证券代码：688037证券简称：芯源微公告编号：2026-021

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分

第二个归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

*限制性股票拟归属数量：13.92万股。

*归属股票来源：沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）

向激励对象定向发行公司 A股普通股。

一、本次股权激励计划批准及实施情况

（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

1、本次股权激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：授予158万股限制性股票，约占公司2023年限制性股票激

励计划草案（以下简称“本激励计划”）公告时公司股本总额13744.8931万股的1.15%。其中首次授予126万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的

0.92%；预留32万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.23%。

（3）授予价格：34.23元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股 34.23元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。

（4）激励人数：首次授予的激励对象总人数为160人，预留授予的激励对象总人数为37人。

（5）激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

归属权益数量占授予归属安排归属时间权益总量的比例自首次授予之日起12个月后的首个交易日首次授予的限制性股

至首次授予之日起24个月内的最后一个交30%

票第一个归属期易日止自首次授予之日起24个月后的首个交易日首次授予的限制性股

至首次授予之日起36个月内的最后一个交20%

票第二个归属期易日止自首次授予之日起36个月后的首个交易日首次授予的限制性股

至首次授予之日起48个月内的最后一个交20%

票第三个归属期易日止自首次授予之日起48个月后的首个交易日首次授予的限制性股

至首次授予之日起60个月内的最后一个交30%

票第四个归属期易日止

预留部分归属安排如下表所示：

归属权益数量占授予归属安排归属时间权益总量的比例自预留部分授予之日起12个月后的首个交预留授予的限制性股

易日至预留部分授予之日起24个月内的最30%

票第一个归属期后一个交易日止自预留部分授予之日起24个月后的首个交预留授予的限制性股

易日至预留部分授予之日起36个月内的最30%

票第二个归属期后一个交易日止自预留部分授予之日起36个月后的首个交预留授予的限制性股

易日至预留部分授予之日起48个月内的最40%

票第三个归属期后一个交易日止

激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。

（6）任职期限和业绩考核要求

*激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

*满足公司层面业绩考核要求

本激励计划首次授予限制性股票考核年度为2023-2026年四个会计年度，预留授予限制性股票考核年度为2024-2026年三个会计年度，每个会计年度考核一次。对各考核年度的营业收入累计值定比基数（2022年营业收入值）的年度累计营业收入增长率（A）及各考核年度营业收入同比增长率（B）进行考核，根据上述指标的每年对应的完成情况核算公司层面归属比例（X），业绩考核目标及归属比例安排如下：

对应考核年公司层面归归属期业绩考核目标

度 属比例（X）

A≧对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0 100%首次授予

对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<对标

第一个归202380%

企业营业收入增长率平均水平，且 B>0属期

A<对标企业营业收入增长率平均水平*0.8或 B≤0 0

A≧对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0 100%首次授予

对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<对标

第二个归202480%

企业营业收入增长率平均水平，且 B>0属期

A<对标企业营业收入增长率平均水平*0.8或 B≤0 0

A≧对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0 100%首次授予

对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<对标

第三个归202580%

企业营业收入增长率平均水平，且 B>0属期

A<对标企业营业收入增长率平均水平*0.8或 B≤0 0

A≧对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0 100%首次授予

对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<对标

第四个归202680%

企业营业收入增长率平均水平，且 B>0属期

A<对标企业营业收入增长率平均水平*0.8或 B≤0 0

注：1、上述“营业收入”以经会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据。

2、对标企业指 Gartner 公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果 Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

3、各年度营业收入累计值为自2023年度起各年度营业收入和，例如：2023年营业收

入累计值为2023年营业收入值，2024年营业收入累计值为2023年度与2024年度营业收入之和，以此类推；

4、对标企业营业收入增长率平均水平=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比

2022年度的累计营业收入增长率（同芯源微各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；5、如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在芯源

微董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在芯源微董事会审议归属条件是

否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据；

6、若预留部分在2023年授予完成，则预留部分业绩考核与首次授予部分一致；若预留

部分在2024年授予完成，则预留部分第一个归属期、第二个归属期、第三个归属期对应的业绩考核年度分别为2024年、2025年、2026年。

若公司未满足上述业绩考核目标，则所有激励对象对应考核当年计划归属的限制性股票全部取消归属，并作废失效。

*满足激励对象个人层面绩效考核要求

激励对象个人层面绩效考核按照公司现行的相关规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为优秀、良好、合格、不合格四个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象实际归属的股份数量：

