证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2025-051

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025年半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2025年半年度（以下简称“报告期”或“本报告期”）募集资金存放与实际使用情况专项报告如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53486224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第

0411号验资报告。

2、2020年度向特定对象发行 A股股票募集资金中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关

1于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》

核准了公司向特定对象发行 80229335股人民币普通股 A股股票。截至 2021年

6月 22日止，公司完成了人民币普通股 A股 80229335 股的发行，每股发行价

格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

（二）募集资金使用及结余情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金截至2025年6月30日，公司首发募集资金专户余额为人民币20.29万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：

项目金额（万元）

首发募集资金专户年初余额20.28

加：年初用于现金管理金额18652.95

首发募集资金年初余额18673.23

减：本年度直接投入募投项目-

减：募投项目结项资金转出-

减：股份回购资金转出-

加：募集资金利息收入扣减手续费净额91.48

减：年末用于现金管理的金额-18744.42

首发募集资金专户年末余额20.29

2、2020年度向特定对象发行 A股股票募集资金

截至2025年6月30日，公司再融资募集资金专户余额为人民币51106.16万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：

项目金额（万元）

再融资募集资金专户年初余额38925.73年初用于现金管理的金额308939.06

2再融资募集资金年初余额347864.79

减：本年度直接投入募投项目-141330.39

加：募集资金利息收入扣减手续费净额2877.12

减：年末用于现金管理的金额-158305.36

再融资募集资金专户年末余额51106.16

二、募集资金管理情况

中微公司已按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定的要求制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。

1、2019年首次公开发行股票募集资金

截至2025年6月30日，尚未使用的首发募集资金存放专项账户的余额如下：

募集资金专户开户行账号存款方式余额（万元）

中国建设银行上海金桥支行31050161373600004844活期20.29

总计20.29

本公司依照规定对 IPO募集资金采取了专户存储管理，开立了 IPO募集资金专户，并于2019年7月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

2、2020年度向特定对象发行 A股股票募集资金

截至2025年6月30日，尚未使用的再融资募集资金存放专项账户的余额如下：

再融资募集资金专户开户行账号存款方式余额（万元）

中信银行上海浦东分行8110201013601303837活期30362.00

招商银行上海分行121910890310707活期17800.36

中国建设银行上海金桥支行31050161373600006133活期2313.58

3上海浦东发展银行张江科技支行97160078801900002862活期630.22

总计51106.16

本公司依照规定对再融资募集资金采取了专户存储管理，开立了再融资募集资金专户，并分别于2021年4月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海分行营业部、中信银行股份有限公司上

海浦东分行、上海浦东发展银行股份有限公司张江科技支行及中国建设银行股份

有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

三、本报告期募集资金的实际使用情况

1．募集资金投资项目(以下简称“募投项目”)的资金使用情况

本报告期本公司募集资金实际使用情况详见附表1 IPO募集资金使用情况对照表和附表2再融资募集资金使用情况对照表。

2．募投项目先期投入及置换情况

本报告期本公司不存在募投项目先期投入和置换情况。

3．用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

本报告期本公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

4．闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产

品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。

公司于2025年4月17日召开第三届董事会第二次会议及第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过350000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自前次募集资金现金管理的授权到期之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

（1）2019年首次公开发行股票募集资金

于 2025年半年度，本公司使用闲置 IPO募集资金进行现金管理的情况如下：

4()是否到收益(万受托方类型金额万元起止时间收益类型年化收益率期限(天)

期元)

上海银行股份有限公司上海分行七天通知存款18744.422024.04.28-无固定期限保本固定收益1.35%否36591.48

5（2）2020年度向特定对象发行 A股股票募集资金

于2025年半年度，公司使用闲置再融资募集资金进行现金管理的情况如下：

受托方类型金额(万元)起止时间收益类型年化收益是否到期限(天)收益(万元)率期

中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行结构性存款30000.002024.07.12-2025.01.13保本浮动收益0.01%-2.6是185194.14

6%

中国建设银行股份有限公司结构性存款10000.002024.10.09-2025.01.24保本浮动收益1.60%是10740.17

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款14000.002024.10.25-2025.01.23保本浮动收益2.20%是9075.95

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款6000.002024.11.01-2025.01.24保本浮动收益2.10%是8430.93

光大银行隆昌支行结构性存款10000.002024.12.20-2025.03.20保本浮动收益2.00%是9050.00

光大银行隆昌支行结构性存款5000.002024.12.20-2025.03.20保本浮动收益2.00%是9025.00

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.01.02-2025.01.24保本浮动收益1.50%是2210.31

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002025.02.01-2025.02.28保本浮动收益2.10%是2731.66

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002025.03.01-2025.03.31保本浮动收益2.20%是3036.16

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002025.04.01-2025.04.30保本浮动收益1.05%是2916.68

中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002025.05.01-2025.05.30保本浮动收益1.50%是2929.87

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.02.05-2025.02.26保本浮动收益1.50%是219.78

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.03.03-2025.03.31保本浮动收益1.65%是2814.27

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.04.01-2025.04.29保本浮动收益1.77%是2815.50

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.05.01-2025.05.30保本浮动收益1.85%是2912.16

中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行结构性存款30000.002025.02.21-2025.05.23保本浮动收益0.01%-2.0是9121.49

