览服务；计算器设备销售；
信息系统集成服务；计算机及办公设备维修；软件开发；计算机及通讯设备租赁；技术服务、技术开
发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；
计算机软硬件及辅助设备零售；办公设备租赁服务；
企业管理；工艺美术品及收藏品零售（象牙及其制品除外）；国内贸易代理；餐饮管理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）货物及技术进出口（法律行政法规禁止类项目不得青岛杰正海经营，法律行政法规限制类项目许可后经营），经6睿商贸有限1000.0099.50%济信息服务，货物仓储服务（不含危险及违禁物品），
公司批发、零售：有色金属、金属材料、钢材、建筑材
料、碳素制品、化工产品（不含危险品）、工艺品、
371中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例
机电产品（不含九座及九座以下乘用车）、矿产品（不含专控），房屋租赁，场地租赁，停车位租赁，办公设备租赁，汽车租赁（依据交通部门核发的《道路运输许可证》开展经营活动）。（以上范围需经许可经营的，须凭许可证经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）许可项目：技术进出口；货物进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为
准）一般项目：石墨及碳素制品销售；普通货物仓
储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；
金属制品销售；有色金属合金销售；日用木制品销售；建筑材料销售；土地使用权租赁；化工产品销
青岛杰正海售（不含许可类化工产品）；金银制品销售；非居住房地产租赁；住房租赁；汽车租赁；金属材料销
7逸商贸有限1000.0099.50%售；软件销售；集成电路销售；信息安全设备销售；
公司会议及展览服务；计算器设备销售；信息系统集成服务；计算机及办公设备维修；软件开发；计算机
及通讯设备租赁；技术服务、技术开发、技术咨询、
技术交流、技术转让、技术推广；计算机软硬件及辅助设备零售；办公设备租赁服务；企业管理；工
艺美术品及收藏品零售（象牙及其制品除外）；国内贸易代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：技术进出口；货物进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；石墨及碳素制品销售；
金属制品销售；工艺美术品及收藏品零售（象牙及其制品除外）；有色金属合金销售；日用木制品销青岛杰正海售；建筑材料销售；土地使用权租赁；化工产品销
81000.0099.50%售（不含许可类化工产品）；金银制品销售；非居润商贸有限
住房地产租赁；住房租赁；汽车租赁；金属材料销公司售；软件销售；集成电路销售；信息安全设备销售；
会议及展览服务；计算器设备销售；信息系统集成服务；计算机及办公设备维修；软件开发；计算机
及通讯设备租赁；技术服务、技术开发、技术咨询、
技术交流、技术转让、技术推广；计算机软硬件及辅助设备零售；办公设备租赁服务；企业管理；国内贸易代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）一般经营项目:货物及技术进出口（法律行政法规禁青岛杰正海止类项目不得经营，法律行政法规限制类项目许可后经营），经济信息服务，货物仓储服务，批发、
9诚商贸有限1000.0099.50%
零售：有色金属、金属材料、钢材、建筑材料、碳
公司素制品、化工产品（不含危险品）、工艺品、机电产品（不含九座及九座以下乘用车）、矿产品（不
372中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序注册资本直接持股企业名称主营业务号（万元）比例含专控），房屋租赁，场地租赁，停车位租赁，办公设备租赁，汽车租赁（依据交通部门核发的《道路运输许可证》开展经营活动）。（以上范围需经许可经营的，须凭许可证经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）一般经营项目是:为产业园提供管理服务;为科技企深圳市杰正业孵化器提供管理;投资兴办实业（具体项目另行申报）;园林设计;建筑施工;信息咨询;物业管理;5G 类
10投资发展有1000.0080.00%
模组和终端的研发与销售;智慧城市管理系统研发、限公司销售。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外限制的项目须取得许可后方可经营）
6、主营业务发展状况
杰正投资主营业务为高端商业物业开发、文旅康养地产、影视传媒教育、高新技术
产业、物业管理以及网络科技业务等，最近三年主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
杰正投资最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计43050.1442030.58
负债总计46392.6844845.54
所有者权益-3342.54-2814.96
营业收入131.91236.30
营业利润-527.88-728.16
净利润-527.58-724.60
注：2024年、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产5470.65
非流动资产37579.49
373中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
资产总计43050.14
流动负债26992.68
非流动负债19400.00
负债总计46392.68
净资产-3342.54
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入131.91
营业成本659.79
营业利润-527.88
利润总额-527.58
净利润-527.58
（四十一）温润安享
1、基本信息
企业名称温润安享科盈（海南）股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一社会信用代码 91460400MACE04E01W注册地址海南省儋州市国营西联农场海南温氏禽畜有限公司办公楼305号主要办公地点海南省儋州市国营西联农场海南温氏禽畜有限公司办公楼305号
执行事务合伙人温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合伙）出资额4000万元人民币企业类型有限合伙企业成立日期2023年3月31日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）；创业投资（限投资未上市企业）；以自有资金从事投资活动；以私募基金从事股权投资、投资管经营范围理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
2、历史沿革及最近三年注册资本变化情况
（1）2023年3月，合伙企业设立
374中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年3月，温润（海南）私募基金管理合伙企业（有限合伙）和张礼薇共同出
资设立温润安享，设立时全体合伙人认缴出资总额为4000.00万元。
设立时，温润安享的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1温润（海南）私募基金管理合伙企业（有普通合伙人100.002.50%限合伙）
2张礼薇有限合伙人3900.0097.50%
合计4000.00100.00%
（2）2023年10月，第一次合伙份额转让
2023年10月，温润安享全体合伙人作出变更决定书，一致同意有限合伙人张礼薇
将其持有的本合伙企业财产份额3600.00万元转让给覃勇进，并从本合伙企业退伙。一致同意本合伙企业合伙人张礼薇将其持有的300.00万元转让给叶渊煌，并从本合伙企业退伙。
2023年10月，温润安享完成工商变更登记。
本次变更完成后，温润安享的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1温润（海南）私募基金管理合伙企业（有普通合伙人100.002.50%限合伙）
2覃勇进有限合伙人3600.0090.00%
3叶渊煌有限合伙人300.007.50%
合计4000.00100.00%
（3）2024年11月，第二次合伙份额转让
2024年11月，温润安享全体合伙人作出变更决定书，决定对以下事项进行变更：
（1）同意增加本合伙企业合伙人孙德寿；（2）同意覃勇进将本企业注册资本1800.00
万元转让给孙德寿；（3）执行事务合伙人变更为温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合伙）。
2024年11月，温润安享完成工商变更登记。
本次变更完成后，温润安享的合伙人及出资情况如下：
375中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有普通合伙人100.002.50%限合伙）
2覃勇进有限合伙人1800.0045.00%
3孙德寿有限合伙人1800.0045.00%
4叶渊煌有限合伙人300.007.50%
合计4000.00100.00%
3、产权关系结构图
截至本报告书签署日，温润安享的合伙人及出资情况如下：
认缴出资额（万序号合伙人信息合伙人类型出资比例
元）
1温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有普通合伙人100.002.50%限合伙）
2覃勇进有限合伙人1800.0045.00%
3孙德寿有限合伙人1800.0045.00%
4叶渊煌有限合伙人300.007.50%
合计4000.00100.00%
截至本报告书签署日，温润安享的执行事务合伙人为温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合伙），温润安享的产权结构图如下：
截至本报告书签署日，温润安享不存在协议控制架构、让渡经营管理权、收益权等影响独立性的协议或其他安排。
376中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4、执行事务合伙人基本情况
截至本报告书签署日，温润安享的执行事务合伙人为温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合伙），合伙人基本情况如下：
温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合伙）（曾用名：温润（海南）企业名称
私募基金管理合伙企业（有限合伙））
统一社会信用代码 91460000MAA98HAD3P注册地址珠海市横琴新区港澳大道2333号8栋808办公01主要办公地点珠海市横琴新区港澳大道2333号8栋808办公01
执行事务合伙人承润（珠海）投资合伙企业（有限合伙）
出资额1958.3333万人民币企业类型合伙企业成立日期2021年12月29日一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券经营范围投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
5、主要对外投资情况
截至本报告书签署日，除标的公司外，温润安享合计对外投资25家，主要投资情况如下：
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
新能源电动汽车陶瓷零部件产品研发、生产、销售；智能通讯陶瓷产品及电子元器件产品生
娄底市安地产、销售；人造金刚石研磨材料及金刚石刀具
1亚斯电子陶2830.080.88%研发、生产、销售；五金材料及金属制品研发、瓷有限公司生产、销售；新材料、新能源配套产业、技术研发及检验平台建设；传感器产品及配件的研
发、生产与销售；经销代理国内外电子产品北京诺润成长医药管理
2咨询合伙企7001.000.50%一般项目：健康咨询服务（不含诊疗服务）；
企业管理咨询；社会经济咨询服务
业（有限合伙）
一般项目：电机及其控制系统研发；智能机器人的研发；机械设备研发；智能控制系统集成；
人工智能应用软件开发；技术服务、技术开发、西安嘉合汇
3技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；智科技有限135.200.37%
工业自动控制系统装置销售；智能无人飞行器公司销售；微特电机及组件销售；智能机器人销售；
电子元器件与机电组件设备销售；机械电气设备销售；机床功能部件及附件销售；电机制造；
377中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例微特电机及组件制造液晶材料、光电显示材料、化工产品和原料（不含危险、监控、易制毒化学品）、医药中间体西安凯翔光
41488.650.36%的研发、生产、销售；机械产品、电子产品、电科技有限
日用百货的销售；光电显示、照明、药物研发公司
领域的技术研发、技术咨询、技术服务、技术转让；货物及技术的进出口经营
一般项目：研发、生产和销售：汽车零部件、重庆瑞通精
513000.000.23%新能源车零部件、摩托车零部件、通信器材零工科技股份
部件、有色金属、机械零部件、模具、机械设有限公司
备、包装物、机电产品；货物或技术进出口
一般项目：有色金属压延加工；钢压延加工；
金属表面处理及热处理加工；常用有色金属冶炼；有色金属铸造；黑色金属铸造；有色金属合金制造；金属材料制造；金属材料销售；高性能有色金属及合金材料销售；新型金属功能材料销售；新材料技术研发；锻件及粉末冶金宝鸡西工钛
65389.720.18%制品制造；金属切削加工服务；高品质特种钢科技股份有
铁材料销售；机械设备销售；实验分析仪器销限公司售；机械电气设备销售；机械设备研发；机械
设备租赁；租赁服务（不含许可类租赁服务）；
非居住房地产租赁；土地使用权租赁；技术进出口；货物进出口；技术服务、技术开发、技
术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；企业管理
小麦加工；销售小麦粉（面粉）及其副产品；
生产销售饲料及其副产品；自有资产租赁；咨广东加福加
询及技术服务；大麦、高粱加工经营业务码头
7德食品技术3231.430.17%及其他港口设施服务（为船舶提供码头设施）；
股份有限公
货物装卸（在港区内提供货物装卸服务）；粮司食收购；粮食加工食品生产；粮食仓储；谷物销售一般项目：专用化学产品制造（不含危险化学品）；专用化学产品销售（不含危险化学品）；
石油制品制造（不含危险化学品）；石油制品江苏澳润新
8材料有限公1736.330.17%销售（不含危险化学品）；润滑油加工、制造（不含危险化学品）；润滑油销售；新材料技司
术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技
术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；
技术进出口
许可项目：饲料添加剂生产，食品添加剂生产，食品生产，保健食品生产，化妆品生产（依法须经批准的项目，经相关部门批准后在许可有宜春大海龟
93667.390.16%效期内方可开展经营活动，具体经营项目和许生命科学股可期限以相关部门批准文件或许可证件为准）份有限公司一般项目：专用化学产品制造（不含危险化学品），专用化学产品销售（不含危险化学品），化工产品销售（不含许可类化工产品），饲料
378中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
注册资本直接持股序号企业名称主营业务（万元）比例
添加剂销售，生物饲料研发，食品添加剂销售，食品销售（仅销售预包装食品），食品进出口，货物进出口，保健食品（预包装）销售，技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术
转让、技术推广，化妆品批发，化妆品零售机器人及自动化设备的研发、制造、销售、安
装、租赁、维修；软件研发、销售、售后服务；
苏州钧舵机计算机信息系统集成；光学设备、治具、夹具、
10器人有限公1075.210.15%电子产品、通信设备、机电设备的研发、制造、司销售；并提供相关技术转让、技术咨询、技术服务；佣金代理；自营和代理各类商品及技术的进出口业务
6、主营业务发展状况
温润安享的主营业务为股权投资，自2023年成立至今主营业务未发生变化。
7、最近两年主要财务指标及最近一年简要财务报表
（1）最近两年主要财务指标
温润安享最近两年主要财务指标如下：
单位：万元
项目2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
资产总计3940.513122.69
负债总计1845.421410.33
所有者权益2095.091712.36
营业收入--
营业利润20.56170.34
净利润20.56170.34
注：2024、2025年财务数据均未经审计，下同。
（2）最近一年简要合并财务报表
温润安享最近一年简要合并财务报表如下：
1）简要合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产79.16
379中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
非流动资产3861.35
资产总计3940.51
流动负债1845.42
非流动负债-
负债总计1845.42
净资产2095.09
2）简要合并利润表
单位：万元项目2025年度
营业收入-
营业成本-
营业利润20.56
利润总额20.56
净利润20.56
8、私募基金备案情况
温润安享已在中国证券投资基金业协会完成私募基金备案手续，基金编号为：
SAGC47。
9、存续期与锁定期匹配情况
根据温润安享的合伙协议，温润安享存续期至2044年2月1日，长于其股份锁定期，存续期限安排与锁定期安排相匹配。
10、穿透锁定情况
温润安享非专为本次交易设立的主体且不以持有标的资产为目的，不涉及穿透锁定。
二、其他事项说明
（一）交易对方之间关联关系及其情况说明
1、本次发行股份购买资产交易对方之间的关联关系说明
序股东名称持股比例关联关系或一致行动关系号
杭州众芯硅 20.38% GU HAIYANG 为杭州众芯硅、杭州众诚芯的执行事
临安众芯硅3.20%务合伙人，杭州众芯硅为临安众芯硅、临安众硅的执
380中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序股东名称持股比例关联关系或一致行动关系号
临安众硅2.50%行事务合伙人；朱琳为杭州芯匠的执行事务合伙人；
朱琳系 GU HAIYANG 配偶的妹妹，根据朱琳与 GU杭州众诚芯 0.86% HAIYANG 签署的《一致行动协议》，朱琳与 GU杭州芯匠 1.82% HAIYANG 构成一致行动关系
朱琳0.26%
台州金石投资6.94%台州金石投资执行事务合伙人为中信金石投资有限
2公司，中信金石投资有限公司、中信投资均为中信证
中信投资0.73%券股份有限公司全资控股子公司
杭州富浙3.83%杭州富浙、浙江富浙的执行事务合伙人均为浙江富浙
3
浙江富浙3.83%私募基金管理有限公司
深圳达晨3.19%
4杭州达晨1.91%达晨财智为深圳达晨、杭州达晨的执行事务合伙人
达晨财智0.36%
宁波蓝郡1.53%宁波蓝郡投资管理有限公司为宁波蓝郡的执行事务
5合伙人，蔡刚波为宁波蓝郡投资管理有限公司的控股
蔡刚波1.30%股东
宁波领芯1.43%
6朱力昂为宁波领芯的执行事务合伙人
朱力昂0.78%
江苏毅达0.91%1、毅达鼎祺的基金管理人为无锡毅达汇德股权投资
管理合伙企业（有限合伙）；
江苏中小基金0.84%2、无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有限合伙）、
毅达鼎祺0.67%毅达太湖、宁波毅达的基金管理人均为南京毅达股权
投资管理企业（有限合伙）；
毅达太湖0.42%3、江苏中小基金的基金管理人为江苏毅达股权投资基金管理有限公司；
7
4、江苏毅达的基金管理人为南京毅达汇中创业投资
管理合伙企业（有限合伙）；
5、南京毅达汇中创业投资管理合伙企业（有限合伙）
宁波毅达0.42%
和南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）的执行事务合伙人均为西藏爱达汇承私募基金管理有限公司；
6、西藏爱达汇承私募基金管理有限公司是江苏毅达
股权投资基金管理有限公司的全资子公司
朗玛六十三号0.90%
朗玛六十三号、朗玛五十九号、朗玛六十号的执行事
8朗玛五十九号0.67%
务合伙人均为朗玛峰创业投资有限公司
朗玛六十号0.67%
9温润贰号0.76%温润贰号的执行事务合伙人为广东温氏投资有限公
381中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序股东名称持股比例关联关系或一致行动关系号司；温润安享的执行事务合伙人为温润（珠海）私募
温润安享0.01%基金管理合伙企业（有限合伙），其基金管理人为广东温氏投资有限公司
2、本次发行股份购买资产交易对方与独立财务顾问之间的关联关系说明
本次交易的交易对方中，中信投资为中信证券下属自有资金投资平台，台州金石投资为中信证券全资子公司中信金石投资有限公司担任执行事务合伙人的投资平台，两者合计持有标的公司7.66%的股份。本次交易中，中信证券担任上市公司独立财务顾问。
根据本次交易方案，本次交易发行股份购买资产完成后（不考虑募集配套资金），中信投资和台州金石投资预计合计持有上市公司0.15%股份，未超过5%。
《上市公司并购重组财务顾问业务管理办法》第十七条规定：证券公司、证券投资
咨询机构或者其他财务顾问机构受聘担任上市公司独立财务顾问的，应当保持独立性，不得与上市公司存在利害关系。中信证券不存在《上市公司并购重组财务顾问业务管理办法》第17条规定的与上市公司存在利害关系、不得担任独立财务顾问的情形。
（二）交易对方与上市公司及其控股股东、实际控制人之间的关联关系说明
本次交易前，交易对方与上市公司及其控股股东、实际控制人之间不存在关联关系。
本次交易完成后，无单一交易对方或同一控制下交易对方合计持有上市公司股份超过
5%。因此，根据《股票上市规则》的规定，本次交易完成后，本次交易不构成关联交易。
（三）交易对方向上市公司推荐董事或高级管理人员的情况
截至本报告书签署日，交易对方未向上市公司推荐董事及高级管理人员。
（四）交易对方最近五年内受过行政处罚、刑事处罚、涉及与经济纠纷有关的重大民事诉讼或者仲裁情况
截至本报告书签署日，交易对方及其董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内未受到任何刑事处罚或与证券市场有关的任何行政处罚，不涉及与经济纠纷有关的重大民事诉讼或者仲裁。
（五）交易对方最近五年的诚信情况
382中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，交易对方及其董事、监事、高级管理人员及其他主要管理人员（如有）最近五年内诚信状况良好，不存在未按期偿还大额债务、未履行承诺、被中国证监会采取行政监管措施或受到证券交易所纪律处分的情况。
（六）标的资产股东人数穿透计算情况
本次发行股份及支付现金购买资产交易的交易对方共计41名。参照相关规定，将交易对方穿透至自然人、非专门以持有标的公司为目的的法人、非专门以持有标的公司
为目的且经备案的私募基金以及员工持股平台。按照该等标准，交易对方穿透计算后的合计人数为77人，未超过200人，三、募集配套资金的发行对象
上市公司拟向符合中国证监会规定的证券投资基金管理公司、证券公司、信托公司、
财务公司、保险机构投资者、合格境外机构投资者、其他境内法人投资者和自然人等不
超过35名的特定对象发行股票募集配套资金。证券投资基金管理公司、证券公司、合格境外机构投资者、人民币合格境外机构投资者以其管理的二只以上产品认购的，视为一个发行对象；信托公司作为发行对象，只能以自有资金认购。
最终发行对象将由公司董事会及其授权人士根据股东会授权，在本次交易经上交所审核通过并经中国证监会注册后，按照相关法律、法规和规范性文件的规定及发行竞价情况，遵照价格优先等原则与本次交易的独立财务顾问（主承销商）协商确定。
383中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第四节交易标的基本情况
本次交易的标的资产为杭州众硅64.69%股权。本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司。
一、基本情况公司名称杭州众硅电子科技有限公司
公司类型有限责任公司（自然人投资或控股）
注册资本11562.0108万元注册地址浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
主要办公场所 浙江省杭州市临安区大园路 1155 号创业广场 A座 14-15楼
法定代表人 GU HAIYANG
成立日期2018-05-23
经营期限2018-05-23至无固定期限
统一社会信用代码 91330185MA2CC0D69L
一般项目：机械设备研发；机械设备销售；电子专用设备制造；技术服务、
技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设
备制造；半导体器件专用设备销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零经营范围部件销售；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
二、历史沿革
1、2018年5月，杭州众硅设立
2018年5月21日，杭州众芯硅和朱琳签订《杭州众硅电子科技有限公司章程》，
约定标的公司注册资本为3000.00万元，朱琳以货币方式认缴出资30.00万元，占注册资本的1.00%。杭州众芯硅以货币方式认缴出资2970.00万元，占注册资本的99.00%。
2018年5月23日，杭州众硅取得了杭州市临安区市场监督管理局核发的《营业执照》。
杭州众硅设立时的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2970.0099.00%
2朱琳30.001.00%
384中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
合计3000.00100.00%
2、2019年2月，杭州众硅第一次增资
2018年5月28日，杭州众硅与朱力昂及相关方签署增资协议，约定朱力昂对标的
公司增资500.00万元，认缴标的公司116.13万元注册资本。
2019年1月，杭州众硅与临安创投及相关方签署增资协议，约定临安创投以1.00
元/注册资本的价格对标的公司增资600.00万元，认缴标的公司600.00万元注册资本。
2019年2月21日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至3716.13万元，新增注册资本716.13万元由朱力昂认缴116.13万元，由临安创投认缴600.00万元，并相应修改公司章程。
2019年2月22日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的
股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2970.0079.92%
2临安创投600.0016.15%
3朱力昂116.133.13%
4朱琳30.000.81%
合计3716.13100.00%
3、2019年12月，杭州众硅第二次增资
2019年6月17日，杭州众硅与淮堃创投及相关方签署增资协议，约定淮堃创投将
以5000.00万元的价格认购标的公司663.59万元注册资本。
2019年12月11日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增
加至4379.72万元，新增注册资本663.59万元由淮堃创投认缴。
2019年12月11日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅
的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2970.0067.81%
2淮堃创投663.5915.15%
385中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
3临安创投600.0013.70%
4朱力昂116.132.65%
5朱琳30.000.69%
合计4379.72100.00%
4、2020年5月，杭州众硅第三次增资
2020年4月，杭州众硅与临安创投及相关方签署增资协议，约定临安创投将以
1000.00万元的价格认购标的公司132.72万元注册资本。
2020年5月5日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至4512.44万元，新增注册资本132.72万元由临安创投认缴。
2020年5月22日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的
股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2970.0065.82%
2临安创投732.7216.24%
3淮堃创投663.5914.71%
4朱力昂116.132.57%
5朱琳30.000.66%
合计4512.44100.00%
5、2021年1月，杭州众硅第一次股权转让2021年1月12日，经杭州众硅股东会同意，杭州众芯硅与临安众芯硅（曾用名：宁波众硅企业管理合伙企业（有限合伙）（2021-01至2021-12））签订《股权转让协议》，约定将杭州众芯硅所持标的公司8.20%的股权（对应注册资本370.02万元，实缴
0.00元）转让给临安众芯硅，转让价格为0.00元。后续由受让方履行实缴义务。标的
公司现有股东均放弃优先购买权。
2021年2月，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的股权
结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2599.9857.62%
386中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
2临安创投732.7216.24%
3淮堃创投663.5914.71%
4临安众芯硅370.028.20%
5朱力昂116.132.57%
6朱琳30.000.66%
合计4512.44100.00%
6、2021年2月，杭州众硅第四次增资
2020年12月，杭州众硅与宁波领芯及相关方签署增资协议，约定宁波领芯将以
2000.00万元的价格认购标的公司265.44万元注册资本。
2021年2月22日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至4777.88万元，新增注册资本265.44万元由宁波领芯认缴，并同意通过新的公司章程。
2021年2月22日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的
股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2599.9854.42%
2临安创投732.7215.34%
3淮堃创投663.5913.89%
4临安众芯硅370.027.74%
5宁波领芯265.445.56%
6朱力昂116.132.43%
7朱琳30.000.63%
合计4777.88100.00%
7、2021年3月，杭州众硅第五次增资
2021年2月，杭州众硅与炬华联昕、好奇号、寓鑫创投、吴仁德及相关方签署增资协议，约定炬华联昕、好奇号、寓鑫创投、吴仁德以5000.00万元认购标的公司597.24万元注册资本。
2021年3月4日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至5375.12万元，新增注册资本597.24万元由以下各增资方认缴：
387中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
炬华联昕1000.00119.45
好奇号500.0059.72
寓鑫创投1000.00119.45
吴仁德2500.00298.62
合计5000.00597.24
2021年3月4日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的
股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2599.9848.37%
2临安创投732.7213.63%
3淮堃创投663.5912.35%
4临安众芯硅370.026.88%
5吴仁德298.625.56%
6宁波领芯265.444.94%
7炬华联昕119.452.22%
8寓鑫创投119.452.22%
9朱力昂116.132.16%
10好奇号59.721.11%
11朱琳30.000.56%
合计5375.12100.00%
8、2021年8月，杭州众硅第二次股权转让
2021年6月，杭州众芯硅与长兴青鸟签订投资协议，约定杭州众芯硅将其所持标
的公司2.79%的股权（对应出资额150.00万元）转让给长兴青鸟，转让价格为1320.00万元。
2021年7月21日，杭州众硅召开股东会，全体股东均同意前述股权转让。
2021年8月2日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅的
股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9845.58%
2临安创投732.7213.63%
388中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
3淮堃创投663.5912.35%
4临安众芯硅370.026.88%
5吴仁德298.625.56%
6宁波领芯265.444.94%
7长兴青鸟150.002.79%
8炬华联昕119.452.22%
9寓鑫创投119.452.22%
10朱力昂116.132.16%
11好奇号59.721.11%
12朱琳30.000.56%
合计5375.12100.00%
9、2021年10月，杭州众硅第六次增资
2021年8月，杭州众硅分别与江苏中小基金、毅达太湖、宁波毅达、嘉兴芯通、小满投资、宁波和丰、江苏疌泉、浙江容腾、苏州国发、朗玛四十二号及相关方签署增资协议，约定江苏中小基金、毅达太湖、宁波毅达、嘉兴芯通、小满投资、宁波和丰、江苏疌泉、浙江容腾、苏州国发、朗玛四十二号以17000.00万元认购标的公司1405.80万元注册资本。
2021年8月31日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至6780.92万元，新增注册资本1405.80万元由以下各增资方认缴：
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
江苏中小基金3000.00248.08
毅达太湖1500.00124.04
宁波毅达1500.00124.04
嘉兴芯通3000.00248.08
小满投资2000.00165.39
宁波和丰3000.00248.08
江苏疌泉1000.0082.69
浙江容腾1000.0082.69
苏州国发500.0041.35
朗玛四十二号500.0041.35
389中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
合计17000.001405.80
2021年10月11日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更后，杭州众硅
的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9836.13%
2临安创投732.7210.81%
3淮堃创投663.599.79%
4临安众芯硅370.025.46%
5吴仁德298.624.40%
6宁波领芯265.443.91%
7江苏中小基金248.083.66%
8嘉兴芯通248.083.66%
9宁波和丰248.083.66%
10小满投资165.392.44%
11长兴青鸟150.002.21%
12毅达太湖124.041.83%
13宁波毅达124.041.83%
14炬华联昕119.451.76%
15寓鑫创投119.451.76%
16朱力昂116.131.71%
17江苏疌泉82.691.22%
18浙江容腾82.691.22%
19好奇号59.720.88%
20苏州国发41.350.61%
21朗玛四十二号41.350.61%
22朱琳30.000.44%
合计6780.92100.00%
10、2022年7月，第三次股权转让
2022年6月27日，公司召开股东会，同意临安创投将其持有的公司股权分别向杭
州众诚芯、临安众硅、杭州芯匠进行转让。
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
390中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
杭州众诚芯100.00100.00
临安创投临安众硅289.00289.00
杭州芯匠211.00211.00
2022年6月，临安创投与杭州众诚芯、临安众硅、杭州芯匠签署《股权转让协议》，
本次转让系执行回购。
2022年7月1日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9836.13%
2淮堃创投663.599.79%
3临安众芯硅370.025.46%
4吴仁德298.624.40%
5临安众硅289.004.26%
6宁波领芯265.443.91%
7江苏中小基金248.083.66%
8嘉兴芯通248.083.66%
9宁波和丰248.083.66%
10杭州芯匠211.003.11%
11小满投资165.392.44%
12长兴青鸟150.002.21%
13临安创投132.721.96%
14毅达太湖124.041.83%
15宁波毅达124.041.83%
16炬华联昕119.451.76%
17寓鑫创投119.451.76%
18朱力昂116.131.71%
19杭州众诚芯100.001.47%
20江苏疌泉82.691.22%
21浙江容腾82.691.22%
22好奇号59.720.88%
23苏州国发41.350.61%
391中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
24朗玛四十二号41.350.61%
25朱琳30.000.44%
合计6780.92100.00%
11、2022年10月，第七次增资
2022年8月14日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增加
至7460.92万元，新增注册资本680.00万元由宁容海川认缴。针对本次增资，标的公司现有股东均放弃优先认购权和反稀释权。
2022年8月25日，杭州众硅与宁容海川及相关方签署增资协议，约定宁容海川以
680.00万元认购标的公司680.00万元注册资本。标的公司为引进拥有丰富行业经验的
MICHAEL XIAOXUAN YANG先生，经全体股东一致同意，由MICHAEL XIAOXUANYANG先生控制的企业宁容海川以 1.00元/单位注册资本的价格向标的公司增资，并聘任MICHAEL XIAOXUAN YANG为标的公司董事长。
2022年10月31日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州
众硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9832.84%
2宁容海川680.009.11%
3淮堃创投663.598.89%
4临安众芯硅370.024.96%
5吴仁德298.624.00%
6临安众硅289.003.87%
7宁波领芯265.443.56%
8江苏中小基金248.083.33%
9嘉兴芯通248.083.33%
10宁波和丰248.083.33%
11杭州芯匠211.002.83%
12小满投资165.392.22%
13长兴青鸟150.002.01%
14临安创投132.721.78%
15毅达太湖124.041.66%
392中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
16宁波毅达124.041.66%
17炬华联昕119.451.60%
18寓鑫创投119.451.60%
19朱力昂116.131.56%
20杭州众诚芯100.001.34%
21江苏疌泉82.691.11%
22浙江容腾82.691.11%
23好奇号59.720.80%
24苏州国发41.350.55%
25朗玛四十二号41.350.55%
26朱琳30.000.40%
合计7460.92100.00%
12、2022年12月，第八次增资、第四次股权转让
2022年11月6日，淮堃创投与南京星堃签订股权转让协议，约定淮堃创投将其所
持标的公司248.14万元注册资本转让给南京星堃，转让价格为3000.00万元。
2022年11月20日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意以下增资及股权转让
事项：
（1）增资
标的公司注册资本增加至7800.05万元，新增注册资本339.13万元由以下各增资方认缴：
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
衢州瑞唐4000.00271.31
海澳芯科500.0033.91
杰正投资500.0033.91
合计5000.00339.13
（2）股权转让
淮堃创投将其所持标的公司248.14万元注册资本转让给南京星堃，转让价格为
3000.00万元。
393中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2022年11月23日，杭州众硅与海澳芯科、杰正投资及相关方签署增资协议，约
定海澳芯科以500.00万元认购标的公司33.91万元注册资本；杰正投资以500.00万元
认购标的公司33.91万元注册资本。
2022年11月25日，杭州众硅与衢州瑞唐及相关方签署增资协议，约定衢州瑞唐
以4000.00万元认购标的公司271.31万元注册资本。
2022年12月7日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9831.41%
2宁容海川680.008.72%
3淮堃创投415.465.33%
4临安众芯硅370.024.74%
5吴仁德298.623.83%
6临安众硅289.003.71%
7衢州瑞唐271.313.48%
8宁波领芯265.443.40%
9南京星堃248.143.18%
10江苏中小基金248.083.18%
11嘉兴芯通248.083.18%
12宁波和丰248.083.18%
13杭州芯匠211.002.71%
14小满投资165.392.12%
15长兴青鸟150.001.92%
16临安创投132.721.70%
17毅达太湖124.041.59%
18宁波毅达124.041.59%
19炬华联昕119.451.53%
20寓鑫创投119.451.53%
21朱力昂116.131.49%
22杭州众诚芯100.001.28%
23江苏疌泉82.691.06%
24浙江容腾82.691.06%
394中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
25好奇号59.720.77%
26苏州国发41.350.53%
27朗玛四十二号41.350.53%
28海澳芯科33.910.43%
29杰正投资33.910.43%
30朱琳30.000.38%
合计7800.05100.00%
13、2023年2月，第九次增资
2022年12月，杭州众硅分别与朗玛五十九号、朗玛六十号、朗玛六十三号、星成
联芯、吴仁德、毅达鼎祺、嘉兴邦拓、朱力昂及相关方签署增资协议，约定朗玛五十九号、朗玛六十号、朗玛六十三号、星成联芯、吴仁德、毅达鼎祺、嘉兴邦拓、朱力昂以
12000.00万元认购标的公司624.00万元注册资本。
2022年12月25日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意标的公司注册资本增
加至8424.05万元，新增注册资本624.00万元由以下各增资方认缴：
增资金额
增资方计入注册资本（万元）（万元）
朗玛五十九号1500.0078.00
朗玛六十号1500.0078.00
朗玛六十三号2000.00104.00
星成联芯2000.00104.00
吴仁德2000.00104.00
毅达鼎祺1500.0078.00
嘉兴邦拓1000.0052.00
朱力昂500.0026.00
合计12000.00624.00
2023年2月17日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9829.08%
2宁容海川680.008.07%
395中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
3淮堃创投415.464.93%
4吴仁德402.624.78%
5临安众芯硅370.024.39%
6临安众硅289.003.43%
7衢州瑞唐271.313.22%
8宁波领芯265.443.15%
9南京星堃248.142.95%
10江苏中小基金248.082.94%
11嘉兴芯通248.082.94%
12宁波和丰248.082.94%
13杭州芯匠211.002.50%
14小满投资165.391.96%
15长兴青鸟150.001.78%
16朱力昂142.131.69%
17临安创投132.721.58%
18毅达太湖124.041.47%
19宁波毅达124.041.47%
20炬华联昕119.451.42%
21寓鑫创投119.451.42%
22朗玛六十三号104.001.23%
23星成联芯104.001.23%
24杭州众诚芯100.001.19%
25江苏疌泉82.690.98%
26浙江容腾82.690.98%
27朗玛五十九号78.000.93%
28朗玛六十号78.000.93%
29毅达鼎祺78.000.93%
30好奇号59.720.71%
31嘉兴邦拓52.000.62%
32苏州国发41.350.49%
33朗玛四十二号41.350.49%
34海澳芯科33.910.40%
35杰正投资33.910.40%
396中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
36朱琳30.000.36%
合计8424.05100.00%
14、2023年6月，第十次增资、第五次股权转让
2023年4月25日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意以下增资及股权转让事
项：
（1）增资
标的公司注册资本增加至9603.42万元，新增注册资本1179.37万元由以下各增资方认缴：
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
杭州富浙10000.00421.20
浙江富浙10000.00421.20
宁波蓝郡4000.00168.48
杭州北峰2000.0084.24
温润贰号1975.0083.19
温润叁号25.001.05
合计28000.001179.37
（2）股权转让
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
杭州赋芯109.09821.97
临安创投朱力昂3.5226.52
淮堃创投20.11151.52
2023年4月，杭州众硅分别与温润贰号、温润叁号、杭州富浙、宁波蓝郡、杭州
北峰及相关方签署增资协议，约定温润贰号、温润叁号、杭州富浙、宁波蓝郡、杭州北峰以18000.00万元认购标的公司758.17万元注册资本。
2023年5月30日，临安创投与杭州赋芯、朱力昂、淮堃创投签订《股权转让协议》，
本次转让系执行回购。
2023年6月，杭州众硅分别与浙江富浙及相关方签署增资协议，约定浙江富浙以
10000.00万元认购标的公司421.20万元注册资本。
397中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2023年6月27日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2449.9825.51%
2宁容海川680.007.08%
3淮堃创投435.564.54%
4杭州富浙421.204.39%
5浙江富浙421.204.39%
6吴仁德402.624.19%
7临安众芯硅370.023.85%
8临安众硅289.003.01%
9衢州瑞唐271.312.83%
10宁波领芯265.442.76%
11南京星堃248.142.58%
12江苏中小基金248.082.58%
13嘉兴芯通248.082.58%
14宁波和丰248.082.58%
15杭州芯匠211.002.20%
16宁波蓝郡168.481.75%
17小满投资165.391.72%
18长兴青鸟150.001.56%
19朱力昂145.651.52%
20毅达太湖124.041.29%
21宁波毅达124.041.29%
22炬华联昕119.451.24%
23寓鑫创投119.451.24%
24杭州赋芯109.091.14%
25朗玛六十三号104.001.08%
26星成联芯104.001.08%
27杭州众诚芯100.001.04%
28杭州北峰84.240.88%
29温润贰号83.190.87%
30江苏疌泉82.690.86%
398中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
31浙江容腾82.690.86%
32朗玛五十九号78.000.81%
33朗玛六十号78.000.81%
34毅达鼎祺78.000.81%
35好奇号59.720.62%
36嘉兴邦拓52.000.54%
37苏州国发41.350.43%
38朗玛四十二号41.350.43%
39海澳芯科33.910.35%
40杰正投资33.910.35%
41朱琳30.000.31%
42温润叁号1.050.01%
合计9603.42100.00%
15、2024年12月，第十一次增资、第六次股权转让
2024年11月28日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意以下增资及股权转让
事项：
（1）增资
同意标的公司注册资本增加至10487.95万元，新增注册资本884.53万元，由以下各增资方认缴：
增资金额
增资方计入注册资本（万元）（万元）
中微临港2000.0084.24
台州金石投资16000.00673.92
中信投资2000.0084.24
石溪投资1000.0042.12
合计21000.00884.53
（2）股权转让
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
杭州赋芯11.44178.66中微临港
浙江容腾82.691291.64
399中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
海澳芯科33.91529.71
好奇号59.72932.85石溪投资
杭州众芯硅4.3067.15
杭州赋芯97.651525.29台州金石投资
杭州众芯硅30.39474.71
温润叁号温润安享1.0525.00
2024年12月31日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州
众硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2415.2923.03%
2台州金石投资801.977.65%
3宁容海川680.006.48%
4淮堃创投435.564.15%
5杭州富浙421.204.02%
6浙江富浙421.204.02%
7吴仁德402.623.84%
8临安众芯硅370.023.53%
9临安众硅289.002.76%
10衢州瑞唐271.312.59%
11宁波领芯265.442.53%
12南京星堃248.142.37%
13江苏中小基金248.082.37%
14嘉兴芯通248.082.37%
15宁波和丰248.082.37%
16中微临港212.292.02%
17杭州芯匠211.002.01%
18宁波蓝郡168.481.61%
19小满投资165.391.58%
20长兴青鸟150.001.43%
21朱力昂145.651.39%
22毅达太湖124.041.18%
23宁波毅达124.041.18%
400中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
24炬华联昕119.451.14%
25寓鑫创投119.451.14%
26石溪投资106.141.01%
27朗玛六十三号104.000.99%
28星成联芯104.000.99%
29杭州众诚芯100.000.95%
30杭州北峰84.240.80%
31中信投资84.240.80%
32温润贰号83.190.79%
33江苏疌泉82.690.79%
34朗玛五十九号78.000.74%
35朗玛六十号78.000.74%
36毅达鼎祺78.000.74%
37嘉兴邦拓52.000.50%
38苏州国发41.350.39%
39朗玛四十二号41.350.39%
40杰正投资33.910.32%
41朱琳30.000.29%
42温润安享1.050.01%
合计10487.94100.00%
16、2025年2月，第十二次增资、第七次股权转让
2024年12月31日，杭州众硅召开股东会并作出决议，同意以下增资及股权转让
事项：
（1）增资
同意标的公司注册资本增加至11562.01万元，新增注册资本1074.07万元，由以下各增资方认缴：
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
江苏毅达2500.00105.30
安徽丰禾5000.00210.60
青岛东证3000.00126.36
401中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
增资方增资金额（万元）计入注册资本（万元）
杭州达晨5250.00221.13
深圳达晨8750.00368.55
达晨财智1000.0042.12
合计25500.001074.07
（2）股权转让
因标的公司2024年12月增资及股权转让事宜触发反稀释条款。经各方协商一致，杭州众芯硅同意向2023年6月入股的投资人给予股权补偿，具体如下：
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（元）
杭州富浙21.161.00
浙江富浙21.161.00
宁波蓝郡8.461.00杭州众芯硅
杭州北峰4.231.00
温润贰号4.181.00
温润安享0.051.00
2025年2月28日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2356.0420.38%
2台州金石投资801.976.94%
3宁容海川680.005.88%
4杭州富浙442.363.83%
5浙江富浙442.363.83%
6淮堃创投435.563.77%
7吴仁德402.623.48%
8临安众芯硅370.023.20%
9深圳达晨368.553.19%
10临安众硅289.002.50%
11衢州瑞唐271.312.35%
12宁波领芯265.442.30%
13南京星堃248.142.15%
402中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
14江苏中小基金248.082.15%
15嘉兴芯通248.082.15%
16宁波和丰248.082.15%
17杭州达晨221.131.91%
18中微临港212.291.84%
19杭州芯匠211.001.82%
20安徽丰禾210.601.82%
21宁波蓝郡176.951.53%
22小满投资165.391.43%
23长兴青鸟150.001.30%
24朱力昂145.651.26%
25青岛东证126.361.09%
26毅达太湖124.041.07%
27宁波毅达124.041.07%
28炬华联昕119.451.03%
29寓鑫创投119.451.03%
30石溪投资106.140.92%
31江苏毅达105.300.91%
32朗玛六十三号104.000.90%
33星成联芯104.000.90%
34杭州众诚芯100.000.86%
35杭州北峰88.470.77%
36温润贰号87.370.76%
37中信投资84.240.73%
38江苏疌泉82.690.72%
39朗玛五十九号78.000.67%
40朗玛六十号78.000.67%
41毅达鼎祺78.000.67%
42嘉兴邦拓52.000.45%
43达晨财智42.120.36%
44苏州国发41.350.36%
45朗玛四十二号41.350.36%
46杰正投资33.910.29%
403中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
47朱琳30.000.26%
48温润安享1.110.01%
合计11562.01100.00%
17、2025年9月，第八次股权转让
2025年8月11日，经杭州众硅股东会同意，以下各方分别签订股权转让协议，就
股权转让事宜约定如下：
转让方受让方转让出资额（万元）转让价格（万元）
王敏文135.992005.00衢州瑞唐
张久海135.311995.00
朱力昂55.161100.00蔡刚波
宁波领芯95.271900.00
炬华联昕119.452382.12
宁波和丰248.084947.48扬州朗智
苏州国发41.35824.58
淮堃创投158.043151.80
淮堃创投156.813127.30
嘉兴芯通248.084947.48
寓鑫创投119.452382.12中微临港
吴仁德402.628029.37
南京星堃248.144948.61
宁波领芯5.01100.00
淮堃创投120.712407.32
星成联芯104.002074.07
朗玛四十二号41.35824.58国孚领航
江苏中小基金150.433000.00
毅达太湖75.211500.00
宁波毅达75.211500.00
注1：衢州瑞唐的主要合伙人为王敏文、张久海，本次转让中，衢州瑞唐将其所持标的公司股权按其初始投资成本转让给王敏文、张久海。
2025年9月10日，杭州众硅完成本次变更的登记手续。本次变更完成后，杭州众
硅的股权结构如下：
404中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
1杭州众芯硅2356.0420.38%
2中微临港1392.4012.04%
3台州金石投资801.976.94%
4宁容海川680.005.88%
5扬州朗智566.924.90%
6国孚领航566.924.90%
7杭州富浙442.363.83%
8浙江富浙442.363.83%
9临安众芯硅370.023.20%
10深圳达晨368.553.19%
11临安众硅289.002.50%
12杭州达晨221.131.91%
13杭州芯匠211.001.82%
14安徽丰禾210.601.82%
15宁波蓝郡176.951.53%
16小满投资165.391.43%
17宁波领芯165.151.43%
18蔡刚波150.431.30%
19长兴青鸟150.001.30%
20王敏文135.991.18%
21张久海135.311.17%
22青岛东证126.361.09%
23石溪投资106.140.92%
24江苏毅达105.300.91%
25朗玛六十三号104.000.90%
26杭州众诚芯100.000.86%
27江苏中小基金97.650.84%
28朱力昂90.490.78%
29杭州北峰88.470.77%
30温润贰号87.370.76%
31中信投资84.240.73%
32江苏疌泉82.690.72%
33朗玛五十九号78.000.67%
405中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东姓名/名称出资额（万元）持股比例
34朗玛六十号78.000.67%
35毅达鼎祺78.000.67%
36嘉兴邦拓52.000.45%
37毅达太湖48.830.42%
38宁波毅达48.830.42%
39达晨财智42.120.36%
40杰正投资33.910.29%
41朱琳30.000.26%
42温润安享1.110.01%
合计11562.01100.00%
18、特殊权利条款及其终止情况
标的公司在历次融资过程中，与相关方签署增资协议/投资协议/股东协议/补充协议，相关协议约定其作为股东享有股东特殊权利。
2026年3月，标的公司以及标的公司现有全体股东（以下简称“投资人股东”）签署了《关于杭州众硅电子科技有限公司之股东特殊权利条款终止协议》（以下简称“《股东特殊权利条款终止协议》”），就解除股东特殊权利事宜进行约定，具体如下：
（1）标的公司、实际控制人、投资人股东在此同意并确认，《股东特殊权利条款终止协议》所列全部交易文件中，涉及的除委派董事/观察员权外的股东特殊权利条款（包括但不限于回购权/赎回权、反稀释权、优先认购权、优先购买权、优先清算权、限制出售权、检查权、知情权、最惠待遇权等，具体条款内容详见交易文件具体约定），自《股东特殊权利条款终止协议》生效之日起，应被视为自生效之日起即不可撤销终止，并自始无效，对相关方无任何法律约束力。针对标的公司作为义务人承担义务的相关条款，各投资人股东自成为标的公司股东之日起均不享有前述特殊权利，标的公司自各投资人股东成为标的公司股东之日起不承担前述特殊权利所对应的义务，且前述特殊权利条款在任何情况下均不会以任何形式要求恢复执行或视为自动恢复执行。
（2）除标的公司作为义务人承担义务的相关条款外的其他投资人股东股东特殊权利条款，在以下情况孰早发生日自动恢复效力：1）本次交易未通过上市公司董事会审议；2）本次交易未通过上市公司股东会审议；3）本次交易签署后12个月内未向上交所提交本次交易申请；4）本次交易的申请未被上交所受理，或上市公司撤回申请；5）
406中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）本次交易的申请被上交所或中国证监会否决，或不予注册；6）其他任何导致本次交易终止的情形。恢复时如相关条款已触发的，其法定或约定的行权期限（如有）的起算时点均延后至恢复日。为免疑义，任何涉及《股东特殊权利条款终止协议》约定附带自动恢复效力的条款在其效力恢复时的合同效力均不能溯及标的公司。附带自动恢复效力的条款无论在何情况下执行，标的公司均自投资人股东成为标的公司股东之日起不承担任何义务也不对任何方承担连带赔偿责任。
（3）标的公司、实际控制人、投资人股东确认，《股东特殊权利条款终止协议》所列交易文件已涵盖所有涉及股东特殊权利的全部协议，无任何遗漏；若存在未列入《股东特殊权利条款终止协议》但涉及股东特殊权利的协议，自《股东特殊权利条款终止协议》生效之日起，其项下特殊权利条款同样自始无效。即使有其他协议约定，也以《股东特殊权利条款终止协议》约定为准。
（4）标的公司、实际控制人、投资人股东进一步分别且不连带地确认，截至《股东特殊权利条款终止协议》签署之日，各方就交易文件项下特殊权利条款的订立、履行未发生任何实际纠纷，亦无任何一方已向其他方发出行权通知、索赔函或启动仲裁/诉讼程序。
三、最近三十六个月内增资、股权转让或改制相关的评估或估值情况分析
（一）最近三十六个月内增减资情况
最近三年，标的公司发生过4轮次增资，增资具体情况详见本章节“二、历史沿革”，
增资背景及定价合理性具体如下：
增资对应增资价格（元时间事项/整体估值增资背景及作价合理性注册资本）（亿元）本轮次增资为公司引入外部投
2023年2月17日第九次增资19.2316.20资人，为市场化定价，经与投
资方协商确定，具备合理性本轮次增资为公司引入外部投
2023年6月27日第十次增资23.7422.80资人，为市场化定价，经与投
资方协商确定，具备合理性本轮次增资为公司引入外部投
2024年12月31日第十一次增资23.7424.90资人，为市场化定价并参考前
次增资估值，经与投资方协商
407中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
增资对应增资价格（元时间事项/整体估值增资背景及作价合理性注册资本）（亿元）确定，具备合理性本轮次增资为公司引入外部投
2025年228资人，为市场化定价并参考前月日第十二次增资23.7427.45
次增资估值，经与投资方协商确定，具备合理性
（二）最近三十六个月内股权转让情况
最近三年，标的公司的股权转让情况具体如下：
转让价格转让对应整转让时转让出资转让背景及作价合转让方受让方（元/注册体估值（亿间额（万元）理性资本）元）
2023年杭州赋芯109.09本次转让系执行回
6月27临安创投朱力昂3.527.537.24购，转让价格系根据
日淮堃创投20.11协议约定执行
杭州赋芯11.44本次股权转让系市
浙江容腾中微临港82.6915.6216.38
场化转让，未经专业海澳芯科33.91评估机构评估，转让好奇号59.72价格为考虑出资成
2024石溪投资15.6216.38年杭州众芯硅4.30本、市场价格等因
12月31素，双方协商一致定
杭州赋芯台州金石投97.65日15.6216.38价，具备合理性杭州众芯硅资30.39本次股权转让系同一执行事务合伙人
温润叁号温润安享1.0523.7424.90
内部转让，转让价格参考同期增资价格
杭州富浙21.16因标的公司2024年浙江富浙21.1612月增资及股权转让事宜触发反稀释。
2025年宁波蓝郡8.46经各方协商一致，杭
2月28杭州众芯硅//
杭州北峰4.23州众芯硅同意向日
4.182023年6月入股的温润贰号
投资人给予股权补
温润安享0.05偿衢州瑞唐的主要合
2025王敏文135.99年
伙人为王敏文、张久
9月10衢州瑞唐14.7417.05
张久海135.31海，本次转让中，衢日州瑞唐将其所持标
408中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
转让价格转让对应整转让时转让出资转让背景及作价合转让方受让方（元/注册体估值（亿间额（万元）理性资本）元）的公司股权按其初始投资成本转让给
王敏文、张久海
朱力昂55.16
蔡刚波19.9423.06
宁波领芯95.27
炬华联昕119.45
宁波和丰248.08
扬州朗智19.9423.06
苏州国发41.35
淮堃创投158.04
淮堃创投156.81
嘉兴芯通248.08本次股权转让系市
寓鑫创投119.45场化转让，转让价格中微临港19.9423.06
吴仁德402.62为考虑出资成本、市
场价格等因素，双方南京星堃248.14协商一致定价，具备宁波领芯5.01合理性
淮堃创投120.71
星成联芯104.00朗玛四十二
41.35
号
国孚领航19.9423.06江苏中小基
150.43
金
毅达太湖75.21
宁波毅达75.21
（三）最近三十六个月内评估或估值情况
最近三年内，标的公司不存在与股权交易、增资或改制相关的评估或估值情况。
（四）标的公司近三年增资或股权转让对应作价与本次交易评估情况的差异原因本次交易拟购买资产为杭州众硅64.69%股权。根据中联评估出具的《资产评估报告》，评估机构采用资产基础法和市场法两种评估方法对杭州众硅股东全部权益价值进
409中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）行评估，最终选取市场法评估结果作为评估结论。截至评估基准日2025年12月31日，合并报表口径下，杭州众硅归属于母公司股东权益账面值75280.39万元，评估值
250140.00万元，评估增值174859.61万元，增值率232.28%。
标的公司近三年增资或股权转让对应作价均为市场化交易定价结果。本次交易价格系以中联评估出具的《资产评估报告》为基础，经上市公司与交易对方充分协商确定的结果。
（五）中微临港持股标的公司12.04%股权的背景及定价情况
杭州众硅主要产品为 CMP设备，属于湿法设备领域，与上市公司具有较强的协同性，属于上市公司平台化发展战略亟需拓展延伸的方向。因此，上市公司通过全资子公司中微临港于2024年12月和2025年9月两次投资杭州众硅，具体情况如下：
出资金额持有出资额入股价格（元/对应估值持股时间持股方式持股比例（万元）（万元）注册资本）（亿元）
增资2000.0084.240.80%23.7424.90
2024年12
31股权转让2000.00128.051.22%15.6216.38月日
合计4000.00212.292.02%18.8419.76
2025年9月
10股权转让23534.881180.1110.02%19.9423.06日
合计27534.881392.4012.04%19.7822.86
中微临港2024年12月第一次投资入股杭州众硅，系基于杭州众硅成功导入客户集团 A进行验证；2025年 9月第二次追加投资，系基于杭州众硅取得集团 A批量订单。
中微临港两次投资杭州众硅对应的整体估值分别为19.76亿元和23.06亿元，略低于本次收购交易对价对应标的公司100%股权的估值24.36亿元。同时，2025年9月，上市公司取得杭州众硅两席董事会席位，提名上市公司董事长、总经理尹志尧先生和上市公司集团副总裁余峰先生担任杭州众硅董事，深度参与标的公司经营管理，为标的公司业务发展进行赋能。
四、标的公司股权结构及控制关系
（一）股权结构
截至本报告书签署日，标的公司各股东认缴出资额及出资比例如下：
410中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元序号股东名称认缴出资额出资比例
1杭州众芯硅2356.0420.38%
2中微临港1392.4012.04%
3台州金石投资801.976.94%
4宁容海川680.005.88%
5扬州朗智566.924.90%
6国孚领航566.924.90%
7杭州富浙442.363.83%
8浙江富浙442.363.83%
9临安众芯硅370.023.20%
10深圳达晨368.553.19%
11临安众硅289.002.50%
12杭州达晨221.131.91%
13杭州芯匠211.001.82%
14安徽丰禾210.601.82%
15宁波蓝郡176.951.53%
16小满投资165.391.43%
17宁波领芯165.151.43%
18蔡刚波150.431.30%
19长兴青鸟150.001.30%
20王敏文135.991.18%
21张久海135.311.17%
22青岛东证126.361.09%
23石溪投资106.140.92%
24江苏毅达105.300.91%
25朗玛六十三号104.000.90%
26杭州众诚芯100.000.86%
27江苏中小基金97.650.84%
28朱力昂90.490.78%
29杭州北峰88.470.77%
30温润贰号87.370.76%
31中信投资84.240.73%
32江苏疌泉82.690.72%
411中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称认缴出资额出资比例
33朗玛五十九号78.000.67%
34朗玛六十号78.000.67%
35毅达鼎祺78.000.67%
36嘉兴邦拓52.000.45%
37毅达太湖48.830.42%
38宁波毅达48.830.42%
39达晨财智42.120.36%
40杰正投资33.910.29%
41朱琳30.000.26%
42温润安享1.110.01%
合计11562.01100.00%
（二）控股股东、实际控制人及其一致行动人
截至本报告书签署日，GU HAIYANG通过杭州众芯硅持有标的公司20.38%表决权，通过杭州众芯硅担任GP的临安众芯硅持有标的公司3.20%表决权，通过杭州众芯硅担任GP的临安众硅持有标的公司2.50%表决权，通过其担任GP的杭州众诚芯持有标的公司
0.86%表决权，合计控制标的公司26.94%表决权。朱琳系GU HAIYANG配偶的妹妹，根
据朱琳与GU HAIYANG签署的《一致行动协议》，朱琳与GU HAIYANG构成一致行动关系。朱琳持有标的公司0.26%表决权，并通过杭州芯匠持有标的公司1.82%表决权。
因此，GU HAIYANG及其一致行动人合计控制标的公司29.03%表决权。
GU HAIYANG及其一致行动人控制公司表决权未达30%，但除第二大股东中微临港持有标的公司12.04%股权外，其他股东的持股比例均较低且较为分散；截至本报告签署日，GU HAIYANG通过其控制的主体能够决定标的公司董事会半数以上成员选任。
因此，杭州众芯硅系标的公司的控股股东，GU HAIYANG系标的公司实际控制人。
（三）标的公司《公司章程》或相关投资协议中可能对本次交易产生影响的主要内容
标的公司历轮融资中与相关方签署了增资协议/投资协议/股东协议/补充协议以约
定股东享有的股东特殊权利。2026年3月，标的公司以及标的公司现有全体股东签署
412中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
了《关于杭州众硅电子科技有限公司之股东特殊权利条款终止协议》，就解除股东特殊权利事宜进行约定。
截至本报告书签署日，标的公司《公司章程》不存在可能对本次交易产生影响的内容，不存在对本次交易产生影响的相关投资协议。
（四）标的公司经营管理的安排
本次交易完成后，标的公司应当按照上市公司的内控要求、财务管理、信息披露等相关制度的规定规范运作。上市公司在法律法规及标的公司章程规定的基础上进一步采取合理的内部授权等措施，维护标的公司的正常经营。
（五）影响资产独立性的协议或其他安排截至本报告书签署日，不存在影响标的公司独立性的协议或其他安排（如让渡经营管理权、收益权等）。
五、标的公司下属公司情况
截至本报告书签署日，杭州众硅拥有3家境内子公司，分别为上海众硅、青岛众恩芯和福建众进芯，及1家境外子公司香港众硅。杭州众硅子公司的具体情况如下：
1、上海众硅
公司名称众硅电子科技（上海）有限公司
统一社会信用代码 91310000MA7GM08053
住所中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云汉路979号2楼
法定代表人 GU HAIYANG注册资本500万元
公司类型有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）
营业期限2022-02-14至无固定期限
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备研发；电子专用设备销售；半导体器件专用设备销售；电子产经营范围品销售；机械设备销售；企业管理咨询。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
股权结构杭州众硅持有100%的股权主营业务上海地区销售平台
2、青岛众恩芯
413中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
公司名称众恩芯科技（青岛）有限公司
统一社会信用代码 91370220MAC6AK4762中国（山东）自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区鹏湾路45号东办公楼一住所
楼 102 室 2026-0562（A）（一址多照）法定代表人朱琳注册资本1000万元
公司类型有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）
营业期限2022-12-19至无固定期限
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推经营范围广；机械设备研发；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子产品销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）股权结构杭州众硅持有100%股权主营业务未实际经营
3、福建众进芯
公司名称众进芯科技（福建）有限公司
统一社会信用代码 91350582MAD7GFQT8Q住所福建省晋江市福兴东路罗山段3号法定代表人刘李注册资本1000万元
公司类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）
营业期限2023-12-19至无固定期限
一般项目：技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技
术转让、技术推广；机械设备研发；半导体器件专用设备制造；半导体器件经营范围专用设备销售；电子专用设备销售；电子产品销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）股权结构杭州众硅持有100%的股权主营业务未实际经营
4、香港众硅
公司名称众硅科技（香港）有限公司
设立时间2021-08-04
董事 GU HAIYANG
股本总额港元10000元，股份数目为普通股10000股出资人信息及股比杭州众硅持有100%的股份主营业务未实际经营
414中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
就设立香港众硅，标的公司已在浙江省商务厅、杭州市临安区发展和改革局履行了境外投资的备案手续，并取得了浙江省商务厅核发的《企业境外投资证书》及杭州市临安区发展和改革局核发的《关于境外投资项目备案通知书》。
截至本报告书签署日，杭州众硅的子公司均系依法设立并有效存续的有限责任公司，不存在根据法律法规或者其章程需要终止或解散的情形，杭州众硅持有的上海众硅、青岛众恩芯、福建众进芯及香港众硅的股权不存在被质押、冻结等权利限制。
六、标的公司主要资产权属、对外担保以及主要负债情况
（一）主要资产及权属情况
截至报告期末，标的公司主要资产情况如下：
单位：万元项目金额占比流动资产
货币资金12495.0012.22%
交易性金融资产5136.065.02%
应收票据10.300.01%
应收账款16231.9115.88%
预付款项925.210.91%
其他应收款185.610.18%
存货53982.1852.81%
其他流动资产7393.497.23%
流动资产合计96359.7594.27%非流动资产
固定资产1446.211.41%
使用权资产1099.701.08%
无形资产29.090.03%
长期待摊费用218.140.21%
其他非流动资产3059.672.99%
非流动资产合计5852.825.73%
资产总计102212.56100.00%
截至报告期末，杭州众硅资产主要为货币资金、应收账款和存货。
415中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
1、土地使用权
截至本报告书签署日，标的公司未拥有土地使用权。
2、房屋所有权及租赁情况
截至报告期末，标的公司及其子公司租赁与生产经营相关房产的主要情况如下：
序承租租赁用租金（元/出租人租赁地址面积（㎡）租赁期限号人途月/平方米）浙江青山杭州市临安区青湖科研创山湖街道大园路
1杭州新基地投1155号创业广场2995.8630.002025-01-16至办公
众硅2026-01-15
资有限公 A座 13、14、15司层杭州市临安市青
21755.00厂房及38.002023-05-01至山湖街道创业街
仓储2026-04-30
88号1幢2层北
浙江钜典杭州市临安市青
3杭州1895.40厂房及38.002024-10-01至药业有限山湖街道创业街
众硅仓储2026-04-30公司88号1幢1层北杭州市临安市青厂房和
4山湖街道创业街88111980.00
2023-07-01至
办公用30.00
号幢层及其2026-04-30房夹层杭州市西湖区西浙江大学溪路525号浙江大
5杭州科技园发学国家大学科技304.88办公79.082025-09-01至
众硅 展有限公 A 2026-08-31园西溪园区 楼司
东区218-219室上海市浦东新区
上海桥合新金桥路36、56
6上海415.07145.502024-12-01至置业有限号的上海国际财办公
众硅2026-11-30公司富中心1幢南塔
1805室（15层）
卓悦商服广州市增城区宁
7杭州（广州）西街创新大道142025-12-01至
众硅产业服务号101第8层802132.89办公13.862028-11-30有限公司单元
注1：针对第1项租赁，杭州众硅已续租，租赁期限为2026-01-16至2027-01-15。
注2：2026年1月，杭州众硅向合肥华侨城实业发展有限公司承租位于合肥市经开区林都路98号（空港城2号地块）商业3幢319号商铺的房产，租赁面积为277.49平方米，租金为30元/月/平方米，租赁期限为2026-01-26至2028-01-25。
3、知识产权
（1）注册商标
416中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
1）境内商标
截至报告期末，杭州众硅及其子公司持有的已注册境内商标共计68项，具体清单见附件一。
2）境外商标
截至报告期末，杭州众硅及其子公司持有的已注册境外商标共计53项，具体清单见附件一。
（2）专利权
1）境内专利权
截至报告期末，杭州众硅及其子公司拥有106项已获批准的境内专利权，其中42项为发明专利、53项为实用新型专利、11项为外观设计，具体清单见附件一。
2）境外专利权
截至报告期末，杭州众硅及其子公司拥有114项已获批准的境外专利权，其中89项为发明专利、23项为外观设计专利、2项为实用新型专利，具体清单见附件一。
（3）软件著作权
截至报告期末，杭州众硅及其子公司已取得的软件著作权共计8项，具体如下：
序取得方他项权利人软件名称证书编号登记号号式权利
杭州众 Sizone Canaan CMP 系统自动 软 著 登 字 第 原始取
1 2019SR0558941 无
硅 化控制软件 V1.0 3979698号 得
杭州众 Sizone SINAI CMP 系统自动 软 著 登 字 第 原始取
2 2020SR1849086 无
硅 化控制软件 V1.0 6652088号 得
杭州众 Sizone ZION CMP系统自动化 软 著 登 字 第 原始取
3 2021SR0954357 无
硅 控制软件 V1.0 7676983号 得
杭州众 Sizone DRACO CMP 系统自 软 著 登 字 第 原始取
4 2022SR0734695 无
硅 动化控制软件 V1.0 9688894号 得
杭州众 SDS 系统自动化控制软件 软 著 登 字 第 原始取
5 2022SR0685025 无
硅 V1.0 9639224号 得
杭州众 Sizone SHEBA CMP 系统自动 软 著 登 字 第 原始取
6 2023SR1058044 无
硅 化控制软件 V1.0 11645217号 得
杭州众 Sizone LAMB CMP 系统自 软 著 登 字 第 原始取
7 2023SR1059169 无
硅 动化控制软件 V1.0 11646342号 得
8 杭州众 Sizone Dove 第三代半导体系 软 著 登 字 第 2023SR1696820 原始取 无
417中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序取得方他项权利人软件名称证书编号登记号号式权利
硅 统自动化控制软件 V1.0 12283993号 得
4、固定资产
截至2025年12月31日，标的公司拥有的固定资产主要包括机器设备、办公设备、运输工具，具体情况如下：
单位：万元项目账面原值累计折旧减值准备账面价值成新率
机器设备2314.05949.86-1364.1958.95%
办公设备408.87359.53-49.3412.07%
运输工具84.3751.68-32.6938.74%
合计2807.291361.08-1446.2151.52%
5、标的公司及其主要资产权属情况
（1）标的公司股权的权属情况
本次交易全体交易对方持有的标的公司股份权属清晰，不存在质押等权利限制，不涉及重大诉讼、仲裁、司法强制执行等重大争议。
（2）标的公司主要资产的权属情况
截至2025年12月31日，标的公司主要资产不存在产权纠纷或潜在纠纷，不存在抵押、质押等权利限制情况，不涉及重大诉讼、仲裁、司法强制执行等重大争议或者妨碍权属转移的其他情况。
（二）对外担保情况
截至本报告书签署日，标的公司不存在对外担保情况。
（三）主要负债及或有负债情况
截至2025年12月31日，标的公司负债构成情况如下：
单位：万元项目金额占比流动负债
418中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目金额占比
短期借款15011.9355.74%
应付账款4747.2417.63%
合同负债2037.417.56%
应付职工薪酬1512.175.61%
应交税费109.360.41%
其他应付款715.762.66%
一年内到期的非流动负债390.641.45%
其他流动负债1190.214.42%
流动负债合计25714.7395.48%非流动负债
租赁负债693.802.58%
预计负债165.680.62%
递延收益23.970.09%
其他非流动负债334.001.24%
非流动负债合计1217.444.52%
负债合计26932.17100.00%
1、主要负债情况
截至2025年12月31日，标的公司主要负债为短期借款、应付账款、合同负债和应付职工薪酬。
2、或有负债情况
截至2025年12月31日，标的公司不存在或有负债的情况。
（四）重大诉讼、仲裁与合法合规情况
1、重大未决诉讼、仲裁
截至本报告书签署日，标的公司不存在尚未了结的重大诉讼或仲裁。
2、行政处罚或刑事处罚的情况
报告期内，标的公司不存在重大违法违规而受到行政处罚或存在刑事处罚的情形。
3、被司法机关立案侦查或被中国证监会立案调查的情况
419中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
截至本报告书签署日，标的公司不存在因涉嫌犯罪被司法机关立案侦查或者涉嫌违法违规被中国证监会立案调查的情况。
七、标的公司主营业务情况
（一）所处行业的主管部门、监管体制、主要法律法规及政策
1、所处行业的主管部门、监管体制
标的公司主要从事高端化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备的研发、生产及销售，按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，标的公司所处行业为“专用设备制造业”中的“半导体器件专用设备制造”（代码：C3562），为国家发改委颁布的《产业结构调整指导目录（2024年本）》规定的鼓励类产业。根据《战略性新兴产业分类（2018）》，标的公司所处行业为“新一代信息技术产业”。标的公司属于《上海证券交易所科创板企业发行上市申报及推荐暂行规定》第五条中的“（一）新一代信息技术领域”之“半导体和集成电路”。
标的公司所处的半导体设备行业主管部门为工信部与科技部，行业自律性组织为中国半导体行业协会。
工信部的主要职责包括：提出新型工业化发展战略和政策，协调解决新型工业化进程中的重大问题，推进产业结构战略性调整和优化升级；制定并组织实施工业、通信业的行业规划、计划和产业政策；监测分析工业、通信业运行态势，统计并发布相关信息，进行预测预警和信息引导；指导行业技术创新和技术进步，以先进适用技术改造提升传统产业等。
科技部的主要职责包括：拟订中国创新驱动发展战略方针以及科技发展、引进国外
智力规划和政策并组织实施；牵头建立统一的中国科技管理平台和科研项目资金协调、
评估、监管机制；拟订中国基础研究规划、政策和标准并组织实施；编制中国重大科技项目规划并监督实施；拟订科技成果转移转化和促进产学研结合的相关政策措施并监督实施等。
中国半导体行业协会的主要职责包括：贯彻落实政府有关的政策、法规，向政府业务主管部门提出本行业发展的经济、技术和装备政策的咨询意见和建议；做好信息咨询
420中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）工作；调查、研究、预测本行业产业与市场，汇集企业要求，反映行业发展呼声；广泛开展经济技术交流和学术交流活动；开展国际交流与合作；制（修）订行业标准、国家标准及推荐标准等任务。
2、主要法律法规政策及产业政策近年来，国家大力推进半导体装备产业化，相继出台各类法规政策，规范产业发展，鼓励产业成长。半导体行业涉及的主要法律、法规和规范性文件如下：
序号发布时间发布机关法律法规及政策主要内容为进一步优化集成电路产业和软件《国务院关于印产业发展环境，深化产业国际合作，发新时期促进集
提升产业创新能力和发展质量，从财
12020成电路产业和软年国务院税、投融资、研发、进出口、人才、件产业高质量发
知识产权、市场应用、国际合作等八展若干政策的通方面，给予集成电路和软件产业政策知》诸多优惠政策。
《中华人民共和瞄准集成电路等前沿领域，实施一批国国民经济和社
22021全国人民代表具有前瞻性、战略性的国家重大科技年会发展第十四个大会项目。培育先进制造业集群，推动集五年规划和2035成电路等产业创新发展。
年远景目标纲要》加快集成电路关键技术攻关。推动计中央网络安全32021《“十四五”国家算芯片、存储芯片等创新，加快集成年和信息化委员信息化规划》电路设计工具、重点装备和高纯靶材会等关键材料研发。
瞄准传感器、量子信息、网络通信、
集成电路、关键软件、大数据、人工《关于印发“十四智能等战略性前瞻性领域，提高数字
42021年国务院五”数字经济发展技术基础研发能力。着力提升基础软规划的通知》硬件、核心电子元器件、关键基础材
料和生产装备的供给水平，强化关键产品自给保障能力。
满足优惠条件的集成电路企业或项《做好2022年享目、软件企业可以向企业所在地发展发改委、工信受税收优惠政策改革委或工业和信息化主管部门申
52022部、财政部、海
的集成电路企业报税收优惠。国家发展改革委、工业年
关总署、国家税或项目、软件企业和信息化部会同相关部门，根据产业务总局清单制定工作有发展、技术进步等情况，对符合享受关要求的通知》优惠政策的企业条件或项目标准适时调整。
自2023年1月1日至2027年12月31日，《关于集成电路
62023财政部、国家税允许集成电路设计、生产、封测、装年企业增值税加计
务总局备、材料企业，按照当期可抵扣进项抵减政策的通知》
税额加计15%抵减应纳增值税税额。
72024《首台（套）重大化学机械抛光机作为集成电路生产年工信部技术装备推广应装备之一列入该目录。
421中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号发布时间发布机关法律法规及政策主要内容用指导目录（2024年版）》健全提升产业链供应链韧性和安全中国共产党第《中共中央关于水平制度。抓紧打造自主可控的产业
82024二十届中央委进一步全面深化链供应链，健全强化集成电路等重点年
员会第三次全改革推进中国式产业链发展体制机制，全链条推进技体会议现代化的决定》术攻关、成果应用。建立产业链供应链安全风险评估和应对机制。
《贯彻实施〈国家发改委、科技强化关键技术领域标准攻关。在集成
92024标准化发展纲要〉年部、市场监督管电路等关键领域集中攻关，加快研制
行动计划理总局等部委一批重要技术标准。
（2024-2025年）》加强电子信息领域制造业创新中心《电子信息制造等创新平台建设，强化行业关键共性
102025工信部、市场监年业2025-2026年稳技术供给。通过国家重点研发计划相
督管理总局增长行动方案》关领域重点专项，持续支持集成电路等领域科技创新。
（二）主营业务及主要产品
1、主营业务概况
杭州众硅主营业务为高端化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备的研发、
生产及销售，并为客户提供CMP设备的整体解决方案。杭州众硅目前已推出多款自主创新研发的12英寸CMP设备，应用在晶圆制造、大硅片、先进封装及先进存储等领域，已发展成为半导体高端装备领域重要的厂商。
在晶圆制造抛光领域，目前国际主要设备供应商为应用材料、日本荏原。标的公司自主研发的12英寸CMP设备（TTAIS300 CMP）突破技术壁垒，已在国内主要先进存储和逻辑芯片制造厂商陆续进行认证并实现应用。该设备深度适配客户工艺需求，工艺覆盖金属、非金属等全品类抛光场景，可精准应用于先进逻辑、先进封装等核心制程环节，成为国内少数能为先进集成电路制造提供整套CMP设备技术解决方案的企业之一。
标的公司自主创新研发的紧凑、高效6抛光盘设备平台设计，在单位设备产能、设备占地面积、设备性价比等核心大规模量产设备指标等方面表现突出，能有效降低客户设备综合运营成本。同时，其工艺适配性和灵活性可以匹配不同先进集成电路制造客户的工艺制程需求和不同工艺节点的工艺迭代/产能规划需求，减少工艺切换损耗，显著提升客户的生产效率和经济效益，助力客户提升在先进集成电路制造领域的竞争优势。
在大硅片抛光领域，对于CMP设备的金属和颗粒污染等工艺结果要求极高。目前
422中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
全球大硅片衬底抛光CMP设备市场处于高度垄断状态，主要由冈本工作机械株式会社（即Okamoto Machine Tool Works Ltd）和应用材料两家国际设备制造商占据，设备国产化率低。标的公司针对大硅片抛光专门开发了12英寸硅片CMP设备（TTAIS300 SiCMP）突破了高端硅片产品加工的技术瓶颈，同时实现了核心产品自主研发与制造。
与同类产品相比，抛光平坦化和清洗效果均达到国际先进水平，能够适配先进制程工艺对高端硅片的要求。同时，单位设备产能、设备占地面积、设备性价比等指标达到行业领先水平。
在第三代半导体碳化硅衬底抛光领域，标的公司以自有技术研发了碳化硅衬底用电
化学机械抛光技术和设备（TNTASECMP），解决了碳化硅抛光效率低、良率低、生产成本高及化学品对环境影响大等难题。与传统化学机械抛光和强氧化性抛光设备相比，具有去除率高、单片抛光综合运营成本低、工艺条件温和、晶片加工质量高、安全环保等优点，填补了量产型碳化硅衬底电化学机械抛光设备领域的空白，为碳化硅功率器件、射频器件等规模化应用提供了关键装备保障。
2、主要产品与服务
标的公司是一家从事高端化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备及相关产
品研发、生产与销售的半导体装备供应商。标的公司主要产品包括三大类，分别为CMP设备、抛光模组及研磨液供液系统。标的公司主要产品已广泛运用于集成电路、大硅片
和第三代半导体等制造工艺。标的公司主要产品基本情况如下：
序产品
产品型号产品特征/应用领域产品图示号类别面向行业前沿需求开发的集先进平坦化工
艺、高效率、高兼容性
于一体的12英寸CMP装备。该装备采用6个独立研磨模组和2个独
CMP 立清洗模组的全新紧1 TTAIS
300
设备 CMP 凑架构，配置先进的终点检测技术与独持的耗材成本降低技术解决方式，具有高灵活性、高兼容性、低运营
成本等特点，满足芯片制造的加工需求。主要应用于集成电路前道
423中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序产品
产品型号产品特征/应用领域产品图示号类别制造和先进封装。
根据行业前沿应用技术需求开发的12英寸
硅片CMP装备。该装备配备性能优越的硅片
CMP 化学机械抛光和化学2 TTAIS 300 SiCMP 机械平坦化单元及清设备洗单元，卓越的工艺稳定性、高生产效率，可实现硅片表面的高平坦度和均匀性。主要应用于大硅片抛光。
针对快速增长的新兴市场需求开发的第三代半导体材料碳化硅
专用CMP装备。该装备配备了独特的碳化硅
3 CMP TNTASECMP 衬底电化学机械抛光
设备解决方案，集成先进的单片自动传输设备，具有高去除率、高产能、
高效率等优点，满足第三代半导体材料工艺器件的技术需求。
该装备主要服务于研
发机构及实验室场景，CMP DMS / 通过定制化研磨模组4 单 双抛 光 CMP 设计、先进终点控制技模组
模组术、自动化工艺控制和
整机通用设计，实现CMP工艺结果。
根据市场需求开发的2个100升研磨液供液系研磨统，该装备配备双重泵5 液 供 SDS /过滤器式设计工艺，
液系满足持续运行需求，适统用制程包括
Si/Poly/STI/ILD/W/CuCMP等。
根据市场需求开发的2个200升研磨液供液系研磨统，该装备配备全自动
6 液 供 SDD 系统，满足无杂质和颗
液系粒污染需求，提供高效统的系统数据监控与记录，适用制程包括Si/Poly/ STI/ ILD/ W/ Cu
424中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序产品
产品型号产品特征/应用领域产品图示号类别CMP等。
CMP设备主要由抛光单元、清洗单元和晶圆传输单元三大模块组成，其中，（1）抛光单元包括抛光头、抛光盘、抛光垫、修整器、抛光液供应系统、终点检测系统等；
（2）清洗单元一般包括兆声清洗模组、刷洗模组及干燥模组等；（3）晶圆传输单元主
要包括前端模组、晶圆传输手等，前端模组将晶圆搬运至机台内进行加工。标的公司在整机平台架构上进行了全面的创新，首创了6盘的架构设计，同时在抛光、清洗、晶圆传输三大核心单元模块上都做了众多技术创新，其具体技术先进性主要体现在以下方面：
（1）创新的机台平台布局设计
标的公司是国内少数能够自主创新制造 12 英寸 CMP 设备的企业，其自主研发的
12英寸高端 CMP设备，设计了分体式独立抛光模组，采用双侧布局的 6独立研磨模组
的全新架构设计，占地面积小、布局紧凑，突破了目前市场主流设备3盘或4盘的架构模式，可同时支持3盘工艺或2盘工艺（即可同时进行两组三盘工艺或三组两盘工艺），满足先进制程中的各种工艺需求。
在 CMP工艺中，三盘工艺和二盘工艺是两种常见的抛光流程，主要区别在于抛光步骤的数量和目的。总体而言，三盘工艺更注重精细控制和表面质量，适用于高端制程；
二盘工艺则侧重于效率和成本控制，适用于对表面要求相对宽松的场景，具体如下：
项目 CMP三盘（三步）工艺 CMP二盘（两步）工艺
第一盘（粗抛）：使用硬研磨垫和对
应的抛光液，以较大压力去除大部分材料，快速降低表面高度差，实现初步平坦化；第一盘（粗抛/细抛合并）：结合粗抛和
第二盘（细抛）：同样使用硬研磨垫，细抛功能，使用硬研磨垫和相应抛光液，但压力减小，继续去除剩余材料，通以适中压力去除大部分材料，同时兼顾步骤示例过光学终点检测等方式精确控制厚初步平整化和厚度控制；
度，使表面更平整；第二盘（精抛）：采用软研磨垫和专用第三盘（精抛）：采用软研磨垫和专抛光液，进行最终抛光，修复表面缺陷，用抛光液，以小压力进一步抛光，修提升表面质量复表面划伤、粗糙度，确保表面质量达到要求，常用于去除残留氧化物或阻挡层
三盘工艺适用于对表面平整度和质二盘工艺简化了流程，适用于对表面平量要求极高的场景，如先进制程中的整度要求相对较低或材料去除量较大的适用场景
金属互连层、浅沟道隔离等，能更精场景，能减少设备占用时间和工艺复杂细地控制材料去除和表面特性度，但可能在表面均匀性和精细度上略
425中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目 CMP三盘（三步）工艺 CMP二盘（两步）工艺逊于三盘工艺
标的公司的 12 英寸 CMP 设备实现了并行加工与灵活调控，同时产品设计紧凑，并通过专利技术锁定了 CMP设备 6抛光盘配置的高效技术路径，在匹配客户多样性工艺兼容及生产效率提升需求的情况下，保证了设备单位占地面积产出效率高，凸显“一机多用”的柔性生产优势，提升了客户昂贵投入的净化间的整体使用效率。
此外，标的公司对抛光单元的6个抛光盘进行了模块化设计，盘与盘之间相互独立，便于快速维护，不仅大幅降低设备停机维护时间，在降低客户综合使用成本的同时也进一步提升了运行稳定性和生产效率。
（2）高效的晶圆传输系统
晶圆传输单元主要由前端模组、晶圆传输手等部件组成。其中，前端模组负责与工厂的晶圆搬运系统对接，将晶圆搬运至机台内进行加工。晶圆传输手负责晶圆在抛光单元、清洗单元内部及不同加工工位之间的传输。CMP设备的传输效率是设备性能的重要指标之一，需通过优化传输模块设计、提高传输速度与精度、加强自动化控制和设备维护等措施，实现高效、稳定的晶圆传输，以满足半导体制造对高效率和高质量的要求。
标的公司开发了高效的晶圆传输系统，结合顶部传输机构和可移动装卸模组的三维传输结构，具有工艺灵活性高、避免相互干涉等特点。在6抛光盘配置的复杂技术路径下，通过快速定位、精准抓取和稳定移动的能力，减少传输时间，协调不同工位之间的晶圆流转，避免等待和拥堵，提高整体传输效率。同时，可根据不同抛光工艺配置和优化不同的传输路径，减少晶圆中转次数，降低损伤风险，并具备故障冗余能力，显著提高了传输效率和可靠性。
同时，标的公司产品设计了抛光-清洗直联架构，通过集成式晶圆转移机构实现抛光与清洗模块的无缝衔接，缩短传输路径，避免抛光液在传输过程中干燥结晶导致晶圆表面污染，从而提升晶圆清洁度和工艺连贯性。
（3）先进的终点检测控制系统
CMP设备最重要的要求之一就是对抛光量的精准控制，即在薄膜沉积厚度和均匀性可能有波动、CMP设备耗材（包括抛光垫寿命等）可能对抛光速度/均匀性产生影响
426中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）时，仍然可以精确控制抛光工艺以达到预设的 CMP工艺膜厚终点值（抛光量）和最佳的均匀度。抛光量不足会导致晶圆返工并增加 IC制造成本，抛光量过度或者 CMP工艺后膜厚均匀度不达标则会导致器件性能和良率的降低。因此，终点检测（end pointdetection EPD）技术对 CMP工艺至关重要。它是用来实时跟踪研磨过程的膜厚变化包括均匀性，并通过对抛光头分区压力、抛光时间等 CMP设备工艺控制参数进行实时反馈，以达到预期的 CMP膜厚终点值和最佳的均匀度。
标的公司自主开发了多种先进终点检测（EPD）技术，包含激光终点检测模块、针对金属材料 CMP 工艺的多频涡流感应终点模块、 多频涡流感应和激光终点联合检测
模块以及针对介质材料 CMP工艺的光谱终点检测系统（白光终点检测技术），可用于不同材料、不同膜厚和均匀性检测需求，可在 CMP工艺中实时检测膜厚和均匀性，同时通过超快速反馈对 CMP工艺进行高精度控制，以达到最理想的 CMP 膜厚终点值和均匀度。其中，白光终点检测技术为国内首创，可在极短采集时间内对高转速抛光过程中大量光谱数据进行稳定且准确的实时提取和分析，工艺控制精度等多项指标达到了业界顶尖水平。标的公司自主研发的上述各种 EPD技术均达到国际先进水平，已经在客户端实现大规模应用，并在量产中得到了充分认证。
（4）自主可控的多分区抛光头系统
抛光头是 CMP设备中最核心的组件之一，其核心功能是承载硅晶圆，驱动其完成旋转、移动动作，并向晶圆表面施加均匀压力。主流抛光头普遍配置分区压力控制系统，常见分区数量为5区、7区或更多，可针对硅晶圆不同半径区域提供差异化压力输出。
CMP抛光头等核心零部件长期以来被国外企业垄断，国内设备厂商依赖进口，面临供应中断、技术封锁等风险。标的公司自主研发了多分区的抛光头，工艺效果达到国际先进水平。标的公司 CMP设备抛光头的多分区设计具备压力均匀性好的特点，能自适应晶圆轻微翘曲或厚度不均的情况，通过全局分区施压技术，多分区抛光头能对晶圆多个环状区域实现超精密可控单向加压，实时响应抛光盘测量的膜厚数据，并动态调节压力，从而确保晶圆抛光后表面达到超高平整度，并有效解决晶圆边缘均匀性问题，提升了抛光精度和良率，也为标的公司开拓 14nm以下先进高端工艺制程奠定了技术基础。
同时，通过自研关键零部件，可大幅降低零部件采购与维护成本，同时有效缩短了设备交付与售后响应周期，凸显国产 CMP设备的性价比优势，助力国内晶圆厂降低生产成
427中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）本，加速国产 CMP设备自主化发展进程。
（5）全面且可灵活选配的清洗及干燥能力
对清洗完的晶圆进行干燥是 CMP设备清洗单元的最后一个步骤，也是关系到晶圆清洗效果的一个关键步骤。若干燥效果较差，则晶圆表面容易出现水痕、颗粒多等缺陷。
CMP设备的常用干燥方式包括 SRD（旋转甩干）和 IPA Dry（异丙醇干燥）等 。随着工艺尺寸的不断缩小，IPA Dry在降低晶圆表面的颗粒和提高清洗效果方面更具有优势，标的公司 CMP设备可向客户提供 IPA Dry和 SRD两种干燥功能，全面满足客户各种抛光材料工艺的灵活匹配，进一步提高客户产品的良率。
（6）创新的降低客户生产成本的解决方案
CMP设备在生产加工过程中需不断消耗抛光液和抛光垫等耗材，在芯片加工制程过程中，抛光液和抛光垫的耗材成本也是仅次于光刻胶的耗材支出。为降低客户的生产成本、提升产品的市场竞争力，标的公司创新设计了抛光垫修复系统及抛光液的温控系统。标的公司自主设计的量测传感系统，通过实时测量研磨垫沟槽深度，实时计算钻石盘的最佳运动方式，结合在线修复加深抛光垫的沟槽深度等方式，增加抛光垫的使用寿命，进而降低客户对于抛光垫的使用量。此外，标的公司创新性研发的在线加热系统和温度控制系统，可利用温度控制减少 CMP工艺过程中晶圆放热上升至作业温度的时间，减少抛光液流量，并以此达到减少抛光液的使用量的结果。抛光垫和抛光液等耗材使用的降低，可直接降低客户的生产成本，体现了标的公司在产品设计和提升的前瞻性布局。
（三）主要产品工艺流程图
标的公司主要产品的生产工艺流程如下：
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（四）主要经营模式
1、采购模式
标的公司的采购基于未来销售订单及主要销售产品的市场预期进行，采购部及生产计划部基于对未来销售的预期和供应链效率对公司生产所需的零部件进行备货，相关采购流程由生产计划部提请系统审核，并由采购部收到审核完成的请购单后进行下单。
标的公司采购的主要原材料包括机械标准件、机械加工件、电子电气件、气动元件、
液路元件、工艺耗材和其他原材料等，其中机械加工件主要系供应商依据标的公司提供的图纸自行采购原材料并完成定制加工的零部件。而其他常规标准零部件，标的公司则面向市场进行独立采购。
CMP设备是实现化学机械抛光和化学机械平坦化工艺的全自动超精密装备，零部
429中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
件的精度、洁净度、稳定性、可靠性和一致性对于整机的工艺性能和质量产生较大影响。
为保证标的公司产品的质量和性能，标的公司制定了严格的供应商准入和审核制度，根据供应商技术能力、质量管控能力、生产能力、价格水平、交货周期、资产管理和服务等因素，选定合格的供应商纳入合格供应商名录。标的公司一般会与主要供应商签订框架协议并以订单形式具体执行采购。对于新品研发中出现的新物料需求，若现有合格供应商无法供应，则启动新供应商及相应原材料的评估和验证，验证通过后进行采购。
2、生产模式
标的公司主要产品的生产流程图如下：
标的公司主要根据客户订单或采购意向，并结合客户的差异化需求，进行定制化设计及生产制造，主要实行订单式生产和库存式生产相结合的生产管理方式。基于标的公司CMP设备采用模块化设计的优势，在客户有较明确采购预期时就可以开始安排产品的通用模块库存式生产，等待获得正式订单后再开始订单式生产，根据客户明确的技术参数和配置需求设计差异模块，生产剩余的通用模块（如有）和定制化方案中的差异模块。各个模块和功能单元由标的公司质量部门组织相关质量检测工作，全部满足要求后进行各单元和模块的整机组装工作，在过程中配置相应的软件系统，再进入下一环节。
软件配置与系统测试是最终检验机台是否满足定制化需求的关键步骤，在全部测试完成后进行出货前质检及整机成品的包装出库。
3、销售模式
标的公司主要以直销模式销售产品，通过与客户商业谈判或招投标的方式获取订单。
标的公司设有市场销售部负责市场竞争分析、销售预测与规划、市场开发和产品销售。标的公司设有设备工程部为客户提供驻场服务，设备工程部确保标的公司产品在客户生产环境中稳定、合规、高效地运行，最大化产品对客户的价值，维护并深化客户关系，保障客户价值实现与满意度。具体包括负责标的公司产品在客户端的安装、调试、
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质保、维修、培训及服务等相关工作。
4、研发模式
标的公司产品研发主要采取自主研发模式，建立了多部门协同配合的自主创新机制，研发中心（机械工程部、电气工程部、先进技术研发部、工艺工程部、工艺核心技术部、软件部）和技术工程部对新技术、新产品进行协同研发。新产品研发流程主要包括立项阶段、实施阶段和测试验收阶段，具体流程如下：
1）立项阶段
新产品研发流程的立项阶段，核心任务是完成项目的初步评估与正式启动决策。该阶段始于市场机会与技术可能性的识别，通过初步的商业论证分析市场潜力、经济可行性和竞争格局。随后，团队编写立项报告，整合目标、资源需求和风险评估，提交由管理层及相关部门进行联合评审。若获得批准，则明确项目范围、核心团队、高阶计划及关键成功指标，最终通过项目启动会正式确立项目。
2）设计测试阶段
根据项目书对项目关键技术及创新点进行梳理研发，攻克关键技术及难点，并申请相关知识产权，在项目重要节点时进行评审会议，完成总体方案的策划、设计、评审、投产、组装、测试和优化。研发人员会对各类问题进行升级和优化改进，以保证研发成果达到项目书的各种技术要求。
3）验收阶段
本阶段研发产品的技术配置文件、生产标准、安全注意事项和检验标准等已形成，产品可以满足实际使用需求。该阶段通常依据严格的研发测试标准，由标的公司在真实生产环境中，验证研发产品是否持续、稳定地满足所有约定的技术指标、产能、良率及可靠性要求。核心活动包括功能测试、稳定性测试、工艺配方验证、长时间连续无故障运行测试、产品良率确认等。通过验收后，标志着项目从研发实施转向商业交付。
为了保证产品的技术先进性，标的公司会对产品进行持续的技术升级与工艺开发。
同时，标的公司也将对行业技术现状及未来技术发展趋势进行持续分析，确定未来产品研发方向及工艺研发的具体方案。
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标的公司的具体研发流程图如下所示：
5、盈利模式
杭州众硅主营业务为高端化学机械抛光和化学机械抛光平坦化（CMP）设备的研
发、生产及销售，并为客户提供CMP设备的整体解决方案，即通过向下游集成电路制造商、碳化硅功率器件厂商等销售CMP装备、抛光模组配置方案及研磨液供液系统等产品，并提供关键耗材与维保、升级等服务来实现收入和利润。
（五）主要产品的生产和销售情况
1、主要产品的销售情况
432中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
报告期内，标的公司主营业务为高端CMP设备的研发、生产及销售，并为客户提供CMP设备的整体解决方案。主营业务收入构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
主营业务收入24411.88100.00%5288.65100.00%
其他业务收入----
合计24411.88100.00%5288.65100.00%
2、主要产品的产销情况
标的公司采取模块化生产方式，可根据实际订单灵活调整工人数量。标的公司产品的零部件主要通过外购和定制加工取得，在工厂内装配、检测的周期较短，生产过程对固定资产的占用较少。
标的公司能够根据订单情况灵活地安排人工、原材料采购等，产能具有一定弹性。
下游集成电路制造企业的产能扩张可能会导致标的公司订单短期内快速增长，标的公司生产人员的配备及供应商原材料的及时供货能力会在一定程度上约束公司的生产能力。
由于半导体专业设备的特殊性和芯片结构复杂、涉及的制造流程较多，集成电路制造企业对于各类半导体专业设备的技术标准、机台的稳定性和可靠性具有严格的标准，对供应商的选取标准要求高。通常情况下，半导体设备企业在完成产品设计后，首先会以工艺验证机（Demo）的形式进入各集成电路制造企业，由于 Demo机台验证的为新客户工艺或已有客户的新工艺，相应工艺验证时间较长，工艺验证结束后才会确认验收并签署设备验收单，验证通过后标志着机台开发完成，即可正式批量进入客户大生产线投产销售。设备产品一旦通过验证并实际进入生产线，即意味着进入了客户的合格供应商名录，后续采购时间周期会大大缩短，采购需求会相对稳定。
报告期内，标的公司主要产品的产销情况如下：
项目名称2025年2024年产量（台）1213
CMP设备销量（台）-Demo机台 2 2
CMP设备销量（台）-量产机台 10 1销量合计123
433中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目名称2025年2024年Demo机数量占比 16.67% 66.67%
量产机台数量占比83.33%33.33%
注：销量以取得客户验收、形成收入的设备数量为准
标的公司产量总体高于销量，主要原因系CMP设备发出后需要在客户生产线上进行安装、调试，在完成工艺测试并取得客户验收后方可确认收入。
3、主要产品销售价格总体变动情况
CMP设备的下游客户依据自身产线工艺和技术参数对CMP设备的具体模块配置提出需求，设备存在一定的定制化差异。不同 CMP设备因所定制的配置不同，销售价格会存在一定差异。报告期内，标的公司 CMP设备平均价格的具体情况如下：
项目2025年度2024年度
平均价格（万元/台、不含税） 12英寸CMP设备 1994.50 1524.00
变动比率 12英寸CMP设备 30.87% /
4、报告期内前五大客户及销售情况
报告期内，标的公司的前五大客户情况如下：
单位：万元销售收入占营业收入期间序号客户名称主要销售内容（不含税）比例
1 集团A 9874.00 CMP设备 40.45%
2 客户A 7686.27 CMP设备 31.49%
2025 3 客户C 4313.52 CMP设备 17.67%
年度 4 客户D 2190.01 CMP设备 8.97%
5 客户G 80.34 备品备件 0.33%
合计24144.14/98.90%
1 客户A 2550.00 CMP设备 48.22%
