26Q1 公司实现营收3.31 亿元，同比增长20.08%；归母净利润350.89 万元，扣非归母净利润-756.76 万元，其中政府补助1519.55 万元（25Q1 为5263.05 万元）；毛利率46.69%，同比提升12.4 个百分点，环比提升10.4 个百分点。

2025 年公司实现营收19.48 亿元，同比增长11.11%；归母净利润7171 万元；毛利率35.39%。从收入构成来看，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗收入占比也将持续提升；后道及小尺寸收入占比基本持平，其中键合品类收入规模及占比大幅提升；前道Track 收入规模有所增长，随着新机型陆续推出并推进验证，将持续巩固国产细分龙头地位。签单方面，全年新签订单保持较快增长；化学清洗机已全面导入国内多家头部晶圆厂，并获得了部分客户的批量重复性订单，客户采买意愿强烈，预计化学清洗未来几年将保持不错增长。

涂显：公司目前已成功推出包括offline、I-line、KrF 及ArF 浸没式在内的多种型号产品，产品持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，offline、I-line、KrF 等机台在多家客户端量产跑片数据良好，客户认可度不断提升。新一代涂胶显影机架构研发进展顺利，正加快推进工艺验证和产业化销售。

清洗：公司化学清洗机整体工艺覆盖率达90%以上，并已成功突破难度最高的前道前中段部分工序。公司将通过高带低的方式，用高端机台带动中低端机台销售，并借助北方华创集团赋能，与集团产品协同配合，不断提升在客户端的市占率，提高产品订单及收入规模。公司高端机台已经获得了客户充分的认可。前道高端化学清洗机台经过客户端数月的量产跑片监控，在三大核心指标上可对标海外龙头，已成功通过客户工艺验证。战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，高端SPM 机台已通过国内头部客户工艺验证，获得国内客户高度认可，目前化学清洗机已获得国内多家大客户重复性订单；前道物理清洗机成功获得国内头部客户批量订单。

后道：后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，继续获得封装龙头客户批量重复性订单。临时键合机、解键合机、Frame 清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段，2025 年收入占比大幅提升。随着客户在CoWoS、HBM 以及3DIC 等领域的深化布局，公司后道产品也将持续受益。

投资建议：芯源微立足涂显赛道，高端化学清洗加速放量，高端封装产品稳步布局，业绩增长动力强劲。我们预计公司2026-2028 年营收分别为25.10/33.21/44.52 亿元，归母净利润分别为2.10/4.48/6.80 亿元。维持“强烈推荐”评级。

风险提示：下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，系统性风险等。