证券代码：688037证券简称：芯源微公告编号：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关于公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用

情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

按照中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易所颁布的

《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及相关格式指引的要求，现将沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“本公司”、“公司”）2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况报告如下：

一、募集资金基本情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）21000000股，每股面值为人民币 1元，每股发行价为人民币26.97元，应募集资金总额为566370000.00元，根据有关规定扣除发行费用60625896.22元后，实际募集资金净额为505744103.78元，实际到账金额为518123349.06元。该募集资金已于2019年12月10日到位，上述募集资金到位情况经由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验

字[2019]8294号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

2025年度，本公司2019年首次公开发行股票募集资金使用情况为：对募集

资金项目投入0.00元。2025年度，公司累计使用募集资金0.00元，支付银行手续费（不含增值税）50.00元，募集资金专用账户利息收入为4269.03元，募集资金专用账户2025年12月31日余额合计为6063795.13元。具体明细如下：

募集资金基本情况表

单位：元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账时间2019年12月10日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额566370000.00

其中：超募资金金额127954403.78

减：直接支付发行费用60625896.22

二、募集资金净额505744103.78

减：

以前年度已使用金额387316021.56

本年度使用金额0.00

永久补流金额114900000.00

股份回购金额10009160.24

节余募集资金补流金额9284650.48

银行手续费支出及汇兑损益22002.67

加：

募集资金利息收入10271862.35

募集资金理财收益11579663.95

三、报告期期末募集资金余额6063795.13

2、2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8045699股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999999928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9915093.67元，实际募集资金净额为人民币990084835.04元。该募集资金已于2022年6月8日到位，上述募集资金到位情况已由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008 号《验资报告》。

公司对募集资金采取了专户存储管理。

2025年度，本公司 2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金使用情况为对募集资金项目投入41674176.08元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目（二期）41674176.08元。2025年度公司累计使用募集资金41674176.08元，支付银行手续费（不含增值税）948.93元，募集资金专用账户利息收入为1134046.12元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益1636624.68元，募集资金专用账户2025年12月31日余额合计为202225439.32元。具体明细如下：

募集资金基本情况表

单位：元币种：人民币

发行名称 2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金到账时间2022年6月8日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额999999928.71

其中：超募资金金额0.00

减：直接支付发行费用9915093.67

二、募集资金净额990084835.04

减：

以前年度已使用金额768521303.91

本年度使用金额41674176.08

节余募集资金补流金额10679597.56

银行手续费支出及汇兑损益93848.02

加：

募集资金利息收入7280533.61

募集资金理财收益25828996.24

三、报告期期末募集资金余额202225439.32

二、募集资金管理情况

公司根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关于制定<募集资金管理办法>的议案》，分别于2024年6月17日、2025年6月23日，召开的2023年年度股东大会、2025年第二次临时股东大会，审议通过了《关于修订<募集资金管理制度>的议案》。《沈阳芯源微电子设备股份有限公司募集资金管理制度》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

1、2019年首次公开发行股票募集资金公司于2019年12月11日分别在中信银行沈阳和平支行（账号8112901012900643057）、中国建设银行沈阳城内支行（账号21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110111）开设账户作为募集资金专项账户。2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有

限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。

2021年 9月 8日，公司因 2021年年度向特定对象发行 A股股票变更保荐机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支

行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2025年12月31日，公司均严格按照该《募集资金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。

截至2025年12月31日，募集资金存储情况如下：

募集资金存储情况表

单位：元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账时间2019年12月10日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态

沈阳芯源微中信银行沈阳和平支行8112901012900643057/已注销

电子设备股中国建设银行沈阳城内支行21050139000800001255/已注销

份有限公司招商银行沈阳浑南西路支行1249046001101116063795.13使用中

合计6063795.13

2、2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金

2022年6月7日，公司分别在平安银行沈阳分行（账号15912666666677）、中信银行沈阳南站支行（账号8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月16日，分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资金专户存储三方监管协议》。

2022年6月7日，公司在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号

121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月27日，公司

董事会同意使用募集资金25000.00万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限

公司进行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022年7月

27日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。

上述《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》

与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至2025年12月31日，公司均严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

截至2025年12月31日，募集资金存储情况如下：

募集资金存储情况表

单位：元币种：人民币

发行名称 2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金到账时间2022年6月8日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态