2 客户B 2022.00 CMP设备 38.23%
2024 3 客户H 212.59 CMP抛光模组 4.02%
年度 4 客户I 200.00 CMP抛光模组 3.78%
5 客户J 129.32 研磨液供液系统 2.45%
合计5113.91/96.70%
注：客户按最终控制方合并计算及列示，下同。
434中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2025年度及2024年度，标的公司向前五大客户销售金额占当期营业收入的比例分别
为98.90%及96.70%。报告期内，标的公司不存在向单一客户销售金额超过标的公司当年销售总额50%的情形，标的公司前五大客户占营业收入比例较高主要系标的公司所处行业集中度较高所致。
报告期内，标的公司董事、监事、高管人员和核心技术人员、主要关联方及持股5%以上的股东与上述客户不存在关联关系。
（六）采购情况和主要供应商
1、主要原材料采购及价格变动情况
（1）主要原材料采购情况
标的公司生产所需的主要原材料包括机械标准件、机械加工件、电子电气件、气动
元件、液路元件、工艺耗材和其他原材料，各类别原材料构成情况如下：
序号类别具体内容
1机械手臂、旋转接头、检测装置、密封件、轴承、导轨、机械标准件
垫片等
2基座、支撑件、传动件、钣金件、罩壳件、框架、箱体、机械加工件
紧固件、主轴、橡胶件、焊接件等
3电机、驱动器、传感器、电源类、线缆、工控机、通讯电子电气件
模块、控制器件等
4气路管接头、气路动力元件、气动执行元件、气路传感气动元件
器、气源、气路过滤元件、气路配件等
5液路控制元件、液体管接头、喷嘴、液体阀、液路传感液路元件
器、液路过滤元件等
6工艺耗材保持环、抛光头耗材、硅片、抛光液、滚刷、抛光垫等
7其他工具类、五金类、辅料、管类、包材等
报告期内，标的公司主要原材料采购情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
机械标准件3554.0412.06%2855.9411.76%
机械加工件10890.6736.95%9213.9237.96%
电子电气件6832.3623.18%5377.6422.15%
气动元件3465.2511.76%3127.7512.88%
435中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
液路元件2000.006.79%1670.876.88%
工艺耗材2150.547.30%1354.665.58%
其他579.361.97%675.002.78%
合计29472.21100.00%24275.78100.00%
（2）主要原材料价格变动情况
报告期内，标的公司主要原材料价格变动情况如下：
原材料类别原材料名称2025年度2024年度
机械标准件超声波清洗机94.21100.00
机械标准件机械手臂100.00100.00
机械加工件基座93.89100.00
机械加工件下抛光盘88.93100.00
电子电气件直驱电机85.06100.00
电子电气件特气柜98.12100.00
气动元件电气比例阀96.19100.00
气动元件隔膜阀96.49100.00
液路元件小流量闭环流量控制器98.31100.00
液路元件大流量闭环流量控制器98.46100.00
工艺耗材保持环83.61100.00
工艺耗材抛光头膜97.21100.00
注：假设2024年采购的价格指数设为100.00，后续年份的价格指数以2024年采购均价为基数进行计算
2、主要能源及其供应情况
报告期内，标的公司生产经营所需的能源主要为电和水：
能源项目2025年度2024年度金额（万元）12.6612.42
水数量（万吨）37287.5036600.70
采购均价（元/吨）3.393.39金额（万元）219.16199.14电数量（万千瓦时）278.40237.39
436中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
能源项目2025年度2024年度
采购均价（元/千瓦时）0.790.84
标的公司经营活动耗用的上述能源，总体价格稳定且消耗量较小，占标的公司成本和费用的比例较低。
3、报告期内前五大供应商及采购情况
报告期内，标的公司向前五大供应商采购原材料金额及占原材料采购总额的比例如下：
单位：万元期间序号供应商金额占比主要采购内容
1苏州航菱微精密组件有限公司5202.3517.65%机械加工件
2 供应商 A 2044.08 6.94% 电子电气件
3苏州普斯恩精密机械有限公司1999.436.78%机械加工件
2025年
度 4 气动元件、液供应商 B 1806.41 6.13%路元件
5恩欣格工程塑料（上海）有限公司1659.585.63%机械加工件
合计12711.8443.13%/
1苏州航菱微精密组件有限公司5309.9121.87%机械加工件
2 B 1436.89 5.92% 气动元件、液供应商
路元件
2024年 3 供应商 A 1328.20 5.47% 电子电气件
度
4苏州普斯恩精密机械有限公司1280.495.27%机械加工件
5恩欣格工程塑料（上海）有限公司1074.184.42%机械加工件
合计10429.6842.96%/
注：供应商按最终控制方合并计算并列示
报告期内，标的公司不存在向单个供应商采购比例超过标的公司当年采购总额50%或严重依赖少数供应商的情况。
报告期内，标的公司董事、监事、高管人员和核心技术人员、主要关联方及持股5%以上的股东与上述供应商不存在关联关系。
（七）境外地域分析及资产情况
标的公司境外一共有1家子公司，位于中国香港。有关标的公司境外子公司的情况参见本报告书“第四节交易标的基本情况”之“四、标的公司下属公司情况”。
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（八）安全生产及环境保护情况
标的公司报告期内主要从事CMP设备的研发、生产及销售，并为客户提供CMP设备的整体解决方案，不属于高危险、重污染、高耗能行业。报告期内，标的公司不存在因违反安全生产管理相关法律法规而受到重大行政处罚的情形，亦不存在因违反环境保护相关法律法规而受到行政处罚的情形。
（九）质量控制情况
标的公司目前已取得《质量管理体系认证证书》，符合ISO9001：2015质量管理体系认证要求。标的公司制定了《质量/环境/职业健康安全管理手册》等内部规范文件，标的公司高度重视客户对产品和服务的质量反馈信息，将产品质量控制贯穿设计研发、生产制造、客户服务完整链条。报告期内，标的公司未发生过重大质量纠纷的情况。
（十）核心技术与研发情况
1、主要核心技术情况
标的公司的主要核心技术情况具体如下表所示：
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称设备采用模块化和可设计了分体式独立抛
靠性设计，改变了传统光模组，采用双侧布局晶圆等待抛光模组的
的6独立研磨模组，实工作状态，加快了抛光现并行加工与灵活调2024223742429、2024202
模组的流转速度，提高控，支持不同工艺需256223、2024301324801、了晶圆抛光加工效率。
求。抛光模组位于晶圆2019104814482、2023209系统不同抛光模组之间的
传输通道的两侧，每个035886、2022234891659、布局抛光液不会产生交叉
抛光模组的抛光臂独 CMP 2022304099308、2022304
1和集影响，抛光效果更佳，立控制，稳定性更好，设备103360、2021114452396、成技而且便于对抛光单元灵活度更高。多个抛光2021229713411、2021229术进行维护，加工更加方模组沿着晶圆传输通694980、2021304973519、便；整个工作流程的轨
道依次布设的布局可2019208326110、2019202
迹简单、流畅，整个抛以根据需要选择任意198142光工艺的运动行程紧
数量的抛光模组，进行凑。此外，采用各分块整个抛光流程，可以适式工作台的形状及数应不同的工艺需要。
目可根据工艺需求进
438中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称行选择，相比较与整体式工作台，可分块式工作台调节精度更高，调整机构调节量更容易控制，能完成较微小调整，对执行机构单元位置进行精细调节。
高效晶圆传输系统，结合顶部传输机构和可
开发了高效晶圆传输移动装卸模组，优化传系统，结合顶部传输机输路径，减少晶圆中转构和可移动装卸模组，次数，降低损伤风险，可移动装卸模组、顶部并具备故障冗余能力。
2021104070747、2020113
传输机构之间可以组在相邻晶圆载片传送
382226、2023218495446、合使用，工艺灵活性结构间构建独立的晶
2023216687244、2023216高，不会产生干涉，载圆传输通道，可以增加CMP 754959、2022103161527、片传送结构的设置不抛光区晶圆传输的灵
高 效 CMP 2022112694450、2022214
2会对顶部传输机构产活性，提升整机传输效
传输设备128871、2022216587824、
生不利影响，顶部传输率。通过设置不同传输系统2022207093191、2022209机构可以随时穿梭于的形式可以实现更多
517117、2019111130957、抛光单元而不会受到工艺可能性。并且，该
2021102490255、2020107干扰，在相邻晶圆载片传输的稳定性高，一旦
204397
传送结构间构建独立某个传输装置发生故
的晶圆传输通道，可单障，其他传输装置会进独使用，也可与顶部传入工作状态，保证晶圆输机构配合使用。可以及时传出抛光区域，保证晶圆产品质量。
解决晶圆清洗过程中 202111533401X、202110
兆声能量的控制、兆声2933431、202320172367
药液的温度和浓度控6、2020101573307、2022
采用兆声清洗、不同药制，刷洗过程中的滚刷107327358、20222023261液的刷洗和 IPA 干燥
速度和压力控制、刷洗95、2022203603706、202
CMP 技术实现晶圆的后清
药液的浓度、流量控2101643690、2021231583后 清 洗。设计了抛光-清洗 CMP
3 制，IPA过程中 IPA的 806、2021114722319、20
洗技直联架构，通过集成式设备流速、浓度控制等问21216969237、202122519术晶圆转移机构实现抛题。通过集成式晶圆转2769、2021216969256、2光与清洗模块的无缝移机构，缩短传输路021225191535、20212169衔接。
径，避免抛光液干燥结40328、2021108994674、晶导致晶圆表面破坏，2021102490467、2019108提升晶圆清洁度和工427084、2020102077484、
439中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称艺连贯性。2019209736837通过采用涡流在线终电涡流是一种非接触
点检测控制技术，在晶式测量方法，可以在不圆 CMP 过程中实时检破坏晶圆金属膜同时测晶圆表面金属薄膜测量抛光过程中的金
的厚度变化，采用分区属膜厚度值，根据厚度涡流域超低压力高精度控变化情况由抛光头施
在线制技术，在不同的厚度加不同的压力分布，通终 点 区域采用不同的压力 CMP
4过调整以补偿非均匀2022112574529
检测控制，实现晶圆表面薄设备抛光速度和厚度不均
控制膜材料的均一性去除，匀的衬底，从而高精度技术达到晶圆表面薄膜
停止抛光，减少过抛和CMP 的全局均匀性达欠抛以及可能形成表
到加工要求，解决晶圆面凹陷和腐蚀的缺陷，平坦化过程被抛材料
提高 FAB 厂的产量和的全局均匀性指标不生产率。
合格的问题。
采用了基于光谱的化学机械平坦化在线终点检测方法及其在线
监测装置，以及终点检测信号的采集方法和采集系统。该方法利用混合光在透明薄膜中该技术方法的实现和的折射以及干涉的原突破可以排除检测光光学理，获得干涉条纹和薄2023112396583、2025110强信号变化带来的干
在线膜厚度的对应关系。在653799、2023226009702、扰，不用对检测光谱做 CMP
5终点此原理的基础上采用2022106070657、2023201
归一化处理，减少了运设备检测光学镜组缩束准直的637007、2022100773979、算时间，同时提升信号技术方式耦合光源，解决了2019104403451的检测精度和检测一传统光纤耦合导致的致性。
光源光强利用率低的问题；采用信号控制方式调节光源并实时监测光强，保证测量信号的稳定性，提升探测精度，延长光源的使用寿命。
UPA 根据晶圆表面薄膜材 通过压力传感器融合
CMP 2019113033010、2021104
6精密料的硬度差异要求压反馈机制与动态权重
设备488565
压力力实时自适应调整，通调节策略，使得作用至
440中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称控制过高灵敏度传感器网晶圆上的压力调节更
技术络与闭环算法实时补灵活，并确保了抛光头偿因晶圆翘曲、温度波下压力精确控制，提高动等变量造成的干扰，工艺一致性与设备效实现在纳米级精度下率，实现对压力的稳定动态调控压力。控制。
可以高效地检测晶圆湿法清洗工艺中清洁干燥模组中晶圆的有通过位移传感器将晶
无及晶圆是否水平，提圆有无检测、晶圆水平高了清洁干燥模块中检测和晶圆夹爪状态晶圆有无检测和晶圆
检测结合，改进晶圆有水平检测的准确率和干燥无检测及晶圆水平检检测效率；对晶圆夹持
单元测的检测方式与结构，装置的异常状态检测，晶圆实时处理光信号。高效可有效避免因晶圆固 CMP
7 异 常 地检测 CMP 清洁干燥 2022105084239
定夹爪异常导致的机设备状态模组中晶圆的有无及械手放置或取出晶圆
检测晶圆是否水平，同时对产生的晶圆破碎；有效
技术晶圆夹爪的状态检测，减少整个检测装置的可避免因晶圆夹爪异
零件数量，降低调试时常卡住导致的机械手
间与成本，降低由于机放置或取出晶圆产生械结构或多个检测装的晶圆倾斜或破碎置结合检测导致的故
障的发生率，提高装置简洁美观程度。
通过研究 CMP 过程中
抛光台的转速、温度，可实现包括 STI-CMP
抛光头的转速、压力、
（浅沟槽隔离化学机摆动速率和频率，修整械研磨）、 ILD-CMP
器的转速、摆动速率和
（介电层化学机械研2024206596934、2024116CMP 频率、压力，抛光液的磨）、CTW-CMP（钨 669404、2024210918589、工 艺 流量、分布、种类，抛 CMP
8金属层化学机械研磨）、2022305164982、2022305
应用光垫的材料、表面沟槽设备Cu-CMP（铜金属层化 055190、2021230946535、技术形貌等众多工艺变量，学机械研磨），通过化2022100041307解决晶圆 CMP 后的材学腐蚀与机械研磨的
料去除率、片内和片间
协同作用，实现纳米级的非均匀性、蝶形凹陷表面平整度。
和腐蚀、颗粒和划痕等工艺问题。
9 ECM 采用绝缘材质的抛光 电化学机械抛光导电 ECMP 2024304771328、2024300
441中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称
P 整 垫贴合在导电抛光台 型晶圆衬底，相较于机 设备 460724、2022229651320、体系上表面，具有贯穿厚度械抛光或常规化学机2022229614336统方向的孔洞，在孔洞内械抛光/平坦化，引入容置从供液臂输送于晶圆衬底表面电化学
抛光垫上的化学液，化反应，衬底材料去除学液具有导电性。抛光率、抛光/平坦化速度垫上无需导电接触头显著提高，设备运营成设计，但是晶圆衬底载本显著降低；和既有电头(抛光头)具有导电化学机械抛光设备相性。在抛光头向晶背加比，电路设计更为简压时，晶圆衬底正表面单，没有抛光垫上表面和抛光垫贴合，可以建导电接触头，可以显著
立第一电极-导电抛光降低晶圆衬底抛光表
台-贯穿抛光垫厚度孔面缺陷率、提高表面光
洞中的化学液-导电型滑度、降低表面金属污
晶圆衬底-导电抛光头-染和颗粒污染，同时延
第二电极之间的通电长抛光垫寿命、降低耗回路。导电型晶圆衬底材成本；同时，电化学表面在通过抛光垫上机械抛光工艺中电化的孔洞区域时产生电学反应和机械抛光速
化学反应，在通过抛光率独立可控、可调，包垫上的非孔洞区域时括晶圆衬底表面分区进行机械抛光平坦化。域调节。
在晶圆衬底伴随着抛光头旋转并相对抛光
台运动时，在导电型晶圆衬底表面可以连续反复完成电化学反应引入电化学反应层使
和机械抛光平坦化，导材料去除率和抛光速ECM
电型晶圆衬底的抛光度显著提升，同时避免P 工
1 面形成电化学反应层 了传统导电接触头带 ECMP
艺应2022229771233
0步骤和对电化学反应来的金属污染、颗粒污设备
用技
层进行化学机械抛光染及磨损问题，提高表术步骤可以同步进行；此面光滑度并延长耗材外，在导电型晶圆衬底寿命，降低运营成本。
的抛光面形成电化学反应层步骤和对电化学反应层进行化学机械抛光步骤先后进行。
1 导 电 采用硬质导电盘负压 利用硬质导电盘，实现 ECMP 2024211355783、2025101
1型抛吸附晶圆并实现电流抛光头和晶圆衬底之设备877875、2024204236775、
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核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称
光头传导，替代传统柔性膜间的电路导通进行电2022231254625结构。其通过导电驱动化学机械抛光，可保障单元传动配合带动硬电化学反应的长期稳
质导电盘转动，活动间定性；利用硬质导电盘隙设计提供浮动空间，负压吸附晶圆衬底，解保持环限定工作区域。决了柔性膜被拉扯导将硬质导电盘主体开致破裂的问题。导电驱设吸附气孔、过渡膜开动单元既发挥了导电
设吸附孔洞，通过控制的功能，同时可以机械气体导向，实现抛光吸驱动硬质导电盘带着附盘机构对晶圆的吸晶圆衬底进行抛光工
附或吹下的功能。艺，而活动间隙的存在给硬质导电盘的上下、左右浮动提供了活动空间，使得抛光更灵活。硬质导电盘通过过渡膜与晶圆表面无间隙贴合，有针对性施压抛光，晶圆表面整体去除率均匀性高。
该结构使晶圆始终处
于液体环境中，保持湿润状态，避免晶圆表面粘附污垢或微尘，同时采用一种晶圆搬运装避免晶圆产生缺陷；通
置包括：箱体，内置有过片盒和移动机构实
流体介质，其至少具有现晶圆的移动，减少转
第一工作位和第二工
移机构的运动维度，降作位；转移机构，用于低使用成本，而且转移获取片盒内的晶圆并晶圆机构专注于晶圆的取
1 转移至抛光区域，片盒 ECMP 2024116930911、2024116传输放，转移机构获取晶圆
2置入箱体的流体介质设备612270、2024208760026
技术的效率高，促使抛光工内；移动机构，用于驱艺效率提升；晶圆随着
动片盒在流体介质中、片盒移动至第二工作
于第一工作位和第二位后，转移机构再进行工作位之间移动。
取放晶圆的动作，提高并且，研发了一种晶圆转移机构取放晶圆的水中定位检测方法。
安全性。此外，还解决了晶圆倾斜放置在带有流体介质的片盒内无法准确定位检测的
443中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心序应用设技术核心技术具体内容技术先进性对应的主要专利号号备种类名称问题，为后续的晶圆抓取提供了准确的定位检测。
导电通路直接与电源连接，减少对冷却水回路的绝缘处理成本，提升设备安全性；抛光垫
直接与电源连接，可减通过将导电通路直接少电流传导过程导体
导电设置在抛光垫与电源数量，减少热效应，提
1 ECMP 2024203287163、2023233
抛光之间，绕过抛光台，抛升稳定性与效率；电流
3设备277503
垫光垫设导电区域并可可以是横向传导也可直接连接电源。以是纵向传导，设计形式多样，适应不同的工作场景；导电部的设计使得晶圆电化学反应效果佳，保证晶圆的有效电化学抛光。
2、研发投入情况
报告期内，标的公司的研发投入主要为研发人员薪酬、材料费用、折旧与摊销费用化等，研发投入全部费用化。
报告期各期，标的公司研发投入占营业收入的比重如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
研发费用11291.488357.82
占营业收入比重46.25%158.03%
（十一）研发人员及核心技术人员情况
1、研发人员情况
报告期各期末，标的公司的研发人员数量及占比情况如下：
项目2025年度2024年度
研发人员数量（人）8997
444中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年度2024年度
研发人员数量占比29.28%32.88%
2、核心技术人员情况
报告期内，标的公司的核心技术人员为GU HAIYANG、MICHAEL XIAOXUANYANG及LEE EDWARD LI CANG，报告期内核心技术人员未发生变动。上述核心技术人员的基本情况如下：
核心技术人员工作履历对标的公司研发的具体贡献自2018年创立标的公司以来担任总经理，全面领导标的公司产品设计研发工作，带领团队研发出博士学历，曾于美国应用材料公司等企一系列核心技术和优质产品，拥业任职。拥有20多年专注于先进半导体有多项技术专利。作为专利发明制造设备的技术开发和客户支持，具有人协助标的公司获得40余项国内GU HAIYANG 丰富的设备工程、工艺开发和研发团队 外发明专利。主导完成在线终点（顾海洋）管理经验。2018年创立标的公司，目前检测控制技术、抛光头精密压力担任标的公司总经理，负责6英寸至12 控制技术、CMP后清洗技术、英寸CMP、碳化硅衬底抛光等全系列 CMP工艺应用技术、EMP晶圆传
产品的自主研发与市场化工作。 输技术等优化及12英寸CMP设备采用6抛光盘2列左右平行布局的
全新架构设计、ECMP晶圆传输
技术、导电型抛光头技术创新。
博士学历，曾于美国加州大学伯克利分-自2022年加入标的公司以来担任校劳伦斯伯克利国家实验室、美国应董事长，全面领导标的公司产品用材料公司、美国瓦里安半导体、屹唐
设计研发工作，带领团队研发出半导体等企业/科研院所任职。拥有超
25 一系列核心技术和优质产品，拥MICHAEL 过 年世界一流半导体制造设备公司
XIAOXUAN YANG 有多项技术专利。作为专利发明工作经验，包括产品研发、全球业务拓（杨晓晅）人协助标的公司获得10余项国内展、企业高级管理、战略规划和产业投外发明专利。主导完成ECMP工资等。2022年加入标的公司，目前担任艺应用技术、CMP高效传输系统
标的公司董事长，负责标的公司战略规优化及ECMP整体系统、导电抛
划和管理、标的公司设备前沿技术开发光垫技术创新。
和产业化等工作。
自2018年加入标的公司以来担任
副总经理兼软件总监，全面领导硕士学历，曾于美国应用材料公司、美标的公司产品设计研发工作，带国科林公司、中微公司等企业任职。拥领团队研发出一系列核心技术和有20多年国内外软件开发、客户支持和优质产品，拥有多项技术专利。
LEE EDWARD LI
CANG 项目管理经验。2018年加入标的公司， 作为专利发明人协助标的公司获目前担任标的公司副总经理兼软件总（李苍）得多项国内外发明专利和软件著监，负责标的公司CMP等软件的研发 作权。主导完成面向对象的实时设计和性能品控、软件工业自动化工 控制软件系统架构及SEMI标准作。及工业自动化，终点检测功能的逻辑及算法优化及高产能及高适
应性的智能化wafer调度软件方
445中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
核心技术人员工作履历对标的公司研发的具体贡献案，高实时性智能化PLC控制软件，参数层和硬件层软件自动编程技术创新。
八、标的公司主要生产经营资质
截至本报告签署日，标的公司拥有的主要生产经营资质具体如下：
序权利人证书名称编号证书内容有效期发证单位号浙江省经济和
信息化厅、浙
高新技术企业证 GR2025330 2025-12-19至
1杭州众硅--江省财政厅、书059472028-12-18国家税务总局浙江省税务局
报关单位注册登进出口货物收2018-08-23至
2 杭州众硅 3301961S86 杭州海关
记证书发货人长期生产经营场所
地址：临安区青山湖街道创
91330185M 业街 88号 1幢
2023-11-29至杭州市生态环
3 杭州众硅 排污许可证 A2CC0D69 1层
2028-11-28境局临安分局
L001Z 行业类别：工程和技术研究
和试验发展，表面处理半导体（化学机械平坦化）
环境管理体系认 00126E3003 2026-01-27至 中国质量认证
4杭州众硅设备的设计、证证书 21R201 2029-01-26 中心开发和生产及相关管理活动半导体（化学质量管理体系认 00126Q300 机械平坦化） 2026-01-26至 中国质量认证
5杭州众硅
证证书 598R201 设备的设计、 2029-01-20 中心开发和生产半导体（化学机械平坦化）
职业健康安全管 00126S3002 2026-01-26至 中国质量认证
6杭州众硅设备的设计、理体系认证证书 63R101 2029-01-25 中心开发和生产及相关管理活动
九、标的公司报告期主要财务指标
446中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
标的公司最近两年经审计的主要财务数据如下：
单位：万元资产负债表项目2025年12月31日2024年12月31日
资产总计102212.5690728.47
负债总计26932.1727063.65
所有者权益75280.3963664.82
归属于母公司所有者的净资产75280.3963664.82利润表项目2025年度2024年度
营业收入24411.885288.65
营业成本17995.594808.76
利润总额-9250.00-15346.30
净利润-9250.00-15346.30
归属于母公司所有者的净利润-9249.99-15346.30
扣非归母净利润-11229.07-16200.49
主要财务指标2025年12月31日/2025年度2024年12月31日/2024年度
流动比率（倍）3.753.40
速动比率（倍）1.651.78
资产负债率26.35%29.83%
总资产周转率（次/年）0.250.07
应收账款周转率（次/年）2.251.01
存货周转率（次/年）0.340.13
毛利率26.28%9.07%
注：财务指标计算公式如下：
*流动比率＝流动资产/流动负债；
*速动比率＝（流动资产－存货）/流动负债；
*资产负债率＝总负债/总资产×100%；
*总资产周转率=营业总收入/[（期初资产总额+期末资产总额）/2]；
*应收账款周转率＝营业收入/[（期初应收账款余额+期末应收账款余额）/2]；
*存货周转率＝营业成本/[（期初存货余额+期末存货余额）/2]；
*毛利率=（营业收入-营业成本）/营业收入。
报告期内，标的公司的非经常性损益构成如下：
单位：万元
447中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年度2024年度
除与正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按
照确定的标准享有、对公司损益产生持续影响外，计1676.80747.61入当期损益的政府补助
除同正常经营业务相关的有效套期保值业务外，持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处300.85105.24置金融资产产生的损益
除上述各项之外的其他营业外收入和支出1.431.34
非经常性损益合计1979.08854.19
所得税影响额--
少数股东权益影响额（税后）--
扣除所得税影响后的非经常性损益1979.08854.19
净利润-9250.00-15346.30
扣非后净利润-11229.07-16200.49
十、立项、环保、行业准入、用地、规划、建设施工等有关报批事项
本次交易为上市公司发行股份及支付现金购买杭州众硅64.69%股份，交易标的为股权类资产，不涉及因本次交易新增立项、环保、行业准入、用地、规划、施工建设等有关报批事项。
十一、最近三年申请首次公开发行股票上市的情况及作为上市公司重大资产重组交易标的的情况标的公司最近三年不存在申请首次公开发行股票上市或作为上市公司重大资产重组交易标的的情况。
十二、出资瑕疵或影响其他合法存续的情况
截至本报告书签署日，标的公司不存在出资瑕疵或影响其合法存续的情况。
十三、许可他人使用资产，或者被许可使用他人资产的情况
报告期内，标的公司不涉及许可他人使用资产，或者被许可使用他人资产的情况。
十四、本次交易不涉及债务转移情况
448中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次交易完成后，标的公司仍然是独立存续的法人主体，其全部债权债务仍由其自身享有或承担。因此，本次交易不涉及债权债务的转移。
十五、本次交易已取得标的公司其他股东的同意，符合公司章程规定的股权转让前置条件
（一）公司章程规定的股权转让前置条件
标的公司现行有效的公司章程关于股权转让的约定中，涉及股权转让的相关内容如下：“如果公司股东希望出售其所持有的公司的部分或全部股权给公司股东之外的第三方，投资方均享有优先购买权。”
（二）本次交易已取得标的公司股东的同意
本次交易前，上市公司之全资子公司中微临港持有标的公司12.04%股权，除中微临港及本次交易的交易对方外，标的公司不存在其他股东，标的公司股权转让事项不涉及其他股东同意。
2026年3月30日，标的公司召开股东会，同意上市公司以发行股份及支付现金的方
式收购杭州众芯硅等41名交易对方所持有的杭州众硅64.69%的股权。
十六、会计政策、会计估计及相关会计处理
（一）收入确认原则和计量方法
标的公司在客户取得相关商品或服务的控制权时，按预期有权收取的对价金额确认收入。
1、销售商品
标的公司生产产品并销售予各地客户。
标的公司将专用设备产品运至约定交货地点，进行安装、调试及验收。根据合同安排，经客户确认验收后，客户具有自行使用产品的权利并承担该产品可能发生价格波动或毁损的风险，标的公司于控制权转移至客户时相应确认收入。
标的公司将备品备件产品按照协议合同规定运至约定交货地点，经客户确认验收后，
449中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
客户具有自行使用产品的权利并承担该产品可能发生价格波动或毁损的风险，标的公司相应确认收入。
标的公司给予客户的信用期根据客户的信用风险特征确定，与行业惯例一致，不存在重大融资成分。标的公司已收或应收客户对价而应向客户转让商品的义务列示为合同负债。
2、提供服务收入
标的公司对外提供抛光服务收入、技术服务收入等，通常在服务提供完成并且获取客户的验收单后，标的公司相应确认收入。
（二）会计政策和会计估计与同行业或同类资产之间的差异及对利润的影响
经查阅同行业可比公司年度报告，标的公司收入确认原则和计量方法、应收款项坏账准备计提政策、固定资产折旧年限及残值率等主要会计政策和会计估计与同行业可比
上市公司不存在重大差异，对标的公司净利润无重大影响。
（三）财务报表编制基础
1、编制基础
标的公司财务报表以公司持续经营假设为基础。
2、持续经营
自报告期末起12个月内，标的公司未发现存在对公司持续经营能力产生重大怀疑的事项。
（四）合并财务报表范围
1、纳入合并范围的子公司情况
截至报告期末，标的公司合并财务报表的合并范围如下：
序号子公司名称注册资本直接持股比例取得方式
1众硅电子科技（上海）有限公司500万人民币100.00%投资设立
450中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号子公司名称注册资本直接持股比例取得方式
2众硅科技（香港）有限公司1万港币100.00%投资设立
3众恩芯科技（青岛）有限公司1000万人民币99.00%投资设立
4众进芯科技（福建）有限公司1000万人民币99.00%投资设立
注：截至本报告书出具日，众恩芯科技（青岛）有限公司、众进芯科技（福建）有限公司已变更为标的公司全资子公司。
2、报告期内合并报表范围发生变更的内容和原因
标的公司于2019年7月25日投资设立子公司众硅电子科技（淮安）有限公司，持股比例为100.00%，自设立之日起纳入合并范围；子公司众硅电子科技（淮安）有限公司于2025年11月27日已完成注销，自注销之日起不再纳入合并范围。
（五）资产转移剥离调整情况
报告期内，标的公司不存在资产转移剥离情况。
（六）重要会计政策或会计估计与上市公司差异及变更情况
报告期内，标的公司重大会计政策或会计估计与上市公司不存在重大差异。
（七）行业特殊的会计处理政策标的公司不存在行业特殊的会计处理政策。
451中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第五节标的资产评估作价基本情况
一、标的资产评估基本情况
（一）本次评估概况
本次交易中，标的资产的评估基准日为2025年12月31日，评估对象为杭州众硅股东全部权益价值。标的资产的交易价格以符合《证券法》规定的资产评估机构出具的评估报告的评估结果确定。
根据中联评估出具的《资产评估报告》（浙联评报字[2026]第64号），以2025年
12月31日为评估基准日，评估机构采用资产基础法和市场法对杭州众硅股东全部权益
价值进行评估，并以市场法结果作为本次评估结论。截至评估基准日，杭州众硅归属于母公司股东权益账面值75280.39万元，评估值250140.00万元，评估增值174859.61万元，增值率232.28%。
（二）评估方法的选取
本次评估目的是中微半导体设备（上海）股份有限公司拟发行股份及支付现金购买杭州众硅电子科技有限公司股权。
资产基础法从企业购建角度反映了企业的价值，为经济行为实现后企业的经营管理及考核提供了依据，因此本次评估选择资产基础法进行评估。
国外半导体设备行业经过多年发展，市场集中度高、盈利模式成熟且稳定，龙头企业已形成较为稳定的现金流。而鉴于中国大陆半导体设备尤其是 CMP公司业务起步较晚，成熟度远低于国外，当前全球 CMP行业被美国应用材料、日本荏原主导，两者市占率8成以上。
在国外对半导体核心技术封锁的背景下，被评估单位成立时间不长，部分产品仍处于客户验证阶段。此外叠加近年来下游半导体行业周期性的影响，难以对标的公司在可预见年限内预测其收益与风险水平。因此，本次不适宜采用收益法评估。
因国内产权交易市场交易信息的获取途径有限，且同类企业在产品结构和主营业务构成方面差异较大，结合本次评估被评估单位的特殊性，选取同类型市场参照物的难度
452中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）极大，故本次评估未采用交易案例比较法；同时考虑到与被评估单位处于同一行业，产品类型、业务结构、主要经营模式相类似的上市公司数量较多，可比公司股价及经营和财务数据相关信息公开，具备资料的收集条件，故本次评估选择采用可比上市公司比较法。
综上，本次评估确定采用资产基础法、市场法进行评估。
（三）评估结果
1、资产基础法评估结果
采用资产基础法对企业股东全部权益价值进行评估，得出被评估单位在评估基准日的评估结果如下：
评估基准日，被评估单位所有者权益账面价值77520.26万元，评估值112886.67万元，评估增值35366.41万元，增值率45.62%。其中，资产账面价值104275.53万元，评估值139641.94万元，评估增值35366.41万元，增值率33.92%。负债账面价值
26755.27万元，评估值26755.27万元，无评估增减值。
2、市场法评估结果
采用市场法对企业股东全部权益价值进行评估，得出被评估单位在评估基准日的评估结果如下：
评估基准日，被评估单位归属于母公司股东权益账面值75280.39万元，评估值
250140.00万元，评估增值174859.61万元，增值率232.28%。
3、不同方法评估结果的差异分析
本次评估采用市场法得出的股东全部权益价值为250140.00万元，比资产基础法测算得出的股东全部权益价值112886.67万元，高137253.33万元，差异率121.59%。两种评估方法差异的原因主要是：
1、资产基础法评估是以资产的成本重置为价值标准，反映的是资产投入（购建成本）所耗费的社会必要劳动，这种购建成本通常将随着国民经济的变化而变化；
2、上市公司比较法反映了在正常公平交易的条件下公开市场对于评估对象价值的
453中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）测算，通过选取合适价值比率，模拟估算出评估对象的公开市场交易性的市场价值。
综上所述，从而造成两种评估方法产生差异。
4、评估结论的选取
由于标的公司主要产品为 CMP设备，市场对于该类企业更多的是看重其研发和未来的发展。市场法参考与被评估单位相似的可比公司近期交易价格，通过分析并调整可比公司与被评估单位各自特点及差异，确定被评估单位评估值，从市场价格的角度测算被评估单位的整体市场价值。因此市场法能够从行业的发展前景、行业特性等方面反映公司的价值。
通过以上分析，我们选用市场法作为本次被评估单位的定价方法。由此得到标的公司股东全部权益在基准日时点的市场价值为250140.00万元。
（四）评估增值的主要原因
被评估单位在行业中技术领先，具有技术密集、高技能人才密集的特点，市场法评估中结合评估对象行业发展、收入类型、市场需求等因素变化对未来获利能力的影响，评估结果包含了资源优势、技术优势、管理优势等账外的无形资源，故导致评估结果增值。
二、本次评估的重要假设
（一）一般假设
1、交易假设
交易假设是假定所有待评估资产已经处在交易的过程中，评估师根据待评估资产的交易条件等模拟市场进行估价。交易假设是资产评估得以进行的一个最基本的前提假设。
2、公开市场假设
公开市场假设，是假定在市场上交易的资产，或拟在市场上交易的资产，资产交易双方彼此地位平等，彼此都有获取足够市场信息的机会和时间，以便于对资产的功能、用途及其交易价格等作出理智的判断。公开市场假设以资产在市场上可以公开买卖为基
454中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）础。
3、企业持续经营假设
企业持续经营假设是将企业整体资产作为评估对象而作出的评估假定。即企业作为经营主体，在所处的外部环境下，按照经营目标，持续经营下去。企业经营者负责并有能力担当责任；企业合法经营，并能够获取适当利润，以维持持续经营能力。对于企业的各类经营性资产而言，能够按目前的用途和使用的方式、规模、频度、环境等情况继续使用，或者在有所改变的基础上使用。
（二）特殊假设
1、本次评估假设国家政策、经济环境、房地产本身的状况等因素不发生重大变化，
委托人及被评估单位提供的基础资料和财务资料真实、准确、完整，本次评估不考虑通货膨胀因素的影响；
2、企业所处的社会经济环境以及所执行的税赋、税率等政策无重大变化；
3、被评估单位在未来经营期内管理团队尽职尽责，核心人员保持稳定而不发生重大变化，并继续按照现有的经营管理模式持续经营；
4、本次评估的各项资产均以评估基准日的实际存量为前提，有关资产的现行市价
以评估基准日的国内有效价格为依据；
5、本次评估假设委托人及被评估单位提供的基础资料和财务资料真实、准确、完整；
6、本次评估测算的各项参数取值不考虑通货膨胀因素的影响；
7、可比企业与被评估单位在价值影响因素方面相同或者相似；
8、可比企业与被评估单位均能够按交易时公开披露的经营模式、业务架构、资本
结构持续经营；
9、可比上市公司所涉及的交易均为有序市场环境下的公平交易，交易对价公允有效。可比上市公司信息披露真实、准确、完整，无影响价值判断的虚假陈述、错误记载或重大遗漏；
455中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、评估人员仅基于公开披露的可比企业相关信息选择对比维度及指标，不考虑其
他非公开事项对被评估单位价值的影响；
当上述条件发生变化时，评估结果一般会失效。
三、资产基础法评估情况
（一）资产基础法评估具体模型
资产基础法，是指以被评估单位或经营体评估基准日的资产负债表为基础，评估表内及表外可识别的各项资产、负债价值，确定评估对象价值的评估方法，具体是指将构成企业的各种要素资产的评估值加总减去负债评估值求得企业价值的方法。
（二）主要资产和负债的具体评估方法
1、流动资产
（1）评估范围
纳入评估的流动资产包括货币资金、交易性金融资产、应收账款、应收票据、预付
账款、其他应收款、存货及其他流动资产。
（2）评估方法
1）流动资产评估方法
采用重置成本法评估，主要是：对于货币资金，以核实后的账面值为评估值；对应收、预付类债权资产，以核对无误账面值为基础，根据实际收回的可能性确定评估值；
对存货，在核实评估基准日实际库存数量的基础上，以实际库存量乘以实际成本或可变现价格得出评估值。
2）各项流动资产的评估
*货币资金
A.银行存款
对银行存款人民币账户进行了函证复核，以证明银行存款的真实存在，同时检查有
456中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
无未入账的银行款项，以及评估基准日后的进账情况。对外币账户，以核实后的基准日外币存款账户金额乘以外汇汇率确认评估值。外汇汇率以基准日中国外汇交易中心公布的相应外币结算价汇率为准。银行存款以核实后账面值确定评估值。
银行存款评估值123987440.29元。
B. 其他货币资金
其他货币资金主要为 ETC信用保证金 8000.00元。以本次评估按清查核实后账面值确认评估值。
其他货币资金评估值8000.00元。
综上，货币资金评估值为123995440.29元。
*交易性金融资产
交易性金融资产账面值51360623.02元，主要为企业投资的理财产品，以本次评估以基准日核实后的持仓份额乘每股净值确定评估值。
交易性金融资产评估值51360623.02元。
*应收票据
应收票据账面值102964.25元，核算内容主要为银行承兑汇票，以核实后账面值为评估值。
应收票据评估值102964.25元。
*应收账款
应收账款账面余额166241873.12元，计提坏账准备3922779.74元，账面净额
162319093.38元，主要为应收货款等。
应收类账款采用组合计提的方法估计评估风险损失，具体结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和预期信用损失率，计算预期信用损失。计算过程详见下表：
应收账款评估风险损失计算表
项目金额（元）评估风险损失率评估风险损失额
457中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目金额（元）评估风险损失率评估风险损失额
组合计提166241873.120.90%-2.77%3922779.74
合计166241873.123922779.74
按以上标准，确定评估风险损失为3922779.74元，以应收账款合计减去评估风险损失后的金额确定评估值。坏账准备按评估有关规定评估为零。
应收账款评估值为162319093.38元。
*预付账款
预付账款账面余额9134993.01元，主要为预付材料款等，以核实后账面值作为评估值。
预付账款评估值为9134993.01元。
*其他应收款
其他应收款账面余额20464172.09元，计提坏账准备22128.26元，账面净额
20442043.83元，主要为往来款、押金、税金等。
采用个别认定及组合计提的方法估计评估风险损失，具体结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和预期信用损失率，计算预期信用损失。计算过程详见下表：
其他应收款评估风险损失计算表
项目金额（元）评估风险损失率评估风险损失额
组合计提1662172.091.11%-1.39%22128.26
关联方18802000.000.00%-
合计20464172.0922128.26
按以上标准，确定评估风险损失为22128.26元，以其他应收款合计减去评估风险损失后的金额确定评估值。坏账准备按评估有关规定评估为零。
其他应收款评估值为20442043.83元。
*存货
存货账面余额为580139939.02元，包括原材料、委托加工物资、产成品、在产品及发出商品，已计提存货跌价准备41152455.93元，存货账面净额为538987483.09
458中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）元。
存货的具体评估方法及过程如下：
A.原材料
原材料账面值165737000.02元，原材料因耗用量大，周转速度较快，且主要为基准日近期采购，账面值接近基准日市价，故按账面确定评估值。部分原材料库龄较长，已计提存货跌价准备，本次评估按照现行市价确认评估值。
原材料评估值165737000.02元。
B. 委托加工物资
委托加工物资账面值900082.34元，委托加工物资主要为基准日近期委托，账面值接近基准日市价，故按账面确定评估值。部分委托加工物资时间较长，已计提委托加工物资跌价准备，本次评估按照现行市价确认评估值。
委托加工物资评估值900082.34元。
C.产成品
产成品账面值6417548.96元，主要为各类自制模组等，后续主要去向为研发领用。
产成品成本组成内容为生产领用的材料、辅助材料，分摊的制造费用和人工费用等，由于生产周期较短，成本升降变化不大，成本结转及时完整，故按核实后的账面值确认评估值。
产成品评估值6417548.96元。
D.在产品
在产品账面价值为170323754.74元，主要为生产成本等。在产品按实际成本记账，其成本组成内容为生产领用的材料、制造费用、辅助材料和人工费用等。对于正常流转的在产品，由于生产周期较短，成本升降变化不大，成本结转及时完整，故按核实后的账面值确认评估值。
在产品评估值170323754.74元。
E.发出商品
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发出商品账面金额 195 609097.03元，主要为 300mm CMP产品。对于发出商品以其完全成本为基础，采用市场价格确定评估值。
评估价值=实际数量×不含税售价×(1-产品销售税金及附加费率-销售费用率-营业
利润率×所得税率-营业利润率×(1-所得税率)×r)-后续投入成本
a.不含税售价：不含税售价是按照评估基准日前后的市场价格确定的；
b.产品销售税金及附加费率主要包括以增值税为税基计算交纳的城市建设税、教育
附加、印花税等与产品销售相关的税金与销售收入的比例；
c.销售费用率是按各项销售费用与销售收入的比例平均计算；
d.营业利润率：考虑到被评估单位仍处于亏损，本次按行业营业利润率计算；
e.所得税率按企业现实执行的税率；
f.r为一定的率，由于发出商品已销售，根据基准日调查情况及基准日后实现销售的情况确定其风险 r为 30%。
g.后续投入成本主要设备调试期至验收前的料工费投入成本。
发出商品评估值226161412.77元，评估增值30552315.73元，增值率15.62%。
发出商品评估增值的原因是产品市场行情较好，发出商品评估值中考虑了部分利润所致。
F.存货的评估值
存货账面值合计538987483.09元，评估值569539798.83元，评估增值
30552315.73元，增值率5.67%，增值主要原因是由于产品市场行情较好，发出商品评
估值中考虑了部分利润所致。
*其他流动资产
其他流动资产账面值73801057.63元，主要为待抵扣进项税，以核实后账面值作为评估值。
其他流动资产评估值73801057.63元。
2、长期股权投资
460中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（1）评估范围
长期股权投资共4项，为3家全资子公司及1家控股子公司。截至评估基准日账面原值为5010521.88元，计提减值准备10521.88元，账面净额为5000000.00元。具体情况如下：
长期股权投资明细表序被投资单位名称持股比例投资日期号
1众硅电子科技（上海）有限公司100.00%2022/02
2众硅科技（香港）有限公司100.00%2021/08
3众恩芯科技（青岛）有限公司99.00%2023/12
4众进芯科技（福建）有限公司99.00%2022/12
注：截至本报告书出具日，众恩芯科技（青岛）有限公司、众进芯科技（福建）有限公司已变更为标的公司全资子公司。
（2）被投资单位介绍
1）众硅电子科技（上海）有限公司
公司类型：有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）
公司地址：中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云汉路979号2楼
法定代表人：HAIYANG GU
注册资本：500万人民币
成立日期：2022年2月14日
统一社会信用代码：91310000MA7GM08053
经营范围：一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备研发；电子专用设备销售；半导体器件专用设备销售；电子产品销售；
机械设备销售；企业管理咨询。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
*公司简介
众硅电子科技（上海）有限公司成立于2022年2月14日，公司注册资本为500.00万元，系由股东杭州众硅电子科技有限公司发起设立。
461中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
公司成立时，股权架构如下：
序号股东名称注册资本（万元）注册比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司500.00100.00
合计500.00100.00
截至评估基准日2025年12月31日，众硅电子科技（上海）有限公司实收资本500.00万元，公司股权比例如下所示：
序注册资本注册比例实收资本实收资本占总注册资股东号（万元）（%）（万元）本比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司500.00100.00500.00100.00
合计500.00100.00500.00100.00
*资产、财务及经营状况
截至评估基准日2025年12月31日，公司报表账面资产总额为348.62万元，负债为2078.80万元，净资产-1730.17万元。截至评估基准日，实现营业收入116.10万元，净利润-717.90万元。
2）众恩芯科技（青岛）有限公司
公司类型：有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）
公司地址：中国（山东）自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区鹏湾路45号东办
公楼一楼 102室 2026-0562（A）
法定代表人：朱琳
注册资本：1000万人民币
成立日期：2022年12月19日
统一社会信用代码：91370220MAC6AK4762
经营范围：一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备研发；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子产品销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
*公司简介
462中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
众恩芯科技（青岛）有限公司成立于2022年12月19日，公司注册资本为1000.00万元，系由股东杭州众硅电子科技有限公司和朱琳共同发起设立。
公司成立时，股权架构如下：
序号股东名称注册资本（万元）注册比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司990.0099.00
2朱琳10.001.00
合计1000.00100.00
截至评估基准日2025年12月31日，众恩芯科技（青岛）有限公司实收资本0.00万元，公司股权比例如下所示：
实收资本占总注册资本注册比例实收资本序号股东注册资本比例（万元）（%）（万元）
（%）
1杭州众硅电子科技有限公司990.0099.000.000.00
2朱琳10.001.000.000.00
合计1000.00100.000.000.00
*资产、财务及经营状况
截至评估基准日2025年12月31日，公司报表账面资产总额为0.07万元，负债为
0.20万元，净资产为-0.13万元。截至评估基准日，实现营业收入0.00万元，净利润-0.03万元。
3）众硅科技（香港）有限公司
公司类型：私人股份有限公司
公司地址：RM 1002 10/F EASEY COMM BLDG 253-261 HENNESSY RD WAN
CHAI HONG KONG
成立日期：2021年8月4日
*公司简介
众硅科技（香港）有限公司成立于2021年8月4日，公司注册资本为1.00万港元，系由股东杭州众硅电子科技有限公司发起设立。
公司成立时，股权架构如下：
463中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号股东名称注册资本（万港元）注册比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司1.00100.00
合计1.00100.00
截至评估基准日2025年12月31日，众硅科技（香港）有限公司实收资本1.00万港元，公司股权比例如下所示：
注册资本（万注册比例实收资本实收资本占总注册序号股东
港元）（%）（万港元）资本比例（%）杭州众硅电子科技有限
11.00100.001.00100.00
公司
合计1.00100.001.00100.00
*资产、财务及经营状况
截至评估基准日2025年12月31日，公司报表账面资产总额为0.00万元，负债为
0.00万元，净资产为0.00万元。截至评估基准日，实现营业收入0.00万元，净利润-0.62万元。
4）众进芯科技（福建）有限公司
公司类型：有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）
公司地址：福建省晋江市福兴东路罗山段3号
法定代表人：刘李
注册资本：1000万人民币
成立日期：2023年12月19日
统一社会信用代码：91350582MAD7GFQT8Q
经营范围：一般项目：技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、
技术转让、技术推广；机械设备研发；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子产品销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
*公司简介
众进芯科技（福建）有限公司成立于2023年12月19日，公司注册资本为1000.00
464中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）万元，系由股东杭州众硅电子科技有限公司发起设立。
公司成立时，股权架构如下：
序号股东名称注册资本（万元）注册比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司1000.00100.00
合计1000.00100.00
截至评估基准日2025年12月31日，众进芯科技（福建）有限公司实收资本0.00万元，公司股权比例如下所示：
注册资本注册比例实收资本实收资本占总注册资序号股东（万元）（%）（万元）本比例（%）
1杭州众硅电子科技有限公司990.0099.000.000.00
2刘李10.001.000.000.00
合计1000.00100.000.000.00
*资产、财务及经营状况
截至评估基准日2025年12月31日，该公司尚未建账，资产总额为0.00，净资产为0.00。
（3）评估方法
对于全资及控股子公司，对被投资单位评估基准日的整体情况进行了评估，本次评估范围内的被投资单位，成立时间较短，其中众硅电子科技（上海）有限公司处于前期筹备阶段，本次采用账面值确定评估值；众硅科技（香港）有限公司已全部实缴，但未实际运营，本次按0评估；众进芯科技（福建）有限公司和众恩芯科技（青岛）有限公司尚未实缴，本次采用账面值确定评估值。
（4）长期股权投资评估结果
按照上述方法，长期股权投资合计账面值5000000.00元，评估值5000000.00元，评估无增减值。
具体评估结果如下：
长期股权投资评估结论表
单位：元
465中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
协议序投资日持股比被投资单位名称投资账面价值评估价值
号期例（%）期限
1众硅电子科技（上海）有限公司2022/2长期100%5000000.005000000.00
2众恩芯科技（青岛）有限公司2022/12长期99%10521.88-
3众硅科技（香港）有限公司2021/8长期100%--
4众进芯科技（福建）有限公司2023/12长期99%--
合计5010521.885000000.00
减：长期股权投资减值准备10521.88-
净额5000000.005000000.00
3、固定资产-设备类资产
（1）评估范围纳入本次评估范围的设备类资产为杭州众硅电子科技有限公司截至评估基准日
2025年12月31日申报的全部设备，评估基准日的账面值情况如下：
单位：元账面价值科目名称原值净值
设备类合计27579823.0614378662.81
固定资产-机器设备23018061.9313593774.92
固定资产-车辆843690.26326869.95
固定资产-电子设备3718070.87458017.95
（2）设备概况
机器设备：主要设备涉及膜厚仪、CDA 设备等大型设备，截至评估基准日，设备维护保养正常，设备运行良好。
车辆：车辆为企业自用车辆，截至评估基准日，汽车日常维护保养正常，能正常行驶。
电子设备：电子设备主要为电脑等办公用设备。维护保养较好，均能正常使用。
（3）评估方法
根据本次评估目的，按照持续使用原则，以市场价格为依据，结合委估设备的特点和收集资料情况，主要采用市场法和重置成本法进行评估。
1）市场法
466中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
机器设备评估值＝市场价
2）重置成本法
*重置全价的确定
A.机器设备重置全价的确定
重置全价=设备购置价+运杂费+安装调试费+其它费用+资金成本-可抵扣税费
a.购置价
主要通过向设备生产厂家或销售公司询价或参照《2025机电产品报价手册》等价格资料，以及参考近期同类设备的合同价格确定。对少数未能查询到购置价的设备，采用同年代、同类别设备的价格变动率推算确定购置价。
根据《中华人民共和国增值税法》(2024年12月25日第十四届全国人民代表大会常务委员会第十三次会议通过)及《关于全国实施增值税转型改革若干问题的通知》（财税〔2008〕170号）的相关规定，以及“财税〔2016〕36号”文件和“财税〔2018〕32号”文件《关于调整增值税税率的通知》对于符合增值税抵扣条件的项目，计算出可抵扣的增值税。
b.运杂费
以含税购置价为基础，根据生产厂家与设备所在地间发生的装卸、运输、保管、保险及其他相关费用，按不同运杂费率计取，同时，根据相关文件规定抵扣率扣减应抵扣的增值税。购置价格中包含运输费用的不再计取运杂费。
c.安装调试费根据被评估设备辅助材料消耗、安装基础情况、安装的难易程度，参照《资产评估常用数据与参数手册》相关设备安装费率予以测算确认。对小型、无须安装的设备，不考虑安装工程费。
d.工程建设其他费参考国家有关政策和当地相关规定以及企业可行性研究报告以及竣工决算资料调整计取，主要包括建设单位管理费、工程监理费、环境评价费、可行性研究费、勘察设
467中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
计费、招投标代理费、联合试运转费等。
e.资金成本
资金成本为评估对象在合理建设工期（按整体工程考虑）内占用资金的筹资成本，计算公式如下：
资金成本＝（设备购置费＋运杂费＋安装工程费+其他费用）×合理建设工期×贷
款利率×1/2
贷款利率按照评估基准日执行的利率确定，资金在建设期内按均匀投入考虑。
B.运输车辆重置全价
根据当地汽车市场销售信息等近期车辆市场价格资料，确定运输车辆的现行含税购价，在此基础上根据《中华人民共和国车辆购置税法》规定计入车辆购置税、新车上户牌照手续费等，根据国家财政部、税务总局《关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》（财税[2016]36号），对于符合增值税抵扣条件的企业，其车辆重置全价为：
重置全价＝购置价+车辆购置税+牌照等杂费-可抵扣的增值税
a. 车辆购置价：根据车辆市场信息及《太平洋汽车网汽车报价库》，《易车网》等近期车辆市场价格资料，参照车辆所在地同类车型最新交易的市场价格确定本次评估车辆购置价格；对购置时间较长，现不能查到原型号规格的车辆购置价格时参考相类似、同排量车辆价格作为评估车辆购置价参考价格。
b. 车辆购置税：根据《中华人民共和国车辆购置税法》的有关规定：车辆购置税
应纳税额＝计税价格×10%。故：购置附加税＝购置价×10%。
c. 新车上户牌照手续费等：根据车辆所在地该类费用的内容及金额确定。
C.电子设备重置全价
评估范围内的电子设备价值量较小，不需要安装（或安装由销售商负责）以及运输费用较低，参照现行市场购置的价格确定。根据国家发布的税收优惠政策，企业购入的符合规定的固定资产所支付的增值进项税可以抵扣（包括进口设备进口环节增值税），本次项目根据国家税收优惠政策采用不含税价格确定购置价。
468中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
重置全价计算公式：
重置全价＝设备购置费（不含税）
*成新率的确定
A.机器设备及电子设备成新率：
按照设备的经济使用寿命、现场勘察情况预计设备尚可使用年限，并进而计算其成新率。其公式如下：
成新率＝尚可使用年限／经济使用年限×100%对价值量较小的一般设备则采用年限法确定其成新率。
B.车辆成新率对于运输车辆，根据《机动车强制报废标准规定》（商务部、发改委、公安部、环境保护部令2012年第12号）的有关规定和车辆的平均经济使用年限，按以下方法确定成新率后取其较小者为最终成新率，即：
使用年限成新率＝（1－已使用年限／规定或经济使用年限）×100%
行驶里程成新率＝（1－已行驶里程／规定行驶里程）×100%
成新率＝Min（使用年限成新率，行驶里程成新率）同时对待估车辆进行必要的勘察鉴定，若勘察鉴定结果与按上述方法确定的成新率相差较大，则进行适当的调整，若两者结果相当，则不进行调整。
3）评估值的确定
*机器设备、电子设备及车辆评估值
评估值＝重置全价×成新率
对生产年代久远，已无同类型号的电子设备及停产停售的车辆则参照近期二手市场行情确定评估值。
（4）评估结果
469中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
纳入本次评估范围的设备类资产评估结果详见下表：
单位：元
账面价值评估价值增值率（%）名称原值净值原值净值原值净值设备类合
27579823.0614378662.8124679800.0018727839.00-10.5230.25
计固定资产
-机器设23018061.9313593774.9222253800.0017359903.00-3.3227.70备固定资产
843690.26326869.95684100.00535283.00-18.9263.76
-车辆固定资产
-电子设3718070.87458017.951741900.00832653.00-53.1581.79备
4、使用权资产
使用权资产账面值为10396497.77元，为办公场所经营租赁产生的使用权资产，本次评估值以核实后账面值确认评估值。
使用权资产评估值为10396497.77元。
5、无形资产-其他
（1）评估范围
截至评估基准日，企业申报的账面记录的无形资产为20项外购软件，账面未记录的无形资产共353项。其中已注册中国境内商标共计68项，已注册中国境外商标共计
53项，注册中的商标3项，软件著作权8项，已获批准的中国境内专利权106项，其
中42项为发明专利、53项为实用新型专利、11项为外观设计专利，已获批准的中国境外专利权114项，其中89项为发明专利、23项为外观设计专利、2项为实用新型专利，域名1项。
（2）评估方法
1）专利及软件著作权
专利及软件著作权常用评估方法包括收益法、市场法和成本法。
市场法主要通过在活跃的专利及软件著作权市场或资本市场上选择相同或相似的
470中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
专利及软件著作权作为参照物，同时针对各种价值影响因素，如专利及软件著作权的功能进行类比，将被评估专利及软件著作权与参照物进行价格差异的比较调整，分析各项调整结果，从而确定专利及软件著作权的价值。使用市场法评估专利及软件著作权的必要前提包括：市场数据公开化程度较高；存在可比的专利技术；参照物的价值影响因素
明确且能够量化等。由于我国专利及软件著作权市场交易目前尚处初级阶段，类似专利及软件著作权的公平交易数据采集较为困难，市场法在本次评估应用中可操作性较差。
成本法通过分析重新开发出被评估专利及软件著作权所需花费的物化劳动来确定评估价值。企业合法取得专利及软件著作权过程中需支出的费用一般包括人工费用、调研咨询费、资产购置费、实验测试费、期间费用等，专利技术赋予企业的真实价值，与企业实际所支出费用之间通常对应关系较弱，故成本法评估通常适用于经营与收益之间不存在较稳定的对应关系，相应产品或服务价格市场性较弱的专利及软件著作权评估。
本次评估的专利及软件著作权是被评估单位多年研究、实验的成果，在本次评估过程中，被评估单位向评估人员提供了其历史成本投入情况，因此可以采用成本法进行评估。
收益法以被评估专利及软件著作权未来所能创造的收益现值来确定评估价值，对专利及软件著作权等无形资产而言，其价值主要来源于直接变卖该等无形资产的收益，或者通过使用该等无形资产为其产品或服务注入技术加成而实现的超额收益。本次评估，国外半导体设备行业经过多年发展，市场集中度高、盈利模式成熟且稳定，龙头企业已形成较为稳定的现金流。而鉴于中国大陆半导体设备尤其是 CMP（化学机械抛光设备）公司业务起步较晚，成熟度远低于国外，当前全球 CMP行业被美国应用材料、日本荏原主导，两者市占率8成以上。
在国外对半导体核心技术封锁的背景下，被评估单位成立时间不长，部分产品仍处于客户验证阶段。此外叠加近年来下游半导体行业周期性的影响，难以对公司在可预见年限内预测其收益与风险水平。因此，本次不适宜采用收益法评估。
专利及软件著作权成本主要由其研制中投入的物化劳动，如消耗的专项原辅材料等资源、占用的仪器、设备和场所以及设计服务等费用；及其投入的相关劳动费用，如研制开发人员的工资、劳务和福利费用等费用所构成。专利及软件著作权所占用的研发费用至少应达到同行业的平均收益率才能够体现其实用价值。专利及软件著作权因更新换代等因素被新的技术代替，将导致其技术的技术性贬值。
471中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
专利及软件著作权的评估模型为：
A=B×（1-Q）
A：专利及软件著作权评估值
B：研发费用与研发费用投资回报之和
Q：技术的贬值率
Q=技术已使用年限/（技术已使用年限+预计尚可使用时间）
2）商标
纳入本次评估范围内的账外无形资产商标权，申请注册相对简单，均对企业收入贡献不大，不直接产生收益故采用成本法评估。依据商标权无形资产形成过程中所需投入的各种成本费用的重置价值确认商标权价值，其基本公式如下：
P=C1+C2+C3
式中：P：评估值
C1：设计成本
C2：注册费用（包括注册代理费）及其他成本
C3：维护使用成本
3）域名
对于域名，本次纳入评估范围的域名并不包含客户／用户资源等作为获取收入的主要因素，网站建设还需要通过其他的系统／资源来支持，且本次评估仅考虑域名本身价值不考虑转让前运营建设投入、用户资源、网页设计投入，注册时的费用基本反映其价值，故对于申请注册的域名采用成本法进行评估。
经核实域名注册过程中的合理支出，按其合理支出确定评估值。其基本公式如下：
P=C1+C2
式中：
472中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
P：评估值
C1：注册域名 1年要花费的注册费用
C2：域名注册 1年后到终止日所花费的费用
4）外购软件
对于外购软件，通过向软件供应商询价或网络查询其现行不含税价格确定评估值。
（3）无形资产评估结果
评估范围内的无形资产账面值为290941.67元，评估值319053576.00元，评估增值318762634.33元，增值原因主要为账面未记录的软件著作权、专利及软件著作权对企业经营能够产生一定影响，具有使用价值，本次评估按照成本法测算其价值导致无形资产评估增值。
6、长期待摊费用
长期待摊费用账面价值为1948800.87元，主要为厂房装修及消防工程费用，按照基准日尚存在的剩余资产或权益作为评估值。
长期待摊费用评估价值为1948800.87元。
7、其他非流动资产
其他非流动资产账面值为30596712.33元，主要为大额存单及利息，以核实后账面值作为评估值。
其他非流动资产评估值30596712.33元。
8、负债
评估范围内的负债包括流动负债和非流动负债，流动负债包括短期借款、应付账款、合同负债、应付职工薪酬、应交税费、其他应付款、一年内到期的非流动负债和其他流
动负债；非流动负债为租赁负债、预计负债、递延收益和其他非流动负债，本次评估在经清查核实的账面值基础上进行。
（1）流动负债
473中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
1）短期借款
短期借款账面值为150119328.92元，主要为期限在1年以内的借款及计提的利息。
以核实无误后的账面价值确定为评估值。
短期借款评估值为150119328.92元。
2）应付账款
应付账款账面值46761407.50元，主要为应付的采购材料款。
以核查核实后的账面值作为评估值。
应付账款评估值为46761407.50元。
3）合同负债
合同负债账面值20374095.50元，主要为销售产品货款，以核查核实后账面值确定为评估值。
合同负债评估值20374095.50元。
4）应付职工薪酬
应付职工薪酬账面值14723543.72元，主要为应付职工工资等，按核实后的账面值确定为评估值。
应付职工薪酬评估值为14723543.72元。
5）应交税费
应交税费账面值为1026583.82元，主要为应交增值税、应交个人所得税等，按核实后的账面值确定为评估值。
应交税费评估值为1026583.82元。
6）其他应付款
其他应付款账面值为7118996.59元，主要为应付的差旅费等，按核实后的账面值确定为评估值。
474中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
其他应付款评估值为7118996.59元。
7）一年内到期的非流动负债
一年到期非流动负债账面值3352319.01元，为长期租赁核算的租赁负债一年内到期部分，以核查核实后的账面值作为评估值。
一年到期非流动负债评估值为3352319.01元。
8）其他流动负债
其他流动负债账面值为11902087.37元，主要为保证金等，以核实后的账面值确定为评估值。
其他流动负债评估值为11902087.37元。
（2）非流动负债
1）租赁负债
租赁负债账面值为6937956.23元，主要为办公场所经营租赁产生的租赁负债。
以核查核实后的账面值作为评估值。
租赁负债评估值为6937956.23元。
2）预计负债
预计负债账面价值1656770.47元，核算内容为质保金。
以核查核实后的账面值作为评估值。
预计负债评估值为1656770.47元。
3）递延收益
递延收益账面价值239654.85元，主要为专项资助、补助。
截至评估基准日时点，账面递延收益补助项目包括主要为博士后工作站，本次评估按照核实后账面值确认评估值。
递延收益评估价值为239654.85元。
475中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4）其他非流动负债
其他非流动负债账面值为3340000.00元，主要为政府补助等，以核实后的账面值确定为评估值。
其他非流动负债评估值为3340000.00元。
（三）资产基础法评估结论
采用资产基础法，截至评估基准日，资产账面价值104275.53万元，评估值
139641.94万元，评估增值35366.41万元，增值率33.92%。负债账面价值26755.27万元，评估值26755.27万元，无评估增减值。所有者权益账面价值77520.26万元，评估值112886.67万元，评估增值35366.41万元，增值率45.62%。详见下表：
单位：万元
项目账面价值评估价值增减值增值率%
流动资产98014.37101069.603055.233.12
非流动资产6261.1638572.3432311.18516.06
其中：长期股权投资500.00500.00--
投资性房地产---
固定资产1437.871872.78434.9230.25
在建工程---
无形资产29.0931905.3631876.26109562.39
其中：土地使用权---
其他非流动资产3059.673059.67--
资产总计104275.53139641.9435366.4133.92
流动负债25537.8425537.84--
非流动负债1217.441217.44--
负债总计26755.2726755.27--
净资产（所有者权益）77520.26112886.6735366.4145.62
评估结果与账面所有者权益比较增值35366.41万元，增值率45.62%，主要原因为存货、无形资产、固定资产增值，具体如下：
1、存货账面值为53898.75万元，评估值为56953.98万元，评估增值3055.23万元，增值率5.67%，增值主要原因是由于产品市场行情较好，发出商品评估值中考虑了部分利润所致。
2、无形资产账面值为29.09万元，评估值31905.36万元，评估增值31876.26万
476中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）元，增值率109562.39%，增值原因主要为账外的专利及软著等资产具有使用价值。
3、固定资产账面值为1437.87万元，评估值为1872.78万元，评估增值434.92万元，增值率30.25%，增值原因主要为：本次评估采用的经济使用年限和企业采用的会计折旧年限不同，故造成评估增值。
四、市场法评估情况
（一）市场法简介
1、概述
根据《资产评估执业准则—企业价值》，企业价值评估中的市场法，是指将被评估单位与可比上市公司或者可比交易案例进行比较，确定被评估单位价值的评估方法。
（1）市场法的应用前提
运用市场法评估股东全部权益价值需要满足如下基本前提条件：
1）要有一个充分发展、活跃的、公开的市场，在这个市场上成交价格基本上反映
市场买卖双方的行情，因此可以排除个别交易的偶然性。
2）在这个公开市场上要有可比的企业及其交易活动，且交易活动应能较好反映股
东全部权益价值的趋势。企业及其交易的可比性是指选择的可比企业及其交易活动是在近期公开市场上已经发生过的，且与被评估的目标企业及其即将发生的业务活动相似。
3）参照物与被评估单位的价值影响因素明确，可以量化，相关资料可以搜集。
（2）市场法选择的理由和依据市场法常用的两种具体方法是上市公司比较法和交易案例比较法。
上市公司比较法是指获取并分析可比上市公司的经营和财务数据，计算价值比率，在与被评估单位比较分析的基础上，确定评估对象价值的具体方法。
交易案例比较法是指获取并分析可比企业的买卖、收购及合并案例资料，计算价值比率，在与被评估单位比较分析的基础上，确定评估对象价值的具体方法。
被评估单位主营业务为高端化学机械平坦化抛光（CMP）设备的研发、制造和销
477中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）售。由于该行业具有一定技术壁垒，导致行业内同业公司相对较少且交易活跃度较低、交易案例数量有限，近年来公开披露的已完成或正在进行中的交易案例较少，交易细节及被并购企业的详细信息难以收集掌握，因此本次未采用交易案例比较法进行估算。
当前证券市场存在较多经营正常稳定、主营业务及产品与被评估单位相似的上市公司，故综合考量后，本次采用上市公司比较法进行估算。
2、评估思路
在充分了解并掌握被评估单位企业性质、业务类型、经营模式、发展阶段、企业规
模、财务状况等基本情况的基础上，按以下思路开展市场法评估：
（1）选择可比企业
搜集可比企业信息，通过比较分析筛选出适当数量的可比企业。本次采用上市公司比较法，筛选原则包括：属于同一行业，或者受相同经济因素影响；交易市场相同或可比；有一定时间的上市交易历史，并且近期股票价格没有异动；业务结构、经营模式等方面相近或相似等。
（2）计算价值比率
根据资本市场数据，对被评估单位与可比公司所处行业的价值影响因素（价值因子）进行线性回归分析，并结合行业及企业特点，选择相对合适的价值比率。
根据可比企业于评估基准日的市值（比准市值）及价值因子，计算可比企业价值比率。
（3）计算评估价值
根据被评估单位价值比率、价值因子，同时考虑价值比率数据口径，对非经营性资产（负债）、流动性因素进行调整，得出被评估单位股东全部权益价值。
3、评估模型
本次评估采用上市公司比较法，基本模型为：
E=EV+C-D-M
E：股东全部权益价值；
478中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
EV：企业价值；
C：现金等价物
D：付息债务
M：少数股东权益
其中：
EV=可比公司比准价值比率×被评估单价值因子
（二）市场法评估过程
1、选取可比企业
（1）可比企业的选择过程
被评估单位主营业务是抛光设备，根据证监会行业分类属于半导体设备。经WIND金融数据终端查询，半导体设备与材料行业的 A股上市公司共计 49家。本次评估以该行业上市公司作为可比公司筛选基础，首先剔除股价异动及 ST案例，其次剔除规模差异较大的公司，再次分析可比公司与标的业务的可比性，剔除如半导体材料等非半导体设备生产的上市公司，最后剔除近期存在并购重组等重大事项的上市公司。
经筛选后，对初步筛选的5家上市公司进一步核查其上市历史、近期股票价格异动情况、经营可比性及初步规模可比性，经核查，筛选剩余的近期股票价格没有异动、经营情况与被评估单位近似且规模与被评估单位相对可比。故将其作为本次市场法评估的可比公司。如下表：
可比上市公司一览表
单位：万元序号证券代码可比公司企业价值
1 688037.SH 芯源微 2980686.29
2 688729.SH 屹唐股份 7123919.35
3 688072.SH 拓荆科技 9413998.69
4 688082.SH 盛美上海 8041312.97
5 688120.SH 华海清科 5094730.39
企业价值 EV=区间日均总市值（区间日均总市值 2025-12-31前一周）+少数股东权益+付息债务
-现金及流动性金融资产
479中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（2）可比公司简介
可比上市公司主要产品及业务、主营产品名称以及近年主要财务情况如下：
1）公司简介
序可比证券代码主要产品及业务主营产品名称号公司
SAPS单片清洗设备、TEBO单片清洗设备、
半导体电镀设备、半导体清洗设备、槽式清主要从事半导体专用设备
洗设备、单片背面清洗设备、单片槽式组合的研发生产和销售主要产
盛美清洗设备、单片清洗设备、后道先进封装电
1 688082.SH 品包括半导体清洗设备半
上海镀设备、立式炉管设备、前道刷洗设备、前导体电镀设备和先进封装
道铜互连电镀设备、去胶设备、湿法刻蚀设
湿法设备等.备、涂胶设备、无应力抛光设备、先进封装
湿法设备、先进封装刷洗设备、显影设备
12 英寸 HTM PECVD设备 NF-300H、12英
寸 ALD设备 FT-300H、12 英寸 PEALD设
备 FT-300T、12英寸 PECVD 设备 PF-300T、
12 英寸 PECVD设备 PF-300T eX、12英寸
SACVD设备SA-300T、12英寸Thermal-ALD
主要产品为半导体薄膜沉 设备 FT-300T、8英寸 PECVD设备 PF-200T、
积设备包括 PECVD设 8英寸 SACVD设备 SA-200T、HDPCVD系拓荆 备ALD设备及 SACVD设 列产品、PE-ALD（等离子体增强原子层沉
2 688072.SH科技 备三个系列.主要从事高端 积）产品、PECVD 产品、SACVD 系列产品、
半导体专用设备的研发生 TFLITE、Thermal-ALD（热处理原子层沉积）
产销售和技术服务. 产品、UV Cure产品、超高深宽比沟槽填充
CVD系列产品、键合套准精度量测产品
（Bonding Metrology）、晶圆对晶圆键合（Wafer to Wafer Bonding）产品、芯片对晶圆键合表面预处理（Die to Wafer BondingPreparation and Activation）产品喷胶机、清洗机（集成电路制造后道先进封装）、清洗机（集成电路制造前道晶圆加工）、芯源半导体专用设备的研发生
3 688037.SH 去胶机、湿法刻蚀机、涂胶/显影机、涂胶/
微产和销售
显影机（集成电路制造后道先进封装）、
涂胶/显影机（集成电路制造前道晶圆加工）主营业务是集成电路制造
Helios系列快速热处理设备、过程中所需晶圆加工设备
HydrilisHMR 高选择比先进光刻硬掩模材
的研发生产和销售;主要产
屹唐 料去除设备、Millios闪光毫秒级退火设备、
4 688729.SH 品是为集成电路制造企业
股份 Novyka系列高选择比刻蚀和原子层级表面提供干法去胶设备快速热
处理设备、paradigmE系列等离子体刻蚀设处理设备干法刻蚀设备并
备、Suprema系列干法去胶设备提供备品备件及相关服务
480中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序可比证券代码主要产品及业务主营产品名称号公司
CMP设备，Universal-200、Universal-200Plus、主要从事半导体专用设备
Universal-300、Universal-300Dual、华海的研发生产销售及技术服
5 688120.SH Universal-300Plus、Universal-300T、清科务主要产品为化学机械抛
Universal-300X、Versatile-GP300、配套材料
光(CMP)设备.及技术服务
2）财务数据（单位：万元）
截至本次评估报告日，盛美上海已披露2025年年报，其余可比公司最新披露的财务数据为2025年三季报，具体如下：
* 芯源微（688037.SH）项目2023年12月31日2024年12月31日2025年9月30日
总资产430155.56559687.32625898.70
总负债191858.93277709.68342798.11
归母净资产238044.03269112.74270633.47
净资产238296.63281977.65283100.59
项目2023年度2024年度2025年1-9月收入171696.99175360.6099026.65
利润总额28243.1222506.25-2354.12
归母净利润25062.6220281.20-1004.92
净利润25015.2320142.63-2621.03
* 屹唐股份（688729.SH）项目2023年12月31日2024年12月31日2025年9月30日
总资产834107.59995291.531164136.61
总负债299793.34403819.21284976.44
归母净资产534314.25591472.32879160.17
净资产534314.25591472.32879160.17
项目2023年度2024年度2025年1-9月收入393142.70463297.78379634.30
利润总额26482.2951235.0251497.57
归母净利润30941.9354080.2151562.93
净利润30941.9354080.2151562.93
* 拓荆科技（688072.SH）项目2023年12月31日2024年12月31日2025年9月30日
总资产996934.531531416.611890718.79
481中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
总负债537770.241001509.581280462.68
归母净资产459386.04528015.44609713.86
净资产459164.29529907.03610256.11
项目2023年度2024年度2025年1-9月收入270497.40410345.39422010.94
利润总额72891.2667859.9253376.56
归母净利润66258.3868815.4755650.54
净利润66387.4568742.1953552.48
* 盛美上海（688082.SH）项目2023年12月31日2024年12月31日2025年12月31日
总资产975379.771212845.241889489.47
总负债329553.20446281.66542404.92
归母净资产645826.57766563.511346959.03
净资产645826.57766563.581347084.55项目2023年度2024年度2025年度
收入388834.27561774.04678617.02
利润总额96381.48130066.90145667.90
归母净利润91052.20115318.81139592.95
净利润91052.20115318.87139544.21
* 华海清科（688120.SH）项目2023年12月31日2024年12月31日2025年9月30日
总资产911735.961175082.161251333.35
总负债359962.37527051.15531117.70
归母净资产551773.60647307.33720215.66
净资产551773.60648031.01720215.66
项目2023年度2024年度2025年1-9月收入250799.11340622.86319379.55
利润总额78983.47111828.8086879.78
归母净利润72374.66102340.7979142.28
净利润72374.66102340.7979142.28
2、计算价值比率
（1）选择价值比率价值比率是指以价值或价格作为分子，以与其密切相关的指标（财务数据或非财务指标）作为分母的比率。价值比率通常包括盈利比率、资产比率、收入比率和其他特定比率。
482中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
常用的价值比率包括：市净率（P/B），指股权价值与净资产的比值。该指标在一定程度上反映了企业既往的投资规模、资本积累与估值的相关性，对于资产量较大的企业，该指标更为适用；市盈率（P/E），指每股市价与每股盈利的比值。一般较适用于盈利相对稳定、周期性较弱的行业；市销率（EV/S）是企业价值与营业收入的比。该比率适用于投资者更注重收入的行业以及部分新兴的行业。
为进一步判断不同价值比率对被评估单位所属行业的适用性，我们对该行业上市公司（不包含 ST股票、北交所上市股票及 B股）市价与净利润、净资产、营业收入、息
税折旧摊销前利润之间的相关性进行回归分析。回归分析结果如下表所示：
线性回归分析结果表
因变量 P EV
自变量 B E S S EBITDA
相关系数0.66190.71340.96330.94380.2854
拟合优度 R2 0.4381 0.5090 0.9279 0.8908 0.0815观测值55555
价值比率 P/B P/E P/S EV/S EV/EBITDA
由上表可知，自变量 S与因变量企业价值 EV以及市值的相关系数较高，拟合优度较高。
同时根据杭州众硅目前经营现状，公司在基准日时点处于亏损状态，因此无法采用盈利价值比率，且由于公司属于轻资产企业，采用资产指标难以衡量企业真实价值。
随着近几年的发展，标的公司营业收入已初具规模，部分细分领域市场份额已形成竞争优势。考虑到我国半导体行业整体发展尚处于追赶状态，营业收入更能反映企业在行业内的影响力，也更能体现企业价值。
被评估单位属于 CMP设备设计生产行业，企业价值指标（EV）属于整体价值，不仅仅包括股权价值，还包括债权价值，能充分反映企业经营性核心资产的价值。此外，考虑到本次选取的可比上市公司以及被评估单位资产负债率差异较大，P/S指标难以衡量不同债务结构对估值的影响。因此，本次评估采用企业价值与营业收入比率（EV/S），有助于分析标的公司价值基础的稳定性和可靠性，又能合理反应标的公司的市场价值。
综上，本次评估采用 EV/S作为价值比率。
（2）计算价值比率
483中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
可比公司的企业价值如下表所示：
单位：万元序号证券代码可比标的简称企业价值
1 688037.SH 芯源微 2980686.29
2 688729.SH 屹唐股份 7123919.35
4 688072.SH 拓荆科技 9413998.69
5 688082.SH 盛美上海 8041312.97
6 688120.SH 华海清科 5094730.39
1）流动性折扣及控制权溢价
本次评估，评估人员采用非上市公司并购市盈率与上市公司市盈率对比方式估算流动性折扣率，根据产权交易所、Wind资讯、CVSource发布的《非上市公司并购市盈率与上市公司市盈率比较计算非流动性折扣比率表（2025）》中计算机、通信和电子设备
制造业相关数据，本次评估流动性折扣率为30.76%。
控制权溢价系利用Wind资讯、CVSource数据库和产权交易所网站发布的数据，分析对比少数股权交易并购案例市盈率和控股权交易并购案例市盈率，本次评估选取的控制权溢价为14.60%。
2）差异修正
*差异评价
对比分析被评估单位与可比公司在业务结构、企业规模、企业生命周期、成长能力、
财务风险、盈利能力、营运能力等方面存在的差异，进行差异评价与调整。
A.业务结构评价
被评估单位与可比公司同属于半导体设备制造行业，主营业务均为半导体设备产品设计生产，其业务结构相同，因此评价分均为100分。
B.生命周期评价
企业的生命周期主要分为四个阶段：初创期、成长期、成熟期和衰退期，由于初创期企业处于争得占有率的地位，存在较大的风险，成长期企业处于保持地位、保持占有率的阶段，成熟期企业处于稳定阶段，衰退期企业处于耗用潜力逐步退出阶段。
484中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
被评估单位杭州众硅已完成从技术研发到产品验证的跨越，正处于规模化量产与市场扩张的关键转折点，这是半导体设备企业成长的核心阶段，也是亏损幅度最大但未来增长潜力最强的时期。故本次定义杭州众硅的企业阶段为成长期向成熟期过渡，考虑生命周期评价分为98分。
本次可比公司核心产品全球、国内市场份额领先，持续稳定盈利，经营现金流正向，客户覆盖全球头部晶圆厂，平台化布局或多产品线协同效应显现，因此生命周期评价分均为最高分100分。
C.企业规模评价
经相关性分析，半导体设备行业可比公司的企业规模与 EV/S无必然联系，故未对企业规模进行修正。
D.盈利能力评价
根据被评估单位与可比公司盈利能力指标水平，参考评价标准，判断其所属等级，以该等级分值作为评价分。盈利能力评价结果如下表：
盈利能力评价表序号公司简称销售净利率评价分净资产收益率评价分
标的杭州众硅-37.89%96-12.29%96
1芯源微-2.65%96-0.50%96
2屹唐股份13.58%989.35%98
3拓荆科技12.69%9813.04%99
4盛美上海24.59%10016.12%100
5华海清科24.78%10015.43%99
E.营运能力评价
根据被评估单位与可比公司的营运能力指标水平，参考评价标准，判断其所属等级，以该等级分值作为评价分。企业规模评估结果如下表：
营运能力评价表序号公司简称流动资产周转率评价分总资产周转率评价分
标的杭州众硅0.27960.2596
1芯源微0.22960.1796
2屹唐股份0.491000.35100
3拓荆科技0.30960.2596
485中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号公司简称流动资产周转率评价分总资产周转率评价分
4盛美上海0.41990.34100
5华海清科0.35980.2697
F.财务风险评价
根据被评估单位与可比公司的财务风险指标水平，参考评价标准，判断其所属等级，以该等级分值作为评价分。财务风险评价结果如下表：
财务风险评价表序号公司简称流动比率评价分速动比率评价分
标的杭州众硅3.75991.6598
1芯源微1.80960.8596
2屹唐股份4.571002.5499
3拓荆科技1.53960.7596
4盛美上海4.21992.94100
5华海清科2.19961.2797
G.成长性评价
根据被评估单位与可比公司成长性具体指标水平，参考评价标准表，判断其所属等级，以该等级分值作为评价分。成长性评价结果如下表：
成长性评价表序号公司简称净利润增长率评价分营业收入增长率评价分
标的杭州众硅39.72%98361.59%100
1芯源微-124.96%96-10.35%96
2屹唐股份22.73%9714.01%96
3拓荆科技106.04%10085.27%99
4盛美上海66.93%9929.42%97
5华海清科9.81%9630.28%98
*差异调整系数
根据上述评价标准及打分规则，对可比公司与被评估单位就业务结构、企业规模、企业生命周期、成长能力、盈利能力进行打分。将被评估单位差异因素分值分别除以可比公司分值，得到各因素调整系数，并将各因素的调整系数相乘即得到各可比公司调整系数，如下表所示：
差异调整系数
486中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序企业生命周企业规盈利能营运能财务风成长差异调整系公司简称号期模力力险性数
1芯源微0.981.001.001.001.031.031.04
2屹唐股份0.981.000.980.960.991.030.94
3拓荆科技0.981.000.971.001.031.000.98
4盛美上海0.981.000.960.960.991.010.91
5华海清科0.981.000.960.981.021.020.97
3）市值调整
根据可比公司市值，考虑流动性折扣调整，扣除现金及流动性金融资产、加回付息债务及少数股东权益，得到调整后企业价值。
487中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
可比公司调整后企业价值
单位：万元流动性及控制序少数股权现金及流动
可比公司 市值 权溢价 调整后市值 付息债务 EV 财务修正 调整后 EV号调整性金融资产调整系数
1芯源微2962409.050.79352350643.1412467.12149121.84143311.722368920.391.042456570.44
2屹唐股份7395796.310.79355868493.37-104469.94376346.895596616.420.945238432.97
3拓荆科技9618899.210.79357632504.18542.25356892.04562334.807427603.660.987241913.57
4盛美上海8589187.750.79356815438.02132.72175513.46723520.956267563.240.915690947.42
5华海清科5467872.370.79354338704.24-41953.98415095.973965562.260.973846595.39
488中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
4）计算价值比率
截至本次评估报告日，采用2025年已公告的业绩快报或年度报告2025年收入金额。
综上，根据可比公司的市值以及价值因子计算得出各可比公司的价值比率，如下表所示：
可比公司价值比率
单位：万元
企业价值 EV(万 业绩快报/审计
序 计算可比 EV/S 收入取值可比公司证券代码元）报告号来源
A B C=A/B
1 芯源微 688037.SH 2456570.44 194848.83 12.61 业绩快报
2 屹唐股份 688729.SH 5238432.97 507631.79 10.32 业绩快报
3 拓荆科技 688072.SH 7241913.57 651909.49 11.11 业绩快报
4 盛美上海 688082.SH 5690947.42 678617.02 8.39 年度报告
5 华海清科 688120.SH 3846595.39 464822.77 8.28 业绩快报
3、计算评估价值
（1）可比公司比准价值
根据财务报表，被评估单位2025年度总收入为24411.88万元，依照下列公式计算得出各可比公司比准价值，作为被评估单位经营性资产价值计算依据。
P=∑（可比公司比准价值比率×被评估单位价值因子）可比公司数量可比公司比准价值
单位：万元
序号 可比公司 比准 EV/S 比准价值
1芯源微12.61307784.97
2屹唐股份10.32251906.18
3拓荆科技11.11271191.56
4盛美上海8.39204718.02
5华海清科8.28202008.30
均值247521.81据此，可得到被评估单位企业整体价值 EV为 247521.81万元。
（2）现金及现金等价物
评估基准日，标的公司账面现金等价物包括货币资金12495.00万元，交易性金融
489中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
资产5136.06万元，合计17631.06万元。
（3）付息债务
根据财务报表，被评估单位于基准日的付息债务主要包括短期借款，合计金额为
15011.93万元。
（4）少数股东权益价值
评估单位基准日少数股东权益占股东权益比重极低，本次评估未考虑少数股东权益价值。
（5）股东全部权益价值
根据公式：E=EV+C-D-M
=247521.81+17631.06-15011.93
=250140.00（万元，取整）即，被评估单位归属于母公司股东权益的评估值为250140.00万元。
（三）市场法评估结论
采用市场法估值，合并报表口径下，杭州众硅电子科技有限公司在评估基准2025年12月31日归属于母公司股东权益账面值75280.39万元，评估值250140.00万元，评估增值174859.61万元，增值率232.28%。
被评估单位在行业中技术领先，具有技术密集、高技能人才密集的特点，市场法评估中结合评估对象行业发展、收入类型、市场需求等因素变化对未来获利能力的影响，评估结果包含了资源优势、技术优势、管理优势等账外的无形资源，故导致评估结果增值。
五、评估或估值基准日至交易报告书签署日的重要变化事项及其对评估或估值结果的影响
评估基准日至本报告书签署日，标的公司内、外部环境未发生重大变化，生产经营情况稳定，未发生对交易作价产生重大影响的事项。
490中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
六、董事会对本次交易标的评估合理性及定价公允性分析
（一）董事会关于评估机构的独立性、评估假设前提的合理性、评估方法与评估目的的相关性以及评估定价的公允性的意见上市公司聘请了中联评估作为本次交易的资产评估机构，上市公司董事会根据《上市公司重大资产重组管理办法》等法律、法规及规范性文件的相关规定，就评估机构的独立性、评估假设前提的合理性、评估方法与评估目的的相关性以及评估定价的公允性
发表如下意见：
1、评估机构具备独立性
中联评估具有证券、期货相关资产评估业务资格，评估机构及其本次交易经办评估师与公司、交易对方、标的公司之间除正常的业务往来关系以外，不存在其他关联关系，具有充分的独立性。
2、评估假设前提具备合理性
本次评估的假设前提均符合国家有关适用法律、法规和规范性文件的有关规定，并遵循了市场通用惯例与准则，符合评估对象的实际情况，未发现与评估假设前提相悖的事实存在，评估假设前提具有合理性。
3、评估方法与评估目的的相关性
本次评估的目的是确定标的资产于评估基准日的市场价值，为本次交易标的资产的定价提供价值参考依据。评估机构采用了资产基础法和市场法对标的资产价值进行了评估，并最终选用市场法得到的评估值作为本次评估结果。本次资产评估工作按照国家有关法律、法规和规范性文件及行业规范的要求，遵循独立、客观、公正、科学的原则，按照公认的资产评估方法，实施了必要的评估程序，对标的资产在评估基准日的市场价值进行了评估，所选用的评估方法合理，评估方法与评估目的具有相关性。
4、评估定价的公允性
本次评估目的是为上市公司本次交易提供合理的作价依据，评估机构实际评估的资产范围与委托评估的资产范围一致；评估机构在评估过程中实施了相应的评估程序，遵
491中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
循了独立性、客观性、科学性、公正性等原则，运用了合规且符合标的资产实际情况的评估方法，选用的参照数据、资料可靠。资产评估价值公允、准确，评估方法选用恰当，评估结论合理，评估方法与评估目的相关性一致。
本次交易的最终价格以标的资产的评估价值结果为基础并经交易各方协商确定，标的资产定价公允，不会损害上市公司及中小股东利益。
综上，上市公司董事会认为，上市公司就本次交易聘请的评估机构具有独立性，评估假设前提具有合理性，评估方法与评估目的具有相关性，评估机构出具的评估报告的评估结论合理，评估定价具有公允性。
（二）评估依据的合理性
本次资产评估使用到的评估方法、评估参数、评估数据等均来自法律法规、评估准
则、评估证据及合法合规的参考资料等，评估依据具备合理性。
（三）交易标的后续经营过程中政策、宏观环境、技术、行业、税收优惠等方面的变化趋势及应对措施及其对评估的影响
截至本报告书签署日，标的公司经营中所需遵循有关法律法规及政策、国家宏观经济形势无重大变化，本次交易各方所处地区的政治、经济和社会环境无重大变化，无其他不可预测和不可抗力因素造成的重大不利影响；行业存续发展的情况不会产生较大变化，被评估单位在评估基准日后持续经营，不会对评估值造成影响。在可预见的未来发展时期，标的公司后续经营过程中相关政策、宏观环境、技术、行业、税收优惠等方面不存在重大不利变化。
（四）拟置入资产评估结果对关键指标的敏感性分析
在市场法评估模型中，可比公司评估基准日交易均价及缺乏流动性折扣率对市场法评估结果有较大的影响，故对可比公司评估基准日交易均价及缺乏流动性折扣率进行了敏感性分析，结果如下：
1、可比公司评估基准日均价变动的敏感性分析
以当前各可比公司评估基准日交易均价为基准，假设其他测算参数均保持不变，可
492中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）比公司评估基准日交易均价变动对市场法评估值的敏感性分析如下（假设各可比公司评估基准日交易均价均变动幅度一致）：
单位：万元股价变动率变动后评估值评估值变动率评估值变动金额
-3.00%242390.00-3.10%-7750.00
-2.00%244970.00-2.07%-5170.00
-1.00%247560.00-1.03%-2580.00
0.00%250140.000.00%-
1.00%252730.001.03%2590.00
2.00%255310.002.06%5170.00
3.00%257890.003.10%7750.00
2、缺乏流动性折扣率变动的敏感性分析
以当前缺乏流动性折扣率为基准，假设其他测算参数均保持不变，缺乏流动性折扣率变动对市场法评估值的敏感性分析如下：
单位：万元流动性折扣变动率变动后评估值评估值变动率评估值变动金额
降低3.00%261340.004.47%11200.00
降低2.00%257600.002.98%7460.00
降低1.00%253870.001.49%3730.00
0.00%250140.000.00%-
提高1.00%246410.00-1.49%-3730.00
提高2.00%242680.00-2.98%-7460.00
提高3.00%238950.00-4.47%-11190.00
上述敏感性分析计算仅为揭示评估参数估计的不确定性对评估值的影响，以及说明评估结论存在的不确定性，但并不影响评估师基于已掌握的信息资料对相关评估参数作出的估计判断，也不影响评估结论的成立。
（五）标的公司与上市公司现有业务的协同效应及其对未来上市公司业绩的影响
按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，上市公司与标的公司所处行业同属于“专用设备制造业”中的“半导体器件专用设备制造”（代码：C3562），双方在产品体系、客户资源、技术开发、供应链等方面均有显著的协同效应。具体详见本报告
493中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
书“第一节本次交易概况”之“一、本次交易的背景、目的及协同效应”之“（三）本次交易标的公司的科创属性，与上市公司主营业务的协同效应”。
由于上述协同效应对业务发展的影响难以量化分析，从谨慎性原则出发，本次交易评估定价仅针对标的公司自身的经营情况作出，未考虑协同效应因素。
（六）定价公允性分析
1、本次交易定价以评估值为基础，经充分市场博弈确定本次交易拟购买资产为杭州众硅64.69%股权。根据中联评估出具的《资产评估报告》，评估机构采用资产基础法和市场法两种评估方法对杭州众硅股东全部权益价值进行评估，最终选取市场法评估结果作为评估结论。截至评估基准日2025年12月31日，合并报表口径下，杭州众硅在评估基准日股东全部权益账面值75280.39万元，评估值
250140.00万元，评估增值174859.61万元，增值率232.28%。基于上述评估结果，经
上市公司与交易对方充分协商，本次交易标的资产的最终交易价格为157604.91万元。
本次交易最终交易定价以评估机构出具的评估值为参考，并经上市公司与交易对方基于标的公司历史业绩、未来发展战略与规划、行业发展趋势等多项因素综合协商确定，定价过程经过了充分市场博弈，交易定价合理、公允，未损害中小投资者利益。
2、可比上市公司分析
单位：万元
证券代码 证券简称 PS PB
688037.SH 芯源微 15.20 10.95
688729.SH 屹唐股份 14.57 8.41
688072.SH 拓荆科技 14.75 15.78
688082.SH 盛美上海 12.66 6.47
688120.SH 华海清科 11.76 7.59
平均值13.799.84
中位数14.578.41
本次交易9.983.24综上，截至评估基准日，可比上市公司 P/S价值比率的平均值为 13.79倍，中位数为 14.57倍，本次交易标的公司对应的 P/S价值比率为 9.98倍，P/B为 3.24倍，本次交易标的公司对应的 P/S、P/B低于可比上市公司。因此，本次交易作价合理，保护了上
494中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
市公司全体股东的合法权益。
综上所述，本次评估标的资产股东全部权益价值评估结果客观反映了标的公司股权的市场价值，本次交易定价具有合理性。
（七）基准日至交易报告书签署日的重要变化情况评估基准日至交易报告书签署日标的资产未发生对估值及交易作价有影响的重要变化事项。
（八）交易定价与评估值结果不存在较大差异
本次交易标的资产交易价格以符合《证券法》相关规定的评估机构出具的资产评估
报告确认的评估值为依据，由交易各方协商确认，交易定价与评估值结果之间不存在较大差异。
七、独立董事对本次交易评估事项的意见
上市公司聘请了中联评估作为本次交易的资产评估机构，对标的公司进行了评估并出具了相应的资产评估报告。作为公司的独立董事，基于独立、审慎、客观的立场，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司重大资产重组管理办法》等法律法规及《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》等相关规定，对本次交易评估机构的独立性、评估假设前提的合理性、评估方法与评估目的的相关性以及评估定价的公允性进行了审查，现发表如下独立意见：
（一）评估机构具备独立性
中联评估具有证券、期货相关资产评估业务资格，评估机构及其本次交易经办评估师与公司、交易对方、标的公司之间除正常的业务往来关系以外，不存在其他关联关系，具有充分的独立性。
（二）评估假设前提具备合理性
本次评估的假设前提均符合国家有关适用法律、法规和规范性文件的有关规定，并遵循了市场通用惯例与准则，符合评估对象的实际情况，未发现与评估假设前提相悖的
495中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
事实存在，评估假设前提具有合理性。
（三）评估方法与评估目的的相关性
本次评估的目的是确定标的资产于评估基准日的市场价值，为本次交易标的资产的定价提供价值参考依据。评估机构采用了资产基础法和市场法对标的资产价值进行了评估，并最终选用市场法得到的评估值作为本次评估结果。本次资产评估工作按照国家有关法律、法规和规范性文件及行业规范的要求，遵循独立、客观、公正、科学的原则，按照公认的资产评估方法，实施了必要的评估程序，对标的资产在评估基准日的市场价值进行了评估，所选用的评估方法合理，评估方法与评估目的具有相关性。
（四）评估定价的公允性
本次评估目的是为上市公司本次交易提供合理的作价依据，评估机构实际评估的资产范围与委托评估的资产范围一致；评估机构在评估过程中实施了相应的评估程序，遵循了独立性、客观性、科学性、公正性等原则，运用了合规且符合标的资产实际情况的评估方法，选用的参照数据、资料可靠。资产评估价值公允、准确，评估方法选用恰当，评估结论合理，评估方法与评估目的相关性一致。
本次交易的最终价格以标的资产的评估价值结果为基础并经交易各方协商确定，标的资产定价公允，不会损害上市公司及中小股东利益。
综上，上市公司独立董事认为：上市公司就本次交易聘请的评估机构具有独立性，评估假设前提具有合理性，评估方法与评估目的具有相关性，评估机构出具的评估报告的评估结论合理，评估定价具有公允性。
496中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第六节本次交易发行股份的情况本次交易涉及的上市公司发行股份包括发行股份购买资产和发行股份募集配套资金两部分。
一、发行股份及支付现金购买资产
（一）发行股份的种类、面值及上市地点
本次交易中购买资产所涉及发行的股份种类为人民币普通股（A股），每股面值为人民币1.00元，上市地点为上交所。
（二）发行对象与认购方式
本次发行股份购买资产的发行对象为杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众
硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方，发行对象将以其持有的标的公司的股权认购本次发行的股份。
（三）发行股份的定价依据、定价基准日及发行价格本次发行股份及支付现金购买资产的定价基准日为上市公司第三届董事会第八次会议决议公告日。
根据《重组管理办法》相关规定，上市公司发行股份的价格不得低于市场参考价的
80%；市场参考价为定价基准日前20个交易日、60个交易日或者120个交易日的公司
股票交易均价之一。定价基准日前若干个交易日公司股票交易均价＝决议公告日前若干个交易日公司股票交易总额/决议公告日前若干个交易日公司股票交易总量。
本次发行股份及支付现金购买资产的定价基准日前20个交易日、60个交易日和120
个交易日的公司股票交易均价如下：
交易均价计算类型交易均价（元/股）交易均价的80%（元/股）
定价基准日前20个交易日270.95216.77
定价基准日前60个交易日283.25226.60
定价基准日前120个交易日250.73200.59
注：“交易均价的80%”保留两位小数并向上取整。
497中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
经交易各方友好协商，本次发行价格为216.77元/股，不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价的80%。
在定价基准日至发行日期间，上市公司如有派息、送股、资本公积转增股本、配股等除权、除息事项，本次发行价格将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
（四）发行股份数量
本次发行股份购买资产的股份发行股份数量为7028000股，计算方式为：向各交易对方发行股份数量=以发行股份形式向各交易对方支付的交易对价/本次发行价格，发行股份总数量=向各交易对方发行股份的数量之和。按前述公式计算的向交易对方发行的股份数量不为整数时，则向下取整精确至个股，不足一股的部分由交易对方自愿放弃。
具体如下：
序号交易对方股份对价金额（万元）发股数量（股）
1杭州众芯硅13584.94626698
2宁容海川2637.06121652
3临安众芯硅1553.8671682
4临安众硅1344.7362034
5杭州芯匠823.4837988
6杭州众诚芯402.5718571
7朱琳140.386476
8台州金石投资18721.97863679
9扬州朗智11405.09526138
10国孚领航11404.48526109
11杭州富浙10991.78507071
12浙江富浙10991.78507071
13深圳达晨9014.27415845
14杭州达晨5408.56249507
15安徽丰禾5183.01239101
16宁波蓝郡4397.59202868
17小满投资2680.89123674
18宁波领芯2370.80109369
19蔡刚波1512.2769763
20长兴青鸟2594.70119698
498中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号交易对方股份对价金额（万元）发股数量（股）
21王敏文2352.40108520
22张久海2340.66107979
23青岛东证3108.82143415
24石溪投资2073.2195640
25江苏毅达2591.51119550
26朗玛六十三号2223.34102566
27江苏中小基金1689.2077925
28朱力昂1540.8271080
29杭州北峰2129.2298224
30温润贰号2170.01100106
31中信投资2077.1595822
32江苏疌泉1430.4465989
33朗玛五十九号1667.5176925