评价结果 优秀（A） 良好（B） 合格（C） 不合格（D）

归属比例100%100%80%0

如果公司满足当年公司层面业绩考核要求，激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属的权益作废失效处理，不可递延至以后年度。

2、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

（1）2023年7月28日，公司召开第二届董事会第十四次会议，会议审议

通过了《关于公司＜2023年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》

《关于公司＜2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

同日，公司召开第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于公司＜2023年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于核实公司＜2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单＞的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

（2）2023年 7月 29日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-049），根据公司其他独立董事的委托，独立董事宋雷先生作为征集人就2023年第一次临时股东大会审议的公司2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（3）2023年7月29日至2023年8月8日，公司对本激励计划首次授予的

激励对象名单在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2023年8月9日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会关于公司

2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说明》（公告编号：2023-052）。

（4）2023年8月14日，公司召开2023年第一次临时股东大会，审议并通

过了《关于公司＜2023年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》，并于2023年8月15日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于2023年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2023-054）。

（5）2023年8月14日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于调整公司2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，认为授予条件已经成就，激励对象主体资格合法有效，确定的授予日符合相关规定。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

（6）2024年5月21日，公司召开第二届董事会第二十二次会议与第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。（7）2024年8月15日，公司召开第二届董事会第二十四次会议与第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格及授予数量的议案》《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，公司监事会对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（8）2025年5月27日，公司召开第二届董事会第三十一次会议与第二届监事会第二十九次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，公司监事会对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（9）2025年8月28日，公司召开第三届董事会第三次会议，审议通过了

《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予

部分第二个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发

表了同意的意见，并对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（10）2026年6月16日，公司召开第三届董事会第九次会议审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，并对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（二）历次限制性股票授予情况

公司于2023年8月14日向激励对象首次授予126.00万股限制性股票，于

2024年5月21日向激励对象授予32.00万股预留部分限制性股票。

授予价格授予后限制性授予日期授予数量授予人数（调整后）股票剩余数量

2023年8月14日34.23元/股126.00万股16032万股

2024年5月21日34.23元/股32.00万股370

（三）激励计划各期限制性股票归属情况截至本公告出具日，公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分归属情

况如下：

归属后限上市流通取消归属数量因分红送转导致归属价价格归属数量归属人数制性股票时间及原因格及数量的调整情况剩余数量

2024年34.34元/53.5050万126.295万首次授予部分3

156人2023年权益分派方案已

9月3日股股股名激励对象因

实施完毕，因此授予价格个人原因离职，由50元/股调整为34.34作废其尚未归元/股。首次授予部分授属的限制性股

2024年34.34元/0.4350万125.86万予数量由126万股调整

1人票2.9万股，首

11月18日股股股为182.70万股，预留授次授予激励对

予部分授予数量由32万象由160人调整

股调整为46.40万股。

为157人。

首次授予部分5名激励对象因

个人原因离职，

2024年权益分派方案已

作废其尚未归

2025年34.23元/34.945万87.3625万实施完毕，因此授予价格

152人属的限制性股

9月26日股股股由34.34元/股调整为34.

票3.5525万股，

23元/股。

首次授予激励对象由157人调整为152人。

截至本公告出具日，公司2023年限制性股票激励计划预留授予部分归属情况如下：

归属后限上市流通取消归属数量因分红送转导致归属价价格归属数量归属人数制性股票时间及原因格及数量的调整情况剩余数量

2023年权益分派方案已

实施完毕，因此授予价格由50元/股调整为34.34

2025年34.34元/元/股。首次授予部分授

13.92万股37人32.48万股/

6月19日股予数量由126万股调整

为182.70万股，预留授予部分授予数量由32万

股调整为46.40万股。

二、限制性股票归属条件说明

（一）董事会限制性股票归属条件是否成就的审议情况

2026年6月16日，公司召开第三届董事会第九次会议审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。根据

公司2023年第一次临时股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为13.92万股，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

董事会表决情况：8票同意，0票反对，0票弃权，0票回避。

公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见。

（二）激励对象归属符合激励计划规定的各项归属条件的说明

1、根据归属时间安排，激励计划预留授予限制性股票已进入第二个归属期。

根据《2023年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，预留授予的限制性股票的第二个归属期为“自预留授予之日起24个月后的首个交易日至预留授予之日起36个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划预留授予日为2024年5月21日，因此预留授予的限制性股票的第二个归属期为2026年5月22日至2027年5月21日。

2、预留授予限制性股票符合归属条件的说明根据公司2023年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》和《2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的

