中微半导体设备(上海)股份有限公司

2025年度控股股东及其他关联方占用资金情况专项报告

关于中微半导体设备(上海)股份有限公司控股股东及其他关联方占用资金情况专项报告

普华永道中天特审字(2026)第0072号

(第一页，共二页)

中微半导体设备(上海)股份有限公司董事会:

我们审计了中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称中微公司)2025年12月31日的合并及公司资产负债表、2025年度合并及公司利润表、合并及公司股东权益变动表、合并及公司现金流量表和财务报表附注（以下合称“财务报表”），并于2026年3月30日出具了报告号为普华永道中天审字(2026)第10015号的无保留意见审计报告。财务报表的编制和公允列报是中微公司管理层的责任，我们的责任是在按照中国注册会计师审计准则执行审计工作的基础上对财务报表整体发表审计意见。

在对上述财务报表执行审计的基础上，我们对后附的截至2025年12月31日止年度中微公司控股股东及其他关联方非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表(以下简称“情况表)执行了有限保证的鉴证业务。

根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第8号- 一上市公司资金往来、对外担保的监管要求》和《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第2号-式》及上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指南第7号——年度报告相关事项(2025年4月修订)》的要求,中微公司编制了上述情况表。设计、执行和维护与编制和列报情况表有关的内部控制、采用适当的编制基础如实编制和对外披露情况表并确保其真实性、合法性及完整性是中微公司管理层的责任。

我们的责任是在执行鉴证工作的基础上对情况表作出结论。我们根据《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号-历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证工作。该准则要求我们遵守职业道德规范，计划和实施鉴证工作，以对我们是否发现任何事项使我们相信情况表所载资料与我们审计财务报表时所审核的会计资料及财务报表中所披露的相关内容在所有重大方面存在不一致的情况获取保证。在对财务报表执行审计的基础上，我们对情况表实施了包括核对、询问、抽查会计记录等我们认为必要的工作程序。

普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)中国上海市黄浦区湖滨路202号领展企业广场2座普华永道中心11楼邮编200021

总机:+86(21)23238888,传真:+86(21)23238800

关于中微半导体设备(上海)股份有限公司控股股东及其他关联方占用资金情况专项报告(续)

普华永道中天特审字(2026)第0072号

(第二页，共二页)

根据我们的工作程序，我们没有发现后附由中微公司编制的截至2025年12月31日止年度控股股东及其他关联方非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表所载资料与我们审计财务报表时所审核的会计资料及财务报表中所披露的相关内容在所有重大方面存在不一致的情况。

本报告仅作为中微公司披露控股股东及其他关联方占用资金情况之用，不得用作任何其他目的。

会计师事务所(特殊普通合伙)

中国·上海市

2026年3月30日

注册会计师

注册会计师

张炜彬

胡玉琢

2 2

1, 形来因往原

期金年用1,1,, 无 无 无 期金年来1,1,6 无

偿金度10还额 无 无 无 偿金度性2还额 无

占息度利1,, 无 无 无 往息度利 无

E额占金,息,发,1, 无 无 无 1金息,,1, 无

无 无 无2,期余年 无

公市

2 用公系 来往公系

4金 无 无 无 无

金0经用 实及4制 M 实及2,P0 5 属控控际其前 金资方业联金联关他3,他来其 其 1,控

2 2 2

2

2

- T T

4

技0科- 0微司微海七 22 备公1,1微℃同七

2 ℃

额末余 2 无 无11

- 无 无 13

息20年1, - - - 无 无 T

金息 无 无11,

初额 1 - - 无 无11

核科2会市的 2 2

与的来2往市联 P本 4 公子本

2 , 1 备公℃ 12 4 备 无2 无

6℃4市℃ ,6公属 ℃ 2 方 ,联属其

2