34毅达鼎祺1672.1177137
35朗玛六十号1667.5176925
36嘉兴邦拓1114.7451425
37毅达太湖844.6038962
38宁波毅达844.6038962
39达晨财智1030.2047525
40杰正投资586.6327062
41温润安享27.471267
合计152346.387028000
在定价基准日至发行完成期间，若上市公司发生派息、送股、配股、增发或资本公积转增股本等除权、除息事项的，则上述发行数量将根据中国证监会及上交所的相关规定进行相应调整。
（五）锁定期安排
（1）业绩承诺方的股份锁定期安排
杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳7
名业绩承诺方承诺：
499中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）“1）本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。
2）同时，鉴于本人/本企业作为业绩承诺人拟与中微公司签订《业绩承诺和补偿协议》，本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份在满足上述锁定期承诺的前提下，还应根据《业绩承诺和补偿协议》的约定，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁，具体解锁方式以本企业签订的《业绩承诺和补偿协议》约定为准。”
（2）持有标的资产超过48个月的私募投资基金的股份锁定期安排
私募投资基金小满投资、江苏中小基金、江苏疌泉、毅达太湖、宁波毅达5名交易
对方承诺：
“鉴于本企业系于中国证券投资基金业协会备案的私募投资基金，且本企业对用于认购中微公司股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间已满48个月，且不存在《上市公司重大资产重组管理办法》第四十七条第一款第（一）项、第（二）项情形，本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起6个月内不得上市交易或转让。”
（3）持有标的资产可能未满12个月的交易对方的股份锁定期安排
扬州朗智、国孚领航、蔡刚波3名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。若本企业因本次交易取得中微公司股份时，对本企业用于认购股份的众硅公司股权持续拥有权益的时间不足
12个月，则本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份于证券登记结算机构登记至本企业名下之日起36个月内不得上市交易或转让。”
（4）其他交易对方的股份锁定期安排
其他26名交易对方承诺：
“本人/本企业承诺因本次交易取得的中微公司股份自该等股份于证券登记结算机构登记至本人/本企业名下之日起12个月内不得上市交易或转让。”
（六）标的公司过渡期间损益归属
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标的公司在过渡期因任何原因产生的盈利和亏损均由交割日后标的公司股东按届时所持标的公司的股权比例享有和承担。
（七）业绩承诺与补偿安排
（1）业绩承诺
根据业绩承诺方与上市公司已签署的《业绩承诺和补偿协议》，本次交易中业绩承诺方杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳承
诺：标的公司在2026年度、2027年度和2028年度实现的合并报表范围营业收入分别
不低于28000.00万元、43000.00万元和58000.00万元，以每年度经上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所出具的《专项审核报告》为准。
（2）业绩补偿安排
1）未达承诺业绩的补偿
业绩承诺人承诺，根据每年的《专项审核报告》所确认的结果，如业绩承诺期每个会计年度结束后，截至当期期末，标的公司累计实现收入数小于截至当期期末累计承诺收入数的，业绩承诺人应按下列方式对上市公司进行补偿：当期应补偿金额=（截至当期期末累计承诺收入数－截至当期期末累计实现收入数）÷业绩承诺期内各年的承诺收
入数总和×业绩承诺人取得的全部交易对价－累计已补偿金额（如有）上述业绩承诺人取得的全部交易对价包括以股份和现金形式获得的交易对价。
根据上述公式计算得到的当期应补偿金额小于0的，则当期不进行业绩补偿。
业绩承诺人因某年度未达到承诺业绩而履行了补偿义务后，若后续会计年度标的公司达到或超过承诺业绩，上市公司不因此退还业绩承诺人已补偿的股份或现金。
2）股份补偿及现金补偿
业绩承诺人优先以其在本次交易中获得的上市公司股份进行补偿，不足部分以现金补偿。当期应补偿股份数量=当期应补偿金额÷本次发行股份购买资产的发行价格若根据上述公式计算的应补偿股份数量非为整数，则应向下取整；因向下取整导致实际补偿金额不足当期应补偿金额的，由业绩承诺人以现金补偿。
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若上市公司在业绩承诺期内实施送股、资本公积金转增股本、配股等事项，则补偿股份数量相应调整：按前述公式计算的应补偿股份数量×（1+送股或转增比例）。
若上市公司在业绩承诺期内实施现金分红，业绩承诺人对应补偿股份数量在补偿前所获得的现金分红部分，应返还给上市公司。返还金额的计算公式为：应返还金额=每股已分配现金股利（以税后金额为准）×当期应补偿股份数量。
上市公司应以总价款人民币1元的价格对业绩承诺人合计应补偿股份予以回购并注销。
如作出股份补偿时因本次交易而获得的股份不足以按照上述约定进行补偿的，业绩承诺人另需用现金再进行补偿，计算公式如下：当期现金补偿金额=当期应补偿金额-业绩承诺人当期已补偿股份数量×本次发行价格
3）各方确认，各方应分别依照相关法律的规定缴纳各自因履行本协议项下义务所应缴纳的税金。
二、发行股份募集配套资金的具体方案
（一）发行股份的种类、面值及上市地点
本次交易中，上市公司拟向特定对象发行股票募集配套资金的股票发行种类为人民币普通股（A股），每股面值为 1.00元，上市地点为上交所。
（二）发行方式和发行对象上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股票募集配套资金。
（三）发行股份的定价方式和价格
本次交易中，上市公司向特定对象发行股票募集配套资金的定价基准日为向特定对象发行股票发行期首日，股票发行价格不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价的80%。
本次向特定对象发行股份募集配套资金采取竞价发行方式，具体发行价格将在本次发行股份募集配套资金经上交所审核通过并经中国证监会同意注册后，由上市公司董事
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会根据股东会授权，按照相关法律、行政法规及规范性文件的规定，并根据发行对象申购报价的情况，与本次发行的独立财务顾问（主承销商）协商确定。
在定价基准日至发行日期间，上市公司如有派息、送股、资本公积转增股本、配股等除权、除息事项，本次发行价格将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
（四）发行规模及发行数量
本次募集配套资金总额不超过150000.00万元，不超过本次拟以发行股份方式购买资产的交易价格的100%，发行股份数量不超过本次发行股份及支付现金购买资产后上市公司总股本的30%。
本次募集配套资金发行股份数量=本次募集配套资金总额÷本次募集配套资金的股份发行价格。若发行数量计算结果不足一股，则尾数舍去取整。最终发行股份数量及价格将由公司董事会在取得上交所审核通过并经中国证监会同意注册的募集配套资金方案基础上根据实际情况确定。
在定价基准日至发行日期间，若上市公司发生派息、送股、转增股本、配股等除权、除息事项，则本次募集配套资金的股份发行数量将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
（五）锁定期安排
本次配套募集资金的认购方所认购的上市公司股份，自该等股份发行结束之日起6个月内不得转让。上述锁定期内，配套募集资金认购方由于上市公司送股、转增股本等原因增持的上市公司股份，同时遵照上述锁定期进行锁定。
如前述锁定期的安排与监管机构的最新监管要求不相符，将根据监管机构的最新监管意见进行相应调整。
（六）募集配套资金用途
1、募集配套资金具体用途
本次募集配套资金拟用于标的公司募投项目建设、支付现金对价及中介机构费用、补充流动资金。其中，用于补充流动资金的比例不超过拟购买资产交易价格的25%或不
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超过募集配套资金总额的50%。本次募集资金具体用途如下：
单位：万元序号项目名称拟投入募集资金金额占募集配套资金比例
1高端半导体设备产业化项目38338.8925.56%
2高端半导体设备研发中心项目34702.5723.14%
3支付现金对价及中介机构费用6958.534.64%
4补充流动资金70000.0046.67%
合计150000.00100.00%
在本次配套募集资金到位之前，上市公司若根据实际情况自筹资金先行支出，在配套募集资金到位后，将使用配套募集资金置换已支出的自筹资金。
2、投资项目的审批、备案程序
（1）本次募投项目立项备案情况
1）高端半导体设备产业化项目
本项目的实施主体为众硅电子科技（上海）有限公司，实施地点为上海市。
本项目已经取得上海临港地区开发建设管理委员会出具的《上海市企业投资项目备案证明》，项目代码如下：上海代码：310115MA7GM080520261D2203001，国家代码：
2603-310115-04-01-928221。
2）高端半导体设备研发中心项目
本项目的实施主体为众硅电子科技（上海）有限公司，实施地点为上海市。
本项目已经取得上海临港地区开发建设管理委员会出具的《上海市企业投资项目备案证明》，项目代码如下：上海代码：310115MA7GM080520261D2203002，国家代码：
2603-310115-04-01-971418。
（2）本次募投项目环保相关审批或备案情况
对照《<建设项目环境影响评价分类管理名录>上海市实施细化规定（2021年版）》，高端半导体设备产业化项目和高端半导体设备研发中心项目属于名录未做规定的建设项目，不纳入建设项目环境影响评价管理，不需要编制建设项目环境影响报告书、报告表或者填报建设项目环境影响登记表。因此，上述两个建设项目无需办理环评手续。
504中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（七）募集配套资金必要性分析
本次募集配套资金拟用于标的公司募投项目建设、支付现金对价及中介机构费用、补充流动资金。
其中，补充流动资金将有利于上市公司增加研发投入和营运资金，提高经营效率，增强经营能力，对公司发展战略的实施提供充分的资金支持。标的公司符合科创板定位，用于标的公司高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目均系资金用于科技创新领域。标的公司亟需通过高端半导体设备产业化项目突破现有产能瓶颈，为未来市场需求释放奠定产能基础，提升产业化综合环境，支撑公司高质量可持续发展，优化公司产能战略布局，助力潜在优质客户拓展；标的公司亟需通过高端半导体设备研发中心项目提升技术研发能力，助力推进半导体行业技术升级，紧跟集成电路先进制程技术演进，推进 CMP产品技术迭代，构建湿法工艺产品矩阵，发挥技术协同效应。
综上所述，本次配套募集资金有利于缓解本次交易的资金支付压力、加大研发投入、提高经营效率、增强核心竞争力及提高抗风险能力，为上市公司未来发展提供资金支持。
（八）前次募集资金金额、使用情况及目前剩余情况
1、前次募集资金金额、资金到账情况
根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文
《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，上市公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53486224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，共计人民币155163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1810.41万元后，实际募集资金净额为人民币
144570.28万元（以下简称“募集资金 A”），上述资金于 2019年 7月 16日到位，业
经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道中天验字
（2019）第0411号验资报告。
根据中国证券监督管理委员会于2021年3月3日签发的证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，上市
505中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
公司获准向特定对象发行不超过 80229335 股人民币普通股 A 股股票，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，共计人民币820665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币
812459.21万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 811816.24万元（以下简称“募集资金 B”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。
2、前次募集资金使用情况
截至 2025年 12月 31日，前次募集资金 A使用情况如下：
单位：万元序项目名称承诺投资金额累计投资金额累计投入比例号
1高端半导体设备扩产升级40000.0039991.0399.98%
项目
2技术研发中心建设升级项40000.0039992.4599.98%
目
3补充流动资金20000.0020000.00100.00%
4回购公司股份30077.7230077.72100.00%
合计130077.72130061.1999.99%
截至 2025年 12月 31日，前次募集资金 B使用情况如下：
单位：万元序项目名称承诺投资金额累计投资金额累计投入比例号
1中微产业化基地建设项目317000.00273597.2786.31%
2中微临港总部和研发中心375000.00287379.6376.63%
项目
3科技储备资金119816.24119816.24100.00%
合计811816.24680793.1583.86%
3、前次募集资金剩余情况
截至 2025 年 12 月 31 日，上市公司募集资金 A 余额为人民币 18847.90 万元，其中用于现金管理金额为人民币18827.67万元。
截至 2025年 12月 31日，上市公司募集资金 B余额为人民币 176309.05万元，其中用于现金管理金额为人民币140787.39万元。
506中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第七节本次交易合同的主要内容
一、发行股份及支付现金购买资产协议及补充协议
（一）《发行股份及支付现金购买资产协议》2025年12月31日，上市公司与交易对方签署了《发行股份及支付现金购买资产协议》，主要内容如下：
1、本次交易方案
上市拟通过发行股份及支付现金的方式购买交易对方所持有的标的公司的合计
64.69%的股权（对应标的公司7478.9050万元的注册资本）。
2、标的资产的定价依据、交易价格
各方同意，标的资产的交易价格将在本次交易标的资产的审计、评估工作完成后，以符合《中华人民共和国证券法》规定并经评估机构出具的评估报告为参考，经由各方协商并签署补充协议确定。
3、本次交易所涉及的支付方式
各方同意，上市公司以发行股份及支付现金的方式支付本次交易的全部收购价款。
具体在本次交易中各交易对方获得的股份对价数量和现金对价金额，由各方协商一致后通过签署补充协议的方式确定。
4、股份发行方案及现金支付对价
（1）本次发行股份购买资产拟发行股份的种类为人民币 A股普通股，每股面值为
1.00元，上市地点为上交所。
（2）本次发行的定价基准日为上市公司董事会审议本次交易的相关董事会的决议公告日。本次发行股份购买资产的股份发行价格为人民币216.77元/股，不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价的80%。
（3）向各交易对方发行股份的数量=以发行股份形式向各交易对方支付的交易对价
/本次发行价格。如按照前述公式计算后所能换取的股份数不为整数时，则向下取整精
507中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）确至股。
（4）在定价基准日至发行日期间，上市公司如出现派息、送股、资本公积金转增
股本、配股等除权、除息事项，上述发行价格以及发行股份数量将根据证监会及上交所颁布的规则作相应调整。本次发行股份购买资产最终的股份发行数量以经上市公司股东会审议通过，经上交所审核通过并经证监会予以注册的发行数量为上限。
（5）各方同意，本次交易现金部分交易对价的具体支付时间及金额由各方协商一致后通过签署补充协议的方式确定。
5、标的资产的交割与发行股份
各方同意，在本次交易获得上交所审核通过以及证监会同意注册之日起30日内，各方应且管理团队股东应确保其他相关方通力配合，尽快完成将标的股权过户至上市公司名下的一切工作。
自标的资产交割日起，基于标的资产的全部权利义务由上市公司享有和承担。
标的资产交割完成后，上市公司将依法办理向各交易对方发行股份的登记手续，各交易对方应根据上市公司的要求提供必要的文件及协助。
6、债权债务处理及员工安排
本次交易的标的资产为股权，不涉及标的公司的债权债务处理或员工安置事宜。
如因法律法规要求或因标的公司签署的任何合同、协议的约定，使其负有向政府机构、债权人、债务人等第三方通知本次交易事项的义务，交易对方应确保标的公司在本次交易事项公告后，向第三方履行通知义务，但通知内容以上市公司公告信息为限。
根据标的公司签署的任何合同、协议的约定，本次交易如需获得其债权人或其他第三方同意的，交易对方中标的公司的管理团队股东应确保标的公司就本次交易根据该等合同、协议的约定获得其债权人或其他第三方的同意。
7、锁定期
（1）交易对方中标的公司的投资方股东因本次交易取得的上市公司股份自本次发
行完成之日起12个月内不得转让。但若某个投资方股东在本次发行完成之日，距离其
508中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得本次交易的标的股权的时间不足12个月，则该投资方股东用该部分标的股权取得的上市公司股份应当自在本次发行完成之日起36个月内不得转让。若某个投资方股东为私募投资基金，且截至上市公司关于本次交易的董事会决议公告时，该交易对方对其用于认购股份的标的股权持续拥有权益的时间已满48个月，则该交易对方用该部分标的股权取得的上市公司股份应当自在本次发行完成之日6个月内不得转让。
（2）交易对方中标的公司的管理团队股东因本次交易取得的上市公司股份自本次发行完成之日起12个月内不得转让。鉴于管理团队股东与上市公司在符合适用法律的前提下，后续将就业绩承诺及补偿等事宜进行补充约定，届时管理团队股东将与上市公司一并就在前述锁定期外，就所持股份按照承诺业绩完成情况逐年解锁的事项进行补充约定。
（3）股份锁定期内，交易对方通过本次交易所取得的股份及其因上市公司送股、转增股本或配股等原因而增加的股份，均应遵守上述股份锁定安排。
（4）如交易对方因涉嫌本次交易所提供或者披露的信息存在虚假记载、误导性陈
述或者重大遗漏，被司法机关立案侦查或者被证监会立案调查的，在案件调查结论明确之前，交易对方不得转让在上市公司拥有权益的股份。
（5）上述锁定期届满后，该等股份的转让和交易依照届时有效的法律、法规，以
及证监会、上交所的规定和规则办理。若上述锁定期安排与证监会或上交所的最新监管规则和监管意见不相符，将根据相关监管规则和监管意见相应调整。
8、过渡期损益安排
上市公司将于标的资产交割日后30日内对标的公司进行专项审计，确定过渡期内标的资产的损益。该等审计由上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所完成。标的公司的过渡期间损益安排将于本次交易相关的审计、评估工作完成后，由各方另行签署补充协议予以约定。
9、滚存未分配利润安排
本次交易完成后，上市公司截至本次发行完成日的滚存未分配利润由本次发行完成后的全体新老股东按照在本次发行完成后的持股比例共同享有。
509中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
10、业绩承诺及补偿交易对方中标的公司管理团队股东（即杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳）同意对标的公司于业绩承诺期内的业绩情况作出承诺。具体承诺业绩以及补偿方式待本次交易相关的业务、财务、法律尽职调查、审计、评估等各项工作完成后，由上市公司与该等交易对方另行协商一致后通过签署补充协议或《业绩补偿协议》的方式确定。
（二）《发行股份及支付现金购买资产协议之补充协议》2026年3月30日，上市公司与交易对方签署了《发行股份及支付现金购买资产协议之补充协议》，主要内容如下：
1、标的股权的价格及对价支付方案（1）根据浙江中联资产评估有限公司（以下简称“评估机构”）出具的《资产评估报告》（编号：浙联评报字[2026]第64号），标的公司100%股权在评估基准日的评估价值为250140.00万元。据此，标的股权（即标的公司64.69%的股权）在评估基准日的评估价值为161803.46万元。
（2）基于上述评估结果，各方协商后确认，本次交易中标的股权的交易对价总金
额为157604.914232万元，由上市公司以发行股份及支付现金的方式向各交易对方支付；
其中，上市公司以发行股份方式向交易对方支付的对价总金额为152346.383191万元。
根据原协议的约定，上市公司本次向各交易对方发行股份的价格为人民币216.77元/股，经计算上市公司本次向各交易对方发行股份总数为702.8000万股（最终以经上交所审核通过并经证监会予以注册的股份数为准）；上市公司以支付现金方式向交易对方支付
的对价总金额为5258.531041万元。
（3）基于上述标的股权的交易定价及上市公司本次发行的定价情况，经各方协商一致，本次交易中各交易对方向上市公司出售的标的公司股权的数量、价格、上市公司相应向各交易对方以发行股份的方式支付的对价金额及对应发行的股份数量、支付的现金金额，详见下表：
510中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
支付方案交易转让的注经协商一致对应向各交易对序转让的股以发行股份方以支付现金方式支
对方交易对方姓名/名称册资本数确定的转让方发行的上市公号权比例式支付的转让付的转让价格（万类别（万元）对价（万元）司股份数量（万价格（万元）元）
股）
杭州众芯硅工贸有限13584.94147
1785.34626.7925%13584.94147062.6698--
公司0上海宁容海川电子科2技合伙企业（有限合226.66671.9604%3920.8854572637.06493912.16521283.820518伙）杭州临安众芯硅企业3管理合伙企业（有限合123.34011.0668%2133.5406461553.8639197.1682579.676727管理
伙）团队杭州临安众硅管理咨股东4询合伙企业（有限合96.33330.8332%1666.3762321344.7269076.2034321.649325伙）杭州芯匠企业管理合
570.33330.6083%1216.627474823.4824923.7988393.144982
伙企业（有限合伙）杭州众诚芯企业管理
633.33330.2883%576.600395402.5730601.8571174.027335
合伙企业（有限合伙）
7朱琳10.00000.0865%172.980291140.3842330.647632.596058
浙江台州金石精密制
18721.97260
8造股权投资基金合伙801.96976.9362%18721.97260286.3679--
投资企业（有限合伙）
方股扬州朗智股权投资合11405.09481
9566.91734.9033%11405.09481852.6138--
东伙企业（有限合伙）8
上海国孚领航投资合11404.47531
10566.91724.9033%11404.47531352.6109--
伙企业（有限合伙）3
511中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
支付方案交易转让的注经协商一致对应向各交易对序转让的股以发行股份方以支付现金方式支
对方交易对方姓名/名称册资本数确定的转让方发行的上市公号权比例式支付的转让付的转让价格（万类别（万元）对价（万元）司股份数量（万价格（万元）元）
股）杭州富浙资通股权投
10991.7809211资合伙企业（有限合442.3633.8260%10991.78092450.7071--
4
伙）浙江富浙富创股权投
10991.7809212资合伙企业（有限合442.3633.8260%10991.78092450.7071--
4
伙）深圳市达晨创程私募13股权投资基金企业（有368.55233.1876%9014.2739729014.27397241.5845--限合伙）杭州达晨创程股权投14资基金合伙企业（有限221.13141.9126%5408.5643835408.56438324.9507--合伙）安徽省丰禾股权投资15基金一期合伙企业（有210.60131.8215%5183.0136985183.01369823.9101--限合伙）宁波蓝郡风鋆创业投16资合伙企业（有限合176.94521.5304%4397.5891444397.58914420.2868--伙）井冈山小满股权投资
17165.38811.4304%2860.8881762680.88817612.3674180.000000
合伙企业（有限合伙）宁波领芯企业管理咨18询合伙企业（有限合165.15151.4284%2856.7954632370.79546310.9369486.000000伙）
512中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
支付方案交易转让的注经协商一致对应向各交易对序转让的股以发行股份方以支付现金方式支
对方交易对方姓名/名称册资本数确定的转让方发行的上市公号权比例式支付的转让付的转让价格（万类别（万元）对价（万元）司股份数量（万价格（万元）元）
股）
19蔡刚波150.42951.3011%3024.5315061512.2657536.97631512.265753
长兴青鸟中芯股权投20资合伙企业（有限合1501.2974%2594.7043742594.70437411.9698--伙）
21王敏文135.99211.1762%2352.3953112352.39531110.8520--
22张久海135.31391.1703%2340.6637882340.66378810.7979--
青岛东证中新仁合私
23募股权投资基金合伙126.36081.0929%3108.8219173108.82191714.3415--企业（有限合伙）余姚石溪舜创创业投24资合伙企业（有限合106.14310.9180%2073.2054792073.2054799.5640--伙）江苏高投毅达中小贰
25号创业投资合伙企业105.30060.9107%2591.5068492591.50684911.9550--（有限合伙）
朗玛六十三号（深圳）26创业投资中心（有限合104.00060.8995%2223.3424652223.34246510.2566--伙）江苏中小企业发展基
2797.65280.8446%1689.2009821689.2009827.7925--金（有限合伙）
28朱力昂90.49070.7827%1766.5930151540.8207557.1080225.772260
杭州北峰芯辰股权投
2988.47260.7652%2198.7946232129.2165409.822469.578083资合伙企业（有限合
513中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
支付方案交易转让的注经协商一致对应向各交易对序转让的股以发行股份方以支付现金方式支
对方交易对方姓名/名称册资本数确定的转让方发行的上市公号权比例式支付的转让付的转让价格（万类别（万元）对价（万元）司股份数量（万价格（万元）元）
股）
伙）广东温润振信贰号股30权投资合伙企业（有限87.36670.7556%2170.0110622170.01106210.0106--合伙）中信证券投资有限公
3184.24050.7286%2077.1506842077.1506849.5822--
司江苏疌泉君海荣芯投32资合伙企业（有限合82.69410.7152%1430.4449531430.4449536.5989--伙）
朗玛五十九号（深圳）33创业投资中心（有限合78.00050.6746%1667.5068491667.5068497.6925--伙）无锡高投毅达鼎祺人
34才创业投资合伙企业78.00050.6746%1672.1095891672.1095897.7137--（有限合伙）
朗玛六十号（深圳）创35业投资中心（有限合78.00050.6746%1667.5068491667.5068497.6925--伙）嘉兴邦拓股权投资合
3652.00030.4498%1114.7397261114.7397265.1425--
伙企业（有限合伙）无锡高投毅达太湖人
37才成长创业投资合伙48.82640.4223%844.600491844.6004913.8962--企业（有限合伙）
514中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
支付方案交易转让的注经协商一致对应向各交易对序转让的股以发行股份方以支付现金方式支
对方交易对方姓名/名称册资本数确定的转让方发行的上市公号权比例式支付的转让付的转让价格（万类别（万元）对价（万元）司股份数量（万价格（万元）元）
股）宁波毅达工投股权投38资基金合伙企业（有限48.82640.4223%844.600491844.6004913.8962--合伙）深圳市达晨财智创业
3942.12030.3643%1030.2027391030.2027394.7525--
投资管理有限公司
温润安享科盈（海南）
40股权投资基金合伙企1.10590.0096%27.46585627.4658560.1267--业（有限合伙）杰正投资集团有限公
4133.91330.2933%586.633252586.6332522.7062--
司
64.6852157604.9142
合计7478.9050152346.383191702.80005258.531041
%32
515中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（4）在定价基准日至发行日期间，上市公司如出现派息、送股、资本公积金转增
股本、配股等除权、除息事项，上述发行价格以及发行股份数量将根据证监会及上交所颁布的规则作相应调整。最终的股份发行数量以经上交所审核通过并经证监会予以注册的股份数为准。
（5）各方同意，在本次交易获得上交所审核通过以及证监会同意注册且补充协议
第三条约定的标的资产交割的先决条件均获满足（或由上市公司书面豁免）之日起5
个工作日内，上市公司向协议所示交易对方全额支付现金对价。
（6）特别地，在上市公司支付现金对价前，如*交易对方存在违反原协议及补充
协议约定的情形，或*标的公司及其控股子公司因交易对方的违约行为遭受损失，且该等损失未由负有责任的交易对方弥补或赔偿的，上市公司有权暂缓向负有责任的交易对方支付现金对价，直至有关情况被改正、弥补、赔偿或消除
（7）各方同意，若本补充补议签署后，因法律、法规或证监会、上交所的相关规
定进行修订或补充，或因新颁布的有关法律、法规、证监会、上交所的有关规定，或因证监会、上交所等有权机关的监管要求，导致本次交易方案或原协议、补充协议及上市公司与部分交易对方签署的《业绩承诺和补偿协议》的内容需进行修改、调整、更新的，则各方应按照法律、法规、证监会、上交所的相关规定及证监会、上交所等有权机关的监管要求对本次交易方案、原协议、补充协议及上市公司与部分交易对方签署的《业绩承诺和补偿协议》的内容进行相应的修改、调整、更新。
2、标的资产交割的先决条件及交割安排
（1）各方确认上市公司受让标的资产并向交易对方发行股份及支付现金的先决条件。
（2）上市公司履行完毕补充协议第2.3条的现金支付义务之日起5个工作日内，所有自然人交易对方应全额履行纳税义务并向上市公司提供完税凭证。
（3）前述补充协议第3.2条完全履行之日起10个工作日内，各方应完成将标的股
权过户至上市公司名下的一切工作。标的股权过户至上市公司名下，标的公司章程、股东名册完成变更，且相应的市场监督管理局登记/备案手续完成之日，即为标的资产交割日。
516中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、过渡期损益安排
（1）根据原协议的约定，上市公司将于标的资产交割日后30日内对标的公司进行
专项审计，确定过渡期内标的资产的损益。该等审计由上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所完成。
（2）标的公司在过渡期因任何原因产生的盈利和亏损均由交割日后标的公司股东按届时所持标的公司的股权比例享有和承担。
4、陈述、保证与承诺
（1）上市公司陈述、保证并承诺，其于原协议及补充协议做出的陈述、保证与承诺，于补充协议签署日（包含当日）至发行日（包含当日）仍持续有效，且均真实、准确、完整，不存在重大遗漏和误导性陈述。其中，上市公司已依法取得为签署并全面履行原协议、补充协议所必需的截至补充协议签署之日可以取得的全部批准、同意、授权和许可。
（2）各交易对方分别且不连带地陈述、保证并承诺，其于原协议及补充协议做出
的陈述、保证与承诺，于补充协议签署日（包含当日）至交割日（包含当日）仍将持续有效，且均真实、准确、完整，不存在重大遗漏和误导性陈述。
（3）各交易对方于补充协议签署日在此不可撤销、分别且不连带地作出下列的陈
述、保证和承诺：*交易对方已取得其各自为签署并全面履行原协议、补充协议所需的
所有批准、同意、授权和许可。*交易对方豁免并免于追究基于标的公司历轮融资交易、股权转让交易文件中标的公司及/或管理团队股东历史上可能存在的违约责任或赔偿责任，标的公司与交易对方之间不存在任何应履行而未履行的义务或任何赔偿、补偿、缔约过失等责任，交易对方不会主张标的公司及/或管理团队股东作为责任方承担任何融资交易文件项下可能被要求承担的相关义务及责任，各方之间不存在任何争议和潜在纠纷。*标的公司历史上所有股东会的召集、召开程序及决议合法有效，对此不存在任何争议和潜在纠纷。
（4）交易对方中标的公司管理团队股东及实际控制人连带地对至交割日（包含当日）集团公司有关事实或情形作出陈述与保证。
（5）交易对方中标的公司管理团队股东及实际控制人连带地对上市公司作出下列
517中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）承诺，于补充协议签署日（包含当日）至交割日（包含当日）：*确保协议所列示的核心员工稳定，不主动离职或暂停其本职工作。*将维持客户、供应商的稳定及经营可持续。
（6）实际控制人对上市公司承诺：*发行日起至少五年内（即“服务期”），实
际控制人不主动且应确保集团公司核心员工（已在补充协议中约定，下同）不主动从标的公司（或经上市公司认可的其他主体）离职；*发行日起至少五年内，实际控制人应确保集团公司核心团队稳定并尽其最大努力发展集团公司业务、维护集团公司利益。*其应且应确保集团公司核心员工应在标的公司（或经上市公司认可的其他主体）任职期间及从标的公司（或经上市公司认可的其他主体）离职之日起至少两年内（即“竞业限制期”；为免歧义，无论是否在标的公司或经上市公司认可的其他主体服务满五年，其竞业限制期应当不少于发行日起七年），应当履行竞业限制义务，不以本人或他人名义，在标的公司和上市公司及其控制的企业以外，直接或间接地从事竞争性业务，或在从事竞争性业务的单位担任职务、提供咨询服务或领取报酬；*实际控制人、集团公司核心
员工与标的公司和/或上市公司认可的其他主体另行签署的服务期协议、竞业限制协议
或其他法律文件中，关于服务期、竞业限制期及相关权利义务的约定较本条款更详细、更严格的，应以该等协议或法律文件约定为准。*实际控制人违反补充协议第5.6条的，应当向上市公司、标的公司承担相应的违约、赔偿责任。
（7）交易对方中标的公司管理团队股东及实际控制人连带地对上市公司承诺，如
因标的资产交割完成前已存在的事实情况（不论是否披露）或未披露的负债及或有负债，或因标的公司管理团队股东及实际控制人的过错（包括发生在标的资产交割完成前和完成后，不论是否披露），造成上市公司和/或标的公司（包括其子公司）因遭受诉讼、任何债务、或有债务、应付税款、行政处罚、违约责任、侵权责任及其他责任或损失，交易对方中标的公司管理团队股东及实际控制人应向上市公司和/或标的公司（包括其子公司）作出全额补偿或赔偿。
5、协议的生效、履行、变更和解除
补充协议自各方签署之日起成立。除第五条（陈述、承诺与保证）、第六条（协议的生效、履行、变更和解除）、第七条（其他）自补充协议签署之日起即刻生效外，补充协议其他条款为附生效条件的条款，在原协议所有条款均生效的同时生效。
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二、业绩承诺及补偿协议
2026年3月30日，上市公司与杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳签署了《业绩承诺和补偿协议》，主要内容如下：
1、业绩承诺期
（1）业绩承诺期
本次交易的业绩承诺期为2026年、2027年及2028年。
（2）业绩承诺期的延长
各方同意，在证监会、交易所或其他监管机构提出延长业绩承诺期的意见或要求时，上述业绩承诺期应根据监管机构的意见相应延长。届时，各方同意签署延长业绩承诺期的补充协议。
2、业绩承诺
（1）业绩承诺人
杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳确
认均为本次交易的业绩承诺人，且连带地承担协议项下业绩承诺及补偿义务。
（2）业绩承诺内容
各业绩承诺人诺，标的公司在业绩承诺期内各年度应实现的合并报表范围营业收入（以每年度经上市公司聘请的具有证券期货业务资格的会计师事务所出具的《专项审核报告》为准）如下：
年度应实现的合并报表营业收入金额（万元）
2026年度28000
2027年度43000
2028年度58000
（3）业绩承诺相关标准的金额的确定
各方确认，业绩承诺期内，上市公司将在标的公司每年年度审计时，聘请具有证券期货业务资格的会计师事务所，对标的公司合并范围实现收入情况与承诺收入情况之间
519中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
的差异情况进行补偿测算并出具《专项审核报告》。
标的公司及其子公司的财务报表编制应符合《企业会计准则》及其他法律、法规的
规定并与上市公司的会计政策及会计估计保持一致；除非法律、法规规定改变会计政策、
会计估计，否则，未经上市公司董事会批准，标的公司及其子公司在承诺期内不得改变会计政策、会计估计。
（4）与业绩承诺相关的锁定期约定
各业绩承诺人通过本次交易取得的上市公司股份，在满足法定及本次交易文件约定的锁定期的前提下，按照业绩实际完成的情况逐年分批解锁。
具体解锁股份数量的计算公式如下：各业绩承诺人当年可解禁的股份数=截至当期
期末累计承诺收入数÷业绩承诺期内累计承诺的收入×业绩承诺人通过本次交易获得
上市公司的股份数量－累计已经解锁股份数－累计业绩承诺补偿股份数（含当期）。
3、未达承诺业绩的补偿
（1）未达承诺业绩的补偿
业绩承诺人承诺，根据每年的《专项审核报告》所确认的结果，如业绩承诺期每个会计年度结束后，截至当期期末，标的公司累计实现收入数小于截至当期期末累计承诺收入数的，业绩承诺人应按下列方式对上市公司进行补偿：当期应补偿金额=（截至当期期末累计承诺收入数－截至当期期末累计实现收入数）÷业绩承诺期内各年的承诺收
入数总和×业绩承诺人取得的全部交易对价－累计已补偿金额（如有）。
上述业绩承诺人取得的全部交易对价包括以股份和现金形式获得的交易对价。
根据上述公式计算得到的当期应补偿金额小于0的，则当期不进行业绩补偿。
业绩承诺人因某年度未达到承诺业绩而履行了补偿义务后，若后续会计年度标的公司达到或超过承诺业绩，上市公司不因此退还业绩承诺人已补偿的股份或现金。
（2）股份补偿及现金补偿
业绩承诺人优先以其在本次交易中获得的上市公司股份进行补偿，不足部分以现金补偿。当期应补偿股份数量=当期应补偿金额÷本次发行股份购买资产的发行价格。
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若根据上述公式计算的应补偿股份数量非为整数，则应向下取整；因向下取整导致实际补偿金额不足当期应补偿金额的，由业绩承诺人以现金补偿。
若上市公司在业绩承诺期内实施送股、资本公积金转增股本、配股等事项，则补偿股份数量相应调整：按前述公式计算的应补偿股份数量×（1+送股或转增比例）。
若上市公司在业绩承诺期内实施现金分红，业绩承诺人对应补偿股份数量在补偿前所获得的现金分红部分，应返还给上市公司。返还金额的计算公式为：应返还金额=每股已分配现金股利（以税后金额为准）×当期应补偿股份数量。
上市公司应以总价款人民币1元的价格对业绩承诺人合计应补偿股份予以回购并注销。
如作出股份补偿时因本次交易而获得的股份不足以按照上述约定进行补偿的，业绩承诺人另需用现金再进行补偿，计算公式如下：当期现金补偿金额=当期应补偿金额-业绩承诺人当期已补偿股份数量×本次发行价格。
（3）各方确认，各方应分别依照相关法律的规定缴纳各自因履行协议项下义务所应缴纳的税金。
4、补偿的实施
（1）未达承诺业绩的补偿的实施
触发《业绩承诺和补偿协议》第3.1条约定的补偿的，上市公司将在会计师事务所出具《专项审核报告》后的30个工作日内，根据《业绩承诺和补偿协议》第3.1条、
第3.2条的约定计算确定业绩承诺人应补偿的股份数量，并书面通知业绩承诺人，业绩
承诺人应协助上市公司通知相关证券登记结算公司，将业绩承诺人应补偿的股份数量锁定，锁定期间，业绩承诺人对该部分股份放弃表决权及股利分配的权利。上市公司董事会将就业绩承诺人应补偿股份的回购及后续注销事宜进行审议，并提请召开股东会。如股东会审议通过该等回购及注销事项的，在股东会决议作出之日起30个工作日内，上市公司将以总价1元的价格定向业绩承诺人回购应补偿的股份并予以注销。
若上述股份回购及注销事宜因故无法实施的，业绩承诺人应当在接到上市公司书面通知后30日内将前款约定的应补偿的股份赠送给上市公司召开股东会的股权登记日登
521中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
记在册的除业绩承诺人之外的其他全体股东，其他全体股东按其持有的股份数量占股权登记日扣除业绩承诺人持有的股份数量后上市公司总股份数量的比例享有业绩承诺人赠送的股份。如届时法律对补偿股份回购事宜另有规定或要求的，则应遵照执行。
业绩承诺人应根据上市公司的要求，签署相关书面文件并配合上市公司办理协议项下股份回购注销事宜和/或股份赠送事宜，包括但不限于业绩承诺人应协助上市公司通知相关证券登记结算公司等。
各方一致同意，当触发《业绩承诺和补偿协议》第3.1条、第3.2条约定的现金补偿义务时，业绩承诺人应在接到上市公司通知之日起30个工作日内将应补偿的现金金额支付给上市公司。
（2）在任何情况下，各业绩承诺人支付的业绩承诺补偿的总金额（含股份和现金补偿）不超过该业绩承诺人从本次交易所获得的全部交易对价。各业绩承诺人用于业绩承诺补偿的股份累计数量上限为该业绩承诺人因本次交易而获得的股份对价总数（包括通过送股、资本公积金转增股本、配股等事项所取得的股份）。
（3）如业绩承诺人违反法定或本次交易文件约定的锁定期安排，或者由于其持有
的上市公司股份被冻结、强制执行或因其他因业绩承诺人原因被限制转让或不能转让，从而导致其所持有的股份不足以完全履行协议约定的补偿义务的，则业绩承诺人应另行就因上述原因造成的股份不足补偿的部分以现金方式进行足额补偿。
（4）在业绩承诺期内，以及业绩承诺期届满后相关补偿义务（如有）全部履行完毕前，业绩承诺人对其在本次交易过程中取得的且尚未按照《业绩承诺和补偿协议》第
2.4条约定解锁的上市公司股票不得设定质押、股票收益权转让等权利限制。
5、违约责任
（1）任何一方违反协议的任何条款，即构成违约；违约方应向守约方支付全面和
足额的赔偿，该等赔偿包括但不限于因违约而给守约方带来的一切损失以及使守约方支付针对违约方提起诉讼所产生的诉讼费用、与第三人发生诉讼所产生的诉讼费用和应向
第三人支付的赔偿等。
（2）业绩承诺人未按协议约定向上市公司支付业绩承诺补偿的，每延迟一日，应
当支付其应付未付补偿金额万分之五的违约金，并赔偿上市公司因此遭受的实际损失，
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包括但不限于因迟延支付导致的利息损失、诉讼费用、律师费等。
（3）任何一方违约应承担违约责任，不因协议的终止或解除而免除。
6、协议的生效、履行、变更和解除（1）协议自各方签署之日起成立，并在《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产协议》所有条款均生效的同时生效。
（2）如本次交易实施前，本次交易适用的法律、法规予以修订，提出其他强制性
审批要求或豁免部分行政许可事项的，则以届时生效的法律、法规为准调整协议的生效要件。
（3）协议项下约定的各方的权利义务全部履行完毕方可视为协议最终履行完毕。
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第八节本次交易的合规性分析
一、本次交易符合《重组管理办法》第十一条的规定
（一）本次交易符合国家产业政策和有关环境保护、土地管理、反垄断、外商投资、对外投资等法律和行政法规的规定
1、本次交易符合国家产业政策
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司。
按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，标的公司所处行业为“专用设备制造业”中的“半导体器件专用设备制造”（代码：C3562），为国家发改委颁布的《产业结构调整指导目录（2024年本）》规定的鼓励类产业。根据《战略性新兴产业分类（2018）》，标的公司所处行业为“新一代信息技术产业”。标的公司属于《上海证券交易所科创板企业发行上市申报及推荐暂行规定》第五条中的“（一）新一代信息技术领域”之“半导体和集成电路”。
因此，标的公司所处行业符合国家产业政策，本次交易符合国家产业政策等法律和行政法规的规定，符合《重组管理办法》第十一条第（一）项的规定。
2、本次交易符合有关环境保护、土地管理、外商投资、对外投资等法律和行政法
规的规定
报告期内，标的公司不存在因违反环境保护、土地管理、外商投资、对外投资等方面法律和行政法规而受到重大行政处罚的情形；本次交易通过发行股份及支付现金所购
买的资产为股权，不涉及立项、环保、规划等报批事项；本次交易未涉及外商投资及对外投资事项。本次交易符合有关环境保护、土地管理、外商投资、对外投资的法律和行政法规的规定。
3、本次交易符合有关反垄断的法律和行政法规的规定
根据《国务院关于经营者集中申报标准的规定》第三条的规定，经营者集中达到若干标准之一的，经营者应当事先向国务院商务主管部门申报，未申报的不得实施集中。
本次交易未达到《国务院关于经营者集中申报标准的规定》中的计算标准，因此无需向
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商务部主管部门进行申报。本次交易符合反垄断相关法规的规定。
综上所述，本次交易符合国家产业政策和有关环境保护、土地管理、反垄断、外商投资、对外投资等法律和行政法规的规定。
（二）本次交易的实施不会导致上市公司不符合股票上市条件
根据《证券法》《科创板上市规则》的相关规定，上市公司股权分布发生变化不再具备上市条件是指“社会公众股东持有的股份连续20个交易日低于公司总股本的25%；公司股本总额超过人民币4亿元的，低于公司总股本的10%。上述社会公众股东不包括：
（1）持有上市公司10%以上股份的股东及其一致行动人；（2）上市公司的董事、高级管理人员及其关联人”。
按照交易作价计算，本次交易完成后，不考虑募集资金情况下，社会公众股东合计持股比例将不低于本次交易完成后上市公司总股本的10%，仍然符合《公司法》《证券法》《科创板上市规则》等法律和行政法规规定的股票上市条件。
（三）本次交易所涉及的资产定价公允，不存在损害上市公司和股东合法权益的情形本次交易所涉及的标的资产股权的交易价格以标的资产经中联评估出具的评估报
告的评估价值为基础，由交易双方协商确定。
本次交易按照相关法律法规的规定依法进行，由上市公司董事会提出方案，并聘请专业的中介机构依据有关规定出具审计、评估、法律等相关报告。
上市公司董事会及独立董事专门会议就本次交易对评估机构的独立性、假设前提的
合理性、评估方法与评估目的的相关性以及评估定价的公允性发表意见。
因此，本次交易所涉及的资产定价公允，不存在损害上市公司和股东合法权益的情形，符合《重组管理办法》第十一条第（三）项的规定。
（四）本次交易涉及的资产权属清晰，资产过户或者转移将不存在法律障碍，相关债权债务处理合法
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本次交易中，上市公司拟购买资产为标的公司64.69%股权。根据交易对方出具的承诺及标的公司工商资料，交易对方持有的标的资产股权均为实际合法拥有，不存在权属纠纷，不存在禁止转让、限制转让的承诺或安排，亦不存在质押、冻结、查封、财产保全或其他权利限制。
标的公司为依法设立的有限责任公司，本次交易已就股权转让事项书面通知标的公司全体股东并取得同意，相关股权的过户不存在法律障碍。此外，本次交易仅涉及股权转让事宜，标的公司对外的债权债务不会因本次交易产生变化，因此本次交易不涉及债权债务处理事宜。
综上，本次交易所涉及的资产权属清晰，资产过户或者转移不存在法律障碍，本次交易不涉及债权债务处理或变更事项，符合《重组管理办法》第十一条第（四）项的规定。
（五）本次交易有利于上市公司增强持续经营能力，不存在可能导致上市公司重组后主要资产为现金或者无具体经营业务的情形
标的公司长期从事高端化学机械抛光（CMP）设备的研发、生产及销售，本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司，上市公司将与标的公司在产品体系、技术开发、客户资源、产业链采购等方面产生良好的协同效应，有利于上市公司整体战略布局和实施，同时扩大整体销售规模，有利于提升上市公司的核心竞争力。
综上，本次交易有利于上市公司增强持续经营能力，不存在可能导致上市公司重组后主要资产为现金或者无具体经营业务的情形，符合《重组管理办法》第十一条第（五）项的规定。
（六）本次交易有利于上市公司在业务、资产、财务、人员、机构等方面
与实际控制人及其关联人保持独立，符合中国证监会关于上市公司独立性的相关规定
本次交易前，上市公司已经按照有关法律法规的规定建立了规范且独立运营的管理体制，在业务、资产、财务、人员、机构等方面与第一大股东上海创投及其关联人保持
526中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）独立，运行规范。
本次交易不会导致上市公司实际控制人变更。本次交易完成后，上市公司将继续在业务、资产、财务、人员、机构等方面与第一大股东上海创投及其关联人保持独立，符合中国证监会关于上市公司独立性的相关规定。
综上所述，本次交易符合《重组管理办法》第十一条第（六）项的规定。
（七）本次交易有利于上市公司保持健全有效的法人治理结构
上市公司已设立股东会、董事会等组织机构并制定相应的议事规则，从制度上保证股东会、董事会等组织机构的规范运作和依法行使职责，上市公司具有健全的组织结构和完善的法人治理结构。本次交易完成后，上市公司将依据《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》等法律、法规的要求，持续完善上市公司治理结构。本次交易符合《重组管理办法》第十一条第（七）项的规定。
综上所述，本次交易符合《重组管理办法》第十一条的规定。
二、本次交易不构成《重组管理办法》第十三条规定的重组上市的情形
最近36个月内，上市公司控制权未发生变更。本次交易前后上市公司均无控股股东、实际控制人。因此，根据《重组管理办法》的相关规定，本次交易不构成重组上市。
三、本次交易符合《重组管理办法》第四十三条的规定
（一）上市公司最近一年财务会计报告被注册会计师出具无保留意见审计报告
根据普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的普华永道中天特审字(2026)
第0065号《审计报告》，上市公司最近一年财务会计报告被注册会计师出具了标准无
保留意见的审计报告，不存在被出具保留意见、否定意见或者无法表示意见的审计报告的情形。本次交易符合《重组管理办法》第四十三条第（一）项的规定。
（二）上市公司及其现任董事、高级管理人员不存在因涉嫌犯罪正被司法
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机关立案侦查或涉嫌违法违规正被中国证监会立案调查的情形
截至本报告书签署日，上市公司及现任董事、高级管理人员不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉嫌违法违规正被中国证监会立案调查的情形。本次交易符合《重组管理办法》第四十三条第（二）项的规定。
综上所述，本次交易符合《重组管理办法》第四十三条的规定。
四、本次交易符合《重组管理办法》第四十四条的规定
（一）本次交易有利于提高上市公司资产质量和增强持续经营能力，不会导致财务状况发生重大不利变化
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司，根据《备考审阅报告》，上市公司的资产规模、收入水平以及持续经营能力预计将有效提升。本次交易有利于进一步提升上市公司的综合竞争能力和后续发展能力，随着后续标的公司业务的发展及业绩释放、以及与上市公司之间协同效应的发挥，本次交易预计能够使得上市公司提高资产质量和增强持续经营能力，不会导致上市公司财务状况发生重大不利变化。
（二）本次交易不会导致新增重大不利影响的同业竞争及严重影响独立性或者显失公平的关联交易
1、关于同业竞争
本次交易前，上市公司无控股股东及实际控制人，上市公司与第一大股东上海创投及其控制的企业不存在同业竞争。本次交易完成后，上市公司仍将无控股股东及实际控制人，本次交易不会新增重大不利影响的同业竞争。
2、关于关联交易
本次交易前，交易对方与上市公司不存在关联关系。
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司。本次发行股份及支付现金购买资产完成后无交易对方持有上市公司股份超过5%。根据《科创板上市规则》的相关规定，本次交易不构成关联交易。本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控
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股子公司，对于无法避免或者有合理原因而发生的关联交易，公司将继续严格按照法律、法规及关联交易相关制度规定履行公允决策程序，维护公司及广大中小股东的合法权益。
（三）本次发行股份所购买的资产，为权属清晰的经营性资产，并能在约定期限内办理完毕权属转移手续
1、标的资产权属清晰
本次交易的标的资产为交易对方持有标的公司64.69%股权，根据交易对方签署的承诺及工商资料，交易对方持有的标的公司股权均为合法所有，不存在禁止或限制转让的承诺或安排，亦不存在质押、冻结、查封、财产保全等其他权利限制。本次交易涉及的资产权属清晰，资产过户或者转移不存在法律障碍。
2、标的资产为经营性资产
本次交易标的资产为标的公司 64.69%股权，标的公司专注于 CMP设备的研发、生产与销售，属于经营性资产范畴。
3、标的资产能在约定期限内办理完毕权属转移手续
本次交易各方在已签署的协议中对资产过户和交割作出了明确安排，在各方严格履行协议的情况下，交易各方能在合同约定期限内办理完毕权属转移手续。
本次交易符合《重组管理办法》第四十三条第（四）项的规定。
（四）本次交易所购买的资产与上市公司现有主营业务具有协同效应本次交易所购买的资产与上市公司现有主营业务具有协同效应，详见本报告书“第一节本次交易概况”之“一、本次交易的背景、目的及协同效应”之“（三）本次交易标的公司的科创属性，与上市公司主营业务的协同效应”。
综上，本次交易符合《重组管理办法》第四十四条的规定。
五、本次交易符合《重组管理办法》第四十五条及其适用意见、《监管规则适用指引——上市类第1号》的规定
根据《重组管理办法》第四十五条及《<上市公司重大资产重组管理办法>第十四
529中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）条、第四十四条的适用意见——证券期货法律适用意见第12号》以及《监管规则适用指引——上市类第1号》的相关规定和要求：
（一）本次交易的募集配套资金规模符合相关规定中国证监会发布的《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一
条、第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意见第18号》规定，“上市公司申请向特定对象发行股票的，拟发行的股份数量原则上不得超过本次发行前总股本的30%。”中国证监会发布的《〈上市公司重大资产重组管理办法〉第十四条、第四十四条的适用意见——证券期货法律适用意见第12号》规定，“上市公司发行股份购买资产同时募集配套资金，所配套资金比例不超过拟购买资产交易价格100%的，一并适用发行股份购买资产的审核、注册程序；超过100%的，一并适用上市公司发行股份融资（以下简称再融资）的审核、注册程序。不属于发行股份购买资产项目配套融资的再融资，按照中国证监会相关规定办理。”中国证监会发布的《监管规则适用指引——上市类第1号》规定，“拟购买资产交易价格”指“本次交易中以发行股份方式购买资产的交易价格，不包括交易对方在本次交易停牌前六个月内及停牌期间以现金增资入股标的资产部分对应的交易价格，但上市公司董事会首次就重大资产重组作出决议前该等现金增资部分已设定明确、合理资金用途的除外”。
本次交易募集配套资金总额不超过150000.00万元，不超过本次交易中以发行股份方式购买资产的交易价格的100%，且发行股份数量不超过本次配套融资发行前上市公司总股本的30%。
（二）本次交易的募集配套资金用途符合相关规定《监管规则适用指引——上市类第1号》规定，“考虑到募集资金的配套性，所募资金可以用于支付本次并购交易中的现金对价，支付本次并购交易税费、人员安置费用等并购整合费用和投入标的资产在建项目建设，也可以用于补充上市公司和标的资产流动资金、偿还债务。募集配套资金用于补充公司流动资金、偿还债务的比例不应超过交
530中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）易作价的25%；或者不超过募集配套资金总额的50%。”本次募集配套资金拟用于标的公司募投项目建设、支付现金对价及中介机构费用、补充流动资金。其中，用于补充流动资金的比例不超过拟购买资产交易价格的25%或不超过募集配套资金总额的50%，用途符合相关规定。
综上所述，本次交易符合《重组管理办法》第四十五条及其适用意见的规定和《监管规则适用指引——上市类第1号》的要求。
六、本次交易符合《重组管理办法》第四十六条的规定
本次交易上市公司发行股份购买资产的发行价格为216.77元/股，不低于审议本次发行股份购买资产方案的第三届董事会第八次会议决议公告日期前20个交易日股票交
易均价的80%。
在定价基准日至发行日期间，上市公司如有派息、送股、资本公积转增股本、配股等除权、除息事项，本次发行价格将按照中国证监会和上交所的相关规则进行相应调整。
本次交易符合《重组管理办法》第四十六条的规定。
七、本次交易符合《重组管理办法》第四十七条的规定
本次交易的各交易对方已根据《重组管理办法》第四十七条的规定做出了股份锁定承诺，详见本报告书“重大事项提示”之“六、本次交易对中小投资者权益保护的安排”
之“（六）股份锁定安排”。因此，本次交易符合《重组管理办法》第四十七条的规定。
八、本次交易符合《科创板上市公司持续监管办法（试行）》第二十
条、《科创板上市规则》第11.2条和《重组审核规则》第八条的规定
根据《科创板上市规则》第11.2条、《科创板上市公司持续监管办法（试行）》
第二十条和《重组审核规则》第八条的规定，科创板上市公司实施发行股份购买资产的，拟购买资产应当符合科创板定位，所属行业应当与科创板上市公司处于同行业或者上下游，且与科创板上市公司主营业务具有协同效应，有利于促进主营业务整合升级和提高上市公司持续经营能力。
本次交易所购买的资产符合科创板定位，与上市公司处于同行业，且与上市公司现
531中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
有主营业务具有协同效应，有利于促进主营业务整合升级和提高公司持续经营能力，详见本报告书“第一节本次交易概况”之“一、本次交易的背景、目的及协同效应”之
“（三）本次交易标的公司的科创属性，与上市公司主营业务的协同效应”。
综上，本次交易符合《科创板上市公司持续监管办法（试行）》第二十条、《科创板上市规则》第11.2条和《重组审核规则》第八条的规定。
九、本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》（一）本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》第四条的规定
1、本次交易的标的资产为标的公司64.69%的股权，该标的资产不涉及立项、环保、行业准入、用地、规划、建设施工等有关报批事项；不涉及需取得相应的许可证书或者
有关主管部门的批复文件。本次交易尚需提交公司股东会审议、获得上海证券交易所审核通过及中国证监会注册等。就本次交易中尚待履行的报批事项，上市公司已进行了披露，并对可能无法获得批准的风险作出了特别提示。本次交易符合《上市公司监管指引
第9号》第四条第（一）项的规定。
2、本次交易标的资产为标的公司64.69%的股权，标的公司不存在出资不实或者影
响其合法存续的情况。交易对方拥有的标的公司股权权属清晰，交易对方已合法拥有标的资产的完整权利，不存在限制或者禁止转让的情形。本次交易符合《上市公司监管指
引第9号》第四条第（二）项的规定。
3、本次交易有利于提高公司资产的完整性，有利于公司在人员、采购、生产、销
售、知识产权等方面保持独立性。本次交易符合《上市公司监管指引第9号》第四条第
（三）项的规定。
4、本次交易有利于公司改善财务状况、增强持续经营能力，有利于公司突出主业、增强抗风险能力，有利于公司增强独立性，不会导致新增重大不利影响的同业竞争，以及严重影响独立性或者显失公平的关联交易。本次交易符合《上市公司监管指引第9
号》第四条第（四）项的规定。
532中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）综上，本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》第四条的规定。
（二）本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》第六条的规定
截至本报告书签署日，标的公司不存在资金被交易对方占用的情形。
十、相关主体不存在《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组的情形
截至本报告书签署日，本次交易的相关主体不存在因涉嫌与重大资产重组相关的内幕交易被立案调查或立案侦查的情形，最近36个月内不存在因涉嫌与重大资产重组相关的内幕交易被中国证监会做出行政处罚或者司法机关依法追究刑事责任的情形。
因此，本次交易相关主体不存在依据《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条及《上海证券交易所上市公司自律监管指引
第6号——重大资产重组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组的情形。
十一、本次交易符合《注册管理办法》的相关规定
（一）本次交易不存在《注册管理办法》第十一条规定的不得向特定对象发行股票的情形
截至本报告书签署日，上市公司不存在《注册管理办法》第十一条规定之不得向特定对象发行股票的如下情形：
1、擅自改变前次募集资金用途未作纠正，或者未经股东会认可；
2、最近一年财务报表的编制和披露在重大方面不符合企业会计准则或者相关信息
披露规则的规定；最近一年财务会计报告被出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；
最近一年财务会计报告被出具保留意见的审计报告，且保留意见所涉及事项对上市公司
533中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
的重大不利影响尚未消除。本次发行涉及重大资产重组的除外；
3、现任董事、高级管理人员最近三年受到中国证监会行政处罚，或者最近一年受
到证券交易所公开谴责；
4、上市公司或者其现任董事、高级管理人员因涉嫌犯罪正在被司法机关立案侦查
或者涉嫌违法违规正被中国证监会立案调查；
5、控股股东、实际控制人最近三年存在严重损害上市公司利益或者投资者合法权
益的重大违法行为；
6、最近三年存在严重损害投资者合法权益或者社会公共利益的重大违法行为。
因此，本次交易符合《注册管理办法》第十一条的规定。
（二）本次交易符合《注册管理办法》第十二条的规定
本次交易募集配套资金总额不超过150000.00万元，不超过本次交易中以发行股份方式购买资产的交易价格的100%，且发行股份数量不超过本次配套融资发行前上市公司总股本的30%。本次募集配套资金扣除中介机构及相关费用后，拟用于支付本次交易现金对价、标的公司项目建设、补充流动资金，募集配套资金使用符合下列规定：
1、符合国家产业政策和有关环境保护、土地管理等法律、行政法规规定；
2、本次募集资金使用不涉及持有交易性金融资产和可供出售的金融资产、借予他
人、委托理财等财务性投资，不涉及直接或间接投资于以买卖有价证券为主要业务的公司；
3、募集资金项目实施后，不会与控股股东、实际控制人及其控制的其他企业新增
构成重大不利影响的同业竞争、显失公平的关联交易，或者严重影响公司生产经营的独立性；
4、本次募集配套资金投资于科技创新领域的业务。
因此，本次交易符合《注册管理办法》第十二条的规定。
（三）本次交易符合《注册管理办法》第五十五条的规定
534中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）上市公司拟向不超过35名符合条件的特定对象发行股票募集配套资金，符合《发行注册管理办法》第五十五条的规定。
（四）本次交易符合《注册管理办法》第五十六条、第五十七条以及第五十八条的规定上市公司拟采用竞价方式向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。本次发行股份募集配套资金的定价基准日为本次募集配套资金的发行期首日，发行价格不低于发行期首日前20个交易日上市公司股票交易均价的80%。本次募集配套资金不涉及董事会决议提前确定发行对象的情形并将以竞价方式确定发行价格和发行对象。
综上，本次募集配套资金符合《发行注册管理办法》第五十六条、第五十七条以及
第五十八条的规定。
（五）本次交易符合《注册管理办法》第五十九条的规定
根据《注册管理办法》第五十九条，向特定对象发行的股票，自发行结束之日起六个月内不得转让。发行对象属于《注册管理办法》第五十七条第二款规定情形的，其认购的股票自发行结束之日起十八个月内不得转让。
本次募集配套资金认购方不超过35名，不存在提前确定发行对象的情形。认购对象认购本次发行的股份，自本次发行股份发行结束之日起6个月内不得转让，符合《注册管理办法》第五十九条的相关规定。
十二、本次交易符合《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条、第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意见第18号》的要求
根据《上市公司证券发行注册管理办法》第四十条规定的适用意见：上市公司申请
向特定对象发行股票的，拟发行的股份数量原则上不得超过本次发行前总股本的百分之三十。
上市公司本次向特定对象发行股份募集配套资金定价基准日为发行期首日，且募集配套资金拟发行的股份数量不超过本次发行前上市公司总股本的30%。因此，本次交易
535中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）符合《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条、第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意见第18号》的要求。
十三、中介机构关于本次交易符合《重组管理办法》规定发表的明确意见
独立财务顾问和律师核查意见详见本报告书“第十四节对本次交易的结论性意见”
之“二、独立财务顾问对本次交易的结论性意见”和“三、律师结论性意见”。
536中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第九节管理层讨论与分析
一、本次交易前上市公司的财务状况和经营成果
（一）本次交易前上市公司的财务状况根据上市公司财务报告，本次交易前上市公司的财务状况和经营成果分析如下（除有特别说明，以下分析中的财务数据均为合并报表财务数据）：
1、资产结构分析
根据上市公司2024年度、2025年度经审计的财务报表，本次交易前，上市公司资产结构如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
流动资产：
货币资金795140.0326.64%776161.7229.60%
交易性金融资产79175.522.65%83402.443.18%
应收票据6048.610.20%9261.450.35%
应收账款198684.286.66%135233.655.16%
预付款项5965.360.20%5442.340.21%
其他应收款8977.200.30%1138.740.04%
存货716997.2224.02%703851.8726.85%
合同资产1561.680.05%2817.340.11%
其他流动资产80850.112.71%71297.932.72%
一年内到期的非流动资产--1483.200.06%
流动资产合计1893400.0263.44%1790090.6868.28%
非流动资产：
长期应收款1224.210.04%1013.890.04%
长期股权投资144477.044.84%86959.353.32%
其他非流动金融资产217188.877.28%176886.776.75%
投资性房地产537.990.02%579.340.02%
固定资产282920.459.48%271620.2510.36%
在建工程86287.452.89%65215.002.49%
537中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
使用权资产976.720.03%1585.600.06%
无形资产128584.194.31%69296.182.64%
开发支出153506.075.14%124758.904.76%
长期待摊费用422.960.01%615.390.02%
递延所得税资产33494.861.12%18015.260.69%
其他非流动资产41581.061.39%15117.870.58%
非流动资产合计1091201.8836.56%831663.8031.72%
资产总计2984601.90100.00%2621754.47100.00%
（1）资产总体构成分析
报告期各期末，上市公司资产总额分别为2621754.47万元、2984601.90万元。
其中流动资产金额分别为1790090.68万元、1893400.02万元，占资产总额的比重分别为68.28%、63.44%；非流动资产金额分别为831663.80万元、1091201.88万元，占资产总额的比重分别为31.72%、36.56%。
（2）流动资产分析
报告期各期末，上市公司流动资产主要由货币资金、应收账款和存货等构成，上述
3项流动资产合计金额分别为1615247.24万元、1710821.53万元，占流动资产的比例
合计分别为90.23%、90.36%，上市公司流动资产结构良好，具有较强的可变现能力。
（3）非流动资产分析
报告期各期末，上市公司非流动资产主要由其他非流动金融资产、长期股权投资、固定资产、在建工程、无形资产和开发支出等构成，上述6项非流动资产合计金额分别为794736.45万元、1012964.08万元，占非流动资产的比例合计分别为95.56%、92.83%。
2、负债结构分析
根据上市公司2024年度、2025年度经审计的财务报表，本次交易前，上市公司负债结构如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
流动负债：
538中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
应付账款185626.7626.08%167997.4325.92%
合同负债304384.1942.77%258646.7939.90%
应付职工薪酬45335.996.37%39099.966.03%
应交税费10202.261.43%20886.403.22%
其他应付款52715.577.41%58011.708.95%
一年内到期的非流动负债1911.660.27%3562.580.55%
其他流动负债20021.262.81%15179.872.34%
流动负债合计620197.6987.14%563384.7386.92%
非流动负债：
长期借款73040.0010.26%72180.0011.14%
租赁负债486.890.07%1099.400.17%
预计负债860.800.12%1577.770.24%
递延收益16957.062.38%9573.671.48%
递延所得税负债10.570.00%3.860.00%
其他非流动负债164.840.02%380.860.06%
非流动负债合计91520.1612.86%84815.5613.08%
负债合计711717.85100.00%648200.28100.00%
（1）负债总体构成分析
报告期各期末，上市公司负债总额分别为648200.28万元、711717.85万元。其中流动负债金额分别为563384.73万元、620197.69万元，占负债总额的比重分别为86.92%、
87.14%；非流动负债金额分别为84815.56万元、91520.16万元，占负债总额的比重分
别为13.08%、12.86%，上市公司负债结构以流动负债为主。
（2）流动负债分析
报告期各期末，上市公司的流动负债主要由应付账款、合同负债、应付职工薪酬和其他应付款等构成，上述4项流动负债合计金额分别为523755.88万元、588062.50万元，占流动负债的比例分别为92.97%、94.82%。
（3）非流动负债分析
报告期各期末，上市公司的非流动负债主要由长期借款、递延收益等构成，上述2项非流动负债合计金额分别为81753.67万元、89997.06万元，占非流动负债的比例分别为96.39%、98.34%。
539中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
3、偿债能力分析
?本次交易前，上市公司主要偿债能力指标基本情况如下：
项目2025年末2024年末
资产负债率（%）23.85%24.72%
流动比率（倍）3.053.18
速动比率（倍）1.901.93
注1：资产负债率=期末负债合计/期末资产合计；
注2：流动比率=流动资产/流动负债；
注3：速动比率=（流动资产-存货）/流动负债。
报告期各期末，上市公司资产负债率分别为24.72%、23.85%，整体维持在合理水平；流动比率分别为3.18倍、3.05倍，速动比率分别为1.93倍、1.90倍，公司总体资产流动性较好。
（二）本次交易前上市公司的经营成果
1、营业收入及利润情况
根据上市公司2024年度、2025年度经审计的财务报表，本次交易前，上市公司经营成果如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
一、营业收入1238463.83906516.51
减：营业成本753413.90534297.75
税金及附加6831.013101.92
销售费用49851.1147885.05
管理费用47787.5448180.10
研发费用247542.40141765.75
财务费用-4758.37-8679.68
其中：利息费用1892.991542.08
利息收入10124.4910555.27
加：其他收益25742.3320197.03
投资收益（损失以“-”号填列）51113.778773.61
其中：对联营企业的投资收益5187.982268.03
公允价值变动收益（损失以“-”号填列）16319.2215338.72
540中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
信用减值损失（损失以“-”号填列）-2662.36-2127.04
资产减值损失（损失以“-”号填列）-9602.60-11806.18
资产处置收益（损失以“-”号填列）344.4910.04
二、营业利润219051.09170351.78
加：营业外收入953.501013.47
减：营业外支出-1019.66-471.79
三、利润总额218984.94170893.47
减：所得税费用12563.219462.03
四、净利润206421.73161431.44
少数股东损失-4725.57-136.14
归属于母公司股东的净利润211147.30161567.57报告期内上市公司主营业务未发生重大变动。报告期各期上市公司的营业收入分别为906516.51万元、1238463.83万元，同比增长36.62%，主要系上市公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产，相关产品在2025年批量验收通过所致。报告期各期上市公司实现归属于母公司股东的净利润分别为161567.57万元、
211147.30万元，同比增长30.69%，主要系上市公司收入增长带来的毛利增长以及2025年投资收益大幅上升所致。
2、盈利能力分析
本次交易前，上市公司主要盈利能力指标如下：
项目2025年度2024年度
毛利率39.17%41.06%
净利率16.67%17.81%
加权平均净资产收益率9.97%8.66%
基本每股收益（元/股）3.402.61
注1：毛利率=（营业收入-营业成本）/营业收入；
注2：净利率=净利润/营业收入；
注3：加权平均净资产收益率按照《公开发行证券的公司信息披露编报规则第9号——净资产收益率和每股收益的计算及披露》计算；
注4：基本每股收益=归属于母公司所有者的净利润/发行在外的普通股加权平均数。
报告期内，上市公司因客户结构变化、部分客户销售价格下调等因素影响，毛利率和净利率略有下降，但上市公司加权平均净资产收益率和基本每股收益均持续提升，上
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市公司盈利能力整体较好。
二、标的公司行业特点及经营情况的讨论与分析
（一）标的公司所处行业发展情况
1、半导体设备行业概况
半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节，作为支撑芯片设计、制造、封测全产业链运转的核心生产载体，半导体设备承担着电路图案转移、材料刻蚀、薄膜沉积、性能检测等关键工序的实施功能。由于半导体设计、制造和封装测试等环节需在设备技术允许的范围内进行，设备的技术进步将推动半导体产业的发展。根据摩尔定律演进，每隔18-24个月芯片性能将提升一倍，而每更新一代工艺制程，则需更新一代更为先进的制程设备，随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加，制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构则需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。
依据工艺环节差异，半导体设备可分为前道工艺设备（对应晶圆制造环节）与后道工艺设备（对应封装测试环节）两大类，两类设备在功能定位与细分品类上各有侧重。
前道工艺设备是晶圆制造环节的核心装备，主要涵盖光刻、干法刻蚀、掺杂、薄膜沉积、平坦化、热处理、湿法清洗、量测检测及工厂辅助设备九大品类，细分品种合计约190种。晶圆制造核心工艺步骤对应专用设备如下：
而后道工艺设备聚焦封装测试环节，核心功能是完成晶圆切割、芯片封装及性能检测，主要包括减薄设备、划切设备、测试机、分选机等细分品类，其稳定性直接影响芯片成品良率与最终性能验证效率。
542中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
半导体产业链除半导体设计领域外，其他领域均需要半导体设备厂商提供相应的设备产品以满足生产需要。除了少数公司在半导体设备产品线布局较广外，绝大部分设备厂商专注生产单一品类的半导体设备，标的公司即属于专注于研制 CMP设备的专业型半导体设备企业。
根据 SEMI报告，2025年全球半导体制造设备总销售额预计达到 1330亿美元，同比增长13.7%，预计未来两年半导体制造设备销售额将持续增长，2026年和2027年分别达到1450亿美元和1560亿美元。这一增长主要得益于人工智能相关投资的推动，尤其是在尖端逻辑电路、存储器以及先进封装技术的应用方面。
数据来源：SEMI，2025 Year-End Total Semiconductor Equipment Forecast - OEM Perspective此外，由于先进制程节点的持续增长，2025年晶圆代工和逻辑应用领域的晶圆厂设备（WFE）销售额预计同比增长 9.8%，规模达 666 亿美元。随着芯片制造商增加人工智能加速器、高性能计算和高端移动处理器的产能，预计该领域在2026年将增长5.5%，并在 2027年增长 6.9%，达到 752亿美元。而 NAND闪存设备市场受 3D NAND堆叠技术的进步以及领先层和主流层产能的扩张，2025年预计增长45.4%至140亿美元，并在
2026年进一步增长 12.7%至 157亿美元，2027年增长 7.3%至 169亿美元。DRAM设备
销售额则受存储器供应商提高 HBM产能并升级到更先进的工艺节点，以满足人工智能和数据中心的需求影响，2025年预计增长15.4%至225亿美元，随后在2026年和2027年分别同比增长15.1%和7.8%。
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数据来源：SEMI，2025 Year-End Total Semiconductor Equipment Forecast - OEM Perspective根据 Frost & Sullivan 数据显示，得益于国内晶圆厂扩产潮短期内迅速拉动市场对半导体设备的需求，2020年至2024年间中国半导体设备市场以23.7%的年复合增长率增长，于 2024 年达到 3024.5 亿元。预计未来五年，5G、物联网、人工智能等领域的技术浪潮有望催生半导体及半导体设备产业的新一轮成长，促使中国半导体设备市场规模在2025到2029年间以7.8%的年复合增长率增长，于2029年达到4849.5亿元。
544中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
数据来源：Frost & Sullivan
2、化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备行业概况
化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）是实现晶圆全局平坦化的关键工艺，指的是通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化，是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。
根据 Gartner统计数据，集成电路制造设备投资一般占集成电路制造领域资本性支出的
70%-80%，且随着工艺制程的提升，设备投资占比也将相应提高，当集成电路制程达到
16 及 14 纳米时，设备投资占比可达 85%。CMP 设备价值量约占半导体设备投资额的
3%左右，具体如下图所示：
545中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
数据来源：Gartner
按销售额口径统计，全球 CMP 设备市场规模从 2020 年的 113.9 亿元增长到 2024年的 228.0亿元，年复合增长率 18.9%。未来全球 CMP设备市场规模预计将从 2025年的249.2亿元增长为2029年的375.2亿元，期间年复合增长率为10.8%。
数据来源：Frost & Sullivan
全球 CMP设备市场处于高度垄断状态。根据 Gartner数据，全球 CMP设备市场主要由美国应用材料和日本荏原占据，全球市场占有率超 80%，尤其在 14nm以下先进制程工艺产线上使用的 CMP设备主要由美国应用材料和日本荏原两家国际巨头提供。此外国外还存在韩国 KC Tech、东京精密等规模较小的 CMP设备企业。而中国大陆大部分高端 CMP设备仍然依赖于进口，具备较为广阔的国产化空间。
中国大陆作为全球最大的半导体设备市场，CMP设备需求旺盛，增速高于全球增速。2020-2024年中国大陆 CMP设备市场规模复合年增长率达 30.4%。未来随着工艺技术进步，CMP 设备在整体生产链条中的使用频次将进一步增加，对应市场规模有望逐步提升。据测算，到 2029年中国大陆 CMP设备市场规模预计将达到 146亿元。
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数据来源：Frost & Sullivan
3、化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备行业技术特征
CMP工艺水平直接决定了芯片制造的良率与性能表现。每一层电路结构的形成都需要通过 CMP工艺实现表面平整化处理，这是保证后续光刻、刻蚀及薄膜沉积等工艺正常进行的基础条件。
CMP抛光过程可以分为化学过程和物理过程。化学过程指：研磨液中化学成分与硅片表面材料产生化学反应，通过将不溶物转化为易溶物或软化高硬度物质，生成比较容易去除的物质。物理过程指：研磨液中的磨粒与硅片表面材料发生机械物理摩擦，从硅片表面去除这些化学反应物，溶入流动的液体中带走。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法，CMP通过化学的和机械的综合作用，最大程度减少较硬材料与较软材料在材料去除速率上的差异，也有效避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。
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数据来源：华海清科招股书，方正证券研究所CMP设备主要由抛光单元、清洗单元和晶圆传输单元三大模块组成，其中，（1）抛光单元包括抛光头、抛光盘、抛光垫、修整器、抛光液供应系统、终点检测系统等；
（2）清洗单元一般包括兆声清洗模组、刷洗模组及干燥模组等；（3）晶圆传输单元主
要包括前端模组、晶圆传输手等，前端模组将晶圆搬运至机台内进行加工。CMP设备在较长时间内并不存在明显技术迭代周期，相比成熟制程，先进制程对应设备并无明显结构差异，仅是特定模块技术的不断优化。
半导体 CMP设备分类方式多样，按被抛光材料及晶圆尺寸分类示意如下图所示：
在应用领域方面，CMP工艺是实现晶圆表面平坦化的关键工艺，贯穿硅片制造、IC制造、封测等环节。（1）硅片制造环节：在抛光工艺流程中，在完成拉晶、硅锭加工、切片成型环节后，在抛光环节，为最终得到平整洁净的抛光片需要通过 CMP设备及工艺实现；（2）前道 IC制造环节：芯片制造过程按照技术分工主要可分为薄膜沉积、
CMP、光刻、刻蚀、离子注入等工艺环节，CMP设备在其中承担了晶圆抛光的作用，并且循环重复多次。当前 IC元件普遍采用多层立体布线，在 IC前道制造中，只有 CMP
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工艺才能实现晶圆纳米级全局平坦化，并且可以兼顾局部平坦化；（3）后道封装环节：
在先进封装领域，CMP工艺也被越来越多使用，其中硅通孔（TSV）、扇出（Fan-Out）、
2.5D转接板（Interposer）、3D IC等均需要用到 CMP工艺。
4、化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备行业发展趋势
CMP设备需求量随产线工艺的进步而增大。随着超大规模集成电路制造的线宽不断细小化而产生对平坦化的更高要求，CMP在先进工艺制程中具有不可替代且愈发重要的作用。随着摩尔定律的延续，当制造工艺不断向先进制程节点发展时对 CMP技术的要求相应提高、步骤也会不断增加，以逻辑芯片为例，65nm 制程芯片需经历约 12道 CMP步骤，而制程节点发展至 7nm以下时，芯片制造过程中 CMP的应用在最初的氧化硅 CMP和钨 CMP基础上新增了包含氮化硅 CMP、鳍式多晶硅 CMP、钨金属栅极
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CMP等先进 CMP技术，所需的抛光步骤也增加至 30余步。随着 CMP设备在整体生产链条中的使用频次增加，投资规模在半导体设备行业的占比也将逐步提升。同时，12英寸晶圆产线所需 CMP设备数量也高于 8英寸产线。根据 Cabot Microelectronics数据，制程从 180nm进步到 7nm过程中，所需 CMP工艺步骤从 10步提升至 30步。
数据来源：Cabot Microelectronics
随着芯片制程向 3nm以下演进，CMP设备需满足超低压力抛光（<0.5psi）、原子级平坦化（TTV<0.5nm）等需求，推动企业加大研发投入。
此外，为实现芯片垂直空间的有效利用，多层金属化技术被应用到集成电路制造工艺中。随着各种工艺层被刻蚀成图形，晶圆表面变得高低起伏，导致晶圆表面呈现出不同的反射性质，难以达到良好的解析度同时电路电阻值增高，稳定性下降。因此，在多层布线的立体结构集成电路中，如何实现整片平坦化成为重要技术发展方向之一。化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）技术依靠其优秀的全局平坦化能力、广泛的适用
性、以及低成本特点逐渐成为晶圆制造和加工过程中的主流平坦化技术。随着集成电路技术发展，芯片集成度增加，CMP设备的重要性和在产业链条中的投资占比也逐步增加，从而带动 CMP设备市场的发展。
随着各电路层中薄膜厚度逐渐减薄，在同样空间内能够沉积的薄膜层数也相应增多，需要的 CMP抛光次数也增多。以 TSMC 为例，90nm 需要 7 层金属层，28nm 需要 10层金属层，在 5nm节点，金属层数提高到 14层。
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数据来源：IC Knowledge，招商证券另外，随着芯片制程的缩减、晶圆尺寸的增长以及芯片内部结构的日趋复杂，半导体制造环节对于 CMP设备的平坦化效果、控制精度、系统集成度要求越来越高，CMP设备将向高精密化与高集成化方向发展。且随着半导体工业对芯片性能要求的不断提高，对晶圆表面的平整度、均匀性和缺陷控制的要求也越来越严格。CMP技术将不断向抛光头分区精细化、工艺控制智能化、清洗单元多能量组合化、预防性维护精益化等方向发展。
（1）抛光头分区精细化
为提高集成度，逻辑芯片特征线宽已经降到 10nm以下；存储芯片的堆叠层数也从
64层发展到128层以上。芯片集成度的提升对抛光的均匀性提出更高要求，全局均匀
性的控制要求从几十纳米提高到几纳米。为满足抛光均匀性的要求，需要将抛光头设置更加合理、精细的分区，并配合智能算法解决多分区相互耦合的问题，大幅提升抛光头压力控制精度。
（2）工艺控制智能化
智能化 CMP是一个受多因素影响的工艺过程，抛光盘的转动、承载头的转动、修整器的摆动、承载头各分区的载荷、保持环压力、抛光垫磨损、抛光液供给、抛光液温
度等因素的微小变化都会影响抛光结果。在人工智能和大数据的助推下，CMP设备可
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以引入智能算法，构建智能控制模型，提升 CMP设备的智能化工艺控制水平，减少耗材等因素的影响，提高工艺一致性与产品良率。同时，智能化还有助于实现远程监控和操作，为设备管理和维护提供便利。CMP设备智能化是行业发展的重要方向，也是行业内企业提升核心竞争力的关键所在。
（3）清洗单元多能量组合化
当特征尺寸降至 14nm以下后，线宽不断接近物理基础尺寸，纳米级的颗粒污染都有可能会对芯片的性能和可靠性产生重要影响。随着互连线宽特征尺寸的不断减小，对表面污染物残留的控制更加严苛。CMP设备中的清洗单元需综合考虑兆声震动、机械柔性刷洗、表面张力等多种能量，并采取科学合理组合，同时借助科学的化学清洗剂形成有效的保护和辅助，提高清洗效果。
（4）预防性维护精益化
CMP设备通过配置部件状态监测装置，可以实时监控易损易耗部件，如保持环、抛光垫、清洗刷等的使用状态。根据人工智能和大数据技术，智能预测易损易耗部件的更换周期。在保证部件使用性能的前提下，尽可能延长其使用寿命，控制设备的预防性维护成本。另一方面，通过结构设计或引入新材料，实现更换后的易损易耗部件快速进入良好的工作状态，即缩短耗材部件的磨合时间，降低生产成本。
（二）影响行业发展的有利因素和不利因素
1、有利因素
（1）国家产业政策的支持
半导体行业的发展程度是国家科技实力的重要体现，半导体设备领域更是全球科技竞争的焦点。近年来，国家各部门相继推出了一系列优惠政策，鼓励和支持行业发展。
具体政策参见“第四节标的公司基本情况”之“七、标的公司主营业务情况”之“（一）所处行业的主管部门、监管体制、主要法律法规及政策”。利好政策相继出台，有助于我国 CMP设备行业技术水平的提高和市场规模的快速提升。
（2）自主可控与国际半导体产业转移新契机
随着全球半导体产业逐步向中国大陆转移，我国开始重视并支持本土 CMP设备的
552中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）研发和生产。近年来在国家科技重大专项和集成电路产业投资基金的支持下，我国半导体产业链不断完善，特别是国内 CMP设备制造业技术水平不断提高，并涌现一批优秀的 CMP设备制造企业。CMP设备国产化趋势加快，不仅有助于打破国际巨头的垄断，提高本土企业的市场份额，还能促进技术的迭代创新和产业的可持续发展。同时，国产化趋势也有助于降低设备成本，提高国内半导体制造企业的竞争力，从而进一步推动半导体产业链整体的发展。
（3）下游市场需求快速增长，应用场景持续拓展
随着 5G、人工智能、物联网、汽车电子、云计算等新兴技术的兴起，全球对高性能芯片的需求快速扩张，带动半导体产业持续增长。此外，随着摩尔定律延续，芯片制程向 3nm及以下先进节点推进，逻辑芯片和存储芯片的工艺步骤显著增加，对 CMP设备的使用频率和性能要求更高。CMP设备作为半导体制造的关键设备，其市场需求随下游半导体行业景气度提升而扩大，尤其是中国大陆已成为全球半导体设备第一大市场，为 CMP设备提供了广阔的应用空间。
2、不利因素
（1）与国际领先企业仍存在差距
半导体设备行业具有投资周期长、研发投入大等特点，属于典型的资本密集型和技术密集型行业。从全球范围来看，CMP设备市场主要被美国应用材料和日本荏原等少数几家国际巨头所占据。这些企业在技术研发、生产制造、市场推广、经营规模、产品认知度、运营时间、客户资源等方面均存在较大的先发优势，国内企业在技术研发方面需要投入大量的时间和资金，才能够缩小与国际先进水平的差距，给国内企业带来了较大的竞争压力和挑战。
（2）高端技术人才相对缺乏
CMP设备行业是技术高度密集型行业，涉及微电子、电气、机械、材料、化学工程、流体力学、自动化、图像识别、通讯、软件系统等多学科知识、多领域技术的交叉
综合运用，对于技术人员的知识背景、研发能力及操作经验均有较高要求。
当前，随着国内半导体产业进入高速发展周期，兼具系统化理论知识、前沿技术开发能力与深刻市场洞察力的复合型高端人才供给明显不足。这一结构性矛盾导致行业内
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领军人才及核心工程技术团队存在一定需求缺口，制约了 CMP设备行业的快速发展。
（三）行业经营特征
1、行业主要经营模式
CMP设备行业以销售 CMP设备为核心业务，通过向半导体制造企业、晶圆厂等客户提供高价值的 CMP设备，获取一次性销售收入，并在设备销售后，为客户提供持续的技术支持、维护保养、备件供应等服务。CMP设备企业通过建立本地化服务团队，快速响应客户需求，确保设备在客户端的稳定运行，满足客户对设备可靠性的要求。
此外，针对客户特定的工艺需求或先进制程要求，CMP设备企业提供定制化的 CMP设备或工艺解决方案。同时，与客户开展联合研发项目，共同探索新技术、新工艺，缩短产品验证周期，增强与客户的合作关系。
2、行业周期性及区域性或季节性特征
（1）周期性半导体设备行业的特点是与下游半导体行业技术发展和市场整体景气程度密切相关，受全球经济、国际形势起伏的影响，半导体设备行业存在一定的周期性特征。随着全球宏观经济的变动，半导体设备行业亦呈现出周期性成长的特征。随着全球半导体制造产能向中国的迁移以及中国半导体设备国产化趋势的不断演化，中国 CMP设备行业市场规模预计将维持一定的增长。
（2）区域性
全球主要半导体制造厂商主要分布在欧洲、美洲及日韩等经济发达地区，国内半导体制造厂商亦主要集中在经济发达、工业基础配套完善的地区，如中国台湾、长三角（江浙沪）、环渤海地区为主要集聚区，珠三角（广州、深圳）及武汉、成都等高科技企业密集城市也形成重要产业集群。这些区域凭借先进的半导体技术积累、完善的产业链配套及政策支持，聚集了大量半导体设备制造商、零部件供应商及晶圆厂，形成协同效应。
（3）季节性
就季节性而言，CMP设备行业整体没有明显的季节性波动，但受企业预算周期影
554中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）响，通常在下半年尤其是第四季度会出现集中验收的情况。
（四）行业壁垒
1、技术及验证壁垒
复杂的技术工艺与高难度的研发是 CMP设备行业的主要壁垒。CMP设备是集机械学、流体力学、材料化学、精细加工、控制软件等多领域最先进技术于一体的设备，需保持精密的机械控制与干湿化学和机械间的平衡，具有较为复杂的研制难度，对技术、工艺、专利等有严格的要求，厂商竞争存在较高的技术壁垒。此外，CMP设备行业的国际巨头市场占有率较高，其在大部分技术领域已采取了知识产权保护措施，国内企业需投入大量时间和资金研发，才能逐步缩小与国际先进水平的差距。
此外，下游客户对于 CMP设备的技术参数、运行的稳定性有苛刻的要求。为保障生产效率、质量和良率，客户均设有严格的认证标准和程序，需要经过较长时间的采购认证、设备验证程序，产品通过客户验证的过程复杂、难度相对较大。后进入的 CMP设备企业若不具备相当的技术积累和研发实力，将难以通过客户的验证，CMP设备行业的产品验证壁垒较高。
2、人才壁垒
CMP设备的研发和生产过程较为复杂，涉及多学科领域交叉，需要具备综合专业知识和丰富生产经验的复合型人才。要培养一支高技术水平的团队，需要大量的人力资源投入及时间积累，CMP设备行业人才壁垒较高。
3、资金壁垒
CMP设备行业前期研发投入大，实现量产及盈利周期较长，系资金密集型行业。
研发投入、厂房建设、购置设备及市场拓展等方面均迫切需要大量资金的支持，进入该行业的企业需要具备一定的资金实力，如果企业无法持续地投入资金进行技术更新和产品创新，将难以在激烈的市场竞争中保持领先地位。因此，CMP设备行业资金壁垒较高。
4、市场及客户壁垒
在 CMP设备领域，行业内企业的技术创新与客户的长期协作密不可分，与下游厂
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商建立长期稳定的合作关系，能够掌握行业、产品最新技术动态，及时了解和把握客户最新需求，准确地进行设备更新升级，确保产品在市场竞争中保持竞争优势，同时积累产品行业应用经验，持续完善产品性能，提高产品质量水平。因此，客户对与其长期合作的 CMP设备企业黏性较大，对新进入者构成了市场及客户壁垒。
（五）行业与上下游联系情况
半导体行业呈现垂直化分工格局，上游包括半导体材料、半导体制造设备等；中游为半导体生产，具体可划分为芯片设计、晶圆制造、封装测试；半导体产业下游为各类终端应用。
CMP设备行业产业链上中下游紧密协同，形成完整生态。上游聚焦核心零部件与材料，包括检测系统、控制系统、抛光垫、抛光液等，技术壁垒高且国产化率逐步提升，但高端材料（如高纯度磨料）和精密部件（如纳米级传感器）仍依赖进口；中游为 CMP
设备的设计与制造环节，CMP设备企业通过自主研发突破国际垄断，产品覆盖 12英寸/8英寸设备，技术性能达国内领先、国际先进水平，并逐步在成熟制程领域实现自主可控，同时向先进制程攻关；下游则广泛应用于集成电路制造（如逻辑芯片、存储芯片）、先进封装、传感器等领域，受益消费电子、AI、新能源汽车等新兴需求驱动，下游市场扩张反向拉动中上游技术迭代与产能提升，形成“需求-研发-应用”的良性循环。
（六）行业竞争格局、市场化程度和行业内主要企业
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1、行业竞争格局、市场化程度
全球 CMP设备市场主要由美国应用材料和日本荏原占据，处于高度垄断状态。根据 Gartner数据，2024年上述两家制造商的 CMP设备全球市场占有率超过 80%，尤其在 14nm 以下先进制程工艺产线上使用的 CMP设备主要由美国应用材料和日本荏原两家国际巨头提供。
数据来源：Gartner
国内 CMP市场，目前在高端市场部分，绝大部分仍然依赖于进口，在 14nm 以下最先进制程工艺的大生产线上所应用的 CMP设备仍主要由美国应用材料和日本荏原两
家国际巨头提供。美国应用材料与日本荏原分别已实现 5nm制程和部分材质 5nm制程的工艺应用；但是在成熟制程领域，以华海清科、杭州众硅为代表的国内企业已经打破了国外巨头常年垄断的局面，并且已经在国内 CMP市场占据了重要份额。
2、行业内主要企业
（1）国际主要竞争对手概况
1）美国应用材料（股票代码：AMAT.O）美国应用材料成立于1967年，系美国纳斯达克证券交易所上市公司（股票代码：AMAT.O），主要产品包括芯片制造相关类产品，例如原子层沉积、物理气相沉积、化学气相沉积、电镀、侵蚀、离子注入、快速热处理、化学机械抛光、测量学和硅片检测等，现为全球第一的半导体制造设备供应商（光刻机除外）。
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2025财年，美国应用材料实现营业收入283.68亿美元，净利润69.98亿美元。
2）日本荏原（股票代码：6361.T）
日本荏原成立于 1912年，系日本东京证券交易所上市公司（股票代码：6361.T），主要涉及建筑工业、基础设施、能源、环境、精密电子等5个事业领域。主要产品包括泵、制冷机、冷却塔、风机、涡轮机、垃圾焚烧设施、真空泵、CMP设备、废弃处理
设备、电镀设备等。日本荏原在流体机械、真空泵以及 CMP设备领域积累了丰富经验，是全球半导体产业的重要供应商之一。
2024年度，日本荏原实现营业收入55.11亿美元，净利润4.54亿美元。
（2）国内主要竞争对手概况目前，国内从事 CMP设备制造业务的主要企业有标的公司、华海清科及晶亦精微等，具体如下：
1）华海清科（股票代码：688120.SH）
华海清科（股票代码：688120.SH）成立于 2013年，主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务，目前主要产品和服务包括化学机械抛光（CMP）装备、减薄装备、划切装备、边抛装备、离子注入装备、湿法装备、晶圆再生和关键耗材与维保服务等。
2024年度，华海清科实现营业收入34.06亿元，净利润10.23亿元。
2）晶亦精微
晶亦精微成立于2019年，主要从事半导体设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备及其配件，并提供技术服务。
（七）标的公司核心竞争力及行业地位
1、标的公司核心竞争力
（1）聚焦半导体制造关键核心环节，核心技术自主可控
标的公司聚焦半导体制造关键核心环节，以技术研发创新为引擎，在CMP后清洗技术、终点检测控制技术、APC智能控制技术、CMP工艺应用等核心领域均实现创新突
558中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）破并自主可控。如在终点检测控制技术上，开发了多样化多用途终点检测技术，包含了光谱终点检测系统，以及可融合的多频涡流终点检测系统和激光终点检测系统，适应不同材料不同膜厚检测需求，实现高精度实时反馈，确保抛光工艺的精准控制。其中白光终点检测技术，可在极短采集时间内对高转速抛光过程中大量白光光谱数据进行稳定且准确的实时提取。此外，标的公司已围绕核心技术构建起全方位知识产权保护矩阵，核心技术自主可控。
标的公司是国内少数能够自主创新制造12英寸CMP设备的企业，其设备采用6抛光盘的全新架构设计，突破了目前市场主流设备4盘或3盘的架构模式。6抛光盘的设计不仅可同时支持3盘工艺或2盘工艺，更好匹配先进存储和逻辑芯片制造中多场景工艺需求，为逻辑芯片、存储芯片、功率器件等不同应用领域提供一站式解决方案，凸显“一机多用”的柔性生产优势。同时，产能方面实现了跨越式提升，结合模块化设计带来的快速维护能力，不仅降低了设备停机维护时间，更同步提升了运行稳定性与生产效率，为客户构建“高效低耗”的生产体系提供核心支撑。该设备凭借技术创新性与产业化价值，已成功认定为“国内首台（套）装备”，这一认证印证了标的公司在CMP设备领域的技术领先地位，为半导体产业链高端装备国产化提供了关键支撑，具备广阔的市场空间。
（2）汇聚国内外高端人才，标的公司具备持续性创新能力
标的公司创始团队来自浙江大学、南京大学、美国哥伦比亚大学、美国密苏里大学
罗拉分校、美国加州大学伯克利分校劳伦斯-伯克利国家实验室等国内外知名高校/科研院所，曾任职于应用材料、瓦里安半导体、屹唐半导体等知名企业。同时，标的公司组建了一支兼具国际视野与本土深耕能力的团队，团队核心成员行业经验丰富。此外，标的公司依托前瞻性的科研布局与创新生态，建立有浙江省博士后工作站、浙江省高新技术企业研究开发中心等科研创新平台，引进了来自国内外名校的硕士、博士人才，逐步形成“人才培养—技术攻关—成果转化”的全链条创新体系，具备持续创新能力。
（3）标的公司客户已覆盖业内知名企业，客户资源优质集成电路制造企业和碳化硅功率器件厂商对各类半导体专业设备的技术标准和可
靠性有着严苛的要求，对设备供应商的选择非常慎重，设备产品一旦验证通过并实际进入生产线，即进入客户的合格供应商名录，后续采购需求相对稳定。经过多年努力，标的公司自主研发并生产的CMP设备已成功进入国内知名先进存储厂商和逻辑芯片制造
559中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）厂商，取得了良好的市场口碑，与客户建立了良好的合作关系。标的公司通过与业内知名企业的产品验证过程，对客户的核心需求、行业技术发展趋势理解更为深刻。
（4）设备核心模块自研实现自主可控
CMP设备核心零部件长期以来被国外企业垄断，国内设备厂商依赖进口，面临供应中断、技术封锁等风险。标的公司已实现了诸如抛光头、旋转接头、电推缸、风机过滤器等关键零部件的自主可控。通过零部件自研形成专利布局，构建技术壁垒，规避国外专利纠纷与技术封锁，摆脱对外部供应链的依赖，并形成了产业链上下游协同，为半导体装备产业链自主可控提供了关键支撑，强化了核心竞争力。同时，关键零部件的自研可降低零部件采购与维护成本，同时缩短设备交付与售后响应周期，推动国产CMP设备性价比优势凸显，助力国内晶圆厂降低生产成本，加速国产设备自主化发展进程。
2、标的公司行业地位
标的公司自2018年成立以来，始终以“攻克半导体设备卡脖子技术”为核心目标，在 CMP设备领域持续深耕。标的公司由 GU HAIYANG博士创立，GU HAIYANG博士本科毕业于浙江大学金属材料工程专业，后赴美深造，在密苏里大学罗拉分校取得博士学位；在国际半导体行业深耕多年，亲历 130nm至 14nm多个技术节点的设备迭代。标的公司成立后持续攻关 CMP核心技术，2021年 6月，杭州众硅自主研制完成首台 6英寸 CMP设备（第三代半导体），实现了技术突破；2022年 8月，完成了 12英寸 CMP设备（大硅片衬底抛光）的创新研发，是国内首台大硅片量产设备，已被认定为国内首台（套）装备；2023年 7月，12英寸 CMP设备成功交付国内知名厂商投入产线应用，标志着产品从研发走向量产。标的公司是国内少数具备 12 英寸 CMP 设备量产能力的厂商，其自主研发的 TTAIS300 CMP 设备，是国际首台 6抛光盘 12英寸 CMP设备，同时支持3盘和2盘工艺制程，采用6个独立研磨模组和2个独立清洗模组的全新紧凑架构设计，设备单位占地面积产出效率高，且具备可维护性高、生产效率高、综合使用成本低等特点。
标的公司产品通过相关客户验证的验证难度主要体现在：每一个客户由于所生产芯
片的产品特点、技术节点、工艺制程不同，其生产工艺均有独特之处，专用设备需满足相应的定制化要求。标的公司新设备在进场开展工艺测试验证时，需根据客户需求进行工艺参数的调试，配合客户生产工艺中采用的抛光液、抛光垫等耗材调整机台工艺参数。
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调试完成后，需进行产品片验证。基于新设备并完成芯片加工所需的数百道甚至上千道工艺的全流程后，所生产的芯片产品各种性能包括良品率要与客户产线要求的基准指标完全一致。由于芯片生产过程极其复杂、精密，步骤繁多，且越先进制程的芯片生产需要的 CMP步骤越多，不同客户、不同抛光材料、不同技术节点的工艺窗口宽窄有所不同，若标的公司的设备无法适配客户工艺、得到与客户现有基准指标完全一致的抛光工艺结果，则很难通过验证。
截至目前，标的公司研发的 CMP设备产品已在集成电路制造及相关领域实现产业深度融合，具体应用情况如下：
应用领域应用节点产业应用情况
1X/1Y 已实现产业化应用
DRAM制造
HBM 已实现产业化应用
180-14纳米以上已实现产业化应用
逻辑芯片制造14纳米产线验证中
14产品设计论证、优化及商业推广纳米以下
中
大硅片制造/已实现产业化应用
Micro OLED制造 / 已实现产业化应用
3D NAND / 产品设计论证、优化及商业推广制造
中
三、标的公司的财务状况分析
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审计了标的公司2024年度、2025年度的财务报表，并出具了无保留意见审计报告（普华永道中天特审字(2026)第0065号）。
（一）资产结构分析
报告期各期末，标的公司资产结构情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
流动资产：
货币资金12495.0012.22%29978.2133.04%
交易性金融资产5136.065.02%3500.283.86%
应收票据10.300.01%20.200.02%
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应收账款16231.9115.88%5005.805.52%
预付款项925.210.91%430.060.47%
其他应收款185.610.18%269.020.30%
存货53982.1852.81%41352.9645.58%
合同资产--447.180.49%
其他流动资产7393.497.23%6087.386.71%
一年内到期的非流动资产----
流动资产合计96359.7594.27%87091.0995.99%
非流动资产：
长期应收款----
长期股权投资----
其他非流动金融资产----
投资性房地产----
固定资产1446.211.41%1776.061.96%
在建工程-0.00%5.470.01%
使用权资产1099.701.08%1494.621.65%
无形资产29.090.03%67.470.07%
开发支出----
长期待摊费用218.140.21%293.050.32%
递延所得税资产----
其他非流动资产3059.672.99%0.710.00%
非流动资产合计5852.825.73%3637.384.01%
资产总计102212.56100.00%90728.47100.00%
报告期各期末，标的公司资产总额分别为90728.47万元、102212.56万元。其中流动资产金额分别为87091.09万元、96359.75万元，占资产总额的比重分别为95.99%、
94.27%；非流动资产金额分别为3637.38万元、5852.82万元，占资产总额的比重分别
为4.01%、5.73%。
1、流动资产构成及变动分析