9%

光大银行隆昌支行结构性存款10000.002025.03.20-2025.06.20保本浮动收益2.00%是9250.00

光大银行隆昌支行结构性存款5000.002025.03.20-2025.06.20保本浮动收益2.00%是9225.00

6中信银行上海浦东分行营业部结构性存款20000.002025.06.01-2025.06.30保本浮动收益1.69%是2926.85

招商银行股份有限公司上海分行营业部结构性存款10000.002025.06.03-2025.06.30保本浮动收益1.72%是2712.72

光大银行隆昌支行结构性存款10000.002025.06.20-2025.09.20保本浮动收益1.75%否92-

光大银行隆昌支行结构性存款5000.002025.06.20-2025.09.20保本浮动收益1.75%否92-

国家开发银行股份有限公司上海市分行七天通知存款34138.932024.04.15-无固定期限保本固定收益1.55%否无固定期限1231.90

招商银行股份有限公司上海分行营业部七天通知存款24363.752022.10.17-无固定期限保本固定收益1.95%否无固定期限-

中国进出口银行上海分行七天通知存款14704.452024.12.30-2025.05.30保本固定收益0.75%是15171.02

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行七天通知存款4000.002024.03.07-约定期限保本固定收益1.35%否无固定期限-

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行七天通知存款30000.002024.10.17-2025.05.28保本固定收益1.15%是223213.71

招商银行股份有限公司南昌高新支行协定存款83.032021.07.22-无固定期限保本固定收益1.50%否无固定期限4.43

中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行协定存款1989.502025.04.11-无固定期限保本固定收益0.55%否无固定期限6.63

中国进出口银行上海分行协定存款352.652024.11.18-无固定期限保本固定收益0.45%否无固定期限0.53

国家开发银行股份有限公司上海市分行协定存款1267.512024.06.21-无固定期限保本固定收益0.45%否无固定期限0.03

中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行协定存款31988.152024.10.11-无固定期限保本固定收益0.95%否无固定期限63.44

中国民生银行股份有限公司上海分行协定存款4073.582024.10.11-无固定期限保本固定收益1.05%否无固定期限24.26

平安银行股份有限公司上海分行营业部协定存款25490.942024.10.12-无固定期限保本固定收益1.05%否无固定期限134.29

中国光大银行股份有限公司上海长宁支行协定存款1346.772024.04.24-无固定期限保本固定收益0.55%否无固定期限0.62

中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行协定存款10364.292024.10.12-无固定期限保本固定收益0.95%否无固定期限49.38

中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行协定存款3465.762025.05.15-无固定期限保本固定收益0.55%否无固定期限10.56

兴业银行股份有限公司上海人民广场支行协定存款143.032024.10.11-无固定期限保本固定收益1.05%否无固定期限37.71

上海银行股份有限公司张江支行协定存款237.472024.04.10-无固定期限保本固定收益1.35%否无固定期限0.82

75．用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

本报告期本公司不存在使用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

6．使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况本报告期本公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。

7.节余募集资金使用情况

本报告期本公司不存在节余募集资金使用情况。

8.募集资金使用的其他情况

本报告期本公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

截至2025年6月30日，公司募集资金投资项目不存在变更、对外转让或置换情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集

资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年8月29日

8附件1：首发募集资金使用情况对照表：

金额单位：人民币万元

募集资金总额144570.28本年度投入募集资金总额-

变更用途的募集资金总额-

已累计投入募集资金总额130061.20

变更用途的募集资金总额比例-截至期末截至期项目已变更累计投入末投入项目达可行项目，截至期末承截至期末累金额与承进度到预定本年度是否达性是含部分募集资金承调整后投资本年度投

承诺投资项目诺投入金额计投入金额诺投入金（%）可使用实现的到预计否发

变更诺投资总额总额1入金额（）（2）额的差额（4）＝状态日效益效益生重

（如

（3）＝（2）/期大变

有）

（2）-（1）（1）化高端半导体设

备扩产升级项无40000.0040000.0040000.00-39991.03-8.9799.98%不适用不适用不适用否目技术研发中心

无40000.0040000.0040000.00-39992.45-7.5599.98%不适用不适用不适用否建设升级项目

补充流动资金无20000.0020000.0020000.00-20000.00-100%不适用不适用不适用否

小计—100000.00100000.00100000.00-99983.48-16.52—————

回购公司股份无30077.7230077.7230077.72-30077.72-100%不适用不适用不适用否

合计—130077.72130077.72130077.72-130061.20-16.52—————

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用。

项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。

9募集资金投资项目先期投入及置换情况本报告期不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本报告期不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本报告期募集资金的实际使用情况4”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本报告期不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

募集资金结余的金额及形成原因本报告期不存在募集资金结余的情况。

募集资金其他使用情况不适用。

10附件2：再融资募集资金使用情况对照表：

金额单位：人民币万元

募集资金总额811816.24本年度投入募集资金总额141330.39

变更用途的募集资金总额-

已累计投入募集资金总额647008.50

变更用途的募集资金总额比例-已变更项截至期末项目达项目可截至期末累计投目，含截至期末承截至期末累投入进度到预定本年度是否达行性是募集资金承调整后投资本年度投入入金额与承诺投

承诺投资项目部分诺投入金额计投入金额（%）（4）可使用实现的到预计否发生

诺投资总额总额1金额入金额的差额变更（）（2）32-1＝（2）/状态日效益效益重大变（）＝（）（）

（如（1）期化

有）中微产业化基

无317000.00317000.00317000.0014414.44264980.30-52019.7083.59%不适用不适用不适用否地建设项目中微临港总部

和研发中心项无375000.00375000.00375000.0040432.47262211.96-112788.0469.92%不适用不适用不适用否目

科技储备资金无308000.00119816.24119816.2486483.48119816.24-100.00%不适用不适用不适用否

合计—1000000.00811816.24811816.24141330.39647008.50-164807.74—————

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用。

项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。

募集资金投资项目先期投入及置换情况本报告期不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本报告期不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

11对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、本报告期募集资金的实际使用情况4”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用。

募集资金结余的金额及形成原因本报告期募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。

募集资金其他使用情况不适用。

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