相关规定，激励计划预留授予部分限制性股票第二个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

归属条件达成情况

（一）公司未发生如下任一情形：

1、最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否

定意见或者无法表示意见的审计报告；

2、最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出

公司未发生前述情形，符合归属条具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

3件。、上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形；

4、法律法规规定不得实行股权激励的；

5、中国证监会认定的其他情形。

（二）激励对象未发生如下任一情形：

1、最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

2、最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适激励对象未发生前述情形，符合归

当人选；属条件。

3、最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其

派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；4、具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

5、法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

6、中国证监会认定的其他情形。

（三）激励对象归属权益的任职期限要求

激励对象归属获授的各批次限制性股票前，须满足12预留授予的37名激励对象均符合个归属任职期限要求。

月以上的任职期限。

（四）公司层面业绩考核要求

第二个归属期考核年度为2025年。

对各考核年度的营业收入累计值定比基数（2022年营业收入值）的年度累计营业收入增长率（A）及各考核年度

营业收入同比增长率（B）进行考核，根据上述指标的每年对应的完成情况核算公司层面归属比例（X），业绩考 根据容诚会计师事务所对公司核目标及归属比例安排如下：2025年年度报告出具的审计报告

公司 （容诚审字【2026】110Z0040号）：

对应层面2025年度公司实现营业收入归属

考核业绩考核目标归属1948488261.73元，2024年度公期司实现营业收入1753605965.73年度比例元，2023年度公司实现营业收入（X） 1716969907.58元，累计较 2022A≧对标企业营业收入增长

100%年增长291.31%，且大于对标企业

率平均水平，且 B>0 营业收入增长率平均水平，符合归预留

对标企业营业收入增长率平属条件，公司层面归属比例为授予

均水平*0.8≦A<对标企业营 100%。

第二202580%

业收入增长率平均水平，且个归

B>0属期

A<对标企业营业收入增长

0

率平均水平*0.8或 B≤0

（五）满足激励对象个人层面绩效考核要求激励对象个人层面绩效考核按照公司现行的相关规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为优秀、良好、合格、不合格四个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象实际归属的股份数量：公司《2023年限制性股票激励计划》预留授予的37名激励对象考

评价结果 优秀（A） 良好（B） 合格（C） 不合格（D）

核评价结果均为“良好”或“优秀”，归属比例100%100%80%0

本期个人层面归属比例为100%。

如果公司满足当年公司层面业绩考核要求，激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×个人层面归属比例。

激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归

属的权益作废失效处理，不可递延至以后年度。

（三）董事会薪酬与考核委员会意见

董事会薪酬与考核委员会认为：公司2023年限制性股票激励计划预留授予

部分第二个归属期的归属条件已经成就，同意符合归属条件的37名激励对象归

属13.92万股限制性股票，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》和公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》等相关规定。

三、本次归属的具体情况

（一）授予日：2024年5月21日。

（二）归属数量：13.92万股。

（三）归属人数：37人。

（四）授予价格：34.23元/股（公司2023年权益分派方案已实施完毕，因此授予价格由50元/股调整为34.34元/股；公司2024年权益分派方案已实施完毕，因此授予价格由34.34元/股调整为34.23元/股）。

（五）股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A股普通股股票。

（六）激励对象名单及归属情况可归属数量占获授限制可归属数已获授予的限姓名国籍职务性股票数量（万股）制性股票总量量（万股）的比例

一、高级管理人员、核心技术人员

//////

二、其他激励对象（共37人）

董事会认为需要激励的其他人员（共37人）46.4013.9230%合计（共37人）46.4013.9230%

四、董事会薪酬与考核委员会对激励对象名单的核实情况

董事会薪酬与考核委员会核查后认为：公司2023年限制性股票激励计划预

留授予部分第二个归属期37名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法

规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

董事会薪酬与考核委员会同意本次符合条件的37名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为13.92万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

五、归属日及买卖公司股票情况的说明归属将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相

关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更手续当日确定为归属日。

预留授予激励对象不包括董事、高级管理人员。

六、限制性股票费用的核算及说明

1、按照《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》的规定，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

2、公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本

次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

七、法律意见书的结论性意见

北京市邦盛律师事务所律师认为：公司本次归属事项已取得现阶段必要的批

准和授权；公司本次归属事项符合《管理办法》等法律法规、规范性文件及《激励计划》的相关规定；本次激励计划预留授予的限制性股票已进入第二个归属期，

第二个归属期的归属条件已成就，相关归属安排符合《管理办法》等法律法规、规范性文件及《激励计划》的相关规定。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2026年6月17日