报告期内，标的公司的流动资产主要构成情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
562中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
货币资金12495.0012.97%29978.2134.42%
交易性金融资产5136.065.33%3500.284.02%
应收票据10.300.01%20.200.02%
应收账款16231.9116.85%5005.805.75%
预付款项925.210.96%430.060.49%
其他应收款185.610.19%269.020.31%
存货53982.1856.02%41352.9647.48%
合同资产-0.00%447.180.51%
其他流动资产7393.497.67%6087.386.99%
一年内到期的非流动资产-0.00%-0.00%
流动资产合计96359.75100.00%87091.09100.00%
报告期各期末，标的公司的流动资产金额分别为87091.09万元、96359.75万元，主要由货币资金、交易性金融资产、应收账款、存货和其他流动资产构成。
（1）货币资金
报告期各期末，标的公司货币资金情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
银行存款12494.2099.99%29977.40100.00%
其他货币资金0.800.01%0.810.00%
合计12495.00100.00%29978.21100.00%
报告期各期末，标的公司货币资金分别为29978.21万元、12495.00万元，在2025年末货币资金有所减少，主要系经营活动现金流出和购买理财所致。2025年末其他货币资金均为 ETC保证金，2024 年末其他货币资金中包括了 0.80 万元 ETC保证金与法人证件过期而冻结的资金72.05元，除上述款项以外，标的公司货币资金不存在其他担保、质押、冻结等权利受限情形。
（2）交易性金融资产
报告期各期末，标的公司交易性金融资产分别为3500.28万元、5136.06万元，占流动资产的比例分别为4.02%、5.33%，标的公司交易性金融资产均为安全性高、风险低的理财产品。
563中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（3）应收票据
报告期各期末，标的公司应收票据分别为20.20万元、10.30万元，占流动资产的比例较低，标的公司应收票据均为银行承兑汇票，银行承兑汇票信用减值风险极低，在整个存续期的预期信用损失率为0%，故未计提坏账准备。
（4）应收账款
1）应收账款基本情况
报告期各期末，标的公司应收账款分别为5005.80万元、16231.91万元，占流动资产的比例分别为5.75%、16.85%。2025年末公司应收账款金额和占比均有所上升，主要系标的公司2025年验收的专用设备数量上升，相应的形成的收入和应收账款增加。
单位：万元项目2025年末2024年末
应收账款余额16624.195085.94
坏账准备金额392.2880.14
应收账款账面价值16231.915005.80
应收账款坏账计提比例2.36%1.58%
2）应收账款账龄结构
报告期各期末，标的公司应收账款账龄结构如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目账面余额占比账面余额占比
一年以内13057.2378.54%4974.9497.82%
一到二年3566.9621.46%111.002.18%
二到三年-0.00%-0.00%
三到四年-0.00%-0.00%
四年以上-0.00%-0.00%
合计16624.19100.00%5085.94100.00%
报告期各期末，标的公司应收账款账龄均在2年以内，账龄在1年以内的应收账款比例分别为97.82%、78.54%，公司应收账款质量整体良好，回款风险较低。
3）应收账款坏账计提情况
564中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
报告期各期末，标的公司应收账款计提坏账准备情况如下：
单位：万元
2025年末
种类账面余额坏账准备账面价值金额比例金额计提比例
单项计提坏账准备-----按信用风险特征组合计提
16624.19100.00%392.282.36%16231.91
坏账准备
其中：按账龄组合计提坏
16624.19100.00%392.282.36%16231.91
账准备
合计16624.19100.00%392.282.36%16231.91
2024年末
种类账面余额坏账准备账面价值金额比例金额计提比例
单项计提坏账准备-----按信用风险特征组合计提
5085.94100.00%80.141.58%5005.80
坏账准备
其中：按账龄组合计提坏
5085.94100.00%80.141.58%5005.80
账准备
合计5085.94100.00%80.141.58%5005.80
报告期各期末，标的公司不存在单项计提的坏账准备，标的公司按照整个存续期的预期信用损失计提坏账准备，标的公司应收账款坏账准备金额分别为80.14万元、392.28万元。
对于应收账款，标的公司均按照整个存续期的预期信用损失计量损失准备。标的公司与同行业可比公司应收账款坏账准备计提比例的对比情况如下：
可比公司1年以内1-2年2-3年3-4年4年以上
6个月内1%；6
华海清科15%20%未披露未披露
个月-1年5%
芯源微5%10%20%30%30%
6个月内1%；7
4-5年30%；5
盛美上海个月-12个月：10%20%25%
年以上100%
5%
6个月内1%；6
屹唐股份15%50%100%未披露
个月-1年5%
565中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
可比公司1年以内1-2年2-3年3-4年4年以上
6个月内1%；7
拓荆科技个月-12个月：15%20%30%4-5年50%
5%
2025年2.27%；2025年2.70%；
标的公司不适用不适用不适用
2024年1.55%2024年2.74%
报告期各期末，标的公司预期信用损失率较可比公司低，主要原因系标的公司在报告期内客户较为集中，且主要客户近年来发展态势良好，财务状况及经营状况正常，不存在重大经营风险，信用损失风险极低。并且标的公司一年以内的应收账款也主要在6个月以内，标的公司参考行业信息，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和预期信用损失率，计算预期信用损失。
4）应收账款前五名单位情况
报告期各期末，标的公司应收账款账面余额前五名情况如下：
单位：万元占应收账款应收账款和坏账准应收账款期合同资产和合同资产序号单位名称合同资产期备期末末余额期末余额期末余额合末余额余额计数的比例
2025年末
1 客户 A 11531.11 - 11531.11 69.36% 319.26
2 集团 A 3587.07 - 3587.07 21.58% 41.79
3 客户 B 685.46 - 685.46 4.12% 16.58
4 客户 C 484.77 - 484.77 2.92% 9.02
5 客户 D 250.99 - 250.99 1.51% 4.67
合计16539.40-16539.4099.49%391.33
2024年末
1 客户 A 2881.50 - 2881.50 51.99% 53.00
2 客户 B 2056.37 456.97 2513.35 45.34% 33.47
3 客户 E 111.00 - 111.00 2.00% 3.04
4 客户 F 15.74 - 15.74 0.28% 0.18
5 集团 A 9.93 - 9.93 0.18% 0.11
合计5074.54456.975531.5199.79%89.80
注：集团 A系合并口径。
报告期各期末，标的公司按欠款方归集的余额前五名的应收账款和合同资产客户占
566中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
应收账款和合同资产期末余额合计数的比例分别为99.79%、99.49%，应收账款集中度高主要系标的公司目前尚在客户导入初期、验收机台客户集中度较高所致。
（5）预付账款
报告期各期末，标的公司预付款项账面余额分别为430.06万元、925.21万元，占流动资产的比例分别为0.49%、0.96%，主要系生产经营过程中支付的原材料款项等预付款。
报告期各期末，标的公司按预付对象归集的期末余额前五名单位预付账款情况如下：
单位：万元序号单位名称期末余额占预付账款余额的比例
2025年末
1安川通商（上海）实业有限公司326.7735.32%
2科赛锐领（上海）科技发展有限公司147.3815.93%
3北京锐洁机器人科技有限公司66.677.21%
4锐硕半导体科技（南京）有限公司59.186.40%
5 Gat传动技术（北京）有限公司 52.19 5.64%
合计652.1970.50%
2024年末
1安川通商（上海）实业有限公司95.9422.31%
2北京锐洁机器人科技有限公司66.6715.50%
3毕孚自动化设备贸易（上海）有限公司50.4811.74%
4锐硕半导体科技（南京）有限公司33.127.70%
5沈阳菲力普工业自动化设备有限公司21.915.09%
合计268.1262.34%
报告期各期末，标的公司按预付对象归集的期末余额前五名单位预付账款金额分别为268.12万元、652.19万元，占预付款项期末余额的比例分别为62.34%、70.50%，主要为原材料采购预付款。
（6）其他应收款
报告期各期末，标的公司其他应收款余额构成如下：
单位：万元项目2025年末2024年末
567中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
金额占比金额占比
保证金及押金188.12100.00%126.9046.60%
其他--145.4053.40%
其他应收款余额188.12100.00%272.30100.00%
坏账准备2.521.34%3.281.20%
其他应收款账面价值185.6198.66%269.0298.80%
报告期各期末，标的公司的其他应收款主要为保证金及押金和其他部分，2024年末其他部分主要为根据客户需求采购的附属设备的其他应收账款。报告期各期末，标的公司其他应收款账面价值分为别269.02万元、185.61万元，占各期末流动资产的比例分别为0.31%、0.19%，金额和占比均较低。
报告期各期末，标的公司前五大其他应收款情况如下：
单位：万元序号其他应收款方名称款项性质账面余额账面余额占比坏账准备账面价值
2025年末
1浙江钜典药业有限公司保证金及押金70.0037.21%0.8769.13
2杭州鑫湖实业发展有限公司保证金及押金50.0026.58%0.7049.30
3上海继彰工程造价咨询有限公司保证金及押金26.0013.82%0.3625.64
4上海桥合置业有限公司保证金及押金18.379.76%0.2618.11
浙江青山湖科研创新基地投资有
5保证金及押金10.005.32%0.149.86
限公司
合计174.3792.69%2.33172.04
2024年末
1 公司 A 代收代付 145.40 53.40% 1.61 143.79
2浙江钜典药业有限公司保证金及押金70.0025.71%0.8769.13
3上海桥合置业有限公司保证金及押金18.376.75%0.2618.11
4上海继彰工程造价咨询有限公司保证金及押金12.314.52%0.1712.14
5浙江大学科技园发展有限公司保证金及押金10.113.71%0.149.97
合计256.1994.08%3.06253.14
（7）存货
1）存货构成情况及变动分析
报告期各期末，标的公司存货情况如下：
568中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
原材料20672.4735.58%15222.4732.11%
在产品17032.3829.32%11565.7724.40%
发出商品19656.8433.83%20194.1842.60%
产成品641.751.10%335.580.71%
委托加工物资93.980.16%91.050.19%
存货账面余额小计58097.42100.00%47409.04100.00%
减：存货跌价准备4115.257.08%6056.0712.77%
存货账面价值53982.1892.92%41352.9687.23%
报告期各期末，标的公司存货账面价值分别为41352.96万元、53982.18万元，占流动资产的比例分别为47.48%、56.02%，存货主要由原材料、在产品和发出商品构成，存货整体规模随着经营规模增长同步增长。
2）存货跌价准备计提
报告期各期末，标的公司存货跌价准备计提情况如下：
单位：万元
2025年末
项目账面余额跌价准备账面价值跌价计提比例
原材料20672.474015.3416657.1319.42%
在产品17032.38-17032.380.00%
发出商品19656.8495.9319560.910.49%
产成品641.75-641.750.00%
委托加工物资93.983.9890.014.23%
合计58097.424115.2553982.187.08%
2024年末
项目账面余额跌价准备账面价值跌价计提比例
原材料15222.473812.1111410.3625.04%
在产品11565.77718.2210847.556.21%
发出商品20194.181521.2318672.957.53%
产成品335.58-335.580.00%
委托加工物资91.054.5186.534.96%
569中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合计47409.046056.0741352.9612.77%
报告期内，标的公司在资产负债表日对于存货按成本与可变现净值孰低计量，对于存货成本高于其可变现净值的，计提存货跌价准备。报告期各期末，标的公司存货跌价准备金额分别为6056.07万元、4115.25万元，主要为原材料、在产品、发出商品的跌价准备。2024年末，标的公司存货跌价准备计提金额较多主要系：报告期内公司尚处于新客户、新工艺验证初期，由于集成电路制造商对新设备供应商的选择较为慎重，愿意接受和验证新供应商的设备产品通常需要设备厂商对首台产品采取低价策略进行促销试用，以取得集成电路制造商的验证机会，成为合格供应商后持续销售、服务，故公司2024年末对低价策略造成的亏损合同相应计提了存货跌价准备。随着低价策略的合同顺利验收、标的公司正常销售价格合同数量的增加，标的公司2025年末存货跌价准备计提金额较2024年末减少。
报告期各期末，标的公司存货跌价准备计提比例与可比公司比较情况如下：
可比公司2025年末2024年末
华海清科1.54%1.73%
芯源微0.53%0.74%
盛美上海2.89%1.15%
屹唐股份5.72%6.32%
拓荆科技0.76%0.80%
平均值2.29%2.15%
标的公司7.08%12.77%
注1：可比公司数据来自其定期报告；
注2：截至本草案签署日，除盛美上海外，其余可比公司2025年年度报告尚未披露，故其余可比公司2025年末的存货跌价计提比例系取自其2025年半年度报告。
报告期各期末，标的公司存货跌价准备计提比例高于同行业平均值，主要系可比公司体量较大且已发展多年，而标的公司目前尚在新客户、工艺验证初期，存在产品迭代，并且部分产品售价采取了低价策略，故导致部分存货成本高于其可变现净值的，标的公司相应计提了存货跌价准备。整体而言，标的公司存货跌价准备计提较为谨慎。
（8）合同资产
报告期各期末，标的公司合同资产金额分别为447.18万元、0.00万元，占流动资产的比例分别为0.51%、0.00%，2024年末的合同资产主要为系产品销售形成的未到期
570中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）质保金。
（9）其他流动资产
报告期各期末，标的公司其他流动资产金额分别为6087.38万元、7393.49万元，占流动资产的比例分别为6.99%、7.67%，均系待抵扣进项税额。
2、非流动资产构成及变动分析
报告期内，标的公司的非流动资产主要构成情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
固定资产1446.2124.71%1776.0648.83%
在建工程--5.470.15%
使用权资产1099.7018.79%1494.6241.09%
无形资产29.090.50%67.471.86%
长期待摊费用218.143.73%293.058.06%
其他非流动资产3059.6752.28%0.710.02%
非流动资产合计5852.82100.00%3637.38100.00%
报告期各期末，标的公司的非流动资产金额分别为3637.38万元、5852.82万元，主要由固定资产、使用权资产、长期待摊费用和其他非流动资产构成。
（1）固定资产
报告期各期末，标的公司的固定资产期末账面价值构成如下表所示，主要由机器设备构成。
单位：万元项目原值累计折旧减值准备账面价值
2025年末
机器设备2314.05949.86-1364.19
办公设备408.87359.53-49.34
运输工具84.3751.68-32.69
合计2807.291361.08-1446.21
2024年末
机器设备2202.55556.52-1646.03
571中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
办公设备389.69308.39-81.31
运输工具84.3735.65-48.72
合计2676.62900.56-1776.06
标的公司固定资产均为正常生产经营所必需的资产，资产使用与运行状况良好，报告期各期末，公司不存在因市价持续下跌或技术陈旧、损坏、长期闲置等原因而导致可收回金额低于账面价值的情形，无需计提固定资产减值准备。
（2）在建工程
报告期各期末，标的资产在建工程金额分别为5.47万元、0.00万元，金额较小。
（3）使用权资产
报告期各期末，标的资产使用权资产情况如下：
单位：万元项目2025年末2024年末
账面原值2277.722277.72
累计折旧1178.02783.10
账面价值1099.701494.62
报告期各期末，标的公司使用权资产的账面价值分别为1494.62万元、1099.70万元，占非流动资产比例分别为41.09%、18.79%，主要为房屋及建筑物租赁，报告期内使用权资产账面价值下降主要系随着剩余租赁期的减少而下降。
（4）无形资产
报告期各期末，标的公司的无形资产情况如下：
单位：万元项目2025年末2024年末
账面原值386.08362.50
累计折旧356.99295.02
账面价值29.0967.47
报告期各期末，标的公司使用权资产的账面价值分别为67.47万元、29.09万元，占非流动资产比例分别为1.86%、0.50%，金额和占比均较低，标的公司无形资产均系软件。
572中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（5）长期待摊费用
报告期各期末，标的公司的长期待摊费用金额分别为293.05万元、218.14万元，占非流动资产比例分别为8.06%、3.73%，主要经营场所的装修改良支出。
（6）其他非流动资产
报告期各期末，标的公司的其他非流动资产情况如下：
单位：万元项目2025年末2024年末
预付长期资产购置款-0.71
大额存单及利息3059.67-
合计3059.670.71
报告期各期末，标的公司其他非流动资产金额分别为0.71万元、3059.67万元，占非流动资产比例分别为0.02%、52.28%。2025年末标的公司其他非流动资产大幅增加主要系购买大额存单所致。
（二）负债结构分析
报告期各期末，标的公司的负债结构情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
流动负债：
短期借款15011.9355.74%12510.7746.23%
应付账款4747.2417.63%4447.3216.43%
合同负债2037.417.56%3936.6714.55%
应付职工薪酬1512.175.61%1625.316.01%
应交税费109.360.41%154.000.57%
其他应付款715.762.66%890.773.29%
一年内到期的非流动负债390.641.45%1370.075.06%
其他流动负债1190.214.42%710.642.63%
流动负债合计25714.7395.48%25645.5494.76%
非流动负债：
长期借款----
573中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
租赁负债693.802.58%1068.583.95%
预计负债165.680.62%49.520.18%
递延收益23.970.09%--
递延所得税负债----
其他非流动负债334.001.24%300.001.11%
非流动负债合计1217.444.52%1418.115.24%
负债合计26932.17100.00%27063.65100.00%
报告期各期末，标的公司负债总额分别为27063.65万元、26932.17万元。其中流动负债金额分别为25645.54万元、25714.73万元，占负债总额的比重分别为94.76%、
95.48%；非流动负债金额分别为1418.11万元、1217.44万元，占负债总额的比重分别
为5.24%、4.52%。
1、流动负债结构及变动分析
报告期各期末，标的公司流动负债构成情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
短期借款15011.9358.38%12510.7748.78%
应付账款4747.2418.46%4447.3217.34%
合同负债2037.417.92%3936.6715.35%
应付职工薪酬1512.175.88%1625.316.34%
应交税费109.360.43%154.000.60%
其他应付款715.762.78%890.773.47%
一年内到期的非流动负债390.641.52%1370.075.34%
其他流动负债1190.214.63%710.642.77%
流动负债合计25714.73100.00%25645.54100.00%
（1）短期借款
报告期各期末，标的公司短期借款情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
担保借款14011.0993.33%11509.8792.00%
574中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
信用借款1000.846.67%1000.908.00%
合计15011.93100.00%12510.77100.00%
报告期各期末，标的公司短期借款金额分别为12510.77万元、15011.93万元，主要为担保借款和信用借款，短期借款及占流动负债的比例分别为48.78%、58.38%。
（2）应付账款
报告期各期末，标的公司应付账款情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
应付材料采购款4747.24100.00%4447.32100.00%
合计4747.24100.00%4447.32100.00%
报告期各期末，标的公司应付账款金额分别为4447.32万元、4747.24万元，均系应付材料采购款，占流动负债的比例分别为17.34%、18.46%。
（3）合同负债
报告期各期末，标的公司合同负债情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
预收产品销售款2037.41100.00%3936.67100.00%
合计2037.41100.00%3936.67100.00%
报告期各期末，标的公司合同负债金额分别为3936.67万元、2037.41万元，均系预收产品销售款，占流动负债的比例分别为15.35%、7.92%。
（4）应付职工薪酬
报告期各期末，标的公司应付职工薪酬余额分别为1625.31万元、1512.17万元，应付职工薪酬余额变动较小，占流动负债的比例分别为6.34%、5.88%。
（5）应交税费
报告期各期末，标的公司应交税费情况如下：
575中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
应交增值税0.060.05%3.192.07%
应交印花税8.527.79%14.509.41%
代扣代缴的个人所得税100.7892.15%136.3288.52%
合计109.36100.00%154.00100.00%
报告期各期末，标的公司应交税费分别为154.00万元、109.36万元，主要系代扣代缴的个人所得税，占流动负债的比例分别为0.60%、0.43%。
（6）其他应付款
报告期各期末，标的公司其他应付款情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
政府补助400.0055.88%370.0041.54%
应付日常运营费用101.5414.19%72.128.10%
应付专业机构服务费97.5613.63%242.6827.24%
应付采购工程及固定资产款96.8513.53%168.3718.90%
应付物流费3.970.55%2.030.23%
其他15.852.21%35.563.99%
合计715.76100.00%890.77100.00%
报告期各期末，标的公司其他应付款分别为890.77万元、715.76万元，主要系政府补助、应付日常运营费用和专业机构服务费，占流动负债的比例分别为3.47%、2.78%。
（7）一年内到期的非流动负债
报告期各期末，标的公司一年内到期的非流动负债情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
一年内到期的长期借款及利息-0.00%984.9971.89%
一年内到期的租赁负债390.64100.00%385.0728.11%
合计390.64100.00%1370.07100.00%
576中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
报告期各期末，标的公司一年内到期的非流动负债分别为1370.07万元、390.64万元，主要系一年内到期的长期借款及利息和一年内到期的租赁负债，占流动负债的比例分别为5.34%、1.52%。
（8）其他流动负债
报告期各期末，标的公司其他流动负债情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
产品质量质保金924.5277.68%709.2799.81%
待转销项税额265.6922.32%1.360.19%
合计1190.21100.00%710.64100.00%
报告期各期末，标的公司其他流动负债分别为710.64万元、1190.21万元，主要系待转销项税额和质保金，占流动负债的比例分别为2.77%、4.63%。
2、非流动负债结构及变动分析
报告期各期末，标的公司非流动负债构成情况如下：
单位：万元
2025年末2024年末
项目金额占比金额占比
租赁负债693.8056.99%1068.5875.35%
预计负债165.6813.61%49.523.49%
递延收益23.971.97%--
其他非流动负债334.0027.43%300.0021.15%
非流动负债合计1217.44100.00%1418.11100.00%
（1）租赁负债
报告期各期末，标的公司租赁负债金额分别为1068.58万元、693.80万元，占非流动负债的比重分别为75.35%、56.99%，标的公司租赁负债为尚未支付的一年以上租赁款。
（2）预计负债
报告期各期末，标的公司预计负债金额分别为49.52万元、165.68万元，占非流动
577中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
负债的比重分别为3.49%、13.61%，标的公司预计负债均系一年以上的产品质保金。
（3）递延收益
报告期各期末，标的公司递延收益金额分别为0.00万元、23.97万元，占非流动负债的比重分别为0.00%、1.97%，标的公司递延收益均系与收益相关的政府补助。
（4）其他非流动负债
报告期各期末，标的公司其他非流动负债金额分别为300.00万元、334.00万元，占非流动负债的比重分别为21.15%、27.43%，标的公司其他非流动负债均系政府补助。
（二）偿债能力分析
报告期各期，标的公司偿债能力相关指标如下：
项目2025年末/2025年度2024年末/2024年度
流动比率（倍）3.753.40
速动比率（倍）1.651.78
资产负债率26.35%29.83%
息税折旧摊销前利润（万元）-7759.47-14129.23
利息保障倍数（倍）-16.18-48.38
注1：流动比率=流动资产/流动负债；
注2：速动比率=（流动资产-存货）/流动负债；
注3：资产负债率=总负债/总资产；
注4：息税折旧摊销前利润=利润总额+利息费用+折旧+摊销；
注5：利息保障倍数=息税折旧摊销前利润/利息费用。
报告期各期末，标的公司的流动比率分别为3.40倍、3.75倍，速动比率分别是1.78倍、1.65倍，资产负债率分别为29.83%、26.35%。报告期内，标的公司流动比率、速动比率整体处于较高水平，资产负债率整体保持在较低水平。报告期各期，标的公司息税折旧摊销前利润及利息保障倍数均为负数，主要系标的公司尚处于新客户、新工艺验证初期，一方面由于集成电路制造商对新设备供应商的选择较为慎重，愿意接受和验证新供应商的设备产品通常需要设备厂商对首台产品采取低价策略进行促销试用，以取得集成电路制造商的验证机会，成为合格供应商后持续销售、服务，故标的公司报告期内毛利率较低；另一方面标的公司持续保持研发投入，报告期各期研发费用较高，导致标的公司仍处于亏损状态，但标的公司流动比率、速动比率和资产负债率指标均较好，偿债能力良好，足够支撑持续经营。
578中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
报告期各期末，标的公司偿债能力指标与同行业公司的对比情况如下：
项目可比上市公司2025年末/2025年度2024年末/2024年度
华海清科2.192.11
芯源微1.802.70
盛美上海3.752.69
流动比率（倍）屹唐股份4.572.94
拓荆科技1.531.86
平均值2.772.46
标的公司3.753.40
华海清科1.271.33
芯源微0.851.55
盛美上海2.611.49
速动比率（倍）屹唐股份2.541.52
拓荆科技0.750.80
平均值1.611.34
标的公司1.651.78
华海清科42.44%44.85%
芯源微54.77%49.62%
盛美上海28.71%36.80%
资产负债率屹唐股份24.48%40.57%
拓荆科技67.72%65.40%
平均值43.62%47.45%
标的公司26.35%29.83%
华海清科125457.95122019.87
芯源微15232.6731463.47
盛美上海164262.26142566.46息税折旧摊销前利
屹唐股份88668.4572375.55润（万元）
拓荆科技37877.9684025.15
平均值86299.8690490.10
标的公司-7759.47-14129.23
华海清科123.2599.06
芯源微4.7711.82
利息保障倍数（倍）
盛美上海39.7953.02
屹唐股份15.7321.14
579中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目可比上市公司2025年末/2025年度2024年末/2024年度
拓荆科技4.3411.16
平均值37.5839.24
标的公司-16.18-48.38
注1：可比公司数据来自其定期报告；
注2：截至本草案签署日，除盛美上海外，其余可比公司2025年年度报告尚未披露，故流动比率、速动比率、资产负债率指标均系取自其余可比公司2025年三季报数据，息税折旧摊销前利润、利息保障倍数取自其余可比公司2025年半年度数据并经过年化处理。
报告期各期末，标的公司流动比率、速动比率、资产负债率指标基本优于可比公司平均水平，主要系标的公司在报告期内进行了股权融资，货币资金相对充足。报告期内，标的公司息税折旧摊销前利润、利息保障倍数指标均低于可比公司平均水平，主要系标的公司和同行业可比上市公司所处阶段不同，标的公司尚处于新客户、新工艺验证初期，收入规模尚未放量、毛利率有待提升、研发费用等期间费用尚未实现规模效益所致。
（三）资产周转能力分析
报告期各期，标的公司资产周转能力相关指标如下：
项目2025年度2024年度
总资产周转率（次/年）0.250.07
应收账款周转率（次/年）2.251.01
存货周转率（次/年）0.340.13
注1：总资产周转率=营业收入/[（期初资产总额+期末资产总额）/2]；
注2：应收账款周转率=营业收入/[（期初应收账款账面余额+期末应收账款账面余额）/2]；
注3：存货周转率=营业成本/[（期初存货账面余额+期末存货账面余额）/2]。
2024年，标的公司总资产周转率、应收账款周转率、存货周转率指标较低，主要
系2024年标的公司验收机台数量较少、收入规模较小所致。2025年度，随着标的公司新客户、新工艺的逐步导入，标的公司验收机台数量增多、收入规模增加，相关指标已有所改善。
报告期各期末，标的公司资产周转能力指标与同行业公司的对比情况如下：
项目可比上市公司2025年末/2025年度2024年末/2024年度
华海清科0.350.33总资产周转率（次/芯源微0.220.35年）盛美上海0.440.51
屹唐股份0.470.51
580中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目可比上市公司2025年末/2025年度2024年末/2024年度
拓荆科技0.330.32
平均值0.360.41
标的公司0.250.07
华海清科5.715.67
芯源微2.523.00
盛美上海2.382.84应收账款周转率
屹唐股份13.3910.46（次/年）
拓荆科技4.183.99
平均值5.645.19
标的公司2.251.01
华海清科0.660.67
芯源微0.400.63
盛美上海0.760.70存货周转率（次/屹唐股份0.850.85年）
拓荆科技0.490.40
平均值0.630.65
标的公司0.340.13
注1：可比公司数据来自其定期报告；
注2：截至本草案签署日，除盛美上海外，其余可比公司2025年年度报告尚未披露，故总资产周转率、应收账款周转率、存货周转率指标均系取自其余可比公司2025年三季报数据，2025年1-9月相关指标已折算全年，其余可比公司2025年三季度报告均未披露应收账款余额，故使用应收账款账面价值代替计算。
2024年标的公司总资产周转率低于可比公司平均值，主要系当期标的公司收入较少所致，随着2025年标的公司收入的上升，标的公司的总资产周转率与可比公司平均值的差异已有所缩小。报告期内标的公司应收账款周转率和存货周转率均低于可比公司平均值，但已呈现改善趋势。
四、标的公司的盈利能力及未来趋势分析
根据普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《审计报告》（普华永道中天特审字(2026)第0065号），报告期内，标的公司盈利能力及未来趋势分析详见下文。
报告期内，标的公司利润表各项目情况如下：
581中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
一、营业收入24411.88100.00%5288.65100.00%
减：营业成本17995.5973.72%4808.7690.93%
税金及附加20.570.08%23.810.45%
销售费用512.752.10%1025.4019.39%
管理费用4538.4518.59%5659.97107.02%
研发费用11291.4846.25%8357.82158.03%
财务费用364.261.49%177.613.36%
其中：利息费用479.461.96%292.025.52%
利息收入124.960.51%118.012.23%
加：其他收益1290.765.29%547.6110.35%
投资收益（损失以“-”号填列）257.811.06%128.442.43%
其中：对联营企业的投资收益----
公允价值变动收益（损失以“-”号填列）43.040.18%-23.20-0.44%
信用减值损失（损失以“-”号填列）-311.37-1.28%278.565.27%
资产减值损失（损失以“-”号填列）-220.45-0.90%-1514.34-28.63%
资产处置收益（损失以“-”号填列）----
二、营业利润-9251.43-37.90%-15347.64-290.20%
加：营业外收入1.430.01%1.620.03%
减：营业外支出--0.280.01%
三、利润总额-9250.00-37.89%-15346.30-290.17%
减：所得税费用----
四、净利润-9250.00-37.89%-15346.30-290.17%
少数股东损失-0.00030.00%-0.00030.00%
归属于母公司股东的净利润-9249.99-37.89%-15346.30-290.17%
（一）营业收入分析
报告期内，标的公司营业收入构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
主营业务收入24411.88100.00%5288.65100.00%
582中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
其他业务收入----
合计24411.88100.00%5288.65100.00%
报告期内，标的公司的主营业务收入分别为5288.65万元、24411.88万元，主营业务收入占比维持在100%，主营业务突出。
1、主营业务收入按产品划分
报告期内，标的公司主营业务收入按产品分类情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
专用设备23934.0098.04%5065.5495.78%
备品备件388.411.59%206.733.91%
服务收入89.470.37%16.380.31%
合计24411.88100.00%5288.65100.00%
报告期内，标的公司主营业务收入主要来自销售专用设备，来自于销售专用设备的收入分别为5065.54万元、23934.00万元，占主营业务收入的比例分别为95.78%、
98.04%，销售专用设备收入在2025年度大幅上升，主要系公司在报告期各期确认销售
CMP设备数量有所增长所致。报告期内，标的公司销售备品备件主要为向客户提供的耗材销售，此类业务收入随着公司 CMP设备累计销售数量的增加而相应增长。报告期内，服务收入主要系标的公司向客户提供的抛光服务收入、技术服务收入。
2、主营业务收入按区域划分
报告期内，标的公司主营业务收入按地区分类情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
中国大陆24396.7499.94%5288.65100.00%
国外及中国港澳台地区15.140.06%--
合计24411.88100.00%5288.65100.00%
报告期内，标的公司的主营业务收入来源主要为中国大陆，来自于中国大陆的主营业务收入占比分别为100%、99.94%。
3、主营业务收入按季度划分
583中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
报告期内，标的公司主营业务收入按季度划分情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
第一季度688.112.82%80.831.53%
第二季度143.630.59%458.248.66%
第三季度1907.197.81%110.572.09%
第四季度21672.9588.78%4639.0187.72%
合计24411.88100.00%5288.65100.00%
报告期内，标的公司的销售不存在明显的季节性波动，但由于下游集成电路厂商通常于年初作出全年的资本性支出计划，此后开展采购、安装、调试、验收，导致公司大部分设备取得客户验收、确认收入的时点相对集中于下半年，此类情况与同行业的华海清科、芯源微、盛美上海、屹唐股份、拓荆科技等企业相似。并且由于标的公司目前收入规模较可比公司小，故更容易受到下游客户验收节奏的影响。
（二）营业成本分析
报告期内，标的公司营业成本构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
主营业务成本17995.59100.00%4808.76100.00%
其他业务成本----
合计17995.59100.00%4808.76100.00%
报告期内，标的公司的主营业务成本分别为4808.76万元、17995.59万元，主营业务成本占比维持在100%。
1、主营业务成本按产品划分
报告期内，标的公司主营业务成本按产品分类情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
专用设备17789.7998.86%4729.7598.36%
584中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
备品备件182.701.02%73.061.52%
服务收入23.100.13%5.950.12%
合计17995.59100.00%4808.76100.00%
报告期内，标的公司的主营业务成本主要来源于专用设备业务，与主营业务收入的产品构成情况一致，并与相关产品的收入变动趋势匹配。
2、主营业务成本按构成划分
报告期内，标的公司主营业务成本按构成分类情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
直接材料13942.0377.47%3312.2968.88%
直接人工2400.5913.34%722.0515.02%
制造费用1652.979.19%774.4216.10%
合计17995.59100.00%4808.76100.00%
报告期各期，标的公司的主营业务成本中主要为直接材料、直接人工和制造费用，其中直接人工成本和制造费用占比在2025年度有所下降主要系2025年经营规模的增加带来的规模效益所致。
（三）毛利及毛利率分析
报告期内，主营业务毛利来源及构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
专用设备6144.2195.76%335.7969.97%
备品备件205.713.21%133.6727.85%
其他收入66.371.03%10.432.17%
合计6416.29100.00%479.89100.00%
报告期内，标的公司主营业务毛利主要来源于专用设备业务，主营业务毛利变动趋势与主营业务收入变动趋势一致。
报告期内，标的公司各产品和服务的毛利率情况如下：
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项目2025年度2024年度
专用设备25.67%6.63%
备品备件52.96%64.66%
服务收入74.18%63.68%
主营业务毛利率26.28%9.07%
报告期内，标的公司的12英寸机台验收机台较少，且尚处于工艺验证、客户验证初期，因此针对部分重要的集成电路制造商，标的公司选择了低价的策略以获取重要的集成电路制造商的验证机会。后续成为合格供应商后，将会通过更多的订单及更高的价格来维持合理利润和规模效应。故2024年标的公司专用设备的毛利率较低，为6.63%。
随着前期合同顺利验收、标的公司后续合同的销售价格和数量均有增加，标的公司2025年专用设备毛利率已有了较大改善，已提升至25.67%。报告期内，标的公司备品备件毛利率分别为64.66%、52.96%，毛利率较高主要系备品备件主要为专用设备配件，均为定制化产品，故销售毛利率较高；备品备件毛利率在2025年度有所下降主要系部分客户采购备品备件量上升，标的公司给予了一定的价格优惠所致。服务收入主要系标的公司为客户提供的抛光服务等技术服务，系公司成熟技术的衍生服务故毛利率较高。
标的公司与可比公司的毛利率分析对比情况如下：
项目2025年度2024年度
华海清科44.09%43.20%
芯源微34.52%37.67%
盛美上海48.32%48.86%
屹唐股份37.36%37.39%
拓荆科技33.28%41.69%
平均值39.51%41.76%
标的公司主营业务毛利率26.28%9.07%
标的公司专用设备毛利率25.67%6.63%
注1：可比公司数据来自其定期报告，可比公司毛利率为综合毛利率；
注2：截至本草案签署日，除盛美上海外，其余可比公司2025年年度报告尚未披露，故2025年末其余可比公司毛利率系取自其2025年三季度报告。
虽然标的公司自身经营规模和毛利率指标在报告期内呈稳步提升趋势，但相较于规模体量更大、发展更为成熟的可比上市公司，标的公司仍处于早期发展阶段，由于标的公司在报告期内销售的新客户、新工艺首台设备占比较大，其验收周期较长且为了开拓业务在定价上有所优惠，同时标的公司生产规模偏小而无法发挥制造上的规模效应，导
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致标的公司报告期内综合毛利率水平和专用设备毛利率水平均低于选取的可比上市公司平均水平。
（四）报告期利润的主要来源、可能影响盈利能力连续性和稳定性的主要因素分析
1、报告期利润的主要来源
报告期各期，标的公司尚处于新客户、新工艺验证初期，一方面由于集成电路制造商对新设备供应商的选择较为慎重，愿意接受和验证新供应商的设备产品通常需要设备厂商对首台产品采取低价策略进行促销试用，以取得集成电路制造商的验证机会，成为合格供应商后持续销售、服务，故标的公司报告期内毛利率较低；另一方面标的公司持续保持研发投入，报告期各期研发费用较高，导致标的公司仍处于亏损状态。
2、可能影响盈利能力连续性和稳定性的主要因素分析
（1）研发实力
标的公司所处的化学机械抛光设备行业属于典型的技术密集型行业，涉及集成电路、机械、材料、物理、力学、化学、化工、电子、计算机、仪器、光学、控制、软件工程
等多学科领域，是多门类跨学科知识的综合应用，研发制造难度大。标的公司需要紧跟国内外半导体设备制造技术的发展趋势，充分关注客户多样化、独特的工艺需求，保持研发投入和持续创新能力，进而保持市场竞争力。
标的公司创始团队来自浙江大学、南京大学、美国哥伦比亚大学、美国密苏里大学
罗拉分校、美国加州大学伯克利分校劳伦斯-伯克利国家实验室等国内外知名高校/科研院所，曾任职于应用材料、瓦里安半导体、屹唐半导体等知名企业。同时，标的公司组建了一支兼具国际视野与本土深耕能力的团队，团队核心成员行业经验丰富。此外，标的公司依托前瞻性的科研布局与创新生态，建立有浙江省博士后工作站、浙江省高新技术企业研究开发中心等科研创新平台，引进了来自国内外名校的硕士、博士人才，逐步形成“人才培养—技术攻关—成果转化”的全链条创新体系，具备持续创新能力。但是标的公司的研发进程及产业化存在不确定性，如果标的公司产品研发产业化效果未达预期，标的公司将面临前期的研发投入难以收回、预计效益难以达到的风险，影响盈利能
587中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
力的连续性和稳定性。
（2）行业竞争
半导体行业的发展程度是国家科技实力的重要体现，半导体设备领域更是全球科技竞争的焦点，近年来，我国各部门相继推出了一系列优惠政策，鼓励和支持行业发展。
但半导体设备行业具有投资周期长、研发投入大等特点，属于典型的资本密集型和技术密集型行业。从全球范围来看，CMP设备市场主要被美国应用材料和日本荏原等少数几家国际巨头所占据。这些企业在技术研发、生产制造、市场推广、经营规模、产品认知度、运营时间、客户资源等方面均存在较大的先发优势，国内企业在技术研发方面需要投入大量的时间和资金，才能够缩小与国际先进水平的差距，给国内企业带来了较大的竞争压力和挑战。如果标的公司未能及时跟进市场提升核心竞争力，在市场竞争中未能继续保持优势地位，则可能影响标的公司盈利能力的连续性和稳定性。
（五）盈利能力的驱动要素及其可持续性分析
1、外部驱动因素
（1）国家产业政策的支持
半导体行业的发展程度是国家科技实力的重要体现，半导体设备领域更是全球科技竞争的焦点。近年来，国家各部门相继推出了一系列优惠政策，鼓励和支持行业发展。
具体政策参见“第四节交易标的基本情况”之“七、标的公司主营业务情况”之“（一）所处行业的主管部门、监管体制、主要法律法规及政策”。利好政策相继出台，有助于我国 CMP设备行业技术水平的提高和市场规模的快速提升。
（2）自主可控与国际半导体产业转移新契机
随着全球半导体产业逐步向中国大陆转移，我国开始重视并支持本土 CMP设备的研发和生产。近年来在国家科技重大专项和集成电路产业投资基金的支持下，我国半导体产业链不断完善，特别是国内 CMP设备制造业技术水平不断提高，并涌现一批优秀的 CMP设备制造企业。CMP设备国产化趋势加快，不仅有助于打破国际巨头的垄断，提高本土企业的市场份额，还能促进技术的迭代创新和产业的可持续发展。同时，国产化趋势也有助于降低设备成本，提高国内半导体制造企业的竞争力，从而进一步推动半
588中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
导体产业链整体的发展。
（3）下游市场需求快速增长，应用场景持续拓展
随着 5G、人工智能、物联网、汽车电子、云计算等新兴技术的兴起，全球对高性能芯片的需求快速扩张，带动半导体产业持续增长。此外，随着摩尔定律延续，芯片制程向 3nm及以下先进节点推进，逻辑芯片和存储芯片的工艺步骤显著增加，对 CMP设备的使用频率和性能要求更高。CMP设备作为半导体制造的关键设备，其市场需求随下游半导体行业景气度提升而扩大，尤其是中国大陆已成为全球半导体设备第一大市场，为 CMP设备提供了广阔的应用空间。
2、内部驱动因素
（1）聚焦半导体制造关键核心环节，核心技术自主可控
标的公司聚焦半导体制造关键核心环节，以技术研发创新为引擎，在CMP后清洗技术、终点检测控制技术、APC智能控制技术、CMP工艺应用等核心领域均实现创新突破并自主可控。如在终点检测控制技术上，开发了多样化多用途终点检测技术，包含了光谱终点检测系统，以及可融合的多频涡流终点检测系统和激光终点检测系统，适应不同材料不同膜厚检测需求，实现高精度实时反馈，确保抛光工艺的精准控制。其中白光终点检测技术，可在极短采集时间内对高转速抛光过程中大量白光光谱数据进行稳定且准确的实时提取。此外，标的公司已围绕核心技术构建起全方位知识产权保护矩阵，核心技术自主可控。
标的公司是国内少数能够自主创新制造 12 英寸 CMP 设备的企业，其设备采用 6抛光盘的全新架构设计，突破了目前市场主流设备4盘或3盘的架构模式。6抛光盘的设计不仅可同时支持3盘工艺或2盘工艺，更好匹配先进存储和逻辑芯片制造中多场景工艺需求，为逻辑芯片、存储芯片、功率器件等不同应用领域提供一站式解决方案，凸显“一机多用”的柔性生产优势。同时，产能方面实现了跨越式提升，结合模块化设计带来的快速维护能力，不仅降低了设备停机维护时间，更同步提升了运行稳定性与生产效率，为客户构建“高效低耗”的生产体系提供核心支撑。该设备凭借技术创新性与产业化价值，已成功认定为“国内首台（套）装备”，这一认证印证了标的公司在 CMP设备领域的技术领先地位，为半导体产业链高端装备国产化提供了关键支撑，具备广阔的市场空间。
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（2）汇聚国内外高端人才，标的公司具备持续性创新能力
标的公司创始团队来自浙江大学、南京大学、美国哥伦比亚大学、美国密苏里大学
罗拉分校、美国加州大学伯克利分校劳伦斯-伯克利国家实验室等国内外知名高校/科研院所，曾任职于应用材料、瓦里安半导体、屹唐半导体等知名企业。同时，标的公司组建了一支兼具国际视野与本土深耕能力的团队，团队核心成员行业经验丰富。此外，标的公司依托前瞻性的科研布局与创新生态，建立有浙江省博士后工作站、浙江省高新技术企业研究开发中心等科研创新平台，引进了来自国内外名校的硕士、博士人才，逐步形成“人才培养—技术攻关—成果转化”的全链条创新体系，具备持续创新能力。
（3）标的公司客户已覆盖业内知名企业，客户资源优质集成电路制造企业和碳化硅功率器件厂商对各类半导体专业设备的技术标准和可
靠性有着严苛的要求，对设备供应商的选择非常慎重，设备产品一旦验证通过并实际进入生产线，即进入客户的合格供应商名录，后续采购需求相对稳定。经过多年努力，标的公司自主研发并生产的CMP设备已成功进入国内知名先进存储厂商和逻辑芯片制造厂商，取得了良好的市场口碑，与客户建立了良好的合作关系。标的公司通过与业内知名企业的产品验证过程，对客户的核心需求、行业技术发展趋势理解更为深刻。
（4）设备核心模块自研实现自主可控
CMP设备核心零部件长期以来被国外企业垄断，国内设备厂商依赖进口，面临供应中断、技术封锁等风险。标的公司已实现了诸如抛光头、旋转接头、电推缸、风机过滤器等关键零部件的自主可控。通过零部件自研形成专利布局，构建技术壁垒，规避国外专利纠纷与技术封锁，摆脱对外部供应链的依赖，并形成了产业链上下游协同，为半导体装备产业链自主可控提供了关键支撑，强化了核心竞争力。同时，关键零部件的自研可降低零部件采购与维护成本，同时缩短设备交付与售后响应周期，推动国产CMP设备性价比优势凸显，助力国内晶圆厂降低生产成本，加速国产设备自主化发展进程。
（六）期间费用分析
报告期各期末，标的公司期间费用构成情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
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金额占营业收入比例金额占营业收入比例
销售费用512.752.10%1025.4019.39%
管理费用4538.4518.59%5659.97107.02%
研发费用11291.4846.25%8357.82158.03%
财务费用364.261.49%177.613.36%
期间费用合计16706.9468.44%15220.80287.80%
其中：股份支付费用728.142.98%602.4311.39%剔除股份支付费用影
15978.8065.46%14618.37276.41%
响后的期间费用
报告期各期，标的公司期间费用分别为15220.80万元、16706.94万元，期间费用占营业收入的比例分别为287.80%、68.44%。剔除股份支付费用后，标的公司报告期内的期间费用分别为14618.37万元、15978.80万元，占营业收入的比例分别为276.41%、
65.46%。2024年度标的公司销售费用率、管理费用率及研发费用率相对较高，主要系
标的公司营业规模较小所致。2025年度，随着标的公司经营规模持续增长，标的公司销售费用率、管理费用率及研发费用率有所下降。
1、销售费用
报告期各期，标的公司销售费用构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
职工薪酬费用293.9057.32%605.0459.01%
业务宣传费99.3419.37%139.2013.57%
交通差旅费用48.109.38%75.397.35%
业务招待费42.398.27%72.267.05%
办公费用1.230.24%0.540.05%
股份支付费用1.060.21%--
折旧与摊销费用0.350.07%0.350.03%
其他26.395.15%132.6212.93%
合计512.75100.00%1025.40100.00%
报告期各期，标的公司销售费用金额分别为1025.40万元、512.75万元，占营业收入比例分别为19.39%、2.10%，销售费用主要系由职工薪酬费用、业务宣传费、交通差
591中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）旅费等构成。2025年度标的公司销售费用中的职工薪酬费用下降，主要系标的公司根据实际经营情况与资金情况，对部分销售人员的薪酬进行了调整，同时销售人员数量有所减少。2025年度标的公司销售费用中的业务宣传费、交通旅费、业务招待费有所下降，亦系标的公司销售人员数量下降所致。2025年度标的公司销售费用率下降主要系销售费用金额下降和收入规模上升。
2、管理费用
报告期各期，标的公司管理费用构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
职工薪酬费用2888.7763.65%3631.0164.15%
股份支付费用523.9111.54%381.796.75%
折旧与摊销费用238.905.26%272.674.82%
专利费用175.263.86%210.813.72%
专业机构服务费用125.132.76%303.235.36%
交通差旅费用139.383.07%186.553.30%
办公费用70.881.56%79.581.41%
其他376.228.29%594.3310.50%
合计4538.45100.00%5659.97100.00%
报告期各期，标的公司管理费用金额分别为5659.97万元、4538.45万元，占营业收入比例分别为107.02%、18.59%，管理费用主要系由职工薪酬费用、股份支付费用、折旧与摊销费用、专利费用和专业机构服务费用等构成。2025年度标的公司管理费用中的职工薪酬费用下降，主要系标的公司根据实际经营情况与资金情况，对部分管理人员的薪酬进行了调整，同时管理人员数量稍有减少。2025年度标的公司管理费用中的股份支付费用上升，主要系标的公司于2025年度新授予的股权激励所致。2025年度管理费用中折旧与摊销费用有所下降，主要系部分固定资产、无形资产已折旧摊销完毕。
2025年度标的公司管理费用率下降主要系管理费用金额下降和收入规模上升。
3、研发费用
报告期各期，标的公司研发费用构成情况如下：
592中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
职工薪酬费用5359.3347.46%5302.3963.44%
耗用的原材料和低值易耗品等4901.8343.41%2145.5325.67%
折旧与摊销费用433.573.84%337.094.03%
交通差旅费用319.832.83%298.083.57%
股份支付费用203.181.80%220.642.64%
其他73.740.65%54.090.65%
合计11291.48100.00%8357.82100.00%
报告期各期，标的公司研发费用金额分别为8357.82万元、11291.48万元，占营业收入比例分别为158.03%、46.25%，研发费用主要系由职工薪酬费用、耗用的原材料和低值易耗品、折旧与摊销费用等构成。2025年度标的公司研发费用中耗用的原材料和低值易耗品费用上升，主要系标的公司加大研发项目投入。2025年度研发费用中折旧与摊销费用上升，主要系标的公司新增了研发用的固定资产。2025年度标的公司研发费用率下降主要系收入规模上升。
4、财务费用
报告期各期，标的公司财务费用构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
利息费用479.46131.62%292.02164.41%
其中：租赁负债利息支出54.5314.97%67.4938.00%
减：利息收入124.9634.30%118.0166.44%
汇兑净(损失)/收益7.031.93%2.391.34%
手续费2.730.75%1.220.69%
合计364.26100.00%177.61100.00%
报告期各期，标的公司的财务费用分别为177.61万元、364.26万元，占营业收入比分别为3.36%、1.49%，财务费用主要由利息收支构成。2025年度标的公司财务费用上升，主要系公司银行借款金额上升与公司利息收入金额下降所致。
5、与可比公司期间费用率的对比情况
593中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
标的公司与同行业可比公司的期间费率比较情况如下：
项目可比上市公司2025年度2024年度
华海清科4.68%3.59%
芯源微8.52%5.12%
盛美上海8.12%7.52%
销售费用屹唐股份6.47%6.00%
拓荆科技6.23%7.06%
平均值6.80%5.86%
标的公司2.10%19.39%
华海清科6.28%5.61%
芯源微20.10%14.22%
盛美上海3.78%5.33%
管理费用屹唐股份4.89%5.09%
拓荆科技4.94%5.12%
平均值8.00%7.07%
标的公司18.59%107.02%
华海清科11.78%11.56%
芯源微18.96%16.92%
盛美上海18.49%14.93%
研发费用屹唐股份14.48%15.47%
拓荆科技11.49%18.42%
平均值15.04%15.46%
标的公司46.25%158.03%
华海清科-0.17%-0.69%
芯源微2.50%0.50%
盛美上海0.48%-0.48%
财务费用屹唐股份0.57%-0.42%
拓荆科技1.63%1.59%
平均值1.00%0.10%
标的公司1.49%3.36%
注1：可比公司数据来自其定期报告；
注2：截至本草案签署日，除盛美上海外，其余可比公司2025年年度报告尚未披露，故其余可比公司期间费用率指标均系取自其2025年三季报数据，其中华海清科2025年1-9月研发费用率=费用化研发投入/营业收入；
注3：可比公司研发费用率=（费用化研发投入+资本化研发投入）/营业收入，其中华海清科、盛美上海在报告期内存在资本化研发投入。
594中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2024年和2025年，标的公司管理费用率、研发费用率、财务费用率均高于可比公
司平均值，主要系与可比上市公司相比，标的公司当前收入规模相对较小。随着标的公司收入规模的增加，期间费用率预计将有所下降。2025年标的公司销售费用率低于可比公司平均值，主要系标的公司销售费用金额下降幅度大于营业规模上升幅度所致。
（七）非经常性损益分析
报告期内，标的公司非经常性损益构成情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
除与正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照
确定的标准享有、对公司损益产生持续影响外，计入当1676.80747.61期损益的政府补助
除同正常经营业务相关的有效套期保值业务外，持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置300.85105.24金融资产产生的损益
除上述各项之外的其他营业外收入和支出1.431.34
非经常性损益合计1979.08854.19
所得税影响额--
少数股东权益影响额（税后）--
扣除所得税影响后的非经常性损益1979.08854.19
报告期内，标的公司非经常性损益金额分别为854.19万元、1979.08万元，主要系由计入当期损益的政府补助和持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产产生的损益构成。
（八）其他变动幅度较大的项目分析
1、其他收益
报告期各期，标的公司其他收益的构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
政府补助1290.76100.00%547.61100.00%
合计1290.76100.00%547.61100.00%
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报告期各期，标的公司其他收益分别为547.61万元、1290.76万元，主要系产业协调发展补助（深化首台（套）产品应用）以及临安区企业自主引才资助等政府补助。
2、公允价值变动收益
报告期各期，标的公司公允价值变动收益分别为-23.20万元、43.04万元，主要系银行理财相关的收益。
3、信用减值损失
报告期各期，标的公司信用减值损失构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
应收账款坏账损失-312.13100.24%270.5997.14%
其他应收款坏账损失0.76-0.24%7.972.86%
合计-311.37100.00%278.56100.00%
报告期各期，标的公司信用减值损失金额分别为278.56万元、-311.37万元，主要由应收账款坏账损失和其他应收款坏账损失构成，2024年度应收账款坏账损失金额为
270.59万元主要系已计提坏账损失的应收账款收回所致。
4、资产减值损失
报告期各期，标的公司资产减值损失构成情况如下：
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
存货跌价损失-230.24104.44%-1506.8399.50%
合同资产减值损失9.79-4.44%-7.510.50%
合计-220.45100.00%-1514.34100.00%
报告期各期，标的公司资产减值损失金额分别为-1514.34万元、-220.45万元，主要由存货跌价损失和合同资产减值损失构成。
5、营业外收入
报告期各期，标的公司营业外收入构成情况如下：
596中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
单位：万元
2025年度2024年度
项目金额占比金额占比
废品处置收入0.9062.48%0.084.98%
罚金及理赔款0.5034.88%1.5092.55%
其他0.042.64%0.042.47%
合计1.43100.00%1.62100.00%
报告期各期，标的公司营业外收入金额分别为1.62万元、1.43万元，主要由废品处置收入和罚金及理赔款构成，报告期各期金额较小，对利润总额影响较小。
6、营业外支出
报告期各期，标的公司营业外支出金额分别为0.28万元、0.00万元，报告期各期金额较小，对利润总额影响较小。
五、标的公司的现金流量分析
报告期内，标的公司现金流量情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
经营活动产生的现金流量净额-33587.17-28248.15
投资活动产生的现金流量净额-4573.291195.78
筹资活动产生的现金流量净额20677.4337989.83
现金及现金等价物净增加额-17483.2010937.46
（一）报告期经营活动现金流量净额变动的原因
报告期内，标的公司经营活动现金流量情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
销售商品、提供劳务收到的现金12406.869426.32
收到其他与经营活动有关的现金1863.381368.53
经营活动现金流入小计14270.2410794.84
购买商品、接受劳务支付的现金33444.5124094.43
支付给职工以及为职工支付的现金12962.3913364.41
支付的各项税费26.5426.15
597中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年度2024年度
支付其他与经营活动有关的现金1423.981558.00
经营活动现金流出小计47857.4239042.99
经营活动产生的现金流量净额-33587.17-28248.15
报告期内，标的公司经营活动产生的现金流量净额分别为-28248.15万元、-33587.17万元。报告期内，标的公司经营活动产生的现金流量净额为负，主要系标的公司营业收入规模相对较小，而研发投入维持在较高水平，经营活动产生的现金流入不足以覆盖购买商品接受劳务支付的现金以及支付给职工和为职工支付的现金。
报告期内，经营活动产生的现金流量净额与净利润差异情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
净利润-9250.00-15346.30
加：资产减值损失220.451514.34
信用减值损失311.37-278.56
固定资产折旧460.51381.88
使用权资产折旧394.92386.27
无形资产摊销61.9677.20
长期待摊费用摊销93.6879.70
公允价值变动收益-43.0423.20
预计负债1324.68629.58
股份支付费用855.62745.68
财务费用（收益以“－”号填列）419.95274.08
投资损失（收益以“－”号填列）-257.81-128.44
递延收益的增加57.97-2.53
存货的减少（增加以“－”号填列）-13795.33-20994.49
受限资金的减少0.0167.79
经营性应收项目的减少（增加以“－”号填列）-12929.82-4613.57
经营性应付项目的增加（减少以“－”号填列）-1512.318936.02
经营活动产生的现金流量净额-33587.17-28248.15
报告期内，标的公司经营活动产生的现金流量净额的净利润差异主要系受到存货、经营性应收应付项目的影响，与标的公司日常经营活动相关，具有合理性。
598中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（二）报告期投资活动现金流量净额变动的原因
报告期内，标的公司投资活动现金流量情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
收回投资收到的现金142097.2627500.00
取得投资收益收到的现金257.8191.52
收到利息收入-78.88
收到其他与投资活动有关的现金-1036.92
处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的
--现金净额
投资活动现金流入小计142355.0728707.33
购建固定资产、无形资产和其他长期资产所支付的现金238.36511.55与满足资本化条件开发支出直接相关项目所支付的现
--金
投资支付的现金146690.0026000.00
支付其他与投资活动有关的现金-1000.00
投资活动现金流出小计146928.3627511.55
投资活动产生的现金流量净额-4573.291195.78
报告期内，标的公司投资活动产生的现金流量净额分别为1195.78万元、-4573.29万元，标的公司投资活动现金流入主要系赎回理财产品收到的现金，投资活动现金流出主要为购买理财产品所支付的现金。
（三）报告期筹资活动现金流量净额变动的原因
报告期内，标的公司筹资活动现金流量情况如下：
单位：万元项目2025年度2024年度
吸收投资收到的现金20009.9428500.00
取得借款收到的现金15000.0012500.00
收到其他与筹资活动有关的现金--
筹资活动现金流入小计35009.9441000.00
偿还债务支付的现金13484.002358.00
偿付利息支付的现金424.76216.41
支付其他与筹资活动有关的现金423.74435.76
599中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
项目2025年度2024年度
筹资活动现金流出小计14332.513010.17
筹资活动产生的现金流量净额20677.4337989.83
报告期内，标的公司筹资活动产生的现金流量净额分别为37989.83万元、20677.43万元，标的公司筹资活动现金流入主要系吸收投资和取得借款收到的现金，筹资活动现金流出主要为偿还借款所支付的现金。
六、上市公司对拟购买资产的整合管控安排
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司控股子公司，有利于上市公司发挥在生产、运营等方面的协同效应。为了提高本次交易的整合绩效以及更好地发挥协同效应，上市公司从公司经营和资源配置等角度出发，拟在业务、资产、财务、人员、机构等方面与标的公司进行进一步整合，并制定如下整合措施：
（一）业务方面
本次交易完成后，上市公司将围绕平台化战略定位，在保持标的公司的独立性、规范治理以及符合监管要求的前提下，将标的公司纳入上市公司统一战略发展规划中，整合标的公司在 CMP设备细分市场的优势产品与技术积累，构建产品矩阵互补、市场渠道协同、研发资源融合业务体系。
（二）资产方面
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司，其仍保留独立的法人地位，享有独立的法人财产权利，资产仍将保持独立。为提高合并后资产运行效率，本次交易完成后，上市公司将结合自身的资产管理经验及双方资产使用情况，指导标的公司提升资产管理能力，以提高资产运营管理效率，实现资产配置的效率最大化。
（三）财务方面
本次交易完成后，上市公司拟将标的公司并入上市公司的财务管理体系，上市公司将推动标的公司在财务管理系统、会计核算体系、内控管理制度等方面与上市公司保持一致，相关财务工作安排及财务流程审批等事项，将由上市公司进行统一审批管理，以
600中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
确保标的公司能够有效执行符合上市公司要求的各项财务会计和内控管理制度。此外，上市公司和标的公司也将根据中国证监会和上交所的监管规定，严格执行对于上市公司财务会计制度、内审制度、资金管理制度等相关要求。
（四）人员方面
本次交易完成后，标的公司作为独立法人的法律主体资格不会发生变化，仍继续履行与其员工的劳动合同，标的公司将与上市公司进一步实现管理体系与组织架构的有机整合。在保证本次交易完成后标的公司原有团队稳定性及竞争优势持续性的同时，为满足标的公司的业务开拓需要，上市公司也将秉承“五个十大”的企业文化，适时为标的公司引进优质人才，丰富和完善标的公司的业务团队和管理团队。
（五）机构方面
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司的控股子公司，日常运营和治理将严格按照《公司法》《证券法》《公司章程》、其他上市公司相关管理制度和内控制度体系及上交所和中国证监会的规定执行。上市公司在原则上保持标的公司现有内部组织机构的稳定性，并根据标的公司业务开展、上市公司内部控制和管理要求的需要对机构设置进行动态优化和调整。
综上，上市公司可以实现对标的公司的有效整合，从而有利于充分发挥上市公司与标的公司的协同效应，增强上市公司的盈利能力和市场竞争力。
七、本次交易对上市公司持续经营能力影响
（一）本次交易对上市公司盈利能力驱动因素及持续经营能力的影响
通过本次交易，双方将形成显著的战略协同，同时标志着上市公司向“集团化”和“平台化”迈出关键的一步，上市公司将逐步构建全球一流半导体设备平台、强化核心技术组合，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案。
本次交易完成后双方将实现全面的资源对接和优势互补，从长期来看，随着标的公司的业务发展与业绩释放，标的公司将持续提升其盈利水平，上市公司也将进一步提高在半导体设备领域的竞争力及行业影响力，增强持续经营能力和盈利能力。综上，本次
601中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
并购重组旨在进一步提高上市公司资产质量，增强持续经营能力，符合全体股东利益。
（二）上市公司未来经营中的优势和劣势
1、上市公司未来经营中的优势
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司控股子公司，将增强上市公司的持续经营能力，并提升市场竞争力和行业影响力，双方发展将围绕“更精密、更智能、更集成”的核心逻辑，共同打造国际领先的半导体设备，具体内容详见本报告书“第九节管理层讨论与分析”之“二、标的公司行业特点及经营情况的讨论与分析”之“（七）标的公司核心竞争力及行业地位”之“1、标的公司核心竞争力”。
2、上市公司未来经营中的劣势
本次交易完成后，上市公司需在业务、资产、财务、人员及机构方面对标的公司进行管控与整合，实现协同发展，若上市公司经营管理无法随发展相匹配，将一定程度上降低运营效率和客户满意度，影响上市公司的整体发展。
（三）本次交易后公司偿债能力和财务安全性分析
1、资产负债结构与偿债能力
根据普华永道会计师出具的备考审阅报告，不考虑本次交易中募集配套资金的影响，本次交易完成后上市公司资产负债结构与偿债能力分析如下：
单位：万元
2025年末
项目
交易前交易后（备考）
流动资产合计1893400.021992462.33
非流动资产合计1091201.881194251.48
资产总计2984601.903186713.81
流动负债合计620197.69651170.95
非流动负债合计91520.1692737.60
负债总计711717.85743908.55
流动比率（倍）3.053.06
速动比率（倍）1.901.87
资产负债率23.85%23.34%
602中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次交易后，上市公司的流动比率略有上升，速动比率有所下降，资产负债率略有下降，主要系标的公司的资产负债结构与上市公司不同导致。本次交易完成后，上市公司流动比率、速动比率、资产负债率变化较小，本次交易对上市公司未来偿债能力不存在重大不利影响。
2、财务安全性
截至2025年末，上市公司货币资金余额为795140.03万元、交易性金额资产账面价值79175.52万元，资产负债率为23.85%，上市公司自有资金充足、资产负债率较低。
本次交易需支付的部分现金对价拟通过本次交易的配套募集资金支付，给上市公司带来财务压力处于可控范围，本次交易不会对上市公司财务安全性产生重大不利影响。
（四）本次交易有关的企业合并的会计政策及会计处理对上市公司财务状
况、持续经营能力的影响
本次交易以上市公司和标的公司的《审计报告》为基础，参考《企业会计准则第
20号—企业合并》的相关规定，按照“非同一控制下企业合并”的处理原则进行编制。
本次交易有关的企业合并的会计政策及会计处理不会对上市公司财务状况、持续经营能力产生影响。
（五）本次交易前后上市公司和交易标的商誉情况及后续商誉减值的应对措施
1、本次交易前上市公司、标的公司的商誉情况
本次交易前，上市公司和标的公司均没有商誉。
2、本次交易完成后上市公司商誉的金额以及后续商誉减值的具体应对措施
截至评估基准日，标的公司全部股东权益账面值为75280.39万元。依据中联评估出具的《资产评估报告》（浙联评报字[2026]第64号），截至评估基准日，标的公司经评估后的股东全部权益为250140.00万元。根据基于上述评估结果，经上市公司与交易对方协商，确定标的公司64.69%股东权益整体交易价格为157604.91万元。
本次交易完成后，标的公司将成为上市公司控股子公司。备考财务报表以合并成本
603中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
扣除标的公司可辨认净资产公允价值后的差额95922.71万元，确认为备考合并财务报表中的商誉增加金额。以上对标的资产可辨认无形资产及公允价值的确认情况符合企业会计准则的规定。
根据《备考审阅报告》，截至2025年末，本次交易完成后上市公司商誉为95922.71万元，占总资产、净资产的比例为3.01%、3.93%。本次交易形成的商誉不作摊销处理，但需在未来每年年度终了进行减值测试。如本次拟收购的标的公司未来经营状况恶化，则存在商誉减值的风险；如发生商誉减值，则会减少上市公司当期损益。上市公司将按期进行商誉减值测试，每年度按照《企业会计准则第8号——资产减值》的规定和中国证监会《会计监管风险提示第8号——商誉减值》的相关要求对商誉进行减值测试，并根据减值测试结果计提商誉减值准备。
本次交易完成后，上市公司将与标的公司进行资源整合，力争通过发挥协同效应，提高标的公司的持续经营能力和盈利能力，以持续保持标的公司的竞争力，防范商誉减值风险带来的不利影响。
（六）本次交易对上市公司科研创新能力的影响
上市公司及标的公司均属于技术密集型企业，双方技术在各自领域均具有一定的创新性及前沿性。双方研发团队合并后，可以利用各自在半导体设备行业深耕多年所积累深厚的技术经验，激发新的创新思路，同时降低研发重复投入，更快实现产品性能升级及新技术路线研发，提升上市公司盈利能力和市场竞争力。
八、本次交易对上市公司未来发展前景影响的分析
本次交易符合上市公司通过内生发展与外延并购相结合、持续拓展集成电路覆盖领域，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案的战略规划。标的公司与上市公司同属于半导体设备领域企业，双方在业务上具有较高的协同性。
本次交易完成后，标的公司成为上市公司的控股子公司，纳入上市公司的统一管理体系。未来，上市公司将以标的公司现有的业务、资产、财务、人员和机构为基础，积极探索与标的公司经营发展和产业布局等方面的协同与整合，充分发挥规模效应，加强渠道资源共享，优化运作效率，以提升上市公司产业整体价值，提升上市公司核心竞争
604中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）力。同时，上市公司也将持续完善法人治理结构，切实保护全体股东的利益。
九、本次交易对上市公司当期每股收益等财务指标和非财务指标影响的分析
（一）本次交易对上市公司主要财务指标的影响
上市公司假设本次交易完成后的公司架构于2025年1月1日已经存在，且在报告期内未发生重大变化，以此假定的公司架构为会计主体编制了备考财务报表；普华永道会计师对此进行了审阅并出具了《备考审阅报告》。
1、本次交易前后资产负债结构的影响
单位：万元
2025年末
项目
交易前交易后（备考）变动比例
流动资产合计1893400.021992462.335.23%
非流动资产合计1091201.881194251.489.44%
资产总计2984601.903186713.816.77%
流动负债合计620197.69651170.954.99%
非流动负债合计91520.1692737.601.33%
负债总计711717.85743908.554.52%归属于母公司股东的所
2269461.682412633.346.31%
有者权益
本次交易完成后，上市公司的总资产、总负债均有一定幅度的增长。其中总资产增长主要系合并标的公司资产及非同控下收购形成商誉所致，总负债增长主要系合并标的公司负债所致，但总体规模相对较小。
2、本次交易前后对上市公司偿债能力的影响
2025年末
项目
交易前交易后（备考）变动比例
流动比率（倍）3.053.060.23%
速动比率（倍）1.901.87-1.33%
资产负债率23.85%23.34%-2.11%
本次交易完成后，上市公司流动比率、速动比率、资产负债率变化较小，本次交易
605中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
对上市公司未来偿债能力不存在重大不利影响。
3、本次交易前后对上市公司盈利能力的影响分析
单位：万元
2025年度
项目
交易前交易后（备考）变动比例
营业收入1238463.831262875.711.97%
营业成本753413.90774689.712.82%
营业利润219051.09205828.59-6.04%
利润总额218984.94205763.87-6.04%
净利润206421.73193200.66-6.40%归属于母公司所有者的
211147.30198797.56-5.85%
净利润
基本每股收益（元/股）3.403.15-7.35%
本次交易完成后，上市公司2025年度营业收入、营业成本有所上升，但营业利润、利润总额、净利润、归属于母公司所有者的净利润、基本每股收益等盈利能力指标有所下降，主要系标的公司当前收入规模相对较小而研发投入较大，2025年仍处于亏损状态。
通过本次交易，双方将形成显著的战略协同，同时标志着上市公司向“集团化”和“平台化”迈出关键的一步，上市公司将逐步构建全球一流半导体设备平台、强化核心技术组合，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案。本次交易完成后双方将实现全面的资源对接和优势互补，从长期来看，随着标的公司的业务发展与业绩释放，标的公司将持续提升其盈利水平，上市公司也将进一步提高在半导体设备领域的竞争力及行业影响力，增强持续经营能力和盈利能力，本次交易预计能够使得上市公司盈利能力逐步上升，增厚上市公司的每股收益。本次交易中，上市公司与业绩承诺方签署了《业绩承诺和补偿协议》，具体内容详见本报告书“重大事项提示”之“六、本次交易对中小投资者权益保护的安排”之“（七）业绩承诺与补偿安排”。根据上述业绩补偿约定，本次交易完成后，上市公司未来经营业绩将有所提升。此外，为应对每股收益摊薄的风险，提升上市公司未来的持续经营能力，为上市公司股东创造更多的盈利和稳定的回报，上市公司采取了填补摊薄即期回报的相关措施。
（二）本次交易对上市公司未来资本性支出及融资计划的影响
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本次交易完成前，标的公司使用自有资金满足自身资本性支出需求，本次交易不会对上市公司资本性支出及融资计划构成重大影响。未来，公司将根据业务发展和完善的实际需要，在综合考量自身财务结构、资金状况和融资渠道的基础上，拟定具体的资本性支出计划，上市公司将按照《公司章程》履行必要的决策和信息披露程序。
（三）本次交易职工安置情况
本次交易完成后，标的公司仍为独立的法人主体，标的公司与职工之间的劳动关系不因本次交易而发生转移。因此，本次交易不涉及职工安置问题。
（四）本次交易成本及其对上市公司的影响
本次交易涉及的税负成本由相关责任方各自承担，中介机构费用等按照市场公允收费水平确定，上述交易成本不会对上市公司造成重大不利影响。
607中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十节财务会计信息
一、标的公司财务报表
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审计了标的公司2024年度、2025年度的财务报表，并出具了无保留意见审计报告（普华永道中天特审字(2026)第0065号）：
（一）资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日2024年12月31日
流动资产：
货币资金12495.0029978.21
交易性金融资产5136.063500.28
应收票据10.3020.20
应收账款16231.915005.80
预付款项925.21430.06
其他应收款185.61269.02
存货53982.1841352.96
合同资产-447.18
其他流动资产7393.496087.38
一年内到期的非流动资产--
流动资产合计96359.7587091.09
非流动资产：
长期股权投资--
固定资产1446.211776.06
在建工程-5.47
使用权资产1099.701494.62
无形资产29.0967.47
长期待摊费用218.14293.05
递延所得税资产--
其他非流动资产3059.670.71
非流动资产合计5852.823637.38
资产总计102212.5690728.47
流动负债：
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短期借款15011.9312510.77
应付账款4747.244447.32
合同负债2037.413936.67
应付职工薪酬1512.171625.31
应交税费109.36154.00
其他应付款715.76890.77
一年内到期的非流动负债390.641370.07
其他流动负债1190.21710.64
流动负债合计25714.7325645.54
非流动负债：
租赁负债693.801068.58
预计负债165.6849.52
递延收益23.97-
递延所得税负债--
其他非流动负债334.00300.00
非流动负债合计1217.441418.11
负债合计26932.1727063.65
所有者权益:
股本11562.018793.91
减：库存股--
资本公积129785.06111687.60
其他综合收益--
盈余公积--
未分配利润-66066.68-56816.69
归属于母公司股东所有者权益合计75280.3963664.82
少数股东权益-0.001-0.001
所有者权益合计75280.3963664.82
负债及所有者权益总计102212.5690728.47
（二）利润表
单位：万元项目2025年度2024年度
一、营业收入24411.885288.65
减：营业成本17995.594808.76
609中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
税金及附加20.5723.81
销售费用512.751025.40
管理费用4538.455659.97
研发费用11291.488357.82
财务费用364.26177.61
其中：利息费用479.46292.02
利息收入124.96118.01
加：其他收益1290.76547.61
投资收益（损失以“-”号填列）257.81128.44
其中：对联营企业的投资收益--
公允价值变动收益（损失以“-”号填列）43.04-23.20
信用减值损失（损失以“-”号填列）-311.37278.56
资产减值损失（损失以“-”号填列）-220.45-1514.34
资产处置收益（损失以“-”号填列）--
二、营业利润-9251.43-15347.64
加：营业外收入1.431.62
减：营业外支出-0.28
三、利润总额-9250.00-15346.30
减：所得税费用--
四、净利润-9250.00-15346.30
少数股东损失-0.0003-0.0003
归属于母公司股东的净利润-9249.99-15346.30
（三）现金流量表
单位：万元项目2025年度2024年度
一、经营活动产生的现金流量
销售商品、提供劳务收到的现金12406.869426.32
收到其他与经营活动有关的现金1863.381368.53
经营活动现金流入小计14270.2410794.84
购买商品、接受劳务支付的现金33444.5124094.43
支付给职工以及为职工支付的现金12962.3913364.41
支付的各项税费26.5426.15
支付其他与经营活动有关的现金1423.981558.00
610中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
经营活动现金流出小计47857.4239042.99
经营活动产生的现金流量净额-33587.17-28248.15
二、投资活动产生的现金流量
收回投资收到的现金142097.2627500.00
取得投资收益收到的现金257.8191.52
收到利息收入-78.88
收到其他与投资活动有关的现金-1036.92
投资活动现金流入小计142355.0728707.33
购建固定资产、无形资产和其他长期资产所支付的现金238.36511.55
投资支付的现金146690.0026000.00
支付其他与投资活动有关的现金-1000.00
投资活动现金流出小计146928.3627511.55
投资活动产生的现金流量净额-4573.291195.78
三、筹资活动产生的现金流量
吸收投资收到的现金20009.9428500.00
取得借款收到的现金15000.0012500.00
筹资活动现金流入小计35009.9441000.00
偿还债务支付的现金13484.002358.00
偿付利息支付的现金424.76216.41
支付其他与筹资活动有关的现金423.74435.76
筹资活动现金流出小计-14332.51-3010.17
筹资活动产生的现金流量净额20677.4337989.83
四、汇率变动对现金的影响-0.17-
五、现金净增加额-17483.2010937.46
加：年初现金余额29977.4019039.94
六、年末现金余额12494.2029977.40
二、上市公司备考财务报表
普华永道会计师出具的《备考审阅报告》编制的主要假设如下：
1、假设于2025年1月1日，上市公司已完成重组交易，重组交易完成后形成的组
织架构于2025年1月1日已存在，即自该日起上市公司已完成发行股份1523463831.91元和应付现金52585310.41元，对价合计1576049142.32元购买杭州众硅64.69%股份。
611中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）其中，上市公司向交易对方发行股份数量7028020张，每张面值1.00元，发行价格按照草案中披露的216.77元/股计算。
2、杭州众硅在2025年1月1日至2025年12月31日期间发生的增资假设于2025年1月1日已经完成，相应的增资于2025年1月1日计入“其他应收款”，“股本”及“资本公积”。在增资款实际到账时，核销其他应收款。
3、杭州众硅历次增资的股东特殊权力自始无效。针对杭州众硅作为义务人承担义
务的相关条款，各投资人股东自成为杭州众硅股东之日起均不享有特殊权利，杭州众硅自各投资人股东成为股东之日起不承担特殊权利所对应的义务，且特殊权利条款在任何情况下均不会以任何形式要求恢复执行或视为自动恢复执行。
4、在编制本备考合并财务报表时，合并成本与归属于上市公司拟收购股份的杭州
众硅2025年1月1日经备考调整后的可辨认净资产的公允价值之间的差额全部作为商誉。假设商誉在本报告期内未发生减值，故也未披露对该商誉进行减值测试的相关信息。
5、在编制本备考合并财务报表时，假定业绩对赌条件满足，不考虑业绩对赌补偿的影响。
6、因募集配套资金而拟发行的股份及所募集配套资金，以发行股份及支付现金购
买资产为前提条件，但募集配套资金成功与否不影响发行股份及支付现金购买资产的实施，在编制本备考合并财务报表时不予考虑。
7、本备考合并报表未考虑本次交易中可能产生的交易成本、中介费用及相关税费的影响。
根据普华永道会计师出具的《备考审阅报告》（普华永道中天阅字(2026)第00001号），按照本次交易完成后的架构编制的上市公司2025年备考合并财务报表如下：
（一）备考合并资产负债表
单位：万元项目2025年12月31日
流动资产：
货币资金807635.02
交易性金融资产84311.58
612中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
应收票据6058.91
应收账款214916.19
预付款项6890.57
其他应收款9162.80
存货773681.97
合同资产1561.68
其他流动资产88243.60
流动资产合计1992462.33
非流动资产：
长期应收款1224.21
长期股权投资144477.04
其他非流动金融资产189427.04
投资性房地产537.99
固定资产284713.93
在建工程86287.45
使用权资产2076.42
无形资产157301.92
开发支出153506.07
商誉95922.71
长期待摊费用641.09
递延所得税资产33494.86
其他非流动资产44640.73
非流动资产合计1194251.48
资产总计3186713.81
流动负债：
短期借款15011.93
应付账款190374.00
合同负债306421.59
应付职工薪酬46848.16
应交税费10311.62
其他应付款58689.87
一年内到期的非流动负债2302.31
其他流动负债21211.47
流动负债合计651170.95
613中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
非流动负债：
长期借款73040.00
租赁负债1180.69
预计负债1026.48
递延收益16981.03
递延所得税负债10.57
其他非流动负债498.84
非流动负债合计92737.60
负债合计743908.55
股东权益：
股本63317.33
减：库存股21594.02
资本公积1656347.98
其他综合收益719.58
盈余公积31307.27
未分配利润682535.20
归属于母公司股东权益合计2412633.34
少数股东权益30171.92
股东权益合计2442805.26
负债和所有者权益总计3186713.81
（二）备考合并利润表
单位：万元项目2025年度
一、营业收入1262875.71
减：营业成本774689.71
税金及附加6851.58
销售费用50363.86
管理费用52663.29
研发费用258960.49
财务费用-4394.11
其中：利息费用2372.45
利息收入-10249.45
加：其他收益27033.09
614中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
投资收益（损失以“-”号填列）51371.58
其中：对联营企业的投资收益5187.98
公允价值变动收益（损失以“-”号填列）16135.31
信用减值损失（损失以“-”号填列）-2973.74
资产减值损失（损失以“-”号填列）-9823.05
资产处置收益（损失以“-”号填列）344.49
二、营业利润205828.59
加：营业外收入954.93
减：营业外支出1019.66
三、利润总额205763.87
减：所得税费用12563.21
四、净利润193200.66
少数股东损失-5596.90
归属于母公司股东的净利润198797.56
615中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十一节同业竞争和关联交易
一、同业竞争
（一）本次交易对上市公司同业竞争的影响
本次交易前，上市公司无控股股东和实际控制人。上市公司与第一大股东及其控制的企业不存在同业竞争。
本次交易完成后，上市公司的主营业务未发生重大变化，上市公司的第一大股东、控股股东、实际控制人未发生变更。本次交易不会导致中微公司与其第一大股东及其控制的其他企业之间产生同业竞争。
（二）避免同业竞争的承诺
上市公司第一大股东上海创投出具了《关于避免同业竞争的承诺函》，具体如下：
“一、截至本承诺函出具之日，本公司及本公司控制的其他企业的主营业务与上市公司之间不存在构成重大不利影响的同业竞争。
二、在作为中微公司的第一大股东期间，本公司将采取积极措施避免从事与上市公司主营业务构成同业竞争的业务，并努力促使本公司控制的其他企业（上市公司及其下属控股子公司除外）避免从事与上市公司主营业务构成重大不利影响的同业竞争的业务。
三、在作为中微公司的第一大股东期间，如本公司及本公司控制的其他企业获得从
事新业务的机会，且该等业务与上市公司主营业务构成同业竞争时，本公司将在条件允许的前提下，尽最大努力促使该业务机会按照合理和公平的条款和条件让与上市公司。
四、在持有上市公司股份期间，本公司承诺不利用大股东地位损害上市公司及上市公司其他股东的利益。
五、本承诺函自签署日起生效，至以下情形发生时终止（以较早为准）：（1）本
公司不再作为上市公司的主要股东；（2）上市公司股票终止在上海证券交易所上市。
若本公司未能履行上述承诺并给上市公司或投资者造成损失的，本公司愿意依法承担相应的法律责任。”
616中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
交易对方杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、
朱琳出具了《关于避免同业竞争的承诺函》，具体如下：
1、本人/本企业及本人/本企业控制的主体不存在直接或间接从事与上市公司或其子
公司实际从事的业务构成或可能构成同业竞争的任何业务活动。
2、在本次交易完成后，在本人/本企业及本人/本企业一致行动人直接或间接持有上
市公司股份期间，本人/本企业及本人/本企业控制的主体不会直接或间接地以任何方式参与或进行与上市公司或其子公司实际从事的业务存在直接或间接竞争的任何业务活动；凡本人/本企业及本人/本企业控制的主体将来可能获得任何与上市公司或其子公司
存在直接或间接竞争的业务机会，本人/本企业及本人/本企业控制的主体将及时采取措施将前述构成直接或间接竞争的业务机会控制或降低至不对上市公司构成重大不利影响的范围内。本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。
二、关联交易
（一）本次交易不构成关联交易
本次交易的交易对方在本次交易前与上市公司之间不存在关联关系。经初步测算，本次交易后预计无交易对方持有上市公司股份超过5%。根据《股票上市规则》相关规定，本次交易预计不构成关联交易。
（二）标的公司的关联方及关联交易情况
报告期内，标的公司的关联方和关联关系如下：
1、标的公司关联方及关联关系
截至报告期末，杭州众硅的关联方主要如下：
（1）直接或者间接控制标的公司的自然人、法人或其他组织
截至报告期末，杭州众芯硅为标的公司控股股东；GU HAIYANG为杭州众硅的实际控制人。
617中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（2）直接或间接持有标的公司5%以上股权的自然人序号关联方名称主要关联关系
1 GU HAIYANG 间接持有标的公司 5%以上股权
2 MICHAEL XIAOXUAN YANG 间接持有标的公司 5%以上股权
（3）标的公司董事、监事或高级管理人员序号关联方名称主要关联关系
1 MICHAEL XIAOXUAN YANG 董事长
2 GU HAIYANG 董事、总经理
3 LEE EDWARD LI CANG 董事、副总经理
4朱琳董事、财务负责人
5刘李董事
6尹志尧董事
7余峰董事
8李振明董事
9 ZHU SHAN 监事
（4）关联自然人关系密切的家庭成员
与上述（1）、（2）、（3）所述关联自然人关系密切的家庭成员，包括配偶、年满18周岁的子女及其配偶、父母及配偶的父母、兄弟姐妹及其配偶、配偶的兄弟姐妹、子女配偶的父母亦构成标的公司关联方。
（5）直接持有标的公司5%以上股权的法人或其他组织序号关联方名称主要关联关系
1杭州众芯硅直接持有标的公司5%以上股权
2中微临港直接持有标的公司5%以上股权
3台州金石投资直接持有标的公司5%以上股权
4宁容海川直接持有标的公司5%以上股权
（6）直接或间接控制公司的法人或其他组织的董事、监事、高级管理人员或其他主要负责人序号关联方名称主要关联关系
1 GU HAIYANG 控股股东杭州众芯硅的执行董事兼总经理
2 ZHU SHAN 控股股东杭州众芯硅的监事
618中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（7）由1至6所列关联法人或关联自然人直接或者间接控制的，或者由前述关联
自然人担任董事、高级管理人员的法人或其他组织
除标的公司及其控股子公司外，相关关联法人或其他组织如下：
序号关联方名称主要关联关系
1临安众芯硅杭州众芯硅担任执行事务合伙人的企业
2杭州众瞻杭州众芯硅担任执行事务合伙人的企业
3临安众硅杭州众芯硅担任执行事务合伙人的企业
4 杭州众诚芯 GU HAIYANG担任执行事务合伙人的企业
GU HAIYANG近亲属实际控制并担任董事、经理及
5杭州然于企业管理咨询有限公司
财务负责人的企业
GU HAIYANG近亲属实际控制并担任董事及财务负
6杭州然升电子科技有限公司
责人、刘李的近亲属担任经理的企业
杭州然觅启企业管理咨询合伙企业 GU HAIYANG近亲属直接与间接合计持有 100%财产
7（有限合伙）份额的企业
杭州然与辰企业管理咨询合伙企业 GU HAIYANG近亲属直接与间接合计持有 100%财产
8（有限合伙）份额的企业
杭州然若善企业管理咨询合伙企业 GU HAIYANG近亲属直接与间接合计持有 100%财产
9（有限合伙）份额的企业杭州芯束企业管理合伙企业（有限 GU HAIYANG近亲属担任执行事务合伙人并持有其
10
合伙）70.3704%财产份额的企业杭州芯卓企业管理合伙企业（有限 GU HAIYANG近亲属担任执行事务合伙人并持有其
11
合伙）98.1481%财产份额的企业杭州创束企业管理合伙企业（有限 GU HAIYANG近亲属担任执行事务合伙人并持有其
12
合伙）20%财产份额的企业
13 Dandelion Technology（新加坡） MICHAEL XIAOXUAN YANG持股 100%的企业
杭州蔷薇墙外企业管理咨询合伙企
14 MICHAEL XIAOXUAN YANG持股 92%的企业业（有限合伙）
15 上海英诺晟企业管理咨询有限公司 EDWARD LI CANG LEE近亲属持股 100%的企业杭州芯匠企业管理合伙企业（有限朱琳担任执行事务合伙人且持有其0.4739%财产份额
16
合伙）的企业
杭州然进盛企业管理咨询合伙企业朱琳担任执行事务合伙人且持有其60%财产份额的企
17（有限合伙）业
刘李担任执行事务合伙人且持有其0.0001%财产份额
18杭州众臻
的企业
19中微半导体（上海）有限公司尹志尧担任董事长的企业
20睿励科学仪器（上海）有限公司尹志尧担任董事长、余峰担任董事的企业
中微半导体设备（上海）股份有限
21尹志尧担任董事长、总经理的企业
公司
22中微科技投资管理（上海）有限公尹志尧担任董事长的企业
619中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号关联方名称主要关联关系司
23超微半导体设备（上海）有限公司尹志尧担任董事的企业
24南昌中微半导体设备有限公司尹志尧担任董事长的企业
25中微半导体设备（厦门）有限公司尹志尧担任董事的企业
26中微惠创科技（上海）有限公司尹志尧担任董事的企业
27中微汇链科技（上海）有限公司尹志尧担任董事的企业
28中微半导体设备（广州）有限公司尹志尧担任董事长的企业
29芯汇康生命科学（上海）有限公司尹志尧担任董事的企业
Advanced Micro-Fabrication
30尹志尧担任董事的企业
Equipment International Pte. Ltd.Advanced Micro-Fabrication
31尹志尧担任董事的企业
Equipment Korea Ltd
32中微半导体设备（四川）有限公司尹志尧担任董事长的企业
33拓荆科技股份有限公司尹志尧担任董事的企业
34苏州索雷尔科技有限公司尹志尧担任董事的企业
35上海易耘文化传媒有限公司尹志尧近亲属持股100%的企业
36中信金石投资有限公司李振明担任首席投资官的企业中信（辽宁）新材料科技股份有限
37李振明担任董事的企业
公司
38内蒙古航天能源有限公司李振明担任董事长的企业
39无锡元基精密机械有限公司李振明担任董事的企业
40北京控股集团有限公司李振明担任董事的企业
李振明近亲属持股99.50%并担任经理、董事、财务负
41北京上润思博科技有限公司
责人的企业
中金智胜投资管理（北京）有限公李振明近亲属持股100%并担任经理、董事、财务负
42
司责人的企业
（8）间接持有公司5%以上股份的法人或其他组织不涉及。
（9）标的公司的全资和控股子公司序号关联方名称主要关联关系
1福建众进芯控股子公司，已于2026年1月成为全资子公司
2上海众硅全资子公司
3青岛众恩芯控股子公司，已于2026年3月成为全资子公司
620中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号关联方名称主要关联关系
4香港众硅全资子公司（10）在交易发生之日前12个月内，或相关交易协议生效或安排实施后12个月内，具有前述所列情形之一的法人、其他组织或自然人序号关联方名称主要关联关系
1袁亚光曾任董事，已于2025年9月卸任
2江阴华新精密科技股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
3江苏马盛生物科技股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
4江苏亚电科技股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
5江苏佳利达国际物流股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
6上海精珅新材料有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
7上海君屹工业自动化股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
福建麦凯智造婴童文化股份有限公
8曾任董事袁亚光担任董事的企业
司
9江苏品品鲜生物科技股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
10无锡宏创盛安科技有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
11北京博清科技有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
12研微（江苏）半导体科技有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
13内蒙古和光新材料股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
依柯力信息科技（上海）股份有限
14曾任董事袁亚光担任董事的企业
公司
15高重信息科技集团有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
16杭州憬知梦蓝科技有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
17卓品智能科技无锡股份有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
18无锡有容微电子有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
19昆山市兴利车辆科技配套有限公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
20北京图知天下科技有限责任公司曾任董事袁亚光担任董事的企业
21刘盛曾任董事，已于2025年9月卸任南京润堃创业投资合伙企业（有限曾任董事刘盛担任执行事务合伙人并持有其92.02%
22
合伙）财产份额的企业
曾任董事刘盛持股51.00%并担任执行董事、总经理的
23江苏盛堃投资管理有限公司
企业淮安爱牧企业管理合伙企业（有限曾任董事刘盛担任执行事务合伙人并持有其71.01%
24
合伙）财产份额的企业淮安瑞堃企业管理合伙企业（有限曾任董事刘盛担任执行事务合伙人并持有其77.00%
25
合伙）财产份额的企业
621中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号关联方名称主要关联关系
26安牧乳业（江苏）有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
27武汉理工氢电科技有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
28江苏铭远轨道交通技术有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
29江苏达野智能系统有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
30北京眸视科技有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
31江苏眸视机器人科技有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业
32云牧乳业（江苏）有限公司曾任董事刘盛担任董事的企业，已于2023-12-01注销
淮安志堃清洁能源投资合伙企业
33曾任董事刘盛控制的企业（有限合伙）淮安信堃股权投资合伙企业（有限
34曾任董事刘盛控制的企业
合伙）南京朗堃创业投资合伙企业（有限
35曾任董事刘盛控制的企业
合伙）扬州瑞堃创业投资合伙企业（有限
36曾任董事刘盛控制的企业
合伙）南京量科股权投资合伙企业（有限
37曾任董事刘盛控制的企业
合伙）南京量堃股权投资合伙企业（有限
38曾任董事刘盛控制的企业
合伙）南京创星股权投资合伙企业（有限
39曾任董事刘盛控制的企业
合伙）南京量硅股权投资合伙企业（有限
40曾任董事刘盛控制的企业
合伙）
41淮安高投创盈投资基金（有限合伙）曾任董事刘盛控制的企业淮安淮堃创业投资合伙企业（有限
42曾任董事刘盛控制的企业
合伙）疌泉（宿迁）化工产业结构调整投
43曾任董事刘盛控制的企业
资基金（有限合伙）疌泉（淮安）绿色生态发展投资基
44曾任董事刘盛控制的企业金（有限合伙）凤台县州来异质结新能源产业基金
45曾任董事刘盛控制的企业
合伙企业（有限合伙）
46淮安汇业生态环保有限公司曾任董事刘盛控制的企业
淮安启德乾阁投资管理合伙企业
47曾任董事刘盛控制的企业（有限合伙）南京绿创芯材投资合伙企业（有限
48曾任董事刘盛控制的企业，已于2024-07-18注销
合伙）南京星堃股权投资合伙企业（有限
49曾任董事刘盛控制的企业，已于2025-12-18注销
合伙）
622中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序号关联方名称主要关联关系疌泉（淮安）土壤污染防治投资基
50曾任董事刘盛控制的企业，已于2023-06-25注销金（有限合伙）
51俞鹏远曾任董事，已于2023年6月卸任
52杭州旅家科技有限公司曾任董事俞鹏远担任董事的企业
53众硅电子科技（淮安）有限公司全资子公司，已于2025-11-27注销杭州赋芯企业管理合伙企业（有限 朱琳担任其执行事务合伙人且 GU HAIYANG 持有其
54
合伙）99.17%财产份额的企业，已于2025-07-21注销GU JINGRAN实际控制并担任执行董事、刘李的近亲
55杭州众聚欣电子科技有限公司
属担任经理的企业，已于2025-12-23注销
56澜起科技股份有限公司尹志尧曾担任独立董事的企业（2019-03至2024-06）
57航天固体运载火箭有限公司李振明曾担任董事的企业，已于2025-09-08注销
58北京电子控股有限责任公司李振明曾担任董事的企业（2021-03-11至2025-08-14）
59上海埃蒙迪材料科技股份有限公司李振明曾担任董事的企业（2024-05-23至2024-06-24）
2、标的公司关联交易
（1）购销商品、提供和接受劳务的关联交易
单位：万元关联方关联交易内容2025年度2024年度
江苏佳利达国际物流股份有限公司接受劳务8.73-