沈阳芯源微中信银行沈阳南站支行8112901011100849786202196623.17使用中

电子设备股招商银行沈阳浑南西路支行12490460011085828816.15使用中

份有限公司平安银行沈阳分行15912666666677/已注销

上海芯源微121942302510107/已注销招商银行上海自贸区临港

企业发展有12194230257100017(注1)/已注销新片区支行

限公司12194230257100020(注1)/已注销

合计202225439.32

注1：银行账号12194230257100017及12194230257100020的账户性质为保证金账户，保证金账户系公司为办理与募投项目相关支出的信用证而存入的信用证保证金。

三、本年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目资金使用情况1、2019年首次公开发行股票募集资金

2025年度，本公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币0.00元，具

体使用情况详见附表1：2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

2025年度，本公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币

41674176.08元，具体使用情况详见附表2：2021年度向特定对象发行A股股票募

集资金使用情况对照表。

（二）募投项目先期投入及置换情况

本报告期内，公司不存在募投项目先期投入及置换情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

本报告期内，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

本报告期内，公司未使用2019年首次公开发行股票闲置募集资金进行现金管理，无投资相关产品的情况。

2、2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第

十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2025年4月25日召开第二届董事会第二十九次会议及第二届监事会

第二十七次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过25000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。2025年度，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的收益金额为1636624.68元。

截至2025年12月31日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00万元，无投资相关产品的情况。

募集资金现金管理审核情况表

单位：万元币种：人民币

发行名称 2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金到账时间2022年6月8日计划进行现金计划进行现金董事会审议通过计划起始日期计划截止日期管理的金额管理的方式日期

30000.00保本型投资产品2024年4月26日2025年4月25日2024年4月26日

25000.00保本型投资产品2025年4月25日2026年4月24日2025年4月25日

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

本报告期内，公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

本报告期内，公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（七）节余募集资金使用情况

本报告期内，公司不存在节余募集资金使用情况。

（八）募集资金使用的其他情况

本报告期，公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募投项目的资金使用情况

截至2025年12月31日，本公司募集资金投资项目未发生变更情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。

六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为，公司2025年度《募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金监管规则》及交易所的相关规定编制，公允反映了公司2025年度募集资金实际存放、管理与使用情况。

七、保荐人对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见经核查，保荐机构认为：公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况事项符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上市公司募集资金监管规则》等相关法律法规及公司

《募集资金管理制度》的有关规定。

综上，保荐机构对公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的事项无异议。

八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的，应在专项报告分别说明本公司不存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的情况。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2026年4月18日附表1：

募集资金使用情况对照表

单位：万元币种：人民币发行名称2019年首次公开发行股票募集资金到账日期2019年12月10日

本年度投入募集资金总额0.00

已累计投入募集资金总额51222.52

变更用途的募集资金总额0.00

变更用途的募集资金总额比例0.00已变更项截至期末累计投项目达到预定项目可行

承诺投资项目和超募募投项目性截至期末承本年度截至期末累截至期末投是否达目，含部募集资金承调整后投资入金额与承诺投可使用状态日本年度实性是否发诺投入金额投入金计投入金额入进度（%）到预计资金投向质分变更诺投资总额总额(1)(2)入金额的差额(3)期（具体到月现的效益生重大变(如有)额

＝(2)-(1)

(4)＝(2)/(1)效益

份）化

高端晶圆处理设备产103.992022年6月30生产建设23860.7323860.7323860.730.0024813.36952.632037.28否否

业化项目(注2)日高端晶圆处理设备研2022年3月生产建设13918.2413918.2413918.240.0013918.24100.00注3不适用否发中心项目31日

超募资金-永久补充流

补流还贷11490.0011490.0011490.000.0011490.00100.00不适用不适用不适用否动资金

超募资金-股份回购回购公司股份1000.921000.921000.920.001000.92100.00不适用不适用不适用否

合计50269.8950269.8950269.890.0051222.52952.63——2037.28——未达到计划进度原因（分具体募投不适用

项目）项目可行性发生重大变化的情况说不适用明

在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14034042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2597169.81元。

公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资募集资金投资项目先期投入及置换金的议案》，同意公司使用募集资金17020611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事情况项发表了同意的核查意见。

