中证网讯 截至2月2日13:45，半导体设备板块持续下挫，科创半导体ETF(588170)下跌4.55%，半导体设备ETF华夏(562590)下跌4.04%，个股方面，中巨芯领跌9.40%，芯源微、神工股份、华峰测控、富创精密等多只股票跌幅明显。

规模方面，Wind数据显示，科创半导体ETF最新规模达84.58亿元，创成立以来新高，领先同类。半导体设备ETF华夏最新规模达29.80亿元。

资金净流入方面，科创半导体ETF近3个交易日获得连续资金净流入，最高单日获得3.43亿元净流入，合计“吸金”5.50亿元，日均净流入达1.83亿元。此外，半导体设备ETF华夏最新资金净流入1550.84万元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计“吸金”6588.99万元，日均净流入达1317.80万元。