江苏佳利达国际物流股份有限公司主营业务为物流整合服务，2025年，标的公司基于业务需求向其采购少量的物流服务，采购金额为8.73万元，金额较小。
（2）关联担保情况
报告期内，标的公司不存在作为担保方或被担保方发生关联担保的情形。
（3）关键管理人员报酬
单位：万元项目2025年度2024年度
关键管理人员工资864.711135.14
关键管理人员股份支付费用170.5044.84
（4）关联方应收应付款项
单位：万元
623中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
关联方关联往来科目2025年12月31日2024年12月31日
江苏佳利达国际物流股份有限公司应付账款8.73-
（5）关联担保
单位：万元被担保方担保方担保金额担保起始日担保到期日
2025年度
GU HAIYANG 900.00 2025-1-7 2026-1-7
GU HAIYANG 500.00 2025-1-10 2026-1-10
GU HAIYANG 600.00 2025-1-17 2026-1-17
GU HAIYANG 2000.00 2025-6-5 2026-6-4
标的公司 GU HAIYANG 3000.00 2025-8-4 2026-8-3
GU HAIYANG 3000.00 2025-9-19 2026-3-20
GU HAIYANG 3000.00 2025-12-24 2026-6-24
GU HAIYANG、ZHU
1000.002025-12-262026-12-25
SHAN
2024年度
GU HAIYANG 1000.00 2024-5-6 2025-5-5
GU HAIYANG 1000.00 2024-6-7 2025-6-6
GU HAIYANG、朱琳、
1000.002024-6-282025-6-25
ZHU SHAN
GU HAIYANG、朱琳、
1000.002024-7-12025-6-25
ZHU SHAN标的公司
GU HAIYANG 1500.00 2024-8-2 2025-8-1
GU HAIYANG 3000.00 2024-9-30 2025-9-29
GU HAIYANG 3000.00 2024-12-27 2025-12-24
GU HAIYANG 500.00 2022-8-17 2025-8-16
GU HAIYANG 500.00 2022-8-18 2025-8-17
（三）本次交易前后上市公司关联交易的变化情况
本次交易完成前后，上市公司最近一年与关联方的关联交易情况如下：
单位：万元
2025年度
项目
交易前交易后（备考）
624中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
关联销售73637.3489340.39
营业收入1238463.831262875.71
关联销售占比5.95%7.07%
关联采购18377.5518382.66
营业成本753413.90774689.71
关联采购占比2.44%2.37%
本次交易前，交易对方与上市公司之间不存在关联关系。本次交易完成后，无交易对方持有上市公司股份超过5%。因此，根据《股票上市规则》的规定，本次交易完成后，本次交易不构成关联交易。
本次交易完成后，对于关联交易，上市公司将履行必要的审批及信息披露程序，遵照公开、公平、公正的市场原则进行。
（四）规范关联交易的措施
上市公司已制定规范关联交易的措施，为进一步规范交易后上市公司的关联交易，上市公司第一大股东上海创投已出具《关于减少及规范与上市公司关联交易的承诺函》，内容如下：
“1、本次交易完成后，在不对上市公司及其他股东的合法利益构成不利影响的前提下，本公司将根据相关法律、法规和规范性文件的规定，保证自身并将促使本公司控制的企业规范并尽量减少与上市公司及其下属子公司之间的关联交易。
2、对于本公司及本公司控制的企业与上市公司之间无法避免或者确有合理原因而
发生的关联交易，本公司将基于公平公正公开等关联交易基本原则与上市公司依法签订规范的交易协议，并按照有关法律、法规、规范性文件和上市公司章程及相关内控制度的规定，履行或配合上市公司履行审议批准程序和回避表决及信息披露义务，保证不利用关联交易损害上市公司及其他股东的利益。若本公司未能履行上述承诺并给上市公司或投资者造成损失的，本公司愿意依法承担相应的法律责任。”交易对方杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、
朱琳出具了《关于减少及规范与上市公司关联交易的承诺函》，具体如下：
625中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）“1、在本次交易完成后，本人/本企业及本人/本企业关联主体将尽量避免和减少与上市公司或其子公司发生关联交易，不会谋求与上市公司或其子公司在业务合作等方面优于市场第三方的权利。
2、在本次交易完成后，若本人/本企业及本人/本企业关联主体与上市公司或其子公
司发生无法避免或有合理理由存在的关联交易，本人/本企业及本人/本企业关联主体将与上市公司或其子公司按照公平、公允和等价有偿的原则进行，与上市公司或其子公司依法签订协议，按市场公认的合理价格确定交易价格，并按法律法规以及规范性文件的有关规定履行交易审批程序及信息披露义务。
3、本人/本企业保证不利用关联交易非法转移上市公司或其子公司的资金、利润，
亦不以借款、代偿债务、代垫款项或者其他任何方式占用上市公司或其子公司的资金，亦不要求上市公司或其子公司为本人/本企业或本人/本企业的关联主体进行违规担保，保证不损害上市公司及上市公司股东的合法权益。本人/本企业在承诺函中所述情况均客观真实，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担法律责任。如本人/本企业违反上述承诺，本人/本企业将依法承担相应的法律责任。”本次交易完成后，上市公司将严格按照《公司章程》及相关法律、法规的规定，进一步完善和细化关联交易决策制度，加强上市公司治理，维护上市公司及广大中小股东的合法权益。
626中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十二节风险因素
一、与本次交易相关的风险
（一）本次交易的审批风险
本次交易尚需满足多项条件及取得相关主管部门批准后方可实施，本次交易尚需履行的决策和审批程序包括：
1、上市公司股东会审议批准本次交易；
2、本次交易经上交所审核通过，并经中国证监会同意注册；
3、各方根据相关法律法规规定履行其他必要的审批/备案程序（如适用）。
本次交易以取得上述全部批准或核准为前提，未取得前述批准或核准前不得实施。
本次交易能否取得上述备案、批准、审核通过或同意注册，以及最终取得备案、批准、审核通过或同意注册的时间均存在不确定性，提请广大投资者注意投资风险。
（二）本次交易被暂停、中止或取消的风险
尽管在本次交易的筹划及实施过程中，交易双方采取了严格的保密措施，尽可能缩小内幕信息知情人员的范围，减少内幕消息的传播，但是不排除上市公司股价异常波动或异常交易可能涉嫌内幕交易而被暂停、终止或取消的风险。
鉴于本次交易的复杂性，自本次交易协议签署至最终实施完毕存在一定的时间跨度，如交易相关方的生产经营、财务状况或市场环境发生不利变化，交易各方在后续的商业谈判中产生重大分歧，或者发生其他重大突发事件或不可抗力因素等，均可能对本次交易的时间进度产生重大影响，也存在导致本次交易被暂停、中止或取消的风险。
在本次交易的推进过程中，市场环境可能会发生变化，监管机构的审核要求也可能对交易方案产生影响，交易各方可能需根据市场环境变化及监管机构的审核要求完善交易方案。如交易各方无法就完善交易方案的措施达成一致意见，则本次交易存在暂停、中止或终止的风险。
（三）收购整合的风险
627中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
本次交易完成后，标的公司将纳入上市公司管理及合并范围，上市公司的业务规模、人员等将进一步扩大，上市公司也将面临经营管理方面的挑战，包括组织设置、内部控制、团队管理、供应链及销售渠道整合、企业文化共享等方面。本次交易完成后，上市公司能否通过整合保持标的公司原有竞争优势并充分发挥并购整合的协同效应具有不确定性，提请投资者关注相关风险。
（四）标的公司评估增值较高的风险
本次评估采用资产基础法和市场法两种方法对杭州众硅100%股权进行评估，并选用市场法评估结果作为最终的评估结论。根据市场法评估结果，截至2025年12月31日，杭州众硅100%股权的评估值为250140.00万元，较合并报表归属于母公司所有者权益增值174859.61万元，增值率232.28%。
虽然评估机构在评估过程中严格按照评估的相关规定，履行了勤勉、尽职的义务，但如未来出现预期之外的较大变化，可能导致资产评估值与实际情况不符的风险，提请投资者注意相关评估风险。
（五）商誉减值的风险
由于本次交易系非同一控制下的企业合并，根据《企业会计准则》规定，本次交易完成后，上市公司将确认一定金额的商誉。根据《备考审阅报告》，本次交易完成后，上市公司将新增95922.71万元商誉，占2025年末上市公司备考财务报表总资产的比例为3.01%，占2025年末上市公司备考财务报表归母净资产的比例为3.98%。本次交易形成的商誉不作摊销处理，但需在未来每年年度终了进行减值测试。如本次拟收购标的资产未来经营状况恶化，则存在商誉减值的风险，从而对上市公司当期损益造成不利影响。本次交易完成后，上市公司将与杭州众硅进行资源整合，力争通过发挥协同效应，保持并提高杭州众硅的竞争力，以便尽可能地降低商誉减值风险。
（六）标的公司未能实现业绩承诺及补偿覆盖比例较低的风险
根据上市公司与业绩承诺方签署的《业绩承诺和补偿协议》，标的公司在2026年度、2027年度和2028年度实现的合并报表范围营业收入分别不低于28000.00万元、
43000.00万元和58000.00万元。标的公司生产经营受宏观经济、市场环境、行业竞争
628中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
等多方面因素的影响，如果在业绩承诺期间出现影响生产经营的不利因素，存在业绩承诺无法实现的风险。
此外，本次交易中业绩承诺方支付的业绩承诺补偿的总金额（含股份和现金补偿）不超过该业绩承诺方从本次交易所获得的全部交易对价，本次交易的业绩补偿覆盖率=业绩承诺方补偿上限金额/本次交易作价=23271.95万元/157604.91万元=14.77%。本次交易业绩承诺方补偿上限无法覆盖本次交易全部交易对价，存在业绩承诺未实现的情况下无法充分保障上市公司利益的风险。
（七）未设置减值测试补偿的风险
根据交易双方友好协商，本次交易结合半导体行业未来发展趋势及标的公司可能的业绩表现，设置了基于营业收入的业绩补偿机制，但未在业绩承诺期末设置减值测试和补偿的条款。该种设置主要为交易双方在综合考虑标的公司未来业绩预测情况以及平等协商的结果，尽量保护各方的利益。但若受政策法规、经济形势、市场环境等极端因素影响，交易协议中业绩补偿机制可能无法完全弥补上市公司经营业绩、商誉以及市场形象的损失，提请广大投资者注意相关风险。
（八）本次交易摊薄上市公司即期回报的风险
本次交易完成后，上市公司总股本增加，标的公司将纳入上市公司合并报表。由于标的公司报告期内处于亏损状态，因此上市公司存在即期回报指标被摊薄的风险。为应对本次交易导致上市公司每股收益摊薄的风险，上市公司根据自身经营特点制定了填补回报的措施，但该等填补回报的措施不等于对上市公司未来盈利作出的保证，特此提醒投资者关注本次交易摊薄即期回报的风险。
二、与标的公司经营相关的风险
（一）市场竞争加剧的风险
标的公司主要从事 CMP设备的研发、生产与销售。标的公司所在的半导体设备行业受国家政策鼓励影响发展迅速，一方面，行业内企业数量增加，另一方面，行业内企业不断结合自身优势拓展市场，标的公司面临的市场竞争逐渐加剧。
629中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
尽管标的公司在技术水平等方面具有竞争优势，但若未来标的公司无法正确把握市场动态及行业发展态势，无法结合市场需求进行相应产品的创新、开发，或竞争对手开发出更具有市场竞争力的产品、提供更好的价格和服务，则标的公司的业务和经营业绩将受到一定影响，因此标的公司面临市场竞争加剧的风险。
（二）研发人才紧缺及流失的风险
半导体设备行业属于人才密集型领域，优秀的研发人员及工程技术人员是标的公司的核心竞争力及未来发展保障。同时，半导体设备生产各环节的工艺配合和误差控制要求极高，需要相关人才具备很强的综合能力和经验积累。
标的公司创始团队来自浙江大学、南京大学等国内外知名高校，曾任职于应用材料、瓦里安半导体、屹唐半导体等知名企业。同时，标的公司组建了一支兼具国际视野与本土深耕能力的团队，团队核心成员行业经验丰富。近年来，随着市场的快速增长，半导体设备企业数量快速增加，优秀人才竞争态势愈发激烈。若标的公司不能提供良好的发展路径、有吸引力的薪酬待遇及相应的激励考核机制，出现研发人才流失，且无法在短期内招聘到经验丰富的人才填补缺口，可能对标的公司业务发展、研发进程和持续竞争力产生不利影响。
（三）产品和技术迭代升级的风险
标的公司所处的半导体设备行业，技术及产品迭代速度较快，为满足客户工艺需求，持续技术创新是标的公司在市场中保持竞争优势的重要手段。若标的公司未能及时准确把握技术和市场的变化趋势和发展方向，不断推出适应市场需求的新技术、新产品，或者未来出现芯片制造颠覆性新技术，而标的公司产品技术升级不能满足客户对更先进制程生产的需求，标的公司的产品销售和经营业绩将受到不利影响。
（四）核心技术泄露的风险
标的公司自成立以来始终专注于 CMP设备的研发、生产及销售，组建了专业的研发技术团队，并经过自主研发，形成多项核心技术，在产品生产各环节发挥了关键的作用。标的公司通过申请专利、规范研发过程管理等措施对自主知识产权进行保护，防止核心技术泄露，但上述措施并不能完全保证核心技术不会泄露，也不能完全排除未来因
630中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
员工违反相关协议、员工离职等因素导致的技术秘密泄露风险。
（五）标的公司持续亏损的风险
标的公司自2018年成立以来，不断推出新产品、市场认可程度逐步提升，正处于从研发到大规模量产的关键阶段。半导体设备行业具有技术密集、研发投入大、市场导入周期相对较长等特征，标的公司产品虽已批量发往客户端验证，但尚未完全进入大规模量产期，确认收入金额有限。根据《审计报告》，报告期内，标的公司2024年度和
2025年度归属于母公司所有者的净利润分别为-15346.30万元、-9249.99万元。标的公
司为保证产品和技术的先进性和稳定性，在研发、人才、市场推广等方面仍需持续保持高水平的投入，未来若标的公司产品不符合市场需求、行业竞争加剧等，导致销售收入或盈利水平不达预期，标的公司存在持续亏损的风险。
（六）知识产权争议风险
半导体设备行业是典型的技术密集型行业，涉及的知识产权领域广泛、数量众多。
为了保持技术优势和竞争力，防止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式设置较高的进入壁垒。标的公司自成立以来高度重视自主知识产权的研发，已取得了大量研发成果并申请众多专利技术，采取了相应的知识产权保护措施，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷的风险，亦不能排除公司的知识产权被侵权的风险。在未来的生产经营活动中，若公司知识产权遭遇侵权或被侵权问题，或因知识产权问题受到恶意诉讼，此类知识产权争端将对标的公司的正常经营活动产生不利影响。
三、其他风险
（一）股票市场波动的风险股票市场投资收益与投资风险并存。上市公司股票价格的波动不仅受其盈利水平和发展前景的影响，而且受国家宏观经济政策调整、金融政策的调控、股票市场的投机行为、投资者的心理预期等诸多因素的影响。本次交易需要有关部门审批且需要一定的时间周期方能完成，在此期间上市公司股票价格可能出现波动，从而给投资者带来一定的风险。股票的价格波动是股票市场的正常现象。为此，提醒投资者应当具有风险意识，
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以便做出正确的投资决策。同时，上市公司一方面将以股东利益最大化作为最终目标，提高资产利用效率和盈利水平；另一方面将严格按照《公司法》《证券法》等法律、法
规的要求规范运作。本次交易完成后，上市公司将严格按照《股票上市规则》的规定，及时、充分、准确地进行信息披露，以利于投资者做出正确的投资决策。
（二）前瞻性陈述具有不确定性的风险
本报告书所载的内容中包括部分前瞻性陈述，一般采用诸如“将”、“将会”、“预期”、“估计”、“预测”、“计划”、“可能”、“应”、“应该”等带有前瞻性色彩的用词。尽管该等陈述是公司基于行业理性所作出的，但鉴于前瞻性陈述往往具有不确定性或依赖特定条件，包括本节中所披露的已识别的各种风险因素，因此，本报告书所载的任何前瞻性陈述均不应被视作公司对未来计划、目标、结果等能够实现的承诺。
（三）其他风险
上市公司不排除因政治、经济、自然灾害等其他不可控因素给上市公司及本次交易
带来不利影响的可能性，提请广大投资者注意相关风险。
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第十三节其他重要事项
一、拟购买资产的股东及其关联方、资产所有人及其关联方是否存在对拟购买资产的非经营性资金占用
截至本报告书签署日，标的公司不存在股东及其关联方、资产所有人及其关联方非经营性资金占用的情形。
二、本次交易完成后，上市公司是否存在资金、资产被实际控制人或其他关联人占用的情形；上市公司是否存在为实际控制人或其他关联人提供担保的情形
本次交易完成前后，上市公司均不存在资金、资产被第一大股东上海创投占用的情形。
上市公司不存在为第一大股东上海创投或其他关联人提供担保的情形。
三、上市公司负债结构是否合理，是否存在因本次交易大量增加负债（包括或有负债）的情况
本次交易对上市公司负债结构的影响参见本报告书“第九节管理层讨论与分析”之
“七、本次交易对上市公司持续经营能力影响”之“（三）本次交易后公司偿债能力和财务安全性分析”。
四、上市公司最近十二个月内重大资产交易
根据《重组管理办法》第十四条有关规定：
“上市公司在十二个月内连续对同一或者相关资产进行购买、出售的，以其累计数分别计算相应数额。已按照本办法的规定编制并披露重大资产重组报告书的资产交易行为，无须纳入累计计算的范围。中国证监会对本办法第十三条第一款规定的重大资产重组的累计期限和范围另有规定的，从其规定。交易标的资产属于同一交易方所有或者控制，或者属于相同或者相近的业务范围，或者中国证监会认定的其他情形下，可以认定为同一或者相关资产。”
633中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
公司本次交易前12个月内购买、出售与本次交易标的资产属于同一或相关资产的
情形具体如下：
2025年9月，公司全资子公司中微半导体（上海）有限公司受让淮安淮堃创业投
资合伙企业（有限合伙）、嘉兴芯通投资合伙企业（有限合伙）、杭州寓鑫创业投资合
伙企业（有限合伙）、吴仁德、南京星堃股权投资合伙企业（有限合伙）、宁波领芯企
业管理咨询合伙企业（有限合伙）持有标的公司股权。具体情况如下：
转让标的公司注册转让价格受让方转让方资本（万元）（万元）
淮安淮堃创业投资合伙企业（有限合伙）156.81293127.3030
嘉兴芯通投资合伙企业（有限合伙）248.08234947.4800
中微半导体杭州寓鑫创业投资合伙企业（有限合伙）119.44702382.1193（上海）有限吴仁德402.61828029.3736公司
南京星堃股权投资合伙企业（有限合伙）248.13894948.6087宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合
5.0143100.0000
伙）
合计1180.113623534.8846
前次受让与本次交易的标的公司为同一标的公司，根据前述规定，前次受让与本次交易的标的资产属于需要纳入累计计算范围内的相关资产。
除上述情况外，截至本报告书签署日，公司在本次交易前12个月内不存在需纳入本次交易相关指标累计计算范围的购买、出售资产的情形。
五、本次交易对上市公司治理机制影响的说明
本次交易完成前，上市公司已按照《公司法》《证券法》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定建立了规范的法人治理机构和独立运营的公司管理体制，做到了业务独立、资产独立、财务独立、机构独立、人员独立。同时，上市公司根据相关法律、法规的要求结合公司实际工作需要，制定了《股东会议事规则》《董事会议事规则》《信息披露管理制度》等规章制度，建立了相关的内部控制制度。上述制度的制定与实行，保障了上市公司治理的规范性。
本次交易完成后，上市公司的控制权结构未发生变化，上市公司将依据有关法律法规的要求进一步完善公司法人治理结构，继续完善公司《公司章程》《股东会议事规则》
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《董事会议事规则》《信息披露管理制度》等规章制度的建设与实施，维护上市公司及中小股东的利益。
六、本次交易后上市公司的现金分红政策及相应的安排、董事会对上述情况的说明
本次交易完成后，上市公司将严格执行《公司章程》载明的股利分配政策，将根据中国证监会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》《上市公司监管指引
第3号——上市公司现金分红》等相关规定，结合上市公司的实际情况，不断完善利润
分配政策，增加分配政策执行的透明度，维护全体股东利益，在保证上市公司可持续发展的前提下兼顾对股东合理的投资回报，更好地维护上市公司股东及投资者利益。
七、本次交易涉及的相关主体买卖上市公司股票的自查情况
上市公司自2025年12月19日停牌后，立即进行内幕信息知情人登记及自查工作，并及时向上交所上报了内幕信息知情人名单。
本次自查期间上市公司就本次交易停牌之日起前六个月至本报告书披露之前一日止，即2025年6月19日至2026年3月30日。
本次自查范围包括：
1、上市公司及其董事、高级管理人员及有关知情人员；
2、交易对方及有关知情人员；
3、标的公司及其董事、监事、高级管理人员及有关知情人员；
4、相关中介机构及具体业务经办人员；
5、其他知悉本次交易内幕信息的法人和自然人；
6、前述1至5项所述自然人的直系亲属，包括配偶、父母、成年子女。
上市公司将于本报告书经董事会审议通过后，向登记结算公司提交上述核查对象买卖股票记录的查询申请，并在查询完毕后补充披露查询情况。
八、上市公司本次交易披露前股票价格波动情况的说明
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根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第6号——重大资产重组》的相关规定，上市公司对本次交易信息发布前股票价格波动情况进行了自查，自查情况如下：
公司股票于2025年12月19日开市起停牌。本次交易停牌前第21个交易日（2025年11月20日）公司股票的收盘价格为283.55元/股，停牌前第1个交易日（2025年12月18日）收盘价格为272.72元/股，股票收盘价累计下跌3.82%。公司股票在本次交易停牌前20个交易日内相对于大盘、同行业板块的涨跌幅情况如下表所示：
公告前21个交易日公告前1个交易日（2025项目涨跌幅
（2025年11月20日）年12月18日）
上市公司（元/股）283.55272.72-3.82%
科创 50（000688.SH） 1328.19 1305.97 -1.67%
半导体指数（886063.WI） 7173.42 7247.80 1.04%
剔除大盘因素影响后的涨跌幅-2.15%
剔除同行业板块影响后的涨跌幅-4.86%
剔除大盘因素及同行业板块因素影响，公司股价在首次公告日前20个交易日内累计涨跌幅未超过20%，公司股票价格未出现异常波动情形。
尽管上市公司制定了严格的内幕信息管理制度并采取了相关保密措施，但仍不排除有关机构和个人利用本次交易内幕信息进行内幕交易的可能，上市公司已在本报告书之“重大风险提示”之“一、与本次交易相关的风险”之“（二）本次交易被暂停、中止或取消的风险”中进行了相关风险提示。
九、本次交易对中小投资者权益保护的安排
本次交易对中小投资者权益保护的安排详见本报告书“重大事项提示”之“六、本次交易对中小投资者权益保护的安排”。
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第十四节对本次交易的结论性意见
一、独立董事意见
根据《公司法》《证券法》《重组管理办法》《上市公司独立董事管理办法》等有
关法律、法规、规范性文件以及《公司章程》的相关规定，公司的独立董事对本次交易的相关事项召开独立董事专门会议，并发表审核意见如下：
1、经过对公司自身实际运营情况和本次交易相关事项进行详尽仔细的自查、分析论证后，认为公司符合发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的条件。
2、通过《关于公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金方案的议案》里
本次交易的具体方案。
3、同意《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要的内容。
4、本次交易不构成关联交易。
5、本次交易不构成重大资产重组且不构成重组上市。
6、本次交易符合《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》第四条的相关规定。
7、本次交易符合《上市公司重大资产重组管理办法》第十一条和第四十三条、第
四十四条的规定。
8、本次交易符合《科创板上市规则》第11.2条、《持续监管办法》第二十条及《重组审核规则》第八条规定。
9、本次交易相关主体不存在依据《上市公司监管指引第7号——上市公司重大资产重组相关股票异常交易监管》第十二条及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第
6号——重大资产重组》第三十条规定的不得参与任何上市公司重大资产重组的情形。
10、本次交易不存在《上市公司证券发行注册管理办法》第十一条规定的不得向特
定对象发行股票的情形。
11、剔除大盘因素及同行业板块因素影响，公司股价在首次公告日前20个交易日
637中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
内累计涨跌幅未超过20%，公司股票价格未出现异常波动情形。
12、公司本次交易前12个月内购买、出售与本次交易标的资产属于同一或相关资
产的情形具体如下：
2025年9月，公司全资子公司中微半导体（上海）有限公司受让淮安淮堃创业投
资合伙企业（有限合伙）（“淮堃创投”）、嘉兴芯通投资合伙企业（有限合伙）（“嘉兴芯通”）、杭州寓鑫创业投资合伙企业（有限合伙）（“寓鑫创投”）、吴仁德、南
京星堃股权投资合伙企业（有限合伙）（“南京星堃”）、宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）（“宁波领芯”）持有标的公司标的资产。合计受让出资额1180.1136万元，受让价格23534.8846万元。
前次收购与本次交易的标的为同一标的公司，根据前述规定，前次收购与本次交易的标的资产属于需要纳入累计计算范围内的相关资产。
13、公司拟与交易对方签署附生效条件的《发行股份及支付现金购买资产协议之补充协议》，就本次交易有关事项进行约定。
14、公司拟就业绩承诺及补偿等事项与杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安
众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯、朱琳签署附生效条件的《业绩承诺和补偿协议》。
15、公司已就本次交易履行了截至目前阶段必需的法定程序，该等法定程序完备、合法、有效，符合有关法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定，公司就本次交易向监管机构提交的法律文件合法有效。
16、公司董事会提请公司股东会批准授权公司董事会全权处理本次交易的相关事宜，
本授权自股东会审议通过之日起12个月内有效。如果公司已在该期限内取得中国证监会对本次交易的核准文件，则该授权有效期自动延长至本次交易完成日。
17、公司在本次交易中聘请中信证券股份有限公司为本次交易的独立财务顾问，聘
请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本次交易的审计机构和备考审阅机构，聘请上海市锦天城律师事务所为本次交易的法律顾问，聘请浙江中联资产评估有限公司为本次交易的评估机构。
18、公司已根据相关法律、法规及规范性法律文件的规定，制定了严格有效的保密
638中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）制度，采取了必要且充分的保密措施，限定相关敏感信息的知悉范围，及时签订了保密协议，严格地履行了本次交易信息在依法披露前的保密义务。
19、公司就本次交易聘请的评估机构具有独立性，评估假设前提具有合理性，评估
方法与评估目的具有相关性，评估机构出具的评估报告的评估结论合理，评估定价具有公允性。
20、公司聘请的审计机构普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）就标的公司
2024年度及2025年度的财务报表进行审计并出具了普华永道中天特审字(2026)第0065
号《审计报告》以及普华永道中天阅字（2026）第0001号《备考审阅报告》，浙江中联资产评估有限公司就标的公司于评估基准日2025年12月31日的评估价值出具了《资产评估报告》（浙联评报字[2026]第64号）。
21、本次交易股份发行价格符合相关法律法规的规定，不存在损害公司及股东利益的情形。
22、公司就本次交易对即期回报摊薄的影响进行了认真分析，并制定了填补回报的相关措施。
综上，作为公司独立董事，我们同意公司本次发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金事项，同意公司董事会就本次交易的总体安排及相关议案。
二、独立财务顾问对本次交易的结论性意见
上市公司聘请中信证券担任本次交易的独立财务顾问。根据《公司法》《证券法》《重组管理办法》《上市公司并购重组财务顾问业务管理办法》《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第26号——上市公司重大资产重组》《上市公司监管指引第9号》和《上海证券交易所上市公司重大资产重组审核规则》等相关法律法规的规定和
中国证监会、上海证券交易所的要求，独立财务顾问对本次交易相关的申报和披露文件进行了审慎核查后，发表独立财务顾问结论性意见如下：
“1、本次交易符合《公司法》《证券法》《重组管理办法》《发行注册管理办法》等法律、法规和规范性文件的规定。本次交易遵守了国家相关法律、法规的要求，已取得现阶段必要的批准和授权，并履行了必要的信息披露程序；
639中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
2、本次交易符合国家产业政策和有关环境保护、土地管理、反垄断、外商投资、对外投资等法律和行政法规的规定；
3、本次交易标的资产的定价原则公允，本次购买资产发行股份的定价符合相关法规规定，不存在损害上市公司及股东合法利益的情形；
4、本次交易完成后有利于提高上市公司资产质量、增强持续经营能力，本次交易
有利于上市公司的持续发展、不存在损害股东合法权益的问题；
5、本次交易不构成关联交易；本次交易完成后，上市公司仍具备股票上市的条件；
6、本次募集配套资金具备必要性，不存在损害上市公司的情形；
7、本次交易完成后上市公司在业务、资产、财务、人员、机构等方面与第一大股
东及关联方将继续保持独立，符合中国证监会关于上市公司独立性的相关规定；公司治理机制符合相关法律法规的规定；有利于上市公司形成或者保持健全有效的法人治理结构；
8、本次交易标的资产权属清晰，标的资产不存在其他任何质押或权利受限制的情形，在相关法律程序和先决条件得到适当履行的情形下，标的资产的过户或转移不存在法律障碍；
9、本次交易充分考虑到了对中小股东利益的保护，切实、可行。对本次交易可能
存在的风险，上市公司已经在交易报告书及相关文件中作了充分揭示，有助于全体股东和投资者对本次交易的客观评判；
10、本次交易前后上市公司实际控制权未发生变更，不构成《重组管理办法》第十
三条所规定的重组上市的情形；
11、本次交易中，交易对方与上市公司就标的公司业绩实现数不足业绩承诺数的情
况约定了业绩补偿条款，补偿安排措施可行、合理；
12、在本次交易中，独立财务顾问、上市公司聘请第三方机构的过程，符合中国证
监会《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》的相关规定；
13、截至独立财务顾问报告出具日，本次交易的标的公司股东及其关联方不存在对
640中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
拟购买资产的非经营性资金占用的情况；
14、上市公司最近一年财务会计报告被会计师事务所出具无保留意见审计报告；上
市公司及其现任董事、高级管理人员不存在因涉嫌犯罪正被司法机关立案侦查或涉嫌违法违规正被中国证监会立案调查的情形；
15、本次交易有利于提高上市公司资产质量和增强持续经营能力，不会导致财务状
况发生重大不利变化；本次交易不会导致新增重大不利影响的同业竞争及严重影响独立性或者显失公平的关联交易；
16、为维护公司和全体股东的合法权益，上市公司制定了填补可能被摊薄即期回报的措施，上市公司第一大股东、董事、高级管理人员已出具相应承诺，符合《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》等相关法律法规的要求。
综上，本次交易符合《公司法》《证券法》《重组管理办法》《上市公司证券发行注册管理办法》《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第26号——上市公司重大资产重组》《上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求》和《上海证券交易所上市公司重大资产重组审核规则》等法律、法规和规范
性文件的规定，本次交易遵守国家相关法律、法规的要求，符合重组条件及相关信息披露要求。”三、律师结论性意见上市公司聘请了上海市锦天城律师事务所担任本次交易的法律顾问。法律顾问严格按照《公司法》《证券法》《重组管理办法》《上市公司监管指引第9号》及《格式准则26号》等法律、法规、文件的相关要求，本着诚实信用和勤勉尽责的原则，在认真审阅各方提供的资料并充分了解本次交易的基础上，并与上市公司、本次交易的其他中介机构等经过充分沟通后，发表以下法律意见。
经核查，法律顾问认为：
“本所律师认为，截至本法律意见书出具之日，本次交易相关主体的主体资格合法有效；本次交易已经履行了现阶段应当履行的授权和批准程序；本次交易方案符合相关
法律法规的规定，本次交易在相关各方承诺得以切实履行的情况下，符合适用法律法规
641中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
有关发行股份购买资产的实质性条件；在经上市公司股东会、上交所审核通过并取得中国证监会同意注册的意见后，本次交易的实施不存在实质性法律障碍。”
642中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十五节本次交易有关中介机构情况
一、独立财务顾问中信证券股份有限公司
联系地址：广东省深圳市福田区中心三路8号卓越时代广场（二期）北座
法定代表人：张佑君
电话：021-20262226
传真：021-20262226
项目主办人：艾华、姚爽、王诗言
项目协办人：李雨清、周欢、张湜、李德盟
项目组成员：赵耀、于军杰、黄凯、林臻玮、陈松松
二、法律顾问上海市锦天城律师事务所
联系地址：上海市浦东新区银城中路501号上海中心大厦9/11/12层
事务所负责人：沈国权
电话：（86）21-20511000
传真：（86）21-20511999
经办律师：黄素洁、宋怡、吴圣卿
三、审计机构
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）
联系地址：中国上海市浦东新区东育路588号前滩中心42楼
事务所负责人：李丹
643中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
电话：86(21)23238888
传真：86(21)23238800
经办注册会计师：张炜彬、胡玉琢
四、资产评估机构浙江中联资产评估有限公司
联系地址：杭州市湖墅南路260号6楼
法定代表人：邬崇国
电话：0571-88372130
传真：0571-88372112
经办资产评估师：李洪柱、周承起
644中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十六节董事、高级管理人员及有关中介机构声明
一、上市公司全体董事声明本公司及全体董事承诺并保证《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要以及本公司所出具的所有
相关申请文件的内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
全体董事签字：
尹志尧朱民丛海陶珩李鑫袁训张聿孙铮徐萍
中微半导体设备（上海）股份有限公司年月日
645中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
二、上市公司全体高级管理人员声明本公司及全体高级管理人员承诺并保证《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要以及本公司所出
具的所有相关申请文件的内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
全体非董事高级管理人员签字：
陈伟文靳巨刘方姜银鑫何奕
中微半导体设备（上海）股份有限公司年月日
646中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
三、独立财务顾问声明本公司及本公司经办人员同意中微半导体设备（上海）股份有限公司在《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要中引用本公司出具的独立财务顾问报告的相关内容和结论性意见。
本公司保证中微半导体设备（上海）股份有限公司在前述文件中引用本公司出具的
独立财务顾问报告的相关内容已经本公司及本公司经办人员审阅，确认前述文件不致因上述引用内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
财务顾问主办人：
艾华姚爽王诗言
财务顾问协办人：
李雨清周欢张湜李德盟
法定代表人：
张佑君中信证券股份有限公司年月日
647中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
四、法律顾问声明本所及本所经办律师同意中微半导体设备（上海）股份有限公司在《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要中引用本所出具的法律意见书的相关内容和结论性意见。
本所保证中微半导体设备（上海）股份有限公司在前述文件中引用的法律意见书的
相关内容和结论性意见已经本所及本所经办律师审阅，确认前述文件不致因引用内容而出现虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性及完整性承担相应的法律责任。
律师事务所负责人：
沈国权
经办律师：
黄素洁宋怡吴圣卿上海市锦天城律师事务所年月日
648中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
五、审计机构声明本所及签字注册会计师同意贵公司在本次发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书及其摘要引用本所对杭州众硅电子科技有限公司2024年度及2025年度的财务报表出具的审计报告以及对贵公司管理层假设本次购买资产已于2025年1月1日完成而编制的备考财务报表出具的审阅报告。
本所及签字注册会计师确认发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书
不致因完整准确地引用本所出具的上述报告而导致在相应部分出现虚假记载、误导性陈
述或重大遗漏，并对本所出具的上述报告的真实性、准确性和完整性依据有关法律法规的规定承担相应的法律责任。若普华永道未能勤勉尽责，导致本所出具的上述报告存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，本所将依据有关法律法规的规定承担相应的法律责任。
签字注册会计师：
张炜彬胡玉琢
会计师事务所负责人授权代表：
王笑
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）年月日
649中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
六、评估机构声明本机构及签字资产评估师已阅读《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要，并确认《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要中援引本机构出具的《中微半导体设备（上海）股份有限公司拟发行股份及支付现金购买资产涉及杭州众硅电子科技有限公司股东全部权益价值评估项目》（浙联评报字[2026]第64号）的专业结论无矛盾之处。本机构及签字资产评估师对《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》及其摘要中完整准确地援引本机构出具的《中微半导体设备（上海）股份有限公司拟发行股份及支付现金购买资产涉及杭州众硅电子科技有限公司股东全部权益价值评估项目》（浙联评报字[2026]第64号）的专业结论无异议。确认《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》
及其摘要不致因援引本机构出具的资产评估专业结论而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性承担相应的法律责任。
签字资产评估师：________________________________李洪柱周承起
资产评估机构负责人：
邬崇国浙江中联资产评估有限公司年月日
650中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
第十七节备查文件及备查地点
一、备查文件目录
1、公司关于本次交易相关的董事会决议；
2、公司独立董事关于本次交易的相关独立意见；
3、公司与交易对方签署的相关协议；
4、中信证券股份有限公司出具的关于本次交易的独立财务顾问报告；
5、上海市锦天城律师事务所出具的法律意见书；
6、普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的审计报告与备考审阅报告；
7、浙江中联资产评估有限公司出具的《资产评估报告》及评估说明；
8、本次交易相关的承诺函；
9、其他与本次交易有关的重要文件。
二、备查文件地点
投资者可以在下列地点查阅上述备案文件：
存放公司：中微半导体设备（上海）股份有限公司
办公地址：上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
电话：86-21-61001199
传真：86-21-61002205
联系部门：证券部
651中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
附件
附件一、知识产权
1、注册商标
（1）境内商标
截至报告期末，杭州众硅及其子公司持有的已注册境内商标共计68项，具体如下：
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州834712025-09-07至7类机原始
1已注册无
众硅5952035-09-06械设备取得
杭州804502025-07-07至9类科原始
2已注册无
众硅4402035-07-06学仪器取得
杭州794532025-03-28至9类科原始
3已注册无
众硅5642035-03-27学仪器取得
杭州784652024-10-28至9类科原始
4已注册无
众硅5512034-10-27学仪器取得
杭州784652024-10-28至7类机原始
5已注册无
众硅5362034-10-27械设备取得
杭州769182024-08-28至7类机原始
6已注册无
众硅0832034-08-27械设备取得
杭州765412024-07-28至7类机原始
7已注册无
众硅4312034-07-27械设备取得
杭州765322024-07-21至9类科原始
8已注册无
众硅7442034-07-20学仪器取得
杭州761002024-07-14至7类机原始
9已注册无
众硅1782034-07-13械设备取得
652中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州761202024-07-14至9类科原始
10已注册无
众硅1332034-07-13学仪器取得
杭州756752024-08-21至9类科原始
11已注册无
众硅8892034-08-20学仪器取得
杭州756842024-06-07至7类机原始
12已注册无
众硅5582034-06-06械设备取得
杭州756812024-08-21至7类机原始
13已注册无
众硅8962034-08-20械设备取得
杭州756812025-06-14至9类科原始
14已注册无
众硅9342035-06-13学仪器取得
杭州753742024-08-21至7类机原始
15已注册无
众硅2902034-08-20械设备取得
杭州753542024-08-14至9类科原始
16已注册无
众硅1062034-08-13学仪器取得
杭州753642024-06-07至9类科原始
17已注册无
众硅7922034-06-06学仪器取得
杭州753542024-06-07至7类机原始
18已注册无
众硅0862034-06-06械设备取得
杭州752852024-06-14至7类机原始
19已注册无
众硅 972A 2034-06-13 械设备 取得
杭州752852025-06-21至7类机原始
20已注册无
众硅9722035-06-20械设备取得
杭州749182024-05-28至7类机原始
21已注册无
众硅1172034-05-27械设备取得
杭州733352024-02-07至7类机原始
22已注册无
众硅6812034-02-06械设备取得
653中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州733452024-02-14至9类科原始
23已注册无
众硅9372034-02-13学仪器取得
杭州732632024-04-07至9类科原始
24已注册无
众硅1422034-04-06学仪器取得
杭州732662024-04-07至7类机原始
25已注册无
众硅5692034-04-06械设备取得
杭州732472024-04-07至9类科原始
26已注册无
众硅7182034-04-06学仪器取得
杭州732542024-04-07至7类机原始
27已注册无
众硅4892034-04-06械设备取得
杭州714492023-10-28至3类日原始
28已注册无
众硅1782033-10-27化用品取得
杭州714532024-02-28至9类科原始
29已注册无
众硅8052034-02-27学仪器取得
杭州713242024-12-07至42类设原始
30已注册无
众硅7242034-12-06计研究取得
杭州710462024-04-21至9类科原始
31已注册无
众硅0462034-04-20学仪器取得
杭州710432023-10-21至7类机原始
32已注册无
众硅3692033-10-20械设备取得
杭州710542023-10-07至9类科原始
33已注册无
众硅6352033-10-06学仪器取得
杭州710402023-10-07至7类机原始
34已注册无
众硅4722033-10-06械设备取得
杭州699852024-01-21至9类科原始
35已注册无
众硅1342034-01-20学仪器取得
654中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州694742024-03-21至7类机原始
36已注册无
众硅1582034-03-20械设备取得
杭州691302023-09-21至7类机原始
37已注册无
众硅2842033-09-20械设备取得
杭州691352023-09-21至9类科原始
38已注册无
众硅1692033-09-20学仪器取得
杭州691342023-09-21至40类材原始
39已注册无
众硅4702033-09-20料加工取得
杭州691202023-10-07至1类化原始
40已注册无
众硅0262033-10-06学原料取得
杭州691202023-09-14至37类建原始
41已注册无
众硅0692033-09-13筑修理取得
杭州691362023-09-07至7类机原始
42已注册无
众硅4202033-09-06械设备取得
杭州691292024-11-28至42类设原始
43已注册无
众硅6582034-11-27计研究取得
杭州671252023-04-14至7类机原始
44已注册无
众硅4792033-04-13械设备取得
杭州671292023-04-14至9类科原始
45已注册无
众硅9532033-04-13学仪器取得
杭州671162023-04-14至7类机原始
46已注册无
众硅8152033-04-13械设备取得
杭州657132023-01-21至9类科原始
47已注册无
众硅5452033-01-20学仪器取得
杭州657152024-04-14至7类机原始
48已注册无
众硅8282034-04-13械设备取得
655中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州657202023-01-14至7类机原始
49已注册无
众硅2172033-01-13械设备取得
杭州657342023-01-14至7类机原始
50已注册无
众硅4342033-01-13械设备取得
杭州657132023-01-14至9类科原始
51已注册无
众硅5192033-01-13学仪器取得
杭州657182023-01-14至9类科原始
52已注册无
众硅8892033-01-13学仪器取得
杭州657382023-03-21至9类科原始
53已注册无
众硅7142033-03-20学仪器取得
杭州657382023-01-14至7类机原始
54已注册无
众硅6372033-01-13械设备取得
杭州657152023-02-28至7类机原始
55已注册无
众硅 828A 2033-02-27 械设备 取得
杭州653412022-12-07至9类科原始
56已注册无
众硅6362032-12-06学仪器取得
杭州653522022-12-07至7类机原始
57已注册无
众硅4082032-12-06械设备取得
杭州653442022-11-28至7类机原始
58已注册无
众硅8382032-11-27械设备取得
杭州653442022-12-07至9类科原始
59已注册无
众硅8922032-12-06学仪器取得
杭州653522022-12-07至7类机原始
60已注册无
众硅8552032-12-06械设备取得
杭州653522022-12-07至9类科原始
61已注册无
众硅6992032-12-06学仪器取得
656中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利注册使用类商标状取得他项商标标识专用权期限号人号别态方式权利
杭州653372022-12-07至7类机原始
62已注册无
众硅9732032-12-06械设备取得
杭州653522022-12-07至9类科原始
63已注册无
众硅6972032-12-06学仪器取得
杭州347002019-07-07至9类科原始
64已注册无
众硅1142029-07-06学仪器取得
杭州347002019-07-07至7类机原始
65已注册无
众硅0982029-07-06械设备取得
杭州322742019-04-07至9类科原始
66已注册无
众硅6362029-04-06学仪器取得
杭州322742019-12-21至7类机原始
67已注册无
众硅6332029-12-20械设备取得
杭州322792020-04-21至9类科原始
68已注册无
众硅1592030-04-20学仪器取得
（2）境外商标
截至报告期末，杭州众硅及其子公司持有的已注册境外商标共计53项，具体如下：
国家/注类权利取得方他项
序号商标名称地区/册注册号注册日有效期别人式权利组织地
日2020-042030-0杭州原始取
115323747类无
本-274-27众硅得
日2020-042030-0杭州原始取
215318469类无
本-274-27众硅得
马德韩2020-042030-0杭州原始取
315323747类无
里国国-274-27众硅得
际注韩2020-042030-0杭州原始取
415318469类无
册国-274-27众硅得
美2020-042030-0杭州原始取
562976057类无
国-274-27众硅得
美2020-042030-0杭州原始取
662916059类无
国-274-27众硅得
657中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
国家/注类权利取得方他项
序号商标名称地区/册注册号注册日有效期别人式权利组织地
欧2020-042030-0杭州原始取
715323747类无
盟-274-27众硅得
欧2020-042030-0杭州原始取
815318469类无
盟-274-27众硅得新
2020-042030-0杭州原始取
9加15323747类无
-274-27众硅得坡新
2020-042030-0杭州原始取
10加15318469类无
-274-27众硅得坡中
7
中国国02109942020-122030-1杭州原始取
11类、无
台湾台5-162-15众硅得
9类
湾马德
里国日2020-042030-0杭州原始取
1215484077类无
际注本-224-22众硅得册
日2021-052031-0杭州原始取
13日本63872759类无
本-115-11众硅得马德
里国韩2020-042030-0杭州原始取
1415484077类无
际注国-224-22众硅得册
韩40-17522021-072031-0杭州原始取
15韩国9类无
国832-157-15众硅得马德
里国美2020-042030-0杭州原始取
1662689727类无
际注国-224-22众硅得册
美2021-082031-0杭州原始取
17美国64440849类无
国-108-10众硅得马德
里国欧2020-042030-0杭州原始取
1815484077类无
际注盟-224-22众硅得册
欧01822432020-082030-0杭州原始取
19欧盟9类无
盟43-014-10众硅得马德新
2020-042030-0杭州原始取
20里国加15484077类无
-224-22众硅得际注坡
658中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
国家/注类权利取得方他项
序号商标名称地区/册注册号注册日有效期别人式权利组织地册新
新加40202002020-052030-0杭州原始取
21加9类无
坡 9597U -08 5-08 众硅 得坡中
7
中国国02099392020-112030-1杭州原始取
22类、无
台湾台2-010-31众硅得
9类
湾
7
欧01882372023-062033-0杭州原始取
23欧盟类、无
盟48-141-19众硅得
9类
韩40-22702024-112034-1杭州原始取
24韩国7类无
国814-081-08众硅得
韩40-22702024-112034-1杭州原始取
25韩国9类无
国830-041-04众硅得
7日2023-072033-0杭州原始取
26日本6717320类、无
本-137-13众硅得
9类
新7
新加40202302023-022033-0杭州原始取
27加类、无
坡 2136W -07 2-07 众硅 得坡9类中
中国国02316522023-092033-0杭州原始取
287类无
台湾台8-018-31众硅得湾中
中国国02316742023-092033-0杭州原始取
299类无
台湾台0-018-31众硅得湾
7
美2025-012035-0杭州原始取
30美国7666240类、无
国-281-29众硅得
9类
7
欧01886562023-092033-0杭州原始取
31欧盟类、无
盟70-124-21众硅得
9类
7日2023-102033-1杭州原始取
32日本6747127类、无
本-200-20众硅得
9类
中国中02334452023-11-2033-1杭州原始取
337类无
台湾国2161-15众硅得
659中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
国家/注类权利取得方他项
序号商标名称地区/册注册号注册日有效期别人式权利组织地台湾中
中国国02334712023-11-2033-1杭州原始取
349类无
台湾台2161-15众硅得湾新7
新加40202302024-032033-0杭州原始取
35加类、无
坡 9676Y -13 5-04 众硅 得坡9类
7
美2024-072034-0杭州原始取
36美国7432079类、无
国-027-03众硅得
9类
韩40-22832024-122034-1杭州原始取
37韩国7类无
国338-022-01众硅得
韩40-22832024-122034-1杭州原始取
38韩国9类无
国341-022-01众硅得新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
39加7类无
坡 1796W -23 1-23 众硅 得坡中
中国国02484322025-102035-0杭州原始取
407类无
台湾台8-019-30众硅得湾新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
41加7类无
坡 1797R -23 1-23 众硅 得坡中
中国国02484322025-102035-0杭州原始取
427类无
台湾台7-019-30众硅得湾新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
43加7类无
坡 1798P -23 1-23 众硅 得坡中
中国国02484322025-102035-0杭州原始取
447类无
台湾台6-019-30众硅得湾新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
45加9类无
坡 1793X -23 1-23 众硅 得坡
660中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
国家/注类权利取得方他项
序号商标名称地区/册注册号注册日有效期别人式权利组织地中
中国国02474472025-082035-0杭州原始取
469类无
台湾台0-168-15众硅得湾新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
47加9类无
坡 1792S -23 1-23 众硅 得坡中
中国国02484462025-102035-0杭州原始取
489类无
台湾台7-019-30众硅得湾新
新加40202502025-012035-0杭州原始取
49加9类无
坡 1794V -23 1-23 众硅 得坡中
中国国02484462025-102035-0杭州原始取
509类无
台湾台6-019-30众硅得湾
美2025-102035-1杭州原始取
51美国79825847类无
国-140-14众硅得
美2025-102035-1杭州原始取
52美国79825837类无
国-140-14众硅得
美2025-102035-1杭州原始取
53美国79825827类无
国-140-14众硅得
2、专利权
（1）境内专利权
截至报告期末，杭州众硅及其子公司拥有106项已获批准的境内专利权，其中42项为发明专利、53项为实用新型专利、11项为外观设计，具体如下：
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
杭州一种化学机械抛光的在线监2023112392023-09原始
1发明授权无
众硅测装置6583-22取得
杭州一种抛光垫沟槽在线修整方2025112142025-08原始
2发明授权无
众硅法及装置1085-28取得
杭州一种用于晶圆清洗装置的从2025113682025-09原始
3发明授权无
众硅动机构及晶圆清洗装置5359-24取得
4杭州一种化学机械抛光在线监测2025110652025-07发明原始授权无
661中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
众硅方法3799-31取得
杭 州 一种用于 CMP 设备抛光垫 202311293 2023-10 原始
5发明授权无
众硅沟槽修整的方法6007-08取得
杭州2021115332021-12原始
6站立式晶圆卡座发明授权无
众硅 401X -15 取得
杭州一种可调平式抛光盘及抛光2024223742024-09实用新原始
7授权无
众硅系统2429-27型取得
杭州2025103112025-03原始
8一种晶圆提拉结构发明授权无
众硅0213-17取得一种用于快速调温的化学液
杭州2024206592024-04实用新原始
9输送单元及化学机械平坦化授权无
众硅6934-01型取得设备
杭州2024304772024-07外观设原始
10抛光研磨装置授权无
众硅1328-30计取得
杭州一种电化学机械抛光及平坦2024211352024-05实用新原始
11授权无
众硅化装置5783-23型取得
杭州一种用于半导体湿法设备的2024116932024-11原始
12发明授权无
众硅晶圆定位检测方法0911-25取得一种用于电化学机械平坦化
杭州2025101872025-02原始
13设备的电抛光头、导电系统发明授权无
众硅7875-20取得及其装配方法联动式单动力源控制间停机
杭州2024116662024-11原始
14构、晶圆修整机构及工作方发明授权无
众硅9404-21取得法
杭州一种晶圆搬运装置及抛光系2024116612024-11原始
15发明授权无
众硅统、抛光工艺2270-20取得
杭州2024203282024-02实用新原始
16一种抛光垫及晶圆抛光系统授权无
众硅7163-22型取得
杭州一种化学机械抛光及平坦化2024204232024-03实用新原始
17授权无
众硅系统6775-05型取得
杭州2024202252024-01实用新原始
18一种晶圆抛光系统授权无
众硅6223-30型取得
杭州一种用于导电晶圆的传输装2024208762024-04实用新原始
19授权无
众硅置0026-25型取得
杭州一种带有压力检测的修整装2024210912024-05实用新原始
20授权无
众硅置8589-17型取得
杭州2024206002024-03实用新原始
21一种晶圆旋转干燥装置授权无
众硅0894-26型取得
杭州2024301322024-03外观设原始
22化学机械平坦化装置授权无
众硅4801-15计取得
23杭州抛光研磨装置2024300462024-01外观设原始授权无
662中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
众硅0724-24计取得
杭州一种导电型晶圆化学机械抛2023233272023-12实用新原始
24授权无
众硅光系统7503-05型取得
杭州一种化学机械平坦化设备和2019104812019-06原始
25发明授权无
众硅晶圆传输方法4482-04取得
杭州一种化学机械抛光的在线监2023226002023-09实用新原始
26授权无
众硅测装置9702-22型取得一种化学机械抛光设备及其
杭州2021104072021-04原始
27晶圆缓存装置和晶圆缓存方发明授权无
众硅0747-15取得法
杭州2021102932019-09原始
28一种晶圆传输机械手发明授权无
众硅3431-06取得
杭州2022305192022-08外观设原始
29晶圆夹持臂夹爪授权无
众硅2323-10计取得
杭州一种可隔离防护晶圆的晶圆2020113382020-11原始
30发明授权无
众硅处理装置2226-25取得
杭州2023218492023-07实用新原始
31晶圆抛光系统授权无
众硅5446-13型取得
杭州2023216682023-06实用新原始
32一种晶圆传输装置授权无
众硅7244-28型取得
杭州2023218592023-07实用新原始
33一种晶圆传输监测系统授权无
众硅9746-13型取得
杭州2023216752023-06实用新原始
34一种预清洗输入装置授权无
众硅4959-28型取得
杭州2023216722023-06实用新原始
35一种化学机械平坦化设备授权无
众硅2892-28型取得
杭 州 一种 CMP 抛光垫再加工装 202321603 2023-06 实用新 原始
36授权无
众硅置9222-21型取得
杭州一种用于半导体清洗单元的2023208722023-04实用新原始
37授权无
众硅晶圆有无检测装置0594-14型取得
杭州2023209032023-04实用新原始
38一种拼接式工作台机构授权无
众硅5886-20型取得一种晶圆清洁干燥模组状态
杭州2022105082022-05原始
39检测方法、装置及平坦化设发明授权无
众硅4239-11取得备
杭州2023203162023-02实用新原始
40一种晶圆清洗干燥装置授权无
众硅1480-14型取得
杭州2022229892022-11实用新原始
41一种抛光垫加工装置授权无
众硅9063-07型取得
杭州2023201722023-01实用新原始
42一种晶圆清洗箱授权无
众硅3676-13型取得
663中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
杭州一种排风脏污收集装置及化2023208362023-04实用新原始
43授权无
众硅学机械平坦化抛光设备7028-14型取得一种处理导电型晶圆衬底的
杭州2022229652022-11实用新原始
44电化学机械抛光及平坦化设授权无
众硅1320-03型取得备
杭州应用于导电型晶圆衬底的电2022229772022-11实用新原始
45授权无
众硅化学机械抛光及平坦化设备1233-03型取得
杭 州 一种用于 CMP 设备的电化 202222961 2022-11 实用新 原始
46授权无
众硅学机械抛光及平坦化系统4336-03型取得
杭州2023205452023-03实用新原始
47一种晶圆干燥装置授权无
众硅6301-14型取得一种用于化学机械平坦化白
杭州2022106072022-05原始
48光终点检测的采集方法及系发明授权无
众硅0657-31取得统
杭州一种导电型抛光头固定装置2022231252022-11实用新原始
49授权无
众硅及导电型抛光头系统4625-23型取得
杭州一种化学机械抛光的在线监2023201632023-01实用新原始
50授权无
众硅测装置7007-13型取得
杭州2022305192022-08外观设原始
51晶圆夹持器授权无
众硅1918-10计取得
杭州2022234892022-12实用新原始
52一种晶圆抛光系统授权无
众硅1659-22型取得
杭州2023102412023-03原始
53一种晶圆干燥抬升方法发明授权无
众硅8938-14取得
杭州一种晶圆有无检测的提拉结2022228542022-10实用新原始
54授权无
众硅构机械手6755-26型取得
杭州一种晶圆抛光系统、装载方2022103162022-03原始
55发明授权无
众硅法及其使用方法1527-29取得
杭州2020101572020-03原始
56一种清洗刷预清洗系统发明授权无
众硅3307-09取得
杭州2022112692022-10原始
57一种晶圆抛光系统发明授权无
众硅4450-18取得
杭州2022304092022-06外观设原始
58抛光研磨装置（150&300）授权无
众硅9308-30计取得
杭州一种涡流终点检测装置及方2022112572022-10原始
59发明授权无
众硅法4529-14取得
杭州2022221282022-08实用新原始
60一种化学机械平坦化设备授权无
众硅 694X -12 型 取得
杭州2022221012022-08实用新原始
61一种晶圆循环清洗系统授权无
众硅5365-10型取得
62杭州一种晶圆夹持装置2022220952022-08实用新原始授权无
664中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
众硅7792-10型取得
杭州2022304102022-06外观设原始
63抛光研磨装置（300β）授权无
众硅3360-30计取得
杭州2022304092022-06外观设原始
64 抛光研磨装置（200s） 授权 无
众硅6846-30计取得
一种晶圆旋转机构、晶圆旋
杭州2022107322022-06原始
65转夹持机构及晶圆清洗干燥发明授权无
众硅7358-27取得系统
杭州2022214122022-06实用新原始
66一种晶圆搬运装置授权无
众硅8871-07型取得
杭州2022305162022-08外观设原始
67供液装置授权无
众硅4982-09计取得
杭州2022305052022-08外观设原始
68清洗装置授权无
众硅5190-04计取得
杭州2022216582022-06实用新原始
69一种晶圆抛光系统授权无
众硅7824-30型取得
杭州2022207092022-03实用新原始
70一种晶圆传递装置授权无
众硅3191-29型取得
杭州2021114452021-11原始
71一种晶圆抛光系统发明授权无
众硅2396-30取得
杭州一种标定抛光头和装卸台工2022209512022-04实用新原始
72授权无
众硅作位置的装置7117-24型取得
杭州2021230942021-12实用新原始
73一种化学机械平坦化设备授权无
众硅6535-10型取得
杭州2022202322022-01实用新原始
74一种提拉式晶圆传输机构授权无
众硅6195-26型取得
杭州2022203602022-02实用新原始
75一种晶圆检测系统授权无
众硅3706-22型取得
杭州2021229712021-11实用新原始
76晶圆抛光系统授权无
众硅3411-30型取得
杭州一种动态检测装置及化学机2022101642022-02原始
77发明授权无
众硅械平坦化设备3690-23取得
杭州2021230422021-12实用新原始
78晶圆驱动机构授权无
众硅6920-06型取得
杭州2021231582021-12实用新原始
79一种站立式晶圆卡座授权无
众硅3806-15型取得
杭州2022100042022-01原始
80一种抛光垫修整装置发明授权无
众硅1307-05取得
杭州一种抛光垫表面状况在线检2022100772022-01原始
81发明授权无
众硅测方法及检测系统3979-24取得
82杭州晶圆抛光系统2021229692021-11实用新原始授权无
665中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
众硅4980-30型取得
杭州2021112182021-10原始
83一种晶圆抛光装置发明授权无
众硅2640-20取得
杭州一种用于晶圆的寻位装置、2021114722021-12原始
84发明授权无
众硅寻位方法及晶圆计速方法2319-06取得
杭州2021216962021-07实用新原始
85一种晶圆紧固装置授权无
众硅9237-23型取得
杭州用于清洗晶圆的排列式兆声2021225192021-10实用新原始
86授权无
众硅清洗装置2769-19型取得
杭州2021216962021-07实用新原始
87一种用于晶圆的紧固装置授权无
众硅9256-23型取得
杭州2021225192021-10实用新原始
88多晶圆刷洗装置授权无
众硅1535-19型取得
杭州2021216942021-07实用新原始
89晶圆紧固装置授权无
众硅0328-23型取得
杭州2021304972021-08外观设原始
90抛光装置授权无
众硅3519-03计取得
杭州一种晶圆清洗干燥方法及机2021108992021-08原始
91发明授权无
众硅构4674-06取得
杭州2021107702021-07原始
92一种多工位夹取装置发明授权无
众硅 071X -08 取得
杭州一种晶圆装载支架、晶圆装2019104402019-05原始
93发明授权无
众硅载系统及晶圆装片方法3343-24取得
杭州一种结合研磨和单晶圆清洗2019111132019-11原始
94发明授权无
众硅模组的化学机械平坦化设备0957-14取得
杭州2020114192020-12原始
95一种抛光装置发明授权无
众硅 911X -08 取得
杭州用于化学机械平坦化设备的2019113032019-12原始
96发明授权无
众硅抛光头压力控制设备及方法3010-17取得
杭州抛光头检测装置、腔室气密2021104482021-04原始
97发明授权无
众硅性和传感器有效性检测方法8565-25取得
杭 州 一种用于 CMP 清洗单元搬 202110249 2021-03 原始
98发明授权无
众硅运晶圆的机械手及方法0467-08取得
杭州2021102492021-03原始
99一种晶圆位置检测装置发明授权无
众硅0255-08取得
杭州一种晶圆传输机械手及其晶2019108422019-09原始
100发明授权无
众硅圆翻转方法7084-06取得
一种晶圆传输设备、化学机
杭州2020107202020-07原始
101械平坦化装置及晶圆传输方发明授权无
众硅4397-24取得法
102杭州一种晶圆清洗干燥装置2020102072020-03发明原始授权无
666中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利专利类取得法律他项专利名称专利号申请日号人型途径状态权利
众硅7484-23取得
杭州基于光谱的化学机械抛光在2019104402019-05原始
103发明授权无
众硅线终点检测方法3451-24取得
杭州一种化学机械抛光平坦化晶2019208322019-06实用新原始
104授权无
众硅圆传输设备6110-04型取得
杭州2019209732019-06实用新原始
105一种晶圆清洗装置授权无
众硅6837-26型取得
杭州2019202192019-02实用新原始
106内置式双重限位机构授权无
众硅8142-21型取得
注：上述发明专利权的保护期限为二十年，实用新型专利权的保护期限为十年，均自申请日起算。
（2）境外专利权
截至报告期末，杭州众硅及其子公司拥有114项已获批准的境外专利权，其中89项为发明专利、23项为外观设计专利、2项为实用新型专利，具体如下：
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利
US
杭州2021-02025-0原始
1美国12194592发明无
众硅3-221-14取得
B2一种抛光装卸
杭州11202102932019-02025-0原始
2部件模块新加坡发明无
众硅 5Q 8-28 8-12 取得
杭州2021-02023-0原始
3韩国10-2584030发明无
众硅4-199-25取得
US
杭州2019-02024-1原始
4 用于CMP工艺 美国 12103134 发明 无
众硅9-040-01取得
的晶片装载支 B2
杭州架、晶片装载11202111472019-02025-0原始
5新加坡发明无
众硅 系统和晶片安 0X 9-04 1-27 取得
杭州装方法2021-02023-1原始
6韩国10-2605197发明无
众硅9-131-20取得一种化学机械
平坦化设备和 US
杭州2019-02025-0原始
7晶圆传输方美国12251785发明无
众硅8-203-18取得
法、晶圆平坦 B2化单元
8杭州化学机械平坦韩国10-25335672021-02023-0发明原始无
667中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利
众硅化设备及晶圆4-075-12取得
杭州转移方法、晶11202103472019-02023-0原始
9 圆平坦化装置 新加坡 发明 无众硅 7T 8-20 9-19 取得
晶圆检测装置
US
杭州及使用该装置2020-02024-0原始
10美国11961749发明无
众硅的晶圆检测方8-044-16取得
B2法
杭州2021-02024-0原始
11韩国10-2709839发明无
众硅4-279-20取得
CMP 晶圆清洗
杭州11202103852019-02024-0原始
12设备、晶圆传新加坡发明无
众硅 2Y 9-26 2-08 取得送机器人及晶
US
杭州圆翻转方法2021-02024-0原始
13美国11908720发明无
众硅4-092-20取得
B2
US
杭州2020-02025-1原始
14美国12482674发明无
众硅晶圆清洗干燥9-291-25取得
B2装置
杭州2022-02024-0原始
15韩国10-2705137发明无
众硅6-209-05取得晶圆输送装
US
杭州置、化学机械2020-02025-0原始
16美国12427619发明无
众硅平坦化装置及8-069-30取得
B2晶圆输送方法
杭州2021-12025-0原始
17日本7638389发明无
众硅晶圆位置检测0-202-20取得
杭州装置2023-02025-0原始
18韩国10-2858973发明无
众硅9-089-09取得一种标定抛光
杭州头和装卸台工2022-12025-0原始
19日本7714253发明无
众硅作位置的装置0-147-18取得和方法
杭州2024-02025-0原始
20韩国10-2837898发明无
众硅2-147-21取得晶圆抛光系统
杭州2022-02025-0原始
21日本7712007发明无
众硅8-307-14取得
US
杭州2022-02023-1原始
22美国11794304发明无
众硅1-190-24取得
B2晶圆抛光装置
杭州2022-02024-0原始
23韩国10-2693838发明无
众硅2-248-06取得
24杭州新加坡10202201572022-02024-0发明原始无
668中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利
众硅 1V 2-18 8-21 取得
杭州2022-02025-0原始
25日本7728045发明无
众硅8-308-14取得晶圆抛光系统
杭州2024-02025-0原始
26韩国10-2837898发明无
众硅2-147-21取得
US
杭州2022-12024-0外观原始
27 美国 D1018612 无
众硅0-193-19设计取得
S
杭州2022-12023-1外观原始
28 韩国 DM/226149 无
众硅0-191-28设计取得
杭州抛光研磨装置2022-12022-1外观原始
29 新加坡 DM/226149 无
众硅0-190-19设计取得
杭州2022-12023-0外观原始
30日本1748952无
众硅0-197-10设计取得
杭州2022-12022-1外观原始
31 欧盟 DM/226149 无
众硅0-190-19设计取得
US
杭州2022-12024-0外观原始
32 美国 D1018613 无
众硅0-193-19设计取得
S
杭州2022-12023-1外观原始
33 韩国 DM/226151 无
众硅0-191-28设计取得
杭州抛光研磨装置2022-12022-1外观原始
34 新加坡 DM/226151 无
众硅0-190-19设计取得
杭州2022-12023-0外观原始
35日本1748953无
众硅0-197-10设计取得
杭州2022-12022-1外观原始
36 欧盟 DM/226151 无
众硅0-190-19设计取得
US
杭州2023-02024-0原始
37美国12017293发明无
众硅1-196-25取得
一种处理导电 B2
杭州型晶圆衬底的2023-02025-0原始
38 欧盟 EP 4364890 发明 无
众硅电化学机械抛3-157-02取得
杭州光及平坦化设2023-02025-0原始
39韩国10-2819458发明无
众硅备3-306-09取得
杭州2023-02025-0原始
40日本7688074发明无
众硅5-305-26取得用于清洗晶圆
杭州2022-12025-1实用原始
41的排列式兆声日本3253377无
众硅1-090-16新型取得清洗装置
杭州多晶圆刷洗装2022-12025-0原始
42日本7660959发明无
众硅置1-094-04取得
669中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利用于晶圆的寻
杭州位装置、寻位2022-12025-1原始
43日本7788191发明无
众硅方法及晶圆计1-092-10取得速方法
杭州抛光垫修整装2022-12025-1原始
44日本7773262发明无
众硅置2-301-11取得一种晶圆抛光
杭州2022-12025-1原始
45系统及晶圆传日本7773261发明无
众硅2-301-11取得输方法抛光垫表面状
杭州2024-02025-1原始
46况在线检测方韩国10-2904378发明无
众硅6-132-22取得法及检测系统晶圆抛光系
杭州2024-02025-0原始
47统、装载方法韩国10-2816529发明无
众硅7-175-29取得及其使用方法
杭州2024-02025-0外观原始
48 韩国 DM/237809 无
众硅5-232-17设计取得
杭州2024-02025-0外观原始
49加拿大231357无
众硅抛光研磨装置5-234-03设计取得
杭 州 （ECMP外观） 2024-0 2025-0 外 观 原 始
50日本1790565无
众硅5-231-27设计取得
杭州2024-02024-0外观原始
51 欧盟 DM/237809 无
众硅5-237-11设计取得
杭州2024-02025-0外观原始
52 韩国 DM/240665 无
众硅8-297-25设计取得
杭州2024-02025-0外观原始
53抛光研磨装置日本1794400无
众硅8-293-17设计取得
（TANASEFE杭州2024-02025-0外观原始
54 M T形） 日本 1799656 无
众硅8-295-19设计取得
杭州2024-02024-1外观原始
55 欧盟 DM/240665 无
众硅8-290-28设计取得包含可移动装卸模组的研磨
杭州中国台2018-12021-0原始
56 装卸构件模组 I 731281 发明 无
众硅湾1-266-21取得及其晶圆传输方法可挠性的抛光
杭州装卸部件模组2018-12021-0原始
57 台湾 I 739048 发明 无
众硅及晶圆传输的1-199-11取得方法
杭 州 CMP 制程的晶 中国台 2019-1 2020-1 原 始
58 I 713141 发明 无
众硅圆装载支架、湾1-252-11取得
670中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利晶圆装载系统及晶圆装片方法
杭州化学机械研磨中国台2018-12023-0原始
59 I 806931 发明 无
众硅设备湾1-227-01取得化学机械平坦
杭州化晶圆传输设中国台2019-12021-0原始
60 I 717119 发明 无
众硅备及其使用方湾1-221-21取得法晶圆传输机械
杭州中国台2019-12022-0原始
61 手及其晶圆翻 I 773943 发明 无
众硅湾1-258-11取得转方法
杭 州 CMP 晶圆清洗 中国台 2018-1 2020-0 原 始
62 I 695422 发明 无
众硅设备湾1-206-01取得
杭州清洗刷预清洗中国台2020-12022-0原始
63 I 757924 发明 无
众硅系统湾0-223-11取得
杭州晶圆清洗干燥中国台2020-12024-0原始
64 I 837429 发明 无
众硅装置湾0-224-01取得一种处理导电型晶圆基底的
杭州中国台2023-02024-0原始
65 电化学机械研 I 851146 发明 无
众硅湾4-148-01取得磨及平坦化设备晶圆传输设
杭州备、化学机械中国台2020-12021-0原始
66 I 734635 发明 无
众硅平坦化装置及湾0-227-21取得晶圆传输方法可隔离防护晶
杭州中国台2021-02023-1原始
67 圆的晶圆处理 I 823141 发明 无
众硅湾9-081-21取得装置
杭州中国台2021-02023-0原始
68 拋光装置 I 815179 发明 无
众硅湾9-089-11取得
杭州一种晶圆位置中国台2021-02023-0原始
69 I 794963 发明 无
众硅检测装置湾9-083-01取得
一种用于 CMP
杭州清洗单元搬运中国台2021-02022-1原始
70 I 787998 发明 无
众硅晶圆的机械手湾9-082-21取得及方法一种化学机械
杭州抛光设备及其中国台2021-02024-0原始
71 I 834990 发明 无
众硅晶圆缓存装置湾9-083-11取得和晶圆缓存方
671中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利法一种标定抛光
杭州头和装卸台工中国台2022-02023-0原始
72 I 816394 发明 无
众硅作位置的装置湾5-119-21取得和方法一种修整头旋
杭州转部件、抛光中国台2021-02023-0原始
73 I 801997 发明 无
众硅垫修整头和修湾9-085-11取得整器
杭州多工位夹取裝中国台2021-02023-0原始
74 I 816180 发明 无
众硅置湾9-089-21取得晶圆清洗干燥
杭州中国台2022-02023-0原始
75 方法及晶圆清 I 803379 发明 无
众硅湾7-015-21取得洗干燥机构
杭州中国台2022-02023-1原始
76 晶圆抛光系统 I 825934 发明 无
众硅湾8-222-11取得
杭州一种晶圆研磨中国台2021-12024-0原始
77 I 829054 发明 无
众硅装置湾2-231-11取得用于清洗晶圆
杭州中国台2022-02024-0原始
78 的排列式兆声 I 839861 发明 无
众硅湾9-264-21取得清洗装置
杭州多晶圆刷洗装中国台2022-12023-0原始
79 I 808023 发明 无
众硅置湾0-147-01取得
杭州中国台2022-12023-0原始
80 晶圆寻位方法 I 816576 发明 无
众硅湾0-149-21取得
杭州中国台2022-02023-1原始
81 晶圆抛光系统 I 818688 发明 无
众硅湾8-230-11取得
杭州中国台2022-12023-1原始
82 晶圆驱动机构 I 817770 发明 无
众硅湾0-140-01取得
杭州站立式晶圆卡中国台2022-12024-1原始
83 I 857368 发明 无
众硅座湾0-170-01取得
杭州一种抛光垫修中国台2022-12023-1原始
84 I 820968 发明 无
众硅整装置湾0-171-01取得一种晶圆抛光
杭州中国台2022-12024-0原始
85 系统及晶圆传 I 834448 发明 无
众硅湾2-233-01取得输方法一种抛光垫表
杭州面状况在线检中国台2022-12024-0原始
86 I 829393 发明 无
众硅测方法及检测湾0-171-11取得系统
87 杭 州 一种晶圆抛光 中国台 I 823623 2022-1 2023-1 发明 原 始 无
672中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利
众硅系统、其装载湾0-171-21取得方法及使用方法晶圆清洁干燥
杭州模块状态检测中国台2023-02025-0原始
88 I 874908 发明 无
众硅方法、装置及湾2-093-01取得平坦化设备一种晶圆旋转
机构、晶圆旋
杭州中国台2023-02024-0原始
89 转夹持机构及 I 838117 发明 无
众硅湾2-074-01取得晶圆清洗干燥系统化学机械平坦
杭州中国台2023-02025-0原始
90 化设备及晶圆 I 896992 发明 无
众硅湾6-299-11取得传输方法
杭州中国台2022-02023-0外观原始
91 拋光研磨裝置 D 225666 无
众硅湾9-076-01设计取得
杭州中国台2022-02023-0外观原始
92 拋光研磨裝置 D 225667 无
众硅湾9-076-01设计取得
杭州涡流终点检测中国台2023-02024-0原始
93 I 854476 发明 无
众硅装置及方法湾2-079-01取得
杭州一种晶圆抛光中国台2023-02024-0原始
94 I 838116 发明 无
众硅系统湾2-074-01取得一种处理导电型晶圆基底的
杭州中国台2023-02024-0原始
95 电化学机械研 I 851146 发明 无
众硅湾4-148-01取得磨及平坦化设备
一种用于 CMP
杭州中国台2023-12025-0原始
96 设备的电化学 I 869019 发明 无
众硅湾1-021-01取得机械研磨系统
杭州研磨垫再利用中国台2023-12025-1原始
97 I 899689 发明 无
众硅加工装置湾1-030-01取得一种导电型研
杭州磨头固定装置中国台2023-12024-1原始
98 I 866602 发明 无
众硅及导电型研磨湾1-102-11取得头系统
杭州导电吸附膜及中国台2023-02024-0原始
99 I 845382 发明 无
众硅抛光头湾7-216-11取得一种用于
杭州中国台2023-12025-0原始
100 CMP 设 备 研 I 869022 发明 无
众硅湾1-021-01取得磨垫沟槽修整
673中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
序权利国家/专利取得他项专利名称专利号申请日授权日号人地区类型方式权利的方法晶圆研磨系统
杭州中国台2024-02025-0原始
101 及晶圆处理方 I 886965 发明 无
众硅湾5-206-11取得法
杭州可调式晶圆装中国台2024-02025-0原始
102 I 896134 发明 无
众硅卸台湾5-209-01取得用于改善边缘
杭州中国台2024-02025-1原始
103 研磨均匀性的 I 900014 发明 无
众硅湾5-210-01取得研磨装置一种用于
CMP 清 洁 干
杭州中国台2024-02025-0原始
104 燥模块的检测 I 886962 发明 无
众硅湾5-176-11取得装置及检测方法一种化学机械
杭州中国台2024-02025-0原始
105 研磨及平坦化 I 891372 发明 无
众硅湾5-177-21取得系统一种电化学机
杭州中国台2024-02025-0原始
106 械研磨及平坦 I 896171 发明 无
众硅湾6-189-01取得化装置一种研磨头清
杭州中国台2024-02024-1原始
107 洗方法及清洗 I 863868 发明 无
众硅湾5-171-21取得装置
杭州中国台2024-02024-1外观原始
108 抛光研磨装置 D 234468 无
众硅湾5-220-21设计取得
杭州中国台2024-12025-0外观原始
109 抛光研磨装置 D 240377 无
众硅湾1-159-11设计取得
杭州中国台2024-12025-1外观原始
110 抛光研磨装置 D 241113 无
众硅湾1-150-21设计取得化学机械抛光
杭州中国台2023-12024-1原始
111 的在线监测装 I 862202 发明 无
众硅湾0-031-11取得置
杭州中国台2024-02025-0原始
112 晶圆研磨系统 I 892653 发明 无
众硅湾5-208-01取得晶圆抛光系
杭州2023-02025-0原始
113统、安装方法日本7736360发明无
众硅1-099-01取得及使用方法
杭州2022-12025-1实用原始
114立式晶圆盒日本3253988无
众硅2-302-04新型取得
674中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
附件二、交易对方穿透至最终持有人情况
1、宁容海川
（1）最终持有人情况
宁容海川的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1 MICHAEL XIAOXUAN YANG 是 自然人
1-2 GU HAIYANG 是 自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
宁容海川各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体权
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源益的时间
MICHAEL
1-1 XIAOXUAN 自有或自筹宁容海川 2022-08-24 货币
YANG 资金
1-2 GU HAIYANG 宁容海川 2022-08-24 自有或自筹货币
资金
2、临安众芯硅
（1）最终持有人情况
临安众芯硅的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1杭州众芯硅否-
1-1-1 GU HAIYANG 是 自然人
1-2朱琳是自然人
1-3刘李是自然人
1-4 LEE EDWARD LI CANG 是 自然人
1-5任保荣是自然人
1-6力健中是自然人
1-7 GU JINGRAN 是 自然人
1-8 YOONG NIAN CHERN 是 自然人
1-9马行成是自然人
1-10刘雪姣是自然人
675中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-11王东辉是自然人
1-12郑志鹏是自然人
1-13杨渊思是自然人
1-14周远鹏是自然人
1-15白圣荣是自然人
1-16徐辉是自然人
1-17熊加毫是自然人
1-18徐枭宇是自然人
1-19吴雨是自然人
1-20昝金利是自然人
1-21吴玲丽是自然人
1-22魏佳健是自然人
1-23陆安明是自然人
1-24丁夏楠是自然人
1-25郭亚飞是自然人
1-26马浩然是自然人
1-27申志强是自然人
1-28刘煌是自然人
1-29陈伟是自然人
1-30郎学文是自然人
1-31崔海阳是自然人
1-32周杲翔是自然人
1-33杜鹿鸣是自然人
1-34董学克是自然人
1-35蔡宁远是自然人
1-36杨怡昕是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
临安众芯硅各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
层级序号合伙人姓名/取得下一层主体名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-1自有或自筹杭州众芯硅临安众芯硅2021-01-12货币
资金
1-2朱琳临安众芯硅2021-01-12货币自有或自筹
676中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间资金
1-3刘李临安众芯硅2022-11-30自有或自筹货币
资金
1-4 LEE EDWARD LI 2021-09-29 自有或自筹CANG 临安众芯硅 货币 资金
1-5任保荣临安众芯硅2021-09-29自有或自筹货币
资金
1-6力健中临安众芯硅2025-12-05自有或自筹货币
资金
1-7 GU JINGRAN 临安众芯硅 2021-09-29 自有或自筹货币
资金
1-8 YOONG NIANCHERN 临安众芯硅 2023-11-07
自有或自筹货币资金
1-9马行成临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-10自有或自筹刘雪姣临安众芯硅2021-09-29货币
资金
1-112021-09-29自有或自筹王东辉临安众芯硅货币
资金
1-12自有或自筹郑志鹏临安众芯硅2023-11-07货币
资金
1-13杨渊思临安众芯硅2021-09-29自有或自筹货币
资金
1-14周远鹏临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-15自有或自筹白圣荣临安众芯硅2021-12-28货币
资金
1-162021-09-29自有或自筹徐辉临安众芯硅货币
资金
1-17熊加毫临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-18徐枭宇临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-19吴雨临安众芯硅2021-09-29自有或自筹货币
资金
1-20自有或自筹昝金利临安众芯硅2021-09-29货币
资金
1-21自有或自筹吴玲丽临安众芯硅2021-09-29货币
资金
1-22魏佳健临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-23陆安明临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-24自有或自筹丁夏楠临安众芯硅2023-11-07货币
资金
1-25自有或自筹郭亚飞临安众芯硅2023-11-07货币
资金
677中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-26自有或自筹马浩然临安众芯硅2023-11-07货币
资金
1-27申志强临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-28自有或自筹刘煌临安众芯硅2023-11-07货币
资金
1-29陈伟临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-302023-11-07自有或自筹郎学文临安众芯硅货币
资金
1-31自有或自筹崔海阳临安众芯硅2023-11-07货币
资金
1-32周杲翔临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-33杜鹿鸣临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-34董学克临安众芯硅2023-11-07自有或自筹货币
资金
1-352023-11-07自有或自筹蔡宁远临安众芯硅货币
资金
1-362023-11-07自有或自筹杨怡昕临安众芯硅货币
资金
3、临安众硅
（1）最终持有人情况
临安众硅的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1杭州众芯硅否-
1-1-1 GU HAIYANG 是 自然人
1-2朱琳是自然人
1-3杨振华是自然人
1-4严加建是自然人
1-5林冠良是自然人
1-6 GU JINGRAN 是 自然人
1-7杭州众瞻否-
间接持有标的公司股权
1-7-1杭州众芯硅是
比例低于0.01%
1-7-2茅学志是自然人
1-7-3丘富顺是自然人
678中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-7-4徐辉是自然人
1-7-5马浩然是自然人
1-7-6郭亚飞是自然人
1-7-7徐枭宇是自然人
1-7-8熊加毫是自然人
1-7-9马行成是自然人
1-7-10周远鹏是自然人
1-7-11李承龙是自然人
1-7-12王政国是自然人
1-7-13杜鹿鸣是自然人
1-7-14杨怡昕是自然人
1-7-15杨哲是自然人
1-7-16刘沁是自然人
1-7-17杨立是自然人
1-7-18昝金利是自然人
1-7-19高江是自然人
1-7-20胡银祥是自然人
1-7-21魏佳健是自然人
1-7-22潘仁杰是自然人
1-7-23郑晟良是自然人
1-7-24陆跃恒是自然人
1-7-25傅棽是自然人
1-7-26郎学文是自然人
1-7-27崔海阳是自然人
1-7-28高卫杰是自然人
1-7-29蔡宁远是自然人
1-7-30周杲翔是自然人
1-8杭州众臻否-
1-8-1王涛是自然人
1-8-2祖政是自然人
1-8-3昝金利是自然人
1-8-4潘仁杰是自然人
1-8-5陈媛是自然人
679中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-8-6杜鹿鸣是自然人
1-8-7朱迪是自然人
1-8-8赵亚伟是自然人
1-8-9管玉岱是自然人
1-8-10王杰是自然人
1-8-11王彬辉是自然人
1-8-12胡高勇是自然人
1-8-13马兵是自然人
1-8-14李昌辉是自然人
1-8-15舒燕翔是自然人
1-8-16荣井飞是自然人
1-8-17郑东州是自然人
1-8-18黄明奎是自然人
1-8-19徐宁是自然人
1-8-20吴金沙是自然人
1-8-21王红磊是自然人
1-8-22任群芳是自然人
1-8-23李克是自然人
1-8-24李方骑是自然人
1-8-25蔡梦亚是自然人
1-8-26李基强是自然人
1-8-27戴伶佳是自然人
1-8-28郑张苗是自然人
1-8-29朱自强是自然人
1-8-30林静是自然人
1-8-31张一明是自然人
1-8-32刘李是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
临安众硅各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间自有或自筹
1-1杭州众芯硅临安众硅2021-12-30货币
资金
680中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间自有或自筹
1-2朱琳临安众硅2021-11-02货币
资金自有或自筹
1-3杨振华临安众硅2023-01-31货币
资金自有或自筹
1-4严加建临安众硅2025-12-05货币
资金自有或自筹
1-5林冠良临安众硅2025-12-05货币
资金自有或自筹
1-6 GU JINGRAN 临安众硅 2021-11-02 货币
资金自有或自筹
1-7杭州众瞻临安众硅2025-12-05货币
资金自有或自筹
1-7-1杭州众芯硅杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-2茅学志杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-3丘富顺杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-4徐辉杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-5马浩然杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-6郭亚飞杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-7徐枭宇杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-8熊加毫杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-9马行成杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-10周远鹏杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-11李承龙杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-12王政国杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-13杜鹿鸣杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-14杨怡昕杭州众瞻2025-11-25货币
资金
1-7-15杨哲杭州众瞻2025-11-25货币自有或自筹
681中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间资金自有或自筹
1-7-16刘沁杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-17杨立杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-18昝金利杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-19高江杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-20胡银祥杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-21魏佳健杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-22潘仁杰杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-23郑晟良杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-24陆跃恒杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-25傅棽杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-26郎学文杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-27崔海阳杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-28高卫杰杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-29蔡宁远杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-7-30周杲翔杭州众瞻2025-11-25货币
资金自有或自筹
1-8杭州众臻临安众硅2025-12-05货币
资金自有或自筹
1-8-1王涛杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-2祖政杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-3昝金利杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-4潘仁杰杭州众臻2025-11-21货币
资金
682中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间自有或自筹
1-8-5陈媛杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-6杜鹿鸣杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-7朱迪杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-8赵亚伟杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-9管玉岱杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-10王杰杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-11王彬辉杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-12胡高勇杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-13马兵杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-14李昌辉杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-15舒燕翔杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-16荣井飞杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-17郑东州杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-18黄明奎杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-19徐宁杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-20吴金沙杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-21王红磊杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-22任群芳杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-23李克杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-24李方骑杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-25蔡梦亚杭州众臻2025-11-21货币
资金
683中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间自有或自筹
1-8-26李基强杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-27戴伶佳杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-28郑张苗杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-29朱自强杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-30林静杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-31张一明杭州众臻2025-11-21货币
资金自有或自筹
1-8-32刘李杭州众臻2025-11-21货币
资金
4、杭州芯匠
（1）最终持有人情况
杭州芯匠的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1朱琳是自然人
1-2冯祎是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
杭州芯匠各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主体权层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源益的时间
1-1自有或自筹朱琳杭州芯匠2022-04-20货币
资金
1-2冯祎杭州芯匠2022-12-31自有或自筹货币
资金
5、杭州众诚芯
（1）最终持有人情况
杭州众诚芯的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1 GU HAIYANG 是 自然人
684中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-2朱琳是自然人
1-3刘李是自然人
1-4 ZHU SHAN 是 自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
杭州众诚芯各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-1 GU HAIYANG 杭州众诚芯 2019-05-13 自有或自筹货币
资金
1-2朱琳杭州众诚芯2025-12-04自有或自筹货币
资金
1-3刘李杭州众诚芯2025-12-04自有或自筹货币
资金
1-4 ZHU SHAN 自有或自筹杭州众诚芯 2019-05-13 货币
资金
6、台州金石投资
（1）最终持有人情况
台州金石投资的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1浙江吉利产投控股有限公司否-
1-1-1浙江吉利控股集团有限公司否-
1-1-1-1李书福是自然人
1-1-1-2宁波翊马企业管理合伙企业（有限合伙）否-
1-1-1-2-1李书福是自然人
1-1-1-2-2李星星是自然人
间接持有标的公
1-1-1-2-3宁波彤裕企业管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
1-1-1-2-4李妮是自然人
1-1-1-3李星星是自然人
1-2浙江省产业基金有限公司否-
1-2-1浙江省创新投资集团有限公司是国有控股
1-3温岭市财金股权投资有限公司否-
1-3-1温岭市国有资产经营有限公司否-
685中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-3-1-1温岭市国有资产投资集团有限公司否-
1-3-1-1-1浙江岭发控股有限公司是国有控股
1-4中信金石投资有限公司否-
1-4-1中信证券股份有限公司是上市公司
