证券代码：688037证券简称：芯源微公告编号：2026-009

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关于使用剩余超募资金永久补充流动资金的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示

*超额募集资金金额及使用用途

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年4月17日召开公司第三届董事会第六次会议审议通过了《关于使用剩余超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用剩余超募资金人民币6064553.10元（含超募资金到位后产生的利息、现金管理收益等，实际金额以资金转出当日专户余额为准）用于永久补充流动资金，占超募资金总额的比例为4.74%。本次使用剩余超募资金永久补充流动资金后，公司首次公开发行超募资金账户余额为人民币0元，公司将按照相关规定注销相关募集资金专用账户，该事项尚需提交公司股东会审议通过后方可实施。

*简述审议程序

本事项已经公司第三届董事会第六次会议审议通过，尚需提交公司股东会审议。

一、募集资金基本情况

（一）募集资金金额、资金到账时间经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）21000000股，每股面值为人民币 1 元，每股发行价为人民币 26.97 元，应募集资金总额为

566370000.00元，扣除发行费用60625896.22元（不含增值税），实际募集资

金净额为505744103.78元。以上募集资金已于2019年12月10日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字

[2019]8294号《验资报告》。公司已对募集资金进行了专户存储，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。具体情况详见 2019 年 12 月 13 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《首次公开发行股票科创板上市公告书》。

发行名称2019年首次公开发行股份

募集资金总额56637.00万元

募集资金净额50574.41万元

超募资金金额12795.44万元募集资金到账时间2019年12月10日

（二）募集资金投资项目的基本情况根据公司披露的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司首次公开发行股票募集资金投资项目如下：

拟使用募集资金投

序号项目名称投资金额（万元）

入金额（万元）

1高端晶圆处理设备产业化项目23860.7323860.73

2高端晶圆处理设备研发中心项目13918.2413918.24

合计37778.9737778.97上述募投项目及募集资金使用情况详见公司2025年8月29日于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2025年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》（公告编号：2025-063）。

二、超募资金使用安排

超募资金金额12795.44万元

前次已使用金额12490.92万元本次使用用途及金额其他，永久补充流动资金，6064553.10元（含超募资金到位后产生的利息、现金管理收益等，实际金额以资金转出当日专户余额为准）

注：本表中“前次已使用金额”详见公司2025年8月29日于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2025 年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》（公告编号：2025-063）。

（一）前次使用部分超募资金的基本情况

1、永久补充流动资金

公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第

七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，

2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意

公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币

3830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会

第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，

同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第

十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，

2024年6月17日，公司召开2023年年度股东大会审议通过了前述议案，同意

公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币

3830.00万元用于永久补充流动资金。

2、回购公司股份公司于2024年2月21日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用部分超募资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民

币普通股（A股）股份，拟用于回购的资金总额不低于人民币 1000万元（含）、不超过人民币2000万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内。

截至2024年6月30日，公司累计回购公司股份102607股，支付的资金总额为人民币10008325.19元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。

（二）本次使用超募资金永久补充流动资金的计划

为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，根据《上市公司募集资金监管规则》及修订说明、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和公司制定的《募集资金管理制度》等相关规定，公司拟使用剩余超募资金永久补充流动资金，用于公司的生产经营，符合公司实际经营发展的需要，符合全体股东的利益。

公司超募资金总额为12795.44万元，本次拟剩余超募资金人民币6064553.10元（含超募资金到位后产生的利息、现金管理收益等，实际金额以资金转出当日专户余额为准）用于永久补充流动资金，占超募资金总额的比例为

4.74%。本次使用剩余超募资金永久补充流动资金后，公司首次公开发行超募资

金账户余额为人民币0元，公司将按照相关规定注销相关募集资金专用账户。

公司最近12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募

资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。

根据中国证监会《上市公司募集资金监管规则》及修订说明，《上市公司募集资金监管规则》自2025年6月15日起实施，实施后发行取得的超募资金，适用新规则；实施前已发行完成取得的超募资金，适用旧规则。因此，公司本次使用剩余超募资金永久补充流动资金符合《上市公司募集资金监管规则》修订说明中关于超募资金使用的新旧规则适用的相关要求。

（三）相关承诺本次使用剩余超募资金永久补充流动资金，不存在改变募集资金使用用途、影响募集资金投资项目正常进行的情形，旨在满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，符合法律法规的相关规定。

公司承诺：每12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额将不超

过超募资金总额的30%，在使用剩余超募资金永久补充流动资金后的12个月内不进行高风险投资以及为控股子公司以外的对象提供财务资助。

三、适用的审议程序及保荐人意见

（一）相关审议程序2026年4月17日，公司第三届董事会第六次会议审议通过了《关于使用剩余超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用剩余超募资金人民币6064553.10元（含超募资金到位后产生的利息、现金管理收益等，实际金额以资金转出当日专户余额为准）永久补充流动资金。该议案尚需提交公司股东会审议。

（二）保荐人意见经核查，保荐机构认为：公司本次使用剩余超募资金永久补充流动资金事项已经经过公司董事会审议通过，尚需提交公司股东会审议，履行了必要的内部审批程序。本次事项符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上市公司募集资金监管规则》及修订说

明等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的有关规定。

综上，保荐机构对公司本次使用剩余超募资金永久补充流动资金事项无异议。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2026年4月18日