公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。

截至2020年12月31日，上述自筹资金17020611.81元已用募集资金置换完毕。

公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8000.00万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规用闲置募集资金暂时补充流动资金定期限内实际使用了人民币6000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币情况6000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2023年8月24日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2023年8月28日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定时限内实际使用了人民币5400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2024年8月20日，公司已将上述临时补充流动资金的人民币5400.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

截至 2025年 12月 31日，公司使用首次公开发行 A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币 0.00万元。

对闲置募集资金进行现金管理，投截至2025年12月31日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。

资相关产品情况公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需用超募资金永久补充流动资金或归

求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市还银行贷款情况

公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2024年6月17日，公司召开2023年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830.00万元用于永久补充流动资金。

截至2025年12月31日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为11490.00万元。

“高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共928.47万元，募集资金节余的主要原因如下：

1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管理产生的投资收益导致。

募集资金结余的金额及形成原因

2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量的前提下，加强项目建设各个环节

成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。

公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定募集资金其他使用情况可使用状态时间调整至2022年6月30日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。公司于2024年2月21日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用部分超募资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，拟用于回购的资金总额不低于人民币1000万元（含）、不超过人民币2000万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内。截至2024年6月30日，已回购公司股份102607股，支付的资金总额为人民币10008325.19元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。

注2：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。

注3：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。附表2：

募集资金使用情况对照表

单位：万元币种：人民币

发行名称 2021年度向特定对象发行 A股股票募集资金到账日期2022年6月8日

本年度投入募集资金总额4167.42

已累计投入募集资金总额82011.06

变更用途的募集资金总额0.00

变更用途的募集资金总额比例0.00已变更项截至期末累计投项目达到预定项目可行

承诺投资项目和超募募投项目性截至期末承截至期末累截至期末投是否达目，含部募集资金承调整后投资本年度投入金额与承诺投%可使用状态日本年度实性是否发诺投入金额计投入金额入进度（）到预计资金投向质分变更(如诺投资总额总额(1)入金额(2)入金额的差额(3)(4)(2)/(1)期（具体到月现的效益生重大变有)＝(2)-(1)

＝效益

份）化

上海临港研发及产业研发及生产100.462024年12月8

47000.0047000.0047000.000.0047214.69214.692773.82否否

化项目建设(注4)日高端晶圆处理设备产2026年12月生产建设23000.0023000.0023000.004167.424515.17-18484.8319.63不适用不适用否

业化项目（二期）8日

补充流动资金补流还贷29999.9929999.9929999.990.0030281.20281.21100.00不适用不适用不适用否

合计99999.9999999.9999999.994167.4282011.06-17988.93——2773.82——

（1）高端晶圆处理设备产业化项目（二期）未达到计划进度原因（分具体募投公司于2024年10月22日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，项目）综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期进行延期。

公司“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目原计划建设周期30个月，于2024年12月8日前达到预定可使用状态。根据公司整体规划和实际经营发展需要，公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”项目实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。

在募投项目实施地点变更等因素影响下，“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”的建设进度、生产设备的采购以及安装调试工作均有所延缓。为提高募投资金使用效率，根据公司实际情况及市场需求，公司拟有计划、分步骤逐步投入该项目，故将该项目达到预定可使用状态日期调整至2026年12月8日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。

项目可行性发生重大变化的情况不适用说明

在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入31738839.36元。

公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31738839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，募集资金投资项目先期投入及置保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。

换情况公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。

截至2022年12月31日，上述自筹资金31738839.36元已用募集资金置换完毕。

用闲置募集资金暂时补充流动资

截至2025年12月31日，公司暂未使用闲置募集资金暂时补充流动资金。

金情况公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。

对闲置募集资金进行现金管理，投公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理资相关产品情况的议案》，同意公司使用额度不超过50000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00万元，无投资相关产品的情况。

用超募资金永久补充流动资金或不适用归还银行贷款情况

“上海临港研发及产业化项目”结项，节余的募集资金1067.96万元，募集资金节余的主要原因如下：

1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管理产生的投资收益导致。

募集资金结余的金额及形成原因

2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量的前提下，加强项目建设各个环节成

本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。

公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）项目”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创募集资金其他使用情况新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实质改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。

注4：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。