1-5台州市临港产业带母基金有限公司否-
1-5-1台州市金融投资集团有限公司否-
1-5-1-1台州市科创投资集团有限公司否-
1-5-1-1-1台州市国有资本运营集团有限公司是国有控股
1-6浙江省创新资本投资有限公司否-
1-6-1浙江省创新投资集团有限公司是国有控股
1-7金石润泽（淄博）投资咨询合伙企业（有否-限合伙）间接持有标的公
1-7-1金石润泽（淄博）管理咨询企业有限公司是司股权比例低于
0.01%
1-7-2赵瑾是自然人
1-7-3赵凯是自然人
1-7-4张金良是自然人
1-7-5李振明是自然人
1-7-6赵宇新是自然人
1-7-7马威是自然人
1-7-8樊飞是自然人
1-7-9苗嘉是自然人
1-7-10王婷是自然人
1-7-11梁宗保是自然人
1-7-12颜世航是自然人
1-7-13靳腾飞是自然人
1-7-14孙隽曦是自然人
1-7-15陈英是自然人
1-7-16陈福是自然人
1-7-17陈平进是自然人
1-7-18冯书是自然人
1-7-19王新岳是自然人
1-7-20马双驰是自然人
686中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-7-21贾文杰是自然人
1-7-22夏耀峰是自然人
1-7-23丁耀武是自然人
间接持有标的公
1-8浙江省创新投资私募基金管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
台州金石投资各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-1浙江吉利产投控台州金石投资2024-07-10自有或自筹货币
股有限公司资金
1-2浙江省产业基金台州金石投资2024-07-10自有或自筹货币
有限公司资金
1-3温岭市财金股权2024-07-10自有或自筹台州金石投资货币
投资有限公司资金中信金石投资有自有或自筹
1-4台州金石投资2024-07-10货币
限公司资金台州市临港产业
1-5自有或自筹带母基金有限公台州金石投资2024-07-10货币
资金司
1-6浙江省创新资本台州金石投资2024-07-10自有或自筹货币
投资有限公司资金
金石润泽（淄博）
1-7投资咨询合伙企台州金石投资2024-07-10自有或自筹货币
资金业（有限合伙）
金石润泽（淄博）金石润泽（淄博）
1-7-1自有或自筹管理咨询企业有投资咨询合伙企业2021-07-12货币
资金
限公司（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-2赵瑾投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-3自有或自筹赵凯投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-4张金良投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-5自有或自筹李振明投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-6自有或自筹赵宇新投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
687中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
金石润泽（淄博）自有或自筹
1-7-7马威投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-8自有或自筹樊飞投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-9苗嘉投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-10自有或自筹王婷投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-11梁宗保投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-12颜世航投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-13自有或自筹靳腾飞投资咨询合伙企业2021-07-12货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-14自有或自筹孙隽曦投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-15陈英投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-16自有或自筹陈福投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-17陈平进投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-18自有或自筹冯书投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-19自有或自筹王新岳投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
2021-08-16自有或自筹1-7-20马双驰投资咨询合伙企业货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-21贾文杰投资咨询合伙企业2021-08-16自有或自筹货币
资金（有限合伙）
金石润泽（淄博）
1-7-22自有或自筹夏耀峰投资咨询合伙企业2021-08-16货币
资金（有限合伙）
688中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号合伙人姓名/取得下一层主体名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
金石润泽（淄博）
1-7-23丁耀武投资咨询合伙企业2021-08-16
自有或自筹货币资金（有限合伙）浙江省创新投资
1-1-8私募基金管理有台州金石投资2024-07-10自有或自筹货币
资金限公司
7、扬州朗智
（1）最终持有人情况
扬州朗智的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1中国信达资产管理股份有限公司是上市公司
1-2间接持有标的公司股上海自贸区股权投资基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
扬州朗智各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
1-1中国信达资产管理股自有或自筹扬州朗智2025-07-29货币
份有限公司资金
1-2上海自贸区股权投资自有或自筹扬州朗智2025-07-29货币
基金管理有限公司资金
8、国孚领航
（1）最终持有人情况
国孚领航的最终持有人相关情况如下：
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-1上海国有资本投资母基金有限公司否-
1-1-1上海国有资本投资有限公司是国有控股
1-1-2上海汽车工业（集团）有限公司是国有控股
1-1-3上海临港新片区私募基金管理有限公司否-
1-1-3-1上海临港新片区投资控股（集团）有限公司否-
1-1-3-1-1中国（上海）自由贸易试验区临港新片区管理委员会是事业单位
财务结算和国有资产事务中心
689中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人间接持有标的公
1-1-3-1-2上海港城开发（集团）有限公司是司股权比例低于
0.01%
1-1-4上海国际港务（集团）股份有限公司是上市公司
1-1-5上海上实（集团）有限公司是国有控股
1-1-6上海北中环科创企业发展（集团）有限公司是国有控股
1-1-7上海奉贤投资（集团）有限公司是国有控股
1-1-8上海申能诚毅股权投资有限公司否-
1-1-8-1申能（集团）有限公司是国有控股
1-1-9中国太平洋保险（集团）股份有限公司是上市公司
1-1-10中国远洋海运集团有限公司是国有控股
1-1-11国泰君安证裕投资有限公司否-
1-1-11-1国泰海通证券股份有限公司是上市公司
1-1-12东方国际（集团）有限公司否-
1-1-12-1上海市国资委是党政机构
1-1-12-2上海国盛（集团）有限公司是国有控股
1-1-12-3上海临港经济发展（集团）有限公司是国有控股
1-1-13东浩兰生（集团）有限公司是国有控股
1-1-14上海建工集团股份有限公司是上市公司
间接持有标的公
1-1-15上海孚腾私募基金管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
间接持有标的公
1-2上海观瑞孚淼企业管理服务合伙企业（有限合伙）是司股权比例低于
0.01%
间接持有标的公
1-3上海孚腾私募基金管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
国孚领航各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间上海国有资本投自有或自筹
1-1资母基金有限公国孚领航2023-08-10货币
资金司上海观瑞孚淼企自有或自筹
1-2业管理服务合伙国孚领航2023-08-10货币
资金企业（有限合伙）
690中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间上海观瑞孚淼企业上海观睿信息科自有或自筹
1-2-1管理服务合伙企业2023-04-03货币
技咨询有限公司资金（有限合伙）上海观瑞孚淼企业自有或自筹
1-2-2马国昕管理服务合伙企业2023-04-03货币
资金（有限合伙）上海孚腾私募基自有或自筹
1-3国孚领航2023-08-10货币
金管理有限公司资金
9、杭州富浙
（1）最终持有人情况
杭州富浙的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1浙江省产投集团有限公司否-
1-1-1浙江省国有资本运营有限公司是国有控股
1-1-2浙江省能源集团有限公司否-
浙江省人民政府国有资产监督管
1-1-2-1是党政机构
理委员会
1-1-2-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-3浙江省国际贸易集团有限公司否-
浙江省人民政府国有资产监督管
1-1-3-1是党政机构
理委员会
1-1-3-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-4杭州钢铁集团有限公司否-
浙江省人民政府国有资产监督管
1-1-4-1是党政机构
理委员会
1-1-4-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-5浙江省交通投资集团有限公司否-
浙江省人民政府国有资产监督管
1-1-5-1是党政机构
理委员会
1-1-5-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
浙江省海港投资运营集团有限公
1-1-6是国有控股
司杭州富浙道正股权投资合伙企业
1-2否-（有限合伙）
1-2-1浙江省产投集团有限公司否重复，详见1-1
1-2-2杭州富浙博济企业管理合伙企业否-
691中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质（有限合伙）
1-2-2-1厉振松是自然人
1-2-2-2周宏是自然人
1-2-2-3张焱是自然人
1-2-2-4沈梦怡是自然人
1-2-2-5鲁向明是自然人
1-2-2-6任军峰是自然人
1-2-2-7倪承志是自然人
1-2-2-8吴斌是自然人
1-2-2-9戴琦是自然人
1-2-2-10王峻玮是自然人
1-2-2-11程树东是自然人
1-2-2-12章意晨是自然人
1-2-2-13赵柯淇是自然人
1-2-2-14赵珏是自然人
1-2-2-15黄洪波是自然人
间接持有标的公
1-2-3浙江富浙私募基金管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
间接持有标的公
1-3浙江富浙私募基金管理有限公司是司股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
杭州富浙各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体主体权益的资金来源式时间自有或自
1-1浙江省产投集团杭州富浙2022-12-28货币
有限公司筹资金杭州富浙道正股自有或自
1-2权投资合伙企业杭州富浙2022-12-28货币
筹资金（有限合伙）
浙江省产投集团杭州富浙道正股权投资自有或自1-2-12020-04-29货币
有限公司合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企
1-2-2杭州富浙道正股权投资
自有或自
业管理合伙企业2022-03-16货币
合伙企业（有限合伙）筹资金（有限合伙）
692中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体主体权益的资金来源式时间自有或自
1-2-2-1杭州富浙博济企业管理厉振松2022-03-01货币
合伙企业（有限合伙）筹资金自有或自
1-2-2-2杭州富浙博济企业管理周宏2022-09-13货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-3张焱2022-07-18货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-4沈梦怡2022-03-01货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-5鲁向明2022-03-01货币
合伙企业（有限合伙）筹资金自有或自
1-2-2-6杭州富浙博济企业管理任军峰2022-03-01货币
合伙企业（有限合伙）筹资金
杭州富浙博济企业管理自有或自1-2-2-7倪承志2025-08-27货币
合伙企业（有限合伙）筹资金
1-2-2-8杭州富浙博济企业管理
自有或自
吴斌2022-03-01货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-9戴琦2025-08-27货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-10王峻玮2023-10-13货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-11程树东2024-09-02货币
合伙企业（有限合伙）筹资金
1-2-2-12杭州富浙博济企业管理
自有或自
章意晨2025-08-27货币
合伙企业（有限合伙）筹资金
1-2-2-13杭州富浙博济企业管理
自有或自
赵柯淇2025-08-27货币
合伙企业（有限合伙）筹资金
1-2-2-14杭州富浙博济企业管理
自有或自
赵珏2023-10-13货币
合伙企业（有限合伙）筹资金杭州富浙博济企业管理自有或自
1-2-2-15黄洪波2024-06-20货币
合伙企业（有限合伙）筹资金浙江富浙私募基杭州富浙道正股权投资自有或自
1-2-32020-04-29货币
金管理有限公司合伙企业（有限合伙）筹资金浙江富浙私募基自有或自
1-3杭州富浙2022-12-28货币
金管理有限公司筹资金
10、浙江富浙
（1）最终持有人情况
浙江富浙的最终持有人相关情况如下：
693中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1浙江省产投集团有限公司否-
1-1-1浙江省国有资本运营有限公司是国有控股
1-1-2浙江省能源集团有限公司否-
1-1-2-1浙江省人民政府国有资产监督管理委员是党政机构
会
1-1-2-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-3浙江省国际贸易集团有限公司否-
1-1-3-1浙江省人民政府国有资产监督管理委员是党政机构
会
1-1-3-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-4杭州钢铁集团有限公司否-
1-1-4-1浙江省人民政府国有资产监督管理委员是党政机构
会
1-1-4-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-5浙江省交通投资集团有限公司否-
1-1-5-1浙江省人民政府国有资产监督管理委员是党政机构
会
1-1-5-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-6浙江省海港投资运营集团有限公司是国有控股1-2建信领航战略性新兴产业发展基金（有限否-合伙）
1-2-1深圳市引导基金投资有限公司是国有控股
1-2-2中电科投资控股有限公司否-
1-2-2-1中国电子科技集团有限公司是国有控股
1-2-3建信人寿保险股份有限公司否-
1-2-3-1中国建设银行股份有限公司是上市公司
1-2-3-2凯基人寿保险股份有限公司否-
1-2-3-2-1 KGI Financial Holding 是 上市公司
1-2-3-3全国社会保障基金理事会是事业单位
间接持有标的公司
1-2-3-4上海锦江国际投资管理有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-3-5上海华旭投资有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-3-6中国建银投资有限责任公司是股权比例低于
0.01%
1-2-4中邮人寿保险股份有限公司否-
694中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-2-4-1中国邮政集团有限公司是国有控股
1-2-4-2友邦保险有限公司否-
1-2-4-2-1友邦保险控股有限公司是上市公司
间接持有标的公司
1-2-4-3北京中邮资产管理有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-4-4中国集邮有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-4-5邮政科学研究规划院有限公司是股权比例低于
0.01%
1-2-5中国人寿保险股份有限公司是上市公司
1-2-6人保资本保险资产管理有限公司否-
1-2-6-1中国人民保险集团股份有限公司是上市公司
1-2-7上海建腾企业管理合伙企业（有限合伙）否-
1-2-7-1建银鼎腾（上海）投资管理有限公司否-
1-2-7-1-1建银国际创新投资有限公司否-
1-2-7-1-1-1建银国际（控股）有限公司否-
1-2-7-1-1-1-1中国建设银行股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司
1-2-7-2上海建银国际投资咨询有限公司是股权比例低于
0.01%
1-2-8中国中化股份有限公司否-
1-2-8-1中国中化集团有限公司否-
1-2-8-1-1中国中化控股有限责任公司是国有控股
间接持有标的公司
1-2-8-2中化投资发展有限公司否股权比例低于
0.01%
1-2-9深圳市福田引导基金投资有限公司否-
1-2-9-1深圳市福田资本运营集团有限公司是国有控股
1-2-10中国华能集团有限公司是国有控股
1-2-11苏州国际发展集团有限公司是国有控股
1-2-12苏州工业园区经济发展有限公司是国有控股
1-2-13厦门金圆投资集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司
1-2-14大家人寿保险股份有限公司是股权比例低于
0.01%
1-2-15深圳华大基因科技有限公司是间接持有标的公司
695中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-16厦门市思明区产业投资有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-17建信股权投资管理有限责任公司是股权比例低于
0.01%
1-3丽水市高质量绿色发展产业基金有限公否-
司
1-3-1丽水市金融投资控股有限责任公司否-
1-3-1-1丽水市丽鑫控股集团有限公司否-
1-3-1-1-1丽水市城市发展控股集团有限公司是国有控股
1-3-2丽水市国有资本运营有限公司是国有控股
1-4丽水市绿色产业发展基金有限公司是国有控股
1-5松阳县国有资本投资运营集团有限公司是国有控股1-6丽水市富处股权投资合伙企业（有限合否-伙）
1-6-1丽水市丽投控股有限公司否-
1-6-1-1丽水市国有资本运营有限公司是国有控股
间接持有标的公司
1-6-2丽水市丽富股权投资有限公司是股权比例低于
0.01%
1-7浙江浙盐控股有限公司否-
1-7-1浙江省盐业集团有限公司否-
1-7-1-1浙江省国有资本运营有限公司是国有控股
1-7-1-2浙江省财开集团有限公司是国有控股1-8杭州富浙善能企业管理合伙企业（有限合否-伙）间接持有标的公司
1-8-1浙江富浙私募基金管理有限公司是股权比例低于
0.01%
1-8-2任军峰是自然人
1-8-3陈建树是自然人
1-8-4杨文是自然人
1-8-5邹俊伟是自然人
1-8-6李楠是自然人
1-8-7严思晗是自然人
1-8-8徐寅楠是自然人
696中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-8-9胡晓鹏是自然人
1-8-10安政是自然人
1-8-11曹益盟是自然人
1-8-12杨毅是自然人
1-8-13丁珂楠是自然人
1-8-14陈璐凡是自然人
1-8-15赵志银是自然人
1-8-16王开婕是自然人
1-8-17陈洁琼是自然人
1-8-18楼家岳是自然人
1-9浙江富浙私募基金管理有限公司否-
1-9-1浙江省国有资本运营有限公司是国有控股
1-9-2浙江省产投集团有限公司否重复，详见1-1
（2）各层合伙人取得权益情况
浙江富浙各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间浙江省产投集团有自有或自
1-1浙江富浙2022-12-28货币
限公司筹资金建信领航战略性新自有或自1-2兴产业发展基金（有浙江富浙2022-12-28货币筹资金限合伙）建信领航战略性
1-2-1深圳市引导基金投
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币资有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性自有或自
1-2-2中电科投资控股有新兴产业发展基2023-04-24货币
限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-3建信人寿保险股份
自有或自
新兴产业发展基2019-03-26货币有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
中邮人寿保险股份自有或自1-2-4新兴产业发展基2020-09-09货币有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-5中国人寿保险股份
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币有限公司筹资金金（有限合伙）
1-2-6人保资本保险资产建信领航战略性
自有或自
2020-09-09货币
管理有限公司新兴产业发展基筹资金
697中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间金（有限合伙）上海建腾企业管理建信领航战略性自有或自1-2-7合伙企业（有限合新兴产业发展基2019-03-26货币筹资金
伙）金（有限合伙）上海建腾企业管
1-2-7-1建银鼎腾（上海）投
自有或自理合伙企业（有限2017-10-27货币资管理有限公司筹资金
合伙）上海建腾企业管自有或自1-2-7-2上海建银国际投资理合伙企业（有限2017-10-27货币咨询有限公司筹资金
合伙）建信领航战略性
1-2-8中国中化股份有限
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-9深圳市福田引导基
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币金投资有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
中国华能集团有限自有或自1-2-10新兴产业发展基2019-03-26货币公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-11苏州国际发展集团
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-12苏州工业园区经济
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币发展有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-13厦门金圆投资集团
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-14大家人寿保险股份
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性自有或自
1-2-15深圳华大基因科技新兴产业发展基2020-09-09货币
有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性
1-2-16厦门市思明区产业
自有或自
新兴产业发展基2020-09-09货币投资有限公司筹资金金（有限合伙）建信领航战略性建信股权投资管理自有或自
1-2-17新兴产业发展基2019-03-26货币
有限责任公司筹资金金（有限合伙）丽水市高质量绿色自有或自
1-3发展产业基金有限浙江富浙2022-12-28货币
筹资金公司丽水市绿色产业发自有或自
1-4浙江富浙2022-12-28货币
展基金有限公司筹资金松阳县国有资本投自有或自
1-5浙江富浙2022-12-28货币
资运营集团有限公筹资金
698中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间司丽水市富处股权投自有或自1-6资合伙企业（有限合浙江富浙2022-12-28货币筹资金
伙）丽水市富处股权
1-6-1丽水市丽投控股有
自有或自投资合伙企业（有2025-08-14货币限公司筹资金限合伙）丽水市富处股权
1-6-2丽水市丽富股权投
自有或自投资合伙企业（有2021-11-08货币资有限公司筹资金限合伙）浙江浙盐控股有限自有或自
1-7浙江富浙2022-12-28货币
公司筹资金杭州富浙善能企业自有或自1-8管理合伙企业（有限浙江富浙2022-12-28货币筹资金
合伙）杭州富浙善能企
1-8-1浙江富浙私募基金
自有或自
业管理合伙企业2025-08-26货币管理有限公司筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-2任军峰业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-3陈建树业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-4杨文业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-5邹俊伟业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-6李楠业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-7严思晗业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-8徐寅楠业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-9胡晓鹏业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-10安政业管理合伙企业2022-12-21货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-11曹益盟2025-08-26货币
业管理合伙企业筹资金
699中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-12杨毅业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-13丁珂楠业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-14陈璐凡业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-15赵志银业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-16王开婕业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-17陈洁琼业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）杭州富浙善能企自有或自
1-8-18楼家岳业管理合伙企业2025-08-26货币
筹资金（有限合伙）
1-9浙江富浙私募基金
自有或自
浙江富浙2022-12-28货币管理有限公司筹资金
11、深圳达晨
（1）最终持有人情况
深圳达晨的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
太保长航股权投资基金（武汉）合
1-1否-
伙企业（有限合伙）间接持有标的公司股
1-1-1太保私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-2中国太平洋人寿保险股份有限公司否-
中国太平洋保险（集团）股份有限
1-1-2-1是上市公司
公司间接持有标的公司股
1-1-2-2申能（集团）有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-2-3上海国有资产经营有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-2-4上海海烟投资管理有限公司是间接持有标的公司股
700中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-2-5云南合和（集团）股份有限公司是
权比例低于0.01%上海鋆航企业管理咨询合伙企业间接持有标的公司股
1-1-3是（有限合伙）权比例低于0.01%
1-2友邦人寿保险有限公司否-
1-2-1友邦保险有限公司否-
1-2-1-1友邦保險控股有限公司是上市公司
常德市达晨创程私募股权投资企业
1-3否-（有限合伙）
1-3-1湖南财鑫资本管理有限公司否-
1-3-1-1湖南财鑫投资控股集团有限公司否-
1-3-1-1-1常德市财政局是党政机构
间接持有标的公司股
1-3-1-1-2常德市天智投资发展有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-3-1-1-3常德市经济建设投资集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-3-1-1-4常德市交通建设投资集团有限公司是
权比例低于0.01%常德市文化旅游投资开发集团有限间接持有标的公司股
1-3-1-1-5是
公司权比例低于0.01%
1-3-2常德市城市发展集团有限公司是国有控股
1-3-3张日富是自然人
1-3-4浙江金昌启亚控股有限公司否-
1-3-4-1潘亚敏是自然人
1-3-4-2徐小珍是自然人
1-3-5厦门市联谊吉源环保工程有限公司否-
间接持有标的公司股
1-3-5-1厦门盈仕投资有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-3-5-2厦门市市政经济发展有限公司是
权比例低于0.01%
1-3-5-3吴荔青是自然人
1-3-5-4杨建雄是自然人
1-3-6万柳军是自然人
间接持有标的公司股
1-3-7湖北世纪英才文化发展有限公司是
权比例低于0.01%
1-3-8喻胜江是自然人
701中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-3-9姚彦廷是自然人
间接持有标的公司股
1-3-10青岛卓越启航商贸有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-3-11深圳市骏丰模具有限公司是
权比例低于0.01%杭州岚鑫企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-3-12是
合伙）权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-3-13福建省思存志科技有限责任公司是
权比例低于0.01%深圳市达晨财智创业投资管理有限间接持有标的公司股
1-3-14是
公司权比例低于0.01%
1-3-15万阳东是自然人
1-3-16叶军是自然人
1-3-17李侃是自然人
1-3-18邵亚丽是自然人
1-3-19陈延良是自然人
1-3-20陈新是自然人
1-4成都高新策源投资集团有限公司否-
1-4-1成都高新投资集团有限公司是国有控股江西省现代产业引导基金（有限合
1-5否-
伙）江西省国有资本运营控股集团有限
1-5-1否-
公司
1-5-1-1江西省国有资产监督管理委员会是党政机构
1-5-1-2江西省行政事业资产集团有限公司否-
1-5-1-2-1江西省财政投资集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股
1-5-2江西国控私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%湖南省湘江产业投资基金合伙企业
1-6否-（有限合伙）
1-6-1湖南钢铁集团有限公司否-
湖南省人民政府国有资产监督管理
1-6-1-1是党政机构
委员会间接持有标的公司股
1-6-1-2湖南兴湘投资控股集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-6-1-3湖南轨道交通控股集团有限公司是
权比例低于0.01%
1-6-1-4湖南省国有投资经营有限公司是间接持有标的公司股
702中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-6-1-5湖南高新创业投资集团有限公司是
权比例低于0.01%
1-6-2中联重科股份有限公司是上市公司
1-6-3湖南能源集团有限公司否-
湖南省人民政府国有资产监督管理
1-6-3-1是党政机构
委员会间接持有标的公司股
1-6-3-2湖南兴湘投资控股集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-6-3-3湖南省国有投资经营有限公司是
权比例低于0.01%
1-6-4湖南财信金融控股集团有限公司是国有控股
1-6-5湖南兴湘投资控股集团有限公司否-
湖南省人民政府国有资产监督管理
1-6-5-1是党政机构
委员会间接持有标的公司股
1-6-5-2湖南省国有投资经营有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-6-6湖南省湘江私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-7招商财富资产管理有限公司否-招商基金管理有限公司（代表“招
1-7-1商财富-达晨创程一号集合资产管理否-计划”）
1-7-1-1窦凌云是自然人
1-7-1-2卓静华是自然人
1-7-1-3李玉枝是自然人
1-7-1-4郭艳美是自然人
1-7-1-5龚元锋是自然人
1-7-1-6杨阳是自然人
1-7-1-7陈银燕是自然人
1-7-1-8涂张应是自然人
1-7-1-9任平是自然人
1-7-1-10周振惠是自然人
1-7-1-11杨爱宁是自然人
1-7-1-12王兵是自然人
1-7-1-13丰伟是自然人
1-7-1-14谭政是自然人
703中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-7-1-15张辉是自然人
1-7-1-16张正林是自然人
1-7-1-17刘燊是自然人
1-7-1-18汪小丽是自然人
1-7-1-19陈德文是自然人
1-7-1-20李琳是自然人
1-7-1-21彭威是自然人
1-7-1-22张振湖是自然人
1-7-1-23齐雪梅是自然人
1-7-1-24李艳是自然人
1-7-1-25戴辉是自然人
1-7-1-26张华是自然人
1-7-1-27黄艳是自然人
1-7-1-28左慧是自然人
1-7-1-29武素梅是自然人
1-7-1-30方少茹是自然人
1-7-1-31王潇文是自然人
1-7-1-32刘勇超是自然人
1-7-1-33穆乐民是自然人
1-7-1-34朱义成是自然人
1-7-1-35林丽美是自然人
1-7-1-36黄朝楷是自然人
1-7-1-37梅六妹是自然人
1-7-1-38张雅各是自然人
1-7-1-39韩德民是自然人
1-7-1-40宋洪涛是自然人
1-7-1-41申小玲是自然人
1-7-1-42王茂华是自然人
1-7-1-43卢赣平是自然人
1-8中美联泰大都会人寿保险有限公司否-
1-8-1上海联和投资有限公司是国有控股
1-8-2美国大都会人寿保险公司否-
1-8-2-1 MetLife Inc. 是 上市公司
704中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质江西省国有资本运营控股集团有限
1-9否重复，详见1-5-1
公司东莞市产投发展母基金合伙企业
1-10否-（有限合伙）
1-10-1东莞市投资控股集团有限公司是国有控股
1-10-2东莞市东财投资控股有限公司是国有控股
东莞金控股权投资基金管理有限公间接持有标的公司股
1-10-3是
司权比例低于0.01%渝深（重庆）科技创新私募股权投
1-11否-
资基金合伙企业（有限合伙）
1-11-1重庆渝富控股集团有限公司是国有控股
1-11-2重庆绅鹏实业开发有限公司否-
重庆铜梁高新技术产业发展集团有
1-11-2-1是国有控股
限公司重庆市铜梁区金龙城市建设发展间接持有标的公司股
1-11-2-2是（集团）有限公司权比例低于0.01%重庆市铜梁区龙廷城市开发建设有间接持有标的公司股
1-11-2-3是
限公司权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-11-2-4重庆玄天湖文化旅游开发有限公司是
权比例低于0.01%
1-11-3重庆市水利投资（集团）有限公司否-
1-11-3-1重庆水务环境控股集团有限公司是国有控股
1-11-3-1-1重庆渝富控股集团有限公司是国有控股
1-11-3-1-2重庆市国有资产监督管理委员会是党政机构
1-11-4重庆市地产集团有限公司是国有控股
1-11-5深圳市创新投资集团有限公司否-
深圳市人民政府国有资产监督管理
1-11-5-1是党政机构
委员会间接持有标的公司股
1-11-5-2深圳市星河房地产开发有限公司是
权比例低于0.01%
1-11-5-3深圳市资本运营集团有限公司是国有控股
上海大众公用事业（集团）股份有
1-11-5-4是上市公司
限公司
1-11-5-5深圳能源集团股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司股
1-11-5-6七匹狼控股集团股份有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-11-5-7深圳市立业集团有限公司是
权比例低于0.01%
705中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-11-5-8广东电力发展股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司股
1-11-5-9深圳市亿鑫投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-11-5-10深圳市福田投资控股有限公司是国有控股
1-11-5-11深圳港集团有限公司是国有控股
1-11-5-12广深铁路股份有限公司是上市公司
1-11-5-13中兴通讯股份有限公司是上市公司
渝深创富私募股权投资基金管理有间接持有标的公司股
1-11-6是
限公司权比例低于0.01%江西中文传媒蓝海国际投资有限公
1-12否-
司中文天地出版传媒集团股份有限公
1-12-1是上市公司
司
1-13湖南广播影视集团有限公司是国有控股
1-14湖南盛力投资有限责任公司否-
1-14-1湖南出版投资控股集团有限公司是国有控股
1-15湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
1-16上海建工集团投资有限公司否-
1-16-1上海建工集团股份有限公司是上市公司
1-17深圳开源证券投资有限公司否-
1-17-1开源证券股份有限公司否-
1-17-1-1陕西煤业化工集团有限责任公司是国有控股
间接持有标的公司股
1-17-1-2广州市瑞源投资有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-17-1-3陕西财金投资管理有限责任公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-17-1-4长安汇通投资管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-17-1-5西安未央城市建设集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-17-1-6广东顺德控股集团有限公司是
权比例低于0.01%佛山市顺德区诚顺资产管理有限公间接持有标的公司股
1-17-1-7是
司权比例低于0.01%西安市碑林城市开发建设投资有限间接持有标的公司股
1-17-1-8是
责任公司权比例低于0.01%
西安曲江文化金融控股（集团）有间接持有标的公司股
1-17-1-9是
限公司权比例低于0.01%
706中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质广东德美精细化工集团股份有限公间接持有标的公司股
1-17-1-10是
司权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-17-1-11陕西金融资产管理股份有限公司是
权比例低于0.01%西安高新技术产业风险投资有限责间接持有标的公司股
1-17-1-12是
任公司权比例低于0.01%
1-18深圳市达晨创业投资有限公司否-
1-18-1湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
上海浦东引领区海通私募投资基金
1-19否-
合伙企业（有限合伙）
1-19-1海通开元投资有限公司否-
1-19-1-1国泰海通证券股份有限公司是上市公司上海浦东引领区投资中心（有限合
1-19-2否-
伙）
上海浦东创新投资发展（集团）有
1-19-2-1是国有控股
限公司间接持有标的公司股
1-19-2-2上海浦东私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-19-3上海国盛（集团）有限公司是国有控股
1-19-4重庆渝富控股集团有限公司是国有控股
中国太平洋保险（集团）股份有限
1-19-5是上市公司
公司间接持有标的公司股
1-19-6伊泰股权投资管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-19-7上海国际信托有限公司是
权比例低于0.01%上海张江高科技园区开发股份有限
1-19-8是上市公司
公司东营前程创业投资合伙企业（有限
1-20否-
合伙）
1-20-1东营市产业投资管理有限公司否-
1-20-1-1东营市财金投资集团有限公司否-
1-20-1-1-1东营市财政局是党政机构
间接持有标的公司股
1-20-1-1-2东营市国有资本投资集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-20-1-1-3山东省财欣资产运营有限公司是
权比例低于0.01%
1-20-2山东省新动能基金管理有限公司否-
1-20-2-1山东省财金投资集团有限公司否-
707中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-20-2-1-1山东省财政厅是党政机构
间接持有标的公司股
1-20-2-1-2山东省财欣资产运营有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-20-3东营金控投资管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-21河北高速天呈投资管理有限公司否-
1-21-1河北高速公路集团有限公司否-
河北省人民政府国有资产监督管理
1-21-1-1是党政机构
委员会间接持有标的公司股
1-21-1-2河北省国有资产控股运营有限公司是
权比例低于0.01%深圳市达晨财智创业投资管理有限
1-22否-
公司
1-22-1深圳市达晨创业投资有限公司否
1-22-1-1湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
1-22-2湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
1-22-3刘昼是自然人
1-22-4肖冰是自然人
深圳市财智创享咨询服务合伙企业间接持有标的公司股
1-22-5是（有限合伙）权比例低于0.01%
1-22-6邵红霞是自然人
1-22-7胡德华是自然人
1-22-8齐慎是自然人
1-22-9刘旭峰是自然人
1-22-10熊人杰是自然人
1-22-11傅忠红是自然人
1-22-12梁国智是自然人
1-22-13熊维云是自然人
1-23烟台市财金新动能投资有限公司否-
1-23-1烟台市财金发展投资集团有限公司否-
1-23-1-1烟台市财政局是党政机构
间接持有标的公司股
1-23-1-2山东省财金乡村振兴有限公司是
权比例低于0.01%
1-24重庆唯品会投资有限公司否-
1-24-1广州唯品会电子商务有限公司否-
708中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-24-1-1沈亚是自然人
1-24-1-2黄婵是自然人武汉洪创投资管理有限公司（代表
1-25“武汉市洪山区战略性新兴产业私否-募股权投资引导基金”）
1-25-1武汉洪山科技投资集团有限公司是国有控股
云南金产股权投资基金合伙企业
1-26否-（有限合伙）
1-26-1云南省产业股权投资有限责任公司否-
云南省国有金融资本控股集团有限
1-26-1-1是国有控股
公司云南产投股权投资基金管理有限公间接持有标的公司股
1-26-2是
司权比例低于0.01%武汉洪山新动能产业投资母基金管
1-27否-
理合伙企业（有限合伙）
1-27-1武汉洪山科技投资集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股
1-27-2武汉洪创投资管理有限公司是
权比例低于0.01%长沙天心经开创业投资基金合伙企
1-28否-业（有限合伙）
1-28-1湖南天环经济开发有限责任公司否-
1-28-1-1长沙融城经济发展集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股
1-28-2北京弘卓资本管理有限公司是
权比例低于0.01%无锡惠开正源创业投资合伙企业
1-29否-（有限合伙）
1-29-1无锡惠合新创产业投资有限公司是国有控股
1-29-2无锡惠开投资管理有限公司否-
1-29-2-1无锡惠开经济发展集团有限公司否-
间接持有标的公司股
1-29-2-1-1无锡惠山高科集团有限公司是
权比例低于0.01%无锡惠山工业转型集聚区建设发展间接持有标的公司股
1-29-2-1-2是
有限公司权比例低于0.01%无锡惠开正合私募基金管理有限公间接持有标的公司股
1-29-3是
司权比例低于0.01%
1-30恒安标准人寿保险有限公司否-
天津市泰达国际控股（集团）有限
1-30-1否-
公司
1-30-1-1天津泰达投资控股（集团）有限公是国有控股
709中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质司天津渤海国有资产经营管理有限公间接持有标的公司股
1-30-1-2是
司权比例低于0.01%
1-30-2 Aberdeen Group plc 是 上市公司
浙江浙商八婺专精股权投资基金合
1-31否-
伙企业（有限合伙）
1-31-1浙商证券投资有限公司否-
1-31-1-1浙商证券股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司股
1-31-2浙江省产业基金有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-31-3金华市产业基金有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-31-4浙江浙商资本管理有限公司是
权比例低于0.01%金华金开国有资本控股集团有限公
1-31-5是国有控股
司
1-32深圳市福田资本运营集团有限公司是国有控股
（2）各层合伙人取得权益情况
深圳达晨各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式太保长航股权投资基自有或自
1-1金（武汉）合伙企业深圳达晨2024-04-30货币
筹资金（有限合伙）太保长航股权投资太保私募基金管理有自有或自
1-1-1基金（武汉）合伙2022-04-21货币
限公司筹资金企业（有限合伙）太保长航股权投资中国太平洋人寿保险自有或自
1-1-2基金（武汉）合伙2022-04-21货币
股份有限公司筹资金企业（有限合伙）上海鋆航企业管理咨太保长航股权投资自有或自
1-1-3询合伙企业（有限合基金（武汉）合伙2022-07-13货币
筹资金
伙）企业（有限合伙）上海鋆航企业管理自有或自1-1-3-1王淏咨询合伙企业（有2025-02-14货币筹资金限合伙）上海鋆航企业管理自有或自1-1-3-2刘龙咨询合伙企业（有2022-06-10货币筹资金限合伙）上海鋆航企业管理
1-1-3-3柏佳洁2025-12-18货币自有或自咨询合伙企业（有
710中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式限合伙）筹资金上海鋆航企业管理自有或自1-1-3-4高小羊咨询合伙企业（有2025-12-18货币筹资金限合伙）上海鋆航企业管理自有或自1-1-3-5刘增波咨询合伙企业（有2022-06-10货币筹资金限合伙）友邦人寿保险有限公自有或自
1-2深圳达晨2025-08-13货币
司筹资金常德市达晨创程私募自有或自1-3股权投资企业（有限深圳达晨2023-04-18货币筹资金
合伙）常德市达晨创程私湖南财鑫资本管理有自有或自
1-3-1募股权投资企业2022-04-13货币
限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私常德市城市发展集团自有或自
1-3-2募股权投资企业2022-11-10货币
有限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-3张日富募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私浙江金昌启亚控股有自有或自
1-3-4募股权投资企业2025-09-18货币
限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私厦门市联谊吉源环保自有或自
1-3-5募股权投资企业2022-11-10货币
工程有限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-6万柳军募股权投资企业2025-09-18货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私湖北世纪英才文化发自有或自
1-3-7募股权投资企业2022-11-10货币
展有限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-8喻胜江募股权投资企业2025-09-18货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-9姚彦廷募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私青岛卓越启航商贸有自有或自
1-3-10募股权投资企业2025-09-18货币
限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私深圳市骏丰模具有限自有或自
1-3-11募股权投资企业2025-09-18货币
公司筹资金（有限合伙）
1-3-12常德市达晨创程私杭州岚鑫企业管理咨2025-09-18货币自有或自
募股权投资企业
711中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式
询中心（有限合伙）（有限合伙）筹资金常德市达晨创程私福建省思存志科技有自有或自
1-3-13募股权投资企业2022-11-10货币
限责任公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私深圳市达晨财智创业自有或自
1-3-14募股权投资企业2022-04-13货币
投资管理有限公司筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-15万阳东募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-16叶军募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-17李侃募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-18邵亚丽募股权投资企业2025-09-18货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-19陈延良募股权投资企业2022-11-10货币
筹资金（有限合伙）常德市达晨创程私自有或自
1-3-20陈新募股权投资企业2025-09-18货币
筹资金（有限合伙）成都高新策源投资集自有或自
1-4深圳达晨2024-04-30货币
团有限公司筹资金江西省现代产业引导自有或自
1-5深圳达晨2023-04-18货币基金（有限合伙）筹资金江西省国有资本运营
1-5-1江西省现代产业引
自有或自
2022-04-28货币
控股集团有限公司导基金（有限合伙）筹资金
江西国控私募基金管江西省现代产业引自有或自1-5-22022-04-28货币
理有限公司导基金（有限合伙）筹资金湖南省湘江产业投资自有或自1-6基金合伙企业（有限深圳达晨2023-04-18货币筹资金
合伙）湖南省湘江产业投湖南钢铁集团有限公自有或自
1-6-1资基金合伙企业2021-09-03货币
司筹资金（有限合伙）湖南省湘江产业投中联重科股份有限公自有或自
1-6-2资基金合伙企业2021-09-03货币
司筹资金（有限合伙）湖南省湘江产业投湖南能源集团有限公自有或自
1-6-3资基金合伙企业2021-09-03货币
司筹资金（有限合伙）
712中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主出资方层级序号合伙人姓名名称下一层主体资金来源体权益的时间式湖南省湘江产业投湖南财信金融控股集自有或自
1-6-4资基金合伙企业2021-09-03货币
团有限公司筹资金（有限合伙）湖南省湘江产业投湖南兴湘投资控股集自有或自
1-6-5资基金合伙企业2021-09-03货币
团有限公司筹资金（有限合伙）湖南省湘江产业投湖南省湘江私募基金自有或自
1-6-6资基金合伙企业2021-09-03货币
管理有限公司筹资金（有限合伙）招商财富资产管理有自有或自
1-7深圳达晨2023-04-18货币
限公司筹资金中美联泰大都会人寿自有或自
1-8深圳达晨2025-08-13货币
保险有限公司筹资金江西省国有资本运营自有或自
1-9深圳达晨2024-04-30货币
控股集团有限公司筹资金东莞市产投发展母基自有或自1-10金合伙企业（有限合深圳达晨2024-04-30货币筹资金
伙）东莞市产投发展母东莞市投资控股集团自有或自1-10-1基金合伙企业（有2023-09-08货币有限公司筹资金限合伙）东莞市产投发展母东莞市东财投资控股自有或自1-10-2基金合伙企业（有2023-09-08货币有限公司筹资金限合伙）东莞市产投发展母东莞金控股权投资基自有或自1-10-3基金合伙企业（有2023-09-08货币金管理有限公司筹资金限合伙）渝深（重庆）科技创自有或自
1-11新私募股权投资基金深圳达晨2024-04-30货币
筹资金
合伙企业（有限合伙）渝深（重庆）科技重庆渝富控股集团有创新私募股权投资自有或自
1-11-12022-10-31货币限公司基金合伙企业（有筹资金限合伙）渝深（重庆）科技重庆绅鹏实业开发有创新私募股权投资自有或自
1-11-22022-10-31货币限公司基金合伙企业（有筹资金限合伙）渝深（重庆）科技重庆市水利投资（集创新私募股权投资自有或自
1-11-32022-10-31货币团）有限公司基金合伙企业（有筹资金限合伙）
1-11-4重庆市地产集团有限渝深（重庆）科技2022-10-31货币自有或自
713中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主出资方层级序号合伙人姓名名称下一层主体资金来源体权益的时间式公司创新私募股权投资筹资金基金合伙企业（有限合伙）渝深（重庆）科技深圳市创新投资集团创新私募股权投资自有或自
1-11-52022-10-31货币有限公司基金合伙企业（有筹资金限合伙）渝深（重庆）科技渝深创富私募股权投创新私募股权投资自有或自
1-11-62022-10-31货币资基金管理有限公司基金合伙企业（有筹资金限合伙）江西中文传媒蓝海国自有或自
1-12深圳达晨2024-04-30货币
际投资有限公司筹资金湖南广播影视集团有自有或自
1-13深圳达晨2023-04-18货币
限公司筹资金湖南盛力投资有限责自有或自
1-14深圳达晨2023-04-18货币
任公司筹资金湖南电广传媒股份有自有或自
1-15深圳达晨2022-03-22货币
限公司筹资金上海建工集团投资有自有或自
1-16深圳达晨2025-08-13货币
限公司筹资金深圳开源证券投资有自有或自
1-17深圳达晨2023-04-18货币
限公司筹资金深圳市达晨创业投资自有或自
1-18深圳达晨2022-03-22货币
有限公司筹资金上海浦东引领区海通自有或自
1-19私募投资基金合伙企深圳达晨2025-08-13货币
筹资金业（有限合伙）上海浦东引领区海海通开元投资有限公自有或自
1-19-1通私募投资基金合2023-08-30货币
司筹资金
伙企业（有限合伙）上海浦东引领区海上海浦东引领区投资自有或自
1-19-2通私募投资基金合2023-08-30货币中心（有限合伙）筹资金
伙企业（有限合伙）上海浦东创新投资发上海浦东引领区投自有或自
1-19-2-12022-08-10货币展（集团）有限公司资中心（有限合伙）筹资金上海浦东私募基金管上海浦东引领区投自有或自
1-19-2-22022-08-10货币
理有限公司资中心（有限合伙）筹资金上海浦东引领区海
上海国盛（集团）有自有或自
1-19-3通私募投资基金合2023-08-30货币
限公司筹资金
伙企业（有限合伙）重庆渝富控股集团有上海浦东引领区海自有或自
1-19-42025-07-03货币
限公司通私募投资基金合筹资金
714中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式
伙企业（有限合伙）上海浦东引领区海中国太平洋保险（集自有或自
1-19-5通私募投资基金合2023-08-30货币
团）股份有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）上海浦东引领区海伊泰股权投资管理有自有或自
1-19-6通私募投资基金合2023-08-30货币
限公司筹资金
伙企业（有限合伙）上海浦东引领区海上海国际信托有限公自有或自
1-19-7通私募投资基金合2023-08-30货币
司筹资金
伙企业（有限合伙）上海浦东引领区海上海张江高科技园区自有或自
1-19-8通私募投资基金合2023-08-30货币
开发股份有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）东营前程创业投资合自有或自
1-20深圳达晨2024-04-30货币
伙企业（有限合伙）筹资金东营前程创业投资东营市产业投资管理自有或自1-20-1合伙企业（有限合2022-12-06货币有限公司筹资金
伙）东营前程创业投资山东省新动能基金管自有或自1-20-2合伙企业（有限合2022-12-06货币理有限公司筹资金
伙）东营前程创业投资东营金控投资管理有自有或自1-20-3合伙企业（有限合2022-12-06货币限公司筹资金
伙）河北高速天呈投资管自有或自
1-21深圳达晨2025-08-13货币
理有限公司筹资金深圳市达晨财智创业自有或自
1-22深圳达晨2022-03-22货币
投资管理有限公司筹资金烟台市财金新动能投自有或自
1-23深圳达晨2024-04-30货币
资有限公司筹资金重庆唯品会投资有限自有或自
1-24深圳达晨2023-04-18货币
公司筹资金武汉洪创投资管理有自有或自
1-25深圳达晨2023-04-18货币
限公司筹资金云南金产股权投资基自有或自1-26金合伙企业（有限合深圳达晨2022-05-16货币筹资金
伙）云南金产股权投资云南省产业股权投资自有或自1-26-1基金合伙企业（有2022-10-24货币有限责任公司筹资金限合伙）云南金产股权投资云南产投股权投资基自有或自1-26-2基金合伙企业（有2021-08-26货币金管理有限公司筹资金限合伙）
715中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主出资方层级序号合伙人姓名名称下一层主体资金来源体权益的时间式武汉洪山新动能产业自有或自
1-27投资母基金管理合伙深圳达晨2025-08-13货币
筹资金企业（有限合伙）武汉洪山新动能产武汉洪山科技投资集
1-27-1业投资母基金管理
自有或自
2023-05-31货币团有限公司合伙企业（有限合筹资金伙）武汉洪山新动能产武汉洪创投资管理有
1-27-2业投资母基金管理
自有或自
2023-05-31货币限公司合伙企业（有限合筹资金伙）长沙天心经开创业投自有或自1-28资基金合伙企业（有深圳达晨2025-08-13货币筹资金限合伙）长沙天心经开创业湖南天环经济开发有自有或自
1-28-1投资基金合伙企业2023-06-21货币
限责任公司筹资金（有限合伙）长沙天心经开创业北京弘卓资本管理有自有或自
1-28-2投资基金合伙企业2023-06-21货币
限公司筹资金（有限合伙）无锡惠开正源创业投自有或自1-29资合伙企业（有限合深圳达晨2024-04-30货币筹资金
伙）无锡惠开正源创业无锡惠合新创产业投自有或自1-29-1投资合伙企业（有2020-05-18货币资有限公司筹资金限合伙）无锡惠开正源创业无锡惠开投资管理有自有或自1-29-2投资合伙企业（有2019-05-24货币限公司筹资金限合伙）无锡惠开正源创业无锡惠开正合私募基自有或自1-29-3投资合伙企业（有2019-05-24货币金管理有限公司筹资金限合伙）恒安标准人寿保险有自有或自
1-30深圳达晨2025-08-13货币
限公司筹资金浙江浙商八婺专精股自有或自
1-31权投资基金合伙企业深圳达晨2025-08-13货币
筹资金（有限合伙）浙江浙商八婺专精浙商证券投资有限公自有或自
1-31-1股权投资基金合伙2024-06-11货币
司筹资金企业（有限合伙）浙江浙商八婺专精浙江省产业基金有限自有或自
1-31-2股权投资基金合伙2024-06-11货币
公司筹资金企业（有限合伙）浙江浙商八婺专精金华市产业基金有限自有或自
1-31-3股权投资基金合伙2024-06-11货币
公司筹资金企业（有限合伙）
716中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式浙江浙商八婺专精浙江浙商资本管理有自有或自
1-31-4股权投资基金合伙2024-06-11货币
限公司筹资金企业（有限合伙）浙江浙商八婺专精金华金开国有资本控自有或自
1-31-5股权投资基金合伙2025-12-30货币
股集团有限公司筹资金企业（有限合伙）深圳市福田资本运营自有或自
1-32深圳达晨2025-08-13货币
集团有限公司筹资金
12、杭州达晨
（1）最终持有人情况
杭州达晨的最终持有人相关情况如下：
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-1贵州黔晟投资有限公司否-
贵州省黔晟国有资产经营有限责任公
1-1-1是国有控股
司
上海浦东创新投资发展（集团）有限公
1-2是国有控股
司南通沿海智鑫产业投资发展合伙企业
1-3否-（有限合伙）
1-3-1南通沿海开发集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-3-2南通海汇资本投资有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-3-3南通海盈投资管理有限公司是
例低于0.01%南京毅达股权投资管理企业（有限合间接持有标的公司股权比
1-3-4是
伙）例低于0.01%
1-4烟台隆畅投资合伙企业（有限合伙）否-
1-4-1仇玉民是自然人
1-4-2蔡峰是自然人
1-4-3翁海峰是自然人
1-4-4陈曼娜是自然人
1-4-5何伟成是自然人
1-4-6刘荣是自然人
1-4-7付宏强是自然人
1-4-8付彬是自然人
717中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-4-9凌运生是自然人
1-4-10刘建茹是自然人
1-4-11周海昌是自然人
1-4-12唐小平是自然人
1-4-13孙淑艳是自然人
1-4-14安志前是自然人
1-4-15宋巍红是自然人
1-4-16崔东新是自然人
1-4-17张丽新是自然人
1-4-18张伟球是自然人
1-4-19徐兰是自然人
1-4-20曾妮是自然人
1-4-21李云宝是自然人
1-4-22林妍是自然人
1-4-23洪芸是自然人
1-4-24潘越是自然人
1-4-25王存惠是自然人
1-4-26王芹是自然人
1-4-27翟晓刚是自然人
1-4-28胡铁英是自然人
1-4-29萧薇是自然人
1-4-30谢剑霞是自然人
1-4-31陈丽萍是自然人
1-4-32陈伟球是自然人
1-4-33马晓晔是自然人
1-4-34高卫东是自然人
1-4-35黄佳旖是自然人
1-4-36黄益军是自然人
间接持有标的公司股权比
1-4-37上海衡庐资产管理有限公司是
例低于0.01%深圳市达晨财智创业投资管理有限公
1-5否-
司间接持有标的公司股权比
1-5-1深圳市达晨创业投资有限公司是
例低于0.01%
718中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-5-2湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
1-5-3刘昼是自然人
1-5-4肖冰是自然人深圳市财智创享咨询服务合伙企业（有间接持有标的公司股权比
1-5-5是限合伙）例低于0.01%
1-5-6邵红霞是自然人
1-5-7胡德华是自然人
1-5-8齐慎是自然人
1-5-9刘旭峰是自然人
1-5-10熊人杰是自然人
1-5-11傅忠红是自然人
1-5-12梁国智是自然人
1-5-13熊维云是自然人
1-6杭州产业投资有限公司否-
1-6-1杭州市国有资本投资运营有限公司是国有控股
1-7浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限公司否-
1-7-1浙江嘉兴国有资本投资运营有限公司否-
嘉兴市人民政府国有资产监督管理委
1-7-1-1是党政机构
员会
1-7-1-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-8广西投资引导基金有限责任公司是国有控股
1-9招商财富资产管理有限公司否-招商财富资产管理有限公司（代表“招
1-9-1商财富-达晨创程一号集合资产管理计否-划”）
1-9-1-1窦凌云是自然人
1-9-1-2卓静华是自然人
1-9-1-3李玉枝是自然人
1-9-1-4郭艳美是自然人
1-9-1-5龚元锋是自然人
1-9-1-6杨阳是自然人
1-9-1-7陈银燕是自然人
1-9-1-8涂张应是自然人
1-9-1-9任平是自然人
719中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-9-1-10周振惠是自然人
1-9-1-11杨爱宁是自然人
1-9-1-12王兵是自然人
1-9-1-13丰伟是自然人
1-9-1-14谭政是自然人
1-9-1-15张辉是自然人
1-9-1-16张正林是自然人
1-9-1-17刘燊是自然人
1-9-1-18汪小丽是自然人
1-9-1-19陈德文是自然人
1-9-1-20李琳是自然人
1-9-1-21彭威是自然人
1-9-1-22张振湖是自然人
1-9-1-23齐雪梅是自然人
1-9-1-24李艳是自然人
1-9-1-25戴辉是自然人
1-9-1-26张华是自然人
1-9-1-27黄艳是自然人
1-9-1-28左慧是自然人
1-9-1-29武素梅是自然人
1-9-1-30方少茹是自然人
1-9-1-31王潇文是自然人
1-9-1-32刘勇超是自然人
1-9-1-33穆乐民是自然人
1-9-1-34朱义成是自然人
1-9-1-35林丽美是自然人
1-9-1-36黄朝楷是自然人
1-9-1-37梅六妹是自然人
1-9-1-38张雅各是自然人
1-9-1-39韩德民是自然人
1-9-1-40宋洪涛是自然人
1-9-1-41申小玲是自然人
720中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-9-1-42王茂华是自然人
1-9-1-43卢赣平是自然人招商财富资产管理有限公司（代表“招
1-9-2商财富-达晨创程二号集合资产管理计否-划”）
1-9-2-1聂品炎是自然人
1-9-2-2贾世庆是自然人
1-9-2-3林青是自然人
1-9-2-4钟兴明是自然人
1-9-2-5尚德望是自然人
杭州市临安区新锦产业发展集团有限
1-10否-
公司
1-10-1杭州市临安区国有股权控股有限公司否-
1-10-1-1杭州市临安区国有资产管理服务中心是事业单位
1-10-1-2杭州临安工业产业发展集团有限公司是国有控股
1-11鄂尔多斯市创新投资集团有限公司是国有控股
1-12湖南电广传媒股份有限公司是上市公司
兰溪市聚力产业基金投资集团有限公
1-13是国有控股
司
1-14杭州临安财金资本控股集团有限公司是国有控股
杭州钱塘和达大健康创业投资基金合
1-15否-
伙企业（有限合伙）
1-15-1杭州和达产业基金投资有限公司否-
1-15-1-1杭州和港创业投资有限公司否-
1-15-1-1-1杭州钱塘新区产业发展集团有限公司否-杭州钱塘新区管理委员会（杭州临江高
1-15-1-1-1-1新技术产业开发区管理委员会、杭州综是党政机构合保税区管理委员会）
1-15-1-1-1-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-15-2浙江省产业基金有限公司否-
1-15-2-1浙江省创新投资集团有限公司是国有控股
1-15-3浙江富浙资产管理有限公司否-
1-15-3-1浙江省国有资本运营有限公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-15-4杭州产业投资有限公司是
例低于0.01%
721中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人间接持有标的公司股权比
1-15-5杭州和达投资管理有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-15-6浙江金投盛源股权投资有限公司是
例低于0.01%
1-16财信吉祥人寿保险股份有限公司否-
1-16-1湖南财信投资控股有限责任公司否-
1-16-1-1湖南财信金融控股集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-16-2长沙先导投资控股集团有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-3上海潞安投资有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-4湖南省农业信贷融资担保有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-5芒果传媒有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-6湖南嘉宇实业有限公司是
例低于0.01%
1-16-7湖南省融资担保集团有限公司是国有控股
1-16-8中联重科股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司股权比
1-16-9湖南湘江新区发展集团有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-10湖南高投资产经营管理有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-11湖南海方投资有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-12艺龙网信息技术（北京）有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-13湖南泽颐贸易有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-14湖南柏加建筑园林（集团）有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-15湖南汇鸿经贸有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-16-16湖南巴陵建设有限公司是
例低于0.01%衢州绿石新材料股权投资合伙企业（有
1-17否-限合伙）
1-17-1衢州智造产业投资集团有限公司否-
1-17-1-1衢州市金源控股集团有限公司否-
722中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-17-1-1-1衢州控股集团有限公司否-
1-17-1-1-1-1衢州市产业投资控股集团有限公司是国有控股
衢州市大花园建设投资发展集团有限
1-17-1-1-2否-
公司间接持有标的公司股权比
1-17-1-1-2-1衢州大花园控股集团有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-17-1-1-2-2衢州控股集团有限公司是
例低于0.01%
1-17-2衢州市工业股权投资有限公司否-
1-17-2-1衢州市金源控股集团有限公司否重复，详见1-17-1-1
间接持有标的公司股权比
1-17-3衢州市国资信安资本管理有限公司是
例低于0.01%
1-17-4浙江省产业基金有限公司否重复，详见1-15-2
间接持有标的公司股权比
1-17-5浙江金投盛源股权投资有限公司是
例低于0.01%
1-18长沙马栏山投资开发建设有限公司否-
1-18-1湖南马栏山集团有限公司否--
长沙市城市建设投资开发集团有限公
1-18-1-1否-
司
1-18-1-1-1长沙城市发展集团有限公司否-
长沙市人民政府国有资产监督管理委
1-18-1-1-1-1是党政机构
员会
1-18-1-1-1-2长沙市国资产业控股集团有限公司否-
长沙市人民政府国有资产监督管理委
1-18-1-1-1-2-1是党政机构
员会
1-18-1-1-1-2-2长沙市轨道交通集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-18-1-1-1-2-3湖南省国有投资经营有限公司是
例低于0.01%
1-19浙江省产业基金有限公司是国有控股
福建省金投金顺股权投资基金合伙企
1-20否-业（有限合伙）
1-20-1福建省金融投资有限责任公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-20-2福建省金投私募基金管理有限公司是
例低于0.01%宁波梅山保税港区图生霖智股权投资
1-21否-中心（有限合伙）间接持有标的公司股权比
1-21-1珠海安晖投资企业（有限合伙）是
例低于0.01%
723中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人间接持有标的公司股权比
1-21-2北京瀚富资产管理有限公司是
例低于0.01%
1-21-3朱光亮是自然人
1-21-4来蔚青是自然人
1-21-5姜文勇是自然人
1-21-6钱玲利是自然人
1-21-7何国斌是自然人
1-21-8曾逸文是自然人
1-21-9崔琳是自然人
1-21-10朱建华是自然人
1-21-11曹晓航是自然人
1-21-12薛东生是自然人
1-21-13周丹红是自然人
1-21-14谢艳群是自然人
1-21-15陆红梅是自然人
1-21-16汤建祥是自然人
1-21-17赵晓芳是自然人
1-21-18张天龙是自然人
1-21-19卢建波是自然人
1-21-20李涵是自然人
1-21-21朱旭飞是自然人
间接持有标的公司股权比
1-21-22拉萨贤驰投资管理有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-21-23拉萨宁和恒通投资管理有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-21-24拉萨天意投资管理有限公司是
例低于0.01%
1-21-25董茜是自然人
1-21-26胡建伟是自然人
1-21-27陈超英是自然人
1-21-28王淑文是自然人
1-21-29牛文若是自然人
1-21-30陈荣平是自然人
1-21-31陈桂香是自然人
724中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-21-32施雯婷是自然人
1-21-33韩丹是自然人
1-21-34何伟雄是自然人
宁波梅山保税港区灿运淳诺股权投资
1-22否-中心（有限合伙）间接持有标的公司股权比
1-22-1珠海安晖投资企业（有限合伙）是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-22-2北京瀚富资产管理有限公司是
例低于0.01%
1-22-3胡书艳是自然人
1-22-4傅德芳是自然人
1-22-5沈超是自然人
1-22-6王民伟是自然人
1-22-7孙喜萍是自然人
1-22-8王洋是自然人
1-22-9马晓波是自然人
1-22-10杨云华是自然人
1-22-11王海是自然人
1-22-12林文是自然人
1-22-13邵红是自然人
1-22-14张彩琴是自然人
1-22-15赵书敏是自然人
1-22-16王震是自然人
1-22-17孙雪平是自然人
1-22-18张爱国是自然人
1-22-19徐思毅是自然人
1-22-20张艳平是自然人
1-22-21李海燕是自然人
1-22-22尚卫民是自然人
1-22-23郭泽锦是自然人
1-22-24王凤兰是自然人
1-22-25胡清梅是自然人
1-22-26张琦是自然人
1-22-27温杰是自然人
725中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-22-28孙志旭是自然人
1-22-29陈建平是自然人陕西省国际信托股份有限公司（代表
1-22-30“宜信财富·陕国投·宜安传家·023·号否-家族信托”）
1-22-30-1于祥麟是自然人
1-22-31张正明是自然人
1-22-32刘永国是自然人
1-22-33章建兰是自然人
1-22-34杜建平是自然人
1-22-35许培新是自然人
1-22-36王沛是自然人
1-22-37沈姿华是自然人
1-22-38黄泽绵是自然人
1-22-39宣言是自然人
1-22-40姚先平是自然人宁波十贤股权投资合伙企业（有限合间接持有标的公司股权比
1-22-41是
伙）例低于0.01%
1-22-42赵小芳是自然人
1-22-43徐莉是自然人
1-22-44邱清娜是自然人
1-22-45钟美清是自然人
间接持有标的公司股权比
1-22-46南京晓文企业管理咨询有限公司是
例低于0.01%
长三角（嘉兴）战略新兴产业投资合伙
1-23否-企业（有限合伙）
1-23-1浙江嘉兴嘉国禾祺投资有限公司是国有控股
间接持有标的公司股权比
1-23-2中信建投资本管理有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-23-3嘉兴市嘉国金投控股集团有限公司是
例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-23-4嘉兴市嘉睿投资管理有限公司是
例低于0.01%东营前程创业投资合伙企业（有限合
1-24否-
伙）
1-24-1东营市产业投资管理有限公司否-
726中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-24-1-1东营市财金投资集团有限公司否-
1-24-1-1-1东营市财政局是党政机构
间接持有标的公司股权比
1-24-1-1-2东营市国有资本投资集团有限公司是
例低于0.01%
1-24-1-1-3山东省财欣资产运营有限公司是国有控股
1-24-2山东省新动能基金管理有限公司否-
1-24-3东营金控投资管理有限公司否-
江西省文信一号文化产业发展投资基
1-25是国有控股金（有限合伙）江西省国有资本运营控股集团有限公
1-25-1否-
司
1-25-1-1江西省国有资产监督管理委员会是党政机构
1-25-1-2江西省行政事业资产集团有限公司否-
1-25-1-2-1江西省财政投资集团有限公司是国有控股
1-25-2江西省文化产业投资有限公司否-
1-25-2-1江西省出版传媒集团有限公司是国有控股
1-25-3江西省金杜鹃私募基金管理有限公司否-
1-25-3-1江西省文化产业投资有限公司否重复，详见1-25-2
江西省文信二号文化产业发展投资基
1-26否-金（有限合伙）
1-26-1江西中文传媒蓝海国际投资有限公司否-
1-26-1-1中文天地出版传媒集团股份有限公司是上市公司
1-26-2华章天地传媒投资控股集团有限公司否-
1-26-2-1江西省出版传媒集团有限公司是国有控股
1-26-3赣州旅游投资集团有限公司否-
1-26-3-1赣州发展投资控股集团有限责任公司否-
1-26-3-1-1赣州市国有资产监督管理委员会是党政机构
1-26-3-1-2江西省行政事业资产集团有限公司否-
1-26-3-1-2-1江西省财政投资集团有限公司是国有控股
江西省国有资本运营控股集团有限公
1-26-4否重复，详见1-25-1
司
1-26-5江西省文化产业投资有限公司否重复，详见1-25-2
1-26-6江西出版集团资产经营有限责任公司否-
1-26-6-1华章天地传媒投资控股集团有限公司否重复，详见1-26-2
1-26-7江西省新华书店资产经营有限公司否-
727中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/是否为最终名称最终持有人性质持有人
1-26-7-1华章天地传媒投资控股集团有限公司否重复，详见1-26-2
1-26-8江西省金杜鹃私募基金管理有限公司否重复，详见1-25-3芜湖歌斐颂琦股权投资中心（有限合
1-27否-
伙）
1-27-1岳邦彦是自然人宁波卓润通盛创业投资合伙企业（有限间接持有标的公司股权比
1-27-2是
合伙）例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-27-3武汉传业贸易有限公司是
例低于0.01%
1-27-4刘中明是自然人
1-27-5卢伟是自然人
1-27-6司斐是自然人
1-27-7姜德鹏是自然人
1-27-8孙斯薇是自然人
1-27-9宋颖是自然人
1-27-10张凌是自然人
1-27-11徐凌霜是自然人
1-27-12李熙诚是自然人
1-27-13杜勇科是自然人
1-27-14楼杨国是自然人
1-27-15沈小华是自然人
1-27-16王永胜是自然人
1-27-17简瑞意是自然人
1-27-18陈莹是自然人
1-27-19马宏是自然人
间接持有标的公司股权比
1-27-20上海歌斐玛撒资产管理有限公司是
例低于0.01%芜湖歌斐颂雅股权投资中心（有限合
1-28否-
伙）
1-28-1王英是自然人
间接持有标的公司股权比
1-28-2共青城曜荣投资合伙企业（有限合伙）是
例低于0.01%
1-28-3朱玉宝是自然人
1-28-4金才英是自然人
1-28-5刘彧是自然人
728中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-28-6周微是自然人
1-28-7李小玲是自然人上海浅风企业管理咨询中心（有限合间接持有标的公司股权比
1-28-8是
伙）例低于0.01%间接持有标的公司股权比
1-28-9北京耐力特科技有限公司是
例低于0.01%
1-28-10伍毓智是自然人
1-28-11关静娴是自然人
1-28-12刘建祖是自然人
1-28-13刘栓江是自然人
1-28-14吴恩毅是自然人
1-28-15吴薇薇是自然人
1-28-16周丽卿是自然人
1-28-17周玲是自然人
1-28-18周蓓是自然人
1-28-19周金菊是自然人
1-28-20唐建峰是自然人
1-28-21姜蓉鑫是自然人
1-28-22孙宇航是自然人
1-28-23张传霞是自然人
1-28-24张彤是自然人
1-28-25张斯宁是自然人
1-28-26张树芝是自然人
1-28-27张甲海是自然人
1-28-28张金龙是自然人
1-28-29张雪是自然人
1-28-30成茂蓉是自然人
1-28-31方霆是自然人
1-28-32曲阳是自然人
1-28-33朱为禧是自然人
1-28-34王志红是自然人
1-28-35王钢是自然人
1-28-36蔡连生是自然人
729中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-28-37薛忠放是自然人
1-28-38袁为群是自然人
1-28-39谭莲玉是自然人
1-28-40金琪玲是自然人
1-28-41银顺洪是自然人
1-28-42陈园是自然人
1-28-43霍铁庭是自然人
1-28-44马洪根是自然人
1-28-45马翔是自然人
1-28-46黄炜是自然人
1-28-47黄立明是自然人
间接持有标的公司股权比
1-28-48上海歌斐玛撒资产管理有限公司是
例低于0.01%芜湖歌斐颂星股权投资中心（有限合
1-29否-
伙）
1-29-1萧淇尹是自然人
1-29-2余建平是自然人
1-29-3刘惠丰是自然人
1-29-4刘红是自然人
1-29-5刘金萍是自然人
1-29-6夏丽是自然人
1-29-7姜文勇是自然人
1-29-8孙国胜是自然人
1-29-9孙茂源是自然人
1-29-10徐朝杉是自然人
1-29-11徐飞霄是自然人
1-29-12招改是自然人
1-29-13曹国良是自然人
1-29-14曹春梅是自然人
1-29-15朱利锋是自然人
1-29-16李佳默是自然人
1-29-17李强是自然人
1-29-18杨进周是自然人
730中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-29-19梁泸月是自然人
1-29-20罗玉笑是自然人
1-29-21邱穗瑶是自然人
1-29-22陆芷彦是自然人
1-29-23陈凌是自然人
1-29-24陈强军是自然人
1-29-25陈祺俊是自然人
1-29-26霍啟鸿是自然人
间接持有标的公司股权比
1-29-27芜湖歌斐资产管理有限公司是
例低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
杭州达晨各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
层级序号合伙人姓名/取得下一层主名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间贵州黔晟投资有限自有或自
1-1杭州达晨2025-06-10货币
公司筹资金上海浦东创新投资自有或自
1-2发展（集团）有限杭州达晨2023-12-28货币
筹资金公司南通沿海智鑫产业自有或自
1-3投资发展合伙企业杭州达晨2025-06-10货币
筹资金（有限合伙）南通沿海智鑫产业南通沿海开发集团自有或自
1-3-1投资发展合伙企业2023-06-09货币
有限公司筹资金（有限合伙）南通沿海智鑫产业南通海汇资本投资自有或自
1-3-2投资发展合伙企业2023-06-09货币
有限公司筹资金（有限合伙）南通沿海智鑫产业南通海盈投资管理自有或自
1-3-3投资发展合伙企业2023-06-09货币
有限公司筹资金（有限合伙）南京毅达股权投资南通沿海智鑫产业自有或自1-3-4管理企业（有限合投资发展合伙企业2023-06-09货币筹资金伙）（有限合伙）南京毅达股权投资西藏爱达汇承私募自有或自1-3-4-1管理企业（有限合2016-07-11货币基金管理有限公司筹资金
伙）
731中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间南京毅达股权投资江苏毅达股权投资自有或自1-3-4-2管理企业（有限合2016-02-23货币基金管理有限公司筹资金
伙）烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4杭州达晨2023-05-12货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-1仇玉民2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-2蔡峰2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-3翁海峰2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-4陈曼娜2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-5何伟成2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-6刘荣2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-7付宏强2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-8付彬2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-9凌运生2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-10刘建茹2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-11周海昌2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-12唐小平2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-13孙淑艳2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-14安志前2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-15宋巍红2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-16崔东新2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-17张丽新2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-18张伟球2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金
732中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号合伙人姓名/取得下一层主名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-19徐兰2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-20曾妮2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-21李云宝2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-22林妍2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-23洪芸2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-24潘越2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-25王存惠2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-26王芹2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-27翟晓刚2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-28胡铁英2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-29萧薇2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-30谢剑霞2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-31陈丽萍2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-32陈伟球2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-33马晓晔2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-34高卫东2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-35黄佳旖2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-36黄益军2023-01-03货币企业（有限合伙）筹资金上海衡庐资产管理烟台隆畅投资合伙自有或自
1-4-372022-07-01货币
有限公司企业（有限合伙）筹资金深圳市达晨财智创自有或自
1-5业投资管理有限公杭州达晨2022-03-11货币
筹资金司
733中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间杭州产业投资有限自有或自
1-6杭州达晨2022-12-29货币
公司筹资金浙江嘉兴嘉国禾祺自有或自
1-7杭州达晨2023-05-12货币
投资有限公司筹资金广西投资引导基金自有或自
1-8杭州达晨2025-06-10货币
有限责任公司筹资金招商财富资产管理自有或自
1-9杭州达晨2022-12-29货币
有限公司筹资金杭州市临安区新锦自有或自
1-10产业发展集团有限杭州达晨2023-11-10货币
筹资金公司鄂尔多斯市创新投自有或自
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资集团有限公司筹资金湖南电广传媒股份自有或自
1-12杭州达晨2022-05-19货币
有限公司筹资金兰溪市聚力产业基自有或自
1-13金投资集团有限公杭州达晨2025-06-10货币
筹资金司杭州临安财金资本自有或自
1-14杭州达晨2023-11-10货币
控股集团有限公司筹资金杭州钱塘和达大健自有或自
1-15康创业投资基金合杭州达晨2025-06-10货币
筹资金
伙企业（有限合伙）杭州钱塘和达大健杭州和达产业基金自有或自
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投资有限公司筹资金
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734中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间财信吉祥人寿保险自有或自
1-16杭州达晨2025-06-10货币
股份有限公司筹资金衢州绿石新材料股自有或自
1-17权投资合伙企业杭州达晨2025-06-10货币
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集团有限公司筹资金（有限合伙）衢州绿石新材料股衢州市工业股权投自有或自
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资有限公司筹资金（有限合伙）衢州绿石新材料股衢州市国资信安资自有或自
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本管理有限公司筹资金（有限合伙）衢州绿石新材料股浙江省产业基金有自有或自
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投资有限公司筹资金（有限合伙）长沙马栏山投资开自有或自
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限公司筹资金福建省金投金顺股自有或自
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金管理有限公司筹资金业（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21图生霖智股权投资杭州达晨2023-11-10货币
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1-21-1图生霖智股权投资2019-07-18货币（有限合伙）筹资金中心（有限合伙）和谐浩数投资管理珠海安晖投资企业自有或自
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735中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
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有限公司（有限合伙）筹资金宁波梅山保税港区北京瀚富资产管理自有或自
1-21-2图生霖智股权投资2019-7-18货币
有限公司筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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1-21-14谢艳群图生霖智股权投资2019-07-18货币
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图生霖智股权投资筹资金
736中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-16汤建祥图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-17赵晓芳图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-18张天龙图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-19卢建波图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区拉萨贤驰投资管理自有或自
1-21-22图生霖智股权投资2019-07-18货币
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1-21-23图生霖智股权投资2019-07-18货币
管理有限公司筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区拉萨天意投资管理自有或自
1-21-24图生霖智股权投资2019-07-18货币
有限公司筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-25董茜图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-26胡建伟图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-27陈超英图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-28王淑文图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-29牛文若2019-07-18货币
图生霖智股权投资筹资金
737中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-30陈荣平图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-31陈桂香图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-32施雯婷图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-33韩丹图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-21-34何伟雄图生霖智股权投资2019-07-18货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22灿运淳诺股权投资杭州达晨2023-11-10货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区珠海安晖投资企业自有或自
1-22-1灿运淳诺股权投资2019-05-31货币（有限合伙）筹资金中心（有限合伙）和谐浩数投资管理珠海安晖投资企业自有或自
1-22-1-12016-11-21货币（北京）有限公司（有限合伙）筹资金西藏安晖企业管理珠海安晖投资企业自有或自
1-22-1-22017-08-27货币
有限公司（有限合伙）筹资金宁波梅山保税港区北京瀚富资产管理自有或自
1-22-2灿运淳诺股权投资2019-5-31货币
有限公司筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-3胡书艳灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-5沈超灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
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筹资金中心（有限合伙）
738中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波梅山保税港区自有或自
1-22-7孙喜萍灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-8王洋灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-9马晓波灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
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1-22-11王海灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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1-22-13邵红灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
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筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-15赵书敏灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-16王震灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-17孙雪平灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-18张爱国灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-19徐思毅灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-20张艳平灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）
739中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波梅山保税港区自有或自
1-22-21李海燕灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-22尚卫民灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-23郭泽锦灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-24王凤兰灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-25胡清梅灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-26张琦灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-27温杰灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-28孙志旭灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-29陈建平灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）陕西省国际信托股份有限公司（代表宁波梅山保税港区“宜信财富·陕国自有或自
1-22-30灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
投·宜安传筹资金中心（有限合伙）
家·023·号家族信托”）陕西省国际信托股份有限公司（代表“宜信财富·陕国自有或自
1-22-30-1于祥麟2017-08-09货币
投·宜安传筹资金
家·023·号家族信托”）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-31张正明灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）
740中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波梅山保税港区自有或自
1-22-32刘永国灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-33章建兰灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-34杜建平灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-35许培新灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-36王沛灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-37沈姿华灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-38黄泽绵灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-39宣言灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-40姚先平灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波十贤股权投资宁波梅山保税港区自有或自1-22-41合伙企业（有限合灿运淳诺股权投资2019-05-31货币筹资金
伙）中心（有限合伙）宁波十贤股权投资自有或自1-22-41-1陈芳合伙企业（有限合2018-03-28货币筹资金
伙）宁波十贤股权投资自有或自1-22-41-2陈婷合伙企业（有限合2018-03-28货币筹资金
伙）宁波十贤股权投资自有或自1-22-41-3孙韬煜合伙企业（有限合2018-03-28货币筹资金
伙）宁波十贤股权投资自有或自1-22-41-4李玮合伙企业（有限合2018-03-28货币筹资金
伙）
741中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波梅山保税港区自有或自
1-22-42赵小芳灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-43徐莉灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-44邱清娜灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区自有或自
1-22-45钟美清灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
筹资金中心（有限合伙）宁波梅山保税港区南京晓文企业管理自有或自
1-22-46灿运淳诺股权投资2019-05-31货币
咨询有限公司筹资金中心（有限合伙）
长三角（嘉兴）战自有或自
1-23略新兴产业投资合杭州达晨2023-11-10货币
筹资金
伙企业（有限合伙）
长三角（嘉兴）战浙江嘉兴嘉国禾祺自有或自
1-23-1略新兴产业投资合2024-03-19货币
投资有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）
长三角（嘉兴）战中信建投资本管理自有或自
1-23-2略新兴产业投资合2021-03-01货币
有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）
长三角（嘉兴）战嘉兴市嘉国金投控自有或自
1-23-3略新兴产业投资合2021-03-01货币
股集团有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）
长三角（嘉兴）战嘉兴市嘉睿投资管自有或自
1-23-4略新兴产业投资合2021-03-01货币
理有限公司筹资金
伙企业（有限合伙）东营前程创业投资自有或自1-24合伙企业（有限合杭州达晨2023-11-10货币筹资金
伙）东营前程创业投资东营市产业投资管自有或自1-24-1合伙企业（有限合2022-12-06货币理有限公司筹资金
伙）东营前程创业投资山东省新动能基金自有或自1-24-2合伙企业（有限合2022-12-06货币管理有限公司筹资金
伙）
1-24-3东营金控投资管理东营前程创业投资2022-12-06货币自有或自
742中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间有限公司合伙企业（有限合筹资金伙）江西省文信一号文自有或自
1-25化产业发展投资基杭州达晨2023-11-10货币
筹资金金（有限合伙）江西省国有资本运江西省文信一号文自有或自
1-25-1营控股集团有限公化产业发展投资基2022-06-24货币
筹资金司金（有限合伙）江西省文信一号文江西省文化产业投自有或自
1-25-2化产业发展投资基2022-06-24货币
资有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信一号文江西省金杜鹃私募自有或自
1-25-3化产业发展投资基2022-06-24货币
基金管理有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文自有或自
1-26化产业发展投资基杭州达晨2023-11-10货币
筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文江西中文传媒蓝海自有或自
1-26-1化产业发展投资基2022-08-22货币
国际投资有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文华章天地传媒投资自有或自
1-26-2化产业发展投资基2022-08-22货币
控股集团有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文赣州旅游投资集团自有或自
1-26-3化产业发展投资基2022-08-22货币
有限公司筹资金金（有限合伙）江西省国有资本运江西省文信二号文自有或自
1-26-4营控股集团有限公化产业发展投资基2022-08-22货币
筹资金司金（有限合伙）江西省文信二号文江西省文化产业投自有或自
1-26-5化产业发展投资基2022-08-22货币
资有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文江西出版集团资产自有或自
1-26-6化产业发展投资基2022-08-22货币
经营有限责任公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文江西省新华书店资自有或自
1-26-7化产业发展投资基2022-08-22货币
产经营有限公司筹资金金（有限合伙）江西省文信二号文江西省金杜鹃私募自有或自
1-26-8化产业发展投资基2022-08-22货币
基金管理有限公司筹资金金（有限合伙）
1-27芜湖歌斐颂琦股权杭州达晨2023-11-10货币自有或自
743中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间投资中心（有限合筹资金伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-1岳邦彦投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）宁波卓润通盛创业芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-2投资合伙企业（有投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金限合伙）伙）宁波卓润通盛创业自有或自1-27-2-1徐萌投资合伙企业（有2012-08-29货币筹资金限合伙）宁波卓润通盛创业自有或自1-27-2-2傅巨坤投资合伙企业（有2012-08-29货币筹资金限合伙）宁波卓润通盛创业杭州比驰进出口有自有或自1-27-2-3投资合伙企业（有2022-11-30货币限公司筹资金限合伙）宁波卓润通盛创业浙江卓润通和企业自有或自1-27-2-4投资合伙企业（有2022-11-30货币管理有限公司筹资金限合伙）芜湖歌斐颂琦股权武汉传业贸易有限自有或自1-27-3投资中心（有限合2023-03-31货币公司筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-4刘中明投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-5卢伟投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-6司斐投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-7姜德鹏投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-8孙斯薇投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-9宋颖投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）
1-27-10张凌芜湖歌斐颂琦股权2023-03-31货币自有或自
744中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间投资中心（有限合筹资金伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-11徐凌霜投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-12李熙诚投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-13杜勇科投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-14楼杨国投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-15沈小华投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-16王永胜投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-17简瑞意投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-18陈莹投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权自有或自1-27-19马宏投资中心（有限合2023-03-31货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂琦股权上海歌斐玛撒资产自有或自1-27-20投资中心（有限合2021-08-30货币管理有限公司筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28投资中心（有限合杭州达晨2022-12-29货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-1王英投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权共青城曜荣投资合自有或自1-28-2投资中心（有限合2022-10-28货币伙企业（有限合伙）筹资金
伙）
1-28-2-1王玉梅共青城曜荣投资合2021-06-28货币自有或自
745中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
伙企业（有限合伙）筹资金
共青城曜荣投资合2021-06-28自有或自
1-28-2-2王涛货币
伙企业（有限合伙）筹资金芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-3朱玉宝投资中心（有限合2025-01-23货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-4金才英投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-5刘彧投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-6周微投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-7李小玲投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）上海浅风企业管理芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-8咨询中心（有限合投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金伙）伙）上海浅风企业管理自有或自1-28-8-1林海静咨询中心（有限合2020-09-03货币筹资金
伙）上海浅风企业管理自有或自1-28-8-2林海宁咨询中心（有限合2020-09-03货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权北京耐力特科技有自有或自1-28-9投资中心（有限合2023-08-16货币限公司筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-10伍毓智投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-11关静娴投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-12刘建祖投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-13刘栓江投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）
746中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-14吴恩毅投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-15吴薇薇投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-16周丽卿投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-17周玲投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-18周蓓投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-19周金菊投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-20唐建峰投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-21姜蓉鑫投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-22孙宇航投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-23张传霞投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-24张彤投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-25张斯宁投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-26张树芝投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-27张甲海投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）
747中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
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层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-28张金龙投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-29张雪投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-30成茂蓉投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-31方霆投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-32曲阳投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-33朱为禧投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-34王志红投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-35王钢投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-36蔡连生投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-37薛忠放投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-38袁为群投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-39谭莲玉投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-40金琪玲投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-41银顺洪投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）
748中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
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层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-42陈园投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-43霍铁庭投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-44马洪根投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-45马翔投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-46黄炜投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权自有或自1-28-47黄立明投资中心（有限合2023-08-16货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂雅股权上海歌斐玛撒资产自有或自1-28-48投资中心（有限合2021-08-27货币管理有限公司筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29投资中心（有限合杭州达晨2022-12-29货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-1萧淇尹投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-2余建平投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-3刘惠丰投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-4刘红投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-5刘金萍投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-6夏丽投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）
749中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-7姜文勇投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-8孙国胜投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-9孙茂源投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-10徐朝杉投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-11徐飞霄投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-12招改投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-13曹国良投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-14曹春梅投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-15朱利锋投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-16李佳默投资中心（有限合2025-11-03货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-17李强投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-18杨进周投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-19梁泸月投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-20罗玉笑投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）
750中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-21邱穗瑶投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-22陆芷彦投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-23陈凌投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-24陈强军投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-25陈祺俊投资中心（有限合2022-10-28货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权自有或自1-29-26霍啟鸿投资中心（有限合2023-04-07货币筹资金
伙）芜湖歌斐颂星股权芜湖歌斐资产管理自有或自1-29-27投资中心（有限合2022-07-13货币有限公司筹资金
伙）
13、安徽丰禾
（1）最终持有人情况
安徽丰禾的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1安徽省皖能资本投资有限公司否-
1-1-1安徽省能源集团有限公司是国有控股
合肥北城产业投资引导基金有限
1-2否-
公司
1-2-1合肥北城资本管理有限公司是国有控股
间接持有标的公司安徽省丰禾私募基金管理有限公
1-3是股权比例低于
司
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
安徽丰禾各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
751中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
安徽省皖能资本投资自有或自筹1-1安徽丰禾2022-10-24货币有限公司资金
1-2合肥北城产业投资引
自有或自筹
安徽丰禾2022-10-24货币导基金有限公司资金自有或自筹
1-3安徽省丰禾私募基金安徽丰禾2022-10-24货币
管理有限公司资金
14、宁波蓝郡
（1）最终持有人情况
宁波蓝郡的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1曹文雁是自然人
1-2蔡定国是自然人
1-3何红明是自然人
1-4曹敏芳是自然人
1-5庄浩业是自然人
1-6宁波蓝郡投资管理有限公司否-
1-6-1蔡刚波是自然人
1-6-2曹敏芳是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
宁波蓝郡各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间自有或自筹
1-1曹文雁宁波蓝郡2020-10-14货币
资金自有或自筹
1-2蔡定国宁波蓝郡2020-10-14货币
资金自有或自筹
1-3何红明宁波蓝郡2020-10-14货币
资金自有或自筹
1-4曹敏芳宁波蓝郡2020-10-14货币
资金自有或自筹
1-5庄浩业宁波蓝郡2020-10-14货币
资金
1-6宁波蓝郡投资管
自有或自筹
宁波蓝郡2020-10-14货币理有限公司资金
752中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
15、小满投资
（1）最终持有人情况
小满投资的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1黄铭颖是自然人
1-2张强是自然人
1-3李哲是自然人
1-4田加是自然人
1-5陈欲晓是自然人1-6井冈山兴橙投资合伙企业（有限合否-伙）
1-6-1陈晓飞是自然人
1-6-2张亮是自然人
1-6-3何新文是自然人
1-7钟易珍是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
小满投资各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间自有或自筹
1-1黄铭颖小满投资2026-03-24货币
资金自有或自筹
1-2张强小满投资2021-09-01货币
资金自有或自筹
1-3李哲小满投资2021-09-01货币
资金自有或自筹
1-4田加小满投资2021-09-01货币
资金自有或自筹
1-5陈欲晓小满投资2021-09-01货币
资金
井冈山兴橙投资合自有或自筹1-6小满投资2021-01-19货币
伙企业（有限合伙）资金
1-6-1井冈山兴橙投资合
自有或自筹
陈晓飞2020-09-15货币
伙企业（有限合伙）资金
1-6-2井冈山兴橙投资合
自有或自筹
张亮2020-09-15货币
伙企业（有限合伙）资金自有或自筹
1-6-3井冈山兴橙投资合何新文2020-09-15货币
伙企业（有限合伙）资金
753中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间自有或自筹
1-7钟易珍小满投资2021-09-01货币
资金
16、宁波领芯
（1）最终持有人情况
宁波领芯的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1贾臻予是自然人
1-2于建平是自然人
1-3江永忠是自然人
1-4朱力昂是自然人
1-5李林是自然人
1-6陈融是自然人
1-7任海斌是自然人
1-8张劲是自然人
1-9沈慧芬是自然人
1-10王桢智是自然人
1-11王赢是自然人
1-12陈俊明是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
宁波领芯各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间自有或自筹
1-1贾臻予宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-2于建平宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-3江永忠宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-4朱力昂宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-5李林宁波领芯2020-12-28货币
资金
1-6陈融宁波领芯2020-12-28货币自有或自筹
754中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间资金自有或自筹
1-7任海斌宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-8张劲宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-9沈慧芬宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-10王桢智宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-11王赢宁波领芯2020-12-28货币
资金自有或自筹
1-12陈俊明宁波领芯2020-12-28货币
资金
17、长兴青鸟
（1）最终持有人情况
长兴青鸟的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质湖州长兴青鸟麦科股权投资有限
1-1否-
公司
1-1-1长兴青澜股权投资有限公司否-
1-1-1-1徐剑艺是自然人
1-1-1-2王海虹是自然人
1-2沈红是自然人
1-3徐初友是自然人
1-4徐斌是自然人
1-5戚建忠是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
长兴青鸟各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间湖州长兴青鸟麦科股自有或自
1-1长兴青鸟2021-06-02货币
权投资有限公司筹资金自有或自
1-2沈红长兴青鸟2021-06-02货币
筹资金
755中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间自有或自
1-3徐初友长兴青鸟2021-06-02货币
筹资金自有或自
1-4徐斌长兴青鸟2021-06-02货币
筹资金自有或自
1-5戚建忠长兴青鸟2021-06-02货币
筹资金
18、青岛东证
（1）最终持有人情况
青岛东证的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1重庆渝富控股集团有限公司是国有控股
1-2上海东方证券资本投资有限公司否-
1-2-1东方证券股份有限公司是上市公司
1-3青岛青发汇金投资集团有限公司是国有控股
1-4周汉宇是自然人
1-5王蒙是自然人
1-6祝波善是自然人
1-7陈怀瑜是自然人
间接持有标的公司
1-8中新互联互通投资基金管理有限公司是股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
青岛东证各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
1-1重庆渝富控股集团
自有或自筹
青岛东证2025-06-14货币有限公司资金
1-2上海东方证券资本
自有或自筹
青岛东证2022-11-11货币投资有限公司资金青岛青发汇金投资自有或自筹
1-3青岛东证2022-11-11货币
集团有限公司资金自有或自筹
1-4周汉宇青岛东证2022-11-11货币
资金
1-5王蒙青岛东证2022-11-11货币自有或自筹
756中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间资金自有或自筹
1-6祝波善青岛东证2022-11-11货币
资金自有或自筹
1-7陈怀瑜青岛东证2022-11-11货币
资金中新互联互通投资自有或自筹
1-8青岛东证2022-11-11货币
基金管理有限公司资金
19、石溪投资
（1）最终持有人情况
石溪投资的最终持有人相关情况如下：
是否为最
层级序号姓名/名称最终持有人性质终持有人
1-1余姚舜兴创业投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-1余姚市舜欣投资有限公司否-
1-1-1-1余姚市城市建设投资发展有限公司否-
1-1-1-1-1宁波舜建集团有限公司否-
间接持有标的公司股
1-1-1-1-1-1工银金融资产投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-1-1-1-2余姚市舜财投资控股集团有限公司否-
1-1-1-1-1-2-1余姚市国有资产管理中心是党政机构
1-1-1-1-1-2-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-1-1-2浙江余姚工业园区开发建设投资有限公司否-
1-1-1-2-1余姚工业园区产业发展集团有限公司否-
1-1-1-2-1-1余姚市金瑞投资集团有限公司是国有控股
1-1-1-3宁波舜通集团有限公司否-
1-1-1-3-1余姚市舜财投资控股集团有限公司否重复，详见1-1-1-1-1-2
间接持有标的公司股
1-1-1-3-2中银金融资产投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-1-4宁波舜农集团有限公司否-
1-1-1-4-1宁波舜瑞产业控股集团有限公司否-
1-1-1-4-1-1余姚市舜财投资控股集团有限公司否重复，详见1-1-1-1-1-2
1-1-1-5中意宁波生态园控股集团有限公司否-
1-1-1-5-1宁波前湾发展有限公司是国有控股
1-1-1-5-2农银金融资产投资有限公司是间接持有标的公司股
757中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最
层级序号姓名/名称最终持有人性质终持有人
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-1-5-3中银金融资产投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-1-6余姚市高铁站场建设投资有限公司否-
1-1-1-6-1余姚市融湾建设集团有限公司否-
1-1-1-6-1-1余姚市金瑞投资集团有限公司是国有控股
1-1-1-7浙江机器人产业集团有限公司否-
1-1-1-7-1余姚市姚江科技投资开发有限公司是国有控股
间接持有标的公司股
1-1-1-8余姚市阳明文化旅游集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-1-9余姚市舜财投资控股集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-1-10余姚市工业（中小企业）投资发展有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-1-11余姚市牟山湖开发有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-2宁波燕创宸坤创业投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-2-1宁波燕创厚德投资集团有限公司否-
1-1-2-1-1刘增是自然人
1-1-2-1-2邱宏君是自然人
1-1-2-2方叶盛是自然人
1-1-2-3王跃旦是自然人
1-1-2-4何丽是自然人
1-1-2-5叶晓波是自然人
1-1-2-6徐荣南是自然人
1-1-2-7赵焕锋是自然人
1-1-2-8高炎康是自然人
间接持有标的公司股
1-1-2-9余姚市松乐投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-2-10吴利敏是自然人
1-1-2-11杜坚鲜是自然人
1-1-2-12毛国平是自然人
1-1-2-13沈建江是自然人
1-1-2-14罗建元是自然人
1-1-2-15黄爱芬是自然人
758中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最层级序号姓名名称最终持有人性质终持有人间接持有标的公司股
1-1-2-16宁波姚商燕创私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-3宁波燕创晨乾创业投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-3-1方海明是自然人
1-1-3-2高文铭是自然人
1-1-3-3孙斌是自然人
间接持有标的公司股
1-1-3-4宁波舜韵集团有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-3-5吴利敏是自然人
1-1-3-6周寅是自然人
1-1-3-7黄爱芬是自然人
1-1-3-8王华军是自然人
1-1-3-9任照萍是自然人
1-1-3-10张丽芬是自然人
1-1-3-11褚士陆是自然人
间接持有标的公司股
1-1-3-12宁波世茂投资控股有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-3-13浙江余慈建设集团有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-3-14宁波久事科工贸发展有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-3-15李永斌是自然人
1-1-3-16陈晓蓉是自然人
1-1-3-17倪晓锋是自然人
1-1-3-18沈建江是自然人
1-1-3-19张锡璐是自然人
间接持有标的公司股
1-1-3-20余姚市松乐投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-3-21杨军是自然人
1-1-3-22沈吉明是自然人
1-1-3-23宋方莹是自然人
1-1-3-24叶哲宇是自然人
1-1-3-25倪诗娴是自然人
1-1-3-26滕炜是自然人
1-1-3-27宁波姚商燕创私募基金管理有限公司是间接持有标的公司股
759中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最层级序号姓名名称最终持有人性质终持有人
权比例低于0.01%
1-1-4宁波银舜创业投资合伙企业（有限合伙）否-
间接持有标的公司股
1-1-4-1宁波世茂投资控股有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-4-2邵峥是自然人
1-1-4-3叶晓波是自然人
间接持有标的公司股
1-1-4-4宁波市奔田农机销售有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-4-5姚林飞是自然人
1-1-4-6吴利敏是自然人
1-1-4-7韩素明是自然人
间接持有标的公司股
1-1-4-8宁波农银投资管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-5宁波姚商燕创私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-2宁波燕创宸元创业投资合伙企业（有限合伙）否-
1-2-1张信良是自然人
1-2-2陈荣平是自然人
1-2-3西藏天资国融投资有限公司否-
1-2-3-1宋然是自然人
1-2-3-2宋欢是自然人
1-2-4黄徐华是自然人
1-2-5任照萍是自然人
1-2-6何丽是自然人
1-2-7李仲卓是自然人
1-2-8沈建江是自然人
1-2-9黄爱芬是自然人
间接持有标的公司股
1-2-10宁波世茂投资控股有限公司是
权比例低于0.01%
1-2-11郭成威是自然人
1-2-12王华军是自然人
1-2-13李蔚是自然人
1-2-14叶丽炳是自然人
1-2-15张锡璐是自然人
1-2-16叶辽宁是自然人
760中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最
层级序号姓名/名称最终持有人性质终持有人
1-2-17陈晓英是自然人
1-2-18陈海波是自然人
1-2-19顾小华是自然人
1-2-20王琳是自然人
1-2-21周寅是自然人
1-2-22李思静是自然人
1-2-23叶哲宇是自然人
1-2-24夏子芬是自然人
1-2-25陶蓉是自然人
间接持有标的公司股
1-2-26宁波姚商燕创私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-3宁波市创业投资引导基金管理有限公司否-
1-3-1宁波工业投资集团有限公司否-
1-3-1-1宁波通商控股集团有限公司是国有控股
1-3-1-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-4高文铭是自然人
1-5石溪澜洵（厦门）投资合伙企业（有限合伙）否-
间接持有标的公司股
1-5-1北京石溪清流私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-5-2朱正是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
石溪投资各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间余姚舜兴创业投自有或自1-1资合伙企业（有石溪投资2023-02-23货币筹资金限合伙）余姚市舜欣投资余姚舜兴创业投资合自有或自
1-1-12023-04-23货币
有限公司伙企业（有限合伙）筹资金宁波燕创宸坤创余姚舜兴创业投资合自有或自
1-1-2业投资合伙企业2022-12-13货币
伙企业（有限合伙）筹资金（有限合伙）宁波燕创宸坤创业投宁波燕创厚德投自有或自1-1-2-1资合伙企业（有限合2024-10-16货币资集团有限公司筹资金
伙）
761中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-2方叶盛资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-3王跃旦资合伙企业（有限合2022-07-22货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-4何丽资合伙企业（有限合2025-01-24货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-5叶晓波资合伙企业（有限合2024-10-16货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-6徐荣南资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-7赵焕锋资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-8高炎康资合伙企业（有限合2022-07-22货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投余姚市松乐投资自有或自1-1-2-9资合伙企业（有限合2023-05-12货币有限公司筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-10吴利敏资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-11杜坚鲜资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-12毛国平资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-13沈建江资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-14罗建元资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-15黄爱芬资合伙企业（有限合2023-05-12货币筹资金
伙）
762中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波姚商燕创私宁波燕创宸坤创业投自有或自1-1-2-16募基金管理有限资合伙企业（有限合2021-12-13货币筹资金公司伙）宁波燕创晨乾创余姚舜兴创业投资合自有或自
1-1-3业投资合伙企业2022-12-13货币
伙企业（有限合伙）筹资金（有限合伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-1方海明资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-2高文铭资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-3孙斌资合伙企业（有限合2023-01-06货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投宁波舜韵集团有自有或自1-1-3-4资合伙企业（有限合2023-01-06货币限公司筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-5吴利敏资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-6周寅资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-7黄爱芬资合伙企业（有限合2022-05-20货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-8王华军资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-9任照萍资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-10张丽芬资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-11褚士陆资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投宁波世茂投资控自有或自1-1-3-12资合伙企业（有限合2022-05-20货币股有限公司筹资金
伙）
763中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波燕创晨乾创业投浙江余慈建设集自有或自1-1-3-13资合伙企业（有限合2022-05-20货币团有限公司筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投宁波久事科工贸自有或自1-1-3-14资合伙企业（有限合2021-12-27货币发展有限公司筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-15李永斌资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-16陈晓蓉资合伙企业（有限合2023-01-06货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-17倪晓锋资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-18沈建江资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-19张锡璐资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投余姚市松乐投资自有或自1-1-3-20资合伙企业（有限合2023-01-06货币有限公司筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-21杨军资合伙企业（有限合2023-01-06货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-22沈吉明资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-23宋方莹资合伙企业（有限合2020-10-22货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-24叶哲宇资合伙企业（有限合2021-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-25倪诗娴资合伙企业（有限合2022-05-20货币筹资金
伙）宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-26滕炜资合伙企业（有限合2023-01-06货币筹资金
伙）
764中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间宁波姚商燕创私宁波燕创晨乾创业投自有或自1-1-3-27募基金管理有限资合伙企业（有限合2018-08-08货币筹资金公司伙）宁波银舜创业投
余姚舜兴创业投资合2022-03-03自有或自1-1-4资合伙企业（有货币伙企业（有限合伙）筹资金限合伙）宁波世茂投资控宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-12021-11-25货币
股有限公司伙企业（有限合伙）筹资金宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-2邵峥2021-11-25货币
伙企业（有限合伙）筹资金宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-3叶晓波2021-11-25货币
伙企业（有限合伙）筹资金宁波市奔田农机宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-42021-11-25货币
销售有限公司伙企业（有限合伙）筹资金宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-5姚林飞2021-11-25货币
伙企业（有限合伙）筹资金宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-6吴利敏2021-11-25货币
伙企业（有限合伙）筹资金宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-7韩素明2021-11-25货币
伙企业（有限合伙）筹资金宁波农银投资管宁波银舜创业投资合自有或自
1-1-4-82021-11-25货币
理有限公司伙企业（有限合伙）筹资金宁波姚商燕创私余姚舜兴创业投资合自有或自
1-1-5募基金管理有限2021-09-01货币
伙企业（有限合伙）筹资金公司宁波燕创宸元创自有或自
1-2业投资合伙企业石溪投资2023-02-23货币
筹资金（有限合伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-1张信良资合伙企业（有限合2023-02-23货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-2陈荣平资合伙企业（有限合2023-02-23货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投西藏天资国融投自有或自1-2-3资合伙企业（有限合2022-12-22货币资有限公司筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-4黄徐华资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自
1-2-5任照萍2023-02-23货币资合伙企业（有限合筹资金
765中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-6沈建江资合伙企业（有限合2023-02-23货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-7黄爱芬资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-8李仲卓资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-9何丽资合伙企业（有限合2023-02-23货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投宁波世茂投资控自有或自1-2-10资合伙企业（有限合2026-01-14货币股有限公司筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-11郭成威资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-12王华军资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-13李蔚资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-14叶丽炳资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-15张锡璐资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-16叶辽宁资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-17陈晓英资合伙企业（有限合2023-12-27货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-18陈海波资合伙企业（有限合2023-02-23货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自
1-2-19顾小华2026-01-14货币资合伙企业（有限合筹资金
766中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-20王琳资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-21周寅资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-22李思静资合伙企业（有限合2025-10-21货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-23叶哲宇资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-24夏子芬资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-25陶蓉资合伙企业（有限合2026-01-14货币筹资金
伙）宁波姚商燕创私宁波燕创宸元创业投自有或自1-2-26募基金管理有限资合伙企业（有限合2021-12-13货币筹资金公司伙）宁波市创业投资自有或自
1-3引导基金管理有石溪投资2023-02-23货币
筹资金限公司自有或自
1-4高文铭石溪投资2023-02-23货币
筹资金
石溪澜洵（厦门）自有或自
1-5投资合伙企业石溪投资2023-02-23货币
筹资金（有限合伙）
北京石溪清流私石溪澜洵（厦门）投自有或自1-5-1募基金管理有限资合伙企业（有限合2022-05-13货币筹资金公司伙）
石溪澜洵（厦门）投自有或自1-5-2朱正资合伙企业（有限合2022-12-07货币筹资金
伙）
20、江苏毅达
（1）最终持有人情况
767中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
江苏毅达的最终持有人相关情况如下：
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-1国家中小企业发展基金有限公司否-
1-1-1中华人民共和国财政部是党政机构
1-1-2中国烟草总公司是全民所有制企业
1-1-3上海国盛（集团）有限公司是国有控股
1-1-4上海浦东科创集团有限公司否-
上海市浦东新区国有资产监督管理委员
1-1-4-1是党政机构
会
1-1-4-2上海市财政局是党政机构
1-1-5中国人寿保险股份有限公司是上市公司
1-1-6上海申能诚毅股权投资有限公司否-
1-1-6-1申能（集团）有限公司否-
1-1-6-1-1上海市国有资产监督管理委员会是党政机构
间接持有标的公司股
1-1-7成都市产业引导股权投资基金有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-8北京赛普工信投资管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-9间接持有标的公司股民生加银资产管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-10间接持有标的公司股中国人民人寿保险股份有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-11中国工信出版传媒集团有限责任公司是国有控股
1-1-12中国人民财产保险股份有限公司是上市公司
1-1-13山高辉石（济南）股权投资基金中心（有间接持有标的公司股是限合伙）权比例低于0.01%1-1-14合肥南方国正创业投资合伙企业（有限间接持有标的公司股是合伙）权比例低于0.01%
1-1-15间接持有标的公司股易方达私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-16间接持有标的公司股中国人民健康保险股份有限公司是
权比例低于0.01%
1-2江苏高科技投资集团有限公司否-
1-2-1江苏省人民政府是党政机构
1-2-2江苏交通控股有限公司是国有控股
1-2-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-2-4江苏省农垦集团有限公司是国有控股
1-2-5徐州矿务集团有限公司是国有控股
768中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-3南京市雨花台区创新投资基金合伙企业否-（有限合伙）
1-3-1南京市雨花台区财政局是党政机构
1-3-2间接持有标的公司股江苏毅达股权投资基金管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-4南京毅达中小壹号创业投资合伙企业否-（有限合伙）
1-4-1间接持有标的公司股泰州润润企业管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-4-2陈亚峰是自然人
1-4-3林梦菱是自然人
1-4-4何淼是自然人
1-4-5间接持有标的公司股溧阳市恒泰实业投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-4-6间接持有标的公司股江苏溧源兴伟投资管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-4-7李水清是自然人
1-4-8宋微是自然人
1-4-9丁昌松是自然人
1-4-10刁建明是自然人
1-4-11殷明仙是自然人
1-4-12宋小英是自然人
1-4-13王蓉是自然人
1-4-14南通市通州区东升农村小额贷款有限公间接持有标的公司股是
司权比例低于0.01%
1-4-15黄培争是自然人
1-4-16施嫄是自然人
1-4-17乔久华是自然人
1-4-18李凌云是自然人
1-4-19李风英是自然人1-4-20南京赢创未来企业管理合伙企业（有限间接持有标的公司股是合伙）权比例低于0.01%
1-4-21朱兴静是自然人
1-4-22周伊凡是自然人
1-4-23胡恺熙是自然人
1-4-24潘玉玲是自然人
1-4-25南京毅达汇中创业投资管理合伙企业间接持有标的公司股是（有限合伙）权比例低于0.01%
769中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终层级序号姓名名称最终持有人性质持有人
1-5南京毅达贰号中小创业投资合伙企业否-（有限合伙）
1-5-1华辰精密装备（昆山）股份有限公司是上市公司
1-5-2间接持有标的公司股江苏新潮创新投资集团有限公司是
权比例低于0.01%
1-5-3间接持有标的公司股成都交子资本管理（集团）有限公司是
权比例低于0.01%
1-5-4王胜浩是自然人
1-5-5王健忠是自然人
1-5-6四川天府新区天升坤祥股权投资基金合间接持有标的公司股是
伙企业（有限合伙）权比例低于0.01%
1-5-7谷俊是自然人
1-5-8张越是自然人
1-5-9时宏珍是自然人
1-5-10周思远是自然人
1-5-11沈丽阳是自然人
1-5-12王文是自然人
1-5-13佘威是自然人
1-5-14王伟杰是自然人
1-5-15陆蕾是自然人
1-5-16蒋利是自然人
1-5-17杨巧龙是自然人
1-5-18傅仕琴是自然人
1-5-19吴侠是自然人
1-5-20魏芸是自然人
1-5-21丁昌松是自然人
1-5-22王漫江是自然人
1-5-23间接持有标的公司股南京舜航物资有限公司是
权比例低于0.01%
1-5-24孙玉珍是自然人
1-5-25南京毅达汇中创业投资管理合伙企业间接持有标的公司股是（有限合伙）权比例低于0.01%
1-6江苏省政府投资基金（有限合伙）否-
1-6-1江苏省财政厅是党政机构
间接持有标的公司股
1-6-2江苏金财投资有限公司是
权比例低于0.01%
1-7江苏凤凰出版传媒集团有限公司是国有控股
770中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-8南京毅达汇员中小企业创业投资合伙企否-业（有限合伙）
1-8-1黄忠海是自然人
间接持有标的公司股
1-8-2南京首创水务有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-8-3南京毅达资本管理企业（有限合伙）是
权比例低于0.01%
1-8-4尤劲柏是自然人
1-8-5厉永兴是自然人
1-8-6张东阳是自然人
1-8-7朱杰是自然人
1-8-8顾宇轩是自然人
1-8-9果桐是自然人
1-8-10徐杜渐是自然人
1-8-11李琰是自然人
1-8-12朱凤娇是自然人
1-8-13钱竞是自然人
1-8-14沈志国是自然人
1-8-15吴志刚是自然人
1-8-16葛恒峰是自然人
1-9西藏爱达汇承私募基金管理有限公司否-
1-9-1江苏毅达股权投资基金管理有限公司否-
间接持有标的公司股
1-9-1-1南京毅达资本管理企业（有限合伙）是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-9-1-2江苏高科技投资集团有限公司是
权比例低于0.01%南京毅达同盈企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-9-1-3是
合伙）权比例低于0.01%南京毅达同达企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-9-1-4是
合伙）权比例低于0.01%南京毅达泽贤企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-9-1-5是
合伙）权比例低于0.01%南京毅达同鑫企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-9-1-6是
合伙）权比例低于0.01%南京毅达同盛企业管理咨询中心（有限间接持有标的公司股
1-9-1-7是
合伙）权比例低于0.01%
1-10江苏省广播电视集团有限公司是国有控股
771中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终
层级序号姓名/名称最终持有人性质持有人
1-11南京毅达汇中创业投资管理合伙企业间接持有标的公司股是（有限合伙）权比例低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
江苏毅达各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间
1-1国家中小企业发江苏毅达2021-09-18自有或自筹货币
展基金有限公司资金
1-2江苏高科技投资2021-09-18自有或自筹江苏毅达货币
集团有限公司资金南京市雨花台区
1-3创新投资基金合2021-09-18自有或自筹江苏毅达货币伙企业（有限合资金伙）南京市雨花台区创
1-3-1南京市雨花台区自有或自筹新投资基金合伙企2020-05-07货币
财政局资金业（有限合伙）江苏毅达股权投南京市雨花台区创
1-3-2自有或自筹资基金管理有限新投资基金合伙企2020-05-07货币
资金
公司业（有限合伙）南京毅达中小壹
1-42021-09-18自有或自筹号创业投资合伙江苏毅达货币
资金企业（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-1泰州润润企业管自有或自筹创业投资合伙企业2021-08-24货币
理有限公司资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-2自有或自筹陈亚峰创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-3林梦菱创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-4自有或自筹何淼创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-5溧阳市恒泰实业创业投资合伙企业2023-03-15自有或自筹货币
投资有限公司资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-6江苏溧源兴伟投创业投资合伙企业2023-03-15自有或自筹货币
资管理有限公司资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-7李水清创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）
1-4-8南京毅达中小壹号宋微2021-08-24自有或自筹货币
创业投资合伙企业资金
772中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-9自有或自筹丁昌松创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-10自有或自筹刁建明创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-11殷明仙创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-12自有或自筹宋小英创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-13王蓉创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南通市通州区东南京毅达中小壹号
1-4-14自有或自筹升农村小额贷款创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金
有限公司（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-15自有或自筹黄培争创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-16自有或自筹施嫄创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-17自有或自筹乔久华创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-18自有或自筹李凌云创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-19李风英创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京赢创未来企南京毅达中小壹号
1-4-20自有或自筹业管理合伙企业创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）（有限合伙）南京赢创未来企业1-4-20-1叶培管理合伙企业（有2023-11-02自有或自筹货币资金限合伙）南京赢创未来企业1-4-20-2冯家美管理合伙企业（有2023-11-28自有或自筹货币资金限合伙）南京赢创未来企业1-4-20-3王晓春管理合伙企业（有2021-08-17自有或自筹货币资金限合伙）
1-4-20-4田原南京赢创未来企业2021-08-17货币自有或自筹
773中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间管理合伙企业（有资金限合伙）南京赢创未来企业1-4-20-5自有或自筹张曙云管理合伙企业（有2021-08-17货币资金限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-21朱兴静创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-22周伊凡创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-23胡恺熙创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达中小壹号
1-4-24自有或自筹潘玉玲创业投资合伙企业2024-07-15货币
资金（有限合伙）南京毅达汇中创南京毅达中小壹号
1-4-25业投资管理合伙创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）（有限合伙）西藏爱达汇承私南京毅达汇中创业
1-4-25-12021-07-30自有或自筹募基金管理有限投资管理合伙企业货币
资金公司（有限合伙）江苏毅达股权投南京毅达汇中创业
1-4-25-2自有或自筹资基金管理有限投资管理合伙企业2021-07-30货币
资金公司（有限合伙）南京毅达贰号中
1-5小创业投资合伙江苏毅达2021-09-18自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达贰号中小1-5-1华辰精密装备（昆自有或自筹创业投资合伙企业2021-08-24货币山）股份有限公司资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-2江苏新潮创新投创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资集团有限公司资金（有限合伙）成都交子资本管南京毅达贰号中小
1-5-3自有或自筹理（集团）有限公创业投资合伙企业2024-01-10货币
资金司（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-42021-08-24自有或自筹王胜浩创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-5自有或自筹王健忠创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）四川天府新区天南京毅达贰号中小
1-5-6升坤祥股权投资自有或自筹创业投资合伙企业2026-01-09货币基金合伙企业（有资金（有限合伙）限合伙）
774中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间四川天府新区天升四川天府新区天
1-5-6-1坤祥股权投资基金自有或自筹宜泽鑫投资合伙2022-10-31货币合伙企业（有限合资金企业（有限合伙）
伙）四川天府新区天宜
1-5-6-1-1成都科学城创业2022-08-18自有或自筹泽鑫投资合伙企业货币
投资有限公司资金（有限合伙）四川天府新区天四川天府新区天宜
1-5-6-1-2自有或自筹沃投资有限责任泽鑫投资合伙企业2022-08-18货币
资金公司（有限合伙）四川天府新区天升四川天府新区天
1-5-6-2坤祥股权投资基金2022-10-31自有或自筹沃投资有限责任货币合伙企业（有限合资金公司
伙）南京毅达贰号中小
1-5-7自有或自筹谷俊创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-82023-03-15自有或自筹张越创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-9自有或自筹时宏珍创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-10周思远创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-11自有或自筹沈丽阳创业投资合伙企业2023-03-15货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-12自有或自筹王文创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-13佘威创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-14自有或自筹王伟杰创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-15自有或自筹陆蕾创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-162021-08-24自有或自筹蒋利创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-17自有或自筹杨巧龙创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）
775中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间南京毅达贰号中小
1-5-18自有或自筹傅仕琴创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-19自有或自筹吴侠创业投资合伙企业2024-01-10货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-20自有或自筹魏芸创业投资合伙企业2024-01-10货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-21自有或自筹丁昌松创业投资合伙企业2024-01-10货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-22自有或自筹王漫江创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-23南京舜航物资有创业投资合伙企业2021-08-24自有或自筹货币
限公司资金（有限合伙）南京毅达贰号中小
1-5-242021-08-24自有或自筹孙玉珍创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达汇中创南京毅达贰号中小
1-5-25自有或自筹业投资管理合伙创业投资合伙企业2021-08-24货币
资金企业（有限合伙）（有限合伙）西藏爱达汇承私南京毅达汇中创业
1-5-25-1自有或自筹募基金管理有限投资管理合伙企业2021-07-30货币
资金公司（有限合伙）江苏毅达股权投南京毅达汇中创业
1-5-25-22021-07-30自有或自筹资基金管理有限投资管理合伙企业货币
资金公司（有限合伙）
1-6江苏省政府投资自有或自筹江苏毅达2021-09-18货币基金（有限合伙）资金
1-6-1江苏省政府投资基2015-09-25自有或自筹江苏省财政厅货币金（有限合伙）资金
1-6-2江苏金财投资有江苏省政府投资基2015-09-25自有或自筹货币
限公司金（有限合伙）资金
1-7江苏凤凰出版传2021-09-18自有或自筹江苏毅达货币
媒集团有限公司资金南京毅达汇员中
1-8小企业创业投资江苏毅达2021-09-18自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）南京毅达汇员中小
1-8-1黄忠海企业创业投资合伙2021-08-23自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-2南京首创水务有自有或自筹企业创业投资合伙2025-06-04货币
限公司资金企业（有限合伙）
776中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间南京毅达资本管南京毅达汇员中小1-8-3自有或自筹理企业（有限合企业创业投资合伙2021-08-23货币资金
伙）企业（有限合伙）
1-8-3-1南京毅达资本管理应文禄2017-07-12自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-2南京毅达资本管理自有或自筹尤劲柏2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-3南京毅达资本管理自有或自筹周春芳2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-4南京毅达资本管理黄韬2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-5南京毅达资本管理樊利平2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-6南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹史云中货币企业（有限合伙）资金
1-8-3-7南京毅达投资管南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹货币
理有限公司企业（有限合伙）资金南京毅达汇员中小
1-8-4自有或自筹尤劲柏企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-5自有或自筹厉永兴企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-6张东阳企业创业投资合伙2021-08-23自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-7朱杰企业创业投资合伙2021-08-23自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-8自有或自筹顾宇轩企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-9果桐企业创业投资合伙2021-08-23自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-10自有或自筹徐杜渐企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-11自有或自筹李琰企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-122021-08-23自有或自筹朱凤娇企业创业投资合伙货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-13自有或自筹钱竞企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）
777中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源体权益的时间南京毅达汇员中小
1-8-14自有或自筹沈志国企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-15吴志刚企业创业投资合伙2021-08-23自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）南京毅达汇员中小
1-8-16自有或自筹葛恒峰企业创业投资合伙2021-08-23货币
资金企业（有限合伙）西藏爱达汇承私
1-9自有或自筹募基金管理有限江苏毅达2021-09-18货币
资金公司
1-10江苏省广播电视2021-09-18自有或自筹江苏毅达货币
集团有限公司资金南京毅达汇中创
1-11自有或自筹业投资管理合伙江苏毅达2021-09-18货币
资金企业（有限合伙）西藏爱达汇承私南京毅达汇中创业
1-11-1募基金管理有限投资管理合伙企业2021-07-30自有或自筹货币
资金公司（有限合伙）江苏毅达股权投南京毅达汇中创业
1-11-2自有或自筹资基金管理有限投资管理合伙企业2021-07-30货币
资金公司（有限合伙）
21、朗玛六十三号
（1）最终持有人情况
朗玛六十三号的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1柳晴是自然人
1-2仇雯是自然人
1-3陈小萍是自然人
1-4潘咏梅是自然人
1-5李娇娥是自然人
1-6马庆年是自然人
1-7吴晓婷是自然人
1-8贺乃新是自然人
1-9朗玛峰创业投资有限公司否-
1-9-1肖建聪是自然人
1-9-2王玉平是自然人
778中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-10丁洁平是自然人
1-11佟涵词是自然人
1-12刘晓春是自然人
1-13刘沙沙是自然人
1-14匡燕平是自然人
1-15叶秦是自然人
1-16吴伟庆是自然人
1-17常春是自然人
1-18张利军是自然人
1-19张天慧是自然人
1-20张晓辉是自然人
1-21张黎明是自然人
1-22徐丽欣是自然人
1-23李军是自然人
1-24李文魁是自然人
1-25李爱侠是自然人
1-26李翠娥是自然人
1-27李雨辰是自然人
1-28杨爱民是自然人
1-29梁天明是自然人
1-30汪沁是自然人
1-31牟冬是自然人
1-32王全礼是自然人
1-33王宏刚是自然人
1-34王明华是自然人
1-35王春燕是自然人
1-36田连香是自然人
1-37石桂兰是自然人
1-38纪福清是自然人
1-39纪芳是自然人
1-40罗恒是自然人
1-41罗耀平是自然人
1-42董俊红是自然人
779中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-43薛宝军是自然人
1-44解靖是自然人
1-45赖子连是自然人
1-46赵小海是自然人
1-47郑丽是自然人
1-48郝荣梅是自然人
1-49陈真是自然人
1-50高彩虹是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
朗玛六十三号各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
层级序合伙人姓名/名取得下一层主体下一层主体出资方式资金来源号称权益的时间
1-1柳晴朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-22022-06-28自有或自筹资仇雯朗玛六十三号货币
金
1-3陈小萍朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-42022-06-28自有或自筹资潘咏梅朗玛六十三号货币
金
1-52024-12-17自有或自筹资李娇娥朗玛六十三号货币
金
1-6马庆年朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-7吴晓婷朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-82022-06-28自有或自筹资贺乃新朗玛六十三号货币
金
1-9朗玛峰创业投自有或自筹资朗玛六十三号2022-01-07货币
资有限公司金
1-10自有或自筹资丁洁平朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-11佟涵词朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-12刘晓春朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-13自有或自筹资刘沙沙朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-14匡燕平朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-15自有或自筹资叶秦朗玛六十三号2022-06-28货币
金
780中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序合伙人姓名/名取得下一层主体下一层主体出资方式资金来源号称权益的时间
1-16吴伟庆朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-17常春朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-18自有或自筹资张利军朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-19张天慧朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-20张晓辉朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-21张黎明朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-22徐丽欣朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-23自有或自筹资李军朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-24自有或自筹资李文魁朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-25自有或自筹资李爱侠朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-26李翠娥朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-27李雨辰朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-28自有或自筹资杨爱民朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-29梁天明朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-30自有或自筹资汪沁朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-31牟冬朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-32王全礼朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-33自有或自筹资王宏刚朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-34自有或自筹资王明华朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-35自有或自筹资王春燕朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-36田连香朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-37石桂兰朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-38自有或自筹资纪福清朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-39自有或自筹资纪芳朗玛六十三号2022-06-28货币
金
781中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序合伙人姓名/名取得下一层主体下一层主体出资方式资金来源号称权益的时间
1-40自有或自筹资罗恒朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-41罗耀平朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-422022-06-28自有或自筹资董俊红朗玛六十三号货币
金
1-432022-06-28自有或自筹资薛宝军朗玛六十三号货币
金
1-44解靖朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-45自有或自筹资赖子连朗玛六十三号2022-06-28货币
金
1-462022-06-28自有或自筹资赵小海朗玛六十三号货币
金
1-47郑丽朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-48郝荣梅朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-49陈真朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
1-50高彩虹朗玛六十三号2022-06-28自有或自筹资货币
金
22、江苏中小基金
（1）最终持有人情况
江苏中小基金的最终持有人相关情况如下：
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人江苏毅达中小企业发展基金（有限合
1-1否-
伙）
1-1-1江苏高科技投资集团有限公司否-
1-1-1-1江苏省人民政府是党政机构
1-1-1-2江苏交通控股有限公司是国有控股
1-1-1-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-1-1-4江苏省农垦集团有限公司是国有控股
1-1-1-5徐州矿务集团有限公司是国有控股
天津正和嘉康创业投资基金合伙企
1-1-2否-业（有限合伙）
1-1-2-1王道胜是自然人
1-1-2-2蒋腾志是自然人
782中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终持层级序号姓名名称最终持有人性质有人间接持有标的公司股
1-1-2-3上海融儒投资管理中心（有限合伙）是
权比例低于0.01%
1-1-3徐晓燕是自然人
1-1-4张建忠是自然人
1-1-5徐进东是自然人
1-1-6张卫是自然人
西藏爱达汇承私募基金管理有限公间接持有标的公司股
1-1-7是
司权比例低于0.01%
1-1-8交银国际信托有限公司是国有控股
四川天府新区天升坤祥股权投资基间接持有标的公司股
1-1-9是
金合伙企业（有限合伙）权比例低于0.01%
1-1-10樊庆龙是自然人
1-1-11秦枫是自然人
1-1-12蒋万建是自然人
间接持有标的公司股
1-1-13江苏青和投资管理有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-14王志成是自然人
间接持有标的公司股
1-1-15江苏洁瑞达信息科技有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-16江苏扬杰投资有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-17西安中瑞滨湖酒店管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-18宿迁市新星投资有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-19深圳东西海岸投资管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-1-20扬州市金海科技小额贷款有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-21何淼是自然人
1-1-22余安林是自然人
1-1-23倪振宇是自然人
1-1-24宋文娟是自然人
1-1-25左洪波是自然人
1-1-26应悦生是自然人
1-1-27张劲松是自然人
1-1-28张源是自然人
783中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人
1-1-29张红月是自然人
1-1-30李和印是自然人
1-1-31李玉红是自然人
1-1-32王平是自然人
1-1-33程琦是自然人
1-1-34童俊峰是自然人
1-1-35邱成双是自然人
1-1-36陆蕾是自然人
1-1-37陈正凤是自然人
1-1-38陈达是自然人
1-1-39黄维江是自然人
1-1-40尹秋明是自然人
间接持有标的公司股
1-1-41南京舜业金属材料有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-42陈子晴是自然人
1-1-43丁昌松是自然人
间接持有标的公司股
1-1-44江苏海讯科技有限公司是
权比例低于0.01%
1-1-45史新是自然人
1-1-46蒋利是自然人
1-1-47顾益民是自然人
1-1-48赵烜是自然人
1-1-49焦宗田是自然人
江苏毅达股权投资基金管理有限公间接持有标的公司股
1-1-50是
司权比例低于0.01%
1-2国家中小企业发展基金有限公司否-
1-2-1中华人民共和国财政部是党政机构
1-2-2中国烟草总公司是全民所有制企业
1-2-3上海国盛（集团）有限公司是国有控股
1-2-4上海浦东科创集团有限公司是国有控股
1-2-5中国人寿保险股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司股
1-2-6上海申能诚毅股权投资有限公司是
权比例低于0.01%成都市产业引导股权投资基金有限间接持有标的公司股
1-2-7是
公司权比例低于0.01%
784中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人间接持有标的公司股
1-2-8北京赛普工信投资管理有限公司是
权比例低于0.01%民生加银资产管理有限公司间接持有标的公司股
1-2-9是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-2-10中国人民人寿保险股份有限公司是
权比例低于0.01%中国工信出版传媒集团有限责任公
1-2-11是国有控股
司
1-2-12中国人民财产保险股份有限公司是上市公司
山高辉石（济南）股权投资基金中心间接持有标的公司股
1-2-13是（有限合伙）权比例低于0.01%合肥南方国正创业投资合伙企业（有间接持有标的公司股
1-2-14是限合伙）权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-2-15易方达私募基金管理有限公司是
权比例低于0.01%间接持有标的公司股
1-2-16中国人民健康保险股份有限公司是
权比例低于0.01%
1-3江苏省政府投资基金（有限合伙）否-
1-3-1江苏省财政厅是党政机构
1-3-2江苏金财投资有限公司是国有控股
1-4太平财产保险有限公司否-
1-4-1中国太平保险控股有限公司是上市公司
间接持有标的公司股
1-4-2龙璧工业区管理（深圳）有限公司是
权比例低于0.01%江苏毅达股权投资基金管理有限公间接持有标的公司股
1-5是
司权比例低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
江苏中小基金各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主出资方层级序号合伙人姓名名称下一层主体资金来源体权益的时间式江苏毅达中小企业1-1自有或自筹发展基金（有限合江苏中小基金2016-11-04货币资金
伙）
1-1-1江苏高科技投资集江苏毅达中小企业发2016-08-30自有或自筹货币
团有限公司展基金（有限合伙）资金天津正和嘉康创业
1-1-2江苏毅达中小企业发2025-02-28自有或自筹投资基金合伙企业货币
展基金（有限合伙）资金（有限合伙）
1-1-2-1王道胜天津正和嘉康创业投2024-08-09货币自有或自筹
785中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式资基金合伙企业（有限资金合伙）天津正和嘉康创业投1-1-2-2自有或自筹蒋腾志资基金合伙企业（有限2024-08-09货币资金
合伙）天津正和嘉康创业投1-1-2-3上海融儒投资管理资基金合伙企业（有限2024-08-09自有或自筹货币中心（有限合伙）资金
合伙）
1-1-2-3-1上海融儒投资管理中朱晖2015-07-13自有或自筹货币心（有限合伙）资金
1-1-2-3-2上海融儒投资管理中2015-07-13自有或自筹朱雷货币心（有限合伙）资金
1-1-3江苏毅达中小企业发徐晓燕2023-03-06自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-4江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹张建忠货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-5江苏毅达中小企业发自有或自筹徐进东2017-02-15货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-6江苏毅达中小企业发自有或自筹张卫2017-02-15货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-7西藏爱达汇承私募江苏毅达中小企业发2019-12-09自有或自筹货币
基金管理有限公司展基金（有限合伙）资金
1-1-8交银国际信托有限江苏毅达中小企业发2023-03-06自有或自筹货币
公司展基金（有限合伙）资金四川天府新区天升坤祥股权投资基金江苏毅达中小企业发
1-1-92023-03-06
自有或自筹货币
合伙企业（有限合展基金（有限合伙）资金
伙）四川天府新区天宜四川天府新区天升坤
1-1-9-1泽鑫投资合伙企业祥股权投资基金合伙2022-10-31
自有或自筹货币资金（有限合伙）企业（有限合伙）四川天府新区天宜泽成都科学城创业投1-1-9-1-12022-08-18自有或自筹鑫投资合伙企业（有限货币资有限公司资金
合伙）四川天府新区天宜泽四川天府新区天沃1-1-9-1-2自有或自筹鑫投资合伙企业（有限2022-08-18货币投资有限责任公司资金
合伙）四川天府新区天升坤四川天府新区天沃
1-1-9-2祥股权投资基金合伙2022-10-31自有或自筹货币
投资有限责任公司资金企业（有限合伙）江苏毅达中小企业发
1-1-10樊庆龙2017-02-15
自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-11江苏毅达中小企业发自有或自筹秦枫2017-02-15货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-12江苏毅达中小企业发蒋万建2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
786中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式江苏青和投资管理江苏毅达中小企业发
1-1-132019-12-31
自有或自筹货币
有限公司展基金（有限合伙）资金
1-1-14江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹王志成货币
展基金（有限合伙）资金江苏洁瑞达信息科江苏毅达中小企业发自有或自筹
1-1-152025-02-28货币
技有限公司展基金（有限合伙）资金江苏扬杰投资有限
1-1-16江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹货币
公司展基金（有限合伙）资金西安中瑞滨湖酒店
1-1-17江苏毅达中小企业发2021-12-24自有或自筹货币
管理有限公司展基金（有限合伙）资金宿迁市新星投资有
1-1-18江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹货币
限公司展基金（有限合伙）资金深圳东西海岸投资江苏毅达中小企业发
1-1-192017-02-15
自有或自筹货币
管理有限公司展基金（有限合伙）资金
扬州市金海科技小江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹1-1-20货币
额贷款有限公司展基金（有限合伙）资金
1-1-21江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹何淼货币
展基金（有限合伙）资金
江苏毅达中小企业发2019-12-31自有或自筹1-1-22余安林货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-23江苏毅达中小企业发倪振宇2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-24江苏毅达中小企业发自有或自筹宋文娟2017-02-15货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-25江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹左洪波货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-26江苏毅达中小企业发自有或自筹应悦生2019-12-31货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-27江苏毅达中小企业发张劲松2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-28江苏毅达中小企业发张源2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-29江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹张红月货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-30江苏毅达中小企业发李和印2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金江苏毅达中小企业发自有或自筹
1-1-31李玉红2017-02-15货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-32江苏毅达中小企业发王平2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-33江苏毅达中小企业发程琦2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-34江苏毅达中小企业发童俊峰2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-35江苏毅达中小企业发邱成双2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
787中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层主出资方
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体资金来源体权益的时间式
1-1-36江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹陆蕾货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-37江苏毅达中小企业发陈正凤2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-38江苏毅达中小企业发陈达2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-39江苏毅达中小企业发2017-02-15自有或自筹黄维江货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-40江苏毅达中小企业发尹秋明2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金南京舜业金属材料
1-1-41江苏毅达中小企业发2025-02-28自有或自筹货币
有限公司展基金（有限合伙）资金
1-1-42江苏毅达中小企业发陈子晴2021-12-24自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-43江苏毅达中小企业发丁昌松2023-03-06自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金江苏海讯科技有限江苏毅达中小企业发自有或自筹
1-1-442017-02-15货币
公司展基金（有限合伙）资金
1-1-45江苏毅达中小企业发史新2017-02-15自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-46江苏毅达中小企业发蒋利2025-02-28自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-47江苏毅达中小企业发顾益民2019-12-31自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-48江苏毅达中小企业发2021-12-24自有或自筹赵烜货币
展基金（有限合伙）资金
1-1-49江苏毅达中小企业发焦宗田2020-07-24自有或自筹货币
展基金（有限合伙）资金江苏毅达股权投资
1-1-50江苏毅达中小企业发2016-08-30自有或自筹货币
基金管理有限公司展基金（有限合伙）资金
1-2国家中小企业发展江苏中小基金2020-10-19自有或自筹货币
基金有限公司资金
1-3江苏省政府投资基江苏中小基金2016-11-04自有或自筹货币金（有限合伙）资金
1-3-1江苏省政府投资基金江苏省财政厅2015-09-25自有或自筹货币（有限合伙）资金
1-3-2江苏金财投资有限江苏省政府投资基金2015-09-25自有或自筹货币公司（有限合伙）资金
1-4太平财产保险有限江苏中小基金2016-11-04自有或自筹货币
公司资金
1-5江苏毅达股权投资自有或自筹江苏中小基金2016-11-04货币
基金管理有限公司资金
23、杭州北峰
（1）最终持有人情况
788中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
杭州北峰的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1郑惠林是自然人
1-2林立是自然人
1-3许龙是自然人
1-4张如忠是自然人
1-5李柯飞翔是自然人
1-6浙江海博拓天信息科技有限公否-
司
1-6-1郑关荣是自然人
1-6-2管烨锋是自然人
1-7叶太昌是自然人
1-8王嫡嫡是自然人
1-9陆丽霞是自然人
间接持有标的公司
1-10杭州北峰私募基金管理有限公是股权比例低于
司0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
杭州北峰各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层主体权益层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源的时间
1-1自有或自筹郑惠林杭州北峰2022-12-1现金
资金
1-2林立杭州北峰2022-12-1自有或自筹现金
资金
1-3自有或自筹许龙杭州北峰2022-12-1现金
资金
1-4自有或自筹张如忠杭州北峰2022-12-1现金
资金
1-52022-12-1自有或自筹李柯飞翔杭州北峰现金
资金
1-6浙江海博拓天信杭州北峰2022-12-1自有或自筹现金
息科技有限公司资金
1-7叶太昌杭州北峰2022-12-1自有或自筹现金
资金
1-8自有或自筹王嫡嫡杭州北峰2022-12-1现金
资金
1-92022-12-1自有或自筹陆丽霞杭州北峰现金
资金
1-10杭州北峰私募基自有或自筹杭州北峰2022-08-17现金
金管理有限公司资金
789中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
24、温润贰号
（1）最终持有人情况
温润贰号的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/是否为最终最终持有人性名称持有人质
1-1温润振信贰号（珠海）股权投资基金合伙否-企业（有限合伙）
1-1-1广东温氏投资有限公司否-
1-1-1-1温氏食品集团股份有限公司是上市公司
1-1-2珠海新州精选壹号股权投资基金合伙企否-业（有限合伙）
1-1-2-1广东新州投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-2-1-1广东新州共赢投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-2-1-1-1李瑜是自然人
1-1-2-1-1-2温华健是自然人
1-1-2-1-1-3范卫朝是自然人
1-1-2-1-1-4伍时贤是自然人
1-1-2-1-1-5伍满庆是自然人
1-1-2-1-1-6温蛟龙是自然人
1-1-2-1-1-7潘爱莲是自然人
1-1-2-1-1-8王湛广是自然人
1-1-2-1-1-9秦明达是自然人
1-1-2-1-1-10陈海坚是自然人
1-1-2-1-1-11黄丽梅是自然人
1-1-2-1-1-12黄鸿基是自然人
1-1-2-1-1-13曾树华是自然人
1-1-2-1-1-14温小锐是自然人
1-1-2-1-1-15陈世杰是自然人
1-1-2-1-1-16陈瑞爱是自然人
1-1-2-1-1-17顾雄毅是自然人
1-1-2-1-1-18黄菲是自然人
1-1-2-1-1-19卢玉玲是自然人
1-1-2-1-1-20梁以菊是自然人
1-1-2-1-1-21梁朝庆是自然人
790中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-1-2-1-1-22温金石是自然人
1-1-2-1-1-23潘梓馨是自然人
1-1-2-1-1-24苏志军是自然人
1-1-2-1-1-25邝春明是自然人
1-1-2-1-1-26颜添洪是自然人
1-1-2-1-1-27魏毅是自然人
1-1-2-1-1-28温鹏程是自然人
间接持有标的
1-1-2-1-1-29新兴县粤宝源投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-1-2-1-2温均生是自然人
1-1-2-1-3严居然是自然人
1-1-2-1-4温志芬是自然人
1-1-2-1-5温鹏程是自然人
1-1-2-1-6陈浩是自然人
1-1-2-1-7广东新州共富投资合伙企业（有限合伙）否-
1-1-2-1-7-1何建乐是自然人
1-1-2-1-7-2冯品冰是自然人
1-1-2-1-7-3凌敏锐是自然人
1-1-2-1-7-4叶伟杰是自然人
1-1-2-1-7-5吴夙强是自然人
1-1-2-1-7-6吴珍芳是自然人
1-1-2-1-7-7姚绘是自然人
1-1-2-1-7-8孙佐权是自然人
1-1-2-1-7-9张海斌是自然人
1-1-2-1-7-10张细权是自然人
1-1-2-1-7-11方炳虎是自然人
1-1-2-1-7-12梁天辉是自然人
1-1-2-1-7-13梁志勇是自然人
1-1-2-1-7-14梁慧莹是自然人
1-1-2-1-7-15梁晴斐是自然人
1-1-2-1-7-16梁晴雯是自然人
1-1-2-1-7-17汪汉华是自然人
791中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-1-2-1-7-18温冰文是自然人
1-1-2-1-7-19温春鹏是自然人
1-1-2-1-7-20温淑娟是自然人
1-1-2-1-7-21温金玉是自然人
1-1-2-1-7-22谭海燕是自然人
1-1-2-1-7-23钟彩英是自然人
1-1-2-1-7-24陈健雄是自然人
1-1-2-1-7-25陈峰是自然人
1-1-2-1-7-26麦宗飞是自然人
1-1-2-1-7-27黄进伟是自然人
1-1-2-1-7-28黎子宏是自然人
1-1-2-1-7-29龚卫东是自然人
1-1-2-1-7-30温鹏程是自然人
间接持有标的
1-1-2-1-7-31新兴县粤宝源投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-1-2-1-8黎少松是自然人
1-1-2-1-9黄伯昌是自然人
1-1-2-1-10黄松德是自然人
1-1-2-1-11黎沃灿是自然人
1-1-2-1-12梁志雄是自然人
1-1-2-1-13黎少广是自然人
1-1-2-1-14温木桓是自然人
1-1-2-1-15伍翠珍是自然人
1-1-2-1-16朱桂连是自然人
1-1-2-1-17梁春梅是自然人
1-1-2-1-18严志杰是自然人
1-1-2-1-19严志豪是自然人
1-1-2-1-20何维光是自然人
1-1-2-1-21梁海航是自然人
1-1-2-1-22谢应林是自然人
1-1-2-1-23刘金发是自然人
1-1-2-1-24凌五兴是自然人
792中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/是否为最终最终持有人性名称持有人质
1-1-2-1-25林锦全是自然人
1-1-2-1-26黄玉泉是自然人
1-1-2-1-27叶炜程是自然人
1-1-2-1-28张祥斌是自然人
1-1-2-1-29冯冰钊是自然人
1-1-2-1-30伍政维是自然人
1-1-2-1-31凌子庭是自然人
1-1-2-1-32严安是自然人
1-1-2-1-33刘宗杰是自然人
1-1-2-1-34林南发是自然人
1-1-2-1-35练立雄是自然人
1-1-2-1-36郑智杨是自然人
1-1-2-1-37陈晓韵是自然人
1-1-2-1-38陈海枫是自然人
1-1-2-1-39崔国贤是自然人
1-1-2-1-40何树伟是自然人
1-1-2-1-41何树坤是自然人
1-1-2-1-42温德仁是自然人
1-1-2-1-43苏俊宇是自然人
1-1-2-1-44严广宽是自然人
1-1-2-1-45严广洪是自然人
1-1-2-1-46张小凤是自然人
1-1-2-1-47罗旭芳是自然人
间接持有标的
1-1-2-1-48新兴县粤宝源投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-1-2-2广东筠盛私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-1-3齐书政是自然人
1-1-4严广宽是自然人
1-1-5窦培成是自然人
1-1-6谭志坚是自然人
1-1-7顾云飞是自然人
793中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/是否为最终最终持有人性名称持有人质
1-1-8李钢浦是自然人
1-1-9伍尚娟是自然人
1-1-10温小锐是自然人
1-1-11王燕桃是自然人
1-1-12侯海松是自然人
1-1-13方炳虎是自然人
1-1-14谢应林是自然人
1-1-15冯品冰是自然人
1-2中山火炬科创基金管理中心（有限合伙）否-
1-2-1中山火炬公有资产经营集团有限公司是国有控股
间接持有标的
1-2-2广东南朗投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-2-3中山火炬电子产业基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-3广东温氏投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
温润贰号各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间温润振信贰号（珠海）股权
1-1自有或自筹投资基金合伙温润贰号2021-12-24货币
资金
企业（有限合伙）温润振信贰号（珠
1-1-1广东温氏投资海）股权投资基金2021-06-02自有或自筹货币有限公司合伙企业（有限合资金伙）珠海新州精选温润振信贰号（珠
1-1-2壹号股权投资海）股权投资基金2021-12-14自有或自筹货币基金合伙企业合伙企业（有限合资金（有限合伙）伙）广东新州投资珠海新州精选壹号1-1-2-1合伙企业（有股权投资基金合伙2021-06-09自有或自筹货币资金限合伙）企业（有限合伙）
1-1-2-1-1广东新州共赢广东新州投资合伙2020-07-22货币自有或自筹
794中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
投资合伙企业企业（有限合伙）资金（有限合伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-1李瑜合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-2温华健合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-3自有或自筹范卫朝合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-4自有或自筹伍时贤合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-5自有或自筹伍满庆合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-6自有或自筹温蛟龙合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-7自有或自筹潘爱莲合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-8自有或自筹王湛广合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-9秦明达合伙企业（有限合2025-02-25自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-10陈海坚合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-11黄丽梅合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-12自有或自筹黄鸿基合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-132020-06-24自有或自筹曾树华合伙企业（有限合货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-14温小锐合伙企业（有限合2024-01-11自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-15自有或自筹陈世杰合伙企业（有限合2024-01-11货币资金
伙）
795中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间广东新州共赢投资1-1-2-1-1-16自有或自筹陈瑞爱合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-172020-06-24自有或自筹顾雄毅合伙企业（有限合货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-182020-06-24自有或自筹黄菲合伙企业（有限合货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-19自有或自筹卢玉玲合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-20梁以菊合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-21梁朝庆合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-22温金石合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-23潘梓馨合伙企业（有限合2025-02-25自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-24苏志军合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-25自有或自筹邝春明合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-26自有或自筹颜添洪合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-27自有或自筹魏毅合伙企业（有限合2024-01-11货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-28自有或自筹温鹏程合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共赢投资1-1-2-1-1-29新兴县粤宝源自有或自筹合伙企业（有限合2021-02-08货币投资有限公司资金
伙）
1-1-2-1-2广东新州投资合伙温均生2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-3广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹严居然货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-4广东新州投资合伙温志芬2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
796中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
1-1-2-1-5广东新州投资合伙温鹏程2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-6广东新州投资合伙陈浩2024-01-04自有或自筹货币企业（有限合伙）资金广东新州共富
1-1-2-1-7广东新州投资合伙2020-07-22自有或自筹投资合伙企业货币企业（有限合伙）资金（有限合伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-1何建乐合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-2自有或自筹冯品冰合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-3自有或自筹凌敏锐合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-4叶伟杰合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-5吴夙强合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-6吴珍芳合伙企业（有限合2020-07-14自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-7姚绘合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-8自有或自筹孙佐权合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-9自有或自筹张海斌合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-10张细权合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-11自有或自筹方炳虎合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-12自有或自筹梁天辉合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-13梁志勇合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）
1-1-2-1-7-14广东新州共富投资梁慧莹2020-06-24自有或自筹货币合伙企业（有限合资金
797中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-15自有或自筹梁晴斐合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-16自有或自筹梁晴雯合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-17汪汉华合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-18自有或自筹温冰文合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-192020-06-24自有或自筹温春鹏合伙企业（有限合货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-20自有或自筹温淑娟合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-21自有或自筹温金玉合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-22谭海燕合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-23自有或自筹钟彩英合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-24陈健雄合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-25自有或自筹陈峰合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-26自有或自筹麦宗飞合伙企业（有限合2020-06-24货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-27自有或自筹黄进伟合伙企业（有限合2024-01-11货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-28黎子宏合伙企业（有限合2025-02-24自有或自筹货币资金
伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-29龚卫东合伙企业（有限合2020-06-24自有或自筹货币资金
伙）
1-1-2-1-7-30温鹏程广东新州共富投资2020-06-24货币自有或自筹
798中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间合伙企业（有限合资金伙）广东新州共富投资1-1-2-1-7-31新兴县粤宝源自有或自筹合伙企业（有限合2021-02-08货币投资有限公司资金
伙）
1-1-2-1-8广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹黎少松货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-9广东新州投资合伙自有或自筹黄伯昌2020-06-23货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-10广东新州投资合伙黄松德2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-11广东新州投资合伙自有或自筹黎沃灿2020-06-23货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-12广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹梁志雄货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-13广东新州投资合伙黎少广2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-14广东新州投资合伙自有或自筹温木桓2020-06-23货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-15广东新州投资合伙伍翠珍2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-16广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹朱桂连货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-17广东新州投资合伙梁春梅2024-01-04自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-18广东新州投资合伙严志杰2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-19广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹严志豪货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-20广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹何维光货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-21广东新州投资合伙梁海航2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-22广东新州投资合伙谢应林2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-23广东新州投资合伙刘金发2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-24广东新州投资合伙凌五兴2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-25广东新州投资合伙林锦全2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-26广东新州投资合伙黄玉泉2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-27广东新州投资合伙叶炜程2025-02-17自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-28广东新州投资合伙张祥斌2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
799中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
1-1-2-1-29广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹冯冰钊货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-30广东新州投资合伙2025-02-17自有或自筹伍政维货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-31广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹凌子庭货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-32广东新州投资合伙严安2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-33广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹刘宗杰货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-34广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹林南发货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-35广东新州投资合伙练立雄2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-36广东新州投资合伙郑智杨2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-37广东新州投资合伙陈晓韵2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-38广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹陈海枫货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-39广东新州投资合伙崔国贤2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-40广东新州投资合伙何树伟2024-01-04自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-41广东新州投资合伙何树坤2024-01-04自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-42广东新州投资合伙温德仁2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-43广东新州投资合伙2024-01-04自有或自筹苏俊宇货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-44广东新州投资合伙自有或自筹严广宽2020-06-23货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-45广东新州投资合伙严广洪2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-46广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹张小凤货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-47广东新州投资合伙罗旭芳2020-06-23自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-1-2-1-48新兴县粤宝源广东新州投资合伙2020-06-23自有或自筹货币
投资有限公司企业（有限合伙）资金广东筠盛私募珠海新州精选壹号
1-1-2-2自有或自筹基金管理有限股权投资基金合伙2021-02-09货币
资金
公司企业（有限合伙）温润振信贰号（珠
1-1-3海）股权投资基金齐书政2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）
800中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间温润振信贰号（珠
1-1-4海）股权投资基金严广宽2024-02-27自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-5海）股权投资基金窦培成2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-6海）股权投资基金谭志坚2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-7海）股权投资基金2021-12-14自有或自筹顾云飞货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-8海）股权投资基金李钢浦2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-9海）股权投资基金2021-12-14自有或自筹伍尚娟货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-10海）股权投资基金2021-12-14自有或自筹温小锐货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-11海）股权投资基金王燕桃2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-12海）股权投资基金自有或自筹侯海松2021-12-14货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-13海）股权投资基金方炳虎2021-12-14自有或自筹货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-14海）股权投资基金2021-12-14自有或自筹谢应林货币合伙企业（有限合资金伙）温润振信贰号（珠
1-1-15海）股权投资基金自有或自筹冯品冰2021-12-14货币合伙企业（有限合资金伙）
801中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间中山火炬科创
1-2自有或自筹基金管理中心温润贰号2022-12-19货币
资金（有限合伙）中山火炬公有中山火炬科创基金1-2-1自有或自筹资产经营集团管理中心（有限合2017-12-25货币资金有限公司伙）中山火炬科创基金1-2-2广东南朗投资2018-08-01自有或自筹管理中心（有限合货币有限公司资金
伙）中山火炬电子中山火炬科创基金1-2-3产业基金管理管理中心（有限合2017-12-25自有或自筹货币资金有限公司伙）
1-3广东温氏投资自有或自筹温润贰号2021-12-24货币
有限公司资金
25、江苏疌泉
（1）最终持有人情况
江苏疌泉的最终持有人相关情况如下：
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人
1-1 SK海力士（无锡）投资有限公司 否 -
1-1-1 SK海力士半导体（中国）有限公司 否 -
1-1-1-1 SK海力士株式会社 是 上市公司
1-2江苏疌泉太湖国联新兴成长产业投资否-企业（有限合伙）
1-2-1无锡国联金融投资集团有限公司否-
1-2-1-1无锡市国联发展（集团）有限公司否-
无锡市人民政府国有资产监督管理委
1-2-1-1-1是党政机构
员会
1-2-1-1-2无锡市国发资本运营有限公司是国有控股
1-2-1-1-3江苏省财政厅是党政机构
1-2-2无锡市财政局是党政机构
1-2-3江苏省政府投资基金（有限合伙）否-
1-2-3-1江苏省财政厅是党政机构
间接持有标的公司
1-2-3-2江苏金财投资有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-2-4无锡国联产业投资私募基金管理有限是股权比例低于
公司0.01%
802中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人
1-3江苏省政府投资基金（有限合伙）否-
1-3-1江苏省财政厅是党政机构
间接持有标的公司
1-3-2江苏金财投资有限公司是股权比例低于
0.01%1-4无锡高新区新动能产业发展基金（有否-限合伙）
1-4-1无锡市高新区创业投资控股集团有限否-
公司
1-4-1-1无锡市高发投资发展集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司
1-4-2无锡市云港创业投资有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-4-3无锡新投金石创业投资管理有限公司是股权比例低于
0.01%
1-5南京浦口智思集成电路产业基金合伙否-企业（有限合伙）
1-5-1南京浦口高质量发展投资基金合伙企否-业（有限合伙）
1-5-1-1南京市浦口区科技创新投资有限公司否-
1-5-1-1-1南京大江北国资投资集团有限公司是国有控股
1-5-1-2南京浦口开发区高科技投资有限公司否-
1-5-1-2-1南京浦口经济开发有限公司否-
1-5-1-2-1-1南京浦口经济开发区管理委员会是党政机构
1-5-1-3南京浦口科创投资集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司
1-5-1-4南京市浦口区国有资产投资经营有限是股权比例低于
公司0.01%间接持有标的公司
1-5-1-5南京民康房地产开发有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-5-1-6南京浦口康居建设集团有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-5-1-7南京浦口交通建设集团有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-5-1-8南京浦口城乡建设集团有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-5-1-9南京浦口文化旅游发展集团有限公司是股权比例低于
0.01%
803中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终持
层级序号姓名/名称最终持有人性质有人
1-5-1-10南京农创园科创投资集团有限公司是国有控股
间接持有标的公司
1-5-1-11南京雨山私募基金管理有限公司是股权比例低于
0.01%
1-5-2南京市浦口区科技创新投资有限公司否重复，见1-5-1-1
间接持有标的公司
1-5-3南京浦口元禾璞华企业管理合伙企业是股权比例低于（有限合伙）0.01%1-6信银理财有限责任公司（代信银理财否-超享象股权基金封闭式2号理财产品）
1-6-1宣艳是自然人
1-6-2褚亚平是自然人
1-6-3郭凯是自然人
1-6-4徐玉英是自然人
1-6-5王冬美是自然人
1-6-6宋超群是自然人
1-6-7戴金生是自然人
1-6-8彭冬梅是自然人
1-6-9周培军是自然人
1-6-10周怡是自然人
1-6-11田启林是自然人
1-6-12宋仕良是自然人
1-6-13何勤是自然人
1-6-14陈秋莲是自然人
1-6-15余熙乾是自然人
1-6-16王华度是自然人
1-6-17王烨是自然人
1-6-18费嘉鸿是自然人
1-6-19赵琴是自然人
1-6-20蔡会林是自然人
1-6-21张梅是自然人
1-6-22华敏洪是自然人
1-6-23曹丽君是自然人
1-6-24褚军艳是自然人
1-6-25陈美萍是自然人
804中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终持层级序号姓名名称最终持有人性质有人
1-6-26朱瑞娟是自然人
1-6-27张兰芹是自然人
1-6-28朱玲芳是自然人
1-6-29周泽是自然人
1-6-30许俊春是自然人
1-6-31陈宜萍是自然人
1-6-32张文丽是自然人
1-6-33胡靖玮是自然人
1-6-34朱长友是自然人
1-6-35殷春喜是自然人
1-6-36周丹萍是自然人
1-6-37陆金根是自然人
1-7拉萨欣导创业投资有限公司否-
1-7-1王燕清是自然人
1-7-2王建新是自然人
1-7-3王建清是自然人
1-8北京君联创业投资中心（有限合伙）否-
1-8-1拉萨君祺企业管理有限公司否-
1-8-1-1君联资本管理股份有限公司否-1-8-1-1-1北京君诚合众投资管理合伙企业（有否-限合伙）间接持有标的公司
1-8-1-1-1-1天津汇智壹号企业管理咨询合伙企业是股权比例低于（有限合伙）
0.01%
间接持有标的公司
1-8-1-1-1-2天津君联杰佑企业管理咨询合伙企业是股权比例低于（有限合伙）0.01%间接持有标的公司
1-8-1-1-1-3北京君祺嘉睿企业管理有限公司是股权比例低于
0.01%
1-8-1-1-2联想控股股份有限公司是上市公司
间接持有标的公司
1-8-2北京君祺企业管理有限公司是股权比例低于
0.01%
间接持有标的公司
1-9无锡君海新芯投资咨询有限公司是股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
805中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
江苏疌泉各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层
合伙人姓名/名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间SK海力士（无
1-1自有或自筹锡）投资有限公江苏疌泉2020-7-30货币
资金司江苏疌泉太湖
1-2国联新兴成长自有或自筹江苏疌泉2020-7-30货币
产业投资企业资金（有限合伙）无锡国联金融江苏疌泉太湖国联
1-2-1自有或自筹投资集团有限新兴成长产业投资2019-3-13货币
资金
公司企业（有限合伙）江苏疌泉太湖国联
1-2-2无锡市财政局新兴成长产业投资2020-06-15自有或自筹货币
资金企业（有限合伙）江苏省政府投江苏疌泉太湖国联1-2-3自有或自筹资基金（有限合新兴成长产业投资2020-06-15货币资金
伙）企业（有限合伙）
1-2-3-1江苏省政府投资基2015-09-25自有或自筹江苏省财政厅货币金（有限合伙）资金
1-2-3-2江苏金财投资江苏省政府投资基2015-09-25自有或自筹货币
有限公司金（有限合伙）资金无锡国联产业江苏疌泉太湖国联
1-2-4自有或自筹投资私募基金新兴成长产业投资2019-03-13货币
资金
管理有限公司企业（有限合伙）江苏省政府投1-3自有或自筹资基金（有限合江苏疌泉2020-7-30货币资金
伙）
1-3-1江苏省政府投资基江苏省财政厅2015-9-25自有或自筹货币金（有限合伙）资金
1-3-2江苏金财投资江苏省政府投资基2015-9-25自有或自筹货币
有限公司金（有限合伙）资金无锡高新区新
1-4动能产业发展2019-12-26自有或自筹江苏疌泉货币
基金（有限合资金伙）无锡市高新区无锡高新区新动能1-4-1创业投资控股产业发展基金（有限2018-7-12自有或自筹货币资金集团有限公司合伙）无锡市云港创无锡高新区新动能1-4-2业投资有限公产业发展基金（有限2023-12-27自有或自筹货币资金司合伙）无锡新投金石无锡高新区新动能1-4-3自有或自筹创业投资管理产业发展基金（有限2018-7-12货币资金有限公司合伙）
1-5南京浦口智思自有或自筹江苏疌泉2021-05-10货币
集成电路产业资金
806中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层
合伙人姓名/名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间基金合伙企业（有限合伙）南京浦口高质南京浦口智思集成
1-5-1量发展投资基2023-11-23自有或自筹电路产业基金合伙货币金合伙企业（有资金企业（有限合伙）限合伙）南京市浦口区南京浦口高质量发
1-5-1-1自有或自筹科技创新投资展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
有限公司业（有限合伙）南京浦口开发南京浦口高质量发
1-5-1-2自有或自筹区高科技投资展投资基金合伙企2023-07-14货币资金
有限公司业（有限合伙）南京浦口科创南京浦口高质量发
1-5-1-3投资集团有限展投资基金合伙企2021-3-30自有或自筹货币
资金
公司业（有限合伙）南京市浦口区南京浦口高质量发
1-5-1-4国有资产投资展投资基金合伙企2019-5-5自有或自筹货币
资金
经营有限公司业（有限合伙）南京民康房地南京浦口高质量发
1-5-1-5自有或自筹产开发有限公展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金司业（有限合伙）南京浦口康居南京浦口高质量发
1-5-1-6自有或自筹建设集团有限展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
公司业（有限合伙）南京浦口交通南京浦口高质量发
1-5-1-7自有或自筹建设集团有限展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
公司业（有限合伙）南京浦口城乡南京浦口高质量发
1-5-1-8自有或自筹建设集团有限展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
公司业（有限合伙）南京浦口文化南京浦口高质量发
1-5-1-9自有或自筹旅游发展集团展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
有限公司业（有限合伙）南京农创园科南京浦口高质量发
1-5-1-10自有或自筹创投资集团有展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
限公司业（有限合伙）南京雨山私募南京浦口高质量发
1-5-1-11自有或自筹基金管理有限展投资基金合伙企2023-7-14货币
资金
公司业（有限合伙）南京江北新区南京浦口智思集成
1-5-2自有或自筹雨山创新投资电路产业基金合伙2021-3-30货币
资金
有限公司企业（有限合伙）南京浦口元禾南京浦口智思集成
1-5-3璞华企业管理自有或自筹电路产业基金合伙2021-3-30货币合伙企业（有限资金企业（有限合伙）
合伙）
807中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层合伙人姓名名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间元禾璞华同芯南京浦口元禾璞华
1-5-3-12021-3-1自有或自筹（苏州）投资管企业管理合伙企业货币
资金
理有限公司（有限合伙）苏州同海同芯南京浦口元禾璞华
1-5-3-2企业管理合伙企业管理合伙企业2021-3-1自有或自筹货币
企业（有限合资金（有限合伙）
伙）苏州同海同芯企业1-5-3-2-1自有或自筹陈大同管理合伙企业（有限2021-1-6货币资金
合伙）苏州同海同芯企业1-5-3-2-2自有或自筹吴海滨管理合伙企业（有限2021-1-6货币资金
合伙）苏州同海同芯企业1-5-3-2-3自有或自筹刘越管理合伙企业（有限2021-1-6货币资金
合伙）苏州同海同芯企业1-5-3-2-4苏州同越企业管理合伙企业（有限2021-1-6自有或自筹货币管理有限公司资金
合伙）信银理财有限责任公司（代信
1-6银理财超享象江苏疌泉2022-12-5自有或自筹货币
股权基金封闭资金式2号理财产
品）信银理财有限责任1-6-1公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹宣艳货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-2公司（代信银理财超自有或自筹褚亚平2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-3公司（代信银理财超郭凯2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-4公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹徐玉英货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-5公司（代信银理财超王冬美2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）
1-6-6信银理财有限责任2022-12-5自有或自筹宋超群货币
公司（代信银理财超资金
808中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层
合伙人姓名/名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间享象股权基金封闭式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-7公司（代信银理财超戴金生2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-8公司（代信银理财超彭冬梅2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-9公司（代信银理财超周培军2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-10公司（代信银理财超自有或自筹周怡2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-11公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹田启林货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-12公司（代信银理财超宋仕良2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-13公司（代信银理财超何勤2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-14公司（代信银理财超自有或自筹陈秋莲2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-15公司（代信银理财超余熙乾2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-16公司（代信银理财超王华度2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-17公司（代信银理财超王烨2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）
1-6-18费嘉鸿信银理财有限责任2022-12-5货币自有或自筹
809中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层
合伙人姓名/名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间
公司（代信银理财超资金享象股权基金封闭式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-19公司（代信银理财超赵琴2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-20公司（代信银理财超自有或自筹蔡会林2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-21公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹张梅货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-22公司（代信银理财超华敏洪2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-23公司（代信银理财超曹丽君2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-24公司（代信银理财超褚军艳2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-25公司（代信银理财超陈美萍2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-26公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹朱瑞娟货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-27公司（代信银理财超张兰芹2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-28公司（代信银理财超朱玲芳2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-29公司（代信银理财超周泽2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）
810中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层合伙人姓名名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间信银理财有限责任1-6-30公司（代信银理财超许俊春2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-31公司（代信银理财超陈宜萍2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-32公司（代信银理财超自有或自筹张文丽2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-33公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹胡靖玮货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-34公司（代信银理财超自有或自筹朱长友2022-12-5货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-35公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹殷春喜货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-36公司（代信银理财超2022-12-5自有或自筹周丹萍货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）信银理财有限责任1-6-37公司（代信银理财超陆金根2022-12-5自有或自筹货币享象股权基金封闭资金式2号理财产品）
1-7拉萨欣导创业江苏疌泉2024-09-06自有或自筹货币
投资有限公司资金北京君联创业1-8自有或自筹投资中心（有限江苏疌泉2019-12-26货币资金
合伙）
1-8-1拉萨君祺企业北京君联创业投资2023-11-03自有或自筹货币
管理有限公司中心（有限合伙）资金
1-8-2北京君祺企业北京君联创业投资2024-03-18自有或自筹货币
管理有限公司中心（有限合伙）资金无锡君海新芯
1-9自有或自筹投资咨询有限江苏疌泉2019-12-26货币
资金公司
811中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
26、朗玛五十九号
（1）最终持有人情况
朗玛五十九号的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1李娇娥是自然人
1-2刘晖是自然人
1-3张冬梅是自然人
1-4杨海瑞是自然人
1-5周诚是自然人
1-6王智锋是自然人
1-7刘金华是自然人
1-8马晓艳是自然人
1-9吕发钦是自然人
1-10阳汕莉是自然人
1-11魏宝耀是自然人
1-12唐景海是自然人
1-13丁双阳是自然人
1-14赵海容是自然人
1-15耿雪凌是自然人
1-16韩冰是自然人
1-17何钢是自然人
1-18马庆年是自然人
1-19马晨是自然人
1-20高鲲鹏是自然人
1-21深圳市正和伙伴壹号投资有限否-
合伙企业（有限合伙）
1-21-1林荣镜是自然人
间接持有标的公司
1-21-2海南省宝得福实业有限公司是股权比例低于
0.01%
1-21-3余冰是自然人
1-21-4谭军是自然人
1-21-5张红军是自然人
1-21-6戴创锋是自然人
812中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质间接持有标的公司
1-21-7深圳市正和伙伴企业投资发展是股权比例低于
有限公司0.01%
1-22于文龙是自然人
1-23周伊是自然人
1-24周影是自然人
1-25夏钢是自然人
1-26宋清虹是自然人
1-27庄桂兰是自然人
1-28张娟是自然人
1-29张宇是自然人
1-30张德军是自然人
1-31张秀梅是自然人
1-32曹晖是自然人
1-33杨娜是自然人
1-34王乐宇是自然人
1-35王菊莲是自然人
1-36章茁是自然人
1-37纪芳是自然人
1-38谭建合是自然人
1-39陈宝增是自然人
1-40陈和平是自然人
1-41黄敏是自然人
1-42刘晖是自然人
间接持有标的公司
1-43朗玛峰创业投资有限公司是股权比例低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
朗玛五十九号各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
/取得下一层合伙人姓名名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间
1-12022-05-07自有或自筹资李娇娥朗玛五十九号货币
金
1-2自有或自筹资刘晖朗玛五十九号2022-05-07货币
金
813中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层合伙人姓名名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间
1-3自有或自筹资张冬梅朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-42022-05-07自有或自筹资杨海瑞朗玛五十九号货币
金
1-5周诚朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-62022-05-07自有或自筹资王智锋朗玛五十九号货币
金
1-7自有或自筹资刘金华朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-8马晓艳朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-92022-05-07自有或自筹资吕发钦朗玛五十九号货币
金
1-10阳汕莉朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-11魏宝耀朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-12自有或自筹资唐景海朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-13自有或自筹资丁双阳朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-142022-05-07自有或自筹资赵海容朗玛五十九号货币
金
1-15耿雪凌朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-16韩冰朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-17自有或自筹资何钢朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-18自有或自筹资马庆年朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-19马晨朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-20高鲲鹏朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金自有或自筹资深圳市正和伙伴金
1-21壹号投资有限合朗玛五十九号2022-05-07货币伙企业（有限合伙）深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-1林荣镜投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限合伙）
1-21-2海南省宝得福实深圳市正和伙伴壹号2025-02-10自有或自筹资货币业有限公司投资有限合伙企业（有金
814中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
取得下一层
合伙人姓名/名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间限合伙）深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-3余冰投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限合伙）深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-4谭军投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限合伙）深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-5张红军投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限合伙）深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-6戴创锋投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限合伙）深圳市正和伙伴深圳市正和伙伴壹号自有或自筹资1-21-7企业投资发展有投资有限合伙企业（有2022-03-28货币金限公司限合伙）
1-22于文龙朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-232022-05-07自有或自筹资周伊朗玛五十九号货币
金
1-24自有或自筹资周影朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-25夏钢朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-262022-05-07自有或自筹资宋清虹朗玛五十九号货币
金
1-27自有或自筹资庄桂兰朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-28张娟朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-29自有或自筹资张宇朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-30自有或自筹资张德军朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-312022-05-07自有或自筹资张秀梅朗玛五十九号货币
金
1-32曹晖朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-33杨娜朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-34王乐宇朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-35自有或自筹资王菊莲朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-36自有或自筹资章茁朗玛五十九号2022-05-07货币
金
815中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/取得下一层名层级序号下一层主体主体权益的出资方式资金来源称时间
1-37纪芳朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-38自有或自筹资谭建合朗玛五十九号2022-05-07货币
金
1-392022-05-07自有或自筹资陈宝增朗玛五十九号货币
金
1-40自有或自筹资陈和平朗玛五十九号2023-05-24货币
金
1-41黄敏朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-42刘晖朗玛五十九号2022-05-07自有或自筹资货币
金
1-43朗玛峰创业投资自有或自筹资朗玛五十九号2021-10-20货币
有限公司金
27、毅达鼎祺
（1）最终持有人情况
毅达鼎祺的最终持有人相关情况如下：
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-1江苏高科技投资集团有限公司否-
1-1-1江苏省人民政府是党政机构
1-1-2江苏交通控股有限公司是国有控股
1-1-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-1-4江苏省农垦集团有限公司是国有控股
1-1-5徐州矿务集团有限公司是国有控股
1-2无锡丰润投资有限公司否-
1-2-1无锡新尚投资有限公司否-
1-2-1-1无锡市太湖新城发展集团有限公司否-
1-2-1-1-1无锡城建发展集团有限公司是国有控股
1-2-1-1-2光曜致新正骏（无锡）产业投资合伙企业否-（有限合伙）
1-2-1-1-2-1中国人寿保险股份有限公司是上市公司
间接持有标的
1-2-1-1-2-2北京光曜致新正艺企业管理咨询合伙企是公司股权比例业（有限合伙）
低于0.01%间接持有标的
1-2-1-1-2-3无锡国联产业投资私募基金管理有限公是公司股权比例
司
低于0.01%
816中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-2-1-1-3无锡市建设发展投资有限公司是国有控股
1-2-1-1-4无锡市人民政府国有资产监督管理委员是党政机构
会
1-2-1-1-5无锡市国联发展（集团）有限公司是国有控股
间接持有标的
1-2-1-1-6无锡市房地产开发集团有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-3无锡鼎祺山水投资合伙企业（有限合伙）否-
1-3-1无锡山水城科技创业服务有限公司否-
1-3-1-1无锡山水城科技发展有限公司否-
1-3-1-1-1无锡山水产业投资发展集团有限公司否-
1-3-1-1-1-1无锡山水城市发展集团有限公司否-
1-3-1-1-1-1-1无锡市滨湖区财政局是党政机构
1-3-1-1-1-1-2无锡（国家）数字电影产业园服务中心是事业单位
1-3-1-1-1-2无锡雪浪建设集团有限公司否-
1-3-1-1-1-2-1无锡市滨湖区财政局是党政机构
间接持有标的
1-3-1-1-1-2-2无锡山水城市发展集团有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-3-2无锡鼎祺科创投资合伙企业（有限合伙）否-
1-3-2-1无锡滨湖科创集团有限公司否-
1-3-2-1-1无锡市滨湖产业投资发展（集团）有限公否-
司
1-3-2-1-1-1无锡市滨湖国有资本投资有限公司是国有控股
间接持有标的
1-3-2-2无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-3-3无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-4无锡鼎祺金马投资合伙企业（有限合伙）否-
1-4-1无锡新马产业投资发展有限公司否-
1-4-1-1无锡马山投资控股集团有限公司否-
1-4-1-1-1无锡市滨湖区财政局是党政机构
1-4-1-1-2无锡太湖国家旅游度假区公用事业管理是事业单位
中心
1-4-2无锡鼎祺科创投资合伙企业（有限合伙）否-
1-4-2-1无锡滨湖科创集团有限公司否-
817中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-4-2-1-1无锡市滨湖产业投资发展（集团）有限公否-
司
1-4-2-1-1-1无锡市滨湖国有资本投资有限公司是国有控股
间接持有标的
1-4-2-2无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-4-3无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-5无锡鼎祺创芯投资合伙企业（有限合伙）否-
1-5-1无锡蔚创科技发展有限公司否-
1-5-1-1无锡市滨湖园区发展集团有限公司否-
1-5-1-1-1无锡市滨湖区财政局是党政机构
1-5-1-1-2无锡市滨湖国有资产运营（集团）有限公否-
司
1-5-1-1-2-1无锡市滨湖国有资本投资有限公司是国有控股
1-5-1-1-3无锡市滨湖区工业园区企业发展服务中是事业单位
心
1-5-1-1-4无锡（国家）工业设计园创业服务中心是事业单位
1-5-2无锡鼎祺科创投资合伙企业（有限合伙）否-
1-5-2-1无锡滨湖科创集团有限公司否-
1-5-2-1-1无锡市滨湖产业投资发展（集团）有限公否-
司
1-5-2-1-1-1无锡市滨湖国有资本投资有限公司是国有控股
间接持有标的
1-5-2-2无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-5-3无锡源悦私募基金管理有限公司是公司股权比例
低于0.01%1-6南京毅达汇员鼎祺创业投资合伙企业（有否-限合伙）
1-6-1戚国义是自然人
1-6-2翁温丽是自然人
间接持有标的
1-6-3南京毅达资本管理企业（有限合伙）是公司股权比例
低于0.01%
1-6-4徐杰是自然人
1-6-5周春芳是自然人
1-6-6樊利平是自然人
818中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-6-7袁亚光是自然人
1-6-8史云中是自然人
1-6-9徐睿是自然人
1-6-10李培培是自然人
1-6-11果桐是自然人
1-6-12程锦是自然人
1-6-13邱合伟是自然人
1-6-14陆李鑫是自然人
1-6-15颜磊是自然人
1-6-16周文龙是自然人
1-6-17应天峰是自然人
1-6-18张帆是自然人
1-6-19沈志国是自然人1-7苏州市汇涓为川企业管理合伙企业（有限否-合伙）
1-7-1宋扬是自然人
1-7-2时秀珍是自然人
1-7-3李芬是自然人
1-7-4杨春禄是自然人
1-7-5祖博是自然人
1-7-6蒋佳峻是自然人
1-7-7任玉珍是自然人
1-7-8潘佼是自然人
1-7-9廖爱南是自然人
1-7-10陈惠是自然人
1-8蒋红兵是自然人
1-9袁晓峰是自然人
1-10无锡弘捷投资有限公司否-
1-10-1无锡信捷电气股份有限公司是上市公司
1-11上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）否-
1-11-1孔尧是自然人
1-11-2鲍菁池是自然人
1-12张小红是自然人
819中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-13杨丽鸿是自然人
1-14杨荣锦是自然人
1-15葛林风是自然人
1-16西藏爱达汇承私募基金管理有限公司否-
1-16-1江苏毅达股权投资基金管理有限公司否-
间接持有标的
1-16-1-1南京毅达资本管理企业（有限合伙）是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的
1-16-1-2江苏高科技投资集团有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的1-16-1-3南京毅达同盈企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-16-1-4南京毅达同达企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-16-1-5南京毅达泽贤企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-16-1-6南京毅达同鑫企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-16-1-7南京毅达同盛企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的
1-17无锡贝斯特投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%间接持有标的1-18无锡毅达汇德股权投资管理合伙企业（有是公司股权比例限合伙）
低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
毅达鼎祺各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间江苏高科技投
1-1自有或自筹资集团有限公毅达鼎祺2022-05-10货币
资金司
1-2无锡丰润投资毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
有限公司资金
1-3无锡鼎祺山水自有或自筹毅达鼎祺2022-05-10货币
投资合伙企业资金
820中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间（有限合伙）无锡山水城科无锡鼎祺山水投资1-3-1技创业服务有合伙企业（有限合2021-09-10自有或自筹货币资金限公司伙）无锡鼎祺科创无锡鼎祺山水投资1-3-2自有或自筹投资合伙企业合伙企业（有限合2021-09-10货币资金（有限合伙）伙）无锡鼎祺科创投资1-3-2-1无锡滨湖科创合伙企业（有限合2021-08-19自有或自筹货币集团有限公司资金
伙）无锡源悦私募无锡鼎祺科创投资1-3-2-2自有或自筹基金管理有限合伙企业（有限合2024-02-01货币资金公司伙）无锡源悦私募无锡鼎祺山水投资1-3-3基金管理有限合伙企业（有限合2021-09-10自有或自筹货币资金公司伙）无锡鼎祺金马
1-42022-05-10自有或自筹投资合伙企业毅达鼎祺货币
资金（有限合伙）无锡新马产业无锡鼎祺金马投资1-4-1投资发展有限合伙企业（有限合2023-09-27自有或自筹货币资金公司伙）无锡鼎祺科创无锡鼎祺金马投资1-4-2投资合伙企业合伙企业（有限合2021-09-10自有或自筹货币资金（有限合伙）伙）无锡鼎祺科创投资1-4-2-1无锡滨湖科创合伙企业（有限合2021-08-19自有或自筹货币集团有限公司资金
伙）无锡源悦私募无锡鼎祺科创投资1-4-2-2自有或自筹基金管理有限合伙企业（有限合2024-02-01货币资金公司伙）无锡源悦私募无锡鼎祺金马投资1-4-32021-09-10自有或自筹基金管理有限合伙企业（有限合货币资金公司伙）无锡鼎祺创芯
1-52022-05-10自有或自筹投资合伙企业毅达鼎祺货币
资金（有限合伙）无锡鼎祺创芯投资1-5-1无锡蔚创科技合伙企业（有限合2022-09-29自有或自筹货币发展有限公司资金
伙）无锡鼎祺科创无锡鼎祺创芯投资1-5-2投资合伙企业合伙企业（有限合2021-09-10自有或自筹货币资金（有限合伙）伙）无锡鼎祺科创投资1-5-2-1无锡滨湖科创自有或自筹合伙企业（有限合2024-02-01货币集团有限公司资金
伙）
1-5-2-2无锡源悦私募无锡鼎祺科创投资2021-08-19货币自有或自筹
821中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间基金管理有限合伙企业（有限合资金公司伙）无锡源悦私募无锡鼎祺创芯投资1-5-3自有或自筹基金管理有限合伙企业（有限合2021-09-10货币资金公司伙）南京毅达汇员
1-6鼎祺创业投资毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币合伙企业（有资金限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-1夏万华创业投资合伙企业2026-01-08自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-2自有或自筹翁温丽创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达资本南京毅达汇员鼎祺1-6-3管理企业（有创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币资金限合伙）（有限合伙）
1-6-3-1南京毅达资本管理2017-07-12自有或自筹应文禄货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-2南京毅达资本管理自有或自筹尤劲柏2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-3南京毅达资本管理自有或自筹周春芳2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-4南京毅达资本管理黄韬2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-5南京毅达资本管理樊利平2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-6南京毅达资本管理史云中2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-6-3-7南京毅达投资南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹货币
管理有限公司企业（有限合伙）资金南京毅达汇员鼎祺
1-6-4自有或自筹徐杰创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-5自有或自筹周春芳创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-6樊利平创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-7袁亚光创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-8自有或自筹史云中创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）
822中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间南京毅达汇员鼎祺
1-6-9自有或自筹徐睿创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-10自有或自筹李培培创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-11果桐创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-12程锦创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-13自有或自筹邱合伟创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-142022-03-23自有或自筹陆李鑫创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-15自有或自筹颜磊创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-16自有或自筹周文龙创业投资合伙企业2022-03-23货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-17应天峰创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-18自有或自筹张帆创业投资合伙企业2023-08-01货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员鼎祺
1-6-19沈志国创业投资合伙企业2022-03-23自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为
1-7川企业管理合毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币伙企业（有限资金合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-1宋扬业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-2自有或自筹时秀珍业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-3自有或自筹李芬业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）
1-7-4苏州市汇涓为川企杨春禄2022-01-17自有或自筹货币
业管理合伙企业资金
823中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-5祖博业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-6自有或自筹蒋佳峻业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-7任玉珍业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-8潘佼业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-9自有或自筹廖爱南业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-7-10自有或自筹陈惠业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）
1-8自有或自筹蒋红兵毅达鼎祺2025-12-17货币
资金
1-9袁晓峰毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资金
1-10无锡弘捷投资自有或自筹毅达鼎祺2022-05-10货币
有限公司资金上海朝茶夕酒
1-11投资合伙企业毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资金（有限合伙）上海朝茶夕酒投资1-11-1孔尧合伙企业（有限合2016-03-01自有或自筹货币资金
伙）上海朝茶夕酒投资1-11-2自有或自筹鲍菁池合伙企业（有限合2016-03-01货币资金
伙）
1-12张小红毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资金
1-13杨丽鸿毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资金
1-14杨荣锦毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资金
1-15自有或自筹葛林风毅达鼎祺2022-05-10货币
资金西藏爱达汇承
1-16私募基金管理毅达鼎祺2025-12-17自有或自筹货币
资金有限公司
1-17无锡贝斯特投毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币
资有限公司资金
824中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间无锡毅达汇德
1-18股权投资管理毅达鼎祺2022-05-10自有或自筹货币合伙企业（有资金限合伙）西藏爱达汇承无锡毅达汇德股权
1-18-1自有或自筹私募基金管理投资管理合伙企业2021-12-31货币
资金
有限公司（有限合伙）南京毅达股权无锡毅达汇德股权
1-18-2自有或自筹投资管理企业投资管理合伙企业2021-12-31货币
资金（有限合伙）（有限合伙）西藏爱达汇承南京毅达股权投资1-18-2-1私募基金管理管理企业（有限合2016-07-11自有或自筹货币资金有限公司伙）江苏毅达股权南京毅达股权投资1-18-2-22016-02-23自有或自筹投资基金管理管理企业（有限合货币资金有限公司伙）
28、朗玛六十号
（1）最终持有人情况
朗玛六十号的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1王秀玲是自然人
1-2李珍兰是自然人
1-3吕成祥是自然人
1-4李杰是自然人
1-5欧先俊是自然人
1-6王立群是自然人
1-7张旭鹏是自然人
1-8赵海容是自然人
1-9蒋荫正是自然人
1-10魏玉华是自然人
1-11张琴是自然人
1-12朗玛峰创业投资有限公司否-
1-12-1肖建聪是自然人
1-12-2王玉平是自然人
1-13付春华是自然人
1-14冯国红是自然人
825中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-15刘军成是自然人
1-16刘敏是自然人
1-17刘春梅是自然人
1-18刘金城是自然人
1-19单宗霞是自然人
1-20史明是自然人
1-21唐艳是自然人
1-22夏岚是自然人
1-23孙鹏晰是自然人
1-24安淑芬是自然人
1-25尹秀玲是自然人
1-26巢宇辉是自然人
1-27张京兰是自然人
1-28张雪兰是自然人
1-29忻凤云是自然人
1-30李军是自然人
1-31李凤兰是自然人
1-32李海红是自然人
1-33林强是自然人
1-34林英姬是自然人
1-35柴凤荣是自然人
1-36涂晓莺是自然人
1-37王九全是自然人
1-38王云岚是自然人
1-39田保霞是自然人
1-40苗云生是自然人
1-41解春泉是自然人
1-42谢雨晴是自然人
1-43贺乃新是自然人
1-44赵广洲是自然人
1-45赵玉华是自然人
1-46邹素虹是自然人
1-47郝世琦是自然人
826中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-48靳利娜是自然人
1-49高彩虹是自然人
1-50黄锦福是自然人
（2）各层合伙人取得权益情况
朗玛六十号各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/取得下一层主体权层级序号下一层名称出资方式资金来源名称益的时间
1-12022-04-12自有或自筹王秀玲朗玛六十号货币
资金
1-2李珍兰朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-3吕成祥朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-4自有或自筹李杰朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-5自有或自筹欧先俊朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-6王立群朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-7张旭鹏朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-8自有或自筹赵海容朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-92022-04-12自有或自筹蒋荫正朗玛六十号货币
资金
1-10魏玉华朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-11张琴朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-12朗玛峰创业投自有或自筹朗玛六十号2021-10-20货币
资有限公司资金
1-13付春华朗玛六十号2023-09-21自有或自筹货币
资金
1-14自有或自筹冯国红朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-15刘军成朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-162022-04-12自有或自筹刘敏朗玛六十号货币
资金
1-17自有或自筹刘春梅朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-18自有或自筹刘金城朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-19单宗霞朗玛六十号2022-04-12货币自有或自筹
827中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/取得下一层主体权层级序号下一层名称出资方式资金来源名称益的时间资金
1-20史明朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-21自有或自筹唐艳朗玛六十号2023-09-21货币
资金
1-22夏岚朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-23自有或自筹孙鹏晰朗玛六十号2024-12-30货币
资金
1-24安淑芬朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-25自有或自筹尹秀玲朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-26自有或自筹巢宇辉朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-27张京兰朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-28张雪兰朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-29自有或自筹忻凤云朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-30自有或自筹李军朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-312022-04-12自有或自筹李凤兰朗玛六十号货币
资金
1-32自有或自筹李海红朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-33林强朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-34林英姬朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-35自有或自筹柴凤荣朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-36涂晓莺朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-37自有或自筹王九全朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-38王云岚朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-392022-04-12自有或自筹田保霞朗玛六十号货币
资金
1-40自有或自筹苗云生朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-41自有或自筹解春泉朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-42自有或自筹谢雨晴朗玛六十号2022-04-12货币
资金
828中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/取得下一层主体权层级序号下一层名称出资方式资金来源名称益的时间
1-43贺乃新朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-44赵广洲朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-452024-12-30自有或自筹赵玉华朗玛六十号货币
资金
1-46自有或自筹邹素虹朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-47郝世琦朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-48靳利娜朗玛六十号2022-04-12自有或自筹货币
资金
1-49自有或自筹高彩虹朗玛六十号2022-04-12货币
资金
1-50自有或自筹黄锦福朗玛六十号2024-09-03货币
资金
29、嘉兴邦拓
（1）最终持有人情况
嘉兴邦拓的最终持有人相关情况如下：
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-1修琪是自然人
1-2李哲是自然人
1-3何新文是自然人
1-4周晓艳是自然人
1-5海春是自然人
1-6张凤玲是自然人
1-7姚伟君是自然人
1-8邹光辉是自然人
1-9陈欲晓是自然人
1-10洪梅是自然人
1-11施金山是自然人
1-12龚忱是自然人
1-13李频超是自然人
1-14施荔然是自然人
1-15杨慧是自然人
1-16吴萍是自然人
829中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
层级序号姓名/名称是否为最终持有人最终持有人性质
1-17丁政权是自然人
1-18初秀丽是自然人
1-19间接持有标的公司上海宝鼎投资管理有限公司是
股权低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
嘉兴邦拓各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
取得下一层主体
层级序号合伙人姓名/名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-12023-02-02自有或自筹修琪嘉兴邦拓货币
资金
1-2李哲嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-3自有或自筹何新文嘉兴邦拓2023-02-02货币
资金
1-42023-02-02自有或自筹周晓艳嘉兴邦拓货币
资金
1-5海春嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-6张凤玲嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-72023-02-02自有或自筹姚伟君嘉兴邦拓货币
资金
1-8邹光辉嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-9陈欲晓嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-102023-02-02自有或自筹洪梅嘉兴邦拓货币
资金
1-11施金山嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-122023-02-02自有或自筹龚忱嘉兴邦拓货币
资金
1-13自有或自筹李频超嘉兴邦拓2023-02-02货币
资金
1-142023-02-02自有或自筹施荔然嘉兴邦拓货币
资金
1-15杨慧嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-16吴萍嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-17丁政权嘉兴邦拓2023-02-02自有或自筹货币
资金
1-18自有或自筹初秀丽嘉兴邦拓2023-02-02货币
资金
830中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/取得下一层主体层级序号合伙人姓名名称下一层主体出资方式资金来源权益的时间
1-19上海宝鼎投资管自有或自筹嘉兴邦拓2022-9-23货币
理有限公司资金
30、毅达太湖
（1）最终持有人情况
毅达太湖的最终持有人相关情况如下：
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-1江苏高科技投资集团有限公司否-
1-1-1江苏省人民政府是党政机构
1-1-2江苏交通控股有限公司是国有控股
1-1-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-1-4江苏省农垦集团有限公司是国有控股
1-1-5徐州矿务集团有限公司是国有控股
1-2无锡丰润投资有限公司否-
1-2-1无锡新尚投资有限公司否-
1-2-1-1无锡市太湖新城发展集团有限公司否-
1-2-1-1-1无锡城建发展集团有限公司是国有控股
1-2-1-1-2光曜致新正骏（无锡）产业投资合伙企业否-（有限合伙）
1-2-1-1-2-1中国人寿保险股份有限公司是上市公司
间接持有标的
1-2-1-1-2-2北京光曜致新正艺企业管理咨询合伙企业是公司股权低于（有限合伙）0.01%间接持有标的
1-2-1-1-2-3无锡国联产业投资私募基金管理有限公司是公司股权低于
0.01%
1-2-1-1-3无锡市建设发展投资有限公司否-
1-2-1-1-3-1无锡市人民政府国有资产监督管理委员会是党政机构
1-2-1-1-3-2无锡城建发展集团有限公司是国有控股
1-2-1-1-4无锡市人民政府国有资产监督管理委员会是党政机构
间接持有标的
1-2-1-1-5无锡市国联发展（集团）有限公司是公司股权低于
0.01%
间接持有标的
1-2-1-1-6无锡市房地产开发集团有限公司是公司股权低于
0.01%
1-3无锡太湖股权投资基金（有限合伙）否-
831中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-3-1无锡市创新投资集团有限公司否-
1-3-1-1无锡市国发资本运营有限公司是国有控股
间接持有标的
1-3-1-2无锡丰润投资有限公司是公司股权低于
0.01%
1-3-1-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-3-1-4无锡城建发展集团有限公司是国有控股
间接持有标的
1-3-2无锡金投资本私募基金管理有限公司是公司股权低于
0.01%1-4苏州市汇涓为川企业管理合伙企业（有限否-合伙）
1-4-1时秀珍是自然人
1-4-2祖博是自然人
1-4-3宋扬是自然人
1-4-4杨春禄是自然人
1-4-5蒋佳峻是自然人
1-4-6李芬是自然人
1-4-7潘佼是自然人
1-4-8任玉珍是自然人
1-4-9廖爱南是自然人
1-4-10陈惠是自然人
1-5南京鑫业创业投资有限公司否-
1-5-1南京网觉软件有限公司否-1-5-1-1南京祥晨股权投资管理合伙企业（有限合否-伙）
1-5-1-1-1徐健是自然人
1-5-1-1-2余昕是自然人
1-5-1-1-3任翔是自然人
间接持有标的1-5-1-2南京众旭股权投资管理合伙企业（有限合是公司股权低于伙）0.01%
1-5-1-3孙理雷是自然人
间接持有标的
1-5-1-4河南泉涌蓬勃通信技术服务有限公司是公司股权低于
0.01%
间接持有标的1-5-1-5江苏紫金文化产业二期创业投资基金（有是公司股权低于限合伙）0.01%
832中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-6上海朝茶夕酒投资合伙企业（有限合伙）否-
1-6-1孔尧是自然人
1-6-2鲍菁池是自然人
1-7南京禾源创业投资中心（有限合伙）否-
1-7-1樊庆龙是自然人
1-7-2郭明燕是自然人
1-7-3黄维江是自然人
1-8泰州市盛毅企业管理合伙企业（有限合伙）否-
1-8-1蒋红兵是自然人
1-8-2周江是自然人
1-8-3蒋红俊是自然人
1-9无锡市太湖家园房地产经营有限公司否-
1-9-1吕铮是自然人
1-9-2无锡城建发展集团有限公司是国有控股
1-9-3丁建新是自然人
1-9-4诸海良是自然人
1-9-5钱明宇是自然人
1-9-6陈军是自然人
1-9-7吴娴是自然人
1-9-8张建新是自然人
1-9-9王英杰是自然人
1-9-10章佳宜是自然人
1-9-11潘永芬是自然人
1-9-12丁卯年是自然人
1-9-13姚建林是自然人
1-9-14张强是自然人
1-9-15汪杰是自然人
1-9-16蒋惠娟是自然人
1-9-17钱锦炜是自然人
1-9-18龚歆是自然人
1-9-19孙福根是自然人
1-9-20李英是自然人
833中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-9-21赵小兰是自然人
1-9-22张坤林是自然人
1-9-23唐卫锋是自然人
1-9-24孙霄虹是自然人
1-9-25尚晓刚是自然人
1-9-26张辰洁是自然人
1-9-27梁凤美是自然人
1-9-28申志忠是自然人
1-9-29肖长春是自然人
1-9-30蔡光辉是自然人
1-9-31曹奇是自然人
1-9-32顾建琴是自然人
1-9-33徐凌是自然人
1-9-34徐峻是自然人
1-9-35朱卿是自然人
1-9-36李婷是自然人
1-9-37李贯河是自然人
1-9-38马晓是自然人
1-9-39许杰是自然人
1-9-40马益是自然人
1-9-41齐萍是自然人
1-9-42吕鑫是自然人
1-9-43陆敢峰是自然人
1-9-44庄姣是自然人
1-9-45郭翔是自然人
1-10朗新科技集团股份有限公司是上市公司1-11南京毅达汇员人才创业投资合伙企业（有否-限合伙）间接持有标的
1-11-1南京毅达资本管理企业（有限合伙）是公司股权低于
0.01%
1-11-2吴佩红是自然人
1-11-3袁亚光是自然人
1-11-4赵建晖是自然人
834中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-11-5徐杰是自然人
1-11-6李培培是自然人
1-11-7田静静是自然人
1-11-8陆雯雯是自然人
1-11-9周喆是自然人
1-11-10张莺是自然人
1-11-11徐睿是自然人
1-11-12李琰是自然人
1-11-13陆李鑫是自然人
1-11-14张帆是自然人
1-11-15王蜀飞是自然人
1-11-16周文龙是自然人
1-11-17沈志国是自然人
1-11-18应天峰是自然人
1-11-19张智阳是自然人
1-11-20符松健是自然人
间接持有标的
1-12南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）是公司股权低于
0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
毅达太湖各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间江苏高科技投
1-1资集团有限公毅达太湖2020-06-02自有或自筹货币
资金司
1-2无锡丰润投资自有或自筹毅达太湖2020-06-02货币
有限公司资金无锡太湖股权1-3自有或自筹投资基金（有毅达太湖2020-06-02货币资金限合伙）无锡市创新投
1-3-1无锡太湖股权投资自有或自筹资集团有限公2019-07-01货币基金（有限合伙）资金司无锡金投资本
1-3-2无锡太湖股权投资2019-07-01自有或自筹私募基金管理货币基金（有限合伙）资金有限公司
1-4苏州市汇涓为毅达太湖2022-06-08货币自有或自筹
835中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间川企业管理合资金伙企业（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-1自有或自筹时秀珍业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-22022-01-17自有或自筹祖博业管理合伙企业货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-3自有或自筹宋扬业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-4杨春禄业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-5蒋佳峻业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-6自有或自筹李芬业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-7自有或自筹潘佼业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-8任玉珍业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-9廖爱南业管理合伙企业2022-01-17自有或自筹货币
资金（有限合伙）苏州市汇涓为川企
1-4-10自有或自筹陈惠业管理合伙企业2022-01-17货币
资金（有限合伙）
1-5南京鑫业创业2020-11-25自有或自筹毅达太湖货币
投资有限公司资金上海朝茶夕酒
1-6投资合伙企业毅达太湖2020-06-02自有或自筹货币
资金（有限合伙）上海朝茶夕酒投资1-6-12016-03-01自有或自筹孔尧合伙企业（有限合货币资金
伙）上海朝茶夕酒投资1-6-2鲍菁池合伙企业（有限合2016-03-01自有或自筹货币资金
伙）南京禾源创业1-7自有或自筹投资中心（有毅达太湖2020-11-25货币资金限合伙）
836中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
1-7-1南京禾源创业投资樊庆龙2019-05-29自有或自筹货币中心（有限合伙）资金
1-7-2南京禾源创业投资郭明燕2019-11-06自有或自筹货币中心（有限合伙）资金
1-7-3南京禾源创业投资黄维江2019-05-29自有或自筹货币中心（有限合伙）资金泰州市盛毅企
1-8自有或自筹业管理合伙企毅达太湖2021-06-24货币
资金业（有限合伙）泰州市盛毅企业管1-8-12021-01-20自有或自筹蒋红兵理合伙企业（有限货币资金
合伙）泰州市盛毅企业管1-8-2自有或自筹周江理合伙企业（有限2021-01-20货币资金
合伙）泰州市盛毅企业管1-8-3自有或自筹蒋红俊理合伙企业（有限2021-01-20货币资金
合伙）无锡市太湖家
1-9园房地产经营毅达太湖2020-06-02自有或自筹货币
资金有限公司
1-10朗新科技集团毅达太湖2020-06-02自有或自筹货币
股份有限公司资金南京毅达汇员
1-11人才创业投资2021-06-24自有或自筹毅达太湖货币合伙企业（有资金限合伙）南京毅达资本南京毅达汇员人才1-11-1自有或自筹管理企业（有创业投资合伙企业2021-05-11货币资金限合伙）（有限合伙）
1-11-1-1南京毅达资本管理应文禄2017-07-12自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-2南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹尤劲柏货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-3南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹周春芳货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-4南京毅达资本管理自有或自筹黄韬2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-5南京毅达资本管理自有或自筹樊利平2014-01-24货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-6南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹史云中货币企业（有限合伙）资金
1-11-1-7南京毅达投资南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹货币
管理有限公司企业（有限合伙）资金南京毅达汇员人才
1-11-2自有或自筹吴佩红创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）
837中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间南京毅达汇员人才
1-11-3自有或自筹袁亚光创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-4自有或自筹赵建晖创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-5徐杰创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-6自有或自筹李培培创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-7田静静创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-8陆雯雯创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-9自有或自筹周喆创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-10自有或自筹张莺创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-11徐睿创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-12自有或自筹李琰创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-13陆李鑫创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-14自有或自筹张帆创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-15王蜀飞创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-162021-05-11自有或自筹周文龙创业投资合伙企业货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-17沈志国创业投资合伙企业2021-05-11自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-18自有或自筹应天峰创业投资合伙企业2021-05-11货币
资金（有限合伙）
838中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间南京毅达汇员人才
1-11-19自有或自筹张智阳创业投资合伙企业2024-06-28货币
资金（有限合伙）南京毅达汇员人才
1-11-20符松健创业投资合伙企业2024-06-28自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达股权
1-12自有或自筹投资管理企业毅达太湖2020-06-02货币
资金（有限合伙）西藏爱达汇承南京毅达股权投资1-12-1自有或自筹私募基金管理管理企业（有限合2016-07-11货币资金有限公司伙）江苏毅达股权南京毅达股权投资1-12-22016-02-23自有或自筹投资基金管理管理企业（有限合货币资金有限公司伙）
31、宁波毅达
（1）最终持有人情况
宁波毅达的最终持有人相关情况如下：
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-1宁波工投睿丰投资有限公司否-
1-1-1宁波工业投资集团有限公司否-
1-1-1-1宁波通商控股集团有限公司是国有控股
1-1-1-2浙江省财开集团有限公司是国有控股
1-2江苏高科技投资集团有限公司否-
1-2-1江苏省人民政府是党政机构
1-2-2江苏交通控股有限公司是国有控股
1-2-3江苏省国信集团有限公司是国有控股
1-2-4江苏省农垦集团有限公司是国有控股
1-2-5徐州矿务集团有限公司是国有控股
1-3江苏申林投资股份有限公司否-
1-3-1范宏甫是自然人
1-3-2朱德祥是自然人
1-3-3曹军是自然人
1-3-4陈林是自然人
1-3-5肖粉林是自然人
839中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-3-6许双泉是自然人
1-3-7陈祥荣是自然人
1-3-8栾立富是自然人
1-3-9章水清是自然人
1-3-10钱江庚是自然人
1-3-11何益民是自然人
1-3-12郁华是自然人
间接持有标的
1-3-13江苏恒佳置业有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-3-14杨明华是自然人
1-3-15钱焕平是自然人
1-3-16刘高峰是自然人
1-3-17徐国银是自然人
1-3-18柳桂云是自然人
1-3-19江宝祥是自然人
1-3-20王旭华是自然人
1-3-21陈龙宝是自然人
1-3-22陈押勤是自然人
1-3-23卞国祥是自然人
1-3-24范祥甫是自然人
1-3-25宋增贤是自然人
1-3-26蒋存根是自然人
1-3-27陆泉是自然人
1-3-28王胜凯是自然人
1-3-29钱卫荣是自然人
1-3-30凌欣是自然人
1-3-31朱浩是自然人
1-3-32费凯是自然人
1-3-33王依平是自然人
1-3-34吴春林是自然人
1-3-35周鸿是自然人
1-3-36丁斌是自然人
840中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
1-3-37夏国生是自然人
1-3-38杭小勇是自然人
1-3-39殷金荣是自然人
1-3-40沈翔是自然人
1-3-41王辉是自然人
1-3-42蒋宝喜是自然人
1-3-43黄进明是自然人
1-3-44章再勤是自然人
1-3-45严文明是自然人
1-3-46孟云飞是自然人
1-3-47施寅涛是自然人
1-3-48郑桂荣是自然人
1-3-49鲍志勤是自然人
1-3-50艾小军是自然人
1-4扬州鑫浩创业服务合伙企业（有限合伙）否-
1-4-1谈林是自然人
间接持有标的
1-4-2江苏硕石投资有限公司是公司股权比例
低于0.01%
1-5西藏爱达汇承私募基金管理有限公司否-
1-5-1江苏毅达股权投资基金管理有限公司否-
间接持有标的
1-5-1-1南京毅达资本管理企业（有限合伙）是公司股权比例
低于0.01%
1-5-1-2江苏高科技投资集团有限公司否重复，详见1-2
间接持有标的1-5-1-3南京毅达同盈企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-5-1-4南京毅达同达企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-5-1-5南京毅达泽贤企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%间接持有标的1-5-1-6南京毅达同鑫企业管理咨询中心（有限合是公司股权比例伙）
低于0.01%1-5-1-7南京毅达同盛企业管理咨询中心（有限合间接持有标的是伙）公司股权比例
841中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
/是否为最终最终持有人性层级序号姓名名称持有人质
低于0.01%
1-6张利英是自然人
1-7杭投股权投资（杭州）有限公司否-
1-7-1杭州市科创集团有限公司否-
1-7-1-1杭州市国有资本投资运营有限公司是国有控股1-8南京毅达工投汇员股权投资合伙企业（有否-限合伙）
1-8-1重复，详见南京毅达资本管理企业（有限合伙）否1-5-1-1
1-8-2果桐是自然人
1-8-3倪耀是自然人
1-8-4吴纤尘是自然人
1-8-5张海燕是自然人
1-8-6史云中是自然人
1-8-7文静是自然人
1-8-8王观晨是自然人
1-8-9任正华是自然人
1-8-10赵诗意是自然人
1-8-11陈一琛是自然人
1-9齐晓琳是自然人
间接持有标的
1-10南京毅达股权投资管理企业（有限合伙）是公司股权比例
低于0.01%
（2）各层合伙人取得权益情况
宁波毅达各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
1-1宁波工投睿丰宁波毅达2025-01-16自有或自筹货币
投资有限公司资金江苏高科技投
1-2自有或自筹资集团有限公宁波毅达2020-09-24货币
资金司
1-3江苏申林投资宁波毅达2020-09-24自有或自筹货币
股份有限公司资金扬州鑫浩创业
1-4服务合伙企业宁波毅达2020-09-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）
1-4-1谈林扬州鑫浩创业服务2020-09-07货币自有或自筹
842中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间合伙企业（有限合资金伙）扬州鑫浩创业服务1-4-2江苏硕石投资2020-09-07自有或自筹合伙企业（有限合货币有限公司资金
伙）西藏爱达汇承
1-5自有或自筹私募基金管理宁波毅达2020-09-24货币
资金有限公司
1-6张利英宁波毅达2020-11-26自有或自筹货币
资金杭投股权投资
1-7自有或自筹（杭州）有限宁波毅达2020-11-26货币
资金公司南京毅达工投
1-8汇员股权投资宁波毅达2021-09-29自有或自筹货币合伙企业（有资金限合伙）南京毅达资本南京毅达工投汇员1-8-1自有或自筹管理企业（有股权投资合伙企业2021-05-19货币资金限合伙）（有限合伙）
1-8-1-1南京毅达资本管理应文禄2017-07-12自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-2南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹尤劲柏货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-3南京毅达资本管理周春芳2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-4南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹黄韬货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-5南京毅达资本管理樊利平2014-01-24自有或自筹货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-6南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹史云中货币企业（有限合伙）资金
1-8-1-7南京毅达投资南京毅达资本管理2014-01-24自有或自筹货币
管理有限公司企业（有限合伙）资金南京毅达工投汇员
1-8-2果桐股权投资合伙企业2021-05-19自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-3自有或自筹倪耀股权投资合伙企业2021-05-19货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-4自有或自筹吴纤尘股权投资合伙企业2021-05-19货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-52021-05-19自有或自筹张海燕股权投资合伙企业货币
资金（有限合伙）
1-8-6南京毅达工投汇员史云中2021-05-19自有或自筹货币
股权投资合伙企业资金
843中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-7自有或自筹文静股权投资合伙企业2021-05-19货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-8自有或自筹王观晨股权投资合伙企业2024-12-17货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-9任正华股权投资合伙企业2021-05-19自有或自筹货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-10自有或自筹赵诗意股权投资合伙企业2021-07-29货币
资金（有限合伙）南京毅达工投汇员
1-8-112021-05-19自有或自筹陈一琛股权投资合伙企业货币
资金（有限合伙）
1-9齐晓琳宁波毅达2020-09-24自有或自筹货币
资金南京毅达股权
1-10投资管理企业宁波毅达2020-09-24自有或自筹货币
资金（有限合伙）西藏爱达汇承南京毅达股权投资1-10-1自有或自筹私募基金管理管理企业（有限合2016-07-11货币资金有限公司伙）江苏毅达股权南京毅达股权投资1-10-2自有或自筹投资基金管理管理企业（有限合2016-02-23货币资金有限公司伙）
32、温润安享
（1）最终持有人情况
温润安享的最终持有人相关情况如下：
是否为最终最终持有人性
层级序号姓名/名称持有人质
1-1覃勇进是自然人
1-2孙德寿是自然人
1-3叶渊煌是自然人
间接持有标的
1-4温润（珠海）私募基金管理合伙企业（有限合是公司股权低于
伙）
0.01%
844中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
（2）各层合伙人取得权益情况
温润安享各层合伙人取得相应权益的时间、出资方式、资金来源情况如下：
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间
1-1覃勇进温润安享2023-10-12自有或自筹货币
资金
1-2孙德寿温润安享2024-11-29自有或自筹货币
资金
1-3叶渊煌温润安享2023-10-12自有或自筹货币
资金温润（珠海）
1-4私募基金管理温润安享2023-03-31自有或自筹货币合伙企业（有资金限合伙）温润（珠海）私募
1-4-1广东温氏投资基金管理合伙企业2021-12-29自有或自筹货币
有限公司资金（有限合伙）承润（珠海）温润（珠海）私募
1-4-2自有或自筹投资合伙企业基金管理合伙企业2021-12-29货币
资金（有限合伙）（有限合伙）承润（珠海）投资1-4-2-1自有或自筹覃勇进合伙企业（有限合2022-02-11货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-2孙德寿合伙企业（有限合2021-12-03自有或自筹货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-3吴接勤合伙企业（有限合2022-02-11自有或自筹货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-4白云帆合伙企业（有限合2022-02-11自有或自筹货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-5自有或自筹黎明合伙企业（有限合2023-01-17货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-62023-01-17自有或自筹叶渊煌合伙企业（有限合货币资金
伙）承润（珠海）投资1-4-2-7自有或自筹许娜合伙企业（有限合2025-05-08货币资金
伙）
横琴新兴开元温润（珠海）私募
1-4-3投资合伙企业基金管理合伙企业2021-12-29自有或自筹货币
资金（有限合伙）（有限合伙）横琴新兴开元投资1-4-3-1自有或自筹黎明合伙企业（有限合2024-12-27货币资金
伙）
845中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）
合伙人姓名/名取得下一层主层级序号下一层主体出资方式资金来源称体权益的时间横琴新兴开元投资1-4-3-2自有或自筹罗月庭合伙企业（有限合2024-12-27货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-3张力合伙企业（有限合2024-12-27自有或自筹货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-4自有或自筹吴接勤合伙企业（有限合2024-12-27货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-5覃勇进合伙企业（有限合2024-12-27自有或自筹货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-6白云帆合伙企业（有限合2024-12-27自有或自筹货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-7自有或自筹叶渊煌合伙企业（有限合2024-12-27货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-8刘平合伙企业（有限合2024-12-27自有或自筹货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-9自有或自筹许娜合伙企业（有限合2025-05-08货币资金
伙）横琴新兴开元投资1-4-3-10自有或自筹黄海平合伙企业（有限合2024-12-27货币资金
伙）
846中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）（本页无正文，为《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》之签章页）
中微半导体设备（上海）股份有限公司年月日
847
沪公网安备31